JPH11163000A - リードフレーム移送装置 - Google Patents
リードフレーム移送装置Info
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- JPH11163000A JPH11163000A JP9332092A JP33209297A JPH11163000A JP H11163000 A JPH11163000 A JP H11163000A JP 9332092 A JP9332092 A JP 9332092A JP 33209297 A JP33209297 A JP 33209297A JP H11163000 A JPH11163000 A JP H11163000A
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- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、リードフレームの種類変更に伴う
吸着パッドの位置調整を短時間で容易に行うを目的とす
るものである。 【解決手段】 第1及び第2のパッド支持部材78a,
78bの摺動を規制する摺動規制手段92をフレーム搬
送板73に設け、摺動規制手段92による規制を解除し
て第1及び第2のパッド支持部材78a,78bを第1
及び第2のスライドシャフト75,76に沿って移動さ
せるパッド移動機構93を設け、リードフレームの情報
を制御部に入力することにより、パッド移動機構93が
制御され、全てのパッド支持部材78a,78bの位置
が自動的に調整されるようにした。
吸着パッドの位置調整を短時間で容易に行うを目的とす
るものである。 【解決手段】 第1及び第2のパッド支持部材78a,
78bの摺動を規制する摺動規制手段92をフレーム搬
送板73に設け、摺動規制手段92による規制を解除し
て第1及び第2のパッド支持部材78a,78bを第1
及び第2のスライドシャフト75,76に沿って移動さ
せるパッド移動機構93を設け、リードフレームの情報
を制御部に入力することにより、パッド移動機構93が
制御され、全てのパッド支持部材78a,78bの位置
が自動的に調整されるようにした。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置の製
造過程において、モールド済みリードフレームをそのパ
ッケージ部を吸着することにより移送するよりリードフ
レーム移送装置に関するものである。
造過程において、モールド済みリードフレームをそのパ
ッケージ部を吸着することにより移送するよりリードフ
レーム移送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図13は従来のリードフレーム移送装置
の一例を示す要部正面図、図14は図13の装置を示す
平面図、図15は図13の装置を示す側面図である。図
において、フレーム搬送板1は、昇降用エアシリンダ2
により上下動されるとともに、エアスライド機構3によ
り図13の左右方向へ移動される。フレーム搬送板1に
は、シャフト支持板4を介して一対の第1のスライドシ
ャフト5と一対の第2のスライドシャフト6とが取り付
けられている。
の一例を示す要部正面図、図14は図13の装置を示す
平面図、図15は図13の装置を示す側面図である。図
において、フレーム搬送板1は、昇降用エアシリンダ2
により上下動されるとともに、エアスライド機構3によ
り図13の左右方向へ移動される。フレーム搬送板1に
は、シャフト支持板4を介して一対の第1のスライドシ
ャフト5と一対の第2のスライドシャフト6とが取り付
けられている。
【0003】第1のスライドシャフト5及び第2のスラ
イドシャフト6には、それぞれ5個ずつのパッド支持部
材7が摺動自在に取り付けられている。各パッド支持部
材7には、リードフレーム8のパッケージ部8aを吸着
する吸着パッド9がそれぞれ搭載されている。スライド
シャフト5,6の軸方向へのパッド支持部材7の固定
は、固定ねじ10を締め付けることにより行われてい
る。
イドシャフト6には、それぞれ5個ずつのパッド支持部
材7が摺動自在に取り付けられている。各パッド支持部
材7には、リードフレーム8のパッケージ部8aを吸着
する吸着パッド9がそれぞれ搭載されている。スライド
シャフト5,6の軸方向へのパッド支持部材7の固定
は、固定ねじ10を締め付けることにより行われてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来のリードフレーム移送装置においては、リードフ
レーム8の種類が変更され、パッケージ部8aの数や位
置が変わった場合、固定ねじ10を1つずつ緩めた後、
パッド支持部材7の位置をずらし、固定ねじ10を再度
締め付ける必要があったため、リードフレーム8の種類
変更に伴う設定変更作業に多大な労力と時間とを要して
いた。
た従来のリードフレーム移送装置においては、リードフ
レーム8の種類が変更され、パッケージ部8aの数や位
置が変わった場合、固定ねじ10を1つずつ緩めた後、
パッド支持部材7の位置をずらし、固定ねじ10を再度
締め付ける必要があったため、リードフレーム8の種類
変更に伴う設定変更作業に多大な労力と時間とを要して
いた。
【0005】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、リードフレー
ムの種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で容
易に行うことができるリードフレーム移送装置を得るこ
とを目的とする。
ることを課題としてなされたものであり、リードフレー
ムの種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で容
易に行うことができるリードフレーム移送装置を得るこ
とを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係るリ
ードフレーム移送装置は、複数のパッケージ部が形成さ
れているリードフレームを移送するものであって、フレ
