JPH11163000A - リードフレーム移送装置 - Google Patents

リードフレーム移送装置

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JPH11163000A
JPH11163000A JP9332092A JP33209297A JPH11163000A JP H11163000 A JPH11163000 A JP H11163000A JP 9332092 A JP9332092 A JP 9332092A JP 33209297 A JP33209297 A JP 33209297A JP H11163000 A JPH11163000 A JP H11163000A
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JP
Japan
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pad
lead frame
slide shaft
pad support
transport plate
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JP9332092A
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Isao Arakawa
功 荒川
Tatsuya Urata
辰也 浦田
Shinichi Matsumura
慎一 松村
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Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、リードフレームの種類変更に伴う
吸着パッドの位置調整を短時間で容易に行うを目的とす
るものである。 【解決手段】 第１及び第２のパッド支持部材７８ａ，
７８ｂの摺動を規制する摺動規制手段９２をフレーム搬
送板７３に設け、摺動規制手段９２による規制を解除し
て第１及び第２のパッド支持部材７８ａ，７８ｂを第１
及び第２のスライドシャフト７５，７６に沿って移動さ
せるパッド移動機構９３を設け、リードフレームの情報
を制御部に入力することにより、パッド移動機構９３が
制御され、全てのパッド支持部材７８ａ，７８ｂの位置
が自動的に調整されるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置の製
造過程において、モールド済みリードフレームをそのパ
ッケージ部を吸着することにより移送するよりリードフ
レーム移送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１３は従来のリードフレーム移送装置
の一例を示す要部正面図、図１４は図１３の装置を示す
平面図、図１５は図１３の装置を示す側面図である。図
において、フレーム搬送板１は、昇降用エアシリンダ２
により上下動されるとともに、エアスライド機構３によ
り図１３の左右方向へ移動される。フレーム搬送板１に
は、シャフト支持板４を介して一対の第１のスライドシ
ャフト５と一対の第２のスライドシャフト６とが取り付
けられている。
【０００３】第１のスライドシャフト５及び第２のスラ
イドシャフト６には、それぞれ５個ずつのパッド支持部
材７が摺動自在に取り付けられている。各パッド支持部
材７には、リードフレーム８のパッケージ部８ａを吸着
する吸着パッド９がそれぞれ搭載されている。スライド
シャフト５，６の軸方向へのパッド支持部材７の固定
は、固定ねじ１０を締め付けることにより行われてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来のリードフレーム移送装置においては、リードフ
レーム８の種類が変更され、パッケージ部８ａの数や位
置が変わった場合、固定ねじ１０を１つずつ緩めた後、
パッド支持部材７の位置をずらし、固定ねじ１０を再度
締め付ける必要があったため、リードフレーム８の種類
変更に伴う設定変更作業に多大な労力と時間とを要して
