JPH11159571A - 機械装置、露光装置及び露光装置の運転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 地震発生の際に、露光装置の基礎部に取り付
けられた防振パッド上に取り付けられた装置の主要部、
及び主要部の支持部に流体を介して支持された主要部の
可動部が脱落して装置にダメージを与えないようにす
る。 【解決手段】 露光装置は地震の検知手段と、この検知
手段の出力を利用して主要部を基礎部に固定する第一の
固定手段と、可動部を支持部に固定する第二の固定手段
を備えるので、地震発生の際に、第一及び第二の固定手
段によってそれぞれ主要部及び可動部を固定し、脱落し
ないようにすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は地震に際して、防振
パッド上の主要部又はその主要部の可動部を固定する機
械装置、及び防振パッド上の基板ステージ台又はその基
板ステージ台上の可動部を固定する露光装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】主要部が外部の振動の影響を受けること
を嫌う機械装置の場合は、機械装置の基礎部に防振パッ
ドを取り付けて、その上に主要部を取り付け、主要部を
基礎部から振動的に遮断し、主要部が外部の機械の振動
または近隣の道路等を通行する自動車等による振動の影
響を受けないようにしている。

【０００３】半導体デバイスの製造過程で用いられる露
光装置の場合も同様に外部からの振動の影響を遮断しな
ければならない。このため、露光装置の土台となる底面
の基礎部を露光装置を設置する床面に固定して据え付
け、その基礎部の上に防震パッドを介して、基板を載置
する基板ステージ、基板を保持するホルダー等を含む主
要部を取り付けている。

【０００４】従来の機械装置を図９を用いて説明する
と、機械装置３１の基礎部３２は床面に対して金具３２
Ａを使用して固定されるが、基礎部３１の上に取り付け
られた防振パッド３３上の機械装置３１の主要部３４
（例えば、照明系３４Ａ、レチクルステージ３４Ｂ、投
影レンズ系３４Ｃ、ウェハステージ３４Ｄ、架台３５Ｅ
及び定盤３５Ｆを含む）はその設置後に固定されること
は無く、まったくの自由状態か、機械装置３１の主要部
３４の定盤３４Ｆに固定した固定用腕３５の移動範囲に
機械的制限を設けるための締結部３６とを備えるように
している。

【０００５】ところで、近年のステッパを有する露光装
置では、本体内部に図６に示す様なエアーガイドを使用
したステージ機構を採用し、支持台１７とその両端に取
り付けられたガイドカバー１８とからなる支持部と、可
動体１９とその両端に取り付けられ、ガイドバー１８を
包囲する可動子２０とからなる可動部から構成される。
ガイドバー１８の上面と可動子２０のこれと相対する下
面との間、及びガイドカバー１８の側面とこれと相対す
る可動子２０の側面との間には、それぞれ圧力空気層が
形成されて、ガイドバー１８のスムーズな移動を可能と
している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記の様な従来の機械
装置及び露光装置において、地震に伴う大きな振動が装
置に加わった場合、防振パッド上の主要部が脱落すれば
装置内外に対して危険な状態を引き起こすことが予測さ
れる。特に機械的制限が無く、まったくの自由状態では
防振パッド上の装置の主要部の揺れは加速され、振幅が
増大し、装置から離脱して装置破壊につながることも考
えておかなければならないし、人的被害も起こり得ると
考えなければならない。

【０００７】防振パッドは比較的に周波数が高く振幅の
小さい振動を遮断するように製作されているので、低い
周波数あるいは大振幅となり得る地震による振動を遮断
することはできない。又、主要部の動きに対する機械的
制限がある場合も、被害の拡大はある程度は防げるであ
ろうが十分とはいえず、さらに装置は半固定のまま衝撃
を受けるため何らかの性能劣化を起こすであろうことを
考慮しておかなければならない。

