JPH11121281A - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】導電性高分子を固体電解質とする固体電解コン
デンサにおいて、実装時の熱安定性、信頼性の高い固体
電解コンデンサの製造方法を提供する。 【解決手段】弁作用金属１粉末の焼結体からなり陽極表
面に誘電体酸化皮膜２を形成する工程と、その酸化皮膜
上に密接して化学酸化重合により第一の導電性高分子化
合物層３を形成する工程、導電性高分子化合物懸濁水溶
液に浸漬し、前記第一の導電性高分子化合物層３上に第
二の導電性高分子化合物層４を形成する工程と、グラフ
ァイト粉末含有懸濁水溶液に浸漬し、前記第二の導電性
高分子化合物層４上にグラファイト層８を形成後、銀塗
料層９を形成し、陰極層を形成する工程とを含む構成か
らなる固体電解コンデンサの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は固体電解コンデンサ
の製造方法に関し、特に導電性高分子化合物を固体電解
質とする固体電解コンデンサの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】固体電解コンデンサは、通常、アルミニ
ウムやタンタル等の弁作用金属の微粉末を成型、焼結し
て得られる多孔質焼結体を陽極とし、その焼結体の孔内
部および外表面に電気化学的陽極酸化等により誘電体酸
化皮膜を形成し、さら対向電極となる陰極を引き出すた
めに酸化皮膜上に密接して固体電解質を介在させる。

【０００３】この固体電解質は誘電体酸化皮膜全面と陰
極との間を電気的に接続し誘電体酸化皮膜の持つ静電容
量を引き出す機能を有する。さらに言えば、誘電体酸化
皮膜内部に欠陥を有し電気的短絡が生じた場合に、この
欠陥を修復する機能を併せ持つことが必要である。

【０００４】前記の要求に合致する固体電解質として、
従来、二酸化マンガンや７，７，８，８−テトラシアノ
キノジメタン錯塩（ＴＣＮＱ錯塩）が幅広く用いられて
きたが、二酸化マンガンを用いたものは、その比抵抗が
低くないために高周波領域でのインピーダンス、等価直
列抵抗（以降、ＥＳＲという）、或いは誘電損失角の正
接（以下、ｔａｎδという）が高い。一方、ＴＣＮＱ錯
塩を固体電解質に用いたものは、インピーダンス、ＥＳ
Ｒ、ｔａｎδがかなり低いものの、ＴＣＮＱ錯塩の熱分
解温度が低いことに起因して耐熱性に乏しく、高温雰囲
気下で上記の特性値を長期間持続できないという欠点が
あった。

【０００５】しかし、近年、高分子化学の分野に於いて
新規な固体電解質材料の開発が活発に行なわれた結果、
ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリフ
ランなど、π電子を有する共役系高分子化合物に電子供
与性や電子吸引性を有する化合物（ドーパント）を添加
して導電性を付与した導電性高分子化合物が開発され、
これらを固体電解質として用いる固体電解コンデンサが
数多く提唱されている。例えば、酸化剤を用いた化学酸
化重合法によってピロールモノマーを誘電体酸化皮膜上
で重合させ、ドーパントを添加したポリピロールを導電
性高分子化合物層とした後、グラファイト層、銀塗料層
を順次形成する製造方法が開発されている。

【０００６】ところが、この方法によると固体電解質と
しての導電性高分子化合物層は薄く、陽極としての焼結
体との嵌合を十分に確保することが出来ない。さらに、
得られた導電性高分子化合物層の外表面が平滑であるた
めに導電性高分子化合物層とグラファイト層との嵌合が
弱い。そのため、高周波領域でのＥＳＲ或いはｔａｎδ
が大きいという問題があった。

【０００７】これらの問題を解決する技術として、特開
平７−９４３６８号公報には図５に示すごとく、誘電体
酸化皮膜２上に化学酸化重合により内部導電性高分子化
合物層５を形成した後に、グラファイト等の導電性粉末
７を混在させ表面に凹凸を設けた外部導電性高分子化合
物層６を形成し、さらにグラファイト層８、銀塗料層９
を順次形成してなる固体電解コンデンサおよびその製造
方法が開示されている。

