JPH10286772A - 研磨工具および研削工具 - Google Patents
研磨工具および研削工具Info
- Publication number
- JPH10286772A JPH10286772A JP9090916A JP9091697A JPH10286772A JP H10286772 A JPH10286772 A JP H10286772A JP 9090916 A JP9090916 A JP 9090916A JP 9091697 A JP9091697 A JP 9091697A JP H10286772 A JPH10286772 A JP H10286772A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polisher
- holder
- polishing
- pressure
- tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ポリシャ/砥石の各点の圧力を検出できる研磨
/研削工具を提供する。 【解決手段】研磨工具を例にとると、圧力センサ内蔵型
ホルダ20と、ホルダ20の下端部分に回転可能に取り
付けられた回転ポリシャ30と、ホルダ20に固定され
たモータ40とを備え、モータ40は、モータ本体から
回転ポリシャ30に向かって突出した回転軸41と、回
転軸41の先端部分に取り付けられた駆動側ギヤ43を
備え、回転ポリシャ30は、被加工物に対向する面にポ
リシャ33を有し、その背面側に、駆動側ギヤ43にか
み合う受動側ギヤ31が形成され、複数の圧力センサ2
2は、工具軸10の延長線を囲むように各々が配置さ
れ、かつ、各々の圧力センサ22は、自身の配置個所に
おける圧力を検出して、その結果を電気信号として出力
することを特徴とする研磨工具が提供される。
/研削工具を提供する。 【解決手段】研磨工具を例にとると、圧力センサ内蔵型
ホルダ20と、ホルダ20の下端部分に回転可能に取り
付けられた回転ポリシャ30と、ホルダ20に固定され
たモータ40とを備え、モータ40は、モータ本体から
回転ポリシャ30に向かって突出した回転軸41と、回
転軸41の先端部分に取り付けられた駆動側ギヤ43を
備え、回転ポリシャ30は、被加工物に対向する面にポ
リシャ33を有し、その背面側に、駆動側ギヤ43にか
み合う受動側ギヤ31が形成され、複数の圧力センサ2
2は、工具軸10の延長線を囲むように各々が配置さ
れ、かつ、各々の圧力センサ22は、自身の配置個所に
おける圧力を検出して、その結果を電気信号として出力
することを特徴とする研磨工具が提供される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨用のポリシャ
あるいは研削用の砥石を被加工面に押し当て、これらを
相対的に移動させる加工作業に用いられる研磨/研削工
具に関する。
あるいは研削用の砥石を被加工面に押し当て、これらを
相対的に移動させる加工作業に用いられる研磨/研削工
具に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、高精度で高品質な仕上げ面を必要
とする部品は、光学素子、射出成形用金型、金属鏡、結
晶体等、多岐にわたり、これに合わせて、研磨工具の開
発も盛んに行なわれている。
とする部品は、光学素子、射出成形用金型、金属鏡、結
晶体等、多岐にわたり、これに合わせて、研磨工具の開
発も盛んに行なわれている。
【0003】従来の曲面研磨工具の一例を図3に示す。
【0004】図3(a)において、101は被加工物、
102は研磨用のポリシャであり、ポリシャ102は、
支持軸103を介してエアーシリンダ104に押圧され
る。
102は研磨用のポリシャであり、ポリシャ102は、
支持軸103を介してエアーシリンダ104に押圧され
る。
【0005】被加工物101の研磨を行なう場合には、
エアーシリンダ104を駆動してポリシャ102を被加
工面に押し当て、被加工物101をa方向に2〜200
rpm程度の一定の速度で回転させる。この際、被加工
物101の回転抵抗により、ポリシャ102も同方向
