JPH11162388A - 荷電粒子線装置における試料装置 - Google Patents
荷電粒子線装置における試料装置Info
- Publication number
- JPH11162388A JPH11162388A JP9330418A JP33041897A JPH11162388A JP H11162388 A JPH11162388 A JP H11162388A JP 9330418 A JP9330418 A JP 9330418A JP 33041897 A JP33041897 A JP 33041897A JP H11162388 A JPH11162388 A JP H11162388A
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- JP
- Japan
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- sample holding
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 120
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の観察や分析が良好に行える試料装置を
提供すること。 【解決手段】 10はベースで、ベース10には貫通孔
11が設けられている。貫通孔11には下側からネジ1
2がねじ込まれている一方、上側から回転部材13がは
め入れられている。ネジ12が右に回転されると、ネジ
12に受け止められている回転部材13は上昇する。逆
に、ネジ12が左に回転されると、ネジ12は下降し、
それに伴って回転部材13も下降する。回転部材13
は、軸Oを軸として回転する回転体14を備えており、
回転体14には、試料保持部材15が着脱可能に取り付
けられている。前記ベース10には、前記試料保持部材
15に接触することにより前記回転部材13の移動を規
制する規制部材17が取り付けられている。
提供すること。 【解決手段】 10はベースで、ベース10には貫通孔
11が設けられている。貫通孔11には下側からネジ1
2がねじ込まれている一方、上側から回転部材13がは
め入れられている。ネジ12が右に回転されると、ネジ
12に受け止められている回転部材13は上昇する。逆
に、ネジ12が左に回転されると、ネジ12は下降し、
それに伴って回転部材13も下降する。回転部材13
は、軸Oを軸として回転する回転体14を備えており、
回転体14には、試料保持部材15が着脱可能に取り付
けられている。前記ベース10には、前記試料保持部材
15に接触することにより前記回転部材13の移動を規
制する規制部材17が取り付けられている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、走査電子顕微鏡
や電子プローブマイクロアナライザ等の荷電粒子線装置
における試料装置に関する。
や電子プローブマイクロアナライザ等の荷電粒子線装置
における試料装置に関する。
【0002】
【従来の技術】 図1は、円筒試料の観察に用いられる
従来の走査電子顕微鏡を示した図である。図1におい
て、X、Y、Z方向に移動可能なステージ1には、円筒
試料2を保持した試料ホルダ3が取り付けられている。
この試料ホルダ3は、ベース4と、ベース4に取り付け
られた回転部材5と、回転部材5の回転体6に取り付け
られた試料保持部材7から構成されている。前記回転体
6は軸Oを軸として回転するように構成されている。
従来の走査電子顕微鏡を示した図である。図1におい
て、X、Y、Z方向に移動可能なステージ1には、円筒
試料2を保持した試料ホルダ3が取り付けられている。
この試料ホルダ3は、ベース4と、ベース4に取り付け
られた回転部材5と、回転部材5の回転体6に取り付け
られた試料保持部材7から構成されている。前記回転体
6は軸Oを軸として回転するように構成されている。
【0003】このような構成において、試料2に電子線を当
てた状態で、試料2を回転させながら前記ステージ1を
軸O方向に移動させ、電子線の照射により試料2から発
生した2次電子信号を試料2の移動に同期させて表示装
置(図示せず)に送れば、円筒試料2の側面の2次電子
像を得ることができる。なお、オペレータは、電子線の
焦点が試料上に来るように、前記ステージ1の高さを調
整している。
てた状態で、試料2を回転させながら前記ステージ1を
軸O方向に移動させ、電子線の照射により試料2から発
生した2次電子信号を試料2の移動に同期させて表示装
置(図示せず)に送れば、円筒試料2の側面の2次電子
像を得ることができる。なお、オペレータは、電子線の
焦点が試料上に来るように、前記ステージ1の高さを調
整している。
【発明が解決しようとする課題】 ところで、図1の走
査電子顕微鏡においては、いろんな径の円筒試料を観察