【０００８】図６は、この固体電解コンデンサの一連の
製造工程をまとめたフローチャートである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
方法で作製した導電性高分子化合物層を固体電解質とす
る固体電解コンデンサは、次のような問題点がある。

【００１０】即ち、第一の問題点は、実装時の熱衝撃に
よるＥＳＲおよびｔａｎδの増大である。その原因は、
外部導電性高分子化合物層やグラファイト層の機械的強
度が必ずしも十分でなく、またその内部導電性高分子化
合物層とグラファイト層との嵌合、接着力も十分でない
ために、熱衝撃によりそれらの層間が剥離しやすいため
である。

【００１１】第二の問題点は、実装時の熱応力による漏
れ電流の増大である。その原因は上述の方法によると弁
作用金属の焼結体からなる陽極体の外表面に均一な厚み
の外部導電性高分子化合物層を形成するのが困難であ
り、部分的に厚みの不足した部位に於いて誘電体酸化皮
膜の機械的な損傷を誘発しやすいためである。特に陽極
体のエッジ部分において、外部導電性高分子化合物層の
厚みが不足しやすく、漏れ電流が増大しやすい。

【００１２】第三の問題点は、固体電解コンデンサの実
用温湿度条件下、特に高温雰囲気下での使用に伴なうＥ
ＳＲ、ｔａｎδの急激な増大である。その原因は、前述
のごとく、内部導電性高分子化合物層、導電性高分子化
合物層およびグラファイト層間の嵌合が弱いため、３者
の間に剥がれや隙間を生じやすく、これらが酸素および
水分の侵入経路となり、高温高湿雰囲気下での導電性高
分子化合物層全体の酸化劣化が著しく加速され、抵抗値
が急激に増大するためと考えられる。

【００１３】本発明の目的は、従来技術の上記課題を解
決することにより、初期特性および信頼性に優れた固体
電解コンデンサの製造方法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の固体電解コンデ
ンサの製造方法は、弁作用金属粉末の焼結体からなり陽
極表面に酸化皮膜を形成する工程と、その酸化皮膜上に
密接して化学酸化重合により第一の導電性高分子化合物
層を形成する工程、導電性高分子化合物懸濁水溶液に浸
漬し、前記第一の導電性高分子化合物層上に第二の導電
性高分子化合物層を形成する工程と、グラファイト粉末
含有懸濁水溶液に浸漬し、前記第二の導電性高分子化合
物層上にグラファイト層を形成後、銀塗料層を形成し、
陰極層を形成する工程を含むことで構成される。

【００１５】ここで、前記導電性高分子化合物懸濁水溶
液と前記グラファイト粉末含有懸濁水溶液には水溶性接
着剤を含有させることで、前記第二の導電性高分子化合
物層と前記第一の導電性高分子化合物層、および第二の
導電性高分子化合物層と前記グラファイト層との嵌合と
接着力を向上することができる。

【００１６】前記懸濁水溶液中の水溶性接着剤として
は、ポリアクリロニトリル、メチルセルロース、ポリビ
ニルアルコール、メタクリル酸メチルおよびそれらの誘
導体を用いることができる。

【００１７】前記水溶性接着剤は、所望の粉末を純水中
に分散した懸濁水溶液を容易に調製でき、乾燥して水分
を除去することにより、低温短時間で厚みの均一な塗膜
が得られる。また、純水の添加量を調整し、固形分の濃
度を変えることにより厚付けが可能となり、所望の厚み
の塗膜を最小の処理回数で得られるという利点もある。

【００１８】この水溶性接着剤を用いる方法により、前
記第二の導電性高分子化合物層、前記グラファイト層の
強度、およびこれら層間の嵌合を強化出来る。なお、前
記第二の導電性高分子化合層と前記グラファイト層の形
成に用いる水溶性接着剤は同一の化合物でなくても構わ
ない。

