JPH1073633A - テストバーンインテスタにおける融解水の自己処理装置 - Google Patents
テストバーンインテスタにおける融解水の自己処理装置Info
- Publication number
- JPH1073633A JPH1073633A JP8248937A JP24893796A JPH1073633A JP H1073633 A JPH1073633 A JP H1073633A JP 8248937 A JP8248937 A JP 8248937A JP 24893796 A JP24893796 A JP 24893796A JP H1073633 A JPH1073633 A JP H1073633A
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- JP
- Japan
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- water
- tank
- turned
- heater
- sensor
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Removal Of Water From Condensation And Defrosting (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 排水設備を不要とするテストバーンインテス
タを提供する。 【解決手段】 冷凍機４に着霜あるいは結氷の融解水を
タンク８に貯蔵する。第１の発明は、タンク８にヒータ
１２を内装し、ヒータ１２を加熱して前記融解水を蒸発
させ、タンク８の水量を調節する。第２の発明は、タン
ク８に超音波発振子１３を内装し、超音波発振子１３を
発振して前記融解水を蒸発させ、タンク８の水量を調節
する。
タを提供する。 【解決手段】 冷凍機４に着霜あるいは結氷の融解水を
タンク８に貯蔵する。第１の発明は、タンク８にヒータ
１２を内装し、ヒータ１２を加熱して前記融解水を蒸発
させ、タンク８の水量を調節する。第２の発明は、タン
ク８に超音波発振子１３を内装し、超音波発振子１３を
発振して前記融解水を蒸発させ、タンク８の水量を調節
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、テストバーンイ
ンテスタにおける融解水の自己処理装置についてのもの
である。特に、高低温ストレスを半導体デバイス（以
下、ＩＣと略称する）に加え、ＩＣを電気試験するテス
トバーンインテスタ（以下、ＴＢＴと略称する）におけ
る冷凍機の融解水の自己処理装置についてのものであ
る。
ンテスタにおける融解水の自己処理装置についてのもの
である。特に、高低温ストレスを半導体デバイス（以
下、ＩＣと略称する）に加え、ＩＣを電気試験するテス
トバーンインテスタ（以下、ＴＢＴと略称する）におけ
る冷凍機の融解水の自己処理装置についてのものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術によるＴＢＴの構成の一
例を図４により説明する。図１の１は電気試験装置、２
は恒温槽、３は加熱器、４は冷凍機、５は温度制御器で
ある。
例を図４により説明する。図１の１は電気試験装置、２
は恒温槽、３は加熱器、４は冷凍機、５は温度制御器で
ある。
【０００３】図４において、恒温槽２内には多数のＩＣ
が収容されている。前記ＩＣは電気試験装置１と接続さ
れ、ＩＣの良否が判定あるいは評価される。温度制御器
５は加熱器３あるいは冷凍機４を温度制御する。加熱器
３は恒温槽２内のＩＣを加熱する。冷凍機４は恒温槽２
内のＩＣを加冷する。
が収容されている。前記ＩＣは電気試験装置１と接続さ
れ、ＩＣの良否が判定あるいは評価される。温度制御器
５は加熱器３あるいは冷凍機４を温度制御する。加熱器
３は恒温槽２内のＩＣを加熱する。冷凍機４は恒温槽２
内のＩＣを加冷する。
【０００４】図４において、冷凍機４を長時間稼働する
と、大気中の水蒸気が冷凍機４に着霜あるいは結氷す
る。ＴＢＴを常温試験あるいは高温試験するときは、前
記の霜あるいは氷は融解するので、冷凍機４の下方に集
水器４Ａを配置し、集水器４Ａの溶融水を排水管４Ｂで
排水する。
と、大気中の水蒸気が冷凍機４に着霜あるいは結氷す
る。ＴＢＴを常温試験あるいは高温試験するときは、前
記の霜あるいは氷は融解するので、冷凍機４の下方に集
水器４Ａを配置し、集水器４Ａの溶融水を排水管４Ｂで
排水する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＴＢＴを設置する工場
では、前述の溶解水を排水する設備を必ずしも備えてい
るとは限らない。この発明は、溶解水をタンクに受槽
し、前記溶解水を蒸発させる処理装置をＴＢＴに付加す
ることにより排水設備を不要とするＴＢＴの提供を目的
とする。
では、前述の溶解水を排水する設備を必ずしも備えてい
るとは限らない。この発明は、溶解水をタンクに受槽
し、前記溶解水を蒸発させる処理装置をＴＢＴに付加す
ることにより排水設備を不要とするＴＢＴの提供を目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、少なくとも低温試験機能をもつテスト
