JP2001148330A - 金属酸化物電極上に伝導性高分子被膜を形成する方法およびこれを利用した固体電解コンデンサーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 優秀なインピーダンス特性と高信頼度を示す
タンタル及びアルミニウム電解コンデンサーを製造す
る。 【解決手段】 本発明は特定の有機化合物を利用して金
属酸化物電極の表面を改質し、この金属酸化物電極の表
面に酸化剤を含浸して、ピロール、アニリンまたはチオ
フェンの溶液と接触させて伝導性高分子を酸化重合して
金属酸化物電極上に伝導性高分子被膜を形成する。さら
に電気重合法でこれを陰極で使用して固体電解コンデン
サーを製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は金属酸化物電極上に
伝導性高分子被膜を形成する方法及びこれを利用した固
体電解コンデンサーの製造方法に関するものであり、よ
り詳細には金属酸化物電極をこの表面と反応可能な有機
化合物が含まれている溶液に含浸した後乾燥させて金属
酸化物の表面を改質させ、改質された表面上に化学酸化
重合法を利用して伝導性高分子被膜を形成する方法及び
このような伝導性高分子被膜を利用した固体電解コンデ
ンサーを製造する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近電子機器セット等の小型化と軽量化
は採用部品の軽量化と小型化を誘導しており、この場合
表面実装化が可能なチップ型コンデンサーの開発が必要
である。また、最近の音声信号及び映像信号のデジタル
化に伴ってコンデンサーの高周波領域に対するパルス応
答特性の改善がさらに要求されているが、既存のアルミ
ニウム、タンタル電解コンデンサーや、フィルムコンデ
ンサーおよびセラミックコンデンサー等ではこれを容易
に実現させるのがむずかしい。

【０００３】液体電解質を含浸させて製作されるアルミ
ニウム電解コンデンサーは大容量及び低価格の長所を有
しているが、高周波領域でインピーダンス特性が悪く、
特に小型化・チップ化に問題がある。特に、等価直列抵
抗成分が高くて高周波でインピーダンス特性が不良で、
温度による電解液の電導度差が激しくて高信頼度が要求
される場合に使用が制限される。

【０００４】タンタル焼結体を利用したタンタルコンデ
ンサーの場合には電解液の代わりに二酸化マンガン（Ｍ
ｎＯ_２）を使用して固体化が可能であるが、二酸化マン
ガンの抵抗成分が大きいために高周波領域でインピーダ
ンス特性は改善できなかった。

【０００５】最近開発された伝導性高分子を利用した電
解コンデンサーはこのような諸問題を解決しているが、
優秀な電気電導度を有し温度依存性が少ないポリピロー
ル、ポリアニリン及びポリチオフェンなどを電解質で使
用することによって固体化が実現され、高信頼性及びイ
ンピーダンス特性が優秀な小型チップ型コンデンサーの
開発が可能になった。

【０００６】現在機能性固体電解コンデンサーに使われ
ている伝導性高分子は酸化電位及び熱的安全性を考慮し
て主にポリピロールが使われているが、この場合金属酸
化物電極（Ｔａ_２Ｏ_５、Ａｌ_２Ｏ_３）表面にポリピロー
ルをコーティングするためにまず化学重合工程でポリピ
ロール導電膜を生成させてこれを電極で利用して電気重
合工程法で厚いポリピロール膜を生成する工程が開発さ
れた。

【０００７】伝導性高分子を利用した電解コンデンサー
の製作のためには伝導性を有する物質を不導体の金属酸
化物電極（酸化アルミニウムや酸化タンタル）上に均一
にコーティングする技術が非常に重要である。すなわ
ち、伝導性高分子は電気化学重合法で容易に伝導性電極
上に形成させることができるために、不導体表面に伝導
性被膜がある場合にはこれを電極として利用すれば容易
に伝導性高分子厚膜を金属酸化物電極上に形成させるこ
とができるためである。

【０００８】したがって、金属酸化物上に伝導性を有す
る被膜を形成させる化学酸化重合工程が最も核心工程の
ひとつでありこの工程で製造された伝導性薄膜が電極で
使用されるために、伝導性薄膜の均一性と電気電導度が
次の工程である電気重合工程に非常に大きい影響を及ぼ
す。