【００１９】本発明における前記第一の導電性高分子化
合物層としては、ピロール、アニリン、チオフェン、さ
らにフラン等の環状有機化合物のモノマー、およびそれ
らの誘導体の重合体を用いることができる。これらの重
合体は化学酸化重合によって形成するのが好適である。
その理由は、弁作用金属の焼結体の空孔内部は微細に拡
面化されており、電解酸化重合では、通電時に空孔内部
と外表面に電位差を生じやすく、誘電体酸化皮膜全体に
わたり、均一に導電性高分子化合物層を密接させること
が困難なためである。

【００２０】本発明における第二の導電性高分子化合物
層形成用の懸濁水溶液中の導電性高分子化合物として
は、前記第一の導電性高分子化合物層と同様にピロー
ル、アニリン、チオフェン、フラン、およびそれらの誘
導体の重合体を用いる。なお、第一の導電性高分子化合
層と第二の導電性高分子化合物層とは同一の化合物でな
くても構わない。

【００２１】本発明は上記のように導電性高分子化合物
層を二層構造とし、誘電体酸化皮膜に密接する第一の導
電性高分子化合物層を化学酸化重合によって形成し、次
に、予め重合された後にドーパントをドープして導電性
を発現せしめた導電性高分子化合物の粉末と水溶性接着
剤とを混合した懸濁水溶液に浸漬し、引き上げて所定温
度で乾燥することにより、グラファイト層との嵌合強化
用の凹凸を表面に有する第二の導電性高分子化合物層を
形成した。さらにグラファイト粉末と水溶性接着剤とを
混合した懸濁水溶液に浸漬し、引き上げて所定温度で乾
燥し、グラファイト層を形成することにより、固体電解
コンデンサの実装時の熱衝撃や実用温湿度条件下、特に
高温雰囲気下でのＥＳＲ、ｔａｎδ、および漏れ電流の
増大を抑制できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。

【００２３】図１は本発明の実施の形態の固体電解コン
デンサの製造方法を説明するための固体電解コンデンサ
の模式的断面図であり、（ａ）は全体断面図、（ｂ）は
（ａ）の固体電解コンデンサの誘電体酸化皮膜部の拡大
断面図である。

【００２４】まず、弁作用金属粉末の焼結体からなる陽
極である弁作用金属１を陽極酸化し、その焼結体表面の
細孔壁面に沿って誘電体酸化皮膜２を形成する。この誘
電体酸化被膜２の表面に、第一の導電性高分子化合物層
３を化学酸化重合によって形成し、コンデンサ素子を製
作する。

【００２５】次に、このコンデンサ素子を導電性高分子
化合物懸濁水溶液に浸漬し、第一の導電性高分子化合物
層３上に、第二の導電性高分子化合物層４を形成する。
ここで、第二の導電性高分子化合物層４形成のための導
電性高分子化合物懸濁水溶液としては、導電性高分子化
合物の粉末と水溶性接着剤とを混合した懸濁水溶液が使
用される。この液に浸漬し引き上げて所定温度で乾燥す
ることにより第二の導電性高分子化合物層が形成され
る。第二の導電性高分子化合物層４の外表面には導電性
高分子化合物粉末からなる凹凸を多数有しているため、
この上に形成するグラファイト層との嵌合を向上するこ
とができる。

【００２６】更に、グラファイト粉末含有懸濁水溶液に
前記コンデンサ素子を浸漬し、第二の導電性高分子化合
物層４の外表面を覆い隠すように、グラファイト層８を
形成する。

【００２７】前記懸濁水溶液内の水溶性接着剤として
は、ポリアクリロニトリル、メチルセルロース、ポリビ
ニルアルコール、メタクリル酸メチルおよびそれらの誘
導体を用いるのが好適である。これら水溶性接着剤の混
合比率は特に厳密に限定されるものではないが、抵抗
値、接着力、作業性および各種信頼性評価の結果から
０．５〜３ｗｔ．％が最も好ましい。その混合比率が
０．５ｗｔ．％未満であると接着力が若干弱く、３ｗ
ｔ．％を超えて添加すると、抵抗値が増大する傾向が認
められた。

