JPH11135992A - 部品搭載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品が保持されている状態をＴＶカメラによ
り確実に撮像して確認する。 【解決手段】 部品が吸着コレット４ａ、４ｂにより実
際に吸着されているかをカメラ５−１〜５−３により撮
像して確認するために、吸着コレット４がＬＤチップ１
７を斜め上方から吸着するとともに、吸着コレット４の
上のヘッド２１に垂直方向の貫通孔２１ａを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リードレスのチッ
プ部品を基板などのワーク上の所定位置に搭載するため
の部品搭載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図２６、図２７は従来の部品搭載装置を
示し、供給ステーション１と搭載ステーション３が水平
方向に配置されている。供給ステーション１は部品があ
らかじめセットされるｘｙステージを有し、搭載ステー
ション３は部品が所定位置に搭載される基板などのワー
クがあらかじめセットされるｘｙステージを有する。ス
テーション１、３の上方にはステーション１、３間を水
平方向に、かつ上下方向に移動可能なヘッド６が配置さ
れ、ヘッド６の先端には図２７に示すように供給ステー
ション１における部品を吸着して搭載ステーション３ま
で搬送するための吸着コレット４が取り付けられてい
る。吸着コレット４はθ方向に回転可能である。

【０００３】供給ステーション１の上方にはＴＶカメラ
５−１が固定され、また、搭載ステーション３の上方で
あってヘッド６の下方には、ヘッド６を撮像するＴＶカ
メラ５−２と搭載ステーション３上を撮像するＴＶカメ
ラ５−３が一体で水平方向に移動可能に配置されてい
る。

【０００４】このような構成において、部品を供給ステ
ーション１から搭載ステーション３に搬送するとともに
搭載ステーション３側のワークとの位置合わせを行う場
合には、まず、ＴＶカメラ５−１により撮像された供給
ステーション１における映像に基づいて、供給部品がヘ
ッド６の吸着位置に来るように供給ステーション１のス
テージをｘｙ方向に移動させ、次いでヘッド６がこの状
態で下降して供給部品を吸着し、次いで吸着状態で上方
向に移動し、次いで水平方向に移動して搭載ステーショ
ン３の上方位置に待機する。

【０００５】ヘッド６が搭載ステーション３の上方に移
動した状態では、ＴＶカメラ５−２、５−３がヘッド６
と搭載ステーション３の間に移動又は待機しており、こ
の状態では吸着コレット４により支持されている部品と
搭載ステーション３上のワークとの位置合わせを行うた
めに、ＴＶカメラ５−２、５−３により撮像された映像
に基づいて吸着コレット４をθ方向に回転させる。次い
でＴＶカメラ５−２、５−３をヘッド６と搭載ステーシ
ョン３の間から退避させた後、ヘッド６を下降させるこ
とにより部品をワーク上の所定位置に搭載する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の部品搭載装置では、吸着コレット４が部品を吸着し
ている状態をＴＶカメラ５−１により撮像して確認する
場合、部品が非常に小さいときには吸着コレット４によ
り真上から吸着すると、別の第４のＴＶカメラにより斜
めから撮像しなければならなくなり、コストアップとな
るという問題点がある。また、吸着コレット４は部品を
安定して吸着するためには吸着穴はできるだけ小さくす
ることが望ましいが、吸着穴をできるだけ小さくし、か
つ吸着穴により吸着されている部品を上から撮像しよう
とすると、吸着コレット４の外形は部品の外形より小さ
くすることには限界があるので、その撮像信号は吸着コ
レット４の垂直面の壁によりぼけて部品がとらえにくく
なるという問題点がある。また、部品が小さくなるほど
映像を拡大する必要があるが、この場合には被写界深度
が浅くなるのでこの現象は顕著となる。