いた。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、リードフレー
ムの種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で容
易に行うことができるリードフレーム移送装置を得るこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るリ
ードフレーム移送装置は、複数のパッケージ部が形成さ
れているリードフレームを移送するものであって、フレ
ーム搬送板、このフレーム搬送板を上下動させるととも
に水平方向へ移動させる駆動手段、フレーム搬送板に設
けられているスライドシャフト、このスライドシャフト
にそれぞれ摺動自在に取り付けられている複数のパッド
支持部材、パッド支持部材にそれぞれ搭載され、パッケ
ージ部を吸着する複数の吸着パッド、フレーム搬送板に
設けられ、パッド支持部材の摺動を規制する摺動規制手
段、摺動規制手段による規制を解除してパッド支持部材
をスライドシャフトに沿って移動させるパッド移動機
構、及びリードフレームの情報が入力されることによ
り、パッド移動機構を制御し、全てのパッド支持部材の
位置を自動的に調整する制御部を備えたものである。
【０００７】請求項２の発明に係るリードフレーム移送
装置は、フレーム搬送板に設けられているピッチ固定ラ
ック、パッド支持部材に設けられ、ピッチ固定ラックと
噛み合う複数のパッド側ラック、及びパッド支持部材に
それぞれ設けられ、パッド側ラックがピッチ固定ラック
と噛み合う方向へパッド支持部材を付勢する複数の付勢
手段を有する摺動規制手段を用い、パッド支持部材がス
ライドシャフトを軸に回動されることにより、パッド側
ラックが付勢手段に抗してピッチ固定ラックから開離さ
れるようにしたものである。
【０００８】請求項３の発明に係るリードフレーム移送
装置は、パッドシフト用サーボアクチュエータ、このパ
ッドシフト用サーボアクチュエータによりスライドシャ
フトと平行に移動されるエアシリンダ、及びエアシリン
ダにより前進・後退され、前進位置でパッド支持部材に
係合するホルダを有するパッド移動機構を用いたもので
ある。
【０００９】請求項４の発明に係るリードフレーム移送
装置は、スライドシャフトが、軸方向に互いに間隔をお
いて配置されている第１及び第２のスライドシャフトを
有し、パッド支持部材が、第１のスライドシャフトに摺
動自在に取り付けられた第１のパッド支持部材と、第２
のスライドシャフトに摺動自在に取り付けられた第２の
パッド支持部材とを有し、各第２のパッド支持部材は、
対応する位置の第１のパッド支持部材にそれぞれ連結部
材を介して連結されているものである。
【００１０】請求項５の発明に係るリードフレーム移送
装置は、複数のパッケージ部が形成されているリードフ
レームを移送するものであって、フレーム搬送板、この
フレーム搬送板を上下動させるとともに水平方向へ移動
させる駆動手段、フレーム搬送板に設けられているスラ
イドシャフト、このスライドシャフトにそれぞれ摺動自
在に取り付けられている複数のパッド支持部材、これら
のパッド支持部材にそれぞれ搭載され、パッケージ部を
吸着する複数の吸着パッド、及びパッド支持部材の一部
がそれぞれ挿入される複数の溝がそれぞれ異なる位置に
形成されており、フレーム搬送板に選択的に装着されて
スライドシャフトの軸方向へのパッド支持部材の位置決
めを行う複数の位置決め板を備えたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１によるリ
ードフレーム移送装置を有するレーザマーキング装置を
示す斜視図、図２は図１の要部平面図である。図におい
て、ベース１１上には、互いに同様の構造を有する供給
部１２及び排出部１３が設けられている。また、供給部
１２と排出部１３との間には、インデックスユニット１
４が設けられている。供給部１２及び排出部１３には、
それぞれモールド済みの複数のリードフレーム２１（図
３）を収容可能な複数のマガジン１５が置かれている。
【００１２】供給部１２、排出部１３及びインデックス