【０００８】更に装置が可動部、特にエアステージ等の
非接触式の可動部を持つ場合は、移動方向のストローク
範囲内において自重方向すなわち上下方向のみの支持と
なる可能性が高く、上下方向以外の何らかの外力を受け
た場合に、可動部が脱落し可動部が装置にダメージを与
えることが考えられるので、特に問題が大きい。

【０００９】そこで、本発明は地震の際に装置の主要部
及び可動部を確実に固定し、地震に伴う振動が機械装
置、露光装置内外に与える影響を最小限にすることを目
的とする。

【００１０】

【課題を解決する為の手段】上記目的を達成するため、
請求項１に係る発明による機械装置は、主要部が基礎部
から隔離された機械装置において、前記主要部を前記基
礎部から隔離する防振パッドと、地震を検知する検知手
段と、前記検知手段の出力を利用して前記主要部を前記
基礎部に対して固定する第一の固定手段と、を備える。

【００１１】防振パッドでは、地震による基礎部の振動
が主要部に伝達するのを防ぐことができず、また主要部
が振動パッド上にあるので主要部の振動が加速され、ま
た振幅が増大することがある。このため、検知手段で地
震を検知し、その出力を第一の固定手段に送り、第一の
固定手段によって主要部を基礎部に対して固定する。こ
れにより、地震による主要部の振動がさらに加速された
り、振幅が増大したりすることなく地震の影響を最小限
に抑えることができる。

【００１２】また、主要部は防振パッド上に設置されて
おり、かつ主要部は地震を検知したときにのみ基礎部に
対して固定されるので、通常使用時は基礎部に固定され
ず基礎部から振動的に隔離されており外部からの振動影
響を回避することができる。地震を検知したときに機械
装置をシャットダウンさせることが望ましい。ここで地
震を検知する検知手段とは、例えば地震計そのものであ
ってもよいし、外部の地震計が発信する警報信号を受信
することによって地震を検知する受信器であってもよ
い。

【００１３】請求項２に係る発明による機械装置は、請
求項１に記載の機械装置において、前記主要部が、可動
部と、該可動部を支持する支持部と、前記検知手段の出
力を利用して前記可動部を前記支持部に対して固定する
第二の固定手段と、を有する。 検知手段で地震を検知
し、その出力を第二の固定手段に送り、第二の固定手段
によって可動部を支持部に対して固定する。地震が検知
されない通常使用時の場合は、第二の固定手段は働か
ず、可動部は支持部に支持されて可動である。

【００１４】請求項３に係る発明による機械装置は、請
求項２に記載の機械装置において、前記支持部が前記可
動部を流体を介して支持する。地震が検知されない通常
使用時の場合は、第二の固定手段は働かず、可動部は支
持部に流体を介して支持されているのでスムーズに可動
であり、支持部から可動部へ伝わる振動は遮断される。

【００１５】ここで流体を介して支持するとは、例えば
エアーパッドのように、可動部と支持部の間に空気など
の流体が存在し、可動部と支持部が機械的な接触をしな
い非機械的な支持一般を意味する。即ち、その流体が支
持流体として作用することにより可動部が支持されてい
る構造の他、流体は単に支持部と可動部との間に存在す
るだけであり、その他の支持力、例えば、磁気軸受のよ
うにＮ極とＳ極の同極同士の反発作用や異なる極同士の
吸引作用を利用して、機械的な接触無しに支持部が主要
部を支持する構造であってもよい。

【００１６】請求項４に係る発明による機械装置は、請
求項３に記載の機械装置において、前記機械装置が半導
体製造用の露光装置であり、前記支持部が圧力空気を介
して前記可動部を支持する。

【００１７】請求項５に係る発明による露光装置は、マ
スクに形成されたパターンを基板に転写する露光装置に
おいて、基礎部と、該基礎部上に防振パッドを介して設
けられた基板ステージ台と、地震を検知する検知手段
と、該検知手段の出力を利用して前記基板ステージ台を
前記基礎部に対して固定する固定手段と、を備えたこと
を特徴とする。さらに、露光装置の基板ステージ台上に
載置された基板ステージが、検知手段の出力を利用して
基板ステージを基板ステージ台に対して固定する他の固
定手段を有するようにしてもよい。