【０００７】また、上記従来の部品搭載装置では、ヘッ
ド６が搭載ステーション３の上方位置で一旦停止し、ま
た、カメラ５−２、５−３をヘッド６と搭載ステーショ
ン３の位置まで移動させ、撮像を行って位置合わせを行
い、次いでカメラ５−２、５−３を退避させて搭載を行
うので、部品搭載時間が長くなるという問題点がある。
また、カメラ５−２、５−３が固定されておらず、ヘッ
ド６と搭載ステーション３の間に割り込むのでヘッド６
の上下ストロークが長くなり、したがって、位置合わせ
精度が悪化するという問題点がある。

【０００８】本発明は上記従来の問題点に鑑み、部品が
保持されている状態をＴＶカメラにより確実に撮像して
確認することができる部品搭載装置を提供することを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、部品搬送手段の垂直方向に貫通孔を形成し
たものである。すなわち本発明によれば、部品を保持し
て搬送する部品搬送手段と、前記部品搬送手段により部
品が保持されている状態を上から撮像するＴＶカメラと
を有し、前記部品搬送手段により保持されている部品を
前記ＴＶカメラにより上方から撮像する際に妨げになら
ないように前記部品搬送手段の垂直方向に貫通孔を形成
した部品搭載装置が提供される。

【００１０】また本発明によれば、搭載される部品が載
置される第１のステージと、ｘ、ｙ、θ方向に移動可能
な第２のステージと、部品が搭載されるワークが載置さ
れる第３のステージと、部品を前記第１のステージから
前記第２のステージに搬送して前記第２のステージ上に
載置し、前記第２のステージから前記第３のステージに
搬送してワーク上に載置する部品搬送手段と、少なくと
も前記第２、第３のステージを上方から撮像するＴＶカ
メラと、前記ＴＶカメラにより撮像された信号に基づい
て、前記部品が前記第２のステージ上に載置されている
時に前記第２のステージ上の部品位置と前記第３のステ
ージ上のワーク上の載置位置が位置合わせされるように
前記第２のステージをｘ、ｙ、θ方向に移動させる位置
合わせ手段とを有し、前記部品搬送手段により保持され
ている部品を前記ＴＶカメラにより上方から撮像する際
に妨げにならないように前記部品搬送手段の垂直方向に
貫通孔を形成した部品搭載装置が提供される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る部品搭載装置
の一実施形態の要部を示す外観図、図２は図１の部品搭
載装置を示す平面図、図３は図１の部品搭載装置を示す
正面図、図４は図１〜図３の補正ステージによる位置合
わせを動作を示す説明図である。

【００１２】図１〜図３に示すように、供給ステーショ
ン１と、補正ステーション２と搭載ステーション３が左
から右に向かって水平方向に、またこの順番で等間隔で
配置されている。供給ステーション１と搭載ステーショ
ン３はそれぞれｘｙ方向に移動可能な供給ステージ１ａ
と搭載ステージ３ａを有し、補正ステーション２はｘ、
ｙ、θ方向に移動可能な補正ステージ２ａを有する。こ
れらのステーション１、２、３の上方にはそれぞれＴＶ
カメラ５−１、５−２、５−３が固定され、ＴＶカメラ
５−１〜５−３はそれぞれステージ１ａ〜３ａ上の部品
を撮像する。

【００１３】ステーション１〜３の上方にはまた、支持
部材２０が水平方向に延びるように固定され、支持部材
２０にはヘッドベース２１が水平方向に移動可能に取り
付けられている。ヘッドベース２１には２つの吸着コレ
ット４ａ、４ｂが上下方向に移動可能に取り付けられ、
この吸着コレット４ａ、４ｂの距離は供給ステーション
１及び補正ステーション２の間の距離と補正ステーショ
ン２及び搭載ステーション３の距離に対応している。

【００１４】このような構成において、吸着コレット４
ａが供給ステーション１と補正ステーション２の間を往
復するとともに吸着コレット４ｂが補正ステーション２
と搭載ステーション３の間を往復することにより、部品
が供給ステーション１から補正ステーション２に搬送さ
れるとともに補正ステーション２から搭載ステーション
３に搬送される。

