JPH11144817A - コネクタ及びこれを用いたプローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接触子を増加させることなく、多くの接
触子をアース電位のような適宜な電位でシールドする構
造とすることにある。 【解決手段】 雄コネクタは、複数の雄側接触子と、雄
側接触子の配列方向へ伸びる板状の雄側導電体とを雄側
ベースに配置している。雌コネクタは、少なくとも雄側
接触子を受け入れる凹所を雌側ベースに設け、雄側接触
子と接触する複数の雌側接触子の少なくとも一部を凹所
に並列的に配置し、雄側導電体と接触する板状の雌側導
電体を雌側ベースに配置している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コネクタ及びこれ
を用いたプローブカードに関し、特に集積回路のような
平板状被検査体の通電試験用として好適なコネクタ及び
これを用いたプローブカードに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエーハに形成されたＩＣチップ
への通電試験は、一般に、プローブカードを用いて行わ
れる。従来の多くのプローブカードは、複数のプローブ
を円板状の配線基板に放射状に配置しているにすぎない
から、半導体ウエーハ上のいくつかのＩＣチップを同時
に検査することができるにすぎず、したがって多数のＩ
Ｃチップが形成された１つの半導体ウエーハの検査に多
大の時間を要する。

【０００３】上記のことから、水平方向へ伸びる平板状
の支持体の下端縁部に複数のプローブを配置した複数の
プローブユニットを用い、それらのプローブユニットを
それらの支持体が互いに平行となるように配線基板に組
み付けたプローブカードが提案されている（特開平７−
２０１９３５号公報）。

【０００４】従来のプローブカードにおいて、配線基板
とプローブとの間の通電は、複数の同軸ケーブル部を一
方向に配列した複数のフラットケーブルにより行われ
る。フラットケーブルは、一端部においてプローブユニ
ットに電気的に接続され、他端部においてコネクタによ
り配線基板に電気的に接続される。

【０００５】このため、従来のプローブカードにおいて
は、図１１に示すように、配線基板とフラットケーブル
１１０とを、フラットケーブル１１０に設けられ雄コネ
クタ１１２と配線基板に設けられた雌コネクタ１１４と
により電気的に接続している。

【０００６】雄コネクタ１１２は、ピン状の複数の雄側
接触子１１６を電気絶縁材料製の雄側ベース１１８に一
列に並列的に配置している。これに対し、雌コネクタ１
１４は、雄側接触子１１６を差し込むための筒状の複数
の雌側接触子１２０を電気絶縁材料製の雌側ベース１２
２に一列に並列的に配置している。

【０００７】同軸ケーブル部のシールド線は両端の雄側
接触子に電気的に接続され、同軸ケーブル部の芯線は残
りの雄側接触子に電気的に接触される。雄コネクタ１１
２及び雌コネクタ１１４が相互に結合された状態におい
て、両端の雄側及び雌側接触子は同軸ケーブル部のアー
ス電位のシールド線に接続され、残りの雄側及び雌側接
触子は同軸ケーブル部の芯線から信号を受ける。

【０００８】しかし、従来のコネクタは、両端の雄側及
び雌側接触子をアース用として用いているにすぎないか
ら、コネクタの部分において、ノイズが高くなり、電流
が流れにくく、その上インピーダンスマッチングが悪
い。それらの結果、従来のコネクタでは、良好な周波数
特性が得られない。

【０００９】上記課題を解決すべく、アース電位用に用
いる接触子の数を多くすると、それだけ多くの接触子が
必要になるから、コネクタが複雑化及び大型化し、それ
だけ高価になる。

【００１０】

【解決しようとする課題】それゆえに、コネクタにおい
ては、接触子を増加させることなく、多くの接触子をア
ース電位のような適宜な電位でシールドする構造とする
ことが重要である。