(すなわち、a方向)に回転する。一方、被加工物10
1に押し当てているポリシャ102は、さらに、所定の
曲面形状をたどるように被加工物101の半径方向(b
方向)に動かしていく。このとき、ポリシャ102を支
える支持軸103が常にこの曲面形状に対して垂直にな
るように制御する。
エアーシリンダ104を駆動してポリシャ102を被加
工面に押し当て、被加工物101をa方向に2〜200
rpm程度の一定の速度で回転させる。この際、被加工
物101の回転抵抗により、ポリシャ102も同方向
(すなわち、a方向)に回転する。一方、被加工物10
1に押し当てているポリシャ102は、さらに、所定の
曲面形状をたどるように被加工物101の半径方向(b
方向)に動かしていく。このとき、ポリシャ102を支
える支持軸103が常にこの曲面形状に対して垂直にな
るように制御する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
研磨装置においては、図3(b)に示すように、研磨ポ
リシャ102が被加工物101の外周部に達して、その
一部が外周部からはみ出した際に、ポリシャ102にか
かる研磨圧力(荷重/接触面積)が大きくなってしま
う。この場合、外周部における研磨除去量が不安定にな
り、目的とする面精度を得ることができなくなる。ま
た、ポリシャ102の研磨圧力が大きくなると、その分
だけポリシャの研磨面も劣化する。
研磨装置においては、図3(b)に示すように、研磨ポ
リシャ102が被加工物101の外周部に達して、その
一部が外周部からはみ出した際に、ポリシャ102にか
かる研磨圧力(荷重/接触面積)が大きくなってしま
う。この場合、外周部における研磨除去量が不安定にな
り、目的とする面精度を得ることができなくなる。ま
た、ポリシャ102の研磨圧力が大きくなると、その分
だけポリシャの研磨面も劣化する。
【0007】研削作業についても、これと同様なことが
言える。
言える。
【0008】このような問題点に鑑み、本発明は、高精
度な研磨/研削が行なえるよう、ポリシャ/砥石の各点
の圧力の検出が可能な研磨/研削工具を提供することに
ある。
度な研磨/研削が行なえるよう、ポリシャ/砥石の各点
の圧力の検出が可能な研磨/研削工具を提供することに
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第1の態様によれば、研磨用のポリシャを被
加工面に押し当て、前記ポリシャと前記被加工面とを相
対的に移動させて、被加工面の研磨を行なう研磨作業に
用いられる研磨工具において、前記ポリシャを保持する
ためのホルダと、前記ホルダに設けられ、前記ポリシャ
の押し当て力によって生じる圧力を各々が検出する複数
の圧力センサとを備えたことを特徴とする研磨工具が提
供される。
の本発明の第1の態様によれば、研磨用のポリシャを被
加工面に押し当て、前記ポリシャと前記被加工面とを相
対的に移動させて、被加工面の研磨を行なう研磨作業に
用いられる研磨工具において、前記ポリシャを保持する
ためのホルダと、前記ホルダに設けられ、前記ポリシャ
の押し当て力によって生じる圧力を各々が検出する複数
の圧力センサとを備えたことを特徴とする研磨工具が提
供される。
【0010】上記目的を達成するための本発明の第2の
態様によれば、中空状の本体を有し、該本体の上端部分
が工具軸に固定され、かつ、該本体自身に複数の圧力セ
ンサが組み込まれた圧力センサ内蔵型ホルダと、前記ホ
ルダの本体の下端部分に回転可能に取り付けられた回転
ポリシャと、前記ホルダの本体の内側側面に固定された
モータとを備え、前記モータは、モータ本体から前記回
転ポリシャに向かって突出した回転軸と、該回転軸の先
端部分に取り付けられた駆動側ギヤを備え、前記回転ポ
リシャは、被加工物に対向する面にポリシャを有し、そ
の背面側に、前記回転軸の駆動側ギヤにかみ合う受動側
ギヤが形成され、前記複数の圧力センサは、前記工具軸
の延長線を囲むように各々が配置され、かつ、各々の圧
力センサは、自身の配置個所における圧力を検出して、
その結果を電気信号として出力することを特徴とする研
磨工具が提供される。
態様によれば、中空状の本体を有し、該本体の上端部分
が工具軸に固定され、かつ、該本体自身に複数の圧力セ
ンサが組み込まれた圧力センサ内蔵型ホルダと、前記ホ
ルダの本体の下端部分に回転可能に取り付けられた回転
ポリシャと、前記ホルダの本体の内側側面に固定された
モータとを備え、前記モータは、モータ本体から前記回
転ポリシャに向かって突出した回転軸と、該回転軸の先
端部分に取り付けられた駆動側ギヤを備え、前記回転ポ
リシャは、被加工物に対向する面にポリシャを有し、そ
の背面側に、前記回転軸の駆動側ギヤにかみ合う受動側
ギヤが形成され、前記複数の圧力センサは、前記工具軸
の延長線を囲むように各々が配置され、かつ、各々の圧
力センサは、自身の配置個所における圧力を検出して、
その結果を電気信号として出力することを特徴とする研
磨工具が提供される。
【0011】上記目的を達成するための本発明の第3の
態様によれば、研削用の砥石を被加工面に押し当て、前
記砥石と前記被加工面とを相対的に移動させて、被加工
面の研削を行なう研削作業に用いられる研削工具におい
て、前記砥石を保持するためのホルダと、前記ホルダに
設けられ、前記砥石の押し当て力によって生じる圧力を
各々が検出する複数の圧力センサとを備えたことを特徴
とする研削工具が提供される。
態様によれば、研削用の砥石を被加工面に押し当て、前
記砥石と前記被加工面とを相対的に移動させて、被加工
面の研削を行なう研削作業に用いられる研削工具におい
て、前記砥石を保持するためのホルダと、前記ホルダに
設けられ、前記砥石の押し当て力によって生じる圧力を
各々が検出する複数の圧力センサとを備えたことを特徴
とする研削工具が提供される。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。
て図面を参照しながら説明する。
【0013】図1には、本発明の一実施形態である研磨
工具100が示されている。
工具100が示されている。
【0014】研磨工具100は、工具軸10に固定され
た圧力センサ内蔵型ホルダ20と、圧力センサ内蔵型ホ
ルダ20の下端部分に回転可能に取り付けられた回転ポ
リシャ30と、圧力センサ内蔵型ホルダ20の内側側面
に固定されたモータ40とを有して構成される。
た圧力センサ内蔵型ホルダ20と、圧力センサ内蔵型ホ
ルダ20の下端部分に回転可能に取り付けられた回転ポ
リシャ30と、圧力センサ内蔵型ホルダ20の内側側面
に固定されたモータ40とを有して構成される。
【0015】圧力センサ内蔵型ホルダ20は、中空の本
体21と、本体21に組み込まれた複数の圧力センサ2
2を有する。
体21と、本体21に組み込まれた複数の圧力センサ2
2を有する。
【0016】本体21は、各部品が積み重なるようにし
て構成されており、具体的には、上端部分が工具軸10
に固定された傘型のケーシング23と、圧力センサ22
を保持するための円筒状の弾性部材24と、該弾性部材
24の数分の一の厚さに形成された円環状のベース25
と、回転ポリシャ30を該ベース25に回転可能に取り
付るためのスラストベアリング26とから成る。
て構成されており、具体的には、上端部分が工具軸10
に固定された傘型のケーシング23と、圧力センサ22
を保持するための円筒状の弾性部材24と、該弾性部材
24の数分の一の厚さに形成された円環状のベース25
と、回転ポリシャ30を該ベース25に回転可能に取り
付るためのスラストベアリング26とから成る。
【0017】圧力センサ22は、例えば、上下のスペー
サ22aで圧電素子22bを挟んだ構造のものであって
も構わない。本実施形態では、このタイプの圧力センサ
を8個備えている。これらの圧力センサは、研磨工具1
00の回転軸を中心とする円周上に互いに等間隔で配置
されている。圧力センサの個数は、被加工物の種類、大
きさ等に応じて増減すればよい。また、各圧力センサか
らは信号線60が引き出されている。各信号線は、ここ
では図示省略したNC制御装置91に接続されている。
研磨作業中、圧力センサ22の圧電素子は、周囲の弾性
部材24と共に変形して圧力を検出し、その検出結果を
信号線60を通してNC制御装置91に送信する。NC
制御装置91は、8個の圧力センサ22の各検出結果に
基づいて、回転ポリシャ30の圧力分布を把握し、回転
ポリシャ30の状態を把握する。例えば、ある圧力セン
サで測定された圧力が、他の圧力センサの測定結果より
も著しく低ければ、その部分が被加工物からはみ出して
いるということがわかる。弾性部材24には、例えば、
軟質樹脂やゴム系の部材を使用する。なお、弾性部材2
4は、ダンパーの役割も果たしており、研磨工具100
に衝撃が加わった場合に緩衝効果を発揮する。
サ22aで圧電素子22bを挟んだ構造のものであって
も構わない。本実施形態では、このタイプの圧力センサ
を8個備えている。これらの圧力センサは、研磨工具1
00の回転軸を中心とする円周上に互いに等間隔で配置
されている。圧力センサの個数は、被加工物の種類、大
きさ等に応じて増減すればよい。また、各圧力センサか
らは信号線60が引き出されている。各信号線は、ここ
では図示省略したNC制御装置91に接続されている。
研磨作業中、圧力センサ22の圧電素子は、周囲の弾性
部材24と共に変形して圧力を検出し、その検出結果を
信号線60を通してNC制御装置91に送信する。NC
制御装置91は、8個の圧力センサ22の各検出結果に
基づいて、回転ポリシャ30の圧力分布を把握し、回転
ポリシャ30の状態を把握する。例えば、ある圧力セン
サで測定された圧力が、他の圧力センサの測定結果より
も著しく低ければ、その部分が被加工物からはみ出して
いるということがわかる。弾性部材24には、例えば、
軟質樹脂やゴム系の部材を使用する。なお、弾性部材2
4は、ダンパーの役割も果たしており、研磨工具100
に衝撃が加わった場合に緩衝効果を発揮する。
【0018】モータ40は、モータ本体41から回転ポ
リシャ30に向かって突出した回転軸42と、回転軸4
2の先端部分に取り付けられた駆動側ギヤ43を備え
る。モータ本体41は、図示省略した信号線を介してN
C制御装置91に接続されており、NC制御装置91か
ら出力される制御信号に基づいて回転数等が制御され
る。
リシャ30に向かって突出した回転軸42と、回転軸4
2の先端部分に取り付けられた駆動側ギヤ43を備え
る。モータ本体41は、図示省略した信号線を介してN
C制御装置91に接続されており、NC制御装置91か
ら出力される制御信号に基づいて回転数等が制御され
る。
【0019】回転ポリシャ30は、スラストベアリング
26に取り付けられて、内周歯を駆動側ギヤ43に噛み
合わせている受動側ギヤ31と、受動側ギヤ31に着脱
可能に取り付けられている台座32と、台座32に固定
されたポリシャ33を有する。ポリシャ33には、例え
ば、ピッチ、樹脂系ボンドに研磨剤を混合したもの、ポ
リウレタン等に研磨剤を含ませたものなどを用いる。な
お、本実施形態では、受動側ギヤ31と台座32を共に
金属で形成し、また、台座32の上面部分にマグネット
(図示省略)を埋め込んでいるため、ポリシャ33を台
座32ごと取り外し、被加工物の種類に応じてポリシャ
種を変更することも可能である。また、特に図示しない
が、ポリシャの替わりに研削用の砥石が固定された台座
を用意しても構わない。このようにすれば、一つの工具
で、高精度微小研削から高精度仕上げ研磨まで、様々な
加工作業に対応することができるようになる。
26に取り付けられて、内周歯を駆動側ギヤ43に噛み
合わせている受動側ギヤ31と、受動側ギヤ31に着脱
可能に取り付けられている台座32と、台座32に固定
されたポリシャ33を有する。ポリシャ33には、例え
ば、ピッチ、樹脂系ボンドに研磨剤を混合したもの、ポ
リウレタン等に研磨剤を含ませたものなどを用いる。な
お、本実施形態では、受動側ギヤ31と台座32を共に
金属で形成し、また、台座32の上面部分にマグネット
(図示省略)を埋め込んでいるため、ポリシャ33を台
座32ごと取り外し、被加工物の種類に応じてポリシャ
種を変更することも可能である。また、特に図示しない
が、ポリシャの替わりに研削用の砥石が固定された台座
を用意しても構わない。このようにすれば、一つの工具
で、高精度微小研削から高精度仕上げ研磨まで、様々な
加工作業に対応することができるようになる。
【0020】工具軸10の途中には、ホルダ側に加わる
全加圧力を測定するための圧力センサー11が設けられ
ている。圧力センサー11の検出結果は、信号線61を
通じてNC制御装置91に通知される。圧力センサー1
1は、ポリシャの圧力分布の検出処理に直接関連するも
のではないが、ホルダ側にかかる全圧力をモニターでき
るため、研磨工具の動作を制御するための制御情報の一
つとして利用することができる。
全加圧力を測定するための圧力センサー11が設けられ
ている。圧力センサー11の検出結果は、信号線61を
通じてNC制御装置91に通知される。圧力センサー1
1は、ポリシャの圧力分布の検出処理に直接関連するも
のではないが、ホルダ側にかかる全圧力をモニターでき
るため、研磨工具の動作を制御するための制御情報の一
つとして利用することができる。
【0021】工具軸10の上端は、ボイスコイルモータ
等を駆動源とする圧力制御機構50が連結されている。
圧力制御機構50は、NC制御装置91から与えられる
指示に基づいて、研磨工具100を直動させる。
等を駆動源とする圧力制御機構50が連結されている。
圧力制御機構50は、NC制御装置91から与えられる
指示に基づいて、研磨工具100を直動させる。
【0022】図2には、研磨工具100を搭載した研磨
装置90と、研磨装置90を制御するNC制御装置91
と、数値演算装置92と、形状測定装置93と、から成
る加工システムの一例が示されている。
装置90と、研磨装置90を制御するNC制御装置91
と、数値演算装置92と、形状測定装置93と、から成
る加工システムの一例が示されている。
【0023】同図において、被加工物70は、W軸回り
に回転するロータリーテーブル71に固定されている。
ロータリーテーブル71は、Xテーブル72に載置され
ており、モータ73の駆動によりX軸方向に直動する。
Xテーブル72は、Yテーブル74に載置されており、
モータ75の駆動によりY軸方向に直動する。モータ7
3、75は、信号線を介してNC制御装置91に接続さ
れている。このように、W軸回りに回転する被加工物7
0は、モータ73、75をNC制御装置91で制御する
ことでX―Y平面上を自在に動かすことができるように
なっている。なお、後述する各モータもNC制御装置9
1によって制御される。
に回転するロータリーテーブル71に固定されている。
ロータリーテーブル71は、Xテーブル72に載置され
ており、モータ73の駆動によりX軸方向に直動する。
Xテーブル72は、Yテーブル74に載置されており、
モータ75の駆動によりY軸方向に直動する。モータ7
3、75は、信号線を介してNC制御装置91に接続さ
れている。このように、W軸回りに回転する被加工物7
0は、モータ73、75をNC制御装置91で制御する
ことでX―Y平面上を自在に動かすことができるように
なっている。なお、後述する各モータもNC制御装置9
1によって制御される。
【0024】一方、モータ80の駆動によりZ軸方向
(W軸と同方向)に移動するZフランジ81には、モー
タ82の駆動によりB軸回りに回転する回転フレーム8
3が取り付けられている。回転フレーム83には、モー
タ84の駆動によりA軸回りに回転する支持台85が取
り付けられている。支持台85には、前述した圧力制御
機構50が固定されている。
(W軸と同方向)に移動するZフランジ81には、モー
タ82の駆動によりB軸回りに回転する回転フレーム8
3が取り付けられている。回転フレーム83には、モー
タ84の駆動によりA軸回りに回転する支持台85が取
り付けられている。支持台85には、前述した圧力制御
機構50が固定されている。
【0025】NC制御装置91は、被加工物の形状を測
定し、目的の形状に対する形状精度を算出する形状測定
装置93と、形状測定装置93で算出された形状精度デ
ータに基づいて、 NC加工データを生成する数値演算
装置92にネットワークを介して接続している。
定し、目的の形状に対する形状精度を算出する形状測定
装置93と、形状測定装置93で算出された形状精度デ
ータに基づいて、 NC加工データを生成する数値演算
装置92にネットワークを介して接続している。
【0026】以上の加工システムを使用するにあたり、
作業者は、まず、形状測定装置93で被加工物の形状測
定を行い、所望の形状に対する形状精度データを取得す
る。形状精度データは、ネットワークを介した自動転送
あるいは手作業により、数値演算装置92に入力され
る。数値演算装置92は、形状精度データをもとに、被
加工物を加工するための最適な研磨条件を算出すると共
に、形状誤差を修正するためのNC加工データを生成し
てNC制御装置91に送出する。NC制御装置91は、
モータ40を駆動して研磨工具100の回転ポリシャ3
0を回転させ、与えられたNC加工データと、8個の圧
力センサ22で検出した圧力に基づいて、X、Y、Z、
A、B、W軸の6軸を同時制御して研磨工具100の位
置を変えつつ、圧力制御機構50で研磨工具100の研
磨圧を調整し、被加工物70を研磨する。そして、例え
ば、圧力センサー22の出力値に変化が現れた場合は、
被加工面とポリシャとの接触面積に変化が生じたとし
て、圧力制御機構50に制御信号を送り、ポリシャの研
磨圧(研磨荷重/接触面積)が変わらないように制御す
る。これにより、被加工物外周部まで安定した研磨加工
を行なうことができるようになる。
作業者は、まず、形状測定装置93で被加工物の形状測
定を行い、所望の形状に対する形状精度データを取得す
る。形状精度データは、ネットワークを介した自動転送
あるいは手作業により、数値演算装置92に入力され
る。数値演算装置92は、形状精度データをもとに、被
加工物を加工するための最適な研磨条件を算出すると共
に、形状誤差を修正するためのNC加工データを生成し
てNC制御装置91に送出する。NC制御装置91は、
モータ40を駆動して研磨工具100の回転ポリシャ3
0を回転させ、与えられたNC加工データと、8個の圧
力センサ22で検出した圧力に基づいて、X、Y、Z、
A、B、W軸の6軸を同時制御して研磨工具100の位
置を変えつつ、圧力制御機構50で研磨工具100の研
磨圧を調整し、被加工物70を研磨する。そして、例え
ば、圧力センサー22の出力値に変化が現れた場合は、
被加工面とポリシャとの接触面積に変化が生じたとし
て、圧力制御機構50に制御信号を送り、ポリシャの研
磨圧(研磨荷重/接触面積)が変わらないように制御す
る。これにより、被加工物外周部まで安定した研磨加工
を行なうことができるようになる。
【0027】
【発明の効果】本発明に係る研磨工具によれば、ポリシ
ャの各点の研磨圧を測定することができるので、被加工
物外周部におけるポリシャの動きを的確に制御できるよ
うになり、被加工物の中心部分から外周部まで安定した
研磨加工を行なうことができるようになる。
ャの各点の研磨圧を測定することができるので、被加工
物外周部におけるポリシャの動きを的確に制御できるよ
うになり、被加工物の中心部分から外周部まで安定した
研磨加工を行なうことができるようになる。
【0028】また、被加工物の外周部分でポリシャがは
みだして過大な研磨圧がかかるといったこともないた
め、ポリシャの摩耗が少なく、研磨工具の長寿命化が期
待できる。
みだして過大な研磨圧がかかるといったこともないた
め、ポリシャの摩耗が少なく、研磨工具の長寿命化が期
待できる。
【0029】本発明に係る研削工具でも、以上と同様な
効果が発揮される。
効果が発揮される。
【図1】本発明に係る研磨工具の一実施形態を示す概略
断面図。
断面図。
【図2】図1に示した研磨工具を搭載した研磨装置と、
その周辺装置の構成例を示した構成図。
その周辺装置の構成例を示した構成図。
【図3】従来の研磨工具の一例を示した説明図。
10:工具軸、11:全加圧力測定用圧力センサ、2
0:圧力センサ内蔵型ホルダ、21:本体、22:圧力
センサ、22a:スペーサ、22b:圧電素子、23:
ケーシング、24:弾性部材、25:ベース、26:ス
ラストベアリング、30:回転ポリシャ、31:受動側
ギヤ、32:台座、33:ポリシャ、40:モータ、4
1:モータ本体、42:回転軸、43:駆動側ギヤ、5
0:圧力制御機構、60:信号線、70:被加工物、7
1:ロータリーテーブル、72:Xテーブル、73、7
5、80、82、84:モータ、74:Yテーブル、8
1:Zフランジ、83:回転フレーム、85:支持台、
91:NC制御装置、93:形状測定装置、92:数値
演算装置、100:研磨工具
0:圧力センサ内蔵型ホルダ、21:本体、22:圧力
センサ、22a:スペーサ、22b:圧電素子、23:
ケーシング、24:弾性部材、25:ベース、26:ス
ラストベアリング、30:回転ポリシャ、31:受動側
ギヤ、32:台座、33:ポリシャ、40:モータ、4
1:モータ本体、42:回転軸、43:駆動側ギヤ、5
0:圧力制御機構、60:信号線、70:被加工物、7
1:ロータリーテーブル、72:Xテーブル、73、7
5、80、82、84:モータ、74:Yテーブル、8
1:Zフランジ、83:回転フレーム、85:支持台、
91:NC制御装置、93:形状測定装置、92:数値
演算装置、100:研磨工具
Claims (3)
- 【請求項1】研磨用のポリシャを被加工面に押し当て、
前記ポリシャと前記被加工面とを相対的に移動させて、
被加工面の研磨を行なう研磨作業に用いられる研磨工具
において、 前記ポリシャを保持するためのホルダと、 前記ホルダに設けられ、前記ポリシャの押し当て力によ
って生じる圧力を各々が検出する複数の圧力センサとを
備えたことを特徴とする研磨工具。 - 【請求項2】中空状の本体を有し、該本体の上端部分が
工具軸に固定され、かつ、該本体自身に複数の圧力セン
サが組み込まれた圧力センサ内蔵型ホルダと、 前記ホルダの本体の下端部分に回転可能に取り付けられ
た回転ポリシャと、 前記ホルダの本体の内側側面に固定されたモータとを備
え、 前記モータは、モータ本体から前記回転ポリシャに向か
って突出した回転軸と、該回転軸の先端部分に取り付け
られた駆動側ギヤを備え、 前記回転ポリシャは、被加工物に対向する面にポリシャ
を有し、その背面側に、前記回転軸の駆動側ギヤにかみ
合う受動側ギヤが形成され、 前記複数の圧力センサは、前記工具軸の延長線を囲むよ
うに各々が配置され、かつ、各々の圧力センサは、自身
の配置個所における圧力を検出して、その結果を電気信
号として出力することを特徴とする研磨工具。 - 【請求項3】研削用の砥石を被加工面に押し当て、前記
砥石と前記被加工面とを相対的に移動させて、被加工面
の研削を行なう研削作業に用いられる研削工具におい
て、 前記砥石を保持するためのホルダと、 前記ホルダに設けられ、前記砥石の押し当て力によって
生じる圧力を各々が検出する複数の圧力センサとを備え
たことを特徴とする研削工具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9090916A JPH10286772A (ja) | 1997-04-09 | 1997-04-09 | 研磨工具および研削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9090916A JPH10286772A (ja) | 1997-04-09 | 1997-04-09 | 研磨工具および研削工具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10286772A true JPH10286772A (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=14011757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9090916A Pending JPH10286772A (ja) | 1997-04-09 | 1997-04-09 | 研磨工具および研削工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10286772A (ja) |
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- 1997-04-09 JP JP9090916A patent/JPH10286772A/ja active Pending
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