【００１５】このとき、まず、吸着コレット４ａ、４ｂ
は図１、図２に示すようにＴＶカメラ５−１〜５−３の
撮像を妨げないように、それぞれ供給ステーション１及
び補正ステーション２の間と補正ステーション２と搭載
ステーション３の間であって上方位置に待機している。
そして、吸着コレット４ａの動作について説明すると、
まず、供給ステージ１ａ上の部品がＴＶカメラ５−１に
より撮像されてその撮像信号に基づいて供給ステージ１
ａがｘｙ方向に移動することにより供給部品が吸着位置
に位置決めされる。次いで吸着コレット４ａが供給ステ
ーション１の位置に水平方向に移動した後下降して供給
ステージ１ａ上の供給部品を吸着し、次いで上昇してそ
れぞれ補正ステーション２の位置に水平方向に移動した
後、図３に示すように下降し、補正ステージ２ａ上に搭
載する。

【００１６】また、上記のＴＶカメラ５−１及び吸着コ
レット４ａの動作と並行して、補正ステージ２ａ上の部
品と搭載ステージ３ａ上の搭載位置がそれぞれＴＶカメ
ラ５−２、５−３により撮像され、その撮像信号に基づ
いてまず、搭載ステージ３ａがｘｙ方向に移動すること
によりワークが位置決めされた後、補正ステージ２ａが
移動することにより部品のｘ、ｙ、θ方向がワーク上の
搭載位置に対して位置合わせされる。次いで吸着コレッ
ト４ｂが補正ステーション２の位置に水平方向に移動し
た後下降して補正ステージ２ａ上の部品を吸着し、次い
で上昇して搭載ステーション３の位置に水平方向に移動
した後、図３に示すように下降し、搭載ステージ３ａ上
のワークの所定位置に搭載する。

【００１７】図４（ａ）はＴＶカメラ５−２、５−３に
より撮像された位置合わせ前の映像を示し、補正ステー
ジ２ａ上の部品の位置と搭載ステージ３ａ上のワーク上
に搭載すべき位置が異なっている。そこで、補正ステー
ジ２ａ上の部品の特徴を抽出し、その特徴が搭載ステー
ジ３ａ上のワーク上に搭載すべき位置と一致するよう
に、図４（ｂ）に示すように補正ステージ２ａにより部
品のｘ、ｙ、θ方向を位置決めする。

【００１８】したがって、このような構成によれば、部
品が補正ステージ２ａを経由するものの、ＴＶカメラ５
−２、５−３が移動しないので、従来例と比べて大幅に
部品搭載時間を短縮することができ、また、位置合わせ
精度を向上させることができる。また、上記構成によれ
ば、吸着コレット４ａ、４ｂが同時に移動してそれぞれ
供給ステーション１から補正ステーション２への部品移
動と補正ステーション２から搭載ステーション３への部
品移動を同時に行うので、部品搭載時間を短縮すること
ができる。なお、部品搭載時間はある程度長くなるが、
吸着コレット４ａ、４ｂは１つでもよい。

【００１９】上記構成によれば、種々の特徴を有する部
品をワーク上に搭載することができる。図５は本発明に
係る部品搭載装置が搭載する部品の一例として、光ピッ
クアップ本体に取り付けられる発光／受光アセンブリを
示している。この発光／受光アセンブリはリードフレー
ム１３が封止されている樹脂パッケージ１４と、リード
フレーム１３上に搭載されるフォトダイオードチップ１
２と、フォトダイオードチップ１２上に搭載されるサブ
マウント部材１１及びマイクロミラー１５と、サブマウ
ント部材１１上に搭載される半導体レーザチップ１７
と、樹脂パッケージ１４上に搭載されるホログラム素子
１６により構成されている。このようなアセンブリを光
ピックアップ本体に取り付けた状態では、半導体レーザ
チップ１７により出射されたレーザ光がマイクロミラー
１５の４５°の反射面により反射され、その反射光がホ
ログラム素子１６を介して不図示の対物レンズにより集
光されてディスク面に照射され、その反射光がホログラ
ム素子１６を介してフォトダイオードチップ１２の受光
面により受光される。