【０００９】伝導性高分子薄膜を形成する方法としては
多孔質の金属酸化物電極を酸化剤が溶解されている溶液
に含浸させた後乾燥させて、これをピロール単量体が溶
けている溶液に入れてピロール単量体と接触すれば酸化
重合により伝導性を有するポリピロールが生成される。

【００１０】したがって、このような化学酸化重合工程
では酸化剤が表面分散されている程度が結局ポリピロー
ルコーティングの均一性を決定すると見ることができる
ために金属酸化物電極表面に酸化剤を均一に分散させる
ことができる技術が非常に重要で、また表面に化学酸化
重合で生成されたポリピロールの電導度が優秀なように
することが最も核心的な技術であると見ることができ
る。

【００１１】すなわち、酸化剤含浸時に酸化剤が電極表
面に均一に塗布されないと伝導性高分子薄膜の形成が不
均一になり、これから電気重合されたポリピロール層も
均一に塗布されなくて容量とインピーダンス特性が低下
する。

【００１２】したがって、金属酸化物電極表面に酸化剤
を均一に分散させることができ、これと同時に電極表面
上に化学酸化重合で生成されるポリピロールの電導度を
向上させる技術の開発が要求される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のような
従来の問題点及び課題を解決するために案出されたもの
であり、本発明の第1の目的は金属酸化物電極をこの表
面と反応可能な有機化合物が含まれていた溶液に含浸し
た後乾燥させて金属酸化物の表面を改質された表面上に
化学酸化重合法を利用して伝導性高分子被膜を形成する
方法を提供することにある。

【００１４】また、本発明の第２の目的は改質された金
属酸化物電極の表面に伝導性高分子を酸化重合させた
後、これを利用して電気重合法で生成した伝導性高分子
層を陰極で使用して固体電解コンデンサーを製造する方
法を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記した第1の目的を達
成するために、本発明は、下記一般式［化９］、［化１
０］、［化１１］または［化１２］で表現される有機化
合物のうち１種以上を利用して金属酸化物電極の表面を
改質した後、改質された金属酸化物電極の表面に酸化剤
を含浸して真空乾燥して、ピロール、アニリンまたはチ
オフェンが溶けている溶液と接触させて伝導性高分子を
酸化重合させることを特徴とする方法を提供する。

【００１６】

【化９】

【００１７】

【化１０】

【００１８】

【化１１】

【００１９】

【化１２】 （式中、ＸはＣｌまたは炭素数１〜５のアルコキシ基で
あり、Ｒ_１は水素、炭素数1〜１０のアルキル基であ
り、Ｙは−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−ＮＨ−基であり、ｎは１
または２であり、ｐ、qは1〜１０であり．ｒは1〜３０
の値を有する。）

【００２０】また、前記した第２の目的を達成するため
に、本発明は下記一般式［化１３］、［化１４］、［化
１５］または［化１６］で表現される有機化合物のうち
1種以上を利用して金属酸化物電極の表面を改質した
後、このように改質された金属酸化物電極の表面に酸化
剤を含浸して真空乾燥して、ピロール、アニリンまたは
チオフェンが溶けている溶液と接触させて伝導性高分子
を酸化重合させた後、これを利用して電気重合法で生成
した伝導性分子層を陰極で使用して製造されることを特
徴とする固体電解コンデンサーの製造方法を提供する。

【００２１】

【化１３】

【００２２】

【化１４】

【００２３】

【化１５】

【００２４】

【化１６】 （式中、ＸはＣｌまたは炭素数１〜５のアルコキシ基で
あり、Ｒ_１は水素、炭素数1〜１０のアルキル基であ
り、Ｙは−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−ＮＨ−基であり、ｎは１
または２であり、ｐ、qは1〜１０であり．ｒは1〜３０
の値を有する。）

【００２５】以上で言及したように、本発明によれば、
金属酸化物電極を金属酸化物電極の表面と反応すること
ができる所定の有機化合物が含まれていた溶液に含浸し
た後乾燥させて金属酸化物の表面を改質させ、改質され
た表面上に化学酸化重合法を利用して伝導性高分子被膜
を形成して、このように生成される伝導性高分子被膜を
利用して固体電解コンデンサーを製造する。

