JPH107439A - 居住性を高めたガラス板 - Google Patents
居住性を高めたガラス板Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な膜構成で透過色調がニュ−トラル色で
シルバー色系ガラス面反射色調を呈し、透明性とミラー
性をバランスよく持たせて同時に満足し、電波透過性で
あって人や環境に優しくかつ居住性に優れるガラス板を
生産性よく得る。 【解決手段】 透明なガラス板の一方の表面に、ガラス
面側から第１層目として膜厚が２nm以上10nm以下である
Ti、Cr、Ta、SUS 、NiCrの金属薄膜、またはCr、SUS 、
NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜のうち少なくとも１
種を選択して被膜し、該第１層の上に第２層目として膜
厚が41nm以上60nm以下であるTi、Sn、Taの酸化物薄膜の
うち少なくとも１種を選択し積層した積層膜からなり、
透過色調がニュ−トラル色であり、しかもガラス面反射
色調がブル−シルバ−色乃至シルバ−色を呈する居住性
を高めたガラス板。
シルバー色系ガラス面反射色調を呈し、透明性とミラー
性をバランスよく持たせて同時に満足し、電波透過性で
あって人や環境に優しくかつ居住性に優れるガラス板を
生産性よく得る。 【解決手段】 透明なガラス板の一方の表面に、ガラス
面側から第１層目として膜厚が２nm以上10nm以下である
Ti、Cr、Ta、SUS 、NiCrの金属薄膜、またはCr、SUS 、
NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜のうち少なくとも１
種を選択して被膜し、該第１層の上に第２層目として膜
厚が41nm以上60nm以下であるTi、Sn、Taの酸化物薄膜の
うち少なくとも１種を選択し積層した積層膜からなり、
透過色調がニュ−トラル色であり、しかもガラス面反射
色調がブル−シルバ−色乃至シルバ−色を呈する居住性
を高めたガラス板。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、簡単な２層の積層
膜を被膜し、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断
熱性をバランスよく持たせ、同時に満足しうるものとす
ることで、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観
を発現せしめ、透過色調がニュートラルでブルーシルバ
−色乃至シルバ−色系のガラス面反射色調を呈し、さら
に電波透過性を有する居住性を高めたガラス板に関し、
建築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種の用
途においてその機能を活かすことができる居住性や環境
性に優れたガラス板を提供するものである。
膜を被膜し、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断
熱性をバランスよく持たせ、同時に満足しうるものとす
ることで、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観
を発現せしめ、透過色調がニュートラルでブルーシルバ
−色乃至シルバ−色系のガラス面反射色調を呈し、さら
に電波透過性を有する居住性を高めたガラス板に関し、
建築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種の用
途においてその機能を活かすことができる居住性や環境
性に優れたガラス板を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に反射率を高くした高性能熱線反射
ガラスは数多く提案されかつ商品化されており、そのな
かで高透過率を有する赤外線反射ガラスがあり、またさ
らに無反射ガラス等が知られている。
ガラスは数多く提案されかつ商品化されており、そのな
かで高透過率を有する赤外線反射ガラスがあり、またさ
らに無反射ガラス等が知られている。
【０００３】例えば、特開昭60-36355号公報には、可視
スペクトル帯域で５〜40％の透過率および熱線に対する
反射能を有する板の製法が記載されており、透明基材を
陰極スパツタリングによって被覆する、可視スペクトル
帯域で５〜40％の透過率および熱線に対する反射能を有
する板の製法において、第１層として酸素含有雰囲気中
で20〜280nm の光学的厚さを有する酸化物層を基材へ直
接スパツタリングし、第２層として希ガスおよびチツ素
からなる雰囲気中で10〜40nmの光学的厚さ（幾何学的厚
さ×屈折率）を有するチツ化クロム層をスパツタリング
することが記載されている。具体的には例えば基材／Cr
N(15nm) ／SnO2(10nm)でシルバ−色を呈し、波長550nm
の透過率が19％である。
スペクトル帯域で５〜40％の透過率および熱線に対する
反射能を有する板の製法が記載されており、透明基材を
陰極スパツタリングによって被覆する、可視スペクトル
帯域で５〜40％の透過率および熱線に対する反射能を有
する板の製法において、第１層として酸素含有雰囲気中
で20〜280nm の光学的厚さを有する酸化物層を基材へ直
接スパツタリングし、第２層として希ガスおよびチツ素
からなる雰囲気中で10〜40nmの光学的厚さ（幾何学的厚
さ×屈折率）を有するチツ化クロム層をスパツタリング
することが記載されている。具体的には例えば基材／Cr
N(15nm) ／SnO2(10nm)でシルバ−色を呈し、波長550nm
の透過率が19％である。
【０００４】また例えば、特開平2-164744号公報には、
耐久性の優れた光学体及び熱線反射ガラスが記載されて
おり、基板上に少なくとも２層からなる光学薄膜が形成
された光学体において、空気側の最外層が酸化タンタル
膜からなるものが記載され、基板上に窒化物膜等の熱線
吸収膜、膜厚が５〜20nm等の酸化タンタル膜が順次形成
されていることなどが開示される。
耐久性の優れた光学体及び熱線反射ガラスが記載されて
おり、基板上に少なくとも２層からなる光学薄膜が形成
された光学体において、空気側の最外層が酸化タンタル
膜からなるものが記載され、基板上に窒化物膜等の熱線
吸収膜、膜厚が５〜20nm等の酸化タンタル膜が順次形成
されていることなどが開示される。
【０００５】また例えば、特開平1-314163号公報には熱
線遮断ガラスが記載されており、透明基板上に熱線吸収
膜、酸化物膜の少なくとも２層が順次積層された熱線遮
断ガラスであって、酸化物膜が空気側最外層であり、か
つ2.0 以下の屈折率を有することが記載され、膜厚20Å
の窒化チタン膜上に200 Åの酸化錫膜を形成したもので
あることが記載されている。
線遮断ガラスが記載されており、透明基板上に熱線吸収
膜、酸化物膜の少なくとも２層が順次積層された熱線遮
断ガラスであって、酸化物膜が空気側最外層であり、か
つ2.0 以下の屈折率を有することが記載され、膜厚20Å
の窒化チタン膜上に200 Åの酸化錫膜を形成したもので
あることが記載されている。
【０００６】また例えば、特開平4-139037号公報には、
電波反射抑制型の透明熱線反射ガラスが記載されてお
り、ガラス基板の表面に、光学的厚さndが１nm≦nd≦30
0nm の第１の透明誘電体層を形成し、その上に窒素 100
％のガス雰囲気中でのスパッタリングによる幾何学的厚
さd が10nm≦d ≦40nmの窒化クロム層を形成し、その上
に光学的厚さndが5nm ≦nd≦200nm の第２の透明誘電体
層を形成し、それら薄膜の並列抵抗値を１k Ω以上とし
たことが記載されている。具体的には例えば、ガラス基
板／SnO2(nd=10nm) ／CrN(nd=10nm)／SnO2(nd=40nm) で
あることが記載されている。
電波反射抑制型の透明熱線反射ガラスが記載されてお
り、ガラス基板の表面に、光学的厚さndが１nm≦nd≦30
0nm の第１の透明誘電体層を形成し、その上に窒素 100
％のガス雰囲気中でのスパッタリングによる幾何学的厚
さd が10nm≦d ≦40nmの窒化クロム層を形成し、その上
に光学的厚さndが5nm ≦nd≦200nm の第２の透明誘電体
層を形成し、それら薄膜の並列抵抗値を１k Ω以上とし
たことが記載されている。具体的には例えば、ガラス基
板／SnO2(nd=10nm) ／CrN(nd=10nm)／SnO2(nd=40nm) で
あることが記載されている。
【０００７】また例えば、本出願人が既に出願提案した
特開平6-32635 号公報では、電波低反射特性を有する熱
線遮蔽ガラスを記載しており、透明なガラス基板の一方
の表面上に、表面抵抗率が1kΩ／口以上でかつ膜厚が５
〜50nmのCrの窒化物薄膜を第１層として被膜した後、該
第１層の上に膜厚が１〜10nmのCrの窒素酸化物薄膜また
は酸素窒化物薄膜を第２層として被膜した後、該第２層
の上に膜厚が５〜30nmのTi、Ta、TiSi、Sn、Al、Siの酸
化物薄膜または酸素窒化物薄膜のうち、少なくとも一種
選択し積層被膜したものであることを記載した。具体的
には例えば、ガラス基板／CrNx(30nm)／CrNxOy(3nm) ／
TiOx(20nm)であり、ガラス面側からの反射色調がシルバ
−系色調であることを開示した。
特開平6-32635 号公報では、電波低反射特性を有する熱
線遮蔽ガラスを記載しており、透明なガラス基板の一方
の表面上に、表面抵抗率が1kΩ／口以上でかつ膜厚が５
〜50nmのCrの窒化物薄膜を第１層として被膜した後、該
第１層の上に膜厚が１〜10nmのCrの窒素酸化物薄膜また
は酸素窒化物薄膜を第２層として被膜した後、該第２層
の上に膜厚が５〜30nmのTi、Ta、TiSi、Sn、Al、Siの酸
化物薄膜または酸素窒化物薄膜のうち、少なくとも一種
選択し積層被膜したものであることを記載した。具体的
には例えば、ガラス基板／CrNx(30nm)／CrNxOy(3nm) ／
TiOx(20nm)であり、ガラス面側からの反射色調がシルバ
−系色調であることを開示した。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の各公報
に開示されている、例えば特開昭60-36355号公報に記載
の可視スペクトル帯域で５〜40％の透過率および熱線に
対する反射能を有する板の製法では、可視光透過率が低
くなり過ぎ、暗い色調で透視性を高めることができない
ものであり、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断
熱性をバランスよく持たせ、同時に満足しうるものとす
ることで、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観
を発現せしめ、透過色がニュートラルで明るいシルバー
色系のガラス面反射色調を呈しかつ電波透過性を有する
ものとは言い難いものである。
に開示されている、例えば特開昭60-36355号公報に記載
の可視スペクトル帯域で５〜40％の透過率および熱線に
対する反射能を有する板の製法では、可視光透過率が低
くなり過ぎ、暗い色調で透視性を高めることができない