ーム搬送板、このフレーム搬送板を上下動させるととも
に水平方向へ移動させる駆動手段、フレーム搬送板に設
けられているスライドシャフト、このスライドシャフト
にそれぞれ摺動自在に取り付けられている複数のパッド
支持部材、パッド支持部材にそれぞれ搭載され、パッケ
ージ部を吸着する複数の吸着パッド、フレーム搬送板に
設けられ、パッド支持部材の摺動を規制する摺動規制手
段、摺動規制手段による規制を解除してパッド支持部材
をスライドシャフトに沿って移動させるパッド移動機
構、及びリードフレームの情報が入力されることによ
り、パッド移動機構を制御し、全てのパッド支持部材の
位置を自動的に調整する制御部を備えたものである。
ードフレーム移送装置は、複数のパッケージ部が形成さ
れているリードフレームを移送するものであって、フレ
ーム搬送板、このフレーム搬送板を上下動させるととも
に水平方向へ移動させる駆動手段、フレーム搬送板に設
けられているスライドシャフト、このスライドシャフト
にそれぞれ摺動自在に取り付けられている複数のパッド
支持部材、パッド支持部材にそれぞれ搭載され、パッケ
ージ部を吸着する複数の吸着パッド、フレーム搬送板に
設けられ、パッド支持部材の摺動を規制する摺動規制手
段、摺動規制手段による規制を解除してパッド支持部材
をスライドシャフトに沿って移動させるパッド移動機
構、及びリードフレームの情報が入力されることによ
り、パッド移動機構を制御し、全てのパッド支持部材の
位置を自動的に調整する制御部を備えたものである。
【0007】請求項2の発明に係るリードフレーム移送
装置は、フレーム搬送板に設けられているピッチ固定ラ
ック、パッド支持部材に設けられ、ピッチ固定ラックと
噛み合う複数のパッド側ラック、及びパッド支持部材に
それぞれ設けられ、パッド側ラックがピッチ固定ラック
と噛み合う方向へパッド支持部材を付勢する複数の付勢
手段を有する摺動規制手段を用い、パッド支持部材がス
ライドシャフトを軸に回動されることにより、パッド側
ラックが付勢手段に抗してピッチ固定ラックから開離さ
れるようにしたものである。
装置は、フレーム搬送板に設けられているピッチ固定ラ
ック、パッド支持部材に設けられ、ピッチ固定ラックと
噛み合う複数のパッド側ラック、及びパッド支持部材に
それぞれ設けられ、パッド側ラックがピッチ固定ラック
と噛み合う方向へパッド支持部材を付勢する複数の付勢
手段を有する摺動規制手段を用い、パッド支持部材がス
ライドシャフトを軸に回動されることにより、パッド側
ラックが付勢手段に抗してピッチ固定ラックから開離さ
れるようにしたものである。
【0008】請求項3の発明に係るリードフレーム移送
装置は、パッドシフト用サーボアクチュエータ、このパ
ッドシフト用サーボアクチュエータによりスライドシャ
フトと平行に移動されるエアシリンダ、及びエアシリン
ダにより前進・後退され、前進位置でパッド支持部材に
係合するホルダを有するパッド移動機構を用いたもので
ある。
装置は、パッドシフト用サーボアクチュエータ、このパ
ッドシフト用サーボアクチュエータによりスライドシャ
フトと平行に移動されるエアシリンダ、及びエアシリン
ダにより前進・後退され、前進位置でパッド支持部材に
係合するホルダを有するパッド移動機構を用いたもので
ある。
【0009】請求項4の発明に係るリードフレーム移送
装置は、スライドシャフトが、軸方向に互いに間隔をお
いて配置されている第1及び第2のスライドシャフトを
有し、パッド支持部材が、第1のスライドシャフトに摺
動自在に取り付けられた第1のパッド支持部材と、第2
のスライドシャフトに摺動自在に取り付けられた第2の
パッド支持部材とを有し、各第2のパッド支持部材は、
対応する位置の第1のパッド支持部材にそれぞれ連結部
材を介して連結されているものである。
装置は、スライドシャフトが、軸方向に互いに間隔をお
いて配置されている第1及び第2のスライドシャフトを
有し、パッド支持部材が、第1のスライドシャフトに摺
動自在に取り付けられた第1のパッド支持部材と、第2
のスライドシャフトに摺動自在に取り付けられた第2の
パッド支持部材とを有し、各第2のパッド支持部材は、
対応する位置の第1のパッド支持部材にそれぞれ連結部
材を介して連結されているものである。
【0010】請求項5の発明に係るリードフレーム移送
装置は、複数のパッケージ部が形成されているリードフ
レームを移送するものであって、フレーム搬送板、この
フレーム搬送板を上下動させるとともに水平方向へ移動
させる駆動手段、フレーム搬送板に設けられているスラ
イドシャフト、このスライドシャフトにそれぞれ摺動自
在に取り付けられている複数のパッド支持部材、これら
のパッド支持部材にそれぞれ搭載され、パッケージ部を
吸着する複数の吸着パッド、及びパッド支持部材の一部
がそれぞれ挿入される複数の溝がそれぞれ異なる位置に
形成されており、フレーム搬送板に選択的に装着されて
スライドシャフトの軸方向へのパッド支持部材の位置決
めを行う複数の位置決め板を備えたものである。
装置は、複数のパッケージ部が形成されているリードフ
レームを移送するものであって、フレーム搬送板、この
フレーム搬送板を上下動させるとともに水平方向へ移動
させる駆動手段、フレーム搬送板に設けられているスラ
イドシャフト、このスライドシャフトにそれぞれ摺動自
在に取り付けられている複数のパッド支持部材、これら
のパッド支持部材にそれぞれ搭載され、パッケージ部を
吸着する複数の吸着パッド、及びパッド支持部材の一部
がそれぞれ挿入される複数の溝がそれぞれ異なる位置に
形成されており、フレーム搬送板に選択的に装着されて
スライドシャフトの軸方向へのパッド支持部材の位置決
めを行う複数の位置決め板を備えたものである。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
について説明する。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1によるリ
ードフレーム移送装置を有するレーザマーキング装置を
示す斜視図、図2は図1の要部平面図である。図におい
て、ベース11上には、互いに同様の構造を有する供給