【００１１】

【解決手段、作用および効果】本発明のコネクタは、互
いに結合される雄コネクタ及び雌コネクタを含む。雄コ
ネクタは、電気絶縁性の雄側ベースと、該雄側ベースに
並列的に配置された複数の雄側接触子と、雄側ベースに
配置されて雄側接触子の側部を雄側接触子の配列方向へ
伸びる板状の雄側導電体とを備える。

【００１２】雌コネクタは、少なくとも雄側接触子を受
け入れるべく雄側接触子の配列方向へ伸びる凹所を有す
る電気絶縁性の雌側ベースと、凹所に受け入れられた雄
側接触子と接触するように少なくとも一部を凹所内に並
列的に配置された複数の雌側接触子と、雄コネクタ及び
雌コネクタが結合されたとき雄側導電体と接触するよう
に雌側ベースに配置されて雌側接触子の側部を雌側接触
子の配列方向へ伸びる板状の雌側導電体とを備える。

【００１３】コネクタは、同軸ケーブル部のシールド線
を雄側導電体に接続し、同軸ケーブル部の芯線を雄側接
触子に接続することができる。これにより、接触子に供
給される試験用信号は、それらの側部をそれらの配列方
向へ伸びる両導電体に供給される電位によりシールドさ
れるから、接触子を増やすことなく、コネクタの部分に
おいて、ノイズが小さく、電流が流れやすく、その上イ
ンピーダンスマッチングが高く、それらの結果良好な周
波数特性が得られる。

【００１４】電気絶縁性のスペーサを間にして雄側接触
子及び雄側導電体を一体的に形成し、雌側導電体を雌側
接触子から間隔をおいて凹所内に配置することができ
る。これにより、一体化された雄側接触子及び雄側導電
体を雌コネクタの凹所に差し込むことにより、雄雌両接
触子を電気的に接続することができるし、雄雌両導電体
を電気的に接続することができる。

【００１５】雌側導電体は、凹所内に位置するコンタク
ト部と、該コンタクト部の下端から雌側ベースの下面に
達する貫通部と、該貫通部の下端から雌側ベースの下面
に沿って雌側接触子と反対の側へ伸びる延長部とを有す
ることができる。これにより、雌側導電体を延長部にお
いて配線基板に接続することができるから、配線基板へ
の雌側導電体の接続作業が容易になる。

【００１６】各雌側接触子は、凹所内に位置する雌側コ
ンタクト部と、該雌側コンタクト部の下端から雌側ベー
スの下方へ突出する延長部とを有することができる。こ
れによっても、雌側接触子を延長部において配線基板に
接続することができるから、配線基板への雌側接触子の
接続作業が容易になる。

【００１７】雄側導電体は、雄側ベースに取り付けられ
た取付部と、取付部から雄側ベースの側部を下方へ伸び
て雄側ベースより下方に突出する雄側コンタクト部とを
有し、雌側導電体は雌側ベースの側部に配置されていて
もよい。これにより、雌側ベースの側壁を雄側接触子と
雄側導電体との間に受け入れるように、雄側接触子を雌
コネクタの凹所に差し込むことにより、雄雌両接触子を
電気的に接続することができるし、雄雌両導電体を電気
的に接続することができる。

【００１８】雌側導電体は、雌側ベースの側部に位置す
る雌側コンタクト部と、該雌側コンタクト部の下端から
雌側接触子と反対の側へ伸びる延長部とを有することが
できる。これによっても、雌側導電体を延長部において
配線基板に接続することができるから、配線基板への雌
側導電体の接続作業が容易になる。

【００１９】本発明のプローブカードは、配線基板と、
該配線基板に支持された１以上のプローブ組立体と、複
数の同軸ケーブル部を一方向に配列した１以上のフラッ
トケーブルであって前記プローブ組立体に接続されたフ
ラットケーブルと、上記のような１以上のコネクタとを
含む。