【００２６】以上のような本発明の目的と他の特徴及び
長所などは次ぎに参照する本発明の好適な実施例に対す
る以下の説明から明確になるであろう。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の望ましい実施例による伝導性高分子披膜の形成方法及
びこれを利用した固体電解コンデンサーの製造方法に対
し詳細に説明する。

【００２８】一般的に、金属酸化物電極の表面には自然
的に存在するヒドロキシル基（−ＯH）があるが、これ
と反応することができる有機化合物を利用して表面を改
質する方法が広く知られている。例えば、ガラス（シリ
カ）表面上はＳｉＯＨが存在してＩＴＯのような場合や
はり−ＯＨ基が表面に存在するために、アルキルシラン
などの化合物と反応させて表面の機能を親性または疎水
性で調節することができる。

【００２９】このような理論を基礎にして、本発明で
は、電解コンデンサーの電極で使われるタンタルやアル
ミニウムの表面が化成処理された後には誘電体材料であ
る酸化タルタルと酸化アルミニウムが存在するために、
表面にこのようなオキサイド基がヒドロキシル基で存在
するものとして考えて、機能性基を有する有機化合物で
表面を改質すれば酸化剤の均一な分散がなされるものと
して予測した。

【００３０】言い換えれば．酸化剤溶液が蒸発する時、
機能性基が形成された表面から蒸発されながら生成され
る粉末の大きさが幾能性基がない表面から蒸発する時よ
り小さく均一に分散されているものとして予想された。

【００３１】このような酸化剤のコ−ティングの程度と
これを利用して化学酸化重合されたポリピロール被膜の
形成過程を図1に模式図として示した。

【００３２】このように均一に分散された酸化剤が形成
されている場合には酸化重合により生成されるポリピロ
ールのコーティングがはるかにさらに均一であると考え
られる。したがって、均一に生成されたポリピロール薄
膜を利用して電気重合する場合には、全般的にすベての
電極表面が均一にポリノールでコーティングされること
である。その結果、固体電解コンデンサーの容量が増加
して不良率の減少をもたらすことができる。

【００３３】一旦、化学酸化重合法で金属酸化物電極に
伝導性ポリピロール被膜が形成されれば、これを電極で
利用して電気重合法で１００μｍ程度のポリピロール層
を形成する。この電解重合時に使われる電解質によって
生成されるポリピロールの物性が変わるが、一般的にブ
チルナフタレンスホナートの物性が変わるが、一般的に
ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを利用する時生
成されるポリピロールの電導度とコーティング性が優秀
である。温度に対する電気伝導性の安全性及びコーティ
ング性を向上させるために若干のアントラキノンスルホ
ナート、ヘキサフルオロホスフェート（PF₆−）塩を共に
使用する。

【００３４】電導度が優秀なポリピロール層が電気重合
法でコーティングされた後には炭素ペーストと銀ペース
ト溶液に順次に浸漬被膜して炭素電極と銀電極を形成し
てリード線を連結した後成形してタンタル及びアルミニ
ウム電解コンデンサーを完成する。

【００３５】漏洩電流による不良率を減少させるために
前配化学酸化重合、電気重合後化成反応をさせて損傷さ
れた酸化タンタルと酸化アルミニウムを復元する。

【００３６】下記では本発明をより詳細に説明する。本
発明で金属酸化物電極の表面改質のために使われる有機
化合物は前記一般式［化９］［化１０］［化１１］［化
１２］で表される構造を有している。

【００３７】すなわち、一般式［化９］、［化１０］、
［化１１］及び［化１２］はポリエチレングリコールを
主鎖で有したトリアルコキシシラン、ピロールが置換さ
れているトリアルコキシシラン及びアミノ基が置換され
ているトリアルコキシシランであるが、ここでトリアル
コキシシランは金属酸化物電極表面のヒドロキシル基と
反応して新しい結合を形成するために表面を改質させる
ことができる。