【００２８】次いで、グラファイト層８上に銀塗料層９
を順次形成し、陰極層を形成する。

【００２９】更に、従来公知の方法により電極端子１０
を取り付け外装樹脂１１で外装を施して、図１の固体電
解コンデンサが製造される。図２は、これら一連の製造
工程をまとめたフローチャートである。

【００３０】

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。なお各実施例とも上記の実施のの形態における弁作
用金属としては直径１ｍｍ、長さ１ｍｍの円柱状のタン
タル微粉末の焼結体を用いた。この焼結体の陽極酸化後
のＣＶ積（粉末１ｇあたりの静電容量と陽極酸化電圧と
の積）は４８０００μＦ・Ｖ／ｇであった。

【００３１】実施例１ タンタル微粉末焼結体ペレットを０．２Ｍの硝酸水溶液
中において、６０Ｖで陽極酸化して、誘電体酸化皮膜２
を形成した。このペレットを、０．１Ｍドデシルベンゼ
ンスルフオン酸第二鉄のメタノ−ル溶液に１分間浸漬
し、０．１Ｍピロールモノマーのメタノール溶液に１分
間浸漬した後、室温で１５分間保持して化学酸化重合と
ドーピングとを同時に行なった。これら酸化剤の含浸、
重合・ドービングの一連の操作を１５回繰り返すことに
より、第一の導電性高分子化合物層３としてのポリピロ
ールを誘電体酸化皮膜上に密接するように形成した。

【００３２】次に、重合溶液としてピロール：０．１
Ｍ，２−ナフタレンスルフオン酸：０．２Ｍ，硝酸第二
鉄：０．２Ｍとなるように混合したメタノール溶液を調
製し、−４０℃以下に保持し、十分に攪拌した。その
後、この溶液を室温下で５時間放置して、化学酸化重合
させた。さらに、メタノールを用いて過剰のピロール、
２−ナフタレンスルフォン酸および硝酸第二鉄を除去し
た後、室温で２４時間乾燥することにより粉末状のボリ
ピロールを得た。

【００３３】次に、この粉末状のポリピロールを２５ｗ
ｔ．％、水溶性接着剤としてのポリビニルアルコールを
１．５ｗｔ．％、純水（残部）を７３．５ｗｔ％の組成
に混合した懸濁水溶液を調製し、このものに、前記第一
の導電性高分子化合物層形成後のペレットを３秒間浸漬
し引き上げて、１２０℃で１５分間乾燥させることによ
り、第二の導電性高分子化合物層としてのポリピロール
の厚膜を形成した。

【００３４】更に、グラファイト粉末（平均粒径約０．
３μｍ）１０ｗｔ％、ポリビニルアルコール１．５ｗｔ
％、純水（残部）８８．５ｗｔ％の組成に混合した懸濁
水溶液を調製し、このものに、前記第二の導電性高分子
化合物層形成後のペレットを３秒間浸漬し引き上げて、
１２０℃で１５分間乾燥させることにより、グラファイ
ト層を形成せしめた。

【００３５】更にこのグラファイト層上に銀塗料層を形
成し、電極端子を引き出した後、外装樹脂で封止し固体
電解コンデンサを完成させた。

【００３６】実施例２ 実施例１と同様の方法で誘電体酸化皮膜の形成まで行な
った。このペレットを０．１Ｍ、２−ペルオキソ二硫酸
アンモニウム水溶液に１分間浸漬し、次に０．１Ｍアニ
リンモノマー水溶液に１分間浸漬して、室温で１５分間
乾燥させることにより、前記誘電体酸化皮膜の上に密接
して脱ドープ状態のポリアニリンを形成した。次に、こ
のものを０．１Ｍ ｐ−トルエンスルフォン酸のエタノ
ール溶液に１時間浸漬してポリアニリンにドーピングを
行ない、導電性を付与した。これら酸化剤の含浸、アニ
リンモノマーとの接触、ド− ピングからなる一連の操
作を１０回繰り返して第一の導電性高分子化合物層とし
てのポリピロールを前記誘電体酸化皮膜上に密接するよ
うに形成した。