ユニット１４の上方には、リードフレーム２１を移送す
るリードフレーム移送装置、即ち移送装置１６が設けら
れている。インデックスユニット１４の近傍には、リー
ドフレーム１０の長手方向の位置決めを行うフレーム位
置決め機構１７が設けられている。インデックスユニッ
ト１４の上方には、リードフレーム１０に対してレーザ
マーキング加工を施すレーザ照射部（レーザマーカ）１
８と、リードフレーム１０を画像検出する画像検出装置
１９とが設けられている。なお、図１では、移送装置１
６及び画像検出装置１９のベース１１に対する支持部材
は省略されている。
【００１３】ベース１１の側方には、レーザ照射部１８
を運転するための電源ユニット２０が設けられている。
この電源ユニット２０には、モニタ２０Ａが設けられて
いる。また、ベース１１内には、ベース１１上の機器を
制御する制御部２５が設けられている。
【００１４】次に、図３は図１の装置で加工されるリー
ドフレーム２１の一例を示す平面図である。図におい
て、リードフレーム２１は、金属製のリードフレーム本
体２２と、このリードフレーム本体２２にモールドされ
ている複数のパッケージ部２３とを有している。リード
フレーム本体２２には、リードフレーム２１の表裏を検
出するための長穴２２ａが設けられている。
【００１５】次に、図４は図１のインデックスユニット
１４を示す平面図、図５は図４の右方から見たインデッ
クスユニット１４の正面図である。図において、インデ
ックスユニット１４は、ベース１１上に固定されている
ユニット本体４１と、このユニット本体４１上に回動可
能に設けられている円板上のインデックステーブル４２
とを有している。インデックステーブル４２上には、リ
ードフレーム２１を支持する第１及び第２の支持部４
３，４４が設けられている。これら第１及び第２の支持
部４３，４４の位置は、インデックステーブル４２が１
８０°回動されることにより待機位置４２Ａと加工位置
４２Ｂとの間で交互に入れ替えられる。
【００１６】第１及び第２の支持部４３，４４は、一対
のフレーム受け４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂをそれ
ぞれ有している。これらのフレーム受け４３ａ，４３
ｂ，４４ａ，４４ｂは、一対のガイドレール４５に沿っ
て図４の上下方向（図５の左右方向）へそれぞれ移動可
能になっており、これによりフレーム受け４３ａ，４３
ｂの間隔と、フレーム受け４４ａ，４４ｂの間隔とがリ
ードフレーム２１の幅に応じてそれぞれ調整可能になっ
ている。
【００１７】次に、図６は図１の移送装置１６を示す平
面図、図７は図６の要部正面図、図８は図６のＶＩＩＩ
−ＶＩＩＩ線断面図である。図において、支持板７１上
には、サーボアクチュエータ７２及びガイドレール７２
Ａが設けられている。フレーム搬送板７３は、サーボア
クチュエータ７２によりガイドレール７２Ａに沿って図
６の左右方向へ往復動される。サーボアクチュエータ７
２とフレーム搬送板７３との間には、フレーム搬送板７
３を上下動させる昇降用エアシリンダ７４が設けられて
いる。駆動手段９１は、サーボアクチュエータ７２と昇
降用エアシリンダ７４とを有している。
【００１８】フレーム搬送板７３には、第１及び第２の
スライドシャフト７５，７６が互いに軸方向へ間隔をお
いて同軸上に固定されている。スライドシャフト７５，
７６は、それぞれ複数のシャフト支持板７７を介してフ
レーム搬送板７３に取り付けられている。第１のスライ
ドシャフト７５には、支持板７１の開口部７１ａを貫通
する４個の第１のパッド支持部材７８ａが、第２のスラ
イドシャフト７６には、開口部７１ａを貫通する４個の
第２のパッド支持部材７８ｂが、それぞれ摺動自在に取
り付けられている。
【００１９】各第１のパッド支持部材７８ａには、パッ
ド側ラック７９が設けられており、これらのパッド側ラ
ック７９は、フレーム搬送板７３に設けられたピッチ固
定ラック８０と噛み合っている。また、各第１のパッド
支持部材７８ａには、フレーム搬送板７３を押圧するこ
とにより、パッド側ラック７９をピッチ固定ラック８０
側へ付勢する付勢手段としてのボールプランジャ８１が
