JPH1072230A - 光ファイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用母材の製造方法Info
- Publication number
- JPH1072230A JPH1072230A JP22972096A JP22972096A JPH1072230A JP H1072230 A JPH1072230 A JP H1072230A JP 22972096 A JP22972096 A JP 22972096A JP 22972096 A JP22972096 A JP 22972096A JP H1072230 A JPH1072230 A JP H1072230A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- preform
- burners
- optical fiber
- starting material
- fine glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/64—Angle
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ファイバ用母材の製造方法において、ガ
ラス原料を火炎加水分解又は酸化させてガラス微粒子を
出発材に堆積する際の堆積速度と形状歩留を増加させる
こと。 【解決手段】 ガラス原料を火炎加水分解又は酸化さ
せ、ガラス微粒子を出発材に堆積、成長させる光ファイ
バ用母材の製造方法において、ガラス微粒子生成用バー
ナを母材周方向に配置し、かつ３方向以上から配置する
ことを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。
ラス原料を火炎加水分解又は酸化させてガラス微粒子を
出発材に堆積する際の堆積速度と形状歩留を増加させる
こと。 【解決手段】 ガラス原料を火炎加水分解又は酸化さ
せ、ガラス微粒子を出発材に堆積、成長させる光ファイ
バ用母材の製造方法において、ガラス微粒子生成用バー
ナを母材周方向に配置し、かつ３方向以上から配置する
ことを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス微粒子の集
合体を円柱状出発材の外周部に形成する方法に関し、特
に高純度が要求される光ファイバ用母材製造の際の中間
製品として好適に用いられる、出発材外周部に堆積せし
められたガラス微粒子集合体を高堆積率で形成する方法
に関する。
合体を円柱状出発材の外周部に形成する方法に関し、特
に高純度が要求される光ファイバ用母材製造の際の中間
製品として好適に用いられる、出発材外周部に堆積せし
められたガラス微粒子集合体を高堆積率で形成する方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】円柱状の出発材の外周部上で軸方向にガ
ラス微粒子の堆積体を形成させる方法において、バーナ
の中心軸と出発材の軸のなす角度が２０〜７０°の範囲
とすることが提案されている（特開昭６１−１８６２４
０号公報）。また複数のスート吹き付け機構のバーナを
ターゲット部材に向けて各々異なる角度に取り付けて、
ガラス微粒子を堆積させること（特開平４−１６００２
８号公報）、隣接するバーナを出発材軸方向と共に周方
向にも位置をずらしてガラス微粒子を堆積させること
（特開平５−５８６５２号公報）も知られている。
ラス微粒子の堆積体を形成させる方法において、バーナ
の中心軸と出発材の軸のなす角度が２０〜７０°の範囲
とすることが提案されている（特開昭６１−１８６２４
０号公報）。また複数のスート吹き付け機構のバーナを
ターゲット部材に向けて各々異なる角度に取り付けて、
ガラス微粒子を堆積させること（特開平４−１６００２
８号公報）、隣接するバーナを出発材軸方向と共に周方
向にも位置をずらしてガラス微粒子を堆積させること
（特開平５−５８６５２号公報）も知られている。
【０００３】しかし、これら公知の方法では、ガラス微
粒子体の堆積体を充分な堆積速度で形成することは難し
かった。多孔質母材を効率よく製造するためには、堆積
効率〔単位時間当たりに合成できるガラス微粒子の重
量、あるいは原料ガス供給量に対してガラス微粒子とし
て付着した割合（堆積収率）〕を上げ、外径均一部をで
きるだけ長くすることが必要である。上記公知技術に
は、堆積効率を上げるために、ガラス原料を複数本のバ
ーナから供給する方法が開示されているが、バーナ間の
火炎による干渉によって、堆積効率が低下する問題があ
った。すなわち、バーナ間隔を短くすると隣り合う火炎
同士が干渉するため、ガラス微粒子流の流れが乱れ、堆
積面での堆積効率が低下する。一方、バーナ間隔を離す
と端部ではバーナ間隔分だけススが均一に堆積しないの
で、端部の非有効部（テーパ部）が長くなり、得られる
良好部が短くなってしまう。
粒子体の堆積体を充分な堆積速度で形成することは難し
かった。多孔質母材を効率よく製造するためには、堆積