【００３８】一般式［化９］〜［化１２］で置換基の役
割は非常に重要であるが、ポリエチレングリコールは親
水性が高い化合物で真空乾燥後表面の酸化剤を均一に分
散させる効果を有しており、ピロールは酸化剤に含浸後
自体的に酸化されてポリピロールを形成しながら真空乾
燥後均一な酸化剤の分散を誘導する効果があり、アミン
が置換された表面改質剤は酸化剤とイオン結合などの形
態で酸化剤の均一なコーティングを誘導することができ
る。

【００３９】一般的に知られた化成方法によって化成処
理されたタンタルやアルミニウム電極に生成された酸化
タンタルや酸化アルミニウム表面を改質する方法は、前
記一般式［化９］〜［化１２］の有機化合物のひとつ以
上が溶けているエタノール溶液に金属酸化物電極を３０
分ないし１時間程度含浸した後蒸留水で洗浄して約８０
℃〜１００℃で３０分ないし１時間乾燥して表面を改質
する。

【００４０】前記改質された酸化物電極を０．１モル〜
０．３モルのペルオキシ二硫酸アンモニウム（（Ｎ
Ｈ₄）Ｓ₂Ｏ₈）が溶けている水溶液に１０分ないし１時
間程度含浸した後真空オーブンで乾燥して酸化剤が表面
にまんべんなく分散コーティングされるようにする。前
記酸化剤水溶液にウレアを０．１モル〜１モル程度共に
溶かして使用することができるが、この場合酸化剤の分
散性及び安全性が増加する。

【００４１】表面に酸化剤が均一にコーティングされた
金属酸化物電極を０．１モル〜１モルのピロールが溶け
ているアセトニトリルあるいはジエチルエーテル溶液に
３０分ないし１時間浸漬させて化学酸化重合をさせて表
面にポリピロール層を形成させる。このように生成され
たポリピロール層は厚さが１μｍ以下でとても薄いし電
気電導度も大きく高くないために、電気化学重合工程を
通じて約１００μｍ程度のポリピロール膜を生成させ
る。また、一般的に電気重合法で生成したポリピロール
の電気電導度が化学的酸化重合法で生成させたポリピロ
ールより優秀なものとして知られている。

【００４２】化学酸化重合工程でポリピロール薄膜がコ
ーティングされた金属酸化物電極を０．１モル〜０．５
モルのピロール、０．１〜０．３モルのブチルナフタレ
ンスルホン酸ナトリウム、アントラキノンスルホン酸ナ
トリウムなどが溶解されている水溶液に含浸後伝導性ポ
リピロール被膜に電極を連結して電気重合を実施する。
電気重合の条件は０．２ｍＡ／ｃｍ²〜１ｍＡ／ｃｍ²の
一定電流法で約２０分ないし４０分程度実施すれば１０
０μｍ程度の厚さを有するポリピロール膜が生成され
る。この電極を浸漬被覆法でカーボンペーストをコーテ
ィングし、以後銀ペーストをコーティングして陰極を完
成する。

【００４３】リードフレーム上に製作された素子の陰極
を銀エポキシを利用してリード線と連結し陽極はスポッ
ト溶接やレーザ溶接などの方法でリードフレームと連結
する。これをエポキシ系モールド樹脂を使用してトラス
ファ成形法で外装成形してチップ型固体電解コンデンサ
ーを完成することができる。

【００４４】

【実施例】下記では本発明の実施例に対して簡略に説明
する。 ＜実施例１＞ 酸化アルミニウム電極表面の改質 下記化学式１７で表現される有機化合物をエタノールに
重量比で１％溶解させた後、酸化アルミニウム電極を３
０分間含浸させる。含漬後にはエタノールと水で洗浄し
た次に常温で窒素で乾燥させる。乾燥された電極を１０
０℃オーブンで１時間熱処理して表面を改質した。

【００４５】図２には表面が改質されない酸化アルミニ
ウムの表面と該化学式１７で表現される有機化合物で改
質された酸化アルミニウム表面のＥＳＣＡスペクトルが
現れている。図２に現れたように、改質された電極表面
は改質される前の表面とほとんど類似なスペクトルを見
せるが、改質前には存在しなかったＳｉピークが現れる
ことと炭素ピークが相対的に増加するものとして表面が
よく改質されたことを確認することができた。