【００１８】請求項６に係る発明による露光装置は、請
求項５に記載の露光装置において、前記基板ステージ台
を前記基礎部に対して固定する前記固定手段が、前記基
礎部に取り付けられた第一部品と、前記基板ステージ台
に取り付けられた第二部品と、前記第一部品と前記第二
部品とを前記検知手段の出力を利用して結合する結合機
構からなる。

【００１９】請求項７に係る発明による露光装置は、請
求項５または請求項６に記載の露光装置において、前記
検知手段が地震計を含む。地震計により直接地震を検知
することができる。

【００２０】請求項８に係る発明による露光装置は、請
求項５から請求項７いずれかに記載の露光装置におい
て、前記検知手段が、地震警報信号を受信する受信器を
含む。検知手段が地震警報信号を受信する受信器を含ん
でいるので、離れた地点で検出した地震信号をも受け取
ることができる。受信器により、震源地に近い場所で検
知された、例えば公的な地震警報信号をすばやく受信す
ることができる。また、離れた地点でも地震が検知され
たことを確認できるので、地震計の近くのみに発生した
地震ではない、例えば人為的な振動を検知したことを知
ることができ、確実な地震検知が可能となる。

【００２１】請求項９に係る発明による露光装置の運転
方法は、基礎部上に設けられ、マスクに形成されたパタ
ーンを基板上に転写する主要部を備えた露光装置の運転
方法であって、地震を検知する第１工程と、該第１工程
によって地震が検知されると、前記基礎部に対して前記
主要部を固定する第２工程と、を含むことを特徴とす
る。

【００２２】請求項１０に係る発明による露光装置の運
転方法は、請求項９に記載の露光装置の運転方法におい
て、前記第１工程は、前記露光装置に備えられた地震計
を利用して検知し、前記第２工程は、前記第１工程の地
震計が所定の閾値を超えた場合に、前記主要部を前記基
礎部に固定することを特徴とする。地震計が所定の閾値
を超え、主要部に悪影響を与える地震が発生した場合
に、主要部を基礎部に固定することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。なお、各図において互い
に同一あるいは相当する部材には同一符号を付し、重複
した説明は省略する。

【００２４】図１は本発明による第一の実施の形態の露
光装置１である。露光装置１は基礎部２と基礎部２の上
部に防振パッド３を介して取り付けられた主要部４を有
する。主要部４は照明系４Ａ、パターンが形成されたレ
チクル（図示せず）を載置するレチクルステージ４Ｂ、
投影レンズ系４Ｃ、パターンが露光されるウェハ（図示
せず）が載置されるウェハステージ４Ｄ、架台４Ｅ、及
び定盤４Ｆを含んで構成される。レチクルは照明系４Ａ
によって均一に照明され、ウェハは投影レンズ系４Ｃに
関し、レチクルと共役な位置にある。架台４Ｅは照明系
４Ａ、レチクルステージ４Ｂ、投影レンズ系４Ｃ、ウェ
ハステージ４Ｄを支持する。架台４Ｅは定盤４Ｆ上に載
置される。露光装置１の床面２６への固定は、金具２Ａ
を必要数基礎部２の周囲に設置して、金具２Ａを床面２
６及び基礎部２にボルト２２を使用して結合することに
よって行う。

【００２５】防振パッド３の上部に定盤４Ｆの底面が接
し、主要部４は防振パッド３上に載置されている。本発
明の第二部品としての固定用腕５が主要部４の定盤４Ｆ
に取り付けられている。本発明の第一部品及び結合機構
としての締結部品６が基礎部２に固定されている。固定
用腕５と締結用部品６とを後述のように係合させること
により主要部４を基礎部２に対して固定することができ
る。固定用腕５は水平部５Ａと垂直部５Ｂからなり、主
要部４の定盤４Ｆに水平部５Ａの一端が固定されてい
る。垂直部５Ｂの先端はＵ字形をなしている。固定用腕
５と締結部６は第一の固定手段を構成する。