部12及び排出部13が設けられている。また、供給部
12と排出部13との間には、インデックスユニット1
4が設けられている。供給部12及び排出部13には、
それぞれモールド済みの複数のリードフレーム21(図
3)を収容可能な複数のマガジン15が置かれている。
について説明する。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1によるリ
ードフレーム移送装置を有するレーザマーキング装置を
示す斜視図、図2は図1の要部平面図である。図におい
て、ベース11上には、互いに同様の構造を有する供給
部12及び排出部13が設けられている。また、供給部
12と排出部13との間には、インデックスユニット1
4が設けられている。供給部12及び排出部13には、
それぞれモールド済みの複数のリードフレーム21(図
3)を収容可能な複数のマガジン15が置かれている。
【0012】供給部12、排出部13及びインデックス
ユニット14の上方には、リードフレーム21を移送す
るリードフレーム移送装置、即ち移送装置16が設けら
れている。インデックスユニット14の近傍には、リー
ドフレーム10の長手方向の位置決めを行うフレーム位
置決め機構17が設けられている。インデックスユニッ
ト14の上方には、リードフレーム10に対してレーザ
マーキング加工を施すレーザ照射部(レーザマーカ)1
8と、リードフレーム10を画像検出する画像検出装置
19とが設けられている。なお、図1では、移送装置1
6及び画像検出装置19のベース11に対する支持部材
は省略されている。
ユニット14の上方には、リードフレーム21を移送す
るリードフレーム移送装置、即ち移送装置16が設けら
れている。インデックスユニット14の近傍には、リー
ドフレーム10の長手方向の位置決めを行うフレーム位
置決め機構17が設けられている。インデックスユニッ
ト14の上方には、リードフレーム10に対してレーザ
マーキング加工を施すレーザ照射部(レーザマーカ)1
8と、リードフレーム10を画像検出する画像検出装置
19とが設けられている。なお、図1では、移送装置1
6及び画像検出装置19のベース11に対する支持部材
は省略されている。
【0013】ベース11の側方には、レーザ照射部18
を運転するための電源ユニット20が設けられている。
この電源ユニット20には、モニタ20Aが設けられて
いる。また、ベース11内には、ベース11上の機器を
制御する制御部25が設けられている。
を運転するための電源ユニット20が設けられている。
この電源ユニット20には、モニタ20Aが設けられて
いる。また、ベース11内には、ベース11上の機器を
制御する制御部25が設けられている。
【0014】次に、図3は図1の装置で加工されるリー
ドフレーム21の一例を示す平面図である。図におい
て、リードフレーム21は、金属製のリードフレーム本
体22と、このリードフレーム本体22にモールドされ
ている複数のパッケージ部23とを有している。リード
フレーム本体22には、リードフレーム21の表裏を検
出するための長穴22aが設けられている。
ドフレーム21の一例を示す平面図である。図におい
て、リードフレーム21は、金属製のリードフレーム本
体22と、このリードフレーム本体22にモールドされ
ている複数のパッケージ部23とを有している。リード
フレーム本体22には、リードフレーム21の表裏を検
出するための長穴22aが設けられている。
【0015】次に、図4は図1のインデックスユニット
14を示す平面図、図5は図4の右方から見たインデッ
クスユニット14の正面図である。図において、インデ
ックスユニット14は、ベース11上に固定されている
ユニット本体41と、このユニット本体41上に回動可
能に設けられている円板上のインデックステーブル42
とを有している。インデックステーブル42上には、リ
ードフレーム21を支持する第1及び第2の支持部4
3,44が設けられている。これら第1及び第2の支持
部43,44の位置は、インデックステーブル42が1
80°回動されることにより待機位置42Aと加工位置
42Bとの間で交互に入れ替えられる。
14を示す平面図、図5は図4の右方から見たインデッ
クスユニット14の正面図である。図において、インデ
ックスユニット14は、ベース11上に固定されている
ユニット本体41と、このユニット本体41上に回動可
能に設けられている円板上のインデックステーブル42
とを有している。インデックステーブル42上には、リ
ードフレーム21を支持する第1及び第2の支持部4
3,44が設けられている。これら第1及び第2の支持
部43,44の位置は、インデックステーブル42が1
80°回動されることにより待機位置42Aと加工位置
42Bとの間で交互に入れ替えられる。
【0016】第1及び第2の支持部43,44は、一対
のフレーム受け43a,43b,44a,44bをそれ
ぞれ有している。これらのフレーム受け43a,43
b,44a,44bは、一対のガイドレール45に沿っ
て図4の上下方向(図5の左右方向)へそれぞれ移動可
能になっており、これによりフレーム受け43a,43
bの間隔と、フレーム受け44a,44bの間隔とがリ
ードフレーム21の幅に応じてそれぞれ調整可能になっ
ている。
のフレーム受け43a,43b,44a,44bをそれ
ぞれ有している。これらのフレーム受け43a,43
b,44a,44bは、一対のガイドレール45に沿っ
て図4の上下方向(図5の左右方向)へそれぞれ移動可
能になっており、これによりフレーム受け43a,43
bの間隔と、フレーム受け44a,44bの間隔とがリ
ードフレーム21の幅に応じてそれぞれ調整可能になっ
ている。
【0017】次に、図6は図1の移送装置16を示す平
面図、図7は図6の要部正面図、図8は図6のVIII
−VIII線断面図である。図において、支持板71上
には、サーボアクチュエータ72及びガイドレール72
Aが設けられている。フレーム搬送板73は、サーボア
クチュエータ72によりガイドレール72Aに沿って図
6の左右方向へ往復動される。サーボアクチュエータ7
2とフレーム搬送板73との間には、フレーム搬送板7
3を上下動させる昇降用エアシリンダ74が設けられて