ものであり、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断
熱性をバランスよく持たせ、同時に満足しうるものとす
ることで、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観
を発現せしめ、透過色がニュートラルで明るいシルバー
色系のガラス面反射色調を呈しかつ電波透過性を有する
ものとは言い難いものである。
【０００９】また例えば、例えば特開平2-164744号公報
に記載の耐久性の優れた光学体及び熱線反射ガラスで
は、単に最外層に耐摩耗性や耐薬品性を付与し、表面を
平滑で摩擦抵抗を低くする等により耐久性を向上し、単
板で使用できるようにしようとするものであり、外観が
ニュートラルで、高透過率、低反射率の、自動車用に最
適な単なる熱線反射ガラスであり、例えばガラス基板／
TiNx（約4nm ）膜／TaOx（約10nm）膜からなる構成等
で、可視光透過率が71.1％、太陽光線透過率が61.6％、
コート面可視光反射率11.4％、ガラス面可視光反射率が
9.1 ％であること等が記載されているだけで、ことにそ
の膜厚を窒化物膜で4nm 、酸化タンタル膜で100nm とす
ると干渉色が強く、ことにニュ−トラル色で低い反射
率、70％以上の可視光線透過率の場合にはTaOxが５〜20
nm程度の膜厚であり、これではシルバ−色系のガラス面
反射色調を発現させるのには充分ではなく、本発明がめ
ざす居住性を高めたガラス板にするために必要な条件を
なしているものとは到底言い難いものである。
に記載の耐久性の優れた光学体及び熱線反射ガラスで
は、単に最外層に耐摩耗性や耐薬品性を付与し、表面を
平滑で摩擦抵抗を低くする等により耐久性を向上し、単
板で使用できるようにしようとするものであり、外観が
ニュートラルで、高透過率、低反射率の、自動車用に最
適な単なる熱線反射ガラスであり、例えばガラス基板／
TiNx（約4nm ）膜／TaOx（約10nm）膜からなる構成等
で、可視光透過率が71.1％、太陽光線透過率が61.6％、
コート面可視光反射率11.4％、ガラス面可視光反射率が
9.1 ％であること等が記載されているだけで、ことにそ
の膜厚を窒化物膜で4nm 、酸化タンタル膜で100nm とす
ると干渉色が強く、ことにニュ−トラル色で低い反射
率、70％以上の可視光線透過率の場合にはTaOxが５〜20
nm程度の膜厚であり、これではシルバ−色系のガラス面
反射色調を発現させるのには充分ではなく、本発明がめ
ざす居住性を高めたガラス板にするために必要な条件を
なしているものとは到底言い難いものである。
【００１０】また例えば、特開平1-314163号公報に記載
の熱線遮断ガラスでは、例えばガラス基板／TiNx（約2n
m ）膜／SnOx（約20nm）膜からなる構成等で、可視光透
過率が70％であることが開示され、熱線遮蔽性を確保す
るためには窒化物膜の膜厚は2 〜10 nm 程度であり、ま
た可視光線透過率が70％以上である空気側最外層の酸化
物膜の膜厚を20nm程度以下とする必要があるものであ
り、本発明がめざす居住性を高めたガラス板にするため
に必要な条件をもなしているものとは到底言い難いもの
である。
の熱線遮断ガラスでは、例えばガラス基板／TiNx（約2n
m ）膜／SnOx（約20nm）膜からなる構成等で、可視光透
過率が70％であることが開示され、熱線遮蔽性を確保す
るためには窒化物膜の膜厚は2 〜10 nm 程度であり、ま
た可視光線透過率が70％以上である空気側最外層の酸化
物膜の膜厚を20nm程度以下とする必要があるものであ
り、本発明がめざす居住性を高めたガラス板にするため
に必要な条件をもなしているものとは到底言い難いもの
である。
【００１１】さらに例えば、特開平4-139037号公報に記
載の電波反射抑制型の透明熱線反射ガラスでは、例えば
ガラス基板／SnO2(nd=10nm) ／CrN(nd=10nm)／SnO2(nd=
40nm) の膜構成の場合、可視光透過率が31％と低くなり
過ぎ、暗い色調で透視性を高めることができないもので
あり、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断熱性を
バランスよく持たせ、同時に満足しうるものとすること
で、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観を発現
せしめるものとは言い難いものである。
載の電波反射抑制型の透明熱線反射ガラスでは、例えば
ガラス基板／SnO2(nd=10nm) ／CrN(nd=10nm)／SnO2(nd=
40nm) の膜構成の場合、可視光透過率が31％と低くなり
過ぎ、暗い色調で透視性を高めることができないもので
あり、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断熱性を
バランスよく持たせ、同時に満足しうるものとすること
で、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観を発現
せしめるものとは言い難いものである。
【００１２】また例えば、本出願人が既に出願提案した
特開平6-32635 号公報に記載の電波低反射特性を有する
熱線遮蔽ガラスは、確かにめざす居住性を高めたガラス
板であるが、３層であって生産性という点において必ず
しも充分でなかった。
特開平6-32635 号公報に記載の電波低反射特性を有する
熱線遮蔽ガラスは、確かにめざす居住性を高めたガラス
板であるが、３層であって生産性という点において必ず
しも充分でなかった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、従来のかかる
問題点に鑑みてなしたものであって、２層の特定した簡
単な膜構成とその膜厚とその組み合わせでなり、透過色
調がニュ−トラル色でガラス面反射色調がブル−シルバ
−色乃至シルバ−色系でなるものとしたこと、さらに特
定の可視光透過率と可視光反射率ならびに表面抵抗値等
としたことで、ガラスらしさを充分発揮してアピール
し、透明感と存在観、意匠性ならびに透視性とミラー性
および断熱性を発現するなかで、バランスよい光学特性
を有し、耐薬品性、耐候性あるいは耐摩耗性等耐久性を
備え、しかもソフトなブル−シルバ−色乃至シルバ−色
系ガラス面反射色調を呈し、さらに電波透過性を有する
居住性を高めたガラス板を生産性よく安価に提供するこ
とができるものである。
問題点に鑑みてなしたものであって、２層の特定した簡
単な膜構成とその膜厚とその組み合わせでなり、透過色
調がニュ−トラル色でガラス面反射色調がブル−シルバ
−色乃至シルバ−色系でなるものとしたこと、さらに特
定の可視光透過率と可視光反射率ならびに表面抵抗値等
としたことで、ガラスらしさを充分発揮してアピール
し、透明感と存在観、意匠性ならびに透視性とミラー性
および断熱性を発現するなかで、バランスよい光学特性
を有し、耐薬品性、耐候性あるいは耐摩耗性等耐久性を
備え、しかもソフトなブル−シルバ−色乃至シルバ−色
系ガラス面反射色調を呈し、さらに電波透過性を有する
居住性を高めたガラス板を生産性よく安価に提供するこ
とができるものである。
【００１４】すなわち、本発明は、透明なガラス板の一
方の表面に、ガラス面側から第１層目として膜厚が２nm
以上10nm以下であるTi、Cr、Ta、SUS 、NiCrの金属薄
膜、またはCr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄
膜のうち少なくとも１種を選択して被膜し、該第１層の
上に第２層目として膜厚が41nm以上60nm以下であるTi、
Sn、Taの酸化物薄膜のうち少なくとも１種を選択し積層
した積層膜からなり、透過色調がニュ−トラル色であ
り、しかもガラス面反射色調がブル−シルバ−色乃至シ
ルバ−色系を呈することを特徴とする居住性を高めたガ
ラス板。
方の表面に、ガラス面側から第１層目として膜厚が２nm
以上10nm以下であるTi、Cr、Ta、SUS 、NiCrの金属薄
膜、またはCr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄
膜のうち少なくとも１種を選択して被膜し、該第１層の
上に第２層目として膜厚が41nm以上60nm以下であるTi、
Sn、Taの酸化物薄膜のうち少なくとも１種を選択し積層
した積層膜からなり、透過色調がニュ−トラル色であ
り、しかもガラス面反射色調がブル−シルバ−色乃至シ
ルバ−色系を呈することを特徴とする居住性を高めたガ
ラス板。
【００１５】ならびに、前記居住性を高めたガラス板の
可視光透過率が、50〜75％であることを特徴とする上述
した居住性を高めたガラス板。また、前記積層膜の表面
抵抗値が、0.5KΩ／口以上であることを特徴とする上述
した居住性を高めたガラス板。
可視光透過率が、50〜75％であることを特徴とする上述
した居住性を高めたガラス板。また、前記積層膜の表面
抵抗値が、0.5KΩ／口以上であることを特徴とする上述
した居住性を高めたガラス板。
【００１６】さらに、前記居住性を高めたガラス板にお
いて、ガラス面側から第１層目として膜厚が２nm以上10
nm以下であるCr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜または窒素酸
化物薄膜のうち少なくとも１種を選択して被膜し、該第
１層の上に第２層目として膜厚が41nm以上60nm以下であ
るSn、Taの酸化物薄膜のうち少なくとも１種を選択し積
層し、該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が20％以
下であることを特徴とする上述した居住性を高めたガラ
ス板。
いて、ガラス面側から第１層目として膜厚が２nm以上10
nm以下であるCr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜または窒素酸
化物薄膜のうち少なくとも１種を選択して被膜し、該第
１層の上に第２層目として膜厚が41nm以上60nm以下であ
るSn、Taの酸化物薄膜のうち少なくとも１種を選択し積
層し、該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が20％以
下であることを特徴とする上述した居住性を高めたガラ
ス板。
【００１７】さらにまた、前記積層膜の表面抵抗値が、
1.0kΩ／口以上であることを特徴とする上述した居住性
を高めたガラス板。さらにまた、前記居住性を高めたガ
ラス板が、電波透過性を有することを特徴とする上述し
た居住性を高めたガラス板を提供するものである。
1.0kΩ／口以上であることを特徴とする上述した居住性
を高めたガラス板。さらにまた、前記居住性を高めたガ
ラス板が、電波透過性を有することを特徴とする上述し
た居住性を高めたガラス板を提供するものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】ここで、ガラス板としては、例え
ば建築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種の
ガラス板状体等に用いられる市販のソーダライムガラス
である無機質ガラス板状体、ことにフロートガラスが最
適であり、またはポリカーボネートやアクリルなどであ
る有機質からなる所謂ガラス板状体等であってもよく、
平板状あるいは曲げ板ガラスであり、さらに強化ガラ
ス、合わせガラス、複層ガラスならびに表面処理ガラス
等各種加工処理ガラスまたは各種用途ガラスであっても
よい。また、該ガラス板の形状としては、とくに限定す
るものではないが、長辺と短辺でなる略四辺形でなるも
のである。
ば建築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種の
ガラス板状体等に用いられる市販のソーダライムガラス
である無機質ガラス板状体、ことにフロートガラスが最
適であり、またはポリカーボネートやアクリルなどであ
る有機質からなる所謂ガラス板状体等であってもよく、
平板状あるいは曲げ板ガラスであり、さらに強化ガラ
ス、合わせガラス、複層ガラスならびに表面処理ガラス
等各種加工処理ガラスまたは各種用途ガラスであっても
よい。また、該ガラス板の形状としては、とくに限定す
るものではないが、長辺と短辺でなる略四辺形でなるも
のである。
【００１９】さらに、前記透明なガラス板の板厚として
は特別限定するものではないが、好ましくは約５〜19mm
程度であり、板厚が４mmでもよいが例えば４mm以下は風
荷重からみてビル用の外壁材としては使用できない場合
が大半であり、また例えば19mmを超えるとガラス内の吸
収率が高くなるので透過率と反射率の両面を同時に満足
することができない等であり、より好ましい板厚として
は例えば約６〜15mm程度である。
は特別限定するものではないが、好ましくは約５〜19mm
程度であり、板厚が４mmでもよいが例えば４mm以下は風
荷重からみてビル用の外壁材としては使用できない場合
が大半であり、また例えば19mmを超えるとガラス内の吸
収率が高くなるので透過率と反射率の両面を同時に満足
することができない等であり、より好ましい板厚として
は例えば約６〜15mm程度である。
【００２０】また、前記膜厚が２nm以上10nm以下である
Ti、Cr、Ta、SUS 、NiCrの金属薄膜、またはCr、SUS 、
NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜のうち少なくとも１
種を選択してガラス面側から第１層目として被膜したの
は、先ずTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの金属（スパッタ時に
Arガスを使用）薄膜については、膜厚としては２nm以上
10nm以下程度であるが、好ましくは２nm以上８nm以下程
度のものであり、また可視光透過率として前記特定の値
を確保し、透過色調をニュ−トラル色でブルーシルバ−
色乃至シルバ−色系のガラス面反射色調とするなかで、
特にメタリックの風合いのシルバ−色が発現するもので
あり、また表面抵抗値を0.5kΩ／口以上として電波透過
性を有するものとし、第２層目の薄膜を被覆しても、ガ
ラス面の可視光反射率を例えば33％以下であるように
し、さらに例えば日射透過率が67％以下であるものと成
し得るため、第１層目に選び。
Ti、Cr、Ta、SUS 、NiCrの金属薄膜、またはCr、SUS 、
NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜のうち少なくとも１
種を選択してガラス面側から第１層目として被膜したの
は、先ずTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの金属（スパッタ時に
Arガスを使用）薄膜については、膜厚としては２nm以上
10nm以下程度であるが、好ましくは２nm以上８nm以下程
度のものであり、また可視光透過率として前記特定の値
を確保し、透過色調をニュ−トラル色でブルーシルバ−
色乃至シルバ−色系のガラス面反射色調とするなかで、
特にメタリックの風合いのシルバ−色が発現するもので
あり、また表面抵抗値を0.5kΩ／口以上として電波透過
性を有するものとし、第２層目の薄膜を被覆しても、ガ
ラス面の可視光反射率を例えば33％以下であるように
し、さらに例えば日射透過率が67％以下であるものと成
し得るため、第１層目に選び。
【００２１】次に、前記膜厚が２nm以上10nm以下である
Cr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜をガラス
面側から第１層目として被膜したのは、まずCrNx、SUSN
x 、NiCrNx〔x については、スパッタ時のArガスとN2ガ
スの流量比で決まる。該ガス流量比はN2／(Ar+N2) の値
が0.5 〜1.0 (Ar ガス流量=0) の間にあればよい。〕 薄膜については、上記金属薄膜と同様であって、なかで
も可視光透過率を確保するなかで、熱線吸収ガラス程度
の熱的性能である日射透過率67％以下を確保しつつ、透
過色調をニュ−トラル色でブルーシルバ−色乃至シルバ
−色系のガラス面反射色調等のほか表面抵抗値を1kΩ／
口以上としてより電波透過性を有するものとでき、他の
光学特性についても例えば熱線反射ガラスの可視光反射
率までにはいたらないものとでき、断熱性能等を有する
機能性膜として量産に適しておりかつガラスとの密着性
もよいため、第１層目に選び。
Cr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜をガラス
面側から第１層目として被膜したのは、まずCrNx、SUSN
x 、NiCrNx〔x については、スパッタ時のArガスとN2ガ
スの流量比で決まる。該ガス流量比はN2／(Ar+N2) の値
が0.5 〜1.0 (Ar ガス流量=0) の間にあればよい。〕 薄膜については、上記金属薄膜と同様であって、なかで
も可視光透過率を確保するなかで、熱線吸収ガラス程度
の熱的性能である日射透過率67％以下を確保しつつ、透
過色調をニュ−トラル色でブルーシルバ−色乃至シルバ
−色系のガラス面反射色調等のほか表面抵抗値を1kΩ／
口以上としてより電波透過性を有するものとでき、他の
光学特性についても例えば熱線反射ガラスの可視光反射
率までにはいたらないものとでき、断熱性能等を有する
機能性膜として量産に適しておりかつガラスとの密着性
もよいため、第１層目に選び。
【００２２】また、CrNxOy〔x とy については、スパッ
タ時のO2ガスとN2ガスの流量比で決まる。該流量比はO2
／(O2+N2) の値が0.001 〜0.05の範囲であればよい。ま
た必要に応じて成膜速度を高くするため、あるいはCrNx
Oy薄膜の光学定数（n=屈折率、k=消衰係数）を制御する
ことを目的としてArガスを導入してもよい。〕薄膜につ
いては、上記金属薄膜と同様であって、なかでも可視光
透過率50％以上を確保し、透過色調をニュ−トラル色で
ブルーシルバ−色乃至シルバ−色系のガラス面反射色調
とするなかで、熱線吸収ガラス程度あるいはより近い熱
的性能である日射透過率67％以下、好ましくは65％以下
を確保しつつ、他の光学特性についても例えば熱線反射
ガラスの可視光反射率までにはいたらないものとでき、
断熱性能等を有する機能性膜として量産に適しておりか
つ特にガラスとの密着性もよく、表面抵抗値を容易に1k
Ω／口以上にすることができるため、第１層目に選び。
タ時のO2ガスとN2ガスの流量比で決まる。該流量比はO2
／(O2+N2) の値が0.001 〜0.05の範囲であればよい。ま
た必要に応じて成膜速度を高くするため、あるいはCrNx
Oy薄膜の光学定数（n=屈折率、k=消衰係数）を制御する
ことを目的としてArガスを導入してもよい。〕薄膜につ
いては、上記金属薄膜と同様であって、なかでも可視光
透過率50％以上を確保し、透過色調をニュ−トラル色で
ブルーシルバ−色乃至シルバ−色系のガラス面反射色調
とするなかで、熱線吸収ガラス程度あるいはより近い熱
的性能である日射透過率67％以下、好ましくは65％以下
を確保しつつ、他の光学特性についても例えば熱線反射
ガラスの可視光反射率までにはいたらないものとでき、
断熱性能等を有する機能性膜として量産に適しておりか
つ特にガラスとの密着性もよく、表面抵抗値を容易に1k
Ω／口以上にすることができるため、第１層目に選び。
【００２３】またさらに、SUSNxOy またはNiCrNxOy〔x
ならびにy についてはスパッタ時のO2ガスとN2ガスの流
量比で決まるもので、該流量比はO2／(O2+N2) の値であ
り、また必要に応じて得られたSUSNxOy またはNiCrNxOy
の薄膜の表面抵抗値が1kΩ／口以上であれば成膜速度を
高くするため、あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOyの薄膜
の光学定数（n=屈折率、k=消衰係数）を制御することを
目的としてArガスを導入してもよい。〕の薄膜について
は、上記金属薄膜と同様であって、なかでも可視光透過
率を確保するなかで、熱線吸収ガラス程度の熱的性能で
ある日射透過率67％以下、好ましくは65％以下を確保し
つつ、透過色調をニュ−トラル色でブルーシルバ−色乃
至シルバ−色系のガラス面反射色調等のほか、他の光学
特性についても例えば熱線反射ガラスの可視光反射率ま
でにはいたらないものとでき、さらに例えば断熱性能等
を有する機能性膜として量産に適しており、表面抵抗値
を容易に1kΩ／口以上にすることができるため、第１層
目に選び。
ならびにy についてはスパッタ時のO2ガスとN2ガスの流
量比で決まるもので、該流量比はO2／(O2+N2) の値であ
り、また必要に応じて得られたSUSNxOy またはNiCrNxOy
の薄膜の表面抵抗値が1kΩ／口以上であれば成膜速度を
高くするため、あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOyの薄膜
の光学定数（n=屈折率、k=消衰係数）を制御することを
目的としてArガスを導入してもよい。〕の薄膜について
は、上記金属薄膜と同様であって、なかでも可視光透過
率を確保するなかで、熱線吸収ガラス程度の熱的性能で
ある日射透過率67％以下、好ましくは65％以下を確保し
つつ、透過色調をニュ−トラル色でブルーシルバ−色乃
至シルバ−色系のガラス面反射色調等のほか、他の光学
特性についても例えば熱線反射ガラスの可視光反射率ま
でにはいたらないものとでき、さらに例えば断熱性能等
を有する機能性膜として量産に適しており、表面抵抗値
を容易に1kΩ／口以上にすることができるため、第１層
目に選び。
【００２４】次いで、膜厚が41nm以上60nm以下であるT
i、Sn、Taの酸化物薄膜の積層膜を第２層目として被覆
したのは、先ずSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜については、第
１層目の薄膜の保護膜となって耐久性を高めしかも屈折
率が2.0 程度であるためブルーシルバ−色からシルバ−
色系のガラス面反射色調を発現し膜面反射率を20％程度
以下にするための干渉膜として有用であって、断熱薄膜
／酸化物薄膜の構成のなかでTiOx薄膜やTaOx薄膜と比較
して成膜速度が速く、特に生産性に優れかつ色調ムラが
発現しにくい等のため、第２層目に選び。該両者の２層
の積層膜として簡単な膜構成とし、複雑な工程も要しな
いようにすることで、コスト低減ができるものとした。
i、Sn、Taの酸化物薄膜の積層膜を第２層目として被覆
したのは、先ずSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜については、第
１層目の薄膜の保護膜となって耐久性を高めしかも屈折
率が2.0 程度であるためブルーシルバ−色からシルバ−
色系のガラス面反射色調を発現し膜面反射率を20％程度
以下にするための干渉膜として有用であって、断熱薄膜
／酸化物薄膜の構成のなかでTiOx薄膜やTaOx薄膜と比較
して成膜速度が速く、特に生産性に優れかつ色調ムラが
発現しにくい等のため、第２層目に選び。該両者の２層
の積層膜として簡単な膜構成とし、複雑な工程も要しな
いようにすることで、コスト低減ができるものとした。
【００２５】また、TaOx（１＜ｘ≦5/2 ）薄膜について
は、第１層目の薄膜の優れた保護膜となって耐久性を高
めしかも屈折率が2.0 程度であるためブルーシルバ−色
からシルバ−色系のガラス面反射色調を発現し膜面反射
率を20％程度以下にするための干渉膜として必要なた
め、第２層目に選び。
は、第１層目の薄膜の優れた保護膜となって耐久性を高
めしかも屈折率が2.0 程度であるためブルーシルバ−色
からシルバ−色系のガラス面反射色調を発現し膜面反射
率を20％程度以下にするための干渉膜として必要なた
め、第２層目に選び。
【００２６】また、TiOx（１＜ｘ≦２）薄膜について
は、第１層目の薄膜の保護膜となって耐久性を高めしか
も干渉膜として有用であって、透過色調をニュ−トラル
色でブルーシルバ−色乃至シルバ−色系のガラス面反射
色調に対しては必要なことはもちろん、特に生産性に優
れる等であるため、第２層目に選び。
は、第１層目の薄膜の保護膜となって耐久性を高めしか
も干渉膜として有用であって、透過色調をニュ−トラル
色でブルーシルバ−色乃至シルバ−色系のガラス面反射
色調に対しては必要なことはもちろん、特に生産性に優
れる等であるため、第２層目に選び。
【００２７】また、第１層として下地層とする前記Ti、
Cr、Ta、SUS 、NiCr薄膜層、またはCrNx、SUSNx 、NiCr
Nx薄膜層、またはCrNxOy、SUSNxOy 、NiCrNxOy薄膜層の
膜厚を２nm以上10nm以下とし、該第１層を被覆する第２
層を前記TaOxまたはTiOxまたはSnOx薄膜層の膜厚を41nm
以上60nm以下としたのは、第１層目の膜厚が２nm未満
で、第２層の膜厚が41nm未満であれば、例えば可視光透
過率が75％を超え高くなりすぎて透視性が強くなってし
まい、熱的性能である日射透過率が例えば67％を超えて
断熱性が乏しくなって満足するものでなくなり、またガ
ラス面反射色調がブル−色を呈するようになり、めざす
居住性を高めたガラス板が得られない。
Cr、Ta、SUS 、NiCr薄膜層、またはCrNx、SUSNx 、NiCr
Nx薄膜層、またはCrNxOy、SUSNxOy 、NiCrNxOy薄膜層の
膜厚を２nm以上10nm以下とし、該第１層を被覆する第２
層を前記TaOxまたはTiOxまたはSnOx薄膜層の膜厚を41nm
以上60nm以下としたのは、第１層目の膜厚が２nm未満
で、第２層の膜厚が41nm未満であれば、例えば可視光透
過率が75％を超え高くなりすぎて透視性が強くなってし
まい、熱的性能である日射透過率が例えば67％を超えて
断熱性が乏しくなって満足するものでなくなり、またガ
ラス面反射色調がブル−色を呈するようになり、めざす
居住性を高めたガラス板が得られない。
【００２８】またさらに、第１層目の膜厚が10nmを超
え、第２層の膜厚が60nmを超えるものであれば、例えば
可視光透過率が50％より低くなりすぎて透明感が損なわ
れてしまい、またガラス面反射色調がグリ−ン色、イエ
ロ−色を呈するようになり、シルバ−色とは到底言える
ものではなくなり、めざす居住性を高めたガラス板が得
られない。
え、第２層の膜厚が60nmを超えるものであれば、例えば
可視光透過率が50％より低くなりすぎて透明感が損なわ
れてしまい、またガラス面反射色調がグリ−ン色、イエ
ロ−色を呈するようになり、シルバ−色とは到底言える
ものではなくなり、めざす居住性を高めたガラス板が得
られない。
【００２９】とりわけ、ガラス面反射色調は、第２層の
酸化物薄膜の膜厚に強く依存し、おおよそ41nm未満の膜
厚ではブル−色であり、41nm以上50nm以下の膜厚ではブ
ル−シルバ−色であり、50nm以上60nm以下の膜厚ではシ
ルバ−色を呈する。ことにシルバ−色系、特にメタリッ
クな風合いのシルバ−色系ガラス面反射色調を発現させ
るためには、第１層目の膜厚が約３nm以上８nm以下、第
２層目の膜厚が50nm以上60nm以下であることが好まし
い。さらに、前記薄膜の積層膜であれば、２層でデザイ
ン的にも所期の可視光透過性を得て必要な透視性を持
ち、所期の可視光反射性を有してミラー効果を適当にも
たらすようにでき、しかも断熱性を付与することができ
るからである。
酸化物薄膜の膜厚に強く依存し、おおよそ41nm未満の膜
厚ではブル−色であり、41nm以上50nm以下の膜厚ではブ
ル−シルバ−色であり、50nm以上60nm以下の膜厚ではシ
ルバ−色を呈する。ことにシルバ−色系、特にメタリッ
クな風合いのシルバ−色系ガラス面反射色調を発現させ
るためには、第１層目の膜厚が約３nm以上８nm以下、第
２層目の膜厚が50nm以上60nm以下であることが好まし
い。さらに、前記薄膜の積層膜であれば、２層でデザイ
ン的にも所期の可視光透過性を得て必要な透視性を持
ち、所期の可視光反射性を有してミラー効果を適当にも
たらすようにでき、しかも断熱性を付与することができ
るからである。
【００３０】また、シルバ−色系のガラス面反射色調を
発現させるために必要な第１層目の膜材料であるTi、C
r、SUS 、TaまたはNiCrの金属薄膜、またはCr、SUS 、N
iCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜は、透過色調がグレ
−色ないしはニュ−トラル色系であり、シルバ−色系、
特にメタリックな風合いのシルバ−色系ガラス面反射色
調を発現させるのに適したものであり、これらの膜材料
を選出した。このうちCr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、窒
素酸化物薄膜は、比較的容易に表面抵抗値が1kΩ／口以
上になるため、電波反射率をフロ−トガラス並に低くす
ることができる好都合の膜材料である。特にCrの窒化物
薄膜、窒素酸化物薄膜は、ガラス基板との密着性に優れ
ているために第１層目の膜材料として適している。
発現させるために必要な第１層目の膜材料であるTi、C
r、SUS 、TaまたはNiCrの金属薄膜、またはCr、SUS 、N
iCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜は、透過色調がグレ
−色ないしはニュ−トラル色系であり、シルバ−色系、
特にメタリックな風合いのシルバ−色系ガラス面反射色
調を発現させるのに適したものであり、これらの膜材料
を選出した。このうちCr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、窒
素酸化物薄膜は、比較的容易に表面抵抗値が1kΩ／口以
上になるため、電波反射率をフロ−トガラス並に低くす
ることができる好都合の膜材料である。特にCrの窒化物
薄膜、窒素酸化物薄膜は、ガラス基板との密着性に優れ
ているために第１層目の膜材料として適している。
【００３１】また、シルバ−色系のガラス面反射色調を
発現させるために必要な第２層目の膜材料であるTi、S
n、Taの酸化物薄膜は、屈折率ｎが1.8 以上であるこれ
らの透明誘電体膜を選出した。これらの透明誘電体膜
は、DC反応性スパッタにより比較的容易に成膜でき、第
１層目の保護膜として耐摩耗性、耐薬品性に優れてい
る。このうち特に、Snの酸化物薄膜は、生産性に優れて
いるため第２層目の膜材料として適している。
発現させるために必要な第２層目の膜材料であるTi、S
n、Taの酸化物薄膜は、屈折率ｎが1.8 以上であるこれ
らの透明誘電体膜を選出した。これらの透明誘電体膜
は、DC反応性スパッタにより比較的容易に成膜でき、第
１層目の保護膜として耐摩耗性、耐薬品性に優れてい
る。このうち特に、Snの酸化物薄膜は、生産性に優れて
いるため第２層目の膜材料として適している。
【００３２】さらに、可視光透過率を50〜75％とし、し
かも例えばガラス面の可視光反射率を33％以下であるも
のとすれば、可視光透過率が50％未満もしくは可視光反
射率が33％を超える範囲においては、可視光反射性能、
特にガラス面の反射性能が高くなりすぎ、透視性が下が
り、可視光透過率が75％を超えもしくは日射透過率が67
％以上の範囲においては、反射性能が下がりすぎ、所定
のミラー効果を得ることができなくなり、例えば日射透
過率が67％を超え、熱的性能を確保できなくなってめざ
す断熱性を発揮することができなくなるからである。好
ましくは可視光透過率が50〜70％程度、膜面の可視光反
射率が20％以下程度である。特に膜面反射率を20％以下
程度にすれば、夜間、室内側における風景のガラス面へ
の映り込みを抑え、夜景等を見やすくすることができ
る。
かも例えばガラス面の可視光反射率を33％以下であるも
のとすれば、可視光透過率が50％未満もしくは可視光反
射率が33％を超える範囲においては、可視光反射性能、
特にガラス面の反射性能が高くなりすぎ、透視性が下が
り、可視光透過率が75％を超えもしくは日射透過率が67
％以上の範囲においては、反射性能が下がりすぎ、所定
のミラー効果を得ることができなくなり、例えば日射透
過率が67％を超え、熱的性能を確保できなくなってめざ
す断熱性を発揮することができなくなるからである。好
ましくは可視光透過率が50〜70％程度、膜面の可視光反
射率が20％以下程度である。特に膜面反射率を20％以下
程度にすれば、夜間、室内側における風景のガラス面へ
の映り込みを抑え、夜景等を見やすくすることができ
る。
【００３３】一般に光学的特性は、図１の特性図に示す
ように、透過率（ｔ）、反射率（ｒ）、吸収率（ａ）の
組み合わせであり、そのバランスにより異なる面もある
が、上述の範囲内（例えば、一例として図１のハッチン
グ部）にあれば、透過性と反射性すなわちミラー性なら
びに断熱性を同時にバランスよく、人や環境に優しいも
のとなってより居住性を満足せしめることができる。
ように、透過率（ｔ）、反射率（ｒ）、吸収率（ａ）の
組み合わせであり、そのバランスにより異なる面もある
が、上述の範囲内（例えば、一例として図１のハッチン
グ部）にあれば、透過性と反射性すなわちミラー性なら
びに断熱性を同時にバランスよく、人や環境に優しいも
のとなってより居住性を満足せしめることができる。
【００３４】さらに、前記透過色調がニュ−トラル色で
ガラス面反射色調がブル−シルバ−色乃至シルバ−色系
であるものとしたのは、前記膜構成と光学特性のなか
で、透明感を損なわず、違和感が生じ難く、人や環境に
優しいものとなるためである。
ガラス面反射色調がブル−シルバ−色乃至シルバ−色系
であるものとしたのは、前記膜構成と光学特性のなか
で、透明感を損なわず、違和感が生じ難く、人や環境に
優しいものとなるためである。
【００３５】またさらに、表面抵抗値が0.5kΩ／口以
上、とりわけ1.0kΩ／口以上としたのは、電波反射率を
TV電波帯、ことに周波数150MHz付近において５％以下と
フロ−トガラス並に低くするができるからであり、また
電波透過性を有するガラス板としたのは、電波反射型で
あると周辺の住民にＴＶにゴースト現象等の所謂電波障
害を発生させるためである。
上、とりわけ1.0kΩ／口以上としたのは、電波反射率を
TV電波帯、ことに周波数150MHz付近において５％以下と
フロ−トガラス並に低くするができるからであり、また
電波透過性を有するガラス板としたのは、電波反射型で
あると周辺の住民にＴＶにゴースト現象等の所謂電波障
害を発生させるためである。
【００３６】前述したように、本発明の居住性を高めた
ガラス板によれば、透明基板の表面に薄膜層を形成した
ガラス板において、ガラス面側から第１層目として膜厚
が２nm以上10nm以下であるTi、Cr、SUS 、TaまたはNiCr
の金属薄膜、またはCr、SUS、Taの窒化物薄膜あるいは
窒素酸化物薄膜、第１層の上に第２層目として膜厚が41
nm以上60nm以下であるTaOxまたはSnOxまたはTiOx薄膜の
積層膜からなり、透過色調がニュ−トラル色であり、し
かもガラス面反射色調がブル−シルバ−色乃至シルバ−
色を呈するものとしたことにより、積層薄膜付きガラス
でありながら、例えば図１の特性図〔可視光における透
過率（ｔ）、反射率（ｒ）、吸収率（ａ）で表す三角ダ
イヤグラム（単位：％）〕において、居住性を高めたガ
ラス板域の一例をハッチングで示すように、クリアガラ
スの優れた特性と熱線反射ガラスの特性とを活かしつ
つ、熱線吸収ガラスに匹敵する特性を発現せしめるよう
にし、ガラスらしさを充分発揮して意匠性をアピール
し、透明感と存在観ならびに透視性とミラー性を発現す
るなかで、断熱性をも含めバランスよい光学特性を有し
同時に満足しうるものとなし、耐薬品性、耐候性あるい
は耐摩耗性等耐久性を備え、しかもブル−シルバ−色乃
至シルバ−色系のガラス面反射色調を呈しかつ電波透過
性を有する居住性を高めたガラス板を簡単な２層の膜構
成等で生産性よく安価に提供することができ、例えば中
庭において、ビルディング内の中庭を大きく見せること
ができるミラー性、室内からよく見えるようにする透視
性を同時に達成でき、さらに例えば省エネルギー効果を
持ちながらホテル等での室内からの夜景を楽しむとい
う、人や環境に快適でかつ最適なるものとすることがで
きる卓効を奏する。
ガラス板によれば、透明基板の表面に薄膜層を形成した
ガラス板において、ガラス面側から第１層目として膜厚
が２nm以上10nm以下であるTi、Cr、SUS 、TaまたはNiCr
の金属薄膜、またはCr、SUS、Taの窒化物薄膜あるいは
窒素酸化物薄膜、第１層の上に第２層目として膜厚が41
nm以上60nm以下であるTaOxまたはSnOxまたはTiOx薄膜の
積層膜からなり、透過色調がニュ−トラル色であり、し
かもガラス面反射色調がブル−シルバ−色乃至シルバ−
色を呈するものとしたことにより、積層薄膜付きガラス
でありながら、例えば図１の特性図〔可視光における透
過率（ｔ）、反射率（ｒ）、吸収率（ａ）で表す三角ダ
イヤグラム（単位：％）〕において、居住性を高めたガ
ラス板域の一例をハッチングで示すように、クリアガラ
スの優れた特性と熱線反射ガラスの特性とを活かしつ
つ、熱線吸収ガラスに匹敵する特性を発現せしめるよう
にし、ガラスらしさを充分発揮して意匠性をアピール
し、透明感と存在観ならびに透視性とミラー性を発現す
るなかで、断熱性をも含めバランスよい光学特性を有し
同時に満足しうるものとなし、耐薬品性、耐候性あるい
は耐摩耗性等耐久性を備え、しかもブル−シルバ−色乃
至シルバ−色系のガラス面反射色調を呈しかつ電波透過
性を有する居住性を高めたガラス板を簡単な２層の膜構
成等で生産性よく安価に提供することができ、例えば中
庭において、ビルディング内の中庭を大きく見せること
ができるミラー性、室内からよく見えるようにする透視
性を同時に達成でき、さらに例えば省エネルギー効果を
持ちながらホテル等での室内からの夜景を楽しむとい
う、人や環境に快適でかつ最適なるものとすることがで
きる卓効を奏する。
【００３７】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
【００３８】実施例１ 大きさ約300mm ×300mm 、厚さ約６mmのフロートクリア
ガラス(6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコ
ールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッ
タリング装置の真空槽内にセットしてある SUSとSnのタ
ーゲットに対向して上方を往復できるようセットし、次
に前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまでに脱気し
た後、該真空槽内にArガスを導入して真空度を約２×10
-3Torrに保持し、前記 SUSのターゲットに約0.12kWの電
力を印加し、前記ArガスによるDCマグネトロン反応スパ
ッタの中を、前記SUS のターゲット上方においてスピー
ド約292mm ／min で前記板ガラスを搬送することによっ
て約５nm厚さのSUS の金属薄膜を第１層として成膜し
た。成膜が完了した後SUS ターゲットへの印加を停止し
た。
ガラス(6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコ
ールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッ
タリング装置の真空槽内にセットしてある SUSとSnのタ
ーゲットに対向して上方を往復できるようセットし、次
に前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまでに脱気し
た後、該真空槽内にArガスを導入して真空度を約２×10
-3Torrに保持し、前記 SUSのターゲットに約0.12kWの電
力を印加し、前記ArガスによるDCマグネトロン反応スパ
ッタの中を、前記SUS のターゲット上方においてスピー
ド約292mm ／min で前記板ガラスを搬送することによっ
て約５nm厚さのSUS の金属薄膜を第１層として成膜し
た。成膜が完了した後SUS ターゲットへの印加を停止し
た。
【００３９】次いで、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO2ガスを導入して真空度を
約２×10-3Torrに保持し、前記Snのターゲットに約1.0k
W の電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン
反応スパッタの中を、前記Snのターゲット上方において
スピード約77mm／min で前記板ガラスを搬送することに
よって前記板ガラスのSUS 金属薄膜表面上に約55nm厚さ
のSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜を第２層として積層成膜し
た。成膜が完了した後、Snターゲットへの印加を停止し
た。
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO2ガスを導入して真空度を
約２×10-3Torrに保持し、前記Snのターゲットに約1.0k
W の電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン
反応スパッタの中を、前記Snのターゲット上方において
スピード約77mm／min で前記板ガラスを搬送することに
よって前記板ガラスのSUS 金属薄膜表面上に約55nm厚さ
のSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜を第２層として積層成膜し
た。成膜が完了した後、Snターゲットへの印加を停止し
た。
【００４０】得られた２層でなる積層薄膜付き板ガラス
について、可視光透過率（Tv：380〜780nm ）、可視光
反射率（Rv：380 〜780nm ）ならびに日射透過率（Ts：
340〜1800nm）と日射反射率（Rs：340 〜1800nm）等に
ついては340 型自記分光光度計（日立製作所製）により
測定し、所定の波長毎の透過率、反射率の各データとJI
S Z 8722、JIS R 3106によってそれぞれその光学的特性
（光源：D65 2°視野）を求め、その一部を表１および
２に可視光透過率、各種可視光反射率、日射透過率およ
び透過色調、ガラス面反射色調等について示した。
について、可視光透過率（Tv：380〜780nm ）、可視光
反射率（Rv：380 〜780nm ）ならびに日射透過率（Ts：
340〜1800nm）と日射反射率（Rs：340 〜1800nm）等に
ついては340 型自記分光光度計（日立製作所製）により
測定し、所定の波長毎の透過率、反射率の各データとJI
S Z 8722、JIS R 3106によってそれぞれその光学的特性
（光源：D65 2°視野）を求め、その一部を表１および
２に可視光透過率、各種可視光反射率、日射透過率およ
び透過色調、ガラス面反射色調等について示した。
【００４１】また、表面抵抗値については、105 Ω／口
以下のものは四探針抵抗測定装置RT-8（NAPSON社製）、
105 Ω／口〜105 ＭΩ／口のものは表面高抵抗計HIREST
A HT-210（三菱油化社製）によって測定し、0.5 ｋΩ／
口以上、好ましくは１ｋΩ／口以上であるものを電波透
過性を有するものとして○印をし、0.5 ｋΩ／口未満を
△印とした。
以下のものは四探針抵抗測定装置RT-8（NAPSON社製）、
105 Ω／口〜105 ＭΩ／口のものは表面高抵抗計HIREST
A HT-210（三菱油化社製）によって測定し、0.5 ｋΩ／
口以上、好ましくは１ｋΩ／口以上であるものを電波透
過性を有するものとして○印をし、0.5 ｋΩ／口未満を
△印とした。
【００４２】さらに、テ−バ−試験によるヘ−ズ（曇り
具合）値の変化量（△Ｈ％）については、テ−バ−試験
機（MODEL503、TABER 社製）に膜面を上にした10cm角試
験片をセットし、膜面に荷重500gのかかった摩耗輪（CS
-10F）が２箇所で当たるようになっているもので、300
回回転した後、ヘ−ズメ−タ−（日本電色工業製、NDH-
20D ）によって測定し、試験前の測定値と対比し、その
変化量（△Ｈ％）が３％以下であるものを○印とした。
具合）値の変化量（△Ｈ％）については、テ−バ−試験
機（MODEL503、TABER 社製）に膜面を上にした10cm角試
験片をセットし、膜面に荷重500gのかかった摩耗輪（CS
-10F）が２箇所で当たるようになっているもので、300
回回転した後、ヘ−ズメ−タ−（日本電色工業製、NDH-
20D ）によって測定し、試験前の測定値と対比し、その
変化量（△Ｈ％）が３％以下であるものを○印とした。
【００４３】さらにまた、耐薬品性のうち耐酸性につい
ては、常温で１規定のHCl 溶液中に前記試験片を約６時
間浸漬した後、膜の劣化状態を見て判断したものであ
り、また耐アルカリ試験については、常温で１規定のNa
OH溶液中に前記試験片を約６時間浸漬した後、膜の劣化
状態を見てJIS R 3221により判断したものであり、それ
ぞれ○印はほとんど劣化が見られなかったもの、×印は
劣化が明らかに目立つたものである。
ては、常温で１規定のHCl 溶液中に前記試験片を約６時
間浸漬した後、膜の劣化状態を見て判断したものであ
り、また耐アルカリ試験については、常温で１規定のNa
OH溶液中に前記試験片を約６時間浸漬した後、膜の劣化
状態を見てJIS R 3221により判断したものであり、それ
ぞれ○印はほとんど劣化が見られなかったもの、×印は
劣化が明らかに目立つたものである。
【００４４】さらに、生産性等を加味したコスト上良好
なもの、および上述した各特性ならびに外観上等から所
期の居住性を高めたガラス板となったものを総合的な評
価とした。
なもの、および上述した各特性ならびに外観上等から所
期の居住性を高めたガラス板となったものを総合的な評
価とした。
【００４５】その結果、G(ガラス) ／SUS(5nm)／SnOx
（55nm）と２層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラス
は、表１および表２に示すように、可視光透過率（Tv）
が56.0％、ガラス面の可視光反射率（Rvg)が28.1％、膜
面の可視光反射率（Rvf)が10.6％であって、図１に示す
ハッチングの範囲内にあって、透明性と反射性すなわち
ミラー効果を同時にバランスよく持ち、人や環境に対し
て優しく、しかも日射透過率（Ts）が50.6％である等断
熱性を同時に併せ持ち、例えば冷房負荷軽減効果も大き
く発揮するものである。
（55nm）と２層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラス
は、表１および表２に示すように、可視光透過率（Tv）
が56.0％、ガラス面の可視光反射率（Rvg)が28.1％、膜
面の可視光反射率（Rvf)が10.6％であって、図１に示す
ハッチングの範囲内にあって、透明性と反射性すなわち
ミラー効果を同時にバランスよく持ち、人や環境に対し
て優しく、しかも日射透過率（Ts）が50.6％である等断
熱性を同時に併せ持ち、例えば冷房負荷軽減効果も大き
く発揮するものである。
【００４６】さらに、透過色調がニュ−トラルであっ
て、ガラス面の反射色調がシルバー色系であり、表面抵
抗値も0.62ｋΩ／口で電波透過性もあり、さらにテ−バ
−試験でも明らかなように耐摩耗性も優れ、かつ耐薬品
性もあり充分耐久性を有し、本発明がめざす所期の居住
性を高めたガラス板であった。
て、ガラス面の反射色調がシルバー色系であり、表面抵
抗値も0.62ｋΩ／口で電波透過性もあり、さらにテ−バ
−試験でも明らかなように耐摩耗性も優れ、かつ耐薬品
性もあり充分耐久性を有し、本発明がめざす所期の居住
性を高めたガラス板であった。
【００４７】実施例２ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表１に示すように、第１層のみTiの金属薄膜に
変え、他は実施例１と同様にして積層薄膜付き板ガラス
を得た。なお、該Tiの金属薄膜は、Tiのタ−ゲットを用
い、導入ガスがArガス、印加電力が0.12kW、搬送速度が
約158mm ／min の条件で膜厚約7nm のTiの金属薄膜を得
た。
を用い、表１に示すように、第１層のみTiの金属薄膜に
変え、他は実施例１と同様にして積層薄膜付き板ガラス
を得た。なお、該Tiの金属薄膜は、Tiのタ−ゲットを用
い、導入ガスがArガス、印加電力が0.12kW、搬送速度が
約158mm ／min の条件で膜厚約7nm のTiの金属薄膜を得
た。
【００４８】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に、Tvが53.6
％、Rvg が28.9％、Rvf が 8.7％等の各光学特性はもち
ろん、Tsが47.9％である等熱的性能、色調や電波透過
性、耐摩耗性や耐薬品性も含めいずれもめざす範囲内で
あって図１に示すハッチング内となり、所期の居住性を
高めたガラス板であった。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に、Tvが53.6
％、Rvg が28.9％、Rvf が 8.7％等の各光学特性はもち
ろん、Tsが47.9％である等熱的性能、色調や電波透過
性、耐摩耗性や耐薬品性も含めいずれもめざす範囲内で
あって図１に示すハッチング内となり、所期の居住性を
高めたガラス板であった。
【００４９】実施例３ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表１に示すように、前記実施例１および２に対
し、第１層をCrNxOyの窒素酸化物薄膜に変え、第２層を
膜厚のみ変え、積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表１に示すように、前記実施例１および２に対
し、第１層をCrNxOyの窒素酸化物薄膜に変え、第２層を
膜厚のみ変え、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００５０】すなわち、実施例１と同様にして、先ずCr
NxOyの窒素酸化物薄膜は、Crのタ−ゲットを用い、導入
ガスがN2+O2 の混合ガス〔O2／(O2+N2)=0.02、但し、ガ
ス流量比O2／(N2+O2) の値は、0.001 から0.05の間にあ
ればよく、また必要に応じてCrNxOy薄膜の表面抵抗値が
１k Ω／口以上であれば成膜速度を高くするため、ある
いはCrNxOy薄膜の光学定数（n=屈折率、k=消衰係数）を
制御することを目的としてArガスを導入してもよ
い。〕、印加電力が0.5kW 、板ガラスの搬送速度が約45
0mm ／min の条件で膜厚約４nmのCrNxOyの窒素酸化物薄
膜を得た。
NxOyの窒素酸化物薄膜は、Crのタ−ゲットを用い、導入
ガスがN2+O2 の混合ガス〔O2／(O2+N2)=0.02、但し、ガ
ス流量比O2／(N2+O2) の値は、0.001 から0.05の間にあ
ればよく、また必要に応じてCrNxOy薄膜の表面抵抗値が
１k Ω／口以上であれば成膜速度を高くするため、ある
いはCrNxOy薄膜の光学定数（n=屈折率、k=消衰係数）を
制御することを目的としてArガスを導入してもよ
い。〕、印加電力が0.5kW 、板ガラスの搬送速度が約45
0mm ／min の条件で膜厚約４nmのCrNxOyの窒素酸化物薄
膜を得た。
【００５１】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に、Tvが64.2
％、Rvg が25.7％、Rvf が18.8％等の各光学特性はもち
ろん、Tsが63.4％である熱的性能が優れ、同様の色調で
あり、5100k Ω／口と優れた電波透過性である等、耐摩
耗性や耐薬品性もいずれもめざす範囲内にあって図１に
示すハッチング内となり、所期の居住性を高めたガラス
板であった。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に、Tvが64.2
％、Rvg が25.7％、Rvf が18.8％等の各光学特性はもち
ろん、Tsが63.4％である熱的性能が優れ、同様の色調で
あり、5100k Ω／口と優れた電波透過性である等、耐摩
耗性や耐薬品性もいずれもめざす範囲内にあって図１に
示すハッチング内となり、所期の居住性を高めたガラス
板であった。
【００５２】実施例４ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表１に示すように、実施例３における第１層を
SUSNxOy の窒素酸化物薄膜に変え、他は実施例１や２と
同様に第２層を被覆して積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表１に示すように、実施例３における第１層を
SUSNxOy の窒素酸化物薄膜に変え、他は実施例１や２と
同様に第２層を被覆して積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００５３】すなわち、SUSNxOy の窒素酸化物薄膜は、
SUS のタ−ゲットを用い、導入ガスがN2+O2 の混合ガス
〔O2／(O2+N2)=0.02、但し、ガス流量比O2／(N2+O2) の
値は、0.001 から0.05の間にあればよく、また必要に応
じてSUSxOy薄膜の表面抵抗値が１k Ω／口以上であれば
成膜速度を高くするため、あるいはSUSxOy薄膜の光学定
数（n=屈折率、k=消衰係数）を制御することを目的とし
てArガスを導入してもよい。〕、印加電力が 0.5kW、板
ガラスの搬送速度が約424mm ／min の条件で膜厚約５nm
のSUSNxOy の窒素酸化物薄膜を得た。
SUS のタ−ゲットを用い、導入ガスがN2+O2 の混合ガス
〔O2／(O2+N2)=0.02、但し、ガス流量比O2／(N2+O2) の
値は、0.001 から0.05の間にあればよく、また必要に応
じてSUSxOy薄膜の表面抵抗値が１k Ω／口以上であれば
成膜速度を高くするため、あるいはSUSxOy薄膜の光学定
数（n=屈折率、k=消衰係数）を制御することを目的とし
てArガスを導入してもよい。〕、印加電力が 0.5kW、板
ガラスの搬送速度が約424mm ／min の条件で膜厚約５nm
のSUSNxOy の窒素酸化物薄膜を得た。
【００５４】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に、Tvが64.7
％、Rvg が25.5％、Rvf が18.4％等の各光学特性はもち
ろん、Tsが61.9％である熱的性能、色調や450kΩ／口と
優れた電波透過性、耐摩耗性や耐薬品性も含めいずれも
めざす範囲内にあって図１に示すハッチング内となり、
所期の居住性を高めたガラス板であった。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に、Tvが64.7
％、Rvg が25.5％、Rvf が18.4％等の各光学特性はもち
ろん、Tsが61.9％である熱的性能、色調や450kΩ／口と
優れた電波透過性、耐摩耗性や耐薬品性も含めいずれも
めざす範囲内にあって図１に示すハッチング内となり、
所期の居住性を高めたガラス板であった。
【００５５】実施例５ 実施例１と同様に厚さ約６mmのフロートクリアガラス
(6) を用い、表１に示すように、先ずDCマグネトロンス
パッタリング装置の真空槽内にセットしてあるCrとTiの
ターゲットに対向して上方を往復できるようセットし、
次に前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまでに脱気
した後、該真空槽内にN2ガス〔ガス流量比はN2／(Ar+
N2) の値が0.5 〜1.0 （Arガス流量=0）の間にあればよ
い。〕を導入して真空度を約２×10-3Torrに保持し、前
記Crのターゲットに約0.5kW の電力を印加し、前記N2ガ
スによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、前記Crの
ターゲット上方においてスピード約678mm ／min で前記
板ガラスを搬送することによって約３nm厚さのCrNx薄膜
を第１層として成膜した。成膜が完了した後、Crターゲ
ットへの印加を停止した。
(6) を用い、表１に示すように、先ずDCマグネトロンス
パッタリング装置の真空槽内にセットしてあるCrとTiの
ターゲットに対向して上方を往復できるようセットし、
次に前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまでに脱気
した後、該真空槽内にN2ガス〔ガス流量比はN2／(Ar+
N2) の値が0.5 〜1.0 （Arガス流量=0）の間にあればよ
い。〕を導入して真空度を約２×10-3Torrに保持し、前
記Crのターゲットに約0.5kW の電力を印加し、前記N2ガ
スによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、前記Crの
ターゲット上方においてスピード約678mm ／min で前記
板ガラスを搬送することによって約３nm厚さのCrNx薄膜
を第１層として成膜した。成膜が完了した後、Crターゲ
ットへの印加を停止した。
【００５６】次いで、TiOxの薄膜は、Tiのターゲットを
用い、導入ガスはO2ガス、印加電力が約3.0kW 、板ガラ
スの搬送速度が約31mm／min の条件で、第１層のCrNx薄
膜の上に第２層として膜厚約45nmのTiOx（１＜ｘ≦２）
薄膜を得た。
用い、導入ガスはO2ガス、印加電力が約3.0kW 、板ガラ
スの搬送速度が約31mm／min の条件で、第１層のCrNx薄
膜の上に第２層として膜厚約45nmのTiOx（１＜ｘ≦２）
薄膜を得た。
【００５７】得られた２層でなる積層薄膜付き板ガラス
について実施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い
評価した。その結果、得られた積層薄膜付き板ガラス
は、表１および２に示すようになり、実施例１と同様
に、Tvが58.4％、Rvg が32.9％、Rvf が32.8％等の各光
学特性はもちろん、Tsが58.4％である熱的性能、透過色
調がニュ−トラルでガラス面反射色調がブル−シルバ−
色や表面抵抗値が1100k Ω／口と優れた電波透過性、耐
摩耗性や耐薬品性も含めいずれもめざす範囲内にあって
図１に示すハッチング内となり、所期の居住性を高めた
ガラス板であった。
について実施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い
評価した。その結果、得られた積層薄膜付き板ガラス
は、表１および２に示すようになり、実施例１と同様
に、Tvが58.4％、Rvg が32.9％、Rvf が32.8％等の各光
学特性はもちろん、Tsが58.4％である熱的性能、透過色
調がニュ−トラルでガラス面反射色調がブル−シルバ−
色や表面抵抗値が1100k Ω／口と優れた電波透過性、耐
摩耗性や耐薬品性も含めいずれもめざす範囲内にあって
図１に示すハッチング内となり、所期の居住性を高めた
ガラス板であった。
【００５８】実施例６ 実施例５と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表１に示すように、実施例５における第２層を
TaOxの酸化物薄膜に変え、他は実施例５と同様に第１層
を被覆して積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表１に示すように、実施例５における第２層を
TaOxの酸化物薄膜に変え、他は実施例５と同様に第１層
を被覆して積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００５９】すなわち、TaOxの薄膜は、Taのターゲット
を用い、導入ガスはO2ガス、印加電力が約2.0kW 、板ガ
ラスの搬送速度が約26mm／min の条件で、第１層のCrNx
薄膜（6nm ）の上に第２層として膜厚約55nmのTaOx（１
＜ｘ≦5/2 ）薄膜を得た。
を用い、導入ガスはO2ガス、印加電力が約2.0kW 、板ガ
ラスの搬送速度が約26mm／min の条件で、第１層のCrNx
薄膜（6nm ）の上に第２層として膜厚約55nmのTaOx（１
＜ｘ≦5/2 ）薄膜を得た。
【００６０】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に、Tvが58.5
％、Rvg が27.4％、Rvf が13.4％等の各光学特性はもち
ろん、Tsが56.5％である熱的性能、実施例１と同じ色調
や9kΩ／口と充分な電波透過性、耐摩耗性や耐薬品性も
含めいずれもめざす範囲内にあって図１に示すハッチン
グ内となり、所期の居住性を高めたガラス板であった。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に、Tvが58.5
％、Rvg が27.4％、Rvf が13.4％等の各光学特性はもち
ろん、Tsが56.5％である熱的性能、実施例１と同じ色調
や9kΩ／口と充分な電波透過性、耐摩耗性や耐薬品性も
含めいずれもめざす範囲内にあって図１に示すハッチン
グ内となり、所期の居住性を高めたガラス板であった。
【００６１】実施例７〜９ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、第１層を実施例５および６と同様の薄膜で、第
２層を実施例１乃至３と同様の膜で構成し、その膜厚の
み表１に示すような値に変化させ、積層薄膜付き板ガラ
スを得た。
を用い、第１層を実施例５および６と同様の薄膜で、第
２層を実施例１乃至３と同様の膜で構成し、その膜厚の
み表１に示すような値に変化させ、積層薄膜付き板ガラ
スを得た。
【００６２】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に可視光透過
率、可視光反射率等の各光学特性はもちろん、日射透過
率による熱的性能、色調や優れた電波透過性も含めいず
れもめざす範囲内にあって図１に示すハッチング内とな
り、上記各実施例と同様所期の居住性を高めたガラス板
であった。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１およ
び２に示すようになり、実施例１と同様に可視光透過
率、可視光反射率等の各光学特性はもちろん、日射透過
率による熱的性能、色調や優れた電波透過性も含めいず
れもめざす範囲内にあって図１に示すハッチング内とな
り、上記各実施例と同様所期の居住性を高めたガラス板
であった。
【００６３】
【表１】
【００６４】
【表２】
【００６５】比較例１ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表３に示すように、TaNxOyの窒素酸化物薄膜の
１層のみとし、薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表３に示すように、TaNxOyの窒素酸化物薄膜の
１層のみとし、薄膜付き板ガラスを得た。
【００６６】すなわち、TaNxOy薄膜は、実施例３のCrNx
Oyや実施例４のSUSNxOy と同様にし、Taのタ−ゲットを
用い、導入ガスがN2+O2 の混合ガス〔O2／(O2+N2)=0.0
5、但し、ガス流量比O2／(N2+O2) の値は、0.001 から
0.05の間にあればよく、また必要に応じてSUSxOy薄膜の
表面抵抗値が１k Ω／口以上であれば成膜速度を高くす
るため、あるいはSUSxOy薄膜の光学定数（n=屈折率、k=
消衰係数）を制御することを目的としてArガスを導入し
てもよい。〕、印加電力が 1.5kW、板ガラスの搬送速度
が約26mm／min の条件で膜厚約50nmのTaNxOyの窒素酸化
物薄膜を得た。
Oyや実施例４のSUSNxOy と同様にし、Taのタ−ゲットを
用い、導入ガスがN2+O2 の混合ガス〔O2／(O2+N2)=0.0
5、但し、ガス流量比O2／(N2+O2) の値は、0.001 から
0.05の間にあればよく、また必要に応じてSUSxOy薄膜の
表面抵抗値が１k Ω／口以上であれば成膜速度を高くす
るため、あるいはSUSxOy薄膜の光学定数（n=屈折率、k=
消衰係数）を制御することを目的としてArガスを導入し
てもよい。〕、印加電力が 1.5kW、板ガラスの搬送速度
が約26mm／min の条件で膜厚約50nmのTaNxOyの窒素酸化
物薄膜を得た。
【００６７】得られた薄膜付き板ガラスについて実施例
１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。その
結果、得られた薄膜付き板ガラスは、表３および４に示
すようになり、各光学特性、熱的性能、電波透過性等は
実施例１と同様にめざす範囲内にあるものの、透過色調
がイエロ−色系となり、めざす所期の居住性を高めたガ
ラス板ではなかった。
１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。その
結果、得られた薄膜付き板ガラスは、表３および４に示
すようになり、各光学特性、熱的性能、電波透過性等は
実施例１と同様にめざす範囲内にあるものの、透過色調
がイエロ−色系となり、めざす所期の居住性を高めたガ
ラス板ではなかった。
【００６８】比較例２ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表３に示すように、第１層としてTiSiNx薄膜と
変え、第２層として実施例５と同様のTiOx薄膜（5nm)と
した、積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表３に示すように、第１層としてTiSiNx薄膜と
変え、第２層として実施例５と同様のTiOx薄膜（5nm)と
した、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００６９】すなわち、TiSiNx薄膜は、比較例１と同様
に、TiSiのタ−ゲットを用い、導入ガスはN2ガス〔ガス
流量比はN2／(Ar+N2) の値が0.5 〜1.0 （Arガス流量=
0）の間にあればよい。〕、印加電力が約1.5kW 、板ガ
ラスの搬送速度を約153mm ／min とすることによって約
20nm厚さのTiSiNx薄膜を得た。
に、TiSiのタ−ゲットを用い、導入ガスはN2ガス〔ガス
流量比はN2／(Ar+N2) の値が0.5 〜1.0 （Arガス流量=
0）の間にあればよい。〕、印加電力が約1.5kW 、板ガ
ラスの搬送速度を約153mm ／min とすることによって約
20nm厚さのTiSiNx薄膜を得た。
【００７０】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表３およ
び４に示すようになり、Tvが34.9％で透視性が悪く視認