【００３７】次に、実施例１と同様の方法により調製し
たポリピロール粉末を含む懸濁水溶液に第一の導電性高
分子化合物層を形成後のペレットを浸漬し、引き上げ
て、１２０℃で１５分間乾燥させることにより、第二の
導電性高分子化合物層としてのポリピロールの厚膜を形
成せしめた。

【００３８】更に、実施例１と同様の方法により、グラ
ファイト層、銀塗料層を順次形成した後、電極端子を取
り出し、外装樹脂で封止して固体電解コンデンサを完成
させた。

【００３９】実施例３ 実施例１、２と同様の方法で誘電体酸化皮膜の形成まで
行なった。次に、０．１Ｍ チオフェン／０．１Ｍ ク
エン酸／０．１Ｍ ｐ−トルエンスルフォン酸／０．２
Ｍ硝酸第二鉄となるようなエタノール溶液を調製し、−
５０℃に保持した。このものに、誘電体酸化皮膜形成後
のペレットを１分間浸漬した後引き上げ、室温で１時間
保持して化学酸化重合を行なった。さらに、エタノール
を用いて余分なチオフェン、クエン酸、Ｐ−トルエンス
ルフォン酸、硝酸第二鉄を除去した。以上の重合溶液浸
漬、室温乾燥、エタノール洗浄の一連の操作を８回繰り
替えすことにより、前記誘電体酸化皮膜の上に密接して
第一の導電性高分子化合物層としてのドーピング状態の
ポリチオフェン膜を形成した。次に、実施例１と同様の
方法により調製したポリピロール粉末を含む懸濁水溶液
に第一の導電性高分子化合物層を形成後のペレットを浸
漬し、引き上げて、１２０℃で、５分間乾燥させること
により、第二の導電性高分子化合物層としてのポリピロ
ールの厚膜を形成せしめた。

【００４０】更に、実施例１と同様の方法により、グラ
ファイト層、銀塗料層を順次形成せしめた後、電極端子
を取り出し、外装樹脂で封止して固体電解コンデンサを
完成させた。

【００４１】実施例４ 実施例１と同様の条件で、第二の導電性高分子化合物層
の形成までの操作を行なった。次に、グラファイト粉末
（平均粒径約０．３μｍ）１０ｗｔ．％、カルボキシメ
チルセルロース０．８ｗｔ．％、純水（残部）８９．２
ｗｔ．％の組成に混合した懸濁水溶液を調製し、このも
のに、前記第二の導電性高分子化合物層形成後のペレッ
トを３秒間浸漬し引き上げて、１００℃で５分間乾燥さ
せることにより、グラファイト層を形成した。

【００４２】更に銀塗料層を形成し、電極端子を引き出
した後、外装樹脂で封止し固体電解コンデンサを完成さ
せた。

【００４３】比較例 特開平７−９４３６８号公報にて公知の製造方法にて製
作される固体電解コンデンサを代表的な比較例として説
明する。

【００４４】本発明の上記実施例と同様のペレット、同
様の方法により誘電体酸化皮膜を形成した。このペレッ
トを０．１Ｍドデシルベンゼンスルフォン酸第二鉄のエ
タノール溶液に１分間浸漬し、０．１Ｍピロールモノマ
ーのメタノール溶液に１分間浸漬した後、室温で１０分
間保持し化学酸化重合とドーピングを同時に行なった。
以上の酸化剤の含浸、ピロールモノマーとの接触、重合
・ドーピングからなる一連の操作をを１０回繰り返し
て、誘電体酸化皮膜に密接して、内部導電性高分子化合
物層としてのポリピロールを形成した。

【００４５】次に従来公知の方法により調製した有機溶
剤に可溶なポリアニリン粉末５ｇを導電性粉末として用
い、Ｎ−メチル−２−ピロリドン９５ｇ中に少量ずつ加
え、溶解させて溶液とした。前記の内部導電性高分子化
合物層形成後のペレットを当該溶液中に１分間保持した
後、硫酸水溶液に３０分間浸漬することによりドーピン
グして、導電性粉末としてのポリピロール粉末を含む外
部導電性高分子化合物層としてのポリアニリンを形成し
た。

