JPH1114570A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
蛍光x線分析装置Info
- Publication number
- JPH1114570A JPH1114570A JP13118398A JP13118398A JPH1114570A JP H1114570 A JPH1114570 A JP H1114570A JP 13118398 A JP13118398 A JP 13118398A JP 13118398 A JP13118398 A JP 13118398A JP H1114570 A JPH1114570 A JP H1114570A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- point
- rays
- sample
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
装置で複数種の波長の1次X線を選択可能としたもの
は、複数のX線管と夫々に対応するX線分光手段を用い
ていたので、装置が大型,複雑,高価である。この点を
改善する。 【解決手段】 一つのX線管1のX線発生点Pを共通の
X線入射点とし、試料2上の一点Qを共通のX線収束点
とする複数種の分光結晶51〜56をX線発生点Pと試
料上のX線収束点Qを結ぶ直線の周りに配置した。
Description
を励起X線として使用し得るようにした蛍光X線分析装
置に関する。
のため、試料を照射する励起用X線(1次X線)をX線
分光器を通して単色化することが行われている。この場
合単色化されたX線の波長は試料中の検出しようとする
元素の特性X線波長或いはそれに近い波長に選定される
から、検出しようとする元素が複数あるときは、1次X
線用分光器が一つしかないときはそれら複数の元素の同
時検出定量ができず、分析に時間がかゝる。そこで同時
に複数種の波長の1次X線を照射できる蛍光X線分析装
置が用いられている。
試料に照射できる従来の蛍光X線分析装置は、各波長毎
にX線管とX線分光器を備え、使用したい一乃至複数の
X線波長に応じて対応するX線管の電源をオン,オフし
たり、或いはX線管毎のシャッターを開閉することで波
長の選択切換えを行なう構成であった。
のような問題があった。複数のX線管と複数のX線分光
器を用いるから装置が大型となり高価となる。使用する
X線波長の切換え手段が電源のオン,オフであってもシ
ャッターの開閉であっても装置を複雑化するものであ
り、装置価格を押上げる。また切換えに時間がかゝる。
本発明は複数種の波長の1次X線を用い得る蛍光X線分
析装置の上述したような問題を解消しようとするもので
ある。
線発生点と試料面の一つの分析点とを結ぶ直線の周りに
配置され、上記X線発生点を入射点とし、試料面の上記
一つの分析点を出射点とする複数のX線分光器と、上記
各X線分光器のX線入射側および出射側に配置されて、
各X線分光器の分光結晶に入射するX線と各分光結晶か
ら試料に向かうX線のみを通す各X線分光器毎の入射ス
リットおよび出射スリットとにより蛍光X線分析装置を
構成した。
示す。この実施形態は三種類の1次X線を取出し使用で
きる構成である。図で1がX線管、2が試料、3がX線
検出手段で試料から放射される蛍光X線を検出する。X
線管のターゲット1tのP点は励起用電子線の焦点で、
1次X線の放射点である。Q点は試料分析位置で、こゝ
に試料2の分析点を位置させる。P点とQ点を結ぶ直線
Aの周りに6個の分光結晶51〜56が配置されている
(52,53,55,56の4個は図では見えていな
い)。各分光結晶は湾曲結晶で夫々がP点Q点を通る夫
々のローランド円上に配置されて、P点をX線入射点、
Q点をX線収束点とするX線分光器を構成している。こ
れらの分光器は2個一組で一波長のX線を取出すように
なっている。4はX線入射スリット板、6はX線出射ス
リット板である。
る。スリット板4は図1で紙面に垂直の方向に摺動可能
であり,2組のスリット孔41〜46と47が設けられ
ている。スリット孔41〜46はC点を中心として相互
の角間隔60°に配置され、中心から各スリット孔まで
の距離は夫々のスリット孔と対応する分光結晶の種類と
出射すべきX線の波長とから決まる値に設定されてい
る。スリット板4はC点を図1の中心線Aが通る位置
と、スリット孔47の中心をAが通る位置の2位置を採
ることができるようになっている。図2Bはスリット板
6の正面図である。スリット板6も図1で紙面に垂直の
方向に摺動可能になっている。スリット板6には5組の
スリット孔が設けられている。第1の組は分光結晶51
〜56に対応する全部のスリット孔61〜66よりな
り、第2の組は第1組のスリット孔63と64に相当す
るスリット孔63aと64aを有し、第3の組は同じく
65a,66aの二つのスリット孔を有し、第4の組は
61aと62aの二つのスリット孔を有し、第5の組は
中央の一組の孔67のみを有する。スリット板6の各組
のスリット孔は夫々点D1 〜D5 を中心にして配置され
ている。各組のスリット孔61〜66で同じ孔番のもの
は夫々の組の中心から同じ距離にあり、その距離はスリ
ット板4の対応するスリット孔41〜46と夫々対応す
る分光結晶51〜56とで目的の波長のX線を取出す分
光器を構成するように設定してある。
位置するように設定し、図2Bのスリット板6の第1の
組のスリット孔の中心D1 が図1の中心線A上に位置す
るようにすると、3種類の波長のX線が同時に試料上の
Q点を照射する。またスリット板4を上述位置のまゝに
して例えばスリット板6のD3 点を図1の中心線A上に
位置させれば分光結晶55と56により選択された一つ
の波長のX線だけが試料を照射することになる。スリッ
ト板4のスリット孔47とスリット板6の第5組のスリ
ット孔67を図1の中心線A上に位置させると、試料を
X線管1から放射される全波長のX線で照射することが
できる。また同様にして図2Cのスリット板を用いる
と、3個一組のスリット二組とスリット孔67の3種の
選択切替えが出来る。従って複数のX線管を一々点滅し
て照射X線を選択或いは切換えると云った構造上、操作
上の複雑さがない。
適用できる。分光結晶を用いた波長走査可能のもの、比
例係数管のような波長選択機能を持ったもの或いは全波
長X線を検出可能な計数管等である。上例のように複数
種の波長の1次X線を同時照射し得る場合、複数の比例
計数管を夫々検出したいX線波長に合わせて窓を設定し
ておくことにより複数の元素の同時検出定量が可能であ
る。
の中に含まれる元素の特性X線を放射している。スリッ
ト板4,分光結晶51〜56およびスリット板6で構成
される各X線分光器はそれらの配置および分光結晶の種
類によってこれらの特性X線の波長に合わせてあって、
これらの特性X線波長のX線を選んで試料に照射させ
る。他の一例を用いて説明すると、ターゲットがRhで
あって、RhKα,RhLα線が放射され、RhKαに