いる。駆動手段91は、サーボアクチュエータ72と昇
降用エアシリンダ74とを有している。
面図、図7は図6の要部正面図、図8は図6のVIII
−VIII線断面図である。図において、支持板71上
には、サーボアクチュエータ72及びガイドレール72
Aが設けられている。フレーム搬送板73は、サーボア
クチュエータ72によりガイドレール72Aに沿って図
6の左右方向へ往復動される。サーボアクチュエータ7
2とフレーム搬送板73との間には、フレーム搬送板7
3を上下動させる昇降用エアシリンダ74が設けられて
いる。駆動手段91は、サーボアクチュエータ72と昇
降用エアシリンダ74とを有している。
【0018】フレーム搬送板73には、第1及び第2の
スライドシャフト75,76が互いに軸方向へ間隔をお
いて同軸上に固定されている。スライドシャフト75,
76は、それぞれ複数のシャフト支持板77を介してフ
レーム搬送板73に取り付けられている。第1のスライ
ドシャフト75には、支持板71の開口部71aを貫通
する4個の第1のパッド支持部材78aが、第2のスラ
イドシャフト76には、開口部71aを貫通する4個の
第2のパッド支持部材78bが、それぞれ摺動自在に取
り付けられている。
スライドシャフト75,76が互いに軸方向へ間隔をお
いて同軸上に固定されている。スライドシャフト75,
76は、それぞれ複数のシャフト支持板77を介してフ
レーム搬送板73に取り付けられている。第1のスライ
ドシャフト75には、支持板71の開口部71aを貫通
する4個の第1のパッド支持部材78aが、第2のスラ
イドシャフト76には、開口部71aを貫通する4個の
第2のパッド支持部材78bが、それぞれ摺動自在に取
り付けられている。
【0019】各第1のパッド支持部材78aには、パッ
ド側ラック79が設けられており、これらのパッド側ラ
ック79は、フレーム搬送板73に設けられたピッチ固
定ラック80と噛み合っている。また、各第1のパッド
支持部材78aには、フレーム搬送板73を押圧するこ
とにより、パッド側ラック79をピッチ固定ラック80
側へ付勢する付勢手段としてのボールプランジャ81が
それぞれ設けられている。摺動規制手段92は、パッド
側ラック79、ピッチ固定ラック80及びボールプラン
ジャ81を有している。
ド側ラック79が設けられており、これらのパッド側ラ
ック79は、フレーム搬送板73に設けられたピッチ固
定ラック80と噛み合っている。また、各第1のパッド
支持部材78aには、フレーム搬送板73を押圧するこ
とにより、パッド側ラック79をピッチ固定ラック80
側へ付勢する付勢手段としてのボールプランジャ81が
それぞれ設けられている。摺動規制手段92は、パッド
側ラック79、ピッチ固定ラック80及びボールプラン
ジャ81を有している。
【0020】第1のパッド支持部材78aには、リード
フレーム21を吸着保持する第1の吸着パッド82aが
それぞれ搭載されている。第2のパッド支持部材78b
には、リードフレーム21を吸着保持する第1の吸着パ
ッド82bがそれぞれ搭載されている。また、図7に示
すように、4個の第1の吸着パッド82aにより第1の
吸着パッド群82Aが構成されている。同様に、4個の
第2の吸着パッド82bにより第2の吸着パッド群82
Bが構成されている。リードフレーム21は、第1の吸
着パッド群82Aにより供給部12から待機位置42A
に移送され、第2の吸着パッド群82Bにより待機位置
42Aから排出部13に移送される。
フレーム21を吸着保持する第1の吸着パッド82aが
それぞれ搭載されている。第2のパッド支持部材78b
には、リードフレーム21を吸着保持する第1の吸着パ
ッド82bがそれぞれ搭載されている。また、図7に示
すように、4個の第1の吸着パッド82aにより第1の
吸着パッド群82Aが構成されている。同様に、4個の
第2の吸着パッド82bにより第2の吸着パッド群82
Bが構成されている。リードフレーム21は、第1の吸
着パッド群82Aにより供給部12から待機位置42A
に移送され、第2の吸着パッド群82Bにより待機位置
42Aから排出部13に移送される。
【0021】第2のパッド支持部材78bは、対応する
位置の第1のパッド支持部材78aに連結部材83a〜
83dを介して連結されている。例えば、図7で最も左
に位置する第2のパッド支持部材78bは、同様に最も
左に位置する第1のパッド支持部材78aに連結部材8
3aを介して連結されている。従って、連結部材83a
〜83dにより連結された吸着パッド82a,82b
は、スライドシャフト75,76上を常に同方向へ同量
だけ摺動される。
位置の第1のパッド支持部材78aに連結部材83a〜
83dを介して連結されている。例えば、図7で最も左
に位置する第2のパッド支持部材78bは、同様に最も
左に位置する第1のパッド支持部材78aに連結部材8
3aを介して連結されている。従って、連結部材83a
〜83dにより連結された吸着パッド82a,82b
は、スライドシャフト75,76上を常に同方向へ同量
だけ摺動される。
【0022】支持板71上には、パッドシフト用サーボ
アクチュエータ84が設けられている。エアシリンダ8
5は、パッドシフト用サーボアクチュエータ84により
図6の左右方向へ移動される。エアシリンダ85には、
パッド支持部材78の上端部に係合するホルダ86が設
けられている。パッド移動機構93は、パッドシフト用
サーボアクチュエータ84、エアシリンダ85及びホル
ダ86を有している。
アクチュエータ84が設けられている。エアシリンダ8
5は、パッドシフト用サーボアクチュエータ84により
図6の左右方向へ移動される。エアシリンダ85には、
パッド支持部材78の上端部に係合するホルダ86が設
けられている。パッド移動機構93は、パッドシフト用
サーボアクチュエータ84、エアシリンダ85及びホル
ダ86を有している。
【0023】次に、全体の動作について説明する。供給
部12のマガジン15に収容されたレーザマーキング加
工前のリードフレーム21は、移送装置16により吸着
され、インデックステーブル42上の待機位置42Aへ
移送され、フレーム位置決め機構17により長手方向の