【００２０】このような発光／受光アセンブリを組み立
てる場合には、まず、第１の部品搭載装置によりサブマ
ウント部材（以下、ＳＭとも言う。）１１をフォトダイ
オードチップ（以下、ＰＤとも言う。）１２に切断前の
フォトダイオードウェハー上に搭載し、次いで第２の部
品搭載装置により半導体レーザチップ（以下、ＬＤとも
言う。）１７をサブマウント部材１１上に搭載し、次い
で第３の部品搭載装置によりマイクロミラー（以下、Ｍ
Ｍとも言う。）１５をＰＤチップ１２上に搭載する。次
いでフォトダイオードウェハーをＰＤチップ１２毎にダ
イシングし、次いで第４の部品搭載装置によりこのＰＤ
チップ１２を樹脂パッケージ１４上に搭載し、次いで第
５の部品搭載装置によりホログラム素子１６を樹脂パッ
ケージ１４上に搭載する。

【００２１】上記の第１〜第５の部品搭載装置の基本的
な構成は図１〜図３と同一であるが、後述するように搭
載部品に応じて構成がやや異なる。図６は第１の部品搭
載装置を示し、図７に詳しく示すように供給ステージ１
ａ上にあらかじめ多数のＳＭチップ１１が粘着テープに
より支持されたＳＭシート３１がセットされるととも
に、搭載ステージ３ａ上にはＰＤウェハー３２がセット
される。なお、ＰＤウェハー３２は図７（ｂ）に示すよ
うにＰＤパレット３３により支持され、ＰＤパレット３
３は搭載ステージ３ａ側の位置決めピン３４に対して位
置決めされる。そして、図８に示すようにＰＤウェハー
３２を構成する各ＰＤチップ１２上の接着剤があらかじ
め塗布されている搭載位置に各ＳＭチップ１１が搭載さ
れる。

【００２２】ここで、図９に示すように多数のＳＭチッ
プ１１（チップ部品）が粘着テープ３１ａにより支持さ
れたＳＭシート３１から１つのＳＭチップ１１を吸着コ
レット４ａにより吸着する場合には、粘着テープ３１ａ
の裏面からピン３６を突き当ててＳＭチップ１１を粘着
テープ３１ａから盛り上げさせて吸着させる方法が知ら
れている。このような方法では、このピン３６の先端を
ＴＶカメラ５−１により撮像してピン３６の位置と吸着
コレット４ａの吸着位置をあらかじめ調整する必要があ
るが、このピン３６の先端を単に照明してＴＶカメラ５
−１により撮像しても画像を得られない。そこで、粘着
テープ３１ａにより支持されている部品を扱う第１の部
品搭載装置では、図９に示すように供給ステージ１ａ上
をリング照明（図示３７）することによりピン３６の先
端を撮像することができる。なお、ＴＶカメラ５−１は
斜めから撮像するようにしてもよい。

【００２３】図１０は第２の部品搭載装置を示し、図１
１（ａ）に示すように供給ステージ１ａ上にはあらかじ
め多数のＬＤチップ１７が粘着テープにより支持された
ＬＤシート３７がセットされる。また、搭載ステージ３
ａ上には図１１（ｂ）に示すように、第１の部品搭載装
置と同様にＰＤパレット３３により支持されたＰＤウェ
ハー３２がセットされる。そして、図１２に示すように
ＰＤウェハー３２上に搭載されているＳＭチップ１１上
の接着剤があらかじめ塗布されている搭載位置にＬＤチ
ップ１７が搭載される。この第２の（及び後述する）部
品搭載装置においても同様に、ＬＤチップ１７が粘着テ
ープにより支持されているので、供給ステージ１ａ上を
リング照明するように構成されている。