効率〔単位時間当たりに合成できるガラス微粒子の重
量、あるいは原料ガス供給量に対してガラス微粒子とし
て付着した割合（堆積収率）〕を上げ、外径均一部をで
きるだけ長くすることが必要である。上記公知技術に
は、堆積効率を上げるために、ガラス原料を複数本のバ
ーナから供給する方法が開示されているが、バーナ間の
火炎による干渉によって、堆積効率が低下する問題があ
った。すなわち、バーナ間隔を短くすると隣り合う火炎
同士が干渉するため、ガラス微粒子流の流れが乱れ、堆
積面での堆積効率が低下する。一方、バーナ間隔を離す
と端部ではバーナ間隔分だけススが均一に堆積しないの
で、端部の非有効部（テーパ部）が長くなり、得られる
良好部が短くなってしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、ガラス
原料を火炎加水分解又は酸化させ、ガラス微粒子を出発
材に堆積、成長させる光ファイバ用母材の製造方法にお
いて、ガラス微粒子の堆積効率を上げるべく鋭意研究を
行った結果、バーナの配置を特定することで優れた効果
の得られることを発見し本発明に到達した。すなわち、
本発明は、光ファイバ用母材の製造方法において、ガラ
ス原料を火炎加水分解又は酸化させてガラス微粒子を出
発材に堆積する際の堆積速度と形状歩留を増加させるこ
とを目的とする。
原料を火炎加水分解又は酸化させ、ガラス微粒子を出発
材に堆積、成長させる光ファイバ用母材の製造方法にお
いて、ガラス微粒子の堆積効率を上げるべく鋭意研究を
行った結果、バーナの配置を特定することで優れた効果
の得られることを発見し本発明に到達した。すなわち、
本発明は、光ファイバ用母材の製造方法において、ガラ
ス原料を火炎加水分解又は酸化させてガラス微粒子を出
発材に堆積する際の堆積速度と形状歩留を増加させるこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、下記の各
製造方法によって達成することができる。 （１）ガラス原料を火炎加水分解又は酸化させ、ガラス
微粒子を出発材に堆積、成長させる光ファイバ用母材の
製造方法において、ガラス微粒子生成用バーナを母材周
方向に配置し、かつ３方向以上から配置することを特徴
とする光ファイバ用母材の製造方法。 （２）周方向に配置される隣接するバーナの角度を４５
〜１２０°とすることを特徴とする上記（１）に記載の
光ファイバ用母材の製造方法。
製造方法によって達成することができる。 （１）ガラス原料を火炎加水分解又は酸化させ、ガラス
微粒子を出発材に堆積、成長させる光ファイバ用母材の
製造方法において、ガラス微粒子生成用バーナを母材周
方向に配置し、かつ３方向以上から配置することを特徴
とする光ファイバ用母材の製造方法。 （２）周方向に配置される隣接するバーナの角度を４５
〜１２０°とすることを特徴とする上記（１）に記載の
光ファイバ用母材の製造方法。
【０００６】（３）バーナの中心軸と出発材の軸とのな
す角度を６０〜１００°とすることを特徴とする上記
（１）又は（２）に記載の光ファイバ用母材の製造方
法。 （４）ガラス微粒子の堆積、生成をＶＡＤ法で行うこと
を特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の光
ファイバ用母材の製造方法。 （５）ガラス微粒子の堆積、生成をＯＶＤ法で行うこと
を特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の光
ファイバ用母材の製造方法。
す角度を６０〜１００°とすることを特徴とする上記
（１）又は（２）に記載の光ファイバ用母材の製造方
法。 （４）ガラス微粒子の堆積、生成をＶＡＤ法で行うこと
を特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の光
ファイバ用母材の製造方法。 （５）ガラス微粒子の堆積、生成をＯＶＤ法で行うこと
を特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の光
ファイバ用母材の製造方法。
【０００７】
【発明の実施の形態】上記の方法（１）では、ガラス微
粒子生成用バーナを母材の周方向に３方向から配置して
ガラス微粒子の堆積を行い、火炎の干渉を防ぎ、堆積速
度を向上させることができる。また、軸方向のバーナ間
隔を低減できるので、図１に示されるような形状歩留を
向上させることができる。本発明は、バーナを周方向に
３方向以上から配置するものであるが、同位置軸方向の
バーナ本数に制限はない。ここで形状歩留は、有効部長
さ／（有効部長さ＋非有効部長さ）を％で表したもので
ある。図２及び図３は、本発明の方法を実施する態様を
示すもので、図２はＶＡＤ法を本発明の３方向配置によ
り行う概略図を、図３はＯＶＤ法を本発明の３方向配置
により行う概略図を示す。
粒子生成用バーナを母材の周方向に３方向から配置して
ガラス微粒子の堆積を行い、火炎の干渉を防ぎ、堆積速
度を向上させることができる。また、軸方向のバーナ間
隔を低減できるので、図１に示されるような形状歩留を