【００２０】雄コネクタはフラットケーブルに配置さ
れ、雌コネクタは配線基板に配置される。雄コネクタ
は、その雄側接触子をフラットケーブルの同軸ケーブル
部の芯線に接続され、雄側導電体を同軸ケーブル部のシ
ールドに接続される。雄コネクタは、少なくとも雄側接
触子を雌コネクタの凹所に差し込まれる。これにより、
雄雌両接触子同士及び雄雌両導電体同士が電気的に接続
される。

【００２１】プローブカードによっても、接触子に供給
される試験用信号がそれらの接触子の側部をそれらの配
列方向へ伸びる導電体に供給される電位によりシールド
されるから、接触子を増やすことなく、コネクタの部分
において、ノイズが小さく、電流が流れやすく、その上
インピーダンスマッチングが高くなり、それらの結果良
好な周波数特性が得られる。

【００２２】配線基板は、雌側接触子に接続された複数
の配線部と、雌側導電体に接続された１以上の配線層と
を有することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】図１〜図３を参照するに、プロー
ブカード１０は、複数のＩＣチップ（集積回路チップ）
を有する半導体ウエーハのように多数の端子部（電極
部）を微小ピッチで配置した平板状の被検査体１２の通
電試験に用いられる。被検査体１２は、検査ステージ１
４のチャックトップ１６の上に真空吸着により保持され
る。

【００２４】プローブカード１０は、円板状の配線基板
２０と、該配線基板に組み付けられた長方形の取付枠２
２と、該取付枠に並列的に配置された複数のプローブユ
ニット２４と、各プローブユニット２４から伸びる可撓
性の複数のフラットケーブル２６と、取付枠２２に並列
的に配置された板状部材２８とを含む。

【００２５】プローブカード１０は、配線基板２０の厚
さ方向が上下方向となるように、図示しない検査装置に
取り付けられる。なお、図１はフラットケーブル２６を
除去した状態で示す。

【００２６】配線基板２０は、左右方向に長い長方形の
開口３０を中央部に有し、外部のテスタに電気的に接続
される複数のテスターランド３２を外周部に有し、フラ
ットケーブル２６を接続する複数の雌コネクタ３４を前
後方向の中間部に有し、板状部材２８に電気的に接続さ
れる複数の電源ランド３６を開口３０の長手方向両側に
有する。

【００２７】配線基板２０は、印刷配線技術により製作
することができる。開口３０は、配線基板２０を厚さ方
向に貫通する貫通穴である。雌コネクタ３４について
は、後に図４から図６を参照して説明する。

【００２８】取付枠２２は、開口３０に嵌合されてお
り、また複数のねじ部材または接着剤により配線基板２
０に変位不能に取り付けられている。取付枠２２は、配
線基板２０の一部材として作用する。しかし、取付板２
２を設けなくてもよい。

【００２９】各プローブユニット２４は、細長い平板状
の形状を有しており、また両端部においてねじ部材によ
り取付枠２２に取り外し可能に取り付けられている。

【００３０】各フラットケーブル２６は、複数の同軸ケ
ーブル部を有する可撓性の帯状配線部材であり、また配
線基板２０の雌コネクタ３４に結合される雄コネクタ３
８を一端部に有する。図示の例では、複数のフラットケ
ーブル２６がプローブユニット２４毎に設けられてい
る。雄コネクタ３８については、後に図４から図６を参
照して説明する。

【００３１】各板状部材２８は、印刷配線技術により形
成された導電性の複数の配線部を有するＴ字状の印刷配
線回路基板であり、また図３に示すように、上部の各端
部に複数のランド４０を有する。各板状部材２８の各配
線部は、ランド４０に電気的に接続されている。図示の
例では、１つのプローブユニット２４に１つの板状部材
２８が設けられている。

【００３２】各板状部材２８の各ランド４０は、導線４
２により配線基板２０の電源ランド３６に接続される。
配線基板２０の電源ランド３６のうち、１以上のランド
３６はアースに接続され、残りのランド３６は電源の正
または負の電位を有する端子に接続される。このため、
各板状部材２８の配線部のうち、１以上の配線部はアー
スラインの一部として作用し、残りの配線部は電源用ラ
インすなわち電力供給用ラインの一部として作用する。