対応して分光結晶51〜53としてLiFの(200)
面を用い、RhLαに対して分光結晶54〜56にTA
Pが用いられる。この選択によって試料にはRhLαと
RhKαの両線が照射される。この組合せは3個の分光
結晶が一X線波長に対応し、二種の波長のX線を取出せ
るが、6個の分光結晶の各々を全部異なる波長のX線を
取出す構成とするよりも一つの波長のX線強度を高める
ことができる。例えば2個一組なら2倍、3個一組なら
3倍と言うようにX線強度が高まる。このように1次X
線を2波長とするときはスリット板6は図2Cに示すよ
うに二組のスリット孔を有するものとすればよい。
いると図3に示す特性X線のスペクトルから判るように
試料中のS,Pb等のSKα線,PbLβ線を試料から
の蛍光X線として検出することができる。上述した所は
1次X線の波長は3種類と2種類が選べる場合だけであ
るが、本発明ではもとより1次X線の選択し得る波長の
種類は限定されないものである。分光結晶の数も6と限
らず、4個とか8個その他でもよい。分光結晶の数を増
し、図1の中心線Aの周りの各X線分光器の分担角度範
囲を小さくするとX線の利用効率を高めることができ
る。
の波長の1次X線を単独または同時に選択して試料を照
射することができ、複数種のX線管と分光器を用いるの
に比し装置が小型にできる。本発明でも複数の分光器を
用いているが、それがX線管と試料を結ぶ一つの直線の
周りに配置されているので装置が特に小型化され、しか
もX線の利用効率も高められている。また1次X線の選
択はX線管の点滅によらず、スリット孔群の選択だけで
行われるから選択したX線管の立上りを待つ必要がな
く、複数種の元素の分析が迅速に行えることになる。
図。
きることを示すX線スペクトルの図。
Claims (1)
- 【請求項1】 一つのX線管と、そのX線発生点と試料
が置かれる場所の一つの点とを結ぶ直線の周りに配置さ
れ、上記X線発生点をX線の入射点とし、上記試料が置
かれる場所の一つの点をX線の収束点とする複数のX線
分光器と、上記各X線分光器の分光結晶へのX線入射側
と分光結晶からの出射側とに配置されて、各分光結晶か
ら試料に向かうX線のみを通すX線分光器毎の入射側ス
リットおよび出射側スリットとよりなる蛍光X線分析装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13118398A JP3843601B2 (ja) | 1997-04-30 | 1998-04-24 | 蛍光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12627297 | 1997-04-30 | ||
JP9-126272 | 1997-04-30 | ||
JP13118398A JP3843601B2 (ja) | 1997-04-30 | 1998-04-24 | 蛍光x線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1114570A true JPH1114570A (ja) | 1999-01-22 |
JP3843601B2 JP3843601B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=26462493
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13118398A Expired - Fee Related JP3843601B2 (ja) | 1997-04-30 | 1998-04-24 | 蛍光x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3843601B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1152096A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Rigaku Ind Co | 点集束型x線分光装置 |
JP2002195963A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Ours Tex Kk | X線分光装置およびx線分析装置 |
JP2008170236A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | High Energy Accelerator Research Organization | X線及び中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 |
DE19853754B4 (de) * | 1998-11-21 | 2009-06-10 | Spectro Analytical Instruments Gmbh | Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern |
JP2011513751A (ja) * | 2008-03-05 | 2011-04-28 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | 高度に位置合わせされた筐体内に複数の励起エネルギー帯域を有するxrfシステム |
EP4201328A1 (en) * | 2021-12-21 | 2023-06-28 | Universität Hamburg | X-ray irradiation apparatus, including a spectrally shaping x-ray optic and a spectral filter aperture device, for x-ray imaging |
-
1998
- 1998-04-24 JP JP13118398A patent/JP3843601B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1152096A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Rigaku Ind Co | 点集束型x線分光装置 |
DE19853754B4 (de) * | 1998-11-21 | 2009-06-10 | Spectro Analytical Instruments Gmbh | Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern |
JP2002195963A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Ours Tex Kk | X線分光装置およびx線分析装置 |
