JPH11151654A - 研磨装置およびx線イメージ管の製造装置 - Google Patents

研磨装置およびx線イメージ管の製造装置

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JPH11151654A
JPH11151654A JP31698297A JP31698297A JPH11151654A JP H11151654 A JPH11151654 A JP H11151654A JP 31698297 A JP31698297 A JP 31698297A JP 31698297 A JP31698297 A JP 31698297A JP H11151654 A JPH11151654 A JP H11151654A
Authority
JP
Japan
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polishing
pad
component
rotation motor
amount
Prior art date
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Pending
Application number
JP31698297A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomohide Umemura
智英 梅村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba Development and Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Electronic Engineering Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH11151654A publication Critical patent/JPH11151654A/ja
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨時の研磨量を監視し、その研磨量が予め
設定された設定研磨量に対応した一定の研磨量になるよ
うに制御し、研磨状態を安定させる。 【解決手段】 多関節ロボット14により研磨パッド16を
入力面部品Aに接触させ、パッド回転モータ15により研
磨パッド16を回転させるとともに、部品回転モータ12に
より入力面部品Aを回転させて、研磨を行なう。研磨時
には、エンコーダ17により研磨パッド16の回転数を計測
し、荷重測定器18により研磨パッド16が入力面部品Aに
接触した状態で加わる荷重を測定する。制御手段21によ
り、エンコーダ17の出力値、荷重測定器18の出力値、お
よび部品回転モータ12の角速度から演算研磨量を演算す
る。演算研磨量がメモリ22の設定研磨量に対応した一定
の研磨量になるように、パッド回転モータ15、部品回転
モータ12および多関節ロボット14の少なくともいずれか
1つを制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被研磨部品を研磨
する研磨装置、およびX線イメージ管の入力面部品を研
磨するX線イメージ管の製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、一般にX線イメージ管は、真空容
器となる外囲器、入力基板、出力基板、集束電極、加速
電極などから構成され、X線管焦点から放射されたX線
のX線像を入力面から入力して可視像に変換する電子管
である。
【0003】図2に示すように、このようなX線イメー
ジ管の入力面部品Aは、肉薄の略半球面形状に形成さ
れ、その表面(凸面、凹面)は研磨処理によって平滑化
されている。
【0004】入力面部品Aの表面の研削は、図3に示す
ような製造装置にて行なわれている。この製造装置で
は、フレーム1を有し、このフレーム1に、入力面部品
Aを保持するホルダ2を回転させる部品回転モータ3を
取り付け、ホルダ2の上方に研磨位置調整振子4を介し
て研磨パッド5を回転させるパッド回転モータ6を取り
付けている。部品回転モータ3およびパッド回転モータ
6はコンピュータ7によって回転速度を制御する。研磨
位置調整振子4は研磨パッド5を入力面部品Aに接触さ
せるとともに研磨位置を調整可能とする。
【0005】そして、研磨パッド5を入力面部品Aの表
面(凹面)に接触させ、研磨位置調整振子4の動作範囲
内にて研磨の位置を決め、図に示されていないストッパ
で研磨位置調整振子4を固定する。研磨位置設定完了
後、入力面部品A上に研磨剤を注入し、パッド回転モー
タ6と部品回転モータ3とを回転させて、入力面部品A
の表面の研磨を行なう。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、研磨パッド
5を入力面部品Aの表面に接触させて、パッド回転モー