【００４６】

【化１７】

【００４７】＜実施例２〜５＞ 酸化アルミニウム電極表面改質 下記化学式［化１８］（実施例２）、［化１９］（実施
例３）、［化２０］（実施例４）及び［化２１］（実施
例５）で表現される有機化合物を使用して前記実施例１
と同じ方法で金属酸化物電極の表面を改質した。

【００４８】

【化１８】

【００４９】

【化１９】

【００５０】

【化２０】

【００５１】

【化２１】

【００５２】＜実施例６＞ アルミニウム固体コンデンサーの製作 金属酸化物電極に伝導性高分子を重合する方法は、表面
改質→酸化剤含浸→化学重合→電気重合→リード線引出
し→エポキシ封止の段階を経る。アジピン酸ナトリウム
溶液で電気化学的に酸化処理されて表面に誘電体被膜を
有するアルミニウム陽極薄膜を前記実施例１と同じ方法
で表面を改質する。

【００５３】表面が改質された電極を０．３ｍｏｌ／リ
ットルのペルオキシ二硫酸アンモニウム（（ＮＨ₄）₂Ｓ
₂Ｏ₈）水溶液に１０分間含浸させた後、１０分間真空乾
燥して酸化剤を電極表面に塗布した。酸化剤が塗布され
た電極を０．３ｍｏｌ／リットルのピロールが溶解され
ているアセトニトリル溶液に４０分間含浸してポリピロ
ールを酸化重合した。

【００５４】このように酸化重合された電極表面をＥＳ
ＣＡスペクトルで観察した結果、窒素ピークが新しく現
れて、炭素ピークが相対的に増加することから表面にポ
リピロールが重合されたことが分かった（図２参照）。

【００５５】ポリピロールが酸化重合されたアルミニウ
ム酸化物電極を０．３ｍｏｌ／リットルのピロールと
０．１ｍｏｌ／リットルのブチルナフタレンスルホン酸
ナトリウムが溶解された水溶液で一定電流法で３０分間
電気重合した。この時の電流密度は０．６ｍＡ／ｃｍ²
であったし、重合されたポリピロールの厚さは約８０〜
１００μｍであった。

【００５６】ピロールが電気重合されたアルミニウム酸
化物電極を炭素ペースト及び銀ペーストを使用して陽極
と陰極引出し棒を接着させた後、エポキシ樹脂で封止し
てコンデンサーを製作した。製作されたアルミニウム固
体コンデンサーの周波数によるインピーダンス特性を図
３に図示し、製作されたコンデンサーの特性を下記表１
に要約して示した。

【００５７】＜比政例１＞表面が改質されなかった酸化
アルミニウム電極を使用して前記実施例6のような方法
でコンデンサーを製作した。製作されたコンデンサーの
特性を下記表1に示した。

【００５８】＜実施例７〜１０＞化学式［化１８］（実
施例７）、［化１９］（実施例８）、［化２０］（実施
例９）及び［化２１］（実施例１０）で表現される有機
化合物を使用して改質された酸化アルミニウム電極を使
用して前記実施例6のような方法でコンデンサーを製作
した。製作されたコンデンサーの特性を下記表1に示し
た。

【００５９】

【表１】

【００６０】＜実施例１１＞表面に誘電体被膜を有する
アルミニウム陽極薄膜を前記実施例1のような方法で表
面を改質する。表面が改質された電極を０．３ｍｏｌ／
リットルのペルオキシ二硫酸アンモニウム（（ＮＨ₄）₂
Ｓ₂Ｏ₈）水溶液に、１０分間含浸させた後、１０分間真
空乾燥して酸化剤を電極表面に塗布した。酸化剤が塗布
された電極を０．１ｍｏｌ／リットルのアニリンが溶解
されている０．１ＭのＨＣｌ水溶液に1時間含浸してポ
リアニリンを酸化重合した。

【００６１】ポリピロールが酸化重合されたアルミニウ
ム酸化物電極を０．２ｍｏｌ／リットルのアニリンと重
量比１０％ポリスチレンスルホン酸が溶解された水溶液
で一定電流法で１時間電気重合した。この時の電流密度
は０．８ｍＡ／ｃｍ²であり重合されたポリピロールの
厚さは約８０〜１００μｍであった。アニリンが電気重
合されたアルミニウム酸化物電極を炭素ペースト及び銀
ペーストを使用して陽極と陰極引出し棒を接着させた
後、エポキシ樹脂で封止してコンデンサーを製作した。
製作されたコンデンサーの容量は１．５２μＦであった
し誘電損失及び漏洩電流は各々０．０５と０．３μＡで
あった。

