JPH11144948A - バケット型イオン源用の磁石ケース - Google Patents
バケット型イオン源用の磁石ケースInfo
- Publication number
- JPH11144948A JPH11144948A JP31894997A JP31894997A JPH11144948A JP H11144948 A JPH11144948 A JP H11144948A JP 31894997 A JP31894997 A JP 31894997A JP 31894997 A JP31894997 A JP 31894997A JP H11144948 A JPH11144948 A JP H11144948A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- magnet
- magnet case
- face
- permanent magnet
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数個の永久磁石を互いに極性が揃う方向に
並べて収納する際に、互いに反発する永久磁石が磁石ケ
ースから飛び出すことを防止する。 【解決手段】 この磁石ケース20は四角筒状をしてお
り、当該四角筒を形成する四側面21〜24および二端
面25〜26の内の一端面25を開口面にし、この開口
面25の一辺に沿って、内向きに折り曲げた折り曲げ片
32を設けている。更に、この折り曲げ片32に対向す
る側面21の当該折り曲げ片32側の端部に、開口面に
した端面25につながる開口部28を形成し、この開口
部28および開口面にした端面25によって永久磁石6
の挿入口30を形成している。
並べて収納する際に、互いに反発する永久磁石が磁石ケ
ースから飛び出すことを防止する。 【解決手段】 この磁石ケース20は四角筒状をしてお
り、当該四角筒を形成する四側面21〜24および二端
面25〜26の内の一端面25を開口面にし、この開口
面25の一辺に沿って、内向きに折り曲げた折り曲げ片
32を設けている。更に、この折り曲げ片32に対向す
る側面21の当該折り曲げ片32側の端部に、開口面に
した端面25につながる開口部28を形成し、この開口
部28および開口面にした端面25によって永久磁石6
の挿入口30を形成している。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、プラズマ閉じ込
めにカスプ磁場を用いるバケット型イオン源に、当該カ
スプ磁場を形成する永久磁石を取り付けるために用いら
れるものであって、複数個の角柱状の永久磁石を互いに
極性が揃う方向に並べて収納する磁石ケースに関し、よ
り具体的には、収納の際に、互いに反発する永久磁石が
磁石ケースから飛び出すことを防止する手段に関する。
めにカスプ磁場を用いるバケット型イオン源に、当該カ
スプ磁場を形成する永久磁石を取り付けるために用いら
れるものであって、複数個の角柱状の永久磁石を互いに
極性が揃う方向に並べて収納する磁石ケースに関し、よ
り具体的には、収納の際に、互いに反発する永久磁石が
磁石ケースから飛び出すことを防止する手段に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は、バケット型イオン源の一例を示
す断面図である。この種のバケット型イオン源は、例え
ば特開平9−129150号公報に開示されている。
す断面図である。この種のバケット型イオン源は、例え
ば特開平9−129150号公報に開示されている。
【0003】このバケット型イオン源は、プラズマ2を
生成するプラズマ生成容器4を備えており、その外壁部
に、即ち側壁の外周部および上蓋の上部に、プラズマ生
成容器4内にカスプ磁場を形成する複数の永久磁石6が
取り付けられている。このカスプ磁場によって、プラズ
マ2を構成する電子およびイオンの閉じ込め時間を増大
させて、プラズマ2の生成効率を高めることができる。
そしてこのプラズマ2から、例えば複数枚の多孔電極か
ら成る引出し電極系8によって電界の作用で、イオンビ
ーム10を引き出すことができる。なお、プラズマ2の
励起手段は、特定のものに限定されるものではなく、例
えば、アーク放電、高周波放電、マイクロ波放電等があ
る。
生成するプラズマ生成容器4を備えており、その外壁部