【００２４】ここで、部品は吸着コレット４ａ、４ｂに
より吸着された状態でステーション間を搬送するので、
吸着状態の搬送の際に位置合わせ精度が悪化するおそれ
があるが、部品に依っては非常に高精度の位置合わせ精
度はある方向については要求され、他の方向については
要求されない場合がある。ＬＤチップ１７はその一例で
あり、図１３に示すようにレーザ光の出射方向（Ｙ方
向）については高精度を要求されるが、Ｘ方向について
は高精度を要求されない。そこで、この第２の部品搭載
装置では、非常に高精度の位置合わせ精度が要求されな
いＸ方向に吸着状態で搬送を行う。

【００２５】また、位置合わせを行うために基準となる
部品の特徴は、通常、撮像可能な部品の外形や上面のパ
ターンであるが、このような特徴が吸着面とは反対側の
面にある部品もある。このような部品の場合には、ステ
ーション間を移動中に一旦停止して別の第４のカメラに
より部品の反対側の面を撮像して特徴を抽出する方法が
考えられるが、この方法では時間がかかり、また、高価
となる。そこで、例えば搭載部品としてのＬＤチップ１
７がこのような部品の場合には、図１４に示すように補
正ステージ２ａを透明なガラスに置き換えるとともに、
ＴＶカメラ５−２を下からガラスを介して部品を撮像し
て特徴を抽出する。

【００２６】また、部品を吸着コレット４ａ、４ｂによ
り吸着して搬送する場合には、部品が実際に吸着されて
いるかをカメラにより撮像して確認する必要がある。し
かしながら、ＬＤチップ１７は一般に他の部品より非常
に小さいので、図１５（ａ）に示すようにＬＤチップ１
７を吸着コレット４により真上から吸着すると、別の第
４のＴＶカメラにより斜めから撮像しなければならなく
なる。そこで、この第２の部品搭載装置では、図１５
（ｂ）に示すように吸着コレット４がＬＤチップ１７を
斜め上方から吸着するとともに、吸着コレット４の上の
ヘッド２１に垂直方向の貫通孔２１ａを形成することに
より、別のＴＶカメラを設けることなくカメラ５−１〜
５−３により撮像することができる。

【００２７】また、吸着コレット４は部品を安定して吸
着するためには吸着穴はできるだけ小さくすることが望
ましい。しかしながら、吸着穴をできるだけ小さくし、
かつ吸着穴により吸着されている部品を上から撮像しよ
うとすると、吸着コレット４の外形は図１６（ａ）に示
すように部品の外形より小さくすることには限界がある
ので、その撮像信号は吸着コレット４の垂直面の壁によ
りぼけて部品がとらえにくくなる。また、部品が小さく
なるほど映像を拡大する必要があるが、この場合には被
写界深度が浅くなるのでこの現象は顕著となる。そこ
で、図１６（ｂ）に示すように吸着穴により吸着されて
いる部品１７の近傍の吸着コレット４の壁面を斜めに形
成することにより、吸着コレット４の壁面によるぼけを
防止して部品を上から確実に撮像することができる。

【００２８】図１７は第３の部品搭載装置を示し、図１
８（ａ）に示すように供給ステージ１ａ上にはあらかじ
め多数のＭＭチップ１５が粘着テープにより支持された
ＭＭシート３８がセットされる。また、搭載ステージ３
ａ上には図１８（ｂ）に示すように、第１、第２の部品
搭載装置と同様にＰＤパレット３３により支持されたＰ
Ｄウェハー３２がセットされる。そして、図１９に示す
ようにＰＤウェハー３２上に搭載されているＰＤチップ
１２上のあらかじめ接着剤が塗布されている所定位置に
ＭＭチップ１５が搭載される。この第３の部品搭載装置
においても同様に、ＭＭチップ１５が粘着テープにより
支持されているので、供給ステージ１ａ上をリング照明
するように構成されている。

【００２９】ここで、ＭＭチップ１５には、ＬＤチップ
１７が搭載面と平行に出射するレーザ光を真上に反射す
るために４５°の反射面が形成されており、その反射光
の光軸は光ピックアップ本体側の対物レンズと一致しな
ければらない。ＭＭチップ１５とＬＤチップ１７の間の
距離がずれると光軸が一致しなくなるが、図２０（ａ）
に示すようにＭＭチップ１５の特徴として先端のライン
を撮像して位置合わせを行うと、ＭＭチップ１５の先端
の面取りのバラツキにより光軸が一致しなくなる。