タ6と部品回転モータ3とを回転させて研磨を行なうと
き、研磨パッド5が入力面部品Aの表面に接触したとき
に押し付ける力、すなわち荷重が加わる。このとき、パ
ッド回転モータ6と部品回転モータ3とが一定速度で回
転すると、研磨は開始時と研磨開始後とでは入力面部品
Aへの研磨パッド5の荷重が変動し、さらに、入力面部
品Aの表面状態や研磨位置によっても、入力面部品Aへ
の研磨パッド5の荷重が変動し、安定した研磨が行なえ
ず、研磨の仕上がりにもばらつきが生じる。
【0007】また、研磨位置調整振子4を用いても、研
磨位置の調整範囲が限られており、入力面部品Aの表面
が球面状態であるために、研磨パッド5の研磨面が入力
面部品Aの表面に対して垂直に接触させることが困難な
場合があり、入力面部品Aの表面で十分に研磨されない
箇所が発生する。
【0008】そこで、本発明は、このような点に鑑みな
されたもので、研磨時の研磨量を監視し、その研磨量が
予め設定された設定研磨量に対応した一定の研磨量にな
るように制御することにより、研磨状態を安定させるこ
とができる研磨装置およびX線イメージ管の製造装置を
提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨装置は、被
研磨部品を研磨する研磨パッドと、この研磨パッドを回
転させるパッド回転モータと、前記研磨パッドの回転数
を計測するエンコーダと、前記研磨パッドを前記被研磨
部品に接触させる研磨パッド接触手段と、前記研磨パッ
ドが前記被研磨部品に接触した状態で加わる荷重を測定
する荷重測定器と、前記被研磨部品の軸を中心に回転さ
せる部品回転モータと、前記被研磨部品の設定研磨量を
記憶するメモリと、前記エンコーダの出力値、荷重測定
器の出力値、および部品回転モータの角速度から演算研
磨量を演算し、この演算研磨量が前記メモリの設定研磨
量に対応した一定の研磨量になるように前記パッド回転
モータ、部品回転モータおよび研磨パッド接触手段の少
なくともいずれか1つを制御する制御手段とを具備して
いるものである。
【0010】本発明のX線イメージ管の製造装置は、X
線イメージ管の入力面部品を研磨するX線イメージ管の
製造装置において、前記入力面部品を研磨する研磨パッ
ドと、この研磨パッドを回転させるパッド回転モータ
と、前記研磨パッドの回転数を計測するエンコーダと、
前記研磨パッドを前記入力面部品に接触させる研磨パッ
ド接触手段と、前記研磨パッドが前記入力面部品に接触
した状態で加わる荷重を測定する荷重測定器と、前記入
力面部品の軸を中心に回転させる部品回転モータと、前
記入力面部品の設定研磨量を記憶するメモリと、前記エ
ンコーダの出力値、荷重測定器の出力値、および部品回
転モータの角速度から演算研磨量を演算し、この演算研
磨量が前記メモリの設定研磨量に対応した一定の研磨量
になるように前記パッド回転モータ、部品回転モータお
よび研磨パッド接触手段の少なくともいずれか1つを制
御する制御手段とを具備しているものである。
【0011】さらに、部品回転モータの回転速度を任意
に可変させるモータドライバを具備し、制御手段は、エ
ンコーダの出力値、荷重測定器の出力値、および部品回
転モータの角速度から演算研磨量を演算し、この演算研
磨量がメモリの設定研磨量に対応した一定の研磨量にな
るように前記モータドライバにより部品回転モータの角
速度を制御するものである。
【0012】さらに、研磨パッド接触手段は、研磨パッ
ドを入力面部品に対して任意に位置決め可能な多関節ロ
ボットである。
【0013】そして、研磨パッド接触手段により研磨パ
ッドを被研磨部品または入力面部品に接触させ、パッド
回転モータにより研磨パッドを回転させるとともに、部
品回転モータにより被研磨部品または入力面部品を回転
させて、研磨を行なう。研磨時には、エンコーダにより
研磨パッドの回転数を計測し、荷重測定器により研磨パ
ッドが被研磨部品または入力面部品に接触した状態で加
わる荷重を測定する。制御手段により、エンコーダの出
力値、荷重測定器の出力値、および部品回転モータの角
速度から演算研磨量を演算し、この演算研磨量が設定研
磨量に対応した一定の研磨量になるようにパッド回転モ
ータ、部品回転モータおよび研磨パッド接触手段の少な
くともいずれか1つを制御する。これにより、研磨面状
態や研磨位置などに影響されず、研磨状態を常に安定さ
せる。
【0014】特に、部品回転モータを制御することによ
り、容易に研磨量を一定にできる。
【0015】さらに、多関節ロボットにより研磨パッド
を入力面部品に対して任意に位置決め可能とする。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態とし
てX線イメージ管の製造装置を図1に示して説明する。
【0017】なお、被研磨部品としては、図2に示した
X線イメージ管の入力面部品Aである。
【0018】図1において、11は基台で、この基台11上
に例えばサーボモータにて構成される部品回転モータ12
が配設され、この部品回転モータ12の回転軸にホルダ13