【００３３】各プローブユニット２４は、細長い直方体
状の形状を有する支持体４４と、該支持体の下端部にそ
の長手方向へ間隔をおいて配置された複数のプローブ４
６とを含む。板状部材２８は、プローブユニット２４の
一部材としてプローブユニット２４毎に設けられてい
る。しかし、板状部材２８を設けなくてもよい。

【００３４】支持体４４は、断面形状がほぼ長方形の厚
い板の形を有しており、また、各端面の上端部から長手
方向へ突出する板状の取付部においてねじ部材により取
付枠２２に取り付けられている。板状部材２８は、支持
体４４に支持されている。

【００３５】各プローブ４６は、導電性の金属細線から
形成されている。プローブ４６は、同じプローブユニッ
ト２４のプローブ４６の針先が同じ側となりかつ互いに
平行に伸びるように、合成樹脂、接着剤等の電気的絶縁
材料からなる装着手段により支持体４４の下面に取り付
けられている。

【００３６】プローブユニット２４は、プローブ４６の
最先端の位置が同じ平面上に位置するように、製作され
ている。複数のプローブ４６の後端は、対応する板状部
材２８の配線部に半田付け等により電気的に接続されて
いる。残りの複数のプローブ４６の後端は対応するフラ
ットケーブル２６のケーブル部の芯線に半田付け等によ
り電気的に接続されている。

【００３７】板状部材２８の配線部に接続されるプロー
ブの数及びその位置は、１つのプローブユニットで一回
に試験すべき被検査体の数により異なる。図示の例で
は、１つのプローブユニット２４により一回に検査する
被検査体の数が１つであることから、配列方向両端部に
位置する複数のプローブ４６の後端は、対応する板状部
材２８の配線部に半田付け等により電気的に接続されて
いる。

【００３８】平板状被検査体の通電試験時、各プローブ
４６は、被検査体１２がステージ１４によりプローブカ
ード１０に向けて上昇されることにより、針先を被検査
体１２の端子部に押圧された状態で、所定の電圧を印加
される。

【００３９】図４から図６を参照するに、コネクタ５０
は、雌コネクタ３４及び雄コネクタ３８を用いる。

【００４０】雌コネクタ３４は、樹脂のような電気絶縁
材料製の細長い板状の雌側ベース５２と、該雌側ベース
に並列的に配置された複数の雌側接触子５４と、雌側ベ
ース５２に配置された板状の雌側導電体５６とを備え
る。これに対し、雄コネクタ３８は、樹脂のような電気
絶縁材料製の細長い板状の雄側ベース５８と、該雄側ベ
ースに並列的に配置された複数の雄側接触子６０と、雄
側ベース５８に配置された板状の雄側導電体６２とを備
える。

【００４１】各雌側接触子５４は、四角形の断面形状を
有するピンから製作されている。各雌側接触子５４は、
また雌側ベース５２に形成された凹所６４内に位置する
雌側コンタクト部５４ａと、該雌側コンタクト部の下端
から伸びて雌側ベース５２の下方へ突出する延長部５４
ｂとを有する。雌側接触子５４は、凹所６４の長手方向
（雌側接触子５４の配列方向）に間隔をおいている。上
下方向へ伸びる溝６６を凹所６４の側壁に凹所６４の長
手方向へ一定にピッチで形成し、各溝６６にコンタクト
部５４ａを配置してもよい。

【００４２】雌側導電体５６は、凹所６４内に位置する
雌側コンタクト部５６ａと、該雌側コンタクト部の下端
から雌側ベース５２の下面に達する貫通部５６ｂと、該
貫通部の下端から雌側ベース５２の下面に沿って雌側接
触子５４と反対の側へ伸びる延長部５６ｃとを有する。

