JPH1114485A

JPH1114485A - 圧力センサ

Info

Publication number: JPH1114485A
Application number: JP16739697A
Authority: JP
Inventors: Keiji Sasaki; 慶治佐々木; Yukio Koganei; 幸雄小金井
Original assignee: Fujikoki Corp
Current assignee: Fujikoki Corp
Priority date: 1997-06-24
Filing date: 1997-06-24
Publication date: 1999-01-22

Abstract

(57)【要約】【課題】製造途中で電気出力の調整が可能であり、部
品点数の増加を招くことなくセンサ全体を小型化するこ
とができる圧力センサを提供する。【解決手段】電気回路基板２と、圧力センサモジュー
ル１と、ケース４と、該基板２と該モジュール１とケー
ス４を収容するハウジング本体３と、コネクタ部５とを
有し、ハウジング本体３は、該基板２および該モジュー
ル１ならびにケース４を収容する内部空間３４と上部周
辺に立ち上がる立上部３１を有しており、該立上部３１
は、複数のスリットが設けられてケースをかしめ固定す
る部分とコネクタをかしめ固定する部分とに分けられ、
ケース４の周辺上部とコネクタ部５の周辺下部に互いに
嵌合する切欠部を設けるとともに、ケースかしめ部分に
よってケース４を固定し、コネクタかしめ部によって圧
力センサ本体とケースを一体に固定した圧力センサ１０
０。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサに関
し、特に部品点数を減らし、小型化するとともに、調整
しやすくかつ組み立てやすい圧力センサの構造に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の圧力センサ１５０の構成を、その
断面構造を示す図７を用いて説明する。従来の圧力セン
サ１５０は、可変静電容量型圧力センサもしくは可変抵
抗型圧力センサのような圧力センサモジュール１と、静
電容量の変化もしくは抵抗の変化を電流もしくは電圧の
電気出力に変換する電気回路を搭載した電気回路基板２
と、電気回路基板を載置するケース４と、前記圧力セン
サモジュール１および電気回路基板２ならびにケース４
を収容するとともに圧力測定空間に接続された空間を有
するハウジング本体３と、前記電気回路出力を外部に取
り出すコネクタ５と、シール部材６と、前記ハウジング
本体３とコネクタ５とを固着するスリーブ９とから構成
される。

【０００３】圧力センサモジュール１は、セラミックな
どの絶縁物質からなる基板１１と、ガラス接着剤などか
らなる間隔保持部材１３によって所定の間隔を保って保
持されたセラミックなどからなる圧力応答板１２とから
構成される。圧力センサモジュール１が可変静電容量型
圧力センサ素子で構成されるときには、基板１１と圧力
応答板１２の相対向する面にそれぞれ静電電極が設けら
れており、ピン１４によって電気信号を外部に取り出す
ように構成されている。圧力センサモジュール１が可変
抵抗型圧力センサ素子で構成されるときには、圧力応答
板１２の基板１１と対向する面に抵抗対からなるブリッ
ジが設けられており、ピン１４によって電気信号を外部
に取り出すように構成されている。

【０００４】電気回路基板２は、基板２１の上面および
下面に静電容量−電気信号変換回路もしくは抵抗値−電
気信号変換回路を構成する抵抗や演算素子などの回路素
子２２が設けられており、基板２１の上面に設けた電極
パッドにハンダ付けされたピン２３によって電気信号が
外部に取り出される。

【０００５】ケース４は、絶縁材料からなり、円筒状に
構成され、内部に設けた段部に前記電気回路基板２を載
置固定している。

【０００６】ハウジング本体３は、機体部３５とその内
側に設けられた空間３４と、空間の上部に立ち上がる立
上部３１と、機体３５の外周に設けられた鍔部３６とか
ら構成され、空間３４は貫通孔３３によって、圧力測定
空間に連通している。

【０００７】ハウジング本体３の空間３４内にシール部
材６、圧力センサモジュール１、電気回路基板２を固定
したケース４を積層し、立上部３１をかしめてこれらを
固定して、圧力センサ本体を構成している。このように
して得た圧力センサ本体の下部に設けた貫通孔３３から
圧力を供給し、ピン２３から得た電気出力によって、電
気回路を構成する抵抗２２をレーザー光によってトリミ
ングすることによって抵抗値を調整して電気回路の調整
が行われる。

【０００８】このように調整がすんだ圧力センサ本体の
ピン２３にフレキシブルプリント基板２５をハンダ付け
し、フレキシブル基板２５の他端をコネクタ部のターミ
ナル５２にハンダ付けした後、コネクタ部５をＯリング
６１を介してハウジング本体の鍔部３６上に載置し、ス
リーブ９でかしめて一体として圧力センサ１５０を完成
させている。

【０００９】このように、シール材６によって圧力が伝
達される空間と電気回路が配置される空間との間に気密
を保持するタイプの圧力センサにおいては、調整工程に
おいて、前記気密が測定圧力に耐えるようにし、かつ、
電気回路の抵抗値をレーザトリミング等によって調整す
るための上部空間が必要となる。さらに、調整後にター
ミナルと上記部分を接続する必要がある。そのために、
ハウジング本体の外側に鍔形の受け形状３６を設けて、
そこにコネクタを合わせてそれをスリーブ９で固定する
ことが必要であった。

【００１０】このような構成とした圧力センサは、スリ
ーブ９とＯリング６１が必要となり部品点数が増加し、
さらに鍔部およびスリーブを設けることによって圧力セ
ンサのサイズが大型化する問題を有していた。

【００１１】一方、ピエゾ抵抗型センサを用いた圧力セ
ンサ１６０の構成を、その断面構造を示す図８を用いて
説明する。従来のピエゾ抵抗型圧力センサ１６０は、ピ
エゾ抵抗体を表面に設けたピエゾ抵抗型圧力センサモジ
ュール１０と、ピエゾ抵抗体の抵抗変化を電気出力に変
換する電気回路を搭載した電気回路基板２と、ピエゾ抵
抗型圧力センサモジュール１０と電気回路をＥＭＣから
保護するシールド板８と、前記圧力センサモジュール１
０および電気回路基板２ならびにシールド板８を収容す
るとともに圧力測定空間に接続された空間を有するハウ
ジング本体３と、前記電気回路出力を外部に取り出すコ
ネクタ５とから構成される。

【００１２】ピエゾ抵抗型圧力センサモジュール１０
が、四角筒形状のガラス基台１５上に陽極接合され、ガ
ラス基台１５の下部は、ハウジング本体３の内部空間３
４の底部に開けられた貫通孔３３の周辺に、陽極結合に
よって固着されている。

【００１３】電気回路基板２は、中央にピエゾ抵抗型圧
力センサモジュール１０が配置される開口を有してお
り、その表面に抵抗値−電気信号変換回路を構成する抵
抗や演算素子などの回路素子２２が設けられており、基
板２１所に設けた電極パッドにハンダ付けされたピン２
３によって電気信号が外部に取り出される。電気回路基
板２は、ハウジング本体３の内部空間３４に向けられた
段部に接着剤等によって固定されている。電気回路基板
２の前記開口に配置されたピエゾ抵抗型圧力センサモジ
ュール１０の電極パッドと電気回路基板２の表面に設け
た電極パッドの間を金線１６等によって接続している。

【００１４】電気回路基板２の上部には導電性のシール
ド板８が載置されている。シールド板には開口が設けら
れ、スリーブ状の誘電体を介して電気回路基板２の電極
パッドにハンダ付けされたピン２３が貫通して外部に電
気信号を取り出している。スリーブの内面および外面に
はメタライジング等によって電極が設けられ貫通コンデ
ンサを構成している。

【００１５】ハウジング本体３は、機体部３５とその内
側に設けられた内部空間３４と、該空間の上部に立ち上
がる立上部３１とから構成され、内部空間３４は、貫通
孔３３によって圧力測定空間に連通している。

【００１６】ハウジング本体３の内部空間３４内に、圧
力センサモジュール１０、電気回路基板２を固定した
後、圧力センサ本体の下部に設けた貫通孔３３から圧力
を供給し、ピン２３から得た電気出力に基づいて、電気
回路を構成する抵抗をレーザー光を用いてトリミングす
ることによって抵抗値を調整し、電気回路を調整する。
この場合、圧力が加えられるピエゾ抵抗型圧力センサモ
ジュール１０は、ガラス基台１５を介してハウジング本
体に強固に固着されているので、貫通孔３３から圧力を
加えて電気回路を調整することができる。

【００１７】このように調整がすんだ圧力センサ本体の
ピン２３を、シールド板８のスリーブ９に貫通させ、タ
ーミナル５２が設けられたターミナルブロック５２３の
ピン下部５２１の先端に設けた開口５２２に前記ピン２
３を貫通させてハンダ付けした後、前記ターミナル５２
をコネクタ部５に設けた開口に貫通させ、接続部の周囲
をハウジング本体３の立上部３１をかしめて一体化して
圧力センサ１６０を完成している。

【００１８】このような構成のピエゾ抵抗型圧力センサ
を用いた圧力センサ１６０は、調整等には、格別に気密
を保持する必要はないものの、ＥＣＭ対策用のシールド
板を設けるとともに、このシールド板を貫通して取り出
すための貫通コンデンサを取り付けることが必要になっ
ている。このために、シールド板８の立上部８４をハウ
ジング本体３の内部空間３４の内壁に圧入して固定する
方法等が採られている。しかしながら、この場合、貫通
コンデンサ８１が取り付けられたシールド板８の例えば
径０．７〜１．０ｍｍ程度のスリーブにピン２３を入れ
ながら圧入して貫通コンデンサを形成することは、ピン
の配置に高い精度を要するうえ、シールド板の圧入時の
応力が貫通コンデンサに与える影響を考えなければなら
ない。

【００１９】他方、図９に示すように、シールド板８を
平面形状とし、その周辺端部をコネクタ５の下端部とハ
ウジング３に設けた段部によって挾みこんで固定した圧
力センサ１７０の形態がある。図９において、図８に示
した構成要素と同じ符号を付した各構成要素は、それぞ
れほぼ同じ働きを有している。

【００２０】このような構成の圧力センサ１７０の場合
は、ピン２３をスリーブに貫通させハンダ付けして貫通
コンデンサを接続した後に、上部から押圧してかしめて
いるので、ピン接続部に応力が生じることによる貫通コ
ンデンサの破壊が懸念される。また、ハウジング３とシ
ールド板８は、互いに押しつけられているだけであるの
で、コネクタの収縮や、ハウジング、シールド板の酸化
などによって、高周波でのインピーダンスが大きくなり
耐ノイズ性が劣化するおそれもある。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の問題点を解決するものであり、可変静電容量型圧力
センサや可変抵抗型圧力センサを用いた圧力センサにお
いて、製造途中で電気出力の調整が可能であり、部品点
数の増加を招くことなくセンサ全体を小型化することが
できる圧力センサを提供することを目的とする。

【００２２】さらに本発明は、ピエゾ抵抗型圧力センサ
を用いた圧力センサにおいて、シールド板に設けたスリ
ーブの精度をあまり問題とすることなく、かつ、シール
ド板に圧力が加わることなく貫通コンデンサに悪影響を
与えない圧力センサを提供することを目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、電気回路基板と、圧力センサモジュール
と、ケースと、前記電気回路基板と前記圧力センサモジ
ュールと前記ケースを収容するハウジング本体と、コネ
クタとを有する圧力センサにおいて、ハウジング本体
は、前記電気回路基板および圧力センサモジュールなら
びにケースを収容する内部空間と上部周辺に立ち上がる
立上部を有しており、該立上部に複数のスリットを設け
た。

【００２４】さらに、本発明は、上記圧力センサにおい
て、ケースの周辺上部とコネクタの周辺下部に、互いに
嵌合する切欠部を設けるとともに、ケース本体に設けた
立上部を、前記スリットによって、ケース部をかしめる
部分と、コネクタ部をかしめる部分とに分け、さらに、
圧力センサモジュールを可変静電容量型圧力センサもし
くは可変抵抗型圧力センサとした。

【００２５】さらに、本発明は、電気回路基板と、圧力
センサモジュールと、シールド板と、前記電気回路基板
と前記圧力センサモジュールと前記シールド板を収容す
るハウジング本体と、コネクタとを有する圧力センサに
おいて、ハウジング本体は、前記電気回路基板および圧
力センサモジュールならびにシールド板を収容する内部
空間と上部周辺に立ち上がる立上部を有しており、該立
上部に複数のスリットを設けるとともに、圧力センサモ
ジュールをピエゾ抵抗型圧力センサとし、シールド板の
周辺の一部を前記立上部によってかしめ固定するととも
に、シールド板の周辺の他の一部をハウジング本体の内
部空間に設けた段部上とコネクタの下端によって挾み込
んで構成した。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
用いて説明する。図１ないし図４は、本発明にかかる圧
力センサの第１の実施の形態を説明する図であり、図１
は、圧力センサの縦断面図であり、図２は、図１に示し
た断面から９０度回転した面での縦断面図であり、一部
ターミナルとピンとの接合関係を明瞭とする位置とされ
ている。図３は、図１、図２に示した圧力センサのハウ
ジング本体の斜視図であり、図４は、図１、図２に示し
たケースおよびコネクタ部の斜視図である。

【００２７】第１の実施の形態にかかる圧力センサ１０
０は、可変静電容量型圧力センサもしくは可変抵抗型圧
力センサのような圧力センサモジュール１と、静電容量
の変化もしくは抵抗の変化を電流もしくは電圧の電気出
力に変換する電気回路を搭載した電気回路基板２と、該
電気回路基板を載置するケース４と、前記圧力センサモ
ジュール１および電気回路基板２ならびにケース４を収
容するとともに圧力測定空間に接続された空間を有する
ハウジング本体３と、前記電気回路出力を外部に取り出
すコネクタ部５とから構成される。

【００２８】従来技術と同様に、圧力センサモジュール
１は、セラミックなどの絶縁物質からなる基板１１と、
ガラス接着剤などからなる間隔保持部材１３によって所
定の間隔を保って保持されたセラミックなどからなる圧
力応答板１２とから構成される。圧力センサモジュール
１が可変静電容量型圧力センサ素子で構成されるときに
は、基板１１と圧力応答板１２の相対向する面にそれぞ
れ静電電極が設けられており、ピン１４によって電気信
号を外部に取り出すように構成されている。圧力センサ
モジュール１が可変抵抗型圧力センサ素子で構成される
ときには、圧力応答板１２の基板１１と対向する面に抵
抗体からなるブリッジ回路が設けられており、ピン１４
によって電気信号を外部に取り出すように構成されてい
る。

【００２９】電気回路基板２は、基板２１の上面および
下面に静電容量−電気信号変換回路もしくは抵抗値−電
気信号変換回路を構成する抵抗や演算素子などの回路素
子２２が設けられており、基板２１の上面に設けた電極
パッドにハンダ付けされたピン２３によって電気信号が
外部に取り出される。

【００３０】ケース４は、絶縁材料からなり、円筒状に
構成され、内部に設けた段部に前記電気回路基板２を載
置固定している。さらにケース４には、その上面に切欠
部４２と立上部４１とが設けられている。この切欠部４
２と立上部４１は、後述するコネクタ部５の垂下部５３
と切欠部５４と嵌合するように構成されている。

【００３１】ハウジング本体３は、機体部３５とその内
側に設けられた内部空間３４と、該空間の上部に立ち上
がる立上部３１とから構成され、内部空間３４は、貫通
孔３３によって圧力測定空間に連通している。さらに、
立上部３１には複数のスリット３２が設けられ、立上部
３１を、ケース固定用かしめ部３１４と、コネクタ固定
用かしめ部３１５とに分けている。

【００３２】ハウジング本体３の内部空間３４内に、シ
ール部材６、圧力センサモジュール１、電気回路基板２
を固定したケース４を積層し、立上部３１のケース固定
用かしめ部３１４をかしめてケース４の立上部４１を固
定して、圧力センサ本体を構成している。このようにし
て得た圧力センサ本体の下部に設けた貫通孔３３から圧
力を供給し、ピン２３から得た電気出力に基づいて、電
気回路を構成する抵抗２２をレーザー光によってトリミ
ングすることによって抵抗値を調整して、電気回路の調
整が行われる。

【００３３】このように調整がすんだ圧力センサ本体
に、コネクタ部５の垂下部５３がケース４の切欠部４２
に嵌合するようにケース４およびコネクタ部５を配置
し、ピン２３をコネクタ部５の上面に設けた開口に貫通
するとともに、ターミナル５２の下端部５２１に設けた
開口５２２に挿通した後、コネクタ固定用かしめ部３１
５をかしめてコネクタ部５を一体化する。次いで、ピン
２３をターミナル５２の下端部５２１にハンダ付けした
後、該接続部を樹脂７で覆って保護する。このようにし
て圧力センサ１００を完成させている。

【００３４】このように構成した、シール材６によっ
て、圧力が伝達される空間と電気回路が配置される空間
との間に気密を保持するタイプの圧力センサは、調整工
程では、ケース固定用かしめ部３１４によって圧力セン
サ本体が一体化されて気密が測定圧力に耐えるものとな
り、電気回路の抵抗値をレーザトリミング等によって調
整するための上部空間が確保される。さらに、調整後に
圧力センサ本体とコネクタ部を容易に接続することがで
きる。

【００３５】このような構成とした本発明にかかる圧力
センサは、従来技術のようなスリーブ９やＯリング６１
が不要となり、部品点数を減少させることができる。さ
らに、本発明にかかる圧力センサは、圧力センサ本体と
コネクタ部を少ない工程で容易に一体化することがで
き、加えて、圧力センサのサイズを大型化することがな
い。

【００３６】次に、本発明の第２に実施の形態である、
ピエゾ抵抗型圧力センサを用いた圧力センサ１１０の構
成を、その構造を示す図５および図６を用いて説明す
る。図５は、圧力センサ１１０の縦断面図であり、図６
は図１に示した断面から９０度回転した面での縦断面図
であり、一部ターミナルとピンとの接続関係を明瞭に示
す位置としている。この実施の形態にかかるピエゾ抵抗
型圧力センサ１１０は、ピエゾ抵抗体を表面に設けたピ
エゾ抵抗型圧力センサモジュール１０と、ピエゾ抵抗体
の抵抗変化を電気出力に変換する電気回路を搭載した電
気回路基板２と、ピエゾ抵抗型圧力センサモジュール１
０と電気回路をＥＭＣから保護するシールド板８と、前
記圧力センサモジュール１０および電気回路基板２なら
びにシールド板８を収容するとともに圧力測定空間に接
続された内部空間３４を有するハウジング本体３と、前
記電気回路の出力を外部に取り出すコネクタ部５とから
構成される。

【００３７】ピエゾ抵抗型圧力センサモジュール１０
が、四角筒形状のガラス基台１５上に陽極接合され、ガ
ラス基台１５の下端部はハウジング本体３の内部空間３
４の底部に開けられた貫通孔３３の周辺に、陽極結合に
よって固着されている。

【００３８】電気回路基板２は、中央にピエゾ抵抗型圧
力センサモジュール１０が配置される開口を有してお
り、その表面に抵抗値−電気信号変換回路を構成する抵
抗や演算素子などの回路素子が設けられており、基板２
１の上面に設けた電極パッドにハンダ付けされたピン２
３によって電気信号が外部に取り出される。電気回路基
板２は、ハウジング本体３の内部空間３４に向けられた
段部に接着剤等によって固定されている。電気回路基板
２の前記開口に配置されたピエゾ抵抗型圧力センサモジ
ュール１０の電極パッドと電気回路基板２の表面に設け
た電極パッドの間を金線１６等によって接続している。

【００３９】電気回路基板２の上部には導電性のシール
ド板８が載置されている。シールド板８には開口が設け
られ、スリーブ状の誘電体を介して電気回路基板２の電
極パッドにハンダ付けされたピン２３が貫通して外部に
電気信号を取り出している。スリーブの内面および外面
にはメタライジングなどによって電極が設けられ貫通コ
ンデンサ８１を構成している。

【００４０】ハウジング本体３は、機体部３５とその内
側に設けられた内部空間３４と、該空間の上部に立ち上
がる立上部３１とから構成され、内部空間３４は、貫通
孔３３によって圧力測定空間に連通している。さらにハ
ウジング本体の立上部３１には、図３とほぼ同様な複数
のスリットが設けられており、シールド板固定用かしめ
部とコネクタ固定用かしめ部とに分けられている。

【００４１】ハウジング本体３の内部空間３４内に、ピ
エゾ抵抗型圧力センサモジュール１０、電気回路基板２
を固定した後、圧力センサ本体の下部に設けた貫通孔３
３から圧力を供給し、ピン２３から得た電気出力に基づ
いて、電気回路を構成する抵抗をレーザー光を用いてト
リミングすることによって抵抗値を調整して、電気回路
の調整が行われる。この場合、圧力が加えられるピエゾ
抵抗型圧力センサモジュール１０は、ガラス基台１５を
介してハウジング本体に強固に固着されているので、貫
通孔３３から圧力を加えて電気回路を調整することがで
きる。

【００４２】このように調整がすんだ圧力センサ本体の
ピン２３をシールド板８のスリーブ８１に貫通させ、タ
ーミナル５２が設けられたターミナルブロック５２３の
ピン下部５２１の先端に設けた開口に前記ピン２３を貫
通させた後、ハウジング本体３の立上部３１のシールド
板固定用かしめ部をかしめてシールド板８を固定し、そ
の後ピン２３をコネクタ部５のターミナル５２の下端部
５２１にハンダ付けして一体化する。その後、ハウジン
グ本体３の立上部３１のコネクタ固定用かしめ部をかし
めてコネクタ部５を圧力センサ本体に固定して圧力セン
サ１１０を完成する。

【００４３】このような構成としたので、本実施の形態
にかかる圧力センサ１１０は、ピエゾ抵抗型圧力センサ
モジュール１０の上方にシールド板８を載置するに当た
っては、貫通コンデンサ８１を構成するスリーブの間隔
がピン２３の間隔に等しく調整されていれば、その貫通
孔の位置はハウジング本体３の内部空間３４の段部上に
位置するようにされた精度でよく、シールド板の固定
は、ハウジング本体の立上部３１のシールド板固定用か
しめ部によって固定することができ、以後の工程が簡略
化される。さらに、シールド板の端部をハウジング本体
の内部空間に設けた段部上とコネクタ部の垂下部とによ
って固定するので、貫通コンデンサに応力が伝達される
ことがなくなる。

【００４４】

【発明の効果】以上のように本発明は、圧力センサにお
いて、圧力センサモジュールを収容するハウジング本体
の上部に設けた立上部にスリットを設け、かしめを２回
に分けて行うようにしたので、圧力センサ本体のかしめ
と、圧力センサ本体にコネクタ部を一体化するかしめ
を、他の固定部材を用いることなくハウジング本体に設
けたかしめ部によって行うことができ、部品点数の減少
と、センサ自体の小型化を図ることができる。

【００４５】さらに、本発明によれば、ピエゾ抵抗型圧
力センサモジュールを用いた圧力センサにおいて、圧力
センサモジュールを収容するハウジング本体の上部に設
けた立上部にスリットを設け、かしめを２回に分けて行
うようにしたので、シールド板を固定して圧力センサ本
体を構成するかしめと、圧力センサ本体とコネクタ部を
固定するかしめを、他の固定部材を用いることなくハウ
ジング本体に設けたかしめ部によって行うことができる
ので、部品点数の減少と、センサ自体の小型化を図るこ
とができるとももに、ハウジング本体とコネクタ部との
固定に当たっては、かしめ圧力はシールド板に伝達され
ることなく貫通コンデンサの破損を招くことがなくな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる圧力センサの構造を示す縦断面
図。

【図２】図１に示した縦断面図から９０度回転した断面
での縦断面図。

【図３】本発明にかかる圧力センサに用いるハウジング
本体の形状を示す斜視図。

【図４】本発明にかかる圧力センサに用いるケースとコ
ネクタ部の形状を示す斜視図。

【図５】本発明にかかる圧力センサの第２の実施の形態
の構造を示す縦断面図。

【図６】図１に示した縦断面図から９０度回転した断面
での縦断面図。

【図７】従来の圧力センサの構造を示す縦断面図。

【図８】従来の他の圧力センサの構造を示す縦断面図。

【図９】従来のさらに他の圧力センサの構造を示す縦断
面図。

【符号の説明】

１圧力センサモジュール２回路基板３ハウジング本体４ケース５コネクタ部６シール部材７接着剤８シールド板９スリーブ１０圧力センサモジュール（ピエゾ抵抗型）１１基板１２圧力応答板１３ガラス接着剤１４ピン１５ガラス基台１６金線２１電気回路基板２２回路素子２３ピン２５フレキシブル基板３１立上部３２スリット３３貫通孔３４内部空間３５機体部４１立上部４２切欠部５１コネクタ５２ターミナル５３垂下部５４切欠部６１Ｏリング８１貫通コンデンサ（スリーブ）８２鍔部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電気回路基板と、圧力センサモジュール
と、ケースと、前記電気回路基板と前記圧力センサモジ
ュールと前記ケースを収容するハウジング本体と、コネ
クタとを有する圧力センサにおいて、ハウジング本体
は、前記電気回路基板および圧力センサモジュールなら
びにケースを収容する内部空間と上部周辺に立ち上がる
立上部を有しており、該立上部に複数のスリットを設け
たことを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】ケースの周辺上部とコネクタの周辺下部
には、互いに嵌合する切欠部が設けられていることを特
徴とする請求項１記載の圧力センサ。
【請求項３】ケース本体に設けた立上部は、スリット
によって、ケース部をかしめる部分と、コネクタ部をか
しめる部分とに分けられていることを特徴とする請求項
１または請求項２記載の圧力センサ。
【請求項４】圧力センサモジュールが可変静電容量型
圧力センサもしくは可変抵抗型圧力センサである請求項
１ないし請求項３のいずれか記載の圧力センサ。
【請求項５】電気回路基板と、圧力センサモジュール
と、シールド板と、前記電気回路基板と前記圧力センサ
モジュールと前記シールド板を収容するハウジング本体
と、コネクタとを有する圧力センサにおいて、ハウジン
グ本体は、前記電気回路基板および圧力センサモジュー
ルならびにシールド板を収容する内部空間と上部周辺に
立ち上がる立上部を有しており、該立上部に複数のスリ
ットを設けたことを特徴とする圧力センサ。
【請求項６】圧力センサモジュールがピエゾ抵抗型圧
力センサである請求項５記載の圧力センサ。
【請求項７】シールド板は、周辺の一部が前記立上部
によってかしめ固定されるとともに、周辺の他の一部が
ハウジングの内部空間に設けた段部上とコネクタの下端
によって挾み込まれたことを特徴とする請求項６記載の
圧力センサ。