【００４６】更に、その上に有機バインダー分を含まな
いグラファイト層、銀塗料層を順次形成し、電極端子を
引き出した後、外装樹脂で封止して比較例の固体電解コ
ンデンサを完成させた。

【００４７】以上の方法により完成した本発明の四種の
固体電解コンデンサ、および比較例の固体電解コンデン
サ各１００個を半田浸漬試験（２７０℃ １０秒浸漬）
に供した。試験前後でのｔａｎδ（１ｋＨｚで測定）、
ＥＳＲ（１００ＫＨｚで測定）、漏れ電流（ＬＣ 定格
電圧、１分値）の分布を図３に比較して示す。比較例の
製造方法により作製した固体電解コンデンサは試験後に
諸特性が著しく劣化したのに対し、本発明の実施例によ
り作製した四種類の固体電解コンデンサは、ｔａｎδ、
ＥＳＲ増大が殆ど認められない。また、漏れ電流の分布
も殆ど変化していない。即ち、本発明の固体電解コンデ
ンサの製造方法によれば、半田実装時に加えられる熱履
歴、熱応力によっても諸特性の劣化がなく、安定した耐
熱特性を有する固体電解コンデンサを提供できることが
確認された。

【００４８】本発明の実施例に従って作製した四種の固
体電解コンデンサ、および比較例に従って作製した固体
電解コンデンサ各２０個を半田浸漬試験（２７０℃、１
０秒浸漬）に供した後、１２５℃の熱風雰囲気に放置し
たときのＥＳＲ（ｌ００ＫＨｚで測定）の経時変化を図
４に比較して示す。ここでは半田浸漬後の値を１（初期
値）とし、各サンプル２０個のＥＳＲ変化倍率の平均値
を時間に対してプロットした。

【００４９】図４の結果によれば、従来公知の比較例に
従って作製した固体電解コンデンサは、１０００時間経
過後のＥＳＲが初期値の９倍にも増大しているのに対
し、本発明の実施例に従って作製した固体電解コンデン
サの場合は、いずれも１０００時間経過後のＥＳＲが初
期値の２倍未満に収まっており、良好な熱安定性を示し
た。

【００５０】

【発明の効果】上記のように本発明は、従来公知の導電
性高分子化合物を用いた固体電解コンデンサが有してい
た課題を解決し、初期特性および信頼性に優れた固体電
解コンデンサの製造方法を提供することが可能となる。

【００５１】即ち、従来技術における第一の問題点であ
る実装時の熱履歴によるＥＳＲおよびｔａｎδの増大が
抑制される。これは、導電性高分子化合物層を二層構造
とし、素子外周部の第二の導電性高分子化合物層および
グラファイト層を水溶性接着剤からなる懸濁水溶液を用
いて形成しており、ＥＳＲおよびｔａｎδ劣化の原因と
なる層間の剥離が抑制されるためである。また、前記第
二の導電性高分子化合物の外表面には導電性高分子化合
物粉末からなる凹凸を多数有しているため、両者の嵌合
は更に確実なものとなる。

【００５２】さらに、第二の問題点である実装時の熱応
力による漏れ電流の増大を抑制できる。これは、導電性
高分子化合物粉末と水溶性接着剤とを混合した懸濁水溶
液を用いて、このものに素子を浸漬し引き上げて所定温
度で乾燥させることにより、素子外周部に均一かつ十分
な厚みを有する第二の導電性高分子化合物層を形成で
き、実装時の熱応力による誘電体酸化皮膜の機械的な損
傷が抑制されるためである。

【００５３】また、第三の問題点である固体電解コンデ
ンサの実用温湿度条件下、特に、高温雰囲気下での使用
に伴なうＥＳＲ、ｔａｎδの急激な増大を抑制できる。
この理由は、上述の方法により素子外周部に均一かつ、
十分な厚みを有する第二の導電性高分子化合物層、グラ
ファイト層を順次形成し、両者の嵌合を強化する事によ
り、高温雰囲気下での導電性高分子化合物層全体の抵抗
値増大の原因となる酸素および水分の侵入経路を遮断で
きるためである。