【００４３】雄側接触子６０は、四角形の断面形状を有
するピンから製作されており、また、四角形の一つの辺
に対応する面が共通の面となるように、雄側ベース５８
の素材からなる電気絶縁材料を間にして雌側接触子５４
と同じピッチで一列に配置されている。

【００４４】雄側導電体６２は、雄側ベース５８の素材
からなる電気絶縁性のスペーサ６８を間にして雄側接触
子６０と一体的に形成されており、また、雄側接触子６
０とともに雄側ベース５８を上下方向に貫通している。
一体化された雄側接触子６０及び雄側導電体６２は、雌
側ベース５２の凹所６４に受け入れられる。

【００４５】各雌側接触子５４及び雌側導電体５６は、
スペーサ６８とともに一体化された雄側接触子６０及び
雄側導電体６２をそれらの間に受け入れるように雌側ベ
ース５２と一体的に形成されている。コンタクト部５４
ａ，５６ａは、一体化された雄側接触子６０及び雄側導
電体６２をそれらの間に受け入れるように、弾性変形可
能に湾曲されている。

【００４６】各雌側接触子５４は配線基板の配線部に電
気的に接続され、雌側導電体５６は配線基板のアース用
配線部に電気的に接続される。各雄側接触６０は同軸ケ
ーブル部７０の芯線７２に接続され、雄側導電体６２は
同軸ケーブル部７０のシールド線７４に接続される。

【００４７】コネクタ５０においては、雌側接触子５４
及び雌側導電体５６をそれぞれ延長部５４ｂ及び５６ｃ
において配線基板に接続することができるから、配線基
板への雌側接触子５４及び雌側導電体５６の接続作業が
容易になる。

【００４８】一体化された雄側接触子６０及び雄側導電
体６２は、雌コネクタ３４の凹所６４に差し込まれ、雌
側コンタクト部５４ａ，５６ａにより挟まれる。これに
より、雄雌両接触子６０，５４が接触して電気的に接続
され、雄雌両導電体６２，５６が接触して電気的に接続
される。

【００４９】接触子５４，６０に供給される試験用信号
は、それらの側部をそれらの配列方向へ伸びる両導電体
５６，６２に供給されるアース電位によりシールドされ
る。これにより、接触子を増やすことなく、コネクタ５
０の部分において、ノイズが小さく、電流が流れやす
く、その上インピーダンスマッチングが高く、それらの
結果良好な周波数特性が得られる。

【００５０】図７から図１０を参照するに、他のコネク
タ８０は、雌コネクタ８２及び雄コネクタ９０を用い
る。コネクタ５０と同様に、雌コネクタ８２は、雌側ベ
ース８４と、複数の雌側接触子８６と、雌側導電体８８
とを備え、雄コネクタ９０は、雄側ベース９２と、複数
の雄側接触子９４と、雄側導電体９６とを備える。

【００５１】各雌側接触子８６の雌側コンタクト部８６
ａは、雌側ベース８４の凹所９８内に配置され、延長部
８６ｂは雌側コンタクト部８６ａの下端から伸びて雌側
ベース８４の下方へ突出する。雌側接触子８６は、凹所
９８の長手方向に間隔をおいている。

【００５２】雌側導電体８８は、雌側ベース８４の側面
に移動不能に配置された雌側コンタクト部８８ａと、コ
ンタクト部８８ａの下端から雌側接触子８６と反対の側
へ曲げられた延長部８８ｂとによりＬ字状の形状を有す
る。

【００５３】各雄側接触子９４は、雄側ベース９２を貫
通している。雄側接触子９４は、凹所９８の長手方向に
間隔をおいている。各雄側導電体９６は、雄側ベース９
２に取り付けられた取付部９６ａと、取付部９６ａから
雄側ベース９２の側部を下方へ伸びて雄側ベース９２よ
り下方へ突出する雄側コンタクト部９６ｂとによりＬ字
状に曲げられている。