それぞれ設けられている。摺動規制手段９２は、パッド
側ラック７９、ピッチ固定ラック８０及びボールプラン
ジャ８１を有している。
【００２０】第１のパッド支持部材７８ａには、リード
フレーム２１を吸着保持する第１の吸着パッド８２ａが
それぞれ搭載されている。第２のパッド支持部材７８ｂ
には、リードフレーム２１を吸着保持する第１の吸着パ
ッド８２ｂがそれぞれ搭載されている。また、図７に示
すように、４個の第１の吸着パッド８２ａにより第１の
吸着パッド群８２Ａが構成されている。同様に、４個の
第２の吸着パッド８２ｂにより第２の吸着パッド群８２
Ｂが構成されている。リードフレーム２１は、第１の吸
着パッド群８２Ａにより供給部１２から待機位置４２Ａ
に移送され、第２の吸着パッド群８２Ｂにより待機位置
４２Ａから排出部１３に移送される。
【００２１】第２のパッド支持部材７８ｂは、対応する
位置の第１のパッド支持部材７８ａに連結部材８３ａ〜
８３ｄを介して連結されている。例えば、図７で最も左
に位置する第２のパッド支持部材７８ｂは、同様に最も
左に位置する第１のパッド支持部材７８ａに連結部材８
３ａを介して連結されている。従って、連結部材８３ａ
〜８３ｄにより連結された吸着パッド８２ａ，８２ｂ
は、スライドシャフト７５，７６上を常に同方向へ同量
だけ摺動される。
【００２２】支持板７１上には、パッドシフト用サーボ
アクチュエータ８４が設けられている。エアシリンダ８
５は、パッドシフト用サーボアクチュエータ８４により
図６の左右方向へ移動される。エアシリンダ８５には、
パッド支持部材７８の上端部に係合するホルダ８６が設
けられている。パッド移動機構９３は、パッドシフト用
サーボアクチュエータ８４、エアシリンダ８５及びホル
ダ８６を有している。
【００２３】次に、全体の動作について説明する。供給
部１２のマガジン１５に収容されたレーザマーキング加
工前のリードフレーム２１は、移送装置１６により吸着
され、インデックステーブル４２上の待機位置４２Ａへ
移送され、フレーム位置決め機構１７により長手方向の
位置決めが行われた後、支持部４３，４４上に保持され
る。この状態で、画像検出装置１９により長穴２２ａが
検出され、リードフレーム２１の方向及び表裏が確認さ
れる。また、画像検出装置１９によりリードピッチが検
出され、リードフレーム２１の種類が確認される。
【００２４】画像検出装置１９による画像検出の後、イ
ンデックステーブル４２が１８０°回動されることによ
り、レーザマーキング加工前のリードフレーム２１は、
加工位置４２Ｂへ移動され、レーザ照射部１８により全
てのパッケージ部２３にレーザマーキング加工が施され
る。加工後、インデックステーブル４２が１８０°反転
され、加工後のリードフレーム２１が待機位置４２Ａに
移動される。そして、画像検出装置１９によりマークの
有無（欠け、抜け）が検出される。なお、加工前後の画
像検出で異常が発見された場合には、モニタ２０Ａにエ
ラー表示が出され、装置の運転が停止される。
【００２５】この後、レーザマーキング加工後のリード
フレーム２１は、移送装置１６の吸着パッド群８２Ｂに
より排出部１３のマガジン１５内に移送される。このレ
ーザマーキング加工後のリードフレーム２１の移送と同
時に、同じ移送装置１６の吸着パッド群８２Ａにより供
給部１２から次のリードフレーム２１が待機位置４２Ａ
に移送される。
【００２６】また、リードフレーム２１の種類変更に伴
い吸着パッド８２ａ，８２ｂの間隔をそれぞれ変更する
場合、ホルダ８６がエアシリンダ８５により図６の上方
へ移動され第１のパッド支持部材７８ａに係合される。
第１のパッド支持部材７８ａは、ホルダ８６により押圧
され、ボールプランジャ８１に逆らって回動され、これ
によりパッド側ラック７９がピッチ固定ラック８０から
開離される。この状態で、エアシリンダ８５がパッドシ
フト用サーボアクチュエータ８４により移動されること
により、第１のパッド支持部材７８ａがスライドシャフ
ト７５に沿って摺動される。
【００２７】第１のパッド支持部材７８ａが所定の位置
まで摺動された後、ホルダ８６が後退されることによ
り、パッド側ラック７９がピッチ固定ラック８０に噛み