【００２６】露光装置１は図示しない受信器を有してお
り、地震警報信号を受信する。地震警報信号は露光装置
１をシャットダウンし締結部６を作動させる必要がある
所定のレベル以上の地震の発生が検出されたときに発信
される。防振パッド３は弾性体（ゴム性の防振パッド、
コイルばね、空気ばね等）である。さらに、ダッシュポ
ット等の振動減衰装置を含んでいてもよい。

【００２７】図２は本発明の締結部品６の部分拡大図で
あって、締結部品６は上部が開放されたコ形の固定ブロ
ック７を有する。固定ブロック７には水平に配置された
固定用ねじ８が一体になる様その壁部７Ａ、７Ｂにおい
て固定されており、固定用ねじ８の左右に締結ナット
９、１０が配置されている。

【００２８】締結ナット９、１０の間には固定用腕５の
垂直部５ＢのＵ字形の先端が固定用ねじ８を夾むように
配置され、通常は垂直部５ＢのＵ字形の先端は、締結ナ
ット９、１０に対して固定用ねじ８の中心軸方向の隙間
Ｌを有している。隙間Ｌは、防振パッド３が締結部６を
作動させる必要のない地震により弾性変形をした場合
の、垂直部５Ｂの先端の固定用ねじ８の中心軸方向の変
位量を越えないように決められる。

【００２９】締結ナット９、１０は、固定用ねじ８の中
心軸方向に移動自在であり回転トルクのみを伝達するボ
ールスプライン１１、１２を介して平歯車１３、１４と
連結している。平歯車１３、１４は固定ブロック７か
ら、その軸回りに回転のみ可能であり、その他動きに関
しては固定して支持されているため（詳細図示せず）、
平歯車１３、１４が互いに反対方向に回転すると締結ナ
ット９、１０はトルク伝達を受け、固定用ねじ８上を回
転しながら互いに反対方向に固定用腕５の垂直部５Ｂに
向かって移動する。

【００３０】次に、平歯車１３、１４を回転させる手段
として、バッテリ（図示せず）により駆動されるＤＣモ
ータ１５、１６を平歯車１３、１４にそれぞれ接続す
る。左右の締結ナット９、１０は、ＤＣモータ１５、１
６の回転軸の先端に取り付けらた、それぞれ平歯車１
３、１４に噛み合う歯車によって互いに反対方向に回転
され、この回転によって前述のように固定用ねじ８上を
その中心部に向かって移動し、固定用腕５の垂直部５Ｂ
の先端を挟み込む。

【００３１】締結ナット９、１０の押さえ付け面９Ａ、
１０Ａが固定用腕５の垂直部を滑りを生じることなく押
さえつけるのに必要な締結トルクが得られるようにＤＣ
モータ１５、１６の出力等を決定する。

【００３２】更に、これらの締結部品６は各方向（互い
に直角な水平二方向、及び上下方向）に必要数配置する
こととする。図１では図１の紙面内で左右方向である水
平一方向の締結部品６のみを図示し、前述においてこの
締結部品６のみを対象に説明しているが、他の水平方向
用の締結部品６及び固定用腕５も同様の構造である。

【００３３】図３に上下方向用の締結部品６Ａ及び主要
部４の定盤４Ｆに取り付けられた固定用腕５Ｃを示す。
固定用腕５Ｃは水平に主要部４の定盤４Ｆに取り付けら
れており水平部のみを有する。締結部品６Ａは図２に示
すものと同様の構造であるが、固定用腕５Ｃに対応させ
て、固定用ねじ８が垂直に配置されるように９０度回転
させて基礎部２から立ち上がっている支柱２７に取り付
けられている点で締結部６とは異なる。