バーンインテスタであって、冷凍機４に着霜あるいは結
氷の融解水を貯蔵するタンク８を備え、タンク８の前記
融解水を蒸発させる。
め、この発明は、少なくとも低温試験機能をもつテスト
バーンインテスタであって、冷凍機４に着霜あるいは結
氷の融解水を貯蔵するタンク８を備え、タンク８の前記
融解水を蒸発させる。
【０００７】前記蒸発手段として、第１の発明は、タン
ク８にヒータ１２を内装し、ヒータ１２を加熱して前記
融解水を蒸発させ、タンク８の水量を調節する
ク８にヒータ１２を内装し、ヒータ１２を加熱して前記
融解水を蒸発させ、タンク８の水量を調節する
【０００８】前記蒸発手段として、第２の発明は、タン
ク８に超音波発振子１３を内装し、超音波発振子１３を
発振して前記融解水を蒸発させ、タンク８の水量を調節
する。
ク８に超音波発振子１３を内装し、超音波発振子１３を
発振して前記融解水を蒸発させ、タンク８の水量を調節
する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
一実施の形態を説明する。図１は、この発明によるＴＢ
Ｔの一実施の形態を示す構成図であり、図４に対比す
る。なお、以下の説明において、図４に示された同符号
の構成品は作用および機能を同一にするので、特に必要
のない限り説明を省略する。
一実施の形態を説明する。図１は、この発明によるＴＢ
Ｔの一実施の形態を示す構成図であり、図４に対比す
る。なお、以下の説明において、図４に示された同符号
の構成品は作用および機能を同一にするので、特に必要
のない限り説明を省略する。
【００１０】図１において、８はタンク、９は水量セン
サ、１０は蒸発制御部、１１は蒸発器であり、溶解水処
理装置６はタンク８と、水量センサ９、蒸発制御部１０
と、蒸発器１１で構成される。
サ、１０は蒸発制御部、１１は蒸発器であり、溶解水処
理装置６はタンク８と、水量センサ９、蒸発制御部１０
と、蒸発器１１で構成される。
【００１１】図１では、排水管４Ｂの溶解水はタンク８
に受槽される。水量センサ９はタンク８内の水位を検知
する。前記水量センサ９の検知信号は蒸発制御部１０に
送出される。蒸発器１１には後述する蒸発手段が内装さ
れ、蒸発制御部１０は前記検知信号により、タンク８内
の水位を一定にすべく前記蒸発手段を制御し、タンク８
の溶解水を蒸発させる。
に受槽される。水量センサ９はタンク８内の水位を検知
する。前記水量センサ９の検知信号は蒸発制御部１０に
送出される。蒸発器１１には後述する蒸発手段が内装さ
れ、蒸発制御部１０は前記検知信号により、タンク８内
の水位を一定にすべく前記蒸発手段を制御し、タンク８
の溶解水を蒸発させる。
【００１２】次に、図１における溶解水処理装置６の第
１の実施の形態による構成を図２により説明する。図２
に示されるように、タンク８内の水位感知器となる水量
センサ９Ａ・９Ｂがタンク８に装着されている。タンク
８の水位が増し、水位Ａになると水量センサ９Ａがオン
になる。タンク８の水位が減り、水位Ｂになると水量セ
ンサ９Ｂがオンになる。
１の実施の形態による構成を図２により説明する。図２
に示されるように、タンク８内の水位感知器となる水量
センサ９Ａ・９Ｂがタンク８に装着されている。タンク
８の水位が増し、水位Ａになると水量センサ９Ａがオン
になる。タンク８の水位が減り、水位Ｂになると水量セ
ンサ９Ｂがオンになる。
【００１３】水量センサ９Ａがオン信号を送出すると、
ＳＲ型ＦＦ（フリップ・フロップ）１０Ａがオンにな
る。ＦＦ１０Ａがオンになるとリレー１０Ｂがオンとな
り、蒸発器１１に内装されたヒータ１２を加熱し、溶解
水を蒸発させる。
ＳＲ型ＦＦ（フリップ・フロップ）１０Ａがオンにな
る。ＦＦ１０Ａがオンになるとリレー１０Ｂがオンとな
り、蒸発器１１に内装されたヒータ１２を加熱し、溶解
水を蒸発させる。
【００１４】水量センサ９Ｂがオン信号を送出すると、
ＦＦ１０Ａがオフになる。ＦＦ１０Ａがオフになるとリ
レー１０Ｂがオフとなり、ヒータ１２を加熱を停止す
る。このようにして、タンク８内の水位を調整してい
る。なお、蒸発器１１に上設されたファン１１Ａは常時
回転しており、前記水蒸気を大気に放出している。
ＦＦ１０Ａがオフになる。ＦＦ１０Ａがオフになるとリ
レー１０Ｂがオフとなり、ヒータ１２を加熱を停止す
る。このようにして、タンク８内の水位を調整してい
る。なお、蒸発器１１に上設されたファン１１Ａは常時
回転しており、前記水蒸気を大気に放出している。
【００１５】次に、図１における溶解水処理装置６の第
２の実施の形態による構成を図３により説明する。図３
に示されるように、タンク８内の水位感知器となる水量
センサ９Ａ・９Ｂがタンク８に装着されている。タンク
８の水位が増し、水位Ａになると水量センサ９Ａがオン
になる。タンク８の水位が減り、水位Ｂになると水量セ
ンサ９Ｂがオンになる。
２の実施の形態による構成を図３により説明する。図３
に示されるように、タンク８内の水位感知器となる水量
センサ９Ａ・９Ｂがタンク８に装着されている。タンク
８の水位が増し、水位Ａになると水量センサ９Ａがオン
になる。タンク８の水位が減り、水位Ｂになると水量セ
ンサ９Ｂがオンになる。
【００１６】水量センサ９Ａがオン信号を送出すると、