が配設されている。ホルダ13には、入力面部品Aの軸を
中心に回転するように入力面部品Aが位置決め保持され
る。
【0019】基台11上の部品回転モータ12の側部近傍に
は研磨パッド接触手段としての多関節ロボット14が設置
されている。この多関節ロボット14の先端には、パッド
回転モータ15が取り付けられ、このパッド回転モータ15
の回転軸に研磨パッド16が取り付けられている。
【0020】パッド回転モータ15の回転軸には回転数を
測定するエンコーダ17が取り付けられ、多関節ロボット
14には研磨パッド16が入力面部品Aへ接触した時に加わ
る荷重を測定する荷重測定器18が取り付けられている。
【0021】また、21は制御手段としてのコンピュータ
で、このコンピュータ21は、製造装置全体が制御するも
ので、入力面部品Aの設定研磨量を予め記憶するメモリ
22を備え、モータドライバ23を介して部品回転モータ1
2、多関節ロボット14、パッド回転モータ15などを駆動
制御する。
【0022】そして、コンピュータ21は、エンコーダ17
の出力値、荷重測定器18の出力値、および部品回転モー
タ12の角速度から演算研磨量を演算し、この演算研磨量
がメモリの設定研磨量に対応した一定の研磨量になるよ
うにモータドライバにより部品回転モータ12の角速度を
制御する機能を有している。
【0023】次に、本実施の形態の作用を説明する。
【0024】入力面部品Aの研磨を行なう場合には、入
力面部品Aを部品回転モータ12の回転軸と同軸になるよ
うにホルダ13にセットし、その入力面部品Aの表面(凹
面)に研磨剤を注入する。
【0025】研磨剤の注入後、研磨パッド16の研磨面が
入力面部品Aに対してなるべく均等に例えば垂直に接触
するように多関節ロボット14の各軸を制御し、研磨パッ
ド16を入力面部品Aの表面に所定の押圧力で押し付け
る。
【0026】その後、部品回転モータ12およびパッド回
転モータ15を回転させ、研磨を開始する。
【0027】このとき、部品回転モータ12およびパッド
回転モータ15が一定速度で回転すると、入力面部品Aの
表面状態や研磨位置によって、入力面部品Aへの研磨パ
ッド16の荷重が変動する。
【0028】入力面部品Aへの研磨パッド16の荷重を荷
重測定器18で測定し、その値を出力データとしてコンピ
ュータ21に出力する。同様に、パッド回転モータ15の回
転速度もエンコーダ17で読み取り、その値を出力信号と
してコンピュータ21に出力する。
【0029】エンコーダ17の出力値、荷重測定器18の出
力値はコンピュータ21に入力され、コンピュータ21で
は、それらの値とともに部品回転モータ12の角速度から
演算研磨量Wの演算を行い、さらに、演算研磨量Wとメ
モリ22に記憶されている設定研磨量Qとを比較する。
【0030】そして、コンピュータ21での演算式と比較
方法を説明すると、演算式である演算研磨量Wは、入力
面部品Aへの研磨パッド16の荷重をF、パッド回転モー
タ15の回転速度をv、部品回転モータ12の角速度をu、
比例係数をKとすると、W=K((F×v)/u)の式
が成り立つ。
【0031】また、比例係数K=1とすると、W=(F
×v)/uとなる。
【0032】この演算式に荷重Fと回転速度vを入力
し、常にW=Qとなるように、角速度uの値を変化させ
る。例えば、設定研磨量Qを200、角速度uを10と
し、研磨開始時の荷重Fを20、回転速度vを100で
研磨を開始した場合、研磨開始後に荷重Fが40に変化
し、回転速度vが100のときには、角速度uを20に
変化させることにより、研磨量を一定にできる。
【0033】演算された角速度uとなるように、コンピ
ュータ21から制御信号をモータドライバ23に出力し、モ
ータドライバ23はその制御信号を基に部品回転モータ12
の回転速度を調整する。
【0034】このように部品回転モータ12の回転速度を
調整することにより、研磨量が一定に保たれるため、入
力面部品Aの表面状態、研磨位置に関係なく、常に安定
した研磨を行なえ、表面の仕上がり状態が安定したX線
イメージ管の製造が可能になる。
【0035】さらに、多関節ロボット14により研磨パッ
ド16を入力面部品Aに対して任意に位置決めできるた
め、研磨面状態や研磨位置などに影響されず、常に安定
した研磨を行なえ、仕上がり品質を向上させることがで
きる。
【0036】なお、前記実施の形態では、演算研磨量が
設定研磨量に対応した一定の研磨量になるように部品回
転モータ12の角速度を制御したが、パッド回転モータ15
の回転速度や多関節ロボット14による荷重を制御するよ
うにしても、あるいはそれらを組み合わせて制御するよ
うにしても、同様の作用効果を奏する。
【0037】また、研磨パッド接触手段としては、多関
節ロボットに限らず、図3に示した従来の製造装置に本
発明の制御方法を適用しても、研磨量を一定にできる。
【0038】また、X線イメージ管の製造装置に限ら
ず、研磨装置全般に適用できる。
【0039】
【発明の効果】本発明によれば、エンコーダの出力値、
荷重測定器の出力値、および部品回転モータの角速度か