【００３４】シャットダウン時の露光装置１の主要部４
の定盤４Ｆの位置を基準に固定用腕５、５Ｃと締結ナッ
ト９、１０の固定用ねじ８の中心軸方向の間隔Ｌを各部
で揃えておいて、作動時に各部の締結がほぼ同時に完了
する様構成するとよい。

【００３５】また、図４に示すように、建物構造が強固
で上下階がほぼ同位相で揺れる場合であれば、より大き
く揺れる装置部分に、例えば露光装置１の上面を天井部
に固定するように本固定手段を取り付けてもよく、これ
により、より安全な固定が可能になる。この場合、締結
部品６Ｂは建物の天井部２５に取り付けられ、固定用腕
５Ｄは露光装置１の上面に取り付けられ、垂直部のみを
有する。

【００３６】なお、締結部品６、６Ａ、６Ｂの作動は、
地震計からの計測値が予め定められた閾値を超えた場合
にのみ行うようにしても良い。この閾値は、ウエハへの
露光に影響がない振動に基づいて算出される。したがっ
て、震源地が遠く露光に影響が出ない程度の地震が発生
した場合でも露光装置をシャットダウンし、かつ主要部
を基礎部に固定することがないので、スループットの低
下を防止することができる。

【００３７】図５は本発明の第２の実施の形態であっ
て、露光装置のステッパ内に含まれる可動部としてのウ
ェハステージと支持部としてのウェハステージ台に相当
する部分に適用される。露光装置の主要部は前述の第一
実施の形態と同様の固定手段を有しているものとし、以
下ステージ固定手段についての説明を行う。

【００３８】近年のステッパのステージにはエアガイド
が採用されていることが多く、図６はその構造の一例で
あり、１軸のみを示している。図６に示すように、エア
ーガイドは可動部と支持部からなる。支持台１７の両端
にはそれぞれ断面が矩形のガイドバー１８が取り付けら
れ、支持部を構成している。

【００３９】各々のガイドバー１８の上面は支持台１７
の上面より上に配置されている。各々のガイドバー１８
には略コの字形の可動子２０がガイドバー１８の上面１
８Ａ、下面１８Ｂ、側面１８Ｃを包囲するように配置さ
れている。可動子２０は可動体１９の両端に取り付けら
れ各々の上面が略一平面上に来るように配置され、可動
部を構成している。

【００４０】実際の装置の従来例では可動体１９を駆動
するための機構としてリニアモータ等が付加されるが、
装置ダウン時に可動部分を機械的に固定する固定手段は
持っていない。

【００４１】図６において、支持台１７とガイドバー１
８が可動体１９と可動子２０に組み合わされてステージ
を構成しているが、この様なエアガイドの場合使用時ガ
イドバー１８と可動子２０の間はガイドバーの上面１８
Ａにおいて隙間Ｇ１、ガイドバーの側面１８Ｃにおいて
隙間Ｇ２を保った状態で空気圧により浮上している。

【００４２】図７は装置がダウンしている状態のエアガ
イドで、重力方向の隙間Ｇ１がゼロになってガイドバー
１８の上面１８Ａと可動子２０が接触している状態であ
る。この状態が装置ダウン時のエアガイドの安定状態で
ある。この状態で可動体１９下面は支持台１７上面に接
触していない。

【００４３】図５に示すウェハステージにおいて、可動
体１９及び可動子２０を包囲する架台２１の内側天井部
にはステージの可動子２０を固定するための第二の固定
手段としてのストッパ機構２３が、図８のＰ点（３か
所）で示される位置に設置されている。

【００４４】図８は図５のＥ−Ｅ矢視図である。Ｐ点の
うち２ケ所は、支持台１７の両側に２本設けられたガイ
ドバー１８の一方の長手方向に並んで設定されており、
Ｐ点のうち１ケ所は他方のガイドバー１８の長手方向中
央に設定されている。ストッパ機構２３は不図示のＤＣ
モータを利用して、可動子２０の上面に垂直に向けて設
けられた押し付けピン２４を上下動させる機構である。
これによってステージの可動子２０はガイドバー１８の
上面１８Ａに上から押し付けられることになる。この時
ストッパ機構２３の配置は平面内で、ストッパ機構が二
つの場合は可動体１９の重心を夾んだ２ケ所に、ストッ
パ機構が三つ以上のときは、ストッパ機構各点を結んで
重心を囲めるように配置するのが効果的であり、固定に
必要な押しつけ力は可動部全体の重量を基に最適化され
る。