【００６２】＜実施例１２＞前記実施例1のような方法
で改質されたアルミニウム酸化物電極を０．３ｍｏｌ／
リットルのペルオキシ二硫酸アンモニウム（（ＮＨ₄）₂
Ｓ₂Ｏ₈）水溶液に１０分間含浸させた後、１０分間真空
乾燥して酸化剤を電極表面に塗布した。酸化剤が塗布さ
れた電極を０．３ｍｏｌ／リットルのチオフェンが溶解
されているアセトニトリル溶液に1時間含浸してポリチ
オフェンを酸化重合した。ポリチオフェンが酸化重合さ
れたアルミニウム酸化物電極を０．３ｍｏｌ／リットル
のチオフェンと０．１ｍｏｌ／リットルのテトラブチル
アンモニウムヘキサフルオロホスフェートが溶解された
アセトニトリル溶液で一定電流法でl時間電気重合し
た。この時の電流密度は０．６ｍＡ／ｃｍ²であった
し、重合されたポリチオフェンの厚さは約５０〜８０μ
ｍであった。

【００６３】ポリチオフェンが電気重合されたアルミニ
ウム酸化物電極を炭素ペースト及び銀ペーストを使用し
て陽極と陰極引出し棒を接着させた後、エポキシ樹脂で
封止してコンデンサーを製作した。製作されたコンデン
サーの容量は１．４８μＦであったし誘電損失及び漏洩
電流は各々０．０８と０．４μＡであった。

【００６４】＜実施例１３〜１７＞ 酸化タンタル電極表面改質 化学式［化１７］（実施例１３）、［化１８］（実施例
１４）、［化１９］（実施例１５）、［化２０］（実施
例１６）及び［化２１］（実施例１７）で表現される有
機化合物を使用して実施例1のような方法で燐酸塩で化
成されたタンタル焼結体電極の表面を改質した。

【００６５】＜実施例１８〜２２＞ タンタル固体コンデンサーの製作 化学式［化１７］（実施例１８）、［化１８］（実施例
１９）、［化１９］（実施例２０）、［化２０］（実施
例２１）及び［化２１］（実施例２２）で表現される有
機化合物を使用して改質された酸化タンタル焼結体電極
を使用して実施例６のような方法でコンデンサーを製作
した。電気重合時の電流密度は１ｍＡ／ｃｍ²であっ
た。製作されたコンデンサーの特性を下記表２に示した
（図４参照）。

【００６６】＜比較例２＞表面が改質されなかった酸化
タンタル電極を使用して実施例６のような方法でコンデ
ンサーを製作した。製作されたコンデンサーの特性を下
記表２に示した。

【００６７】

【表２】

【００６８】

【発明の効果】以上で言及したように、本発明による伝
導性高分子被膜の形成方法及びこれを利用した固体電解
コンデンサーの製造方法では、金属酸化物電極を金属酸
化物電極の表面と反応できる所定の有機化合物が含まれ
た溶液に含浸させた後乾燥させて金属酸化物の表面を改
質させ、改質された表面上に化学酸化重合法を利用して
伝導性高分子被膜を形成して、このように生成される伝
導性高分子被膜を利用して固体電解コンデンサーを製造
する。本発明によって製造される固体電解コンデンサー
は優秀なインピーダンス特性を示し、高信頼度を有す
る。

【００６９】以上では本発明を実施例によって詳細に説
明したが、本発明は実施例によって限定されず、本発明
が属する技術分野において通常の知識を有するものであ
れば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修
正または変更できるであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による金属酸化物電極表面の改質模式
図である。

【図２】 金属酸化物電極表面の改質化前（ａ）と後
（ｂ）及び化学重合法でポリピロールを生成させた酸化
アルミニウム表面（ｃ）のＥＳＣＡスペクトル結果グラ
フである。