合い、スライドシャフト７５の軸方向への第１のパッド
支持部材７８の位置が固定される。このようにして、第
１の吸着パッド８２ａの間隔が順次調整されることによ
り、第２の吸着パッド８２ｂの間隔も自動的に順次調整
される。このような吸着パッド８２ａ，８２ｂの間隔調
整動作は、リードフレーム２１の種類に関する情報を制
御部２５に入力することにより、予め記憶されている情
報に基づいて自動的に行われる。
【００２８】上記のようなリードフレーム移送装置１６
によれば、リードフレーム２１の種類の変更に伴う吸着
パッド８２ａ，８２ｂの位置調整を短時間で容易に、し
かも高精度で行うことができる。また、第１のパッド支
持部材７８ａと対応する第２のパッド支持部材７８ｂと
が連結部材８３ａ〜８３ｄにより互いに連結されている
ので、第１のパッド支持部材７８ａの位置を調整するだ
けで第２のパッド支持部材７８ｂの位置も自動的に調整
され、調整作業が短時間で済むとともに、パッド移動機
構９３を小形化することができる。
【００２９】なお、上記の例では、パッド側ラック７９
とピッチ固定ラック８０とを有する摺動規制手段９２を
示したが、これに限定されるものではなく、例えば摩擦
材を用いたものや、磁石により吸着させるものでもよ
い。また、上記の例では、第１のパッド支持部材７８ａ
のみに摺動規制手段９２を設けたが、第１及び第２のパ
ッド支持部材７８ａ，７８ｂの両方に設けてもよい。
【００３０】さらに、各吸着パッド８２ａ，８２ｂの個
数は上記の例に限定されるものではない。さらにまた、
上記の例では、レーザマーキング装置にリードフレーム
移送装置１６を設けたが、他の装置に適用してもよい。
【００３１】実施の形態２．次に、図９はこの発明の実
施の形態２によるリードフレーム移送装置を示す正面
図、図１０は図９の平面図、図１１は図９の右側面図で
ある。図において、フレーム搬送板３１は、昇降用エア
シリンダ３２により上下動されるとともに、エアスライ
ド機構３３により図１０の左右方向へ移動される。駆動
手段３０は、昇降用エアシリンダ３２及びエアスライド
機構３３を有している。フレーム搬送板３１には、シャ
フト支持板３４を介して一対の第１のスライドシャフト
３５と一対の第２のスライドシャフト３６とが取り付け
られている。
【００３２】第１のスライドシャフト３５及び第２のス
ライドシャフト３６には、それぞれ５個ずつのパッド支
持部材３７が摺動自在に取り付けられている。各パッド
支持部材３７には、リードフレーム２１のパッケージ部
２３を吸着する吸着パッド３８がそれぞれ搭載されてい
る。
【００３３】フレーム搬送板３１の前面には、位置決め
板（テンプレート）３９が締付ねじ４０により取り付け
られている。位置決め板３９には、図１２に示すよう
に、各パッド支持部材３７の一部が挿入される複数の溝
３９ａが設けられている。このような位置決め板３９は
複数用意されており、それぞれの位置決め板３９の溝３
９ａの位置は、リードフレーム２１の種類に対応して互
いに異なっている。移送装置以外の構成は、実施の形態
１と同様である。
【００３４】このようなリードフレーム移送装置では、
リードフレーム２１の種類変更に伴い吸着パッド３８の
間隔をそれぞれ変更する場合、締付ねじ４０を緩めて位
置決め板３９を取り外す。この後、リードフレーム２１
の種類に対応した別の位置決め板３９をフレーム搬送板
３１の前面に装着するとともに、溝３９ａにパッド支持
部材３７を挿入し、締付ねじ４０を締め付ける。これに
より、吸着パッド３８の位置を短時間で容易に調整する
ことができる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明の
リードフレーム移送装置は、パッド支持部材の摺動を規
制する摺動規制手段をフレーム搬送板に設け、摺動規制
手段による規制を解除してパッド支持部材をスライドシ
ャフトに沿って移動させるパッド移動機構を設け、リー
ドフレームの情報を制御部に入力することにより、パッ
ド移動機構が制御され、全てのパッド支持部材の位置が
自動的に調整されるようにしたので、リードフレームの