位置決めが行われた後、支持部43,44上に保持され
る。この状態で、画像検出装置19により長穴22aが
検出され、リードフレーム21の方向及び表裏が確認さ
れる。また、画像検出装置19によりリードピッチが検
出され、リードフレーム21の種類が確認される。
部12のマガジン15に収容されたレーザマーキング加
工前のリードフレーム21は、移送装置16により吸着
され、インデックステーブル42上の待機位置42Aへ
移送され、フレーム位置決め機構17により長手方向の
位置決めが行われた後、支持部43,44上に保持され
る。この状態で、画像検出装置19により長穴22aが
検出され、リードフレーム21の方向及び表裏が確認さ
れる。また、画像検出装置19によりリードピッチが検
出され、リードフレーム21の種類が確認される。
【0024】画像検出装置19による画像検出の後、イ
ンデックステーブル42が180°回動されることによ
り、レーザマーキング加工前のリードフレーム21は、
加工位置42Bへ移動され、レーザ照射部18により全
てのパッケージ部23にレーザマーキング加工が施され
る。加工後、インデックステーブル42が180°反転
され、加工後のリードフレーム21が待機位置42Aに
移動される。そして、画像検出装置19によりマークの
有無(欠け、抜け)が検出される。なお、加工前後の画
像検出で異常が発見された場合には、モニタ20Aにエ
ラー表示が出され、装置の運転が停止される。
ンデックステーブル42が180°回動されることによ
り、レーザマーキング加工前のリードフレーム21は、
加工位置42Bへ移動され、レーザ照射部18により全
てのパッケージ部23にレーザマーキング加工が施され
る。加工後、インデックステーブル42が180°反転
され、加工後のリードフレーム21が待機位置42Aに
移動される。そして、画像検出装置19によりマークの
有無(欠け、抜け)が検出される。なお、加工前後の画
像検出で異常が発見された場合には、モニタ20Aにエ
ラー表示が出され、装置の運転が停止される。
【0025】この後、レーザマーキング加工後のリード
フレーム21は、移送装置16の吸着パッド群82Bに
より排出部13のマガジン15内に移送される。このレ
ーザマーキング加工後のリードフレーム21の移送と同
時に、同じ移送装置16の吸着パッド群82Aにより供
給部12から次のリードフレーム21が待機位置42A
に移送される。
フレーム21は、移送装置16の吸着パッド群82Bに
より排出部13のマガジン15内に移送される。このレ
ーザマーキング加工後のリードフレーム21の移送と同
時に、同じ移送装置16の吸着パッド群82Aにより供
給部12から次のリードフレーム21が待機位置42A
に移送される。
【0026】また、リードフレーム21の種類変更に伴
い吸着パッド82a,82bの間隔をそれぞれ変更する
場合、ホルダ86がエアシリンダ85により図6の上方
へ移動され第1のパッド支持部材78aに係合される。
第1のパッド支持部材78aは、ホルダ86により押圧
され、ボールプランジャ81に逆らって回動され、これ
によりパッド側ラック79がピッチ固定ラック80から
開離される。この状態で、エアシリンダ85がパッドシ
フト用サーボアクチュエータ84により移動されること
により、第1のパッド支持部材78aがスライドシャフ
ト75に沿って摺動される。
い吸着パッド82a,82bの間隔をそれぞれ変更する
場合、ホルダ86がエアシリンダ85により図6の上方
へ移動され第1のパッド支持部材78aに係合される。
第1のパッド支持部材78aは、ホルダ86により押圧
され、ボールプランジャ81に逆らって回動され、これ
によりパッド側ラック79がピッチ固定ラック80から
開離される。この状態で、エアシリンダ85がパッドシ
フト用サーボアクチュエータ84により移動されること
により、第1のパッド支持部材78aがスライドシャフ
ト75に沿って摺動される。
【0027】第1のパッド支持部材78aが所定の位置
まで摺動された後、ホルダ86が後退されることによ
り、パッド側ラック79がピッチ固定ラック80に噛み
合い、スライドシャフト75の軸方向への第1のパッド
支持部材78の位置が固定される。このようにして、第
1の吸着パッド82aの間隔が順次調整されることによ
り、第2の吸着パッド82bの間隔も自動的に順次調整
される。このような吸着パッド82a,82bの間隔調
整動作は、リードフレーム21の種類に関する情報を制
御部25に入力することにより、予め記憶されている情
報に基づいて自動的に行われる。
まで摺動された後、ホルダ86が後退されることによ
り、パッド側ラック79がピッチ固定ラック80に噛み
合い、スライドシャフト75の軸方向への第1のパッド
支持部材78の位置が固定される。このようにして、第
1の吸着パッド82aの間隔が順次調整されることによ
り、第2の吸着パッド82bの間隔も自動的に順次調整
される。このような吸着パッド82a,82bの間隔調
整動作は、リードフレーム21の種類に関する情報を制
御部25に入力することにより、予め記憶されている情
報に基づいて自動的に行われる。
【0028】上記のようなリードフレーム移送装置16
によれば、リードフレーム21の種類の変更に伴う吸着
パッド82a,82bの位置調整を短時間で容易に、し
かも高精度で行うことができる。また、第1のパッド支
持部材78aと対応する第2のパッド支持部材78bと
が連結部材83a〜83dにより互いに連結されている
ので、第1のパッド支持部材78aの位置を調整するだ
けで第2のパッド支持部材78bの位置も自動的に調整
され、調整作業が短時間で済むとともに、パッド移動機
構93を小形化することができる。
によれば、リードフレーム21の種類の変更に伴う吸着
パッド82a,82bの位置調整を短時間で容易に、し
かも高精度で行うことができる。また、第1のパッド支
持部材78aと対応する第2のパッド支持部材78bと
が連結部材83a〜83dにより互いに連結されている
ので、第1のパッド支持部材78aの位置を調整するだ
けで第2のパッド支持部材78bの位置も自動的に調整
され、調整作業が短時間で済むとともに、パッド移動機