【図３】 本発明による実施例６で製造されたアルミニ
ウム固体コンデンサーの周波数によるインピーダンス特
性を示したグラフである。

【図４】 本発明による実施例１８で製造されたタンタ
ル固体コンデンサーの周波数によるインピーダンス特性
を示したグラフである。

フロントページの続き (71)出願人 591199338 コリア リサーチ インスティチュート オブ ケミカル テクノロジー ＫＯＲＥＡ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＩＮＳＴ ＩＴＵＴＥ ＯＦ ＣＨＥＭＩＣＡＬ Ｔ ＥＣＨＮＯＬＯＧＹ 大韓民国、ダエジオン−シ、ユセン−ク、 ジャン−ドン、100 (72)発明者 チャン−ジン リー 大韓民国 テジョン−シティ ユーソン− ク チョンミン−ドン 464−１ エクス ポ アパートメント 501−1103 (72)発明者 ヨン−ク カン 大韓民国 テジョン−シティ ユーソン− ク シンソン−ドン サムソンハヌル ア パートメント 111−1604 (72)発明者 ソン−ク リー 大韓民国 テジョン−シティ セオ−ク ドーンサン ２−ドン ヒャンチョン ア パートメント 118−703 (72)発明者 ヨン−チュル キム 大韓民国 チュンチョンブク−ドー チョ ンジュー−シティ フンドク−ク ゲシン −ドン ドサンハンソル アパートメント 101−708 (72)発明者 ヨン−フーン リー 大韓民国 チュンチョンブク−ドー チョ ンジュー−シティ サンダン−ク クムチ ョン−ドン ニュートン アパートメント 101−708 (72)発明者 ジョン−ガク セオ 大韓民国 チュンチョンブク−ドー チョ ンジュー−シティ フンドク−ク ブンピ ュン−ドン ウーソン２ アパートメント 206−307

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記一般式［化１］、［化２］、［化
   ３］または［化４］で表現される有機化合物のうち１種
   以上を利用して金属酸化物電極の表面を改質した後、改
   質された金属酸化物電極の表面に酸化剤を含浸して真空
   乾燥して、ピロール、アニリンまたはチオフェンが溶け
   ている溶液と接触させて伝導性高分子を酸化重合させる
   ことを特徴とする伝導性高分子被膜を形成する方法。 【化１】 【化２】 【化３】 【化４】 （式中、ＸはＣｌまたは炭素数１〜５のアルコキシ基で
   あり、Ｒ_１は水素、炭素数1〜１０のアルキル基であ
   り、Ｙは−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−ＮＨ−基であり、ｎは１
   または２であり、ｐ、qは1〜１０であり．ｒは1〜３０
   の値を有する。）
2. 【請求項２】 前記金属酸化物電極がアルミニウム酸化
   物電極で形成されたことを特徴とする請求項１に記載の
   方法。
3. 【請求項３】 前記金属酸化物電極がタンタル酸化物電
   極で形成されたことを特徴とする請求項１に記載の方
   法。
4. 【請求項４】 下記一般式[化５]、[化６]、[化７]また
   は[化８]で表現される有機化合物のうち１種以上を利用
   して金属酸化物電極の表面を改質した後、この改質され
   た金属酸化物電極の表面に酸化剤を含浸して真空乾燥し
   て、ピロール、アニリンまたはチオフェンが溶けている
   溶液と接触させて伝導性高分子を酸化重合させた後これ
   を利用して電気重合法で生成した伝導性高分子層を陰極
   で使用して製造されることを特徴とする固体電解コンデ
   ンサーの製造方法。 【化５】 【化６】 【化７】 【化８】 （式中、ＸはＣｌまたは炭素数１〜５のアルコキシ基で
   あり、Ｒ_１は水素、炭素数1〜１０のアルキル基であ
   り、Ｙは−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−ＮＨ−基であり、ｎは１
   または２であり、ｐ、qは1〜１０であり．ｒは1〜３０
   の値を有する。）
5. 【請求項５】 前記金属酸化物電極がアルミニウム酸化
   物電極で形成されたことを特徴とする請求項４に記載の
   固体電解コンデンサーの製造方法。
6. 【請求項６】 前記金属酸化物電極がタンタル酸化物電
   極で形成されたことを特徴とする請求項４に記載の固体
   電解コンデンサーの製造方法。