に、即ち側壁の外周部および上蓋の上部に、プラズマ生
成容器4内にカスプ磁場を形成する複数の永久磁石6が
取り付けられている。このカスプ磁場によって、プラズ
マ2を構成する電子およびイオンの閉じ込め時間を増大
させて、プラズマ2の生成効率を高めることができる。
そしてこのプラズマ2から、例えば複数枚の多孔電極か
ら成る引出し電極系8によって電界の作用で、イオンビ
ーム10を引き出すことができる。なお、プラズマ2の
励起手段は、特定のものに限定されるものではなく、例
えば、アーク放電、高周波放電、マイクロ波放電等があ
る。
【0004】このようなバケット型イオン源は、例え
ば、イオンドーピング装置(非質量分離型のイオン注入
装置)やその他のイオン注入装置等に用いられる。
ば、イオンドーピング装置(非質量分離型のイオン注入
装置)やその他のイオン注入装置等に用いられる。
【0005】上記永久磁石6は、実際は、図4に示すよ
うな磁石ケース12に複数個収納してイオン源に取り付
ける。
うな磁石ケース12に複数個収納してイオン源に取り付
ける。
【0006】この磁石ケース12は、非磁性材製であ
り、四角筒状をしていてその一側面14が開口面(即ち
開口した面)であり、この開口面14から、複数個(図
示例では3個)の角柱状の永久磁石6を、互いに極性が
揃う方向に並べて(即ち複数個の永久磁石6が集まって
一つの大きな永久磁石を形成するように並べて。以下同
じ)、矢印Aに示すように磁石ケース12内に収納す
る。
り、四角筒状をしていてその一側面14が開口面(即ち
開口した面)であり、この開口面14から、複数個(図
示例では3個)の角柱状の永久磁石6を、互いに極性が
揃う方向に並べて(即ち複数個の永久磁石6が集まって
一つの大きな永久磁石を形成するように並べて。以下同
じ)、矢印Aに示すように磁石ケース12内に収納す
る。
【0007】このように磁石ケース12に収納した永久
磁石6は、例えば図5に示すように、開口面14をプラ
ズマ生成容器4側にして、プラズマ生成容器4の外壁部
に例えば固定具16によって取り付ける。
磁石6は、例えば図5に示すように、開口面14をプラ
ズマ生成容器4側にして、プラズマ生成容器4の外壁部
に例えば固定具16によって取り付ける。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】複数個の永久磁石6を
上記のように互いに極性が揃う方向に並べて磁石ケース
12に収納する場合、各永久磁石6は互いに反発する。
上記のように互いに極性が揃う方向に並べて磁石ケース
12に収納する場合、各永久磁石6は互いに反発する。
【0009】ところが、従来の磁石ケース12は一側面
14が単に開口しているだけであるので、そこから互い
に反発する永久磁石6を磁石ケース12内に入れても、
そのままでは永久磁石6が磁石ケース12から反発力に
よって飛び出してしまう。
14が単に開口しているだけであるので、そこから互い
に反発する永久磁石6を磁石ケース12内に入れても、
そのままでは永久磁石6が磁石ケース12から反発力に
よって飛び出してしまう。
【0010】それを防止するために従来は、作業者が、
永久磁石6を磁石ケース12に入れた後に永久磁石6が
飛び出さないように永久磁石6を手で押さえながらバケ
ット型イオン源(具体的には図5に示したようにそのプ
ラズマ生成容器4)に取り付ける作業を行っていたけれ
ども、油断するとすぐに永久磁石6が飛び出してしまう
ため、作業がしずらく、取り付けの作業性が悪い。
永久磁石6を磁石ケース12に入れた後に永久磁石6が
飛び出さないように永久磁石6を手で押さえながらバケ
ット型イオン源(具体的には図5に示したようにそのプ
ラズマ生成容器4)に取り付ける作業を行っていたけれ
ども、油断するとすぐに永久磁石6が飛び出してしまう
ため、作業がしずらく、取り付けの作業性が悪い。
【0011】また、誤って永久磁石6が磁石ケース12
から飛び出すと、それがプラズマ生成容器4等の他の部
材に衝突して当該永久磁石6が破損する場合もある。
から飛び出すと、それがプラズマ生成容器4等の他の部
材に衝突して当該永久磁石6が破損する場合もある。
【0012】そこでこの発明は、複数個の永久磁石を互
いに極性が揃う方向に並べて収納する際に、互いに反発
する永久磁石が磁石ケースから飛び出すのを防止するこ
とができる磁石ケースを提供することを主たる目的とす
る。
いに極性が揃う方向に並べて収納する際に、互いに反発
する永久磁石が磁石ケースから飛び出すのを防止するこ
とができる磁石ケースを提供することを主たる目的とす
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】この発明の磁石ケース
は、四角筒状をしていて当該四角筒を形成する四側面お
よび二端面の内の一端面を開口面にし、この開口面の一
辺に沿って、内向きに折り曲げた折り曲げ片を設け、か
つこの折り曲げ片に対向する側面の当該折り曲げ片側の
端部に、開口面にした前記端面につながる開口部を形成
し、この開口部および開口面にした前記端面によって前
記永久磁石の挿入口を形成していることを特徴としてい
る。
は、四角筒状をしていて当該四角筒を形成する四側面お
よび二端面の内の一端面を開口面にし、この開口面の一
辺に沿って、内向きに折り曲げた折り曲げ片を設け、か
つこの折り曲げ片に対向する側面の当該折り曲げ片側の
端部に、開口面にした前記端面につながる開口部を形成
し、この開口部および開口面にした前記端面によって前
記永久磁石の挿入口を形成していることを特徴としてい
る。
【0014】上記構成によれば、挿入口から磁石ケース
内に挿入した永久磁石は、互いに反発力が作用しても、
挿入口の下部にある折り曲げ片に引っ掛かるので、挿入
口からは飛び出さない。また、磁石ケースは、端部に開
口部を形成した側面を含めた四側面および開口面として
いない一端面の合計五面が閉じられた構造であるので、
挿入口以外からも永久磁石が飛び出すことはない。従っ
て、互いに反発する永久磁石が磁石ケースから飛び出す
ことを、従来例のように永久磁石を手で押さえていなく
ても防止することができる。
内に挿入した永久磁石は、互いに反発力が作用しても、
挿入口の下部にある折り曲げ片に引っ掛かるので、挿入
口からは飛び出さない。また、磁石ケースは、端部に開
口部を形成した側面を含めた四側面および開口面として
いない一端面の合計五面が閉じられた構造であるので、
挿入口以外からも永久磁石が飛び出すことはない。従っ
て、互いに反発する永久磁石が磁石ケースから飛び出す
ことを、従来例のように永久磁石を手で押さえていなく
ても防止することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】図1は、この発明に係る磁石ケー
スの一例を永久磁石と共に示す斜視図である。この磁石
ケース20は、複数個(図示例では3個。但しそれに限
らない)の前述したような角柱状の永久磁石6を互いに
極性が揃う方向に並べて収納するものであって、複数個
並べた永久磁石6に対応する四角筒状をしており、かつ
例えば非磁性ステンレス鋼(例えばSUS316)等の
非磁性材から成る。
スの一例を永久磁石と共に示す斜視図である。この磁石
ケース20は、複数個(図示例では3個。但しそれに限
らない)の前述したような角柱状の永久磁石6を互いに
極性が揃う方向に並べて収納するものであって、複数個
並べた永久磁石6に対応する四角筒状をしており、かつ
例えば非磁性ステンレス鋼(例えばSUS316)等の
非磁性材から成る。
【0016】そして、上記四角筒を形成する四側面21
〜24および二端面25〜26の内の一端面25を開口
面(即ち開口した面)にして、この開口面25の一辺に
沿って、内向きに折り曲げた(折り返した)折り曲げ片
32を設けている。
〜24および二端面25〜26の内の一端面25を開口
面(即ち開口した面)にして、この開口面25の一辺に
沿って、内向きに折り曲げた(折り返した)折り曲げ片
32を設けている。
【0017】更に、この折り曲げ片32に対向する側面
21の当該折り曲げ片32側の端部に、開口面にした端
面25につながる開口部28を形成し、この開口部28
および開口面にした端面25によって永久磁石6の挿入
口30を形成している。
21の当該折り曲げ片32側の端部に、開口面にした端
面25につながる開口部28を形成し、この開口部28
および開口面にした端面25によって永久磁石6の挿入
口30を形成している。
【0018】上記開口部28の長さL1 は、当該開口部
28の下に位置する(即ち最後に挿入する)永久磁石6
が当該開口部28から飛び出すのを確実に防止するため
に、最後に挿入する永久磁石6の長さL2 よりも小さい
(即ちL1 <L2 )にしておくのが好ましいが、あまり
小さくすると挿入口30が小さくなって永久磁石6の挿
入がしずらくなるので、両者の兼ね合い(即ち永久磁石
6の飛び出し防止と出し入れの容易さ)を保つために、
0.3L2 ≦L1 ≦0.7L2 程度にするのが好まし
く、その内でもL1 ≒0.5L2 程度がより好ましい。
28の下に位置する(即ち最後に挿入する)永久磁石6
が当該開口部28から飛び出すのを確実に防止するため
に、最後に挿入する永久磁石6の長さL2 よりも小さい
(即ちL1 <L2 )にしておくのが好ましいが、あまり
小さくすると挿入口30が小さくなって永久磁石6の挿
入がしずらくなるので、両者の兼ね合い(即ち永久磁石
6の飛び出し防止と出し入れの容易さ)を保つために、
0.3L2 ≦L1 ≦0.7L2 程度にするのが好まし
く、その内でもL1 ≒0.5L2 程度がより好ましい。
【0019】なお、この実施例では、側面21を折り曲
げ加工によって蓋のように形成していて、この折り曲げ
加工を容易にするために、当該側面21とそれに交わる
側面24との間に隙間34を設けているが、これは単に
加工上から来るものであって、例えば図2に示す実施例
のように、上記側面21と側面24とを、隙間を設けず
に当接させたり一体的に連続させたりしても良い。
げ加工によって蓋のように形成していて、この折り曲げ
加工を容易にするために、当該側面21とそれに交わる
側面24との間に隙間34を設けているが、これは単に
加工上から来るものであって、例えば図2に示す実施例
のように、上記側面21と側面24とを、隙間を設けず
に当接させたり一体的に連続させたりしても良い。
【0020】この磁石ケース20へは、複数個の永久磁
石6を、図1中に矢印Bで示すように、挿入口30か
ら、その下部の折り曲げ片32を越えるように少し斜め
にして、即ち前方を少し下にして挿入する。その場合、
開口面とした端面25だけだと折り曲げ片32が邪魔に
なって永久磁石6を挿入するのが難しいけれども、その
上部に開口部28を設けていてここに永久磁石6を折り
曲げ片32ぶんだけ逃がすことができるので、折り曲げ
片32を避けて永久磁石6を容易に磁石ケース20内に
挿入することができる。また、開口部28を設けている
ので、この開口部28を使用することによって、挿入し
た永久磁石6を磁石ケース20から取り出すことも容易
である。
石6を、図1中に矢印Bで示すように、挿入口30か
ら、その下部の折り曲げ片32を越えるように少し斜め
にして、即ち前方を少し下にして挿入する。その場合、
開口面とした端面25だけだと折り曲げ片32が邪魔に
なって永久磁石6を挿入するのが難しいけれども、その
上部に開口部28を設けていてここに永久磁石6を折り
曲げ片32ぶんだけ逃がすことができるので、折り曲げ
片32を避けて永久磁石6を容易に磁石ケース20内に
挿入することができる。また、開口部28を設けている
ので、この開口部28を使用することによって、挿入し
た永久磁石6を磁石ケース20から取り出すことも容易
である。
【0021】このようにして挿入口30から磁石ケース
20内に挿入した永久磁石6は、互いに反発力が作用し
ても、挿入口30の下部にある折り曲げ片32に引っ掛
かるので、挿入口30からは飛び出さない。また、磁石
ケース20は、端部に開口部28を形成した側面21を
含めた四側面21〜24および開口面としていない一端
面26の合計五面が閉じられた構造であるので、挿入口
30以外からも永久磁石6が飛び出すことはない。従っ
て、互いに反発する永久磁石6が磁石ケース20から飛
び出すことを、従来例のように永久磁石6を手で押さえ
ていなくても防止することができる。
20内に挿入した永久磁石6は、互いに反発力が作用し
ても、挿入口30の下部にある折り曲げ片32に引っ掛
かるので、挿入口30からは飛び出さない。また、磁石
ケース20は、端部に開口部28を形成した側面21を
含めた四側面21〜24および開口面としていない一端
面26の合計五面が閉じられた構造であるので、挿入口
30以外からも永久磁石6が飛び出すことはない。従っ
て、互いに反発する永久磁石6が磁石ケース20から飛
び出すことを、従来例のように永久磁石6を手で押さえ
ていなくても防止することができる。
【0022】その結果、この磁石ケース20に収納した
永久磁石6をバケット型イオン源に、例えば図3に示し
たようなバケット型イオン源に取り付ける作業が容易に
なり、取り付けの作業性が向上する。なお、この場合の
取り付けは、図5に示した従来例の場合と同様、例えば
側面21をイオン源(具体的にはそのプラズマ生成容器
4)側にして行えば良い。また、この磁石ケース20に
よれば、誤って永久磁石6が磁石ケース20から飛び出
す恐れもないので、永久磁石6の破損を防ぐこともでき
る。
永久磁石6をバケット型イオン源に、例えば図3に示し
たようなバケット型イオン源に取り付ける作業が容易に
なり、取り付けの作業性が向上する。なお、この場合の
取り付けは、図5に示した従来例の場合と同様、例えば
側面21をイオン源(具体的にはそのプラズマ生成容器
4)側にして行えば良い。また、この磁石ケース20に
よれば、誤って永久磁石6が磁石ケース20から飛び出
す恐れもないので、永久磁石6の破損を防ぐこともでき
る。
【0023】なお、上記折り曲げ片32は、その折り曲
げ方向に、即ち図2中に示す矢印C方向に、弾性を有す
るものとしても良く、そのようにすれば、永久磁石6の
挿入時に当該折り曲げ片32が撓むので、永久磁石6の
挿入がより容易になる。従ってこの場合は、開口部28
の長さL1 をより短くしても良い。
げ方向に、即ち図2中に示す矢印C方向に、弾性を有す
るものとしても良く、そのようにすれば、永久磁石6の
挿入時に当該折り曲げ片32が撓むので、永久磁石6の
挿入がより容易になる。従ってこの場合は、開口部28
の長さL1 をより短くしても良い。
【0024】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、挿入口
から磁石ケース内に挿入した永久磁石は、互いに反発力
が作用しても、挿入口の下部にある折り曲げ片に引っ掛
かるので、挿入口からは飛び出さない。また、磁石ケー
スは、端部に開口部を形成した側面を含めた四側面およ
び開口面としていない一端面の合計五面が閉じられた構
造であるので、挿入口以外からも永久磁石が飛び出すこ
とはない。従って、互いに反発する永久磁石が磁石ケー
スから飛び出すことを、従来例のように永久磁石を手で
押さえていなくても防止することができる。その結果、
この磁石ケースに収納した永久磁石をバケット型イオン
源に取り付ける作業が容易になり、取り付けの作業性が
向上する。また、誤って永久磁石が磁石ケースから飛び
出す恐れもないので、永久磁石の破損を防ぐこともでき
る。
から磁石ケース内に挿入した永久磁石は、互いに反発力
が作用しても、挿入口の下部にある折り曲げ片に引っ掛
かるので、挿入口からは飛び出さない。また、磁石ケー
スは、端部に開口部を形成した側面を含めた四側面およ
び開口面としていない一端面の合計五面が閉じられた構
造であるので、挿入口以外からも永久磁石が飛び出すこ
とはない。従って、互いに反発する永久磁石が磁石ケー
スから飛び出すことを、従来例のように永久磁石を手で
押さえていなくても防止することができる。その結果、
この磁石ケースに収納した永久磁石をバケット型イオン
源に取り付ける作業が容易になり、取り付けの作業性が
向上する。また、誤って永久磁石が磁石ケースから飛び
出す恐れもないので、永久磁石の破損を防ぐこともでき
る。
【図1】この発明に係る磁石ケースの一例を永久磁石と
共に示す斜視図である。
共に示す斜視図である。
【図2】この発明に係る磁石ケースの他の例を示す斜視
図である。
図である。
【図3】バケット型イオン源の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図4】従来の磁石ケースの一例を永久磁石と共に示す
斜視図である。
斜視図である。
【図5】磁石ケースに収納した永久磁石をバケット型イ
オン源を構成するプラズマ生成容器の外壁に取り付ける
例を示す断面図である。
オン源を構成するプラズマ生成容器の外壁に取り付ける
例を示す断面図である。
6 永久磁石 20 磁石ケース 21〜24 側面 25 端面(開口面) 26 端面 28 開口部 30 挿入口 32 折り曲げ片
Claims (1)
- 【請求項1】 プラズマ閉じ込めにカスプ磁場を用いる
バケット型イオン源に、当該カスプ磁場を形成する永久
磁石を取り付けるために用いられるものであって、複数
個の角柱状の永久磁石を互いに極性が揃う方向に並べて
収納する四角筒状かつ非磁性材製の磁石ケースにおい
て、前記四角筒を形成する四側面および二端面の内の一
端面を開口面にし、この開口面の一辺に沿って、内向き
に折り曲げた折り曲げ片を設け、かつこの折り曲げ片に
対向する側面の当該折り曲げ片側の端部に、開口面にし
た前記端面につながる開口部を形成し、この開口部およ
び開口面にした前記端面によって前記永久磁石の挿入口
を形成していることを特徴とするバケット型イオン源用
の磁石ケース。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31894997A JPH11144948A (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | バケット型イオン源用の磁石ケース |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31894997A JPH11144948A (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | バケット型イオン源用の磁石ケース |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11144948A true JPH11144948A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=18104798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31894997A Pending JPH11144948A (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | バケット型イオン源用の磁石ケース |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11144948A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007509504A (ja) * | 2003-10-22 | 2007-04-12 | デクスター・マグネティック・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 永久磁石組立体を組み立てる方法 |
JP2007165741A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Neomax Co Ltd | 永久磁石ユニットおよびそれを備える磁界発生装置 |
JP2012216626A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Tdk Corp | 複合磁石構造体 |
JP2013108988A (ja) * | 2011-11-21 | 2013-06-06 | Krohne Ag | 核磁気流量測定装置用の磁石アセンブリ |
-
1997
- 1997-11-04 JP JP31894997A patent/JPH11144948A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007509504A (ja) * | 2003-10-22 | 2007-04-12 | デクスター・マグネティック・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 永久磁石組立体を組み立てる方法 |
JP2007165741A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Neomax Co Ltd | 永久磁石ユニットおよびそれを備える磁界発生装置 |
JP2012216626A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Tdk Corp | 複合磁石構造体 |
JP2013108988A (ja) * | 2011-11-21 | 2013-06-06 | Krohne Ag | 核磁気流量測定装置用の磁石アセンブリ |
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