構93を小形化することができる。
【0029】なお、上記の例では、パッド側ラック79
とピッチ固定ラック80とを有する摺動規制手段92を
示したが、これに限定されるものではなく、例えば摩擦
材を用いたものや、磁石により吸着させるものでもよ
い。また、上記の例では、第1のパッド支持部材78a
のみに摺動規制手段92を設けたが、第1及び第2のパ
ッド支持部材78a,78bの両方に設けてもよい。
とピッチ固定ラック80とを有する摺動規制手段92を
示したが、これに限定されるものではなく、例えば摩擦
材を用いたものや、磁石により吸着させるものでもよ
い。また、上記の例では、第1のパッド支持部材78a
のみに摺動規制手段92を設けたが、第1及び第2のパ
ッド支持部材78a,78bの両方に設けてもよい。
【0030】さらに、各吸着パッド82a,82bの個
数は上記の例に限定されるものではない。さらにまた、
上記の例では、レーザマーキング装置にリードフレーム
移送装置16を設けたが、他の装置に適用してもよい。
数は上記の例に限定されるものではない。さらにまた、
上記の例では、レーザマーキング装置にリードフレーム
移送装置16を設けたが、他の装置に適用してもよい。
【0031】実施の形態2.次に、図9はこの発明の実
施の形態2によるリードフレーム移送装置を示す正面
図、図10は図9の平面図、図11は図9の右側面図で
ある。図において、フレーム搬送板31は、昇降用エア
シリンダ32により上下動されるとともに、エアスライ
ド機構33により図10の左右方向へ移動される。駆動
手段30は、昇降用エアシリンダ32及びエアスライド
機構33を有している。フレーム搬送板31には、シャ
フト支持板34を介して一対の第1のスライドシャフト
35と一対の第2のスライドシャフト36とが取り付け
られている。
施の形態2によるリードフレーム移送装置を示す正面
図、図10は図9の平面図、図11は図9の右側面図で
ある。図において、フレーム搬送板31は、昇降用エア
シリンダ32により上下動されるとともに、エアスライ
ド機構33により図10の左右方向へ移動される。駆動
手段30は、昇降用エアシリンダ32及びエアスライド
機構33を有している。フレーム搬送板31には、シャ
フト支持板34を介して一対の第1のスライドシャフト
35と一対の第2のスライドシャフト36とが取り付け
られている。
【0032】第1のスライドシャフト35及び第2のス
ライドシャフト36には、それぞれ5個ずつのパッド支
持部材37が摺動自在に取り付けられている。各パッド
支持部材37には、リードフレーム21のパッケージ部
23を吸着する吸着パッド38がそれぞれ搭載されてい
る。
ライドシャフト36には、それぞれ5個ずつのパッド支
持部材37が摺動自在に取り付けられている。各パッド
支持部材37には、リードフレーム21のパッケージ部
23を吸着する吸着パッド38がそれぞれ搭載されてい
る。
【0033】フレーム搬送板31の前面には、位置決め
板(テンプレート)39が締付ねじ40により取り付け
られている。位置決め板39には、図12に示すよう
に、各パッド支持部材37の一部が挿入される複数の溝
39aが設けられている。このような位置決め板39は
複数用意されており、それぞれの位置決め板39の溝3
9aの位置は、リードフレーム21の種類に対応して互
いに異なっている。移送装置以外の構成は、実施の形態
1と同様である。
板(テンプレート)39が締付ねじ40により取り付け
られている。位置決め板39には、図12に示すよう
に、各パッド支持部材37の一部が挿入される複数の溝
39aが設けられている。このような位置決め板39は
複数用意されており、それぞれの位置決め板39の溝3
9aの位置は、リードフレーム21の種類に対応して互
いに異なっている。移送装置以外の構成は、実施の形態
1と同様である。
【0034】このようなリードフレーム移送装置では、
リードフレーム21の種類変更に伴い吸着パッド38の
間隔をそれぞれ変更する場合、締付ねじ40を緩めて位
置決め板39を取り外す。この後、リードフレーム21
の種類に対応した別の位置決め板39をフレーム搬送板
31の前面に装着するとともに、溝39aにパッド支持
部材37を挿入し、締付ねじ40を締め付ける。これに
より、吸着パッド38の位置を短時間で容易に調整する
ことができる。
リードフレーム21の種類変更に伴い吸着パッド38の
間隔をそれぞれ変更する場合、締付ねじ40を緩めて位
置決め板39を取り外す。この後、リードフレーム21
の種類に対応した別の位置決め板39をフレーム搬送板
31の前面に装着するとともに、溝39aにパッド支持
部材37を挿入し、締付ねじ40を締め付ける。これに
より、吸着パッド38の位置を短時間で容易に調整する
ことができる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明の
リードフレーム移送装置は、パッド支持部材の摺動を規
制する摺動規制手段をフレーム搬送板に設け、摺動規制
手段による規制を解除してパッド支持部材をスライドシ
ャフトに沿って移動させるパッド移動機構を設け、リー
ドフレームの情報を制御部に入力することにより、パッ
ド移動機構が制御され、全てのパッド支持部材の位置が
自動的に調整されるようにしたので、リードフレームの
種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で容易に
行うことができる。
リードフレーム移送装置は、パッド支持部材の摺動を規
制する摺動規制手段をフレーム搬送板に設け、摺動規制
手段による規制を解除してパッド支持部材をスライドシ
ャフトに沿って移動させるパッド移動機構を設け、リー
ドフレームの情報を制御部に入力することにより、パッ
ド移動機構が制御され、全てのパッド支持部材の位置が
自動的に調整されるようにしたので、リードフレームの
種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で容易に
行うことができる。
【0036】請求項2の発明のリードフレーム移送装置
は、フレーム搬送板に設けられているピッチ固定ラッ
ク、パッド支持部材にそれぞれ設けられ、ピッチ固定ラ