【００４５】レチクルステージも、レチクルステージを
レチクルステージ台で支持する機構については図６と同
様の構造をしているので、第二の固定手段としてのスト
ッパ機構２３をレチクルステージに取り付けることがで
き、同様の効果を得ることができる。

【００４６】上述の如く説明された主要部４の固定手段
（固定用腕５、５Ｃ及び締結部６、６Ａ）について地震
発生時の動作を以下説明する。

【００４７】所定のレベル以上の地震のＰ波（伝播速度
の速い縦波即ち初期微動波）検知信号を受信器によって
受信した露光装置１は、露光装置１のシャットダウン動
作を開始し、同時に防振パッド３上の主要部４の固定手
段としての締結部品６、６Ａが作動するが、装置電源が
切れても締結部品６、６ＡのＤＣモータ１５、１６はバ
ッテリ駆動であるから、装置シャットダウンに連動して
ＤＣモータ１５、１６は回転を開始することが可能であ
る。

【００４８】ＤＣモータ１５、１６の回転により、締結
ナット９、１０を回転させ、固定用ねじ８に沿って固定
用腕５、５Ｃへ向かって移動させ、さらに締結ナット
９、１０が固定用腕の先端に当り、固定用腕５、５Ｃを
押え付けて、主要部４を基礎部２に対して固定すること
ができる。

【００４９】地震の検知信号は、露光装置若しくは近傍
に設置された地震計からのＰ波検知信号、遠隔地に設置
された地震計から電気信号等として伝達される地震情報
（例えば鉄道を停止させる地震警報信号）、所定の距離
をおいた少なくとも２地点に設置された地震計からの二
つの微動信号であってもよい。

【００５０】次に露光装置内のエアーステージの可動部
（可動体１９及び可動子２０）の固定手段（ストッパ機
構２３）についてその動作を説明する。

【００５１】前述の主要部４の固定手段と同様に、地震
の受信器が所定のレベル以上の地震のＰ波検知信号を受
信することを起点に次の動作を開始する。まず、地震警
報信号を検知すると同時に、各部ステージの可動体１９
はエアーステージへのエアーの供給も同時に停止する場
合はその場で、エアーの供給が短時間でも確保できる場
合は固定ポジションに移動した後に隙間Ｇ１がゼロとな
り、装置シャットダウンを開始する。エアガイドへの圧
力空気の供給を停止するので、エアガイドは固定ポジシ
ョンで図７に示す安定状態になる。続いてストッパ機構
２３が作動するが、前記同様装置電源が切れても固定手
段の電源はバッテリ駆動のＤＣモータであるから、装置
シャットダウンに連動して所望の動作を継続することが
可能となる。

【００５２】図１０に示す様な構造を持つ固定手段を機
械装置１Ａの水平方向用の第一の固定手段として使用す
ることができる。主要部に取り付けられた固定用腕の垂
直部４５Ｂの二つの相対する側面に傾斜面４２を設け、
この垂直部４５Ｂを上部が開いている箱状の締結部品４
１の中に挿入し、垂直部４５Ｂの傾斜面４２に対向して
いる締結部品４１の内側の側面にも同じ傾斜角度の傾斜
面４３を設け、両傾斜面４２、４３がＶ字となるように
する。そして、地震が発生したときに、前記両傾斜面４
２、４３と同じ角度を有する一対のくさび４４を固定用
腕の垂直部４５Ｂの傾斜面４２と締結部品４１の内側の
傾斜面４３に落下させるようにしてもよい。落下させる
ためには重力を利用してもよく、ばねによる付勢力、電
磁力、流体圧力を利用してもよい。この構造を採用する
と構造が単純で安価な締結部品とすることができる。