【００３０】そこで、この第３の部品搭載装置の補正ス
テージ２ａ上には、図２０（ｂ）に示すようにＬＤチッ
プ１７に対応する位置に水平方向の稜線ラインを有する
ダミー部品３９を配置するとともにダミー部品３９の後
方に光源４０を配置し、ＭＭチップ１５により反射され
るダミー部品３９の水平方向の稜線ラインのシルエット
３９ａをＴＶカメラ５−２により撮像する。このとき、
ダミー部品３９の水平方向の稜線ラインに対するＭＭチ
ップ１５の距離がずれていると、ＴＶカメラ５−２によ
り撮像されるシルエット３９ａもその分だけずれてお
り、また、θ方向にずれているとシルエット３９ａもそ
の分だけ回転しているので、このシルエット３９ａが所
定位置、所定角度になるようにｘ、ｙ、θ方向の位置合
わせを行う。

【００３１】このように第１〜第３の部品搭載装置によ
りそれぞれＳＭチップ１１、ＬＤチップ１７、ＭＭチッ
プ１５が搭載されたＰＤウェハー３２は接着剤のキュア
工程に送られて各チップ１１、１７、１５が固定され、
次いでダイシング工程に送られてＰＤウェハー３２がＰ
Ｄチップ１２毎に切断され、次いで第４の部品搭載装置
に送られる。

【００３２】図２１は第４の部品搭載装置を示し、図２
２（ａ）に示すように供給ステージ１ａ上にはあらかじ
めＰＤチップ１２毎に切断されている状態のＰＤウェハ
ー３２が置かれたダイシングプレート４１がセットされ
る。また、搭載ステージ３ａ上には図２２（ｂ）に示す
ようにＬＦパレット４２がセットされ、ＬＦパレット４
２には各々にリードフレーム（ＬＦ）１３が封止されて
いる多数の樹脂パッケージ１４が支持されている。そし
て、図２３に示すように樹脂パッケージ１４内の搭載位
置にはあらかじめＡｇペーストが塗布され、次いでこの
塗布位置にＰＤチップ１２が搭載される。ＬＦパレット
４２の全ての樹脂パッケージ１４に対する搭載が完了す
るとＬＦパレット４２がＡｇペーストキュア工程に送ら
れてＰＤチップ１２が固定され、次いでＬＤチップ１７
及びＰＤチップ１２の各リードとリードフレーム１３の
ワイヤボンディングが行われ、次いで第５の部品搭載装
置に送られる。

【００３３】図２４は第５の部品搭載装置を示し、図２
５（ａ）に示すように供給ステージ１ａ上にはダイシン
グプレート４４がセットされ、ダイシングプレート４４
にはあらかじめ多数のホログラム素子（ＨＯＥ）１６が
支持されたＨＯＥシート４３が支持されている。また、
搭載ステージ３ａ上には図２５（ｂ）に示すように、樹
脂パッケージ１４が支持されているＬＦパレット４２が
セットされる。そして、樹脂パッケージ１４内の搭載位
置にはあらかじめ接着剤が塗布され、次いでこの塗布位
置にホログラム素子１６が搭載される。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、部
品搬送手段の垂直方向に貫通孔を形成したので、部品が
保持されている状態をＴＶカメラにより確実に撮像して
確認することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る部品搭載装置の一実施形態の要部
を示す外観図である。