ックと噛み合う複数のパッド側ラック、及びパッド支持
部材にそれぞれ設けられ、パッド側ラックがピッチ固定
ラックと噛み合う方向へパッド支持部材を付勢する複数
の付勢手段を有する摺動規制手段を用い、パッド支持部
材がスライドシャフトを軸に回動されることにより、パ
ッド側ラックが付勢手段に抗してピッチ固定ラックから
開離されるようにしたので、簡単な構造で、より確実に
パッド支持部材の位置を固定することができる。
は、フレーム搬送板に設けられているピッチ固定ラッ
ク、パッド支持部材にそれぞれ設けられ、ピッチ固定ラ
ックと噛み合う複数のパッド側ラック、及びパッド支持
部材にそれぞれ設けられ、パッド側ラックがピッチ固定
ラックと噛み合う方向へパッド支持部材を付勢する複数
の付勢手段を有する摺動規制手段を用い、パッド支持部
材がスライドシャフトを軸に回動されることにより、パ
ッド側ラックが付勢手段に抗してピッチ固定ラックから
開離されるようにしたので、簡単な構造で、より確実に
パッド支持部材の位置を固定することができる。
【0037】請求項3の発明のリードフレーム移送装置
は、パッドシフト用サーボアクチュエータ、このパッド
シフト用サーボアクチュエータによりスライドシャフト
と平行に移動されるエアシリンダ、及びエアシリンダに
より前進・後退され、前進位置で支持部材に係合するホ
ルダを有するパッド移動機構を用いたので、簡単な構造
で、支持部材の移動をスムーズに行うことができる。
は、パッドシフト用サーボアクチュエータ、このパッド
シフト用サーボアクチュエータによりスライドシャフト
と平行に移動されるエアシリンダ、及びエアシリンダに
より前進・後退され、前進位置で支持部材に係合するホ
ルダを有するパッド移動機構を用いたので、簡単な構造
で、支持部材の移動をスムーズに行うことができる。
【0038】請求項4の発明のリードフレーム移送装置
は、第1のパッド支持部材を複数の連結部材によりそれ
ぞれ対応する位置の第2のパッド支持部材に連結したの
で、第1のパッド支持部材の位置を調整するだけで第2
のパッド支持部材の位置も自動的に調整され、調整作業
が短時間で済むとともに、パッド移動機構を小形化する
ことができる。
は、第1のパッド支持部材を複数の連結部材によりそれ
ぞれ対応する位置の第2のパッド支持部材に連結したの
で、第1のパッド支持部材の位置を調整するだけで第2
のパッド支持部材の位置も自動的に調整され、調整作業
が短時間で済むとともに、パッド移動機構を小形化する
ことができる。
【0039】請求項5の発明のリードフレーム移送装置
は、パッド支持部材の一部がそれぞれ挿入される複数の
溝がそれぞれ異なる位置に形成されている位置決め板
を、フレーム搬送板に選択的に装着することにより、ス
ライドシャフトの軸方向へのパッド支持部材の位置決め
を行うようにしたので、簡単な構造により、リードフレ
ームの種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で
容易に行うことができる。
は、パッド支持部材の一部がそれぞれ挿入される複数の
溝がそれぞれ異なる位置に形成されている位置決め板
を、フレーム搬送板に選択的に装着することにより、ス
ライドシャフトの軸方向へのパッド支持部材の位置決め
を行うようにしたので、簡単な構造により、リードフレ
ームの種類変更に伴う吸着パッドの位置調整を短時間で
容易に行うことができる。
【図1】 この発明の実施の形態1によるリードフレー
ム移送装置を有するレーザマーキング装置を示す斜視図
である。
ム移送装置を有するレーザマーキング装置を示す斜視図
である。
【図2】 図1の要部平面図である。
【図3】 図1の装置で加工されるリードフレームの一
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図4】 図1のインデックスユニットを示す平面図で
ある。
ある。
【図5】 図4の右方から見たインデックスユニットの
正面図である。
正面図である。
【図6】 図1のリードフレーム移送装置を示す平面図
である。
である。
【図7】 図6の要部正面図である。
【図8】 図6のVIII−VIII線断面図である。
【図9】 この発明の実施の形態2によるリードフレー
ム移送装置を示す正面図である。
ム移送装置を示す正面図である。
【図10】 図9の平面図である。
【図11】 図9の右側面図である。
【図12】 図9の位置決め板を示す正面図である。
【図13】 従来のレーザマーキング装置の一例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図14】 図13の装置を示す平面図である。
【図15】 図13の装置を示す側面図である。
21 リードフレーム、23 パッケージ部、25 制
御部、30,91 駆動手段、31,73 フレーム搬
送板、35,75 第1のスライドシャフト、36,7
6 第2のスライドシャフト、37 パッド支持部材、
38 吸着パッド、39 位置決め板、39a 溝、7
8a 第1のパッド支持部材、78b第2のパッド支持
部材、79 パッド側ラック、80 ピッチ固定ラッ
ク、81ボールプランジャ(付勢手段)、82a 第1
の吸着パッド、82b 第2の吸着パッド、82A 第
1の吸着パッド群、82B 第2の吸着パッド群、83
a〜83d 連結部材、84 パッドシフト用サーボア
クチュエータ、85 エアシリンダ、86 ホルダ、9
2 摺動規制手段、93 パッド移動機構。
御部、30,91 駆動手段、31,73 フレーム搬
送板、35,75 第1のスライドシャフト、36,7
6 第2のスライドシャフト、37 パッド支持部材、
38 吸着パッド、39 位置決め板、39a 溝、7
8a 第1のパッド支持部材、78b第2のパッド支持
部材、79 パッド側ラック、80 ピッチ固定ラッ
ク、81ボールプランジャ(付勢手段)、82a 第1
の吸着パッド、82b 第2の吸着パッド、82A 第
1の吸着パッド群、82B 第2の吸着パッド群、83
a〜83d 連結部材、84 パッドシフト用サーボア
クチュエータ、85 エアシリンダ、86 ホルダ、9