【００５３】図１０を９０度回転させた構造を有するも
のを、上下方向用の第一の固定手段及び第二の固定手段
としてのストッパ機構（上下方向の動きを固定する）に
利用してもよい。この場合くさびは水平方向に移動する
ので、ばねによる付勢力、電磁力、流体圧力等を利用す
る必要がある。

【００５４】地震検知信号を受信する工程と、前記受信
された地震検知信号に応じて露光装置の主要部を、該主
要部を防振パッドを介して支持する基礎部に対して固定
する工程とを備える露光装置の運転方法によっても、地
震の際に露光装置の主要部を基礎部に確実に固定し、地
震に伴う振動が露光装置内外に与える影響を最小限にす
ることができる。

【００５５】

【発明の効果】以上の様に本発明によれば防振パッド上
の主要部を基礎部に対して固定する第一の固定手段を備
えるので、地震発生時に機械装置の主要部を基礎部に対
して固定することが出来るため、主要部が機械装置から
地震によって脱落したり、装置等にぶつかったりするこ
とがなく、安全上の効果が高い。さらに、通常の装置使
用時には基礎部と主要部は振動的に遮断され、振動的な
連結部分が無いため防振パッドの機能を阻害せず、振動
の伝達を遮断するので機械装置の性能の変化が無い。

【００５６】主要部が可動部と支持部を有する場合に、
可動部を支持部に対して固定する第二の固定手段を備え
るので、地震発生時に可動部を支持部に対して固定する
ことが出来るため、可動部が主要部から地震によって脱
落したり、主要部等にぶつかったりすることがない。可
動部が支持部によって流体を介して支持されている場合
は、通常の装置使用時には可動部と支持部は直接の接触
部がないため、流体の振動遮断等の機能を阻害せず、機
械装置の性能の変化が無い。

【００５７】防振パッド上の基板ステージ台を基礎部に
対して固定する固定手段を備えるので、地震発生時に露
光装置の基板ステージ台を基礎部に対して固定すること
が出来るため、基板ステージ台が露光装置から地震によ
って脱落したり、露光装置等にぶつかるったりすること
がなく、安全上の効果が高い。さらに、通常の露光装置
使用時には基板ステージ台と基礎部は振動的に遮断さ
れ、振動的な連結部分が無いため防振パッドの機能を阻
害せず、振動の伝達を遮断するので露光装置の性能の変
化が無い。

【００５８】固定手段が基礎部に取り付けられた第一部
品と基板ステージ台に取り付けられた第二部品と、地震
発生時にこれらを結合する結合機構からなるので簡単な
構造で確実に基板ステージ台を基礎部に対して固定する
ことができる。

【００５９】地震を検知する検地手段に地震計を含ませ
ると確実に地震を検知でき、さらに地震警報信号を受信
する受信器を取り付けると距離をおいた地点でも地震が
発生したことを確認できるので地震以外の振動を地震計
が検知した場合に固定手段が作動することを回避するこ
とができる。また、受信器によって震源地に近い場所で
検出した公的地震警報信号を受けて地震の発生と同時に
固定手段を作動させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による第一の実施の形態の露光装置の正
面図である。