【００５４】このように、本発明によれば、初期特性お
よび半田実装時の熱安定性に優れ、高温雰囲気下におい
ても、長期にわたり等価直列抵抗値の変化が小さい安定
した性能を有する固体電解コンデンサが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の固体電解コンデンサの製
造方法を説明するための固体電解コンデンサの模式的断
面図であり、（ａ）は全体断面図、（ｂ）は（ａ）の固
体電解コンデンサの誘電体酸化皮膜部の拡大断面図であ
る。

【図２】図１の固体電解コンデンサの一連の製造工程を
まとめたフローチャートである。

【図３】本発明により製造された固体電解コンデンサお
よび比較例の固体電解コンデンサの半田浸漬試験のｔａ
ｎδ、ＥＳＲおよび漏れ電流測定結果である。

【図４】本発明により製造された固体電解コンデンサお
よび比較例の固体電解コンデンサの１２５℃高温放置に
おけるＥＳＲの経時変化の測定結果である。

【図５】従来の導電性高分子化合物の固体電解質を使用
した固体電解コンデンサの拡大模式的断面図であり、
（ａ）は全体断面図、（ｂ）は（ａ）の固体電解コンデ
ンサの誘電体酸化皮膜部の拡大断面図である。

【図６】図５の従来の固体電解コンデンサの一連の製造
工程をまとめたフローチャートである。

【符号の説明】

１ 弁作用金属 ２ 誘電体酸化皮膜 ３ 第一の導電性高分子化合物層 ４ 第二の導電性高分子化合物層 ５ 内部導電性高分子化合物層 ６ 外部導電性高分子化合物層 ７ 導電性粉末 ８ グラファイト層 ９ 銀塗料層 １０ 電極端子 １１ 外装樹脂

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弁作用金属粉末の焼結体からなる陽極表
   面に誘電体酸化皮膜を形成する工程と、その酸化皮膜上
   に密接して化学酸化重合により第一の導電性高分子化合
   物層を形成する工程と、導電性高分子化合物懸濁水溶液
   に浸漬し、前記第一の導電性高分子化合物層上に第二の
   導電性高分子化合物層を形成する工程と、グラファイト
   粉末含有懸濁水溶液に浸漬し、前記第二の導電性高分子
   化合物層上にグラファイト層を形成後、銀塗料層を形成
   し、陰極層を形成する工程を含むことを特徴する固体電
   解コンデンサの製造方法。
2. 【請求項２】 前記導電性高分子化合物懸濁水溶液が導
   電性高分子化合物の粉末と水溶性接着剤とを混合した懸
   濁水溶液である請求項１記載の固体電解コンデンサの製
   造方法。
3. 【請求項３】 前記導電性高分子化合物懸濁水溶液の導
   電性高分子化合物の粉末が、予め重合された後にドーパ
   ントをドープして導電性を発現せしめた導電性高分子化
   合物の粉末である請求項２記載の固体電解コンデンサの
   製造方法。
4. 【請求項４】 前記第一および第二の導電性高分子化合
   物層がピロール、アニリン、チオフェン、フラン、およ
   びそれらの誘導体の重合体である請求項１記載の固体電
   解コンデンサの製造方法。
5. 【請求項５】 前記グラファイト粉末含有懸濁水溶液が
   水溶性接着剤を含有する請求項１，２，３または４記載
   の固体電解コンデンサの製造方法。
6. 【請求項６】 前記導電性高分子化合物懸濁水溶液およ
   び前記グラファイト粉末含有懸濁水溶液の水溶性接着剤
   としてポリアクリロニトリル、メチルセルロース、ポリ
   ビニルアルコール、メタクリル酸メチルおよびそれらの
   誘導体を使用した請求項２または請求項５記載の固体電
   解コンデンサの製造方法。