【図２】図１の部品搭載装置を示す平面図である。

【図３】図１の部品搭載装置を示す正面図である。

【図４】図１〜図３の補正ステージによる位置合わせを
動作を示す説明図である。

【図５】搭載部品の具体例を示す外観図である。

【図６】図５のサブマウントを搭載する場合の部品搭載
装置を示す平面図である。

【図７】図６の部品搭載装置における搭載部品及びワー
クを詳しく示す説明図である。

【図８】図６の部品搭載装置における搭載状態を詳しく
示す説明図である。

【図９】図６の部品搭載装置におけるリング光源を詳し
く示す説明図である。

【図１０】図５のＬＤチップを搭載する場合の部品搭載
装置を示す平面図である。

【図１１】図１０の部品搭載装置における搭載部品及び
ワークを詳しく示す説明図である。

【図１２】図１０の部品搭載装置における搭載状態を詳
しく示す説明図である。

【図１３】図１０の部品搭載装置によるＬＤチップの搬
送方向を詳しく示す説明図である。

【図１４】図１０の部品搭載装置における補正ステージ
を詳しく示す説明図である。

【図１５】従来例と図１０の部品搭載装置におけるヘッ
ドを示す構成図である。

【図１６】従来例と図１０の部品搭載装置における吸着
コレットを示す構成図である。

【図１７】図５のマイクロミラーチップを搭載する場合
の部品搭載装置を示す平面図である。

【図１８】図１７の部品搭載装置における搭載部品及び
ワークを詳しく示す説明図である。

【図１９】図１７の部品搭載装置における搭載状態を詳
しく示す説明図である。

【図２０】図１７の部品搭載装置における位置合わせ方
法を詳しく示す説明図である。

【図２１】図５のＰＤチップを搭載する場合の部品搭載
装置を示す平面図である。

【図２２】図２１の部品搭載装置における搭載部品及び
ワークを詳しく示す説明図である。

【図２３】図２１の部品搭載装置における搭載状態を詳
しく示す説明図である。

【図２４】図５のホログラム素子を搭載する場合の部品
搭載装置を示す平面図である。

【図２５】図２４の部品搭載装置における搭載部品及び
ワークを詳しく示す説明図である。

【図２６】従来の部品搭載装置を示す外観図である。

【図２７】図２６の部品搭載装置による搭載処理を示す
説明図である。

【符号の説明】

１ａ 供給ステージ（第１のステージ） ２ａ 補正ステージ（第２のステージ） ３ａ 搭載ステージ（第３のステージ） ４ａ，４ｂ 吸着コレット（部品搬送手段） ５−１，５−２，５−３ ＴＶカメラ（位置合わせ手
段）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 部品を保持して搬送する部品搬送手段
   と、 前記部品搬送手段により部品が保持されている状態を上
   から撮像するＴＶカメラとを有し、 前記部品搬送手段により保持されている部品を前記ＴＶ
   カメラにより上方から撮像する際に妨げにならないよう
   に前記部品搬送手段の垂直方向に貫通孔を形成した部品
   搭載装置。
2. 【請求項２】 搭載される部品が載置される第１のステ
   ージと、 ｘ、ｙ、θ方向に移動可能な第２のステージと、 部品が搭載されるワークが載置される第３のステージ
   と、 部品を前記第１のステージから前記第２のステージに搬
   送して前記第２のステージ上に載置し、前記第２のステ
   ージから前記第３のステージに搬送してワーク上に載置
   する部品搬送手段と、 少なくとも前記第２、第３のステージを上方から撮像す
   るＴＶカメラと、 前記ＴＶカメラにより撮像された信号に基づいて、前記
   部品が前記第２のステージ上に載置されている時に前記
   第２のステージ上の部品位置と前記第３のステージ上の
   ワーク上の載置位置が位置合わせされるように前記第２
   のステージをｘ、ｙ、θ方向に移動させる位置合わせ手
   段とを有し、 前記部品搬送手段により保持されている部品を前記ＴＶ
   カメラにより上方から撮像する際に妨げにならないよう
   に前記部品搬送手段の垂直方向に貫通孔を形成した部品
   搭載装置。
3. 【請求項３】 前記部品搬送手段は部品を吸着して保持
   する吸着コレットを有し、前記吸着コレットをＴＶカメ
   ラにより上方から撮像する際に妨げにならないように傾
   けて構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の部
   品搭載装置。