するために、孔径の異なった複数の試料保持部材が用意
されている。オペレータは、これらの試料保持部材のう
ち、観察する試料に最適な試料保持部材を選んで前記回
転体に取り付けるが、オペレータは、観察する試料の径
が変わると、電子線の焦点が試料上に来るように前記ス
テージの高さを調整しなければならない。このような調
整作業は、オペレータにとって非常に煩わしい作業であ
り、時間がかかる。
査電子顕微鏡においては、いろんな径の円筒試料を観察
するために、孔径の異なった複数の試料保持部材が用意
されている。オペレータは、これらの試料保持部材のう
ち、観察する試料に最適な試料保持部材を選んで前記回
転体に取り付けるが、オペレータは、観察する試料の径
が変わると、電子線の焦点が試料上に来るように前記ス
テージの高さを調整しなければならない。このような調
整作業は、オペレータにとって非常に煩わしい作業であ
り、時間がかかる。
【0004】また、小さい孔径を有する小型の試料保持部材
を用いた試料観察が行われた後で、大きい孔径を有する
大型の試料保持部材を用いた試料観察が行われる場合、
大型の試料保持部材を有する試料ホルダがステージに取
り付けられる際に、ステージの高さが小径の試料の観察
時の高さのままであると、大型の試料保持部材が対物レ
ンズに衝突し、それらが破損してしまうことがある。
を用いた試料観察が行われた後で、大きい孔径を有する
大型の試料保持部材を用いた試料観察が行われる場合、
大型の試料保持部材を有する試料ホルダがステージに取
り付けられる際に、ステージの高さが小径の試料の観察
時の高さのままであると、大型の試料保持部材が対物レ
ンズに衝突し、それらが破損してしまうことがある。
【0005】また、図2に示すように、前記円筒試料2は、
試料保持部材7の孔に差し込まれた後、止めネジ8によ
り試料保持部材7にしっかり固定されるが、図2に示す
ように、試料保持部材7の孔径よりも径の小さい円筒試
料2が試料保持部材7に固定されると、回転体6の回転
軸Oと試料の中心軸は一致しなくなるので、試料の回転
に伴って試料と対物レンズとの距離、すなわちワーキン
グディスタンス(WD)が変化してしまう。この結果、
ピントの合った像が得られなくなる。
試料保持部材7の孔に差し込まれた後、止めネジ8によ
り試料保持部材7にしっかり固定されるが、図2に示す
ように、試料保持部材7の孔径よりも径の小さい円筒試
料2が試料保持部材7に固定されると、回転体6の回転
軸Oと試料の中心軸は一致しなくなるので、試料の回転
に伴って試料と対物レンズとの距離、すなわちワーキン
グディスタンス(WD)が変化してしまう。この結果、
ピントの合った像が得られなくなる。
【0006】本発明はこのような点に鑑みて成されたもの
で、その目的は、試料の観察や分析が良好に行える荷電
粒子線装置における試料装置を提供することにある。
で、その目的は、試料の観察や分析が良好に行える荷電
粒子線装置における試料装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の試料装置は、ベースと、該ベースに上下に移動可
能に取り付けられた回転部材と、該回転部材に取り付け
られると共に筒状試料を保持する保持部材と、前記筒状
試料を所定の高さに配置するための規制部材を備えたこ
とを特徴とする。
発明の試料装置は、ベースと、該ベースに上下に移動可
能に取り付けられた回転部材と、該回転部材に取り付け
られると共に筒状試料を保持する保持部材と、前記筒状
試料を所定の高さに配置するための規制部材を備えたこ
とを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【0009】図3は、本発明の試料装置の一例として示し
た、前記図1のステージ1に取り付けられる試料ホルダ
を示した図であり、図3(b)は図3(a)の矢印A側
から見た図である。
た、前記図1のステージ1に取り付けられる試料ホルダ
を示した図であり、図3(b)は図3(a)の矢印A側
から見た図である。
【0010】図3において、10はベースで、ベース10に
は貫通孔11が設けられている。この貫通孔11には下
側からネジ12がねじ込まれている一方、上側から回転
部材13がはめ入れられており、回転部材13は前記ネ
ジ12に受け止められている。オペレータによってネジ
12が右に回転されると、ネジ12はさらに貫通孔11
の内部に進み、それに伴ってネジ12に受け止められて
いる前記回転部材13は上昇する。逆に、ネジ12が左
に回転されると、ネジ12は下降し、それに伴って回転
部材13も下降する。前記回転部材13は、軸Oを軸と
して回転する回転体14を備えており、回転体14に
は、試料保持部材15が着脱可能に取り付けられてい
る。この試料保持部材15は円筒試料16を保持してい
る。また、前記ベース10には、前記試料保持部材15
に接触することにより前記回転部材13の移動を規制す
る規制部材17が取り付けられている。
は貫通孔11が設けられている。この貫通孔11には下
側からネジ12がねじ込まれている一方、上側から回転
部材13がはめ入れられており、回転部材13は前記ネ
ジ12に受け止められている。オペレータによってネジ
12が右に回転されると、ネジ12はさらに貫通孔11
の内部に進み、それに伴ってネジ12に受け止められて
いる前記回転部材13は上昇する。逆に、ネジ12が左
に回転されると、ネジ12は下降し、それに伴って回転
部材13も下降する。前記回転部材13は、軸Oを軸と
して回転する回転体14を備えており、回転体14に
は、試料保持部材15が着脱可能に取り付けられてい
る。この試料保持部材15は円筒試料16を保持してい
る。また、前記ベース10には、前記試料保持部材15
に接触することにより前記回転部材13の移動を規制す
る規制部材17が取り付けられている。
【0011】図4は、前記試料保持部材15を詳しく説明す
るために示した図であり、図4は試料保持部材15の断
面図である。
るために示した図であり、図4は試料保持部材15の断
面図である。
【0012】図4において、18は、試料16を保持する部
分であるパイプ部であり、その形状は図5のようになっ
ている。図5に示すように、パイプ部18は、テーパ部
19とネジ部20を有している。また、パイプ部18に
は、すり割り(b〜e)が入れられており、このすり割
りによりパイプ部18はバネ性を有する。
分であるパイプ部であり、その形状は図5のようになっ
ている。図5に示すように、パイプ部18は、テーパ部
19とネジ部20を有している。また、パイプ部18に
は、すり割り(b〜e)が入れられており、このすり割
りによりパイプ部18はバネ性を有する。
【0013】図4において、21はネジ部22を有するナッ
ト部であり、ナット部21は前記パイプ部18に螺着さ
れている。このナット部21はテーパ部23を有してお
り、このテーパ部23により前記パイプ部18のテーパ
部19が内側に押され、筒状試料16はパイプ部18に
しっかり固定される。
ト部であり、ナット部21は前記パイプ部18に螺着さ
れている。このナット部21はテーパ部23を有してお
り、このテーパ部23により前記パイプ部18のテーパ
部19が内側に押され、筒状試料16はパイプ部18に
しっかり固定される。
【0014】なお、試料保持部材15は、図6に示すよう
に、パイプ部の孔径の異なるものが複数用意されてい
る。これらの試料保持部材において、パイプ部の試料が
接触する面から、ナット部の外側の面までの距離は、い
ずれもaとなっている。
に、パイプ部の孔径の異なるものが複数用意されてい
る。これらの試料保持部材において、パイプ部の試料が
接触する面から、ナット部の外側の面までの距離は、い
ずれもaとなっている。
【0015】以上、本発明の試料ホルダの構成について説明
したが、次に、円筒試料の試料保持部材への取り付けか
ら、試料ホルダを前記図1のステージ1に取り付けるま
でのオペレータの作業について説明する。
したが、次に、円筒試料の試料保持部材への取り付けか
ら、試料ホルダを前記図1のステージ1に取り付けるま
でのオペレータの作業について説明する。
【0016】まず、オペレータは、観察する円筒試料に最適
な試料保持部材を選び、前記図4に示すように、円筒試
料16を試料保持部材15に取り付ける。次に、オペレ
ータは、前記図3に示すように、試料が取り付けられた
試料保持部材15を前記回転体14に取り付ける。試料
保持部材15は、前記図4に示すように、その中心軸が
試料の中心軸と一致するように構成されているので、図
3に示すように、回転体14の回転軸Oは円筒試料16
の中心軸と一致する。そして、オペレータは、試料保持
部材15のナット部が前記規制部材17に接触する迄、
前記ネジ12を回転させて前記回転部材13を上昇させ
る。以上の作業を行うと、オペレータは、試料ホルダを
前記図1のステージ1に取り付ける。
な試料保持部材を選び、前記図4に示すように、円筒試
料16を試料保持部材15に取り付ける。次に、オペレ
ータは、前記図3に示すように、試料が取り付けられた
試料保持部材15を前記回転体14に取り付ける。試料
保持部材15は、前記図4に示すように、その中心軸が
試料の中心軸と一致するように構成されているので、図
3に示すように、回転体14の回転軸Oは円筒試料16
の中心軸と一致する。そして、オペレータは、試料保持
部材15のナット部が前記規制部材17に接触する迄、
前記ネジ12を回転させて前記回転部材13を上昇させ
る。以上の作業を行うと、オペレータは、試料ホルダを
前記図1のステージ1に取り付ける。
【0017】図7は、その試料ホルダがステージ1に取り付
けられた状態を示した図である。オペレータは、試料ホ
ルダをステージ1に取り付けると、電子線の焦点が試料
上に来るように前記ステージ1の高さを調整する。この
オペレータによる焦点合わせの作業が終了すると、円筒
試料が回転されると共に円筒試料が前記軸O方向に移動
され、円筒試料の側面の2次電子像が得られる。なお、
前記軸Oと電子線の軸は直交する。
けられた状態を示した図である。オペレータは、試料ホ
ルダをステージ1に取り付けると、電子線の焦点が試料
上に来るように前記ステージ1の高さを調整する。この
オペレータによる焦点合わせの作業が終了すると、円筒
試料が回転されると共に円筒試料が前記軸O方向に移動
され、円筒試料の側面の2次電子像が得られる。なお、
前記軸Oと電子線の軸は直交する。
【0018】さて、図7に示す試料の次に、それよりも径の
大きい大径試料を観察する場合、オペレータは、まず図
7の試料ホルダをステージ1から取り外す。次に、オペ
レータは、その大径試料に最適な大型試料保持部材を選
び、大径試料を大型試料保持部材に取り付ける。次に、
オペレータは、大径試料が取り付けられた大型試料保持
部材をそれまでの試料保持部材に代えて前記回転体14
に取り付ける。そして、オペレータは、大型試料保持部
材のナット部が前記規制部材17に接触する迄、前記ネ
ジ12を回転させて前記回転部材13を上昇させる。以
上の作業を行うと、オペレータは、試料ホルダを前記図
1のステージ1に取り付ける。図8は、その試料ホルダ
がステージ1に取り付けられた状態を示した図である。
大きい大径試料を観察する場合、オペレータは、まず図
7の試料ホルダをステージ1から取り外す。次に、オペ
レータは、その大径試料に最適な大型試料保持部材を選
び、大径試料を大型試料保持部材に取り付ける。次に、
オペレータは、大径試料が取り付けられた大型試料保持
部材をそれまでの試料保持部材に代えて前記回転体14
に取り付ける。そして、オペレータは、大型試料保持部
材のナット部が前記規制部材17に接触する迄、前記ネ
ジ12を回転させて前記回転部材13を上昇させる。以
上の作業を行うと、オペレータは、試料ホルダを前記図
1のステージ1に取り付ける。図8は、その試料ホルダ
がステージ1に取り付けられた状態を示した図である。
【0019】図8に示すように、大型試料保持部材は前記規
制部材7に接触しており、また、大型試料保持部材は、
パイプ部の試料が接触する面から、ナット部の外側の面
までの距離は前記aとなっているので、前記ステージ1
の高さがそれまでの高さのままであっても、電子線の焦
点は試料上に位置する。そのため、オペレータは、従来
のような焦点合わせの作業を行わなくて済む。
制部材7に接触しており、また、大型試料保持部材は、
パイプ部の試料が接触する面から、ナット部の外側の面
までの距離は前記aとなっているので、前記ステージ1
の高さがそれまでの高さのままであっても、電子線の焦
点は試料上に位置する。そのため、オペレータは、従来
のような焦点合わせの作業を行わなくて済む。
【0020】また、図8に示すように、大型試料保持部材は
規制部材17に接触して、その位置に位置づけられるた
め、従来のように大型試料保持部材が対物レンズに衝突
する事はない。そのため、試料保持部材と対物レンズが
破損することはない。また、本発明の試料ホルダにおい
ては、パイプ部の孔径よりも小さい径の試料がそのパイ
プ部に取り付けられた場合でも、試料は前記テーパ部に
より内側に押されて試料保持部材にしっかり固定され
る。その際も、試料保持部材の中心軸が試料の中心軸と
一致するので、従来のように試料の回転に伴ってWDが
変化することはない。そのため、ピントの合った像を得
ることができる。
規制部材17に接触して、その位置に位置づけられるた
め、従来のように大型試料保持部材が対物レンズに衝突
する事はない。そのため、試料保持部材と対物レンズが
破損することはない。また、本発明の試料ホルダにおい
ては、パイプ部の孔径よりも小さい径の試料がそのパイ
プ部に取り付けられた場合でも、試料は前記テーパ部に
より内側に押されて試料保持部材にしっかり固定され
る。その際も、試料保持部材の中心軸が試料の中心軸と
一致するので、従来のように試料の回転に伴ってWDが
変化することはない。そのため、ピントの合った像を得
ることができる。
【0021】以上、本発明の試料装置を走査電子顕微鏡に適
用した場合について説明したが、本発明の試料装置は電
子プローブマイクロアナライザ等の他の荷電粒子線装置
にも適用することができる。
用した場合について説明したが、本発明の試料装置は電
子プローブマイクロアナライザ等の他の荷電粒子線装置
にも適用することができる。
【0022】また、上記例においては、規制部材が試料保持
部材に接触することにより、回転部材の移動が規制され
るが、図9に示すように、規制部材が試料保持部材の上
部に位置しないように規制部材をベースに取り付け、規
制部材が試料に直接接触することにより、回転部材の移
動が規制されるようにしても良い。そのようにすれば、
各試料保持部材において、パイプ部の試料が接触する面
から、ナット部の外側の面までの距離を自由に設計する
ことができる。
部材に接触することにより、回転部材の移動が規制され
るが、図9に示すように、規制部材が試料保持部材の上
部に位置しないように規制部材をベースに取り付け、規
制部材が試料に直接接触することにより、回転部材の移
動が規制されるようにしても良い。そのようにすれば、
各試料保持部材において、パイプ部の試料が接触する面
から、ナット部の外側の面までの距離を自由に設計する
ことができる。
【図1】 従来の走査電子顕微鏡を説明するために示し
た図である。
た図である。
【図2】 従来の試料ホルダを説明するために示した図
である。
である。
【図3】 本発明の試料ホルダを示した図である。
【図4】 本発明の試料保持部材の断面図である。
【図5】 図4のパイプ部18を示した図である。
【図6】 本発明の試料保持部材を示した図である。
【図7】 本発明の試料ホルダが走査電子顕微鏡のステ
ージに取り付けられた状態を示した図である。
ージに取り付けられた状態を示した図である。
【図8】 本発明の試料ホルダが走査電子顕微鏡のステ
ージに取り付けられた状態を示した図である。
ージに取り付けられた状態を示した図である。
【図9】 本発明の試料ホルダの他の例を示した図であ
る。
る。
1…ステージ、2…円筒試料、3…試料ホルダ、4…ベ
ース、5…回転部材、6…回転体、7…試料保持部材、
8…止めネジ、10…ベース、11…貫通孔、12…ネ
ジ、13…回転部材、14…回転体、15…試料保持部
材、16…円筒試料、17…規制部材、18…パイプ
部、19…テーパ部、20…ネジ部、21…ナット部、
22…ネジ部、23…テーパ部
ース、5…回転部材、6…回転体、7…試料保持部材、
8…止めネジ、10…ベース、11…貫通孔、12…ネ
ジ、13…回転部材、14…回転体、15…試料保持部
材、16…円筒試料、17…規制部材、18…パイプ
部、19…テーパ部、20…ネジ部、21…ナット部、
22…ネジ部、23…テーパ部
Claims (1)
- 【請求項1】 ベースと、該ベースに上下に移動可能に
取り付けられた回転部材と、該回転部材に取り付けられ
ると共に筒状試料を保持する保持部材と、前記筒状試料
を所定の高さに配置するための規制部材を備えたことを
特徴とする荷電粒子線装置における試料装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9330418A JPH11162388A (ja) | 1997-12-01 | 1997-12-01 | 荷電粒子線装置における試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9330418A JPH11162388A (ja) | 1997-12-01 | 1997-12-01 | 荷電粒子線装置における試料装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11162388A true JPH11162388A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=18232390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9330418A Withdrawn JPH11162388A (ja) | 1997-12-01 | 1997-12-01 | 荷電粒子線装置における試料装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11162388A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014041876A1 (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
-
1997
- 1997-12-01 JP JP9330418A patent/JPH11162388A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014041876A1 (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
JP2014056783A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
US9240305B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-01-19 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device and sample observation method |
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