【００５４】各雌側接触子８６は配線基板の配線部に電
気的に接続され、雌側導電体８８は配線基板のアース用
配線部に電気的に接続される。図９に示すように、各雄
側接触９４は同軸ケーブル部７０の芯線７２に接続さ
れ、雄側導電体９６は同軸ケーブル部７０のシールド線
７４に接続される。

【００５５】コネクタ８０も、雌側接触子８６及び雌側
導電体８８をそれぞれ延長部８６ｂ及び８８ｂにおいて
配線基板に接続することができるから、配線基板への雌
側接触子８６及び雌側導電体８８の接続作業が容易にな
る。

【００５６】雄コネクタ９０は、雌側ベース８４の一部
と雌側導電体８８のコンタクト部８８ａとを雄側接触子
９４と雄側導電体９６のコンタクト部９６ａとの間に受
け入れるように、雄側接触子９４を凹所９８に差し込む
ことにより、雌コネクタ８２に結合される。

【００５７】雄側接触子９４は雌側接触子８６のコンタ
クト部８６ａを弾性変形させるように凹所９８に差し込
まれる。雄側導電体９６は、雌側ベース８４の一部と雌
側導電体８８のコンタクト部８８ａとを雄側接触子９４
と雄側導電体９６のコンタクト部９６ｂとの間に受け入
れるように、弾性変形する。これにより、雄雌両接触子
９４，８６が接触して電気的に接続され、雄雌両導電体
９６，８８が接触して電気的に接続される。

【００５８】コネクタ８０も、接触子８６，９４に供給
される試験用信号は、それらの側部をそれらの配列方向
へ伸びる両導電体８８，９６に供給されるアース電位に
よりシールドされる。これにより、接触子を増やすこと
なく、コネクタ８０の部分において、ノイズが小さく、
電流が流れやすく、その上インピーダンスマッチングが
高く、それらの結果良好な周波数特性が得られる。

【００５９】上記実施例において、雄側接触子６０，９
４及び雄側導電体６２，９６は、半田のような導電性接
着剤により同軸ケーブル部に接続することができる。ま
た、アース電位を導電体５６，６２，８８，９６に印加
する代わりに、他の電位を導電体５６，６２，８８，９
６に印加してもよい。

【００６０】上記の実施例では、４つのプローブユニッ
トを備えているが、本発明は、複数、好ましくは２ｎ
（ただし、ｎは１以上の整数）のプローブユニットを備
えたプローブカードに適用することができる。また、本
発明は、プローブを１層に配置したプローブカードのみ
ならず、プローブを２層以上の多層に配置したプローブ
カードにも適用することができる。

【００６１】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、半導体ウエーハに形成されたＩＣチ
ップのみならず、切断されたＩＣチップ、液晶表示パネ
ル等の他の平板状被検査体の検査に用いるコネクタ及び
プローブカードにも適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプローブカードの一実施例を示す平面
図である。

【図２】図１の２−２線に沿って得た断面図である。

【図３】図１の３−３線に沿って得た断面図である。

【図４】本発明のコネクタの一実施例を一方向から見た
斜視図である。

【図５】図４に示すコネクタを他の方向から示す斜視図
である。

【図６】図４に示すコネクタの雌コネクタ及び雄コネク
タを結合させた状態の拡大断面図である。

【図７】コネクタの他の実施例を一方向から見た斜視図
である。

【図８】図７に示すコネクタを他の方向から示す斜視図
である。

【図９】雄コネクタと同軸ケーブル部との接続状態を示
す斜視図である。

【図１０】図７に示すコネクタの雌コネクタ及び雄コネ
クタを結合させた状態の拡大断面図である。

【図１１】従来のコネクタの斜視図である。

【符号の説明】

１０ プローブカード １２ 被検査体 ２０ 配線基板 ２２ 取付枠 ２４ プローブユニット ２６ フラットケーブル ２８ 板状部材 ３０ 開口（貫通穴） ４６ プローブ ５０，８０ コネクタ ３４，８２ 雌コネクタ ３８，９０ 雄コネクタ ５２，８４ 雌側ベース ５４，８６ 雌側接触子 ５６，８８ 雌側導電体 ５８，９２ 雄側ベース ６０，９４ 雄側接触子 ６２，９６ 雄側導電体 ６４，９８ 凹所