ＳＲ型ＦＦ（フリップ・フロップ）１０Ａがオンにな
る。ＦＦ１０Ａがオンになるとリレー１０Ｂがオンとな
り、蒸発器１１に内装された超音波発振子１３を発振さ
せ、溶解水を蒸発させる。
ＳＲ型ＦＦ（フリップ・フロップ）１０Ａがオンにな
る。ＦＦ１０Ａがオンになるとリレー１０Ｂがオンとな
り、蒸発器１１に内装された超音波発振子１３を発振さ
せ、溶解水を蒸発させる。
【００１７】水量センサ９Ｂがオン信号を送出すると、
ＦＦ１０Ａがオフになる。ＦＦ１０Ａがオフになるとリ
レー１０Ｂがオフとなり、超音波発振子１３の発振を停
止させる。このようにして、タンク８内の水位を調整し
ている。なお、蒸発器１１に上設されたファン１１Ａは
図２と同様に、常時回転しており、前記水蒸気を大気に
放出している。
ＦＦ１０Ａがオフになる。ＦＦ１０Ａがオフになるとリ
レー１０Ｂがオフとなり、超音波発振子１３の発振を停
止させる。このようにして、タンク８内の水位を調整し
ている。なお、蒸発器１１に上設されたファン１１Ａは
図２と同様に、常時回転しており、前記水蒸気を大気に
放出している。
【００１８】
【発明の効果】この発明は、ＴＢＴに溶解水を自己処理
できる装置を付加しているの、排水設備のない工場でも
ＴＢＴを稼働することができる。
できる装置を付加しているの、排水設備のない工場でも
ＴＢＴを稼働することができる。
【図１】この発明によるＴＢＴの一実施の形態による構
成図である。
成図である。
【図２】図１の溶解水処理装置の第１の実施の形態によ
る構成図である。
る構成図である。
【図３】図１の溶解水処理装置の第２の実施の形態によ
る構成図である。
る構成図である。
【図４】従来技術によるＴＢＴの構成図である。
１ 電気試験装置 ２ 恒温槽 ３ 加熱器 ４ 冷凍機 ５ 温度制御器 ６ 溶解水処理装置 ８ タンク ９ 水量センサ １０ 蒸発制御部 １１ 蒸発器 １２ ヒータ １３ 超音波発信子
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも低温試験機能をもつテストバ
ーンインテスタであって、 冷凍機に着霜あるいは結氷の融解水を貯蔵するタンクを
備え、 前記タンクの前記融解水を蒸発させることを特徴とする
テストバーンインテスタにおける融解水の自己処理装
置。 - 【請求項２】 前記タンクにヒータを内装し、前記ヒー
タを加熱して前記融解水を蒸発させ、前記タンクの水量
を調節することを特徴とする請求項１記載のテストバー
ンインテスタにおける融解水の自己処理装置。 - 【請求項３】 前記タンクに超音波発振子を内装し、前
記超音波発振子を発振して前記融解水を蒸発させ、前記
タンクの水量を調節することを特徴とする請求項１記載
のテストバーンインテスタにおける融解水の自己処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8248937A JPH1073633A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | テストバーンインテスタにおける融解水の自己処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8248937A JPH1073633A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | テストバーンインテスタにおける融解水の自己処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1073633A true JPH1073633A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=17185641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8248937A Pending JPH1073633A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | テストバーンインテスタにおける融解水の自己処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1073633A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006275474A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Hoshizaki Electric Co Ltd | 冷却貯蔵庫 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP8248937A patent/JPH1073633A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006275474A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Hoshizaki Electric Co Ltd | 冷却貯蔵庫 |
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