ら演算研磨量を演算し、この演算研磨量が設定研磨量に
対応した一定の研磨量になるようにパッド回転モータ、
部品回転モータおよび研磨パッド接触手段の少なくとも
いずれか1つを制御することにより、研磨面状態や研磨
位置などに影響されず、常に安定した研磨を行なえ、仕
上がり品質を向上させることができる。
【0040】特に、部品回転モータを制御することによ
り、容易に研磨量を一定にできる。
【0041】さらに、多関節ロボットにより研磨パッド
を入力面部品に対して任意に位置決め可能とすることに
より、研磨面状態や研磨位置などに影響されず、常に安
定した研磨を行なえ、仕上がり品質を向上させることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態を示すX線イメージ管の
製造装置の構成図である。
【図2】一般的なX線イメージ管の入力面部品の斜視図
である。
【図3】従来のX線イメージ管の製造装置の構成図であ
る。
【符号の説明】
12 部品回転モータ 14 研磨パッド接触手段としての多関節ロボット 15 パッド回転モータ 16 研磨パッド 17 エンコーダ 18 荷重測定器 21 制御手段としてのコンピュータ 22 メモリ 23 モータドライバ A 被研磨部品としての入力面部品

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被研磨部品を研磨する研磨パッドと、 この研磨パッドを回転させるパッド回転モータと、 前記研磨パッドの回転数を計測するエンコーダと、 前記研磨パッドを前記被研磨部品に接触させる研磨パッ
    ド接触手段と、 前記研磨パッドが前記被研磨部品に接触した状態で加わ
    る荷重を測定する荷重測定器と、 前記被研磨部品の軸を中心に回転させる部品回転モータ
    と、 前記被研磨部品の設定研磨量を記憶するメモリと、 前記エンコーダの出力値、荷重測定器の出力値、および
    部品回転モータの角速度から演算研磨量を演算し、この
    演算研磨量が前記メモリの設定研磨量に対応した一定の
    研磨量になるように前記パッド回転モータ、部品回転モ
    ータおよび研磨パッド接触手段の少なくともいずれか1
    つを制御する制御手段とを具備していることを特徴とす
    る研磨装置。
  2. 【請求項2】 X線イメージ管の入力面部品を研磨する
    X線イメージ管の製造装置において、 前記入力面部品を研磨する研磨パッドと、 この研磨パッドを回転させるパッド回転モータと、 前記研磨パッドの回転数を計測するエンコーダと、 前記研磨パッドを前記入力面部品に接触させる研磨パッ
    ド接触手段と、 前記研磨パッドが前記入力面部品に接触した状態で加わ
    る荷重を測定する荷重測定器と、 前記入力面部品の軸を中心に回転させる部品回転モータ
    と、 前記入力面部品の設定研磨量を記憶するメモリと、 前記エンコーダの出力値、荷重測定器の出力値、および
    部品回転モータの角速度から演算研磨量を演算し、この
    演算研磨量が前記メモリの設定研磨量に対応した一定の
    研磨量になるように前記パッド回転モータ、部品回転モ
    ータおよび研磨パッド接触手段の少なくともいずれか1
    つを制御する制御手段とを具備していることを特徴とす
    るX線イメージ管の製造装置。
  3. 【請求項3】 部品回転モータの回転速度を任意に可変
    させるモータドライバを具備し、 制御手段は、エンコーダの出力値、荷重測定器の出力
    値、および部品回転モータの角速度から演算研磨量を演
    算し、この演算研磨量がメモリの設定研磨量に対応した
    一定の研磨量になるように前記モータドライバにより部
    品回転モータの角速度を制御することを特徴とする請求
    項2記載のX線イメージ管の製造装置。
  4. 【請求項4】 研磨パッド接触手段は、研磨パッドを入
    力面部品に対して任意に位置決め可能な多関節ロボット
    であることを特徴とする請求項2または3記載のX線イ
    メージ管の製造装置。
JP31698297A 1997-11-18 1997-11-18 研磨装置およびx線イメージ管の製造装置 Pending JPH11151654A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021149564A1 (ja) * 2020-01-20 2021-07-29 ファナック株式会社 研磨量推定装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021149564A1 (ja) * 2020-01-20 2021-07-29 ファナック株式会社 研磨量推定装置
CN115023316A (zh) * 2020-01-20 2022-09-06 发那科株式会社 研磨量估计装置

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