2 摺動規制手段、93 パッド移動機構。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松村 慎一 熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番10号 三菱電機熊本セミコンダクタ株式 会社内
Claims (5)
- 【請求項1】 複数のパッケージ部が形成されているリ
ードフレームを移送するリードフレーム移送装置であっ
て、 フレーム搬送板、 このフレーム搬送板を上下動させるとともに水平方向へ
移動させる駆動手段、上記フレーム搬送板に設けられて
いるスライドシャフト、 このスライドシャフトにそれぞれ摺動自在に取り付けら
れている複数のパッド支持部材、 上記パッド支持部材にそれぞれ搭載され、上記パッケー
ジ部を吸着する複数の吸着パッド、 上記フレーム搬送板に設けられ、上記パッド支持部材の
摺動を規制する摺動規制手段、 上記摺動規制手段による規制を解除して上記パッド支持
部材を上記スライドシャフトに沿って移動させるパッド
移動機構、及び上記リードフレームの情報が入力される
ことにより、上記パッド移動機構を制御し、全ての上記
パッド支持部材の位置を自動的に調整する制御部を備え
ていることを特徴とするリードフレーム移送装置。 - 【請求項2】 摺動規制手段は、 フレーム搬送板に設けられているピッチ固定ラック、 パッド支持部材に設けられ、上記ピッチ固定ラックと噛
み合う複数のパッド側ラック、及び上記パッド支持部材
にそれぞれ設けられ、上記パッド側ラックが上記ピッチ
固定ラックと噛み合う方向へ上記パッド支持部材を付勢
する複数の付勢手段を有しており、 上記パッド支持部材がスライドシャフトを軸に回動され
ることにより、上記パッド側ラックが上記付勢手段に抗
して上記ピッチ固定ラックから開離されることを特徴と
する請求項1記載のリードフレーム移送装置。 - 【請求項3】 パッド移動機構は、 パッドシフト用サーボアクチュエータ、 このパッドシフト用サーボアクチュエータによりスライ
ドシャフトと平行に移動されるエアシリンダ、及び上記
エアシリンダにより前進・後退され、前進位置でパッド
支持部材に係合するホルダを有していることを特徴とす
る請求項1又は請求項2に記載のリードフレーム移送装
置。 - 【請求項4】 スライドシャフトは、軸方向に互いに間
隔をおいて配置されている第1及び第2のスライドシャ
フトを有し、パッド支持部材は、上記第1のスライドシ
ャフトに摺動自在に取り付けられた第1のパッド支持部
材と、上記第2のスライドシャフトに摺動自在に取り付
けられた第2のパッド支持部材とを有し、上記各第2の
パッド支持部材は、対応する位置の上記第1のパッド支
持部材にそれぞれ連結部材を介して連結されていること
を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載
のリードフレーム移送装置。 - 【請求項5】 複数のパッケージ部が形成されているリ
ードフレームを移送するリードフレーム移送装置であっ
て、 フレーム搬送板、 このフレーム搬送板を上下動させるとともに水平方向へ
移動させる駆動手段、 上記フレーム搬送板に設けられているスライドシャフ
ト、 このスライドシャフトにそれぞれ摺動自在に取り付けら
れている複数のパッド支持部材、 これらのパッド支持部材にそれぞれ搭載され、上記パッ
ケージ部を吸着する複数の吸着パッド、及び上記パッド
支持部材の一部がそれぞれ挿入される複数の溝がそれぞ
れ異なる位置に形成されており、上記フレーム搬送板に
選択的に装着されて上記スライドシャフトの軸方向への
上記パッド支持部材の位置決めを行う複数の位置決め板
を備えていることを特徴とするリードフレーム移送装
置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9332092A JPH11163000A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | リードフレーム移送装置 |
US09/080,724 US6131721A (en) | 1997-12-02 | 1998-05-21 | Lead frame transporting apparatus |
TW087108297A TW420830B (en) | 1997-12-02 | 1998-05-28 | Lead frame transporting apparatus |
KR1019980027740A KR100274856B1 (ko) | 1997-12-02 | 1998-07-10 | 리이드프레임 이송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9332092A JPH11163000A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | リードフレーム移送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11163000A true JPH11163000A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=18251059
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9332092A Pending JPH11163000A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | リードフレーム移送装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6131721A (ja) |
JP (1) | JPH11163000A (ja) |
KR (1) | KR100274856B1 (ja) |
TW (1) | TW420830B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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