JP2008170236A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | High Energy Accelerator Research Organization | X線及び中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 |
JP4521573B2 (ja) * | 2007-01-10 | 2010-08-11 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | 中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 |
JP2011513751A (ja) * | 2008-03-05 | 2011-04-28 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | 高度に位置合わせされた筐体内に複数の励起エネルギー帯域を有するxrfシステム |
EP4201328A1 (en) * | 2021-12-21 | 2023-06-28 | Universität Hamburg | X-ray irradiation apparatus, including a spectrally shaping x-ray optic and a spectral filter aperture device, for x-ray imaging |
WO2023117921A1 (en) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | Universität Hamburg | X-ray irradiation apparatus, including a spectrally shaping x-ray optic and a spectral filter aperture device, for x-ray imaging |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3843601B2 (ja) | 2006-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6023496A (en) | X-ray fluorescence analyzing apparatus | |
CA1229897A (en) | Optics system for emission spectrometer | |
UA59495C2 (uk) | Рентгенівський вимірювально-випробувальний комплекс | |
GB2128359A (en) | Double-beam spectrophotometer | |
JPH06213836A (ja) | X線分析装置 | |
JPWO2004086018A1 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
CN107884387A (zh) | 光谱仪及光谱检测*** | |
JP3511826B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP3843601B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
US4487477A (en) | Optical beam splitter | |
JP2002501209A (ja) | 広いx線エネルギー範囲にわたって高い感度を得るためのx線コリメータ光学系を有する波長分散x線スペクトロメータ | |
EP0059836A1 (en) | Optical beam splitter | |
JP2002195963A (ja) | X線分光装置およびx線分析装置 | |
JP3860641B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP2564896B2 (ja) | X線分光マッピング装置 | |
US10914628B2 (en) | Apparatus for spectrum and intensity profile characterization of a beam, use thereof and method thereof | |
US2955508A (en) | Double beam spectrometers | |
US6546069B1 (en) | Combined wave dispersive and energy dispersive spectrometer | |
US4647202A (en) | Spectrophosphorimetry | |
JP3498689B2 (ja) | モノクロ線源励起用モノクロメータ及び蛍光x線分析装置 | |
JPH0921766A (ja) | X線分析方法 | |
JPH0120680Y2 (ja) | ||
JPH01180439A (ja) | X線分光装置 | |
JP2000009666A (ja) | X線分析装置 | |
JPS63168520A (ja) | 分光蛍光光度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060317 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060516 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060627 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060725 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060807 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090825 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100825 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110825 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110825 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120825 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120825 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130825 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |