JPH09255371A - 居住性を高めたガラス板 - Google Patents
居住性を高めたガラス板Info
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- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な膜構成等で、透明性とミラー性並びに
断熱性を効果的にバランスよく持たせて同時に満足し、
人や環境に優しくかつ居住性に優れ、ガラスの透過色調
がニュ−トラル系色調で、かつ淡い青緑色系乃至淡い緑
色系のガラス面反射色調を呈しかつ電波透過性を有する
ガラス板を得る。 【解決手段】 透明なガラス基板の片面に、ガラス面側
から第1層目として膜厚が5乃至70nmであるSn、Ta、Ti
の酸化物薄膜、第1層の上に第2層目として膜厚が1乃
至25nmであるTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜
又は金属薄膜、更に第2層の上に第3層目として膜厚が
5nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆
積層した積層膜からなり、ガラス面側からの反射光の可
視光線波長域での主波長が 490〜560nm でかつガラス面
側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が2〜10
%であり、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色
系のガラス面反射色調を呈し、該ガラスの透過色調がニ
ュ−トラル系色調である居住性を高めたガラス板。
断熱性を効果的にバランスよく持たせて同時に満足し、
人や環境に優しくかつ居住性に優れ、ガラスの透過色調
がニュ−トラル系色調で、かつ淡い青緑色系乃至淡い緑
色系のガラス面反射色調を呈しかつ電波透過性を有する
ガラス板を得る。 【解決手段】 透明なガラス基板の片面に、ガラス面側
から第1層目として膜厚が5乃至70nmであるSn、Ta、Ti
の酸化物薄膜、第1層の上に第2層目として膜厚が1乃
至25nmであるTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜
又は金属薄膜、更に第2層の上に第3層目として膜厚が
5nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆
積層した積層膜からなり、ガラス面側からの反射光の可
視光線波長域での主波長が 490〜560nm でかつガラス面
側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が2〜10
%であり、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色
系のガラス面反射色調を呈し、該ガラスの透過色調がニ
ュ−トラル系色調である居住性を高めたガラス板。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、簡単な3層の積層膜を
被膜し、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断熱性
をバランスよく持たせ、同時に満足しうるものとするこ
とで、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観を発
現せしめ、透視色がニュートラル系色調であって、淡い
ブル−グリーン色系乃至淡いグリーン色系のガラス面反
射色調を呈し、さらに電波透過性を有する居住性を高め
たガラス板に関し、建築用窓材としてはもちろん、ビル
ディング等各種の用途においてその機能を活かすことが
できる居住性や環境性に優れたガラス板を提供するもの
である。
被膜し、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断熱性
をバランスよく持たせ、同時に満足しうるものとするこ
とで、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観を発
現せしめ、透視色がニュートラル系色調であって、淡い
ブル−グリーン色系乃至淡いグリーン色系のガラス面反
射色調を呈し、さらに電波透過性を有する居住性を高め
たガラス板に関し、建築用窓材としてはもちろん、ビル
ディング等各種の用途においてその機能を活かすことが
できる居住性や環境性に優れたガラス板を提供するもの
である。
【0002】
【従来技術】一般に反射率を高くした高性能熱線反射ガ
ラスは数多く提案されかつ商品化されており、そのなか
で高透過率を有する赤外線反射ガラスがあり、またさら
に無反射ガラス等が知られている。
ラスは数多く提案されかつ商品化されており、そのなか
で高透過率を有する赤外線反射ガラスがあり、またさら
に無反射ガラス等が知られている。
【0003】例えば、特開昭63-190742 号公報には、熱
線反射ガラスの製法が記載されており、ガラス基板上に
第1層として酸素含有雰囲気中で10〜200 Åの厚さを有
する酸化チタン(TiO2)層を物理蒸着法により形成し、
次いで第2層として純窒素雰囲気中で窒化チタン(TiN
x,x≧1.0 )層、又は希ガス及び窒素からなる混合ガス
雰囲気中で窒化チタン(TiN )層を物理蒸着法により形
成し、更に第3層として10〜200 Åの厚さを有する酸化
チタン(TiO2)層を物理蒸着法により形成して、可視ス
ペクトル帯域で40%以下の透過率及び熱線に対する高い
反射能を有するものが開示されている。
線反射ガラスの製法が記載されており、ガラス基板上に
第1層として酸素含有雰囲気中で10〜200 Åの厚さを有
する酸化チタン(TiO2)層を物理蒸着法により形成し、
次いで第2層として純窒素雰囲気中で窒化チタン(TiN
x,x≧1.0 )層、又は希ガス及び窒素からなる混合ガス
雰囲気中で窒化チタン(TiN )層を物理蒸着法により形
成し、更に第3層として10〜200 Åの厚さを有する酸化
チタン(TiO2)層を物理蒸着法により形成して、可視ス
ペクトル帯域で40%以下の透過率及び熱線に対する高い
反射能を有するものが開示されている。
【0004】その中で,第1層のTiO2層の厚みが140 〜
180 Å、第2層のTiNx層の厚みが375 〜425 Å、第3層
のTiO2層の厚みが85〜155 Åであり、そのガラス基板側
からの反射色調がグリ−ン色を呈すること、ならびに第
1層のTiO2層の厚みが90〜130 Å、第2層のTiNx層の厚
みが380 〜420 Å、第3層のTiO2層の厚みが155 〜200
Åであり、そのガラス基板側からの反射色調がグリ−ン
色を呈することが開示されている。
180 Å、第2層のTiNx層の厚みが375 〜425 Å、第3層
のTiO2層の厚みが85〜155 Åであり、そのガラス基板側
からの反射色調がグリ−ン色を呈すること、ならびに第
1層のTiO2層の厚みが90〜130 Å、第2層のTiNx層の厚
みが380 〜420 Å、第3層のTiO2層の厚みが155 〜200
Åであり、そのガラス基板側からの反射色調がグリ−ン
色を呈することが開示されている。
【0005】また例えば、特開昭63-252944 号公報に
は、透明熱線反射板が記載されており、透明基板表面に
5〜350nm の範囲の光学的厚さで透明誘電体層を形成
し、この透明誘電体層の表面に30〜100nm の範囲の幾何
学的厚さでチッ化チタン層を形成したものが開示されて
いる。具体的には例えば、透明基板/TiO2(22nm)/TiNx
(80nm)/TiO2(84nm)の膜構成で反射光が緑〜黄緑色、可
視光透過率が13.2%となることが開示されている。
は、透明熱線反射板が記載されており、透明基板表面に
5〜350nm の範囲の光学的厚さで透明誘電体層を形成
し、この透明誘電体層の表面に30〜100nm の範囲の幾何
学的厚さでチッ化チタン層を形成したものが開示されて
いる。具体的には例えば、透明基板/TiO2(22nm)/TiNx
(80nm)/TiO2(84nm)の膜構成で反射光が緑〜黄緑色、可
視光透過率が13.2%となることが開示されている。
【0006】さらに例えば、特開平2-44046 号公報に
は、青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製
造方法が記載されており、透明な基体の一方の表面に窒
化チタン膜が形成され、該窒化チタン膜上に透明な金属
酸化物からなる被膜が形成された、該透明基体の他方の
面に於いる反射光が青色乃至緑色を呈する透明体が開示
され、金属酸化物が酸化チタン、酸化錫、酸化タンタル
等のいずれかからなることが記載されている。
は、青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製
造方法が記載されており、透明な基体の一方の表面に窒
化チタン膜が形成され、該窒化チタン膜上に透明な金属
酸化物からなる被膜が形成された、該透明基体の他方の
面に於いる反射光が青色乃至緑色を呈する透明体が開示
され、金属酸化物が酸化チタン、酸化錫、酸化タンタル
等のいずれかからなることが記載されている。
【0007】そのなかで具体的には例えば、透明基体/
TiN(30nm) /TiO2(25nm)の膜構成で可視光透過率が40
%、また透明基体/TiN(15nm) /TiO2(45nm)の膜構成で
可視光透過率が51%、いずれも被膜面と異なる面の反射
色が緑色であることが開示されている。
TiN(30nm) /TiO2(25nm)の膜構成で可視光透過率が40
%、また透明基体/TiN(15nm) /TiO2(45nm)の膜構成で
可視光透過率が51%、いずれも被膜面と異なる面の反射
色が緑色であることが開示されている。
【0008】また例えば、特開平6-305774号公報には、
熱線反射ガラスが記載されており、ガラス基板上に第1
層として窒化物、第2層として酸化物、第3層として窒
化物を順次形成し、かつ可視スペクトル帯域で40%以下
の透過率を有するものが開示されている。
熱線反射ガラスが記載されており、ガラス基板上に第1
層として窒化物、第2層として酸化物、第3層として窒
化物を順次形成し、かつ可視スペクトル帯域で40%以下
の透過率を有するものが開示されている。
【0009】そのなかで具体的には例えば、ブル−色フ
ロ−トガラス板/TiN(14nm) /TiO2(55nm)/TiN(14nm)
の膜構成により、ガラス面側がグリ−ン色の反射色調で
その反射率が19%、膜面側がニュ−トラル色の反射色調
でその反射率が29%であり、透過色調がニュ−トラル色
で透過率が31%となることが開示されている。
ロ−トガラス板/TiN(14nm) /TiO2(55nm)/TiN(14nm)
の膜構成により、ガラス面側がグリ−ン色の反射色調で
その反射率が19%、膜面側がニュ−トラル色の反射色調
でその反射率が29%であり、透過色調がニュ−トラル色
で透過率が31%となることが開示されている。
【0010】
【発明が解決しようとする問題点】上記した従来の各公
報に開示されている、例えば特開昭63-190742 号公報に
記載の熱線反射ガラスの製法では、可視スペクトル帯域
での透過率が40%以下であり、また特開昭63-252944 号
公報に記載の透明熱線反射板では、例えば前記したよう
に可視光透過率が13.2%となる等、到底可視光透過率が
例えば30%程度を超えるようなものとはならないもので
あり、いずれも本発明がめざす居住性を高めたガラス板
にするために必要な条件を満たすようなものとは到底成
し難いものである。
報に開示されている、例えば特開昭63-190742 号公報に
記載の熱線反射ガラスの製法では、可視スペクトル帯域
での透過率が40%以下であり、また特開昭63-252944 号
公報に記載の透明熱線反射板では、例えば前記したよう
に可視光透過率が13.2%となる等、到底可視光透過率が
例えば30%程度を超えるようなものとはならないもので
あり、いずれも本発明がめざす居住性を高めたガラス板
にするために必要な条件を満たすようなものとは到底成
し難いものである。
【0011】また例えば、特開平2-44046 号公報に記載
の青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製造
方法では、前記した具体例でも明らかなように、可視光
透過率がせいぜい51.2%であり到底本発明がめざす居住
性を高めたガラス板に採用できるような値には及ばない
ものであり、熱線遮蔽性を確保するためには窒化チタン
の膜厚は5nm以上必要であり、また反射色のあざやかさ
を得るためには金属酸化物の膜厚は5nm以上が有用であ
ることが記載され、金属酸化物として一つに酸化錫が挙
げてあるものの通常550nm の波長における屈折率が1.9
〜2.6 であるものが好んで用いられることが開示されて
いるのみであって、本発明がめざす居住性を高めたガラ
ス板にするために必要な条件、すなわち膜構成とその膜
厚の組み合わせが異なり、さらに可視光透過率だけでは
なく種々の光学特性をすべてみたしているものとは到底
言い難いものである。
の青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製造
方法では、前記した具体例でも明らかなように、可視光
透過率がせいぜい51.2%であり到底本発明がめざす居住
性を高めたガラス板に採用できるような値には及ばない
ものであり、熱線遮蔽性を確保するためには窒化チタン
の膜厚は5nm以上必要であり、また反射色のあざやかさ
を得るためには金属酸化物の膜厚は5nm以上が有用であ
ることが記載され、金属酸化物として一つに酸化錫が挙
げてあるものの通常550nm の波長における屈折率が1.9
〜2.6 であるものが好んで用いられることが開示されて
いるのみであって、本発明がめざす居住性を高めたガラ
ス板にするために必要な条件、すなわち膜構成とその膜
厚の組み合わせが異なり、さらに可視光透過率だけでは
なく種々の光学特性をすべてみたしているものとは到底
言い難いものである。
【0012】さらに例えば、特開平6-305774号公報に記
載の熱線反射ガラスでは、可視光透過率が40%を超えな
いものであって、到底本発明がめざす居住性を高めたガ
ラス板に採用できるような値には及ばないものであり、
低くなり過ぎて暗い色調で透視性を高めることができな
いものであり、しかも例えばガラス基板としてブル−系
の熱線吸収ガラスを用い、グリ−ン系のガラス面反射色
を呈するようにできるというものであって、本発明がめ
ざす居住性を高めたガラス板にするために必要な条件を
みたしているものとは到底言い難いものである。
載の熱線反射ガラスでは、可視光透過率が40%を超えな
いものであって、到底本発明がめざす居住性を高めたガ
ラス板に採用できるような値には及ばないものであり、
低くなり過ぎて暗い色調で透視性を高めることができな
いものであり、しかも例えばガラス基板としてブル−系
の熱線吸収ガラスを用い、グリ−ン系のガラス面反射色
を呈するようにできるというものであって、本発明がめ
ざす居住性を高めたガラス板にするために必要な条件を
みたしているものとは到底言い難いものである。
【0013】
【問題点を解決するための手段】本発明は、従来のかか
る問題点に鑑みてなしたものであって、特定した簡単な
3層の膜構成とその膜厚の組み合わせでなり、ガラス面
側からの反射光の可視光線波長域での主波長ならびに刺
激純度を特定し、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ
−ン色系のガラス面反射色調を呈しせしめ、ニュ−トラ
ル系の透過色調を有するものとしたことで、ガラスらし
さを充分発揮してアピールし、透明感と存在観、意匠性
ならびに透視性とミラー性および断熱性を発現するなか
で、バランスよい光学特性を有し、耐薬品性、耐候性あ
るいは耐摩耗性等耐久性を備え、しかもソフトな淡いブ
ル−グリ−ン色系乃至淡いグリーン色系ガラス面反射色
調を呈し、人や環境に優しく、さらに電波透過性を有す
る居住性を高めたガラス板を安価に提供することができ
るものである。
る問題点に鑑みてなしたものであって、特定した簡単な
3層の膜構成とその膜厚の組み合わせでなり、ガラス面
側からの反射光の可視光線波長域での主波長ならびに刺
激純度を特定し、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ
−ン色系のガラス面反射色調を呈しせしめ、ニュ−トラ
ル系の透過色調を有するものとしたことで、ガラスらし
さを充分発揮してアピールし、透明感と存在観、意匠性
ならびに透視性とミラー性および断熱性を発現するなか
で、バランスよい光学特性を有し、耐薬品性、耐候性あ
るいは耐摩耗性等耐久性を備え、しかもソフトな淡いブ
ル−グリ−ン色系乃至淡いグリーン色系ガラス面反射色
調を呈し、人や環境に優しく、さらに電波透過性を有す
る居住性を高めたガラス板を安価に提供することができ
るものである。
【0014】すなわち、本発明は、透明なガラス基板の
一方の表面に、ガラス面側から第1層目として膜厚が5
nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第1層
の上に第2層目として膜厚が1nm以上25nm以下であるT
i、Cr、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜または金属薄
膜、さらに第2層の上に第3層目として膜厚が5nm以上
70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆積層した
積層膜からなり、ガラス面側からの反射光の可視光線波
長域での主波長が 490〜560nm でかつガラス面側からの
反射光の可視光線波長域での刺激純度が2〜10%であ
り、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系のガ
ラス面反射色調を呈するとともに該ガラスの透過色調が
ニュ−トラル系色調であることを特徴とする居住性を高
めたガラス板。
一方の表面に、ガラス面側から第1層目として膜厚が5
nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第1層
の上に第2層目として膜厚が1nm以上25nm以下であるT
i、Cr、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜または金属薄
膜、さらに第2層の上に第3層目として膜厚が5nm以上
70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆積層した
積層膜からなり、ガラス面側からの反射光の可視光線波
長域での主波長が 490〜560nm でかつガラス面側からの
反射光の可視光線波長域での刺激純度が2〜10%であ
り、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系のガ
ラス面反射色調を呈するとともに該ガラスの透過色調が
ニュ−トラル系色調であることを特徴とする居住性を高
めたガラス板。
【0015】ならびに、前記第2層目の薄膜の膜厚が、
1nm以上10nm以下であるTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの金属
薄膜であることを特徴とする上述した居住性を高めたガ
ラス板。
1nm以上10nm以下であるTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの金属
薄膜であることを特徴とする上述した居住性を高めたガ
ラス板。
【0016】また、前記第2層目の薄膜の膜厚が、3nm
以上25nm以下であるTi、Cr、SUS 、NiCrの窒素酸化物薄
膜であることを特徴とする上述した居住性を高めたガラ
ス板。
以上25nm以下であるTi、Cr、SUS 、NiCrの窒素酸化物薄
膜であることを特徴とする上述した居住性を高めたガラ
ス板。
【0017】さらに、前記居住性を高めたガラス板にお
いて、該ガラスのガラス面側からの反射色調が淡いブル
−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調であって、
かつガラス面側からの可視光線反射率が33%以下である
ことを特徴とする上述した居住性を高めたガラス板。
いて、該ガラスのガラス面側からの反射色調が淡いブル
−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調であって、
かつガラス面側からの可視光線反射率が33%以下である
ことを特徴とする上述した居住性を高めたガラス板。
【0018】さらに、前記居住性を高めたガラス板にお
いて、該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が35%以
下であることを特徴とする上述した居住性を高めたガラ
ス板。
いて、該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が35%以
下であることを特徴とする上述した居住性を高めたガラ
ス板。
【0019】さらに、前記居住性を高めたガラス板にお
いて、該ガラスの可視光透過率が50〜75%であることを
特徴とする上述した居住性を高めたガラス板。さらに、
前記居住性を高めたガラス板において、該ガラスの日射
透過率が70%以下であることを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板。
いて、該ガラスの可視光透過率が50〜75%であることを
特徴とする上述した居住性を高めたガラス板。さらに、
前記居住性を高めたガラス板において、該ガラスの日射
透過率が70%以下であることを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板。
【0020】さらにまた、前記積層膜の表面抵抗率が、
0.5kΩ/口以上であることを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板。さらにまた、前記積層膜の表面抵
抗率が、1kΩ/口以上であることを特徴とする上述し
た居住性を高めたガラス板。
0.5kΩ/口以上であることを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板。さらにまた、前記積層膜の表面抵
抗率が、1kΩ/口以上であることを特徴とする上述し
た居住性を高めたガラス板。
【0021】またさらに、前記居住性を高めたガラス板
が、電波透過性を有することを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板を提供するものである。
が、電波透過性を有することを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板を提供するものである。
【0022】
【発明の実施の形態】ここで、透明なガラス基板の一方
の表面に、ガラス面側から第1層目として膜厚が5nm以
上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第1層の上
に第2層目として膜厚が1nm以上25nm以下であるTi、C
r、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜または金属薄膜、
さらに第2層の上に第3層目として膜厚が5nm以上70nm
以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆積層した積層
膜からなり、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域
での主波長が 490〜560nm でかつガラス面側からの反射
光の可視光線波長域での刺激純度が2〜10%であって、
淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系のガラス
面反射色調を呈するとともに該ガラスの透過色調がニュ
−トラル系色調である居住性を高めたガラス板を実施す
るにあたっては次のようにする。
の表面に、ガラス面側から第1層目として膜厚が5nm以
上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第1層の上
に第2層目として膜厚が1nm以上25nm以下であるTi、C
r、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜または金属薄膜、
さらに第2層の上に第3層目として膜厚が5nm以上70nm
以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆積層した積層
膜からなり、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域
での主波長が 490〜560nm でかつガラス面側からの反射
光の可視光線波長域での刺激純度が2〜10%であって、
淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系のガラス
面反射色調を呈するとともに該ガラスの透過色調がニュ
−トラル系色調である居住性を高めたガラス板を実施す
るにあたっては次のようにする。
【0023】先ず、透明なガラス板としては、例えば建
築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種のガラ
ス板状体等に用いられる市販のソーダライムガラスであ
る無機質ガラス板状体、ことにフロートガラスが最適で
あり、またはポリカーボネートやアクリルなどである有
機質からなる所謂ガラス板状体等であってもよく、クリ
アガラスが最もよいことはもちろんグリ−ンガラス等の
着色、紫外線や熱線吸収性ガラスでもよく、平板状ある
いは曲げ板ガラス、さらに強化ガラス、合わせガラス、
複層ガラスならびに表面処理ガラス等各種加工処理ガラ
スまたは各種用途ガラスであってもよい。また、該ガラ
ス板の形状としては、とくに限定するものではないが、
長辺と短辺でなる略四辺形でなるものが最も好ましく採
用できるものである。
築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種のガラ
ス板状体等に用いられる市販のソーダライムガラスであ
る無機質ガラス板状体、ことにフロートガラスが最適で
あり、またはポリカーボネートやアクリルなどである有
機質からなる所謂ガラス板状体等であってもよく、クリ
アガラスが最もよいことはもちろんグリ−ンガラス等の
着色、紫外線や熱線吸収性ガラスでもよく、平板状ある
いは曲げ板ガラス、さらに強化ガラス、合わせガラス、
複層ガラスならびに表面処理ガラス等各種加工処理ガラ
スまたは各種用途ガラスであってもよい。また、該ガラ
ス板の形状としては、とくに限定するものではないが、
長辺と短辺でなる略四辺形でなるものが最も好ましく採
用できるものである。
【0024】さらに、前記透明なガラス板の膜厚として
は、好ましくは約5〜19mm程度であって、例えば4mm以
下では風荷重からみてビル用の外壁材としては使用でき
ない場合が大半であり、また例えば19mmを超えるとガラ
ス内の吸収率が高くなるので透過率と反射率の両面を同
時に満足することができない等であり、より好ましい板
厚としては例えば約6〜15mm程度である。但し特に透明
ガラス板の板厚を格別限定する必要があるものでもな
い。
は、好ましくは約5〜19mm程度であって、例えば4mm以
下では風荷重からみてビル用の外壁材としては使用でき
ない場合が大半であり、また例えば19mmを超えるとガラ
ス内の吸収率が高くなるので透過率と反射率の両面を同
時に満足することができない等であり、より好ましい板
厚としては例えば約6〜15mm程度である。但し特に透明
ガラス板の板厚を格別限定する必要があるものでもな
い。
【0025】また、前記表面に薄膜層を形成したガラス
基板において、薄膜層がガラス面側から第1層目として
膜厚が5nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄
膜、第1層の上に第2層目として膜厚が1nm以上25nm以
下であるTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜また
は金属薄膜、さらに第2層の上に第3層目として膜厚が
5nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆
積層した積層膜からなるものとしたのは、先ずSnOx(1
<x≦2)薄膜については、TiNxOy、CrNxOy、SUSNxOy
あるいはNiCrNxOyの薄膜ないしはTi、Cr、SUS 、Ta、Ni
Crの金属薄膜の下地膜ならびに保護膜となって、ガラス
面との密着力を高め、積層膜の膜強度を増大して耐久性
を高めしかも干渉現象により淡いブル−グリ−ン色系乃
至淡いグリ−ン色系色調、特に淡いグリ−ン系色を発現
するために有用であって、居住性の一つとしてガラス面
側からの可視光反射率が33%以下、好ましくは約32%以
下という低反射性能が必要なため、酸化物薄膜/断熱薄
膜/酸化物薄膜の構成のなかでTiOx薄膜と比較してガラ
ス面側からの可視光反射率に影響が少なく、しかも他の
酸化物薄膜に比べて成膜速度が速く生産性に優れかつ色
調ムラが発現しにくく、コスト低減を計ることができる
等のため、第1層目ならびに第3層目に選んだ。
基板において、薄膜層がガラス面側から第1層目として
膜厚が5nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄
膜、第1層の上に第2層目として膜厚が1nm以上25nm以
下であるTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜また
は金属薄膜、さらに第2層の上に第3層目として膜厚が
5nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆
積層した積層膜からなるものとしたのは、先ずSnOx(1
<x≦2)薄膜については、TiNxOy、CrNxOy、SUSNxOy
あるいはNiCrNxOyの薄膜ないしはTi、Cr、SUS 、Ta、Ni
Crの金属薄膜の下地膜ならびに保護膜となって、ガラス
面との密着力を高め、積層膜の膜強度を増大して耐久性
を高めしかも干渉現象により淡いブル−グリ−ン色系乃
至淡いグリ−ン色系色調、特に淡いグリ−ン系色を発現
するために有用であって、居住性の一つとしてガラス面
側からの可視光反射率が33%以下、好ましくは約32%以
下という低反射性能が必要なため、酸化物薄膜/断熱薄
膜/酸化物薄膜の構成のなかでTiOx薄膜と比較してガラ
ス面側からの可視光反射率に影響が少なく、しかも他の
酸化物薄膜に比べて成膜速度が速く生産性に優れかつ色
調ムラが発現しにくく、コスト低減を計ることができる
等のため、第1層目ならびに第3層目に選んだ。
【0026】つぎにTiOx(1<x≦2)薄膜について
は、第2層目の薄膜の下地膜ならびに保護膜となって耐
久性を高めしかも干渉膜として有用であって、淡いブル
−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系色調、特に淡いグ
リ−ン色系色調に対しては必要であるため、第1層目な
らびに第3層目に選び。
は、第2層目の薄膜の下地膜ならびに保護膜となって耐
久性を高めしかも干渉膜として有用であって、淡いブル
−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系色調、特に淡いグ
リ−ン色系色調に対しては必要であるため、第1層目な
らびに第3層目に選び。
【0027】つぎにTaOx(1<x≦5/2 )薄膜について
は、第2層目の薄膜の下地膜ならびに保護膜となって耐
久性を高めしかも干渉膜として有用であって、淡いブル
−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系色調、特に淡いグ
リ−ン色系色調に対しては必要なことはもちろん、特に
耐摩耗性を高めるのに優れている等のため、第1層目な
らびに第3層目に選び。
は、第2層目の薄膜の下地膜ならびに保護膜となって耐
久性を高めしかも干渉膜として有用であって、淡いブル
−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系色調、特に淡いグ
リ−ン色系色調に対しては必要なことはもちろん、特に
耐摩耗性を高めるのに優れている等のため、第1層目な
らびに第3層目に選び。
【0028】また、前記膜厚が1nm以上25nm以下である
Ti、Cr、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜または金属薄
膜を中間層である第2層目として被膜したのは、先ずT
i、Cr、SUS 、Ta、NiCrの金属(スパッタ時にArガスを
使用)薄膜については、膜厚として1nm以上10nm以下程
度が好ましく、より好ましくは1nm以上7nm以下程度の
ものであり、また可視光透過率として前記50〜75%、好
ましくは約55〜72%程度の値を確保し、淡いブル−グリ
−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調とするなかで、電
波透過性を有するものとし、第1と3層目の特定の酸化
物薄膜で包み込むように被覆被膜して、ガラス面側から
の可視光線反射率が33%以下、好ましくは約30%以下程
度、かつ膜面側からの可視光線反射率が35%以下、好ま
しくは約33%以下程度であり、さらに日射透過率が70%
以下、好ましくは約68%以下程度でかつガラス面側から
の可視光線波長域での刺激純度が2〜10%であるものと
成し得るため、第2層目に選び。
Ti、Cr、SUS 、Ta、NiCrの窒素酸化物薄膜または金属薄
膜を中間層である第2層目として被膜したのは、先ずT
i、Cr、SUS 、Ta、NiCrの金属(スパッタ時にArガスを
使用)薄膜については、膜厚として1nm以上10nm以下程
度が好ましく、より好ましくは1nm以上7nm以下程度の
ものであり、また可視光透過率として前記50〜75%、好
ましくは約55〜72%程度の値を確保し、淡いブル−グリ
−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調とするなかで、電
波透過性を有するものとし、第1と3層目の特定の酸化
物薄膜で包み込むように被覆被膜して、ガラス面側から
の可視光線反射率が33%以下、好ましくは約30%以下程
度、かつ膜面側からの可視光線反射率が35%以下、好ま
しくは約33%以下程度であり、さらに日射透過率が70%
以下、好ましくは約68%以下程度でかつガラス面側から
の可視光線波長域での刺激純度が2〜10%であるものと
成し得るため、第2層目に選び。
【0029】次に、前記膜厚が1nm以上25nm以下である
Ti、Cr、SUS 、NiCrの窒素酸化物薄膜としたのは、膜厚
として3nm以上25nm以下程度が好ましく、より好ましく
は4nm以上24nm以下程度のものであり、例えばTiNxOy
〔xとyについては、スパッタ時のArガスとN2ガスの流
量比で決まる。該流量比はO2/(O2+N2) の値が0.001 〜
0.05の範囲であればよい。また必要に応じて得られたTi
NxOy薄膜の表面抵抗値が1kΩ/口以上であれば成膜速度
を高くするため、あるいはTiNxOy薄膜の光学定数(n=屈
折率、k=消衰係数)を制御することを目的としてArガス
を導入してもよい。〕薄膜については、上記金属薄膜と
同様であって、なかでも可視光透過率を確保するなか
で、熱線吸収ガラス程度の熱的性能である日射透過率70
%以下、好ましくは約68%以下程度を確保しつつ、淡い
ブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調等のほ
か他の光学特性についても例えば熱線反射ガラスの可視
光反射率までにはいたらないものとでき、断熱性能等を
有する機能性膜として量産に適しているため、第2層目
に選び。
Ti、Cr、SUS 、NiCrの窒素酸化物薄膜としたのは、膜厚
として3nm以上25nm以下程度が好ましく、より好ましく
は4nm以上24nm以下程度のものであり、例えばTiNxOy
〔xとyについては、スパッタ時のArガスとN2ガスの流
量比で決まる。該流量比はO2/(O2+N2) の値が0.001 〜
0.05の範囲であればよい。また必要に応じて得られたTi
NxOy薄膜の表面抵抗値が1kΩ/口以上であれば成膜速度
を高くするため、あるいはTiNxOy薄膜の光学定数(n=屈
折率、k=消衰係数)を制御することを目的としてArガス
を導入してもよい。〕薄膜については、上記金属薄膜と
同様であって、なかでも可視光透過率を確保するなか
で、熱線吸収ガラス程度の熱的性能である日射透過率70
%以下、好ましくは約68%以下程度を確保しつつ、淡い
ブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調等のほ
か他の光学特性についても例えば熱線反射ガラスの可視
光反射率までにはいたらないものとでき、断熱性能等を
有する機能性膜として量産に適しているため、第2層目
に選び。
【0030】また、例えばCrNxOy〔xとyについては、
スパッタ時のArガスとN2ガスの流量比で決まる。該流量
比はO2/(O2+N2) の値が0.001 〜0.05の範囲であればよ
い。また必要に応じて得られたCrNxOy薄膜の表面抵抗値
が1kΩ/口以上であれば成膜速度を高くするため、ある
いはCrNxOy薄膜の光学定数(n=屈折率、k=消衰係数)を
制御することを目的としてArガスを導入してもよい。〕
薄膜については、上記金属薄膜と同様であって、なかで
も可視光透過率50%以上を確保し、淡いブル−グリ−ン
色系乃至淡いグリ−ン色系の色調とするなかで、熱線吸
収ガラス程度の熱的性能である日射透過率70%以下、好
ましくは約65%以下程度を確保しつつ、他の光学特性に
ついても例えば熱線反射ガラスの可視光反射率までには
いたらないものとでき、断熱性能等を有する機能性膜と
して量産に適しているため、第2層目に選び。
スパッタ時のArガスとN2ガスの流量比で決まる。該流量
比はO2/(O2+N2) の値が0.001 〜0.05の範囲であればよ
い。また必要に応じて得られたCrNxOy薄膜の表面抵抗値
が1kΩ/口以上であれば成膜速度を高くするため、ある
いはCrNxOy薄膜の光学定数(n=屈折率、k=消衰係数)を
制御することを目的としてArガスを導入してもよい。〕
薄膜については、上記金属薄膜と同様であって、なかで
も可視光透過率50%以上を確保し、淡いブル−グリ−ン
色系乃至淡いグリ−ン色系の色調とするなかで、熱線吸
収ガラス程度の熱的性能である日射透過率70%以下、好
ましくは約65%以下程度を確保しつつ、他の光学特性に
ついても例えば熱線反射ガラスの可視光反射率までには
いたらないものとでき、断熱性能等を有する機能性膜と
して量産に適しているため、第2層目に選び。
【0031】またさらに、例えばSUSNxOy またはNiCrNx
Oy〔xとyについては、スパッタ時のArガスとN2ガスの
流量比で決まる。該流量比はO2/(O2+N2) の値が0.001
〜0.05の範囲であればよい。また必要に応じて得られた
SUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜の表面抵抗値が1kΩ/口以
上であれば成膜速度を高くするため、あるいはSUSNxOy
またはNiCrNxOy薄膜の光学定数(n=屈折率、k=消衰係
数)を制御することを目的としてArガスを導入してもよ
い。〕薄膜については、上記金属薄膜と同様であって、
なかでも可視光透過率を確保するなかで、熱線吸収ガラ
ス程度の熱的性能である日射透過率70%以下、好ましく
は約69%以下程度を確保しつつ、淡いブル−グリ−ン色
系乃至淡いグリ−ン色系の色調等のほか、他の光学特性
についても例えば熱線反射ガラスの可視光反射率までに
はいたらないものとでき、断熱性能等を有する機能性膜
として量産に適しているため、第2層目に選び。
Oy〔xとyについては、スパッタ時のArガスとN2ガスの
流量比で決まる。該流量比はO2/(O2+N2) の値が0.001
〜0.05の範囲であればよい。また必要に応じて得られた
SUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜の表面抵抗値が1kΩ/口以
上であれば成膜速度を高くするため、あるいはSUSNxOy
またはNiCrNxOy薄膜の光学定数(n=屈折率、k=消衰係
数)を制御することを目的としてArガスを導入してもよ
い。〕薄膜については、上記金属薄膜と同様であって、
なかでも可視光透過率を確保するなかで、熱線吸収ガラ
ス程度の熱的性能である日射透過率70%以下、好ましく
は約69%以下程度を確保しつつ、淡いブル−グリ−ン色
系乃至淡いグリ−ン色系の色調等のほか、他の光学特性
についても例えば熱線反射ガラスの可視光反射率までに
はいたらないものとでき、断熱性能等を有する機能性膜
として量産に適しているため、第2層目に選び。
【0032】また、中間膜とする前記TiNxOyまたはCrNx
Oy、あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜層の膜厚を3
nm以上25nm以下とし、包み込むように被覆被膜する前記
SnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚を5nm以上70
nm以下としたのは、TiNxOyまたはCrNxOy、あるいはSUSN
xOy またはNiCrNxOy薄膜層の膜厚を3nm未満でSnOxまた
はTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚を5nm未満であれば、
例えば可視光透過率が75%を超え透視性が強くなってし
まい、かつ下地膜や保護膜としての機能が充分ではなく
なり、熱的性能である日射透過率が70%を超えて断熱性
を満足するものでなくなり、またTiNxOyまたはCrNxOy、
あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜層の膜厚が25nmを
超えかつSnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚が70
nmを超えるものであれば、例えば可視光透過率が低くな
り、可視光反射率も高くなり過ぎ、また淡いブル−グリ
−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調が発現しなくな
り、例えばガラス面反射色調がイエロ−またはゴ−ルド
またはシルバ−色系となり、到底居住性を高めたガラス
板とは言えないものとなるためである。好ましくはTiNx
OyまたはCrNxOy、あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜
層の膜厚が約4nm以上24nm以下程度とし、SnOxまたはTi
OxまたはTaOxの薄膜層の膜厚が約10nm以上60nm以下程度
とすることである。
Oy、あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜層の膜厚を3
nm以上25nm以下とし、包み込むように被覆被膜する前記
SnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚を5nm以上70
nm以下としたのは、TiNxOyまたはCrNxOy、あるいはSUSN
xOy またはNiCrNxOy薄膜層の膜厚を3nm未満でSnOxまた
はTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚を5nm未満であれば、
例えば可視光透過率が75%を超え透視性が強くなってし
まい、かつ下地膜や保護膜としての機能が充分ではなく
なり、熱的性能である日射透過率が70%を超えて断熱性
を満足するものでなくなり、またTiNxOyまたはCrNxOy、
あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜層の膜厚が25nmを
超えかつSnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚が70
nmを超えるものであれば、例えば可視光透過率が低くな
り、可視光反射率も高くなり過ぎ、また淡いブル−グリ
−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調が発現しなくな
り、例えばガラス面反射色調がイエロ−またはゴ−ルド
またはシルバ−色系となり、到底居住性を高めたガラス
板とは言えないものとなるためである。好ましくはTiNx
OyまたはCrNxOy、あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜
層の膜厚が約4nm以上24nm以下程度とし、SnOxまたはTi
OxまたはTaOxの薄膜層の膜厚が約10nm以上60nm以下程度
とすることである。
【0033】さらにまた、中間膜とする前記Ti、Cr、SU
S 、TaまたはNiCrの金属薄膜層の膜厚を1nm以上10nm以
下とし、包み込むように被覆被膜する前記SnOxまたはTi
OxまたはTaOxの薄膜層の膜厚を5nm以上70nm以下とした
のは、Ti、Cr、SUS 、TaまたはNiCrの金属薄膜層の膜厚
を1nm未満でSnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚
を5nm未満であれば、例えば可視光透過率が75%を超え
透視性が強くなってしまい、熱的性能である日射透過率
が70%を超えて断熱性を満足するものでなくなり、また
Ti、Cr、SUS 、TaまたはNiCrの金属薄膜層の膜厚が10nm
を超えかつSnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚が
70nmを超えるものであれば、例えば可視光透過率が低く
なり、可視光反射率も高くなり過ぎ、到底居住性を高め
たガラス板とは言えないものとなるためである。好まし
くはTi、Cr、SUS 、TaまたはNiCrの金属薄膜層の膜厚が
約1nm以上7nm以下程度とし、SnOxまたはTiOxまたはTa
Oxの薄膜層の膜厚が約7nm以上60nm以下程度とすること
である。
S 、TaまたはNiCrの金属薄膜層の膜厚を1nm以上10nm以
下とし、包み込むように被覆被膜する前記SnOxまたはTi
OxまたはTaOxの薄膜層の膜厚を5nm以上70nm以下とした
のは、Ti、Cr、SUS 、TaまたはNiCrの金属薄膜層の膜厚
を1nm未満でSnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚
を5nm未満であれば、例えば可視光透過率が75%を超え
透視性が強くなってしまい、熱的性能である日射透過率
が70%を超えて断熱性を満足するものでなくなり、また
Ti、Cr、SUS 、TaまたはNiCrの金属薄膜層の膜厚が10nm
を超えかつSnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜層の膜厚が
70nmを超えるものであれば、例えば可視光透過率が低く
なり、可視光反射率も高くなり過ぎ、到底居住性を高め
たガラス板とは言えないものとなるためである。好まし
くはTi、Cr、SUS 、TaまたはNiCrの金属薄膜層の膜厚が
約1nm以上7nm以下程度とし、SnOxまたはTiOxまたはTa
Oxの薄膜層の膜厚が約7nm以上60nm以下程度とすること
である。
【0034】さらに、前記薄膜の積層膜が、前記Ti、C
r、SUS 、Ta、NiCrの金属薄膜、もしくは前記TiNxOyま
たはCrNxOy、あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜を、
前記SnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜で挟み込むよう適
宜組み合わせ、ガラス面側からの反射光の可視光線波長
域での主波長を490 〜560nm としかつその刺激純度を2
〜10%としたのは、淡い上品なブル−グリ−ン色乃至グ
リーン色がかった色合いを呈するためであり、主波長が
490nm 未満では淡いブル−グリ−ン色系ガラス面反射色
調が発現し難く、主波長560nm を超えるとイエロ−色系
のガラス面反射色調を呈するように次第になり、淡いブ
ル−グリ−ン色系乃至グリ−ン色系ガラス面反射色調が
発現し難い。さらに刺激純度が2%未満または10%を超
えると所期の淡い上品なガラス面反射色調を得ることが
困難である。該値の範囲内であればデザイン的にも所期
の可視光反射性を有してミラー効果を適当にもたらすよ
うにでき、ギラツキ感が発現し難く、透明感が有り、違
和感が生じ難く、人や環境に優しいものとなるためであ
る。
r、SUS 、Ta、NiCrの金属薄膜、もしくは前記TiNxOyま
たはCrNxOy、あるいはSUSNxOy またはNiCrNxOy薄膜を、
前記SnOxまたはTiOxまたはTaOxの薄膜で挟み込むよう適
宜組み合わせ、ガラス面側からの反射光の可視光線波長
域での主波長を490 〜560nm としかつその刺激純度を2
〜10%としたのは、淡い上品なブル−グリ−ン色乃至グ
リーン色がかった色合いを呈するためであり、主波長が
490nm 未満では淡いブル−グリ−ン色系ガラス面反射色
調が発現し難く、主波長560nm を超えるとイエロ−色系
のガラス面反射色調を呈するように次第になり、淡いブ
ル−グリ−ン色系乃至グリ−ン色系ガラス面反射色調が
発現し難い。さらに刺激純度が2%未満または10%を超
えると所期の淡い上品なガラス面反射色調を得ることが
困難である。該値の範囲内であればデザイン的にも所期
の可視光反射性を有してミラー効果を適当にもたらすよ
うにでき、ギラツキ感が発現し難く、透明感が有り、違
和感が生じ難く、人や環境に優しいものとなるためであ
る。
【0035】さらに、ガラス面側の可視光反射率を33%
以下であるものとしまたは/および膜面側の可視光反射
率を35%以下であるものとしたのは、該両者の値を超え
るとミラ−効果が発現し過ぎ、環境や人に優しいものと
は言い難く、不快感をもたらすようになるためである。
例えば好ましくは、ガラス面側の可視光反射率が約30%
以下程度、膜面側の可視光反射率が約33%以下程度であ
る。
以下であるものとしまたは/および膜面側の可視光反射
率を35%以下であるものとしたのは、該両者の値を超え
るとミラ−効果が発現し過ぎ、環境や人に優しいものと
は言い難く、不快感をもたらすようになるためである。
例えば好ましくは、ガラス面側の可視光反射率が約30%
以下程度、膜面側の可視光反射率が約33%以下程度であ
る。
【0036】さらにまた、可視光透過率を50〜75%の範
囲であるものとしたのは、この範囲内の値にある場合に
おいて、最も適度の透視性や視認性を有するものとなる
ためであり、さらにまた、日射透過率を70%以下である
ものとしたのは、充分な断熱性を併せて付与することで
より多機能性を有するものとすることができるためであ
る。例えば好ましくは、可視光透過率が約52〜71%程
度、日射透過率が約68%以下程度である。
囲であるものとしたのは、この範囲内の値にある場合に
おいて、最も適度の透視性や視認性を有するものとなる
ためであり、さらにまた、日射透過率を70%以下である
ものとしたのは、充分な断熱性を併せて付与することで
より多機能性を有するものとすることができるためであ
る。例えば好ましくは、可視光透過率が約52〜71%程
度、日射透過率が約68%以下程度である。
【0037】一般に光学的特性は、図1の特性図に示す
ように、透過率(t)、反射率(r)、吸収率(a)の
組み合わせであり、そのバランスにより異なる面もある
が、上述の範囲内(例えば、一例として図1のハッチン
グ部)にあれば、透過性と反射性すなわちミラー性なら
びに断熱性が同時にバランスよく、人や環境に優しいも
のとなってより居住性を満足せしめることができる。
ように、透過率(t)、反射率(r)、吸収率(a)の
組み合わせであり、そのバランスにより異なる面もある
が、上述の範囲内(例えば、一例として図1のハッチン
グ部)にあれば、透過性と反射性すなわちミラー性なら
びに断熱性が同時にバランスよく、人や環境に優しいも
のとなってより居住性を満足せしめることができる。
【0038】またさらに、電波透過性を有するガラス板
としたのは、積層膜の表面抵抗率が0.5kΩ/口以上、
ことに1kΩ/口以上であれば、ビル用窓ガラス等では
充分電波透過性を有し、仮に例えば電波反射型であると
周辺の住民にTVにゴースト現象等の所謂電波障害を発
生させ、環境に優しいものとは言い難く、結局居住性を
高めたガラス板でなくなるためである。
としたのは、積層膜の表面抵抗率が0.5kΩ/口以上、
ことに1kΩ/口以上であれば、ビル用窓ガラス等では
充分電波透過性を有し、仮に例えば電波反射型であると
周辺の住民にTVにゴースト現象等の所謂電波障害を発
生させ、環境に優しいものとは言い難く、結局居住性を
高めたガラス板でなくなるためである。
【0039】前述したように、本発明の居住性を高めた
ガラス板によれば、積層薄膜付きガラスでありながら、
例えば図1の特性図〔可視光における透過率(t)、反
射率(r)、吸収率(a)で表す三角ダイヤグラム(単
位:%)〕において、居住性を高めたガラス板域の一例
をハッチングで示すように、クリアガラスの優れた特性
と熱線反射ガラスの特性とを活かしつつ、熱線吸収ガラ
スに匹敵する特性を発現せしめるようにし、ガラスらし
さを充分発揮して意匠性をアピールし、透明感と存在観
ならびに透視性とミラー性を発現するなかで、断熱性を
も含めバランスよい光学特性を有し同時に満足しうるも
のとなし、耐薬品性、耐候性あるいは耐摩耗性等耐久性
を備え、しかも淡いブル−グリーン色系乃至淡いグリー
ン色系のガラス面反射色調を呈しかつ透過色調をニュ−
トラルとなりさらに電波透過性を有する居住性を高めた
ガラス板を簡単な膜構成等で安価に提供することがで
き、例えば中庭において、ビルディング内の中庭を大き
く見せることができるミラー性、室内から外の景色をよ
く見えるようにする透視性を同時に達成でき、さらに例
えば省エネルギー効果を持ちながらホテル等での室内か
らの夜景を楽しむという、人や環境に快適でかつ最適な
るものとすることができる。
ガラス板によれば、積層薄膜付きガラスでありながら、
例えば図1の特性図〔可視光における透過率(t)、反
射率(r)、吸収率(a)で表す三角ダイヤグラム(単
位:%)〕において、居住性を高めたガラス板域の一例
をハッチングで示すように、クリアガラスの優れた特性
と熱線反射ガラスの特性とを活かしつつ、熱線吸収ガラ
スに匹敵する特性を発現せしめるようにし、ガラスらし
さを充分発揮して意匠性をアピールし、透明感と存在観
ならびに透視性とミラー性を発現するなかで、断熱性を
も含めバランスよい光学特性を有し同時に満足しうるも
のとなし、耐薬品性、耐候性あるいは耐摩耗性等耐久性
を備え、しかも淡いブル−グリーン色系乃至淡いグリー
ン色系のガラス面反射色調を呈しかつ透過色調をニュ−
トラルとなりさらに電波透過性を有する居住性を高めた
ガラス板を簡単な膜構成等で安価に提供することがで
き、例えば中庭において、ビルディング内の中庭を大き
く見せることができるミラー性、室内から外の景色をよ
く見えるようにする透視性を同時に達成でき、さらに例
えば省エネルギー効果を持ちながらホテル等での室内か
らの夜景を楽しむという、人や環境に快適でかつ最適な
るものとすることができる。
【0040】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
【0041】実施例1 大きさ約300 mm×300mm 、厚さ約6mmのフロートクリア
ガラス(6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコ
ールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッ
タリング装置の真空槽内にセットしてあるTaとSUS のタ
ーゲットに対向して上方を往復できるようセットし、次
に前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまでに脱気し
た後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、ArガスとO2
ガスのガス流量比はO2/(Ar+O2) の値が0.5 〜1.0 (な
お、該1.0 の値の際はArガス流量が零である)の範囲で
あればよい。〕を導入して真空度を約2×10-3Torrに保
持し、前記Taのターゲットに約2.0kw の電力を印加し、
前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中
を、前記Taのターゲット上方においてスピード約130mm
/min で前記板ガラスを搬送することによって約10nm厚
さのTaOx(1<x≦5/2 )薄膜を第1層として成膜し
た。成膜が完了した後、Taターゲットへの印加を停止し
た。
ガラス(6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコ
ールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッ
タリング装置の真空槽内にセットしてあるTaとSUS のタ
ーゲットに対向して上方を往復できるようセットし、次
に前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまでに脱気し
た後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、ArガスとO2
ガスのガス流量比はO2/(Ar+O2) の値が0.5 〜1.0 (な
お、該1.0 の値の際はArガス流量が零である)の範囲で
あればよい。〕を導入して真空度を約2×10-3Torrに保
持し、前記Taのターゲットに約2.0kw の電力を印加し、
前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中
を、前記Taのターゲット上方においてスピード約130mm
/min で前記板ガラスを搬送することによって約10nm厚
さのTaOx(1<x≦5/2 )薄膜を第1層として成膜し
た。成膜が完了した後、Taターゲットへの印加を停止し
た。
【0042】次いで、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にArガスを導入して真空度を
約2×10-3Torrに保持し、前記SUS のターゲットに約0.
12kwの電力を印加し、前記ArガスによるDCマグネトロン
反応スパッタの中を、前記SUS のターゲット上方におい
てスピード約725mm /min で前記板ガラスを搬送するこ
とによって前記板ガラスのTaOx薄膜表面上に約2nm厚さ
のSUS の金属薄膜を第2層として積層成膜した。成膜が
完了した後、SUS ターゲットへの印加を停止した。
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にArガスを導入して真空度を
約2×10-3Torrに保持し、前記SUS のターゲットに約0.
12kwの電力を印加し、前記ArガスによるDCマグネトロン
反応スパッタの中を、前記SUS のターゲット上方におい
てスピード約725mm /min で前記板ガラスを搬送するこ
とによって前記板ガラスのTaOx薄膜表面上に約2nm厚さ
のSUS の金属薄膜を第2層として積層成膜した。成膜が
完了した後、SUS ターゲットへの印加を停止した。
【0043】続いて、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとO2ガスのガス流量比はO2/(Ar+O2) の値が0.5 〜
1.0 (なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である)
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約2×10 -3
Torrに保持し、前記Taのターゲットに約2.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Taのターゲット上方においてスピード約
21.7mm/min で前記板ガラスを搬送することによって約
60nm厚さのTaOx(1<x≦5/2 )薄膜を第3層として成
膜した。成膜が完了した後、Taターゲットへの印加を停
止した。
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとO2ガスのガス流量比はO2/(Ar+O2) の値が0.5 〜
1.0 (なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である)
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約2×10 -3
Torrに保持し、前記Taのターゲットに約2.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Taのターゲット上方においてスピード約
21.7mm/min で前記板ガラスを搬送することによって約
60nm厚さのTaOx(1<x≦5/2 )薄膜を第3層として成
膜した。成膜が完了した後、Taターゲットへの印加を停
止した。
【0044】得られた3層でなる積層薄膜付き板ガラス
について、可視光透過率(Tv:380〜780nm )、可視光
反射率(Rv:380 〜780nm )、可視光反射率差、刺激純
度(Pv:380 〜780nm )ならびに日射透過率(Ts:340
〜1800nm)と日射反射率(Rs:340 〜1800nm)等につい
ては340 型自記分光光度計(日立製作所製)により測定
し、所定の波長毎の透過率、反射率の各データとJIS Z
8722、JIS R 3106によってそれぞれその光学的特性(光
源:D65 2°視野)を求め、その一部を表1、2および
3に可視光透過率、可視光反射率、可視光反射率差、日
射透過率および主波長、刺激純度等について示した。
について、可視光透過率(Tv:380〜780nm )、可視光
反射率(Rv:380 〜780nm )、可視光反射率差、刺激純
度(Pv:380 〜780nm )ならびに日射透過率(Ts:340
〜1800nm)と日射反射率(Rs:340 〜1800nm)等につい
ては340 型自記分光光度計(日立製作所製)により測定
し、所定の波長毎の透過率、反射率の各データとJIS Z
8722、JIS R 3106によってそれぞれその光学的特性(光
源:D65 2°視野)を求め、その一部を表1、2および
3に可視光透過率、可視光反射率、可視光反射率差、日
射透過率および主波長、刺激純度等について示した。
【0045】また、表面抵抗率については、105 Ω/口
以下のものは四探針抵抗測定装置RT-8(NAPSON社製)、
105 Ω/口〜105 MΩ/口のものは表面高抵抗計HIREST
A HT-210(三菱油化社製)によって測定し、1.0 kΩ/
口以上、好ましくは1.5 kΩ/口以上であるものを電波
透過性を有するものとして○印をした。
以下のものは四探針抵抗測定装置RT-8(NAPSON社製)、
105 Ω/口〜105 MΩ/口のものは表面高抵抗計HIREST
A HT-210(三菱油化社製)によって測定し、1.0 kΩ/
口以上、好ましくは1.5 kΩ/口以上であるものを電波
透過性を有するものとして○印をした。
【0046】さらに、生産性等を加味したコスト上良好
なもの、および上述した各特性ならびに外観上等から所
期の居住性を高めたガラス板となったものを総合的な評
価をした。
なもの、および上述した各特性ならびに外観上等から所
期の居住性を高めたガラス板となったものを総合的な評
価をした。
【0047】その結果、G(ガラス) /TaOx(10nm)/SU
S (2nm)/TaOx(60nm)と3層膜の構成でなる積層薄
膜付き板ガラスは、表1、表2および表3に示すよう
に、可視光透過率(Tv)が68.6%、ガラス面側からの可
視光反射率(Rg)が23.5%、膜面側からの可視光反射率
(Rf)が17.9%、ガラス面と膜面の可視光反射率差(△
Rv)が5.6 %であって、可視光透過の主波長が488.5nm
、可視光透過の刺激純度も1.0 %でかつガラス面から
の可視光反射の主波長が535.3nm 、可視光反射の刺激純
度も2.2 %であり、ガラス面側からの反射色調が淡いグ
リ−ン色系で、かつ透過の色調はニュ−トラル色系であ
って、透明性とミラー効果をバランスよく持ち、人や環
境に対して優しく、しかも日射透過率(Ts)が64.5%で
ある等断熱性を持ち、例えば冷房負荷軽減効果も大き
く、さらに優れた電波透過性でもあり、所期の居住性を
高めたガラス板であった。
S (2nm)/TaOx(60nm)と3層膜の構成でなる積層薄
膜付き板ガラスは、表1、表2および表3に示すよう
に、可視光透過率(Tv)が68.6%、ガラス面側からの可
視光反射率(Rg)が23.5%、膜面側からの可視光反射率
(Rf)が17.9%、ガラス面と膜面の可視光反射率差(△
Rv)が5.6 %であって、可視光透過の主波長が488.5nm
、可視光透過の刺激純度も1.0 %でかつガラス面から
の可視光反射の主波長が535.3nm 、可視光反射の刺激純
度も2.2 %であり、ガラス面側からの反射色調が淡いグ
リ−ン色系で、かつ透過の色調はニュ−トラル色系であ
って、透明性とミラー効果をバランスよく持ち、人や環
境に対して優しく、しかも日射透過率(Ts)が64.5%で
ある等断熱性を持ち、例えば冷房負荷軽減効果も大き
く、さらに優れた電波透過性でもあり、所期の居住性を
高めたガラス板であった。
【0048】実施例2〜3 実施例1と同様に厚さ6mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、実施例1と同様の膜構成であって、膜厚のみ表
1に示すような値に変化させ、積層薄膜付き板ガラスを
得た。
を用い、実施例1と同様の膜構成であって、膜厚のみ表
1に示すような値に変化させ、積層薄膜付き板ガラスを
得た。
【0049】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表1、2
および3に示すようになり、実施例1と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、ガラス面反射色調が淡いブル−グリ−ン色系で
透過色調がニュ−トラル色系の各色調、電波透過性も含
めいずれもめざす範囲内にあり、めざす所期の居住性を
高めたガラス板であった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表1、2
および3に示すようになり、実施例1と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、ガラス面反射色調が淡いブル−グリ−ン色系で
透過色調がニュ−トラル色系の各色調、電波透過性も含
めいずれもめざす範囲内にあり、めざす所期の居住性を
高めたガラス板であった。
【0050】実施例4 実施例1と同様に厚さ6mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表1に示すように、実施例1に対し膜構成なら
びに膜厚を変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表1に示すように、実施例1に対し膜構成なら
びに膜厚を変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【0051】すなわち、DCマグネトロンスパッタリング
装置の真空槽内にセットしてあるSnとCrのターゲットに
対向して上方を往復できるようセットし、次に前記槽内
を真空ポンプで約5×10-6Torrまでに脱気した後、該真
空槽内にO2ガスとArガス〔但し、ArガスとO2ガスのガス
流量比はO2/(Ar+O2) の値が0.5 〜1.0 (なお、該1.0
の値の際はArガス流量が零である)の範囲であればよ
い。〕を導入して真空度を約2×10-3Torrに保持し、前
記Snのターゲットに約1.0kw の電力を印加し、前記混合
ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、前記Sn
のターゲット上方においてスピード約107mm /min で前
記板ガラスを搬送することによって約40nm厚さのSnOx
(1<x≦2)薄膜を第1層として成膜した。成膜が完
了した後、Snターゲットへの印加を停止した。
装置の真空槽内にセットしてあるSnとCrのターゲットに
対向して上方を往復できるようセットし、次に前記槽内
を真空ポンプで約5×10-6Torrまでに脱気した後、該真
空槽内にO2ガスとArガス〔但し、ArガスとO2ガスのガス
流量比はO2/(Ar+O2) の値が0.5 〜1.0 (なお、該1.0
の値の際はArガス流量が零である)の範囲であればよ
い。〕を導入して真空度を約2×10-3Torrに保持し、前
記Snのターゲットに約1.0kw の電力を印加し、前記混合
ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、前記Sn
のターゲット上方においてスピード約107mm /min で前
記板ガラスを搬送することによって約40nm厚さのSnOx
(1<x≦2)薄膜を第1層として成膜した。成膜が完
了した後、Snターゲットへの印加を停止した。
【0052】次いで、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にArガスを導入して真空度を
約2×10-3Torrに保持し、前記Crのターゲットに約0.12
kwの電力を印加し、前記ArガスによるDCマグネトロン反
応スパッタの中を、前記Crのターゲット上方においてス
ピード約814mm /min で前記板ガラスを搬送することに
よって前記板ガラスのSnOx薄膜表面上に約2nm厚さのCr
の金属薄膜を第2層として積層成膜した。成膜が完了し
た後、Crターゲットへの印加を停止した。
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にArガスを導入して真空度を
約2×10-3Torrに保持し、前記Crのターゲットに約0.12
kwの電力を印加し、前記ArガスによるDCマグネトロン反
応スパッタの中を、前記Crのターゲット上方においてス
ピード約814mm /min で前記板ガラスを搬送することに
よって前記板ガラスのSnOx薄膜表面上に約2nm厚さのCr
の金属薄膜を第2層として積層成膜した。成膜が完了し
た後、Crターゲットへの印加を停止した。
【0053】続いて、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとO2ガスのガス流量比はO2/(Ar+O2) の値が0.5 〜
1.0 (なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である)
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約2×10 -3
Torrに保持し、前記Snのターゲットに約1.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Snのターゲット上方においてスピード約
171mm /min で前記板ガラスを搬送することによって約
25nm厚さのSnOx(1<x≦2)薄膜を第3層として成膜
した。成膜が完了した後、Snターゲットへの印加を停止
した。
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとO2ガスのガス流量比はO2/(Ar+O2) の値が0.5 〜
1.0 (なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である)
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約2×10 -3
Torrに保持し、前記Snのターゲットに約1.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Snのターゲット上方においてスピード約
171mm /min で前記板ガラスを搬送することによって約
25nm厚さのSnOx(1<x≦2)薄膜を第3層として成膜
した。成膜が完了した後、Snターゲットへの印加を停止
した。
【0054】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られたG(ガラス) /SnOx(40nm)/Cr(2
nm)/SnOx(25nm)と3層膜の構成でなる積層薄膜付き
板ガラスは、表1、2および3に示すようになり、実施
例1と同様に可視光透過率、可視光反射率、可視光反射
率差および主波長、刺激純度等の各光学特性はもちろ
ん、日射透過率による熱的性能、ガラス面反射色調が淡
いブル−グリ−ン色系で透過色調がニュ−トラル色系の
各色調、電波透過性も含めいずれもめざす範囲内にあ
り、めざす所期の居住性を高めたガラス板であった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られたG(ガラス) /SnOx(40nm)/Cr(2
nm)/SnOx(25nm)と3層膜の構成でなる積層薄膜付き
板ガラスは、表1、2および3に示すようになり、実施
例1と同様に可視光透過率、可視光反射率、可視光反射
率差および主波長、刺激純度等の各光学特性はもちろ
ん、日射透過率による熱的性能、ガラス面反射色調が淡
いブル−グリ−ン色系で透過色調がニュ−トラル色系の
各色調、電波透過性も含めいずれもめざす範囲内にあ
り、めざす所期の居住性を高めたガラス板であった。
【0055】実施例5〜6 実施例1と同様に厚さ6mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表1に示すように、第1および3層に実施例4
と同様のSnOx(膜厚40nm、50nm)薄膜を用い、第2層の
みTiの金属薄膜に変え、積層薄膜付き板ガラスを得た。
なお、該Tiの金属薄膜は、Tiのタ−ゲットを用い、導入
ガスがArガス、印加電力が0.12kW、搬送速度が約405mm
/min の条件で膜厚約2nmのTiの金属薄膜を得た。
を用い、表1に示すように、第1および3層に実施例4
と同様のSnOx(膜厚40nm、50nm)薄膜を用い、第2層の
みTiの金属薄膜に変え、積層薄膜付き板ガラスを得た。
なお、該Tiの金属薄膜は、Tiのタ−ゲットを用い、導入
ガスがArガス、印加電力が0.12kW、搬送速度が約405mm
/min の条件で膜厚約2nmのTiの金属薄膜を得た。
【0056】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表1、2
および3に示すようになり、実施例1と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、ガラス面反射色調が淡いグリ−ン色系で透過色
調がニュ−トラル色系の各色調、電波透過性も含めいず
れもめざす範囲内にあり、めざす所期の居住性を高めた
ガラス板であった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表1、2
および3に示すようになり、実施例1と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、ガラス面反射色調が淡いグリ−ン色系で透過色
調がニュ−トラル色系の各色調、電波透過性も含めいず
れもめざす範囲内にあり、めざす所期の居住性を高めた
ガラス板であった。
【0057】実施例7〜8 実施例1と同様に厚さ6mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表1に示すように、第1および3層に実施例4
と同様のSnOx(膜厚30nm、20nm、35nm)薄膜を用い、第
2層のみCrNxOy薄膜に変え、積層薄膜付き板ガラスを得
た。
を用い、表1に示すように、第1および3層に実施例4
と同様のSnOx(膜厚30nm、20nm、35nm)薄膜を用い、第
2層のみCrNxOy薄膜に変え、積層薄膜付き板ガラスを得
た。
【0058】なお、該CrNxOy薄膜は、前記板ガラスを前
記真空槽中においたまま、前記槽内を真空ポンプで約5
×10-6Torrまでに脱気した後、該真空槽内にN2ガスとO2
ガス〔O2/(O2+N2)=0.02、但し、O2ガスとN2ガスのガス
流量比はO2/(O2+N2) の値が0.001 〜0.05の範囲であれ
ばよい。また必要に応じて得られたCrNxOy薄膜の表面抵
抗値が1kΩ/口以上であれば成膜速度を高くするため、
あるいはCrNxOy薄膜の光学定数(n=屈折率、k=消衰係
数)を制御することを目的としてArガスを導入してもよ
い。〕を導入して真空度を約2×10-3Torrに保持し、前
記Crのターゲットに約0.5kw の電力を印加し、前記混合
ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、前記Cr
のターゲット上方においてスピード約360mm /min で前
記板ガラスを搬送することによって約5nm厚さのCrNxOy
薄膜を第2層として成膜した。成膜が完了した後、Crタ
ーゲットへの印加を停止した。
記真空槽中においたまま、前記槽内を真空ポンプで約5
×10-6Torrまでに脱気した後、該真空槽内にN2ガスとO2
ガス〔O2/(O2+N2)=0.02、但し、O2ガスとN2ガスのガス
流量比はO2/(O2+N2) の値が0.001 〜0.05の範囲であれ
ばよい。また必要に応じて得られたCrNxOy薄膜の表面抵
抗値が1kΩ/口以上であれば成膜速度を高くするため、
あるいはCrNxOy薄膜の光学定数(n=屈折率、k=消衰係
数)を制御することを目的としてArガスを導入してもよ
い。〕を導入して真空度を約2×10-3Torrに保持し、前
記Crのターゲットに約0.5kw の電力を印加し、前記混合
ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、前記Cr
のターゲット上方においてスピード約360mm /min で前
記板ガラスを搬送することによって約5nm厚さのCrNxOy
薄膜を第2層として成膜した。成膜が完了した後、Crタ
ーゲットへの印加を停止した。
【0059】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られたG(ガラス) /SnOx(30nm)/CrNxOy
(5nm)/SnOx(20nm、または35nm)と3層膜の構成で
なる積層薄膜付き板ガラスは、表1、2および3に示す
ようになり、実施例1と同様に可視光透過率、可視光反
射率、可視光反射率差および主波長、刺激純度等の各光
学特性はもちろん、日射透過率による熱的性能、ガラス
面反射色調が淡いブル−グリ−ン色系またはグリ−ン色
系で透過色調がニュ−トラル色系の各色調、電波透過性
も含めいずれもめざす範囲内にあり、めざす所期の居住
性を高めたガラス板であった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られたG(ガラス) /SnOx(30nm)/CrNxOy
(5nm)/SnOx(20nm、または35nm)と3層膜の構成で
なる積層薄膜付き板ガラスは、表1、2および3に示す
ようになり、実施例1と同様に可視光透過率、可視光反
射率、可視光反射率差および主波長、刺激純度等の各光
学特性はもちろん、日射透過率による熱的性能、ガラス
面反射色調が淡いブル−グリ−ン色系またはグリ−ン色
系で透過色調がニュ−トラル色系の各色調、電波透過性
も含めいずれもめざす範囲内にあり、めざす所期の居住
性を高めたガラス板であった。
【0060】実施例9〜11 実施例1と同様に厚さ6mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表1に示すように、第1および3層をTiOx(膜
厚20nm、25nm)薄膜に、また第2層をTiNxOy薄膜に変
え、積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表1に示すように、第1および3層をTiOx(膜
厚20nm、25nm)薄膜に、また第2層をTiNxOy薄膜に変
え、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【0061】なお、TiOx薄膜は、Sn0x薄膜と同様に、Ti
のターゲットを用い、導入ガスはO2ガスとArガス〔但
し、ArガスとO2ガスのガス流量比はO2/(Ar+O2) の値が
0.5 〜1.0 (なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零で
ある)の範囲であればよい。〕、印加電力が約3.0kW 、
板ガラスの搬送速度が約70mm/min の条件で、約20nm厚
さのTiOx(1<x≦2)薄膜を得た。また膜厚25nmにつ
いては、搬送速度を約56mm/min で得た。
のターゲットを用い、導入ガスはO2ガスとArガス〔但
し、ArガスとO2ガスのガス流量比はO2/(Ar+O2) の値が
0.5 〜1.0 (なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零で
ある)の範囲であればよい。〕、印加電力が約3.0kW 、
板ガラスの搬送速度が約70mm/min の条件で、約20nm厚
さのTiOx(1<x≦2)薄膜を得た。また膜厚25nmにつ
いては、搬送速度を約56mm/min で得た。
【0062】なおまた、該TiNxOy薄膜は、CrNxOy薄膜と
同様に、前記板ガラスを前記真空槽中においたまま、前
記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまでに脱気した
後、該真空槽内にN2ガスとO2ガス〔O2/(O2+N2)=0.02、
但し、O2ガスとN2ガスのガス流量比はO2/(O2+N2) の値
が0.001 〜0.05の範囲であればよい。また必要に応じて
得られたTiNxOy薄膜の表面抵抗値が1kΩ/口以上であれ
ば成膜速度を高くするため、あるいはTiNxOy薄膜の光学
定数(n=屈折率、k=消衰係数)を制御することを目的と
してArガスを導入してもよい。〕を導入して真空度を約
2×10-3Torrに保持し、前記Tiのターゲットに約1.0kw
の電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反
応スパッタの中を、前記Tiのターゲット上方においてス
ピード約263mm /min で前記板ガラスを搬送することに
よって約12nm厚さのTiNxOy薄膜を第2層として成膜し
た。成膜が完了した後、Tiターゲットへの印加を停止し
た。また膜厚16nm、20nmについては、それぞれ搬送速度
を約197mm /min 、約158mm /min で得た。
同様に、前記板ガラスを前記真空槽中においたまま、前
記槽内を真空ポンプで約5×10-6Torrまでに脱気した
後、該真空槽内にN2ガスとO2ガス〔O2/(O2+N2)=0.02、
但し、O2ガスとN2ガスのガス流量比はO2/(O2+N2) の値
が0.001 〜0.05の範囲であればよい。また必要に応じて
得られたTiNxOy薄膜の表面抵抗値が1kΩ/口以上であれ
ば成膜速度を高くするため、あるいはTiNxOy薄膜の光学
定数(n=屈折率、k=消衰係数)を制御することを目的と
してArガスを導入してもよい。〕を導入して真空度を約
2×10-3Torrに保持し、前記Tiのターゲットに約1.0kw
の電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反
応スパッタの中を、前記Tiのターゲット上方においてス
ピード約263mm /min で前記板ガラスを搬送することに
よって約12nm厚さのTiNxOy薄膜を第2層として成膜し
た。成膜が完了した後、Tiターゲットへの印加を停止し
た。また膜厚16nm、20nmについては、それぞれ搬送速度
を約197mm /min 、約158mm /min で得た。
【0063】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られたG(ガラス) /TiOx(20nm)/TiNxOy
(12nm、または16nm、または20nm)/TiOx(25nm)と3
層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラスは、表1、2お
よび3に示すようになり、実施例1と同様に可視光透過
率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺激
純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱的
性能、ガラス面反射色調が淡いブル−グリ−ン色系また
はグリ−ン色系で透過色調がニュ−トラル色系の各色
調、電波透過性も含めいずれもめざす範囲内にあり、め
ざす所期の居住性を高めたガラス板であった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られたG(ガラス) /TiOx(20nm)/TiNxOy
(12nm、または16nm、または20nm)/TiOx(25nm)と3
層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラスは、表1、2お
よび3に示すようになり、実施例1と同様に可視光透過
率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺激
純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱的
性能、ガラス面反射色調が淡いブル−グリ−ン色系また
はグリ−ン色系で透過色調がニュ−トラル色系の各色
調、電波透過性も含めいずれもめざす範囲内にあり、め
ざす所期の居住性を高めたガラス板であった。
【0064】
【表1】
【0065】
【表2】
【0066】
【表3】
【0067】実施例12〜18 実施例1と同様に厚さ6mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、表4に示すように、第1および3層に実施例4
乃至6と同様のSnOx(膜厚20nm、25nm、30nm、35nm、40
nm)薄膜を、また第2層に実施例9乃至11と同様のTiNx
Oy薄膜(膜厚16nm、24nm)を用い、膜厚のみ適宜変えて
組み合わせ3層とし積層薄膜付き板ガラスを得た。
を用い、表4に示すように、第1および3層に実施例4
乃至6と同様のSnOx(膜厚20nm、25nm、30nm、35nm、40
nm)薄膜を、また第2層に実施例9乃至11と同様のTiNx
Oy薄膜(膜厚16nm、24nm)を用い、膜厚のみ適宜変えて
組み合わせ3層とし積層薄膜付き板ガラスを得た。
【0068】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表4、5
および6に示すようになり、実施例1と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、ガラス面反射色調が淡いブル−グリ−ン色系ま
たはグリ−ン色系で透過色調がニュ−トラル色系の各色
調、電波透過性も含めいずれもめざす範囲内にあり、め
ざす所期の居住性を高めたガラス板であった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表4、5
および6に示すようになり、実施例1と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、ガラス面反射色調が淡いブル−グリ−ン色系ま
たはグリ−ン色系で透過色調がニュ−トラル色系の各色
調、電波透過性も含めいずれもめざす範囲内にあり、め
ざす所期の居住性を高めたガラス板であった。
【0069】
【表4】
【0070】
【表5】
【0071】
【表6】
【0072】比較例1 実施例1と同様に厚さ6mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、実施例1と同様にして、膜構成および膜厚を表
7に示すように変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得
た。
を用い、実施例1と同様にして、膜構成および膜厚を表
7に示すように変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得
た。
【0073】すなわち、実施例1と同様に、先ずDCマグ
ネトロンスパッタリング装置で、Snタ−ゲットを用い、
前記O2ガスとArガスを導入し、約1.0kw の電力を印加
し、板ガラスの搬送スピード約109mm /min で約40nm厚
さのSnOx薄膜を第1層として成膜した。成膜が完了した
後、Snターゲットへの印加を停止した。
ネトロンスパッタリング装置で、Snタ−ゲットを用い、
前記O2ガスとArガスを導入し、約1.0kw の電力を印加
し、板ガラスの搬送スピード約109mm /min で約40nm厚
さのSnOx薄膜を第1層として成膜した。成膜が完了した
後、Snターゲットへの印加を停止した。
【0074】次いで、TiSiのターゲットを用い、前記N2
ガスとArガスを導入し、約1.5kw の電力を印加し、板ガ
ラスの搬送スピード約181mm /min でもって約17nm厚さ
のTiSiN 薄膜を第2層として成膜した。成膜が完了した
後、TiSiターゲットへの印加を停止した。
ガスとArガスを導入し、約1.5kw の電力を印加し、板ガ
ラスの搬送スピード約181mm /min でもって約17nm厚さ
のTiSiN 薄膜を第2層として成膜した。成膜が完了した
後、TiSiターゲットへの印加を停止した。
【0075】続いて、表7に示すように、第1層として
同様にし、板ガラスの搬送スピード約218mm /min で約
20nm厚さのSnOx薄膜をそれぞれ得た。得られた積層薄膜
付き板ガラスについて実施例1と同様に各機器を用いて
各測定を行い評価した。
同様にし、板ガラスの搬送スピード約218mm /min で約
20nm厚さのSnOx薄膜をそれぞれ得た。得られた積層薄膜
付き板ガラスについて実施例1と同様に各機器を用いて
各測定を行い評価した。
【0076】その結果、得られた積層薄膜付き板ガラス
は、表7、8および9に示すようになり、実施例1と膜
構成及び膜厚の相異によって、可視光透過率、可視光反
射率差および刺激純度、ならびに日射透過率による熱的
性能、電波透過性も含めめざす範囲内にあるものの、透
過の色調がイエロ−系色であり、めざす所期の居住性を
高めたガラス板とは言い難いものであった。
は、表7、8および9に示すようになり、実施例1と膜
構成及び膜厚の相異によって、可視光透過率、可視光反
射率差および刺激純度、ならびに日射透過率による熱的
性能、電波透過性も含めめざす範囲内にあるものの、透
過の色調がイエロ−系色であり、めざす所期の居住性を
高めたガラス板とは言い難いものであった。
【0077】比較例2 比較例1の第2層膜と同様にして、表7に示すように、
板ガラスの搬送スピードのみ約77mm/min に変えて、厚
さ6mmのフロートクリアガラス(6) の表面上に約40nm厚
さのTiSiN 薄膜のみを成膜することで単層薄膜付き板ガ
ラスを得た。
板ガラスの搬送スピードのみ約77mm/min に変えて、厚
さ6mmのフロートクリアガラス(6) の表面上に約40nm厚
さのTiSiN 薄膜のみを成膜することで単層薄膜付き板ガ
ラスを得た。
【0078】得られた単層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた単層薄膜付き板ガラスは、表7、8
および9に示すようになり、実施例1と膜構成及び膜厚
の相異によって、透過の色調がイエロ−系色でしかもガ
ラス面側および膜面側から可視光反射率がそれぞれ33.1
%と38.2%とめざす値より高くいずれも範囲外にあり、
このためガラス面側からの反射の色調がシルバ−系色と
なる。また可視光透過の刺激純度が18.8%と10%を超
え、到底めざす所期の居住性を高めたガラス板とは言い
難いものであった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた単層薄膜付き板ガラスは、表7、8
および9に示すようになり、実施例1と膜構成及び膜厚
の相異によって、透過の色調がイエロ−系色でしかもガ
ラス面側および膜面側から可視光反射率がそれぞれ33.1
%と38.2%とめざす値より高くいずれも範囲外にあり、
このためガラス面側からの反射の色調がシルバ−系色と
なる。また可視光透過の刺激純度が18.8%と10%を超
え、到底めざす所期の居住性を高めたガラス板とは言い
難いものであった。
【0079】比較例3 実施例4乃至8、実施例12乃至18あるいは比較例1の第
1および3層の膜成分で膜厚を変え、かつ第2層の膜成
分を窒化物に変え、表7に示すように、G(ガラス) /Sn
Ox(60nm)/CrNx(4nm)/SnOx(10nm)と3層膜の構
成でなる積層薄膜付き板ガラスを得た。
1および3層の膜成分で膜厚を変え、かつ第2層の膜成
分を窒化物に変え、表7に示すように、G(ガラス) /Sn
Ox(60nm)/CrNx(4nm)/SnOx(10nm)と3層膜の構
成でなる積層薄膜付き板ガラスを得た。
【0080】なお、SnOx(10nm)薄膜は板ガラスの搬送
スピードのみ約437mm /min に変えて行い、CrNx(4n
m)薄膜はCrタ−ゲット、前記N2ガスとArガス、印加電
力約0.5kw 、板ガラスの搬送スピード約509mm /min で
成膜を行った。
スピードのみ約437mm /min に変えて行い、CrNx(4n
m)薄膜はCrタ−ゲット、前記N2ガスとArガス、印加電
力約0.5kw 、板ガラスの搬送スピード約509mm /min で
成膜を行った。
【0081】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表7、8
および9に示すようになり、膜構成と膜厚の相異によっ
て、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域での刺激
純度が1.6 %とめざす値より低く範囲外にあるため、ガ
ラス面側からの反射の色調がシルバ−系色となり、到底
めざす所期の居住性を高めたガラス板とは言い難いもの
であった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表7、8
および9に示すようになり、膜構成と膜厚の相異によっ
て、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域での刺激
純度が1.6 %とめざす値より低く範囲外にあるため、ガ
ラス面側からの反射の色調がシルバ−系色となり、到底
めざす所期の居住性を高めたガラス板とは言い難いもの
であった。
【0082】比較例4 比較例3と同様にして第1および3層の膜厚を変え、か
つ第2層の窒化物の膜成分および膜厚を変え、表7に示
すように、G(ガラス) /SnOx(20nm)/TiNx(6nm)/
SnOx(80nm)と3層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラ
スを得た。
つ第2層の窒化物の膜成分および膜厚を変え、表7に示
すように、G(ガラス) /SnOx(20nm)/TiNx(6nm)/
SnOx(80nm)と3層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラ
スを得た。
【0083】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表7、8
および9に示すように、第3層目のSnOx膜の膜厚が80nm
と範囲外であるため、ガラス面側からの反射光の可視光
線波長域での主波長が572.2nm と範囲外となり、さらに
刺激純度が28.1%と高く、ガラス面側の反射の色調がゴ
−ルド系色となる等、到底めざす所期の居住性を高めた
ガラス板とは言い難いものであった。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表7、8
および9に示すように、第3層目のSnOx膜の膜厚が80nm
と範囲外であるため、ガラス面側からの反射光の可視光
線波長域での主波長が572.2nm と範囲外となり、さらに
刺激純度が28.1%と高く、ガラス面側の反射の色調がゴ
−ルド系色となる等、到底めざす所期の居住性を高めた
ガラス板とは言い難いものであった。
【0084】比較例5〜7 比較例4と第1と3層の膜成分および膜厚を変え、かつ
第2層は膜厚のみ変え、表7に示すように、G(ガラス)
/TiOx(20,40nm)/TiNx(5,4nm )/TiOx(25,35,20
nm)と3層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラスをそれ
ぞれ得た。なお例えば、TiOx薄膜はTiタ−ゲット、前記
O2ガスとArガス、印加電力約3.0kW 、膜厚20nmを板ガラ
スの搬送スピード約70mm/min 、膜厚25nmで板ガラスの
搬送スピード約56mm/min で成膜を行った。また例え
ば、TiNx薄膜はTiタ−ゲット、前記N2ガスとArガス、印
加電力約1.0kW 、膜厚5nm を板ガラスの搬送スピード約
272mm /min で成膜を行った。
第2層は膜厚のみ変え、表7に示すように、G(ガラス)
/TiOx(20,40nm)/TiNx(5,4nm )/TiOx(25,35,20
nm)と3層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラスをそれ
ぞれ得た。なお例えば、TiOx薄膜はTiタ−ゲット、前記
O2ガスとArガス、印加電力約3.0kW 、膜厚20nmを板ガラ
スの搬送スピード約70mm/min 、膜厚25nmで板ガラスの
搬送スピード約56mm/min で成膜を行った。また例え
ば、TiNx薄膜はTiタ−ゲット、前記N2ガスとArガス、印
加電力約1.0kW 、膜厚5nm を板ガラスの搬送スピード約
272mm /min で成膜を行った。
【0085】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表7、8
および9に示すようになり、実施例1と膜成分の相異に
よって、ガラス面側からの反射の色調がブル−系、シル
バ−系、イエロ−系色であり、ガラス面側からの反射光
の可視光線波長域での反射率が比較例6で32.4%とやや
高く、主波長が比較例5で485.5nm と低くおよび刺激純
度が10.2%、1.9 %、11.9%とめざす値の範囲外で、膜
面側からの反射光の可視光線波長域での反射率が比較例
7で35.3%とやや高くいずれも範囲外にあり、到底めざ
す所期の居住性を高めたガラス板とは言い難いものであ
った。
施例1と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表7、8
および9に示すようになり、実施例1と膜成分の相異に
よって、ガラス面側からの反射の色調がブル−系、シル
バ−系、イエロ−系色であり、ガラス面側からの反射光
の可視光線波長域での反射率が比較例6で32.4%とやや
高く、主波長が比較例5で485.5nm と低くおよび刺激純
度が10.2%、1.9 %、11.9%とめざす値の範囲外で、膜
面側からの反射光の可視光線波長域での反射率が比較例
7で35.3%とやや高くいずれも範囲外にあり、到底めざ
す所期の居住性を高めたガラス板とは言い難いものであ
った。
【0086】
【表7】
【0087】
【表8】
【0088】
【表9】
【0089】
【発明の効果】以上前述したように、本発明によれば、
3層でなる積層薄膜層を表面に形成したガラス板の膜構
成ならびにその膜厚、ガラス面側反射光の可視光線波長
域での主波長ならびに刺激純度を特定し、ガラス面反射
色調を淡いブル−グリ−ン系色乃至淡いグリ−ン系色、
ガラスの透過色調をニュ−トラル系色としたことによ
り、ガラスらしさを充分発揮して意匠性をアッピール
し、充分な透明感と透視性ならびに比較的低い反射で適
度な存在観とミラー性を発現させて断熱性とともにバラ
ンスよく同時に満足しうるものとでき、耐久性を備え、
しかも最も優しい淡いブル−グリ−ン系色乃至淡いグリ
ーン色系色調のガラス面反射色でニュートラル色系の透
過色調を呈しかつ電波透過性を有する等、人や環境に優
しく居住性を高めたガラス板を簡単な膜構成等で安価に
提供することができ、建築用窓材としてはもちろん、ビ
ルディング等各種の用途にその機能を発揮する、居住性
と環境性に優れたガラス板を提供するものである。
3層でなる積層薄膜層を表面に形成したガラス板の膜構
成ならびにその膜厚、ガラス面側反射光の可視光線波長
域での主波長ならびに刺激純度を特定し、ガラス面反射
色調を淡いブル−グリ−ン系色乃至淡いグリ−ン系色、
ガラスの透過色調をニュ−トラル系色としたことによ
り、ガラスらしさを充分発揮して意匠性をアッピール
し、充分な透明感と透視性ならびに比較的低い反射で適
度な存在観とミラー性を発現させて断熱性とともにバラ
ンスよく同時に満足しうるものとでき、耐久性を備え、
しかも最も優しい淡いブル−グリ−ン系色乃至淡いグリ
ーン色系色調のガラス面反射色でニュートラル色系の透
過色調を呈しかつ電波透過性を有する等、人や環境に優
しく居住性を高めたガラス板を簡単な膜構成等で安価に
提供することができ、建築用窓材としてはもちろん、ビ
ルディング等各種の用途にその機能を発揮する、居住性
と環境性に優れたガラス板を提供するものである。
【図1】本発明の居住性を高めたガラス板域の一例を、
可視光における透過率(t)、反射率(r)および吸収
率(a)で表す特性図(三角ダイヤグラム、単位:%)
においてハッチングで示す説明図である。
可視光における透過率(t)、反射率(r)および吸収
率(a)で表す特性図(三角ダイヤグラム、単位:%)
においてハッチングで示す説明図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 透明なガラス基板の一方の表面に、ガラ
ス面側から第1層目として膜厚が5nm以上70nm以下であ
るSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第1層の上に第2層目とし
て膜厚が1nm以上25nm以下であるTi、Cr、SUS 、Ta、Ni
Crの窒素酸化物薄膜または金属薄膜、さらに第2層の上
に第3層目として膜厚が5nm以上70nm以下であるSn、T
a、Tiの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜からなり、ガ
ラス面側からの反射光の可視光線波長域での主波長が 4
90〜560nm でかつガラス面側からの反射光の可視光線波
長域での刺激純度が2〜10%であり、淡いブル−グリ−
ン色系乃至淡いグリ−ン色系のガラス面反射色調を呈す
るとともに該ガラスの透過色調がニュ−トラル系色調で
あることを特徴とする居住性を高めたガラス板。 - 【請求項2】 前記第2層目の薄膜の膜厚が、1nm以上
10nm以下であるTi、Cr、SUS 、Ta、NiCrの金属薄膜であ
ることを特徴とする請求項1記載の居住性を高めたガラ
ス板。 - 【請求項3】 前記第2層目の薄膜の膜厚が、3nm以上
25nm以下であるTi、Cr、SUS 、NiCrの窒素酸化物薄膜で
あることを特徴とする請求項1記載の居住性を高めたガ
ラス板。 - 【請求項4】 前記居住性を高めたガラス板において、
該ガラスのガラス面側からの反射色調が淡いブル−グリ
−ン色系乃至淡いグリ−ン色系の色調であって、かつガ
ラス面側からの可視光線反射率が33%以下であることを
特徴とする請求項1乃至3記載の居住性を高めたガラス
板。 - 【請求項5】 前記居住性を高めたガラス板において、
該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が35%以下であ
ることを特徴とする請求項1乃至4記載の居住性を高め
たガラス板。 - 【請求項6】 前記居住性を高めたガラス板において、
該ガラスの可視光透過率が50〜75%であることを特徴と
する請求項1乃至5記載の居住性を高めたガラス板。 - 【請求項7】 前記居住性を高めたガラス板において、
該ガラスの日射透過率が70%以下であることを特徴とす
る請求項1乃至6記載の居住性を高めたガラス板。 - 【請求項8】 前記積層膜の表面抵抗率が、 0.5kΩ/
口以上であることを特徴とする請求項1乃至7記載の居
住性を高めたガラス板。 - 【請求項9】 前記積層膜の表面抵抗率が、1kΩ/口
以上であることを特徴とする請求項1乃至7記載の居住
性を高めたガラス板。 - 【請求項10】 前記居住性を高めたガラス板が、電波透
過性を有することを特徴とする請求項1乃至9記載の居
住性を高めたガラス板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7034696A JPH09255371A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 居住性を高めたガラス板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7034696A JPH09255371A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 居住性を高めたガラス板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09255371A true JPH09255371A (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=13428782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7034696A Pending JPH09255371A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 居住性を高めたガラス板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09255371A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2889182A1 (fr) * | 2005-07-29 | 2007-02-02 | Saint Gobain | Vitrage muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire |
CN102586729A (zh) * | 2011-01-17 | 2012-07-18 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜件及其制备方法 |
-
1996
- 1996-03-26 JP JP7034696A patent/JPH09255371A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2889182A1 (fr) * | 2005-07-29 | 2007-02-02 | Saint Gobain | Vitrage muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire |
WO2007028913A1 (fr) * | 2005-07-29 | 2007-03-15 | Saint-Gobain Glass France | Vitrage muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire |
US7935423B2 (en) | 2005-07-29 | 2011-05-03 | Saint-Gobain Glass France | Glazing provided with a stack of thin films acting on the sunlight |
CN102586729A (zh) * | 2011-01-17 | 2012-07-18 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜件及其制备方法 |
US20120183766A1 (en) * | 2011-01-17 | 2012-07-19 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Coated article and method for making same |
US8609240B2 (en) * | 2011-01-17 | 2013-12-17 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd | Coated article and method for making same |
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