性が不安であり、透過色調がイエロ−色系となり、めざ
す所期の居住性を高めたガラス板ではなかった。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表３およ
び４に示すようになり、Tvが34.9％で透視性が悪く視認
性が不安であり、透過色調がイエロ−色系となり、めざ
す所期の居住性を高めたガラス板ではなかった。
【００７１】比較例３ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表３に示すように、実施例７乃至９と同様にし
て、第１層をTiNx薄膜と変え、第２層のSnOx薄膜の膜厚
のみ変化(50nm)させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表３に示すように、実施例７乃至９と同様にし
て、第１層をTiNx薄膜と変え、第２層のSnOx薄膜の膜厚
のみ変化(50nm)させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００７２】すなわち、TiNx薄膜は、Tiのタ−ゲットを
用い、導入ガスはN2ガス〔ガス流量比はN2／(Ar+N2) の
値が0.5 〜1.0 （Arガス流量=0）の間にあればよ
い。〕、印加電力が約1.0kW 、板ガラスの搬送速度を約
113mm ／min とすることによって約12nm厚さのTiSiNx薄
膜を得た。
用い、導入ガスはN2ガス〔ガス流量比はN2／(Ar+N2) の
値が0.5 〜1.0 （Arガス流量=0）の間にあればよ
い。〕、印加電力が約1.0kW 、板ガラスの搬送速度を約
113mm ／min とすることによって約12nm厚さのTiSiNx薄
膜を得た。
【００７３】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表３およ
び４に示すようになり、ガラス面反射色調がブル−色系
となり、めざす所期の居住性を高めたガラス板ではなか
った。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表３およ
び４に示すようになり、ガラス面反射色調がブル−色系
となり、めざす所期の居住性を高めたガラス板ではなか
った。
【００７４】比較例４ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表３に示すように、第１層は実施例２と同様の
Tiの金属薄膜（7nm)に変え、第２層を比較例３と同様の
SnOx薄膜を膜厚のみ70nmに変え、積層薄膜付き板ガラス
を得た。
を用い、表３に示すように、第１層は実施例２と同様の
Tiの金属薄膜（7nm)に変え、第２層を比較例３と同様の
SnOx薄膜を膜厚のみ70nmに変え、積層薄膜付き板ガラス
を得た。
【００７５】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表３およ
び４に示すようになり、ガラス面反射色調がイエロ−色
系となり、めざす所期の居住性を高めたガラス板ではな
った。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表３およ
び４に示すようになり、ガラス面反射色調がイエロ−色
系となり、めざす所期の居住性を高めたガラス板ではな
った。
【００７６】比較例５ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表３に示すように、実施例７乃至９と同様の膜
構成で膜厚のみ変え、積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表３に示すように、実施例７乃至９と同様の膜
構成で膜厚のみ変え、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００７７】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表３およ
び４に示すようになり、Tvが38.1％で透視性が悪く視認
性が不安であり、Rvg が36.8％となって反射が強くな
り、めざす所期の居住性を高めたガラス板ではなかっ
た。
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表３およ
び４に示すようになり、Tvが38.1％で透視性が悪く視認
性が不安であり、Rvg が36.8％となって反射が強くな
り、めざす所期の居住性を高めたガラス板ではなかっ
た。
【００７８】
【表３】
【００７９】
【表４】
【００８０】
【発明の効果】以上前述したように、本発明によれば、
２層でなる積層薄膜層を表面に形成したガラス板表面の
膜構成ならびにその膜厚を特定し組み合わせ、透過色調
がニュ−トラル色ならびにガラス面反射色調がブル−シ
ルバ−色乃至シルバ−色系を呈するものとしたこと、さ
らに可視光透過率ならびに可視光反射率を特定し、また
さらに表面抵抗値を特定したものとしたことにより、ガ
ラスらしさを充分発揮して意匠性をアッピールし、透明
感と存在観ならびに透視性とミラー性を発現させて断熱
性とともにバランスよく同時に満足しうるものとでき、
耐久性を備え、しかもブル−シルバ−色乃至シルバ−色
系色調のガラス面反射色でニュートラルの透過色調を呈
しかつ電波透過性を有する等、人や環境に優しく居住性
を高めたガラス板を簡単な膜構成等で安価に提供するこ
とができ、建築用窓材としてはもちろん、ビルディング
等各種の用途にその機能を発揮する、居住性と環境性に
優れたガラス板を提供するものである。
２層でなる積層薄膜層を表面に形成したガラス板表面の
膜構成ならびにその膜厚を特定し組み合わせ、透過色調
がニュ−トラル色ならびにガラス面反射色調がブル−シ
ルバ−色乃至シルバ−色系を呈するものとしたこと、さ
らに可視光透過率ならびに可視光反射率を特定し、また
さらに表面抵抗値を特定したものとしたことにより、ガ
ラスらしさを充分発揮して意匠性をアッピールし、透明
感と存在観ならびに透視性とミラー性を発現させて断熱
性とともにバランスよく同時に満足しうるものとでき、
耐久性を備え、しかもブル−シルバ−色乃至シルバ−色
系色調のガラス面反射色でニュートラルの透過色調を呈
しかつ電波透過性を有する等、人や環境に優しく居住性
を高めたガラス板を簡単な膜構成等で安価に提供するこ
とができ、建築用窓材としてはもちろん、ビルディング
等各種の用途にその機能を発揮する、居住性と環境性に
優れたガラス板を提供するものである。
【図１】本発明の居住性を高めたガラス板域の一例を、
可視光における透過率（ｔ）、反射率（ｒ）および吸収
率（ａ）で表す特性図（三角ダイヤグラム、単位：％）
において、ハッチングで示す説明図である。
可視光における透過率（ｔ）、反射率（ｒ）および吸収
率（ａ）で表す特性図（三角ダイヤグラム、単位：％）
において、ハッチングで示す説明図である。
Claims (6)
- 【請求項１】 透明なガラス板の一方の表面に、ガラス
面側から第１層目として膜厚が２nm以上10nm以下である
Ti、Cr、Ta、SUS 、NiCrの金属薄膜、またはCr、SUS 、
NiCrの窒化物薄膜、窒素酸化物薄膜のうち少なくとも１
種を選択して被膜し、該第１層の上に第２層目として膜
厚が41nm以上60nm以下であるTi、Sn、Taの酸化物薄膜の
うち少なくとも１種を選択し積層した積層膜からなり、
透過色調がニュ−トラル色であり、しかもガラス面反射
色調がブル−シルバ−色乃至シルバ−色を呈することを
特徴とする居住性を高めたガラス板。 - 【請求項２】 前記居住性を高めたガラス板の可視光透
過率が、50〜75％であることを特徴とする請求項１記載
の居住性を高めたガラス板。 - 【請求項３】 前記積層膜の表面抵抗値が、0.5KΩ／口
以上であることを特徴とする請求項１乃至２記載の居住
性を高めたガラス板。 - 【請求項４】 前記居住性を高めたガラス板において、
ガラス面側から第１層目として膜厚が２nm以上10nm以下
であるCr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜または窒素酸化物薄
膜のうち少なくとも１種を選択して被膜し、該第１層の
上に第２層目として膜厚が41nm以上60nm以下であるSn、
Taの酸化物薄膜のうち少なくとも１種を選択し積層し、
該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が20％以下であ
ることを特徴とする請求項１乃至３記載の居住性を高め
たガラス板。 - 【請求項５】 前記積層膜の表面抵抗値が、1.0kΩ／口
以上であることを特徴とする請求項１乃至４記載の居住
性を高めたガラス板。 - 【請求項６】 前記居住性を高めたガラス板が、電波透
過性を有することを特徴とする請求項１乃至５記載の居
住性を高めたガラス板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15941096A JPH107439A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 居住性を高めたガラス板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15941096A JPH107439A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 居住性を高めたガラス板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH107439A true JPH107439A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=15693156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15941096A Pending JPH107439A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 居住性を高めたガラス板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH107439A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008221557A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Ulvac Japan Ltd | 光輝性膜および光輝性膜の製造方法 |
-
1996
- 1996-06-20 JP JP15941096A patent/JPH107439A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008221557A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Ulvac Japan Ltd | 光輝性膜および光輝性膜の製造方法 |
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