【図２】図１の露光装置の締結部品の断面図である。

【図３】図１の露光装置の正面図の上下方向用の締結部
品部分の拡大図である。

【図４】本発明による他の実施の形態の露光装置の正面
図である。

【図５】本発明による第二の実施の形態の露光装置の基
板ステージ台とその周辺部分の断面図である。

【図６】図５の露光装置の基板ステージの断面図であ
る。

【図７】図５の露光装置のシャットダウン時の基板ステ
ージの断面図である。

【図８】図５の露光装置の基板ステージのＥ−Ｅ矢視図
である。

【図９】従来の露光装置の正面図である。

【図１０】くさびを利用した締結部品を説明する部分概
念図である。

【符号の説明】

１ 露光装置 ２ 基礎部 ２Ａ 金具 ３ 防振パッド ４ 主要部 ４Ａ 照明系 ４Ｂ レチクルステージ ４Ｃ 投影レンズ系 ４Ｄ ウェハステージ ４Ｅ 架台 ４Ｆ 定盤 ５ 固定用腕 ５Ａ 水平部 ５Ｂ 垂直部 ５Ｃ 固定用腕 ６ 締結部品 ６Ａ 締結部品 ６Ｂ 締結部品 ７ 固定ブロック ７Ａ 壁部 ７Ｂ 壁部 ８ 固定用ねじ ９ 締結ナット ９Ａ 押さえ付け面 １０ 締結ナット １０Ａ 押さえ付け面 １１、１２ ボールスプライン １３、１４ 平歯車 １５、１６ ＤＣモータ １７ 支持台 １８ ガイドバー １８Ａ 上面 １８Ｂ 下面 １８Ｃ 側面 １９ 可動体 ２０ 可動子 ２１ 架台 ２２ ボルト ２３ ストッパ機構 ２４ 押し付けピン ２５ 天井部 ２６ 床面 ２７ 支柱 ３１ 機械装置 ３２ 基礎部 ３２Ａ 金具 ３３ 防振パッドＢ ３４ 主要部 ３５ 固定用腕 ３６、４１ 締結部品 ４２、４３ 傾斜面 ４４ くさび ４５Ｂ 垂直部

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主要部が基礎部から隔離された機械装置
   において、 前記主要部を前記基礎部から隔離する防振パッドと、 地震を検知する検知手段と、 前記検知手段の出力を利用して前記主要部を前記基礎部
   に対して固定する第一の固定手段と、を備える機械装
   置。
2. 【請求項２】 前記主要部が、 可動部と、 該可動部を支持する支持部と、 前記検知手段の出力を利用して前記可動部を前記支持部
   に対して固定する第二の固定手段と、を有する請求項１
   に記載の機械装置。
3. 【請求項３】 前記支持部が前記可動部を流体を介して
   支持する請求項２に記載の機械装置。
4. 【請求項４】 前記機械装置が半導体用の露光装置であ
   り、 前記支持部が圧力空気を介して前記可動部を支持する請
   求項３に記載の機械装置。
5. 【請求項５】 マスクに形成されたパターンを基板に転
   写する露光装置において、 基礎部と、 該基礎部上に防振パッドを介して設けられた基板ステー
   ジ台と、 地震を検知する検知手段と、 該検知手段の出力を利用して前記基板ステージ台を前記
   基礎部に対して固定する固定手段と、を備えたことを特
   徴とする露光装置。
6. 【請求項６】 前記固定手段が、前記基礎部に取り付け
   られた第一部品と、前記基板ステージ台に取り付けられ
   た第二部品と、前記第一部品と前記第二部品とを前記検
   知手段の出力を利用して結合する結合機構からなる請求
   項５に記載に露光装置。
7. 【請求項７】 前記検知手段が地震計を含む請求項５ま
   たは請求項６に記載の露光装置。
8. 【請求項８】 前記検知手段が、地震警報信号を受信す
   る受信器を含む請求項５から請求項７いずれかに記載の
   露光装置。
9. 【請求項９】 基礎部上に設けられ、マスクに形成され
   たパターンを基板上に転写する主要部を備えた露光装置
   の運転方法であって、地震を検知する第１工程と、 該第１工程によって地震が検知されると、前記基礎部に
   対して前記主要部を固定する第２工程と、を含むことを
   特徴とする露光装置の運転方法。
10. 【請求項１０】 前記第１工程は、前記露光装置に備え
    られた地震計を利用して検知し、 前記第２工程は、前記第１工程の地震計が所定の閾値を
    超えた場合に、前記主要部を前記基礎部に固定すること
    を特徴とする請求項９に記載の露光装置の運転方法。