種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で容易に
行うことができる。
【００３６】請求項２の発明のリードフレーム移送装置
は、フレーム搬送板に設けられているピッチ固定ラッ
ク、パッド支持部材にそれぞれ設けられ、ピッチ固定ラ
ックと噛み合う複数のパッド側ラック、及びパッド支持
部材にそれぞれ設けられ、パッド側ラックがピッチ固定
ラックと噛み合う方向へパッド支持部材を付勢する複数
の付勢手段を有する摺動規制手段を用い、パッド支持部
材がスライドシャフトを軸に回動されることにより、パ
ッド側ラックが付勢手段に抗してピッチ固定ラックから
開離されるようにしたので、簡単な構造で、より確実に
パッド支持部材の位置を固定することができる。
【００３７】請求項３の発明のリードフレーム移送装置
は、パッドシフト用サーボアクチュエータ、このパッド
シフト用サーボアクチュエータによりスライドシャフト
と平行に移動されるエアシリンダ、及びエアシリンダに
より前進・後退され、前進位置で支持部材に係合するホ
ルダを有するパッド移動機構を用いたので、簡単な構造
で、支持部材の移動をスムーズに行うことができる。
【００３８】請求項４の発明のリードフレーム移送装置
は、第１のパッド支持部材を複数の連結部材によりそれ
ぞれ対応する位置の第２のパッド支持部材に連結したの
で、第１のパッド支持部材の位置を調整するだけで第２
のパッド支持部材の位置も自動的に調整され、調整作業
が短時間で済むとともに、パッド移動機構を小形化する
ことができる。
【００３９】請求項５の発明のリードフレーム移送装置
は、パッド支持部材の一部がそれぞれ挿入される複数の
溝がそれぞれ異なる位置に形成されている位置決め板
を、フレーム搬送板に選択的に装着することにより、ス
ライドシャフトの軸方向へのパッド支持部材の位置決め
を行うようにしたので、簡単な構造により、リードフレ
ームの種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で
容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１によるリードフレー
ム移送装置を有するレーザマーキング装置を示す斜視図
である。
【図２】 図１の要部平面図である。
【図３】 図１の装置で加工されるリードフレームの一
例を示す平面図である。
【図４】 図１のインデックスユニットを示す平面図で
ある。
【図５】 図４の右方から見たインデックスユニットの
正面図である。
【図６】 図１のリードフレーム移送装置を示す平面図
である。
【図７】 図６の要部正面図である。
【図８】 図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。
【図９】 この発明の実施の形態２によるリードフレー
ム移送装置を示す正面図である。
【図１０】 図９の平面図である。
【図１１】 図９の右側面図である。
【図１２】 図９の位置決め板を示す正面図である。
【図１３】 従来のレーザマーキング装置の一例を示す
斜視図である。
【図１４】 図１３の装置を示す平面図である。
【図１５】 図１３の装置を示す側面図である。
【符号の説明】
２１ リードフレーム、２３ パッケージ部、２５ 制
御部、３０，９１ 駆動手段、３１，７３ フレーム搬
送板、３５，７５ 第１のスライドシャフト、３６，７
６ 第２のスライドシャフト、３７ パッド支持部材、
３８ 吸着パッド、３９ 位置決め板、３９ａ 溝、７
８ａ 第１のパッド支持部材、７８ｂ第２のパッド支持
部材、７９ パッド側ラック、８０ ピッチ固定ラッ
ク、８１ボールプランジャ（付勢手段）、８２ａ 第１
の吸着パッド、８２ｂ 第２の吸着パッド、８２Ａ 第
１の吸着パッド群、８２Ｂ 第２の吸着パッド群、８３
ａ〜８３ｄ 連結部材、８４ パッドシフト用サーボア
クチュエータ、８５ エアシリンダ、８６ ホルダ、９