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに結合される雄コネクタ及び雌コネ
   クタを含み、 前記雄コネクタは、電気絶縁性の雄側ベースと、該雄側
   ベースに並列的に配置された複数の雄側接触子と、前記
   雄側ベースに配置されて前記雄側接触子の側部を前記雄
   側接触子の配列方向へ伸びる板状の雄側導電体とを備
   え、 前記雌コネクタは、少なくとも前記雄側接触子を受け入
   れるべく前記雄側接触子の配列方向へ伸びる凹所を有す
   る電気絶縁性の雌側ベースと、前記凹所に受け入れられ
   た前記雄側接触子と接触するように少なくとも一部を前
   記凹所内に並列的に配置された複数の雌側接触子と、前
   記雄コネクタ及び前記雌コネクタが結合されたとき前記
   雄側導電体と接触するように前記雌側ベースに配置され
   た板状の雌側導電体であって前記雌側接触子の側部を前
   記雌側接触子の配列方向へ伸びる板状の雌側導電体とを
   備える、コネクタ。
2. 【請求項２】 前記雄側接触子及び前記雄側導電体は電
   気絶縁性のスペーサを間にして一体的に形成されてお
   り、前記雌側導電体は前記雌側接触子から間隔をおいて
   前記凹所内に配置されている、請求項１に記載のコネク
   タ。
3. 【請求項３】 前記雌側導電体は、前記凹所内に位置す
   るコンタクト部と、該コンタクト部の下端から前記雌側
   ベースの下面に達する貫通部と、該貫通部の下端から前
   記雌側ベースの下面に沿って前記雌側接触子と反対の側
   へ伸びる延長部とを有する、請求項２に記載のコネク
   タ。
4. 【請求項４】 各雌側接触子は、前記凹所内に位置する
   雌側コンタクト部と、該雌側コンタクト部の下端から前
   記雌側ベースの下方へ突出する延長部とを有する、請求
   項２又は３に記載のコネクタ。
5. 【請求項５】 前記雄側導電体は、前記雄側ベースに取
   り付けられた取付部と、前記取付部から前記雄側ベース
   の側部を下方へ伸びて前記雄側ベースより下方へ突出す
   る雄側コンタクト部とを有し、前記雌側導電体は前記雌
   側ベースの側部に配置されている、請求項１に記載のコ
   ネクタ。
6. 【請求項６】 前記雌側導電体は、前記雌側ベースの側
   部に位置する雌側コンタクト部と、該雌側コンタクト部
   の下端から前記雌側接触子と反対の側へ伸びる延長部と
   を有する、請求項５に記載のコネクタ。
7. 【請求項７】 配線基板と、該配線基板に支持されたプ
   ローブ組立体と、複数の同軸ケーブル部を一方向に配列
   したフラットケーブルであって前記プローブ組立体に接
   続されたフラットケーブルと、請求項から６のいずれか
   １項に記載されたコネクタとを含み、 前記コネクタの雄コネクタは前記フラットケーブルに配
   置され、前記コネクタの雌コネクタは前記配線基板に配
   置され、前記雄コネクタの接触子は前記同軸ケーブル部
   の芯線に接続され、前記雄コネクタの導電体は前記同軸
   ケーブル部のシールド線に接続されている、プローブカ
   ード。
8. 【請求項８】 前記配線基板は、前記雌側コネクタの雌
   側接触子に接続された複数の配線部と、前記雌コネクタ
   の雌側導電体に接続された１以上の配線層とを有する、
   請求項７に記載のプローブカード。