２ 摺動規制手段、９３ パッド移動機構。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松村 慎一 熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番10号 三菱電機熊本セミコンダクタ株式 会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数のパッケージ部が形成されているリ
    ードフレームを移送するリードフレーム移送装置であっ
    て、 フレーム搬送板、 このフレーム搬送板を上下動させるとともに水平方向へ
    移動させる駆動手段、上記フレーム搬送板に設けられて
    いるスライドシャフト、 このスライドシャフトにそれぞれ摺動自在に取り付けら
    れている複数のパッド支持部材、 上記パッド支持部材にそれぞれ搭載され、上記パッケー
    ジ部を吸着する複数の吸着パッド、 上記フレーム搬送板に設けられ、上記パッド支持部材の
    摺動を規制する摺動規制手段、 上記摺動規制手段による規制を解除して上記パッド支持
    部材を上記スライドシャフトに沿って移動させるパッド
    移動機構、及び上記リードフレームの情報が入力される
    ことにより、上記パッド移動機構を制御し、全ての上記
    パッド支持部材の位置を自動的に調整する制御部を備え
    ていることを特徴とするリードフレーム移送装置。
  2. 【請求項２】 摺動規制手段は、 フレーム搬送板に設けられているピッチ固定ラック、 パッド支持部材に設けられ、上記ピッチ固定ラックと噛
    み合う複数のパッド側ラック、及び上記パッド支持部材
    にそれぞれ設けられ、上記パッド側ラックが上記ピッチ
    固定ラックと噛み合う方向へ上記パッド支持部材を付勢
    する複数の付勢手段を有しており、 上記パッド支持部材がスライドシャフトを軸に回動され
    ることにより、上記パッド側ラックが上記付勢手段に抗
    して上記ピッチ固定ラックから開離されることを特徴と
    する請求項１記載のリードフレーム移送装置。
  3. 【請求項３】 パッド移動機構は、 パッドシフト用サーボアクチュエータ、 このパッドシフト用サーボアクチュエータによりスライ
    ドシャフトと平行に移動されるエアシリンダ、及び上記
    エアシリンダにより前進・後退され、前進位置でパッド
    支持部材に係合するホルダを有していることを特徴とす
    る請求項１又は請求項２に記載のリードフレーム移送装
    置。
  4. 【請求項４】 スライドシャフトは、軸方向に互いに間
    隔をおいて配置されている第１及び第２のスライドシャ
    フトを有し、パッド支持部材は、上記第１のスライドシ
    ャフトに摺動自在に取り付けられた第１のパッド支持部
    材と、上記第２のスライドシャフトに摺動自在に取り付
    けられた第２のパッド支持部材とを有し、上記各第２の
    パッド支持部材は、対応する位置の上記第１のパッド支
    持部材にそれぞれ連結部材を介して連結されていること
    を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載
    のリードフレーム移送装置。
  5. 【請求項５】 複数のパッケージ部が形成されているリ
    ードフレームを移送するリードフレーム移送装置であっ
    て、 フレーム搬送板、 このフレーム搬送板を上下動させるとともに水平方向へ
    移動させる駆動手段、 上記フレーム搬送板に設けられているスライドシャフ
    ト、 このスライドシャフトにそれぞれ摺動自在に取り付けら
    れている複数のパッド支持部材、 これらのパッド支持部材にそれぞれ搭載され、上記パッ
    ケージ部を吸着する複数の吸着パッド、及び上記パッド
    支持部材の一部がそれぞれ挿入される複数の溝がそれぞ
    れ異なる位置に形成されており、上記フレーム搬送板に
    選択的に装着されて上記スライドシャフトの軸方向への
    上記パッド支持部材の位置決めを行う複数の位置決め板
    を備えていることを特徴とするリードフレーム移送装
    置。
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