向上させることができる。本発明は、バーナを周方向に
３方向以上から配置するものであるが、同位置軸方向の
バーナ本数に制限はない。ここで形状歩留は、有効部長
さ／（有効部長さ＋非有効部長さ）を％で表したもので
ある。図２及び図３は、本発明の方法を実施する態様を
示すもので、図２はＶＡＤ法を本発明の３方向配置によ
り行う概略図を、図３はＯＶＤ法を本発明の３方向配置
により行う概略図を示す。
【０００８】上記の方法（２）では、周方向に配置され
る隣接するバーナの角度（間隔）、例えば図４に示され
る出発の中心軸と周方向に隣接するバーナ中心軸の角度
αを４５〜１２０°、好ましくは６０〜１２０°とし、
隣接する火炎同士が干渉するのを防止し、同時に外径均
一部を適正に保って堆積速度を増加させるようにする。
α＜４５°では、火炎同士が干渉するため、堆積速度を
増加できない。３本のバーナを配置させる場合、αMAX
＝１２０°となる（４本であればαMAX ＝９０°）。
る隣接するバーナの角度（間隔）、例えば図４に示され
る出発の中心軸と周方向に隣接するバーナ中心軸の角度
αを４５〜１２０°、好ましくは６０〜１２０°とし、
隣接する火炎同士が干渉するのを防止し、同時に外径均
一部を適正に保って堆積速度を増加させるようにする。
α＜４５°では、火炎同士が干渉するため、堆積速度を
増加できない。３本のバーナを配置させる場合、αMAX
＝１２０°となる（４本であればαMAX ＝９０°）。
【０００９】上記の方法（３）では、バーナ中心軸と出
発材の軸とのなす角度、例えば図５に示される角度θを
６０〜１００°、好ましくは７５〜９０°とする。６０
°未満では、堆積するススのかさ速度に径方向の分布が
生じ、スス割れを生じやすい。また１００°を越える
と、堆積効率が低下するという欠点が生じる。
発材の軸とのなす角度、例えば図５に示される角度θを
６０〜１００°、好ましくは７５〜９０°とする。６０
°未満では、堆積するススのかさ速度に径方向の分布が
生じ、スス割れを生じやすい。また１００°を越える
と、堆積効率が低下するという欠点が生じる。
【００１０】本発明は、上記方法（４）又は（５）のよ
うにＶＡＤ法又はＯＶＤ法に適用することができる。更
に本発明において、少なくとも３つのガラス微粒子生成
用バーナのうち隣接するバーナを軸方向に適当な間隔に
離隔して火炎同士が干渉するのを抑えることができる。
例えば、図６に示されるｌを０〜３００ｍｍ、特に１０
０〜２００ｍｍとするのが好ましい。周方向にバーナを
移動させれば、バーナ間隔は広がるので直線状に配置さ
せるよりも火炎の干渉は抑制できる。
うにＶＡＤ法又はＯＶＤ法に適用することができる。更
に本発明において、少なくとも３つのガラス微粒子生成
用バーナのうち隣接するバーナを軸方向に適当な間隔に
離隔して火炎同士が干渉するのを抑えることができる。
例えば、図６に示されるｌを０〜３００ｍｍ、特に１０
０〜２００ｍｍとするのが好ましい。周方向にバーナを
移動させれば、バーナ間隔は広がるので直線状に配置さ
せるよりも火炎の干渉は抑制できる。
【００１１】
【実施例】以下本発明を実施例により具体的に説明する
がこれに限定されるものではない。 （実施例１）ＶＡＤ法において、各バーナの中心軸と出
発材の軸とのなす角度は６０°として、３本のバーナを
周方向に４５°の間隔で配置させた。各バーナは、同心
円状８重管構造のバーナを用い、それぞれ中心ポートか
ら順にＳｉＣｌ4 ６リットル／分、Ｈ2 １０リットル／
分、Ａｒ３リットル／分、Ｏ2 ２０リットル／分、Ａｒ
５リットル／分、Ｈ2 ８０リットル／分、Ａｒ５リット
ル／分、Ｏ2 ４０リットル／分供給し、９０ｍｍ／ｈｒ
の速度で、出発材を軸方向に引き上げた。出発材は、コ
アがＧｅＯ2 −ＳｉＯ2 からなりクラッドがＳｉＯ2 か
らなる外径３０ｍｍφ、長さ７００ｍｍのガラスロッド
を用い、該ガラスロッドの両端にダミー棒（外径３０ｍ
ｍφ、長さ４００ｍｍ）を接続した。得られた多孔質母
材の外径は２５０ｍｍφで堆積速度は３０ｇ／分であ
り、形状歩留〔有効部長さ／（有効部長さ＋非有効部長
さ）〕は、８０％であった。
がこれに限定されるものではない。 （実施例１）ＶＡＤ法において、各バーナの中心軸と出
発材の軸とのなす角度は６０°として、３本のバーナを
周方向に４５°の間隔で配置させた。各バーナは、同心
円状８重管構造のバーナを用い、それぞれ中心ポートか
ら順にＳｉＣｌ4 ６リットル／分、Ｈ2 １０リットル／
分、Ａｒ３リットル／分、Ｏ2 ２０リットル／分、Ａｒ
５リットル／分、Ｈ2 ８０リットル／分、Ａｒ５リット
ル／分、Ｏ2 ４０リットル／分供給し、９０ｍｍ／ｈｒ
の速度で、出発材を軸方向に引き上げた。出発材は、コ
アがＧｅＯ2 −ＳｉＯ2 からなりクラッドがＳｉＯ2 か
らなる外径３０ｍｍφ、長さ７００ｍｍのガラスロッド
を用い、該ガラスロッドの両端にダミー棒（外径３０ｍ
ｍφ、長さ４００ｍｍ）を接続した。得られた多孔質母
材の外径は２５０ｍｍφで堆積速度は３０ｇ／分であ
り、形状歩留〔有効部長さ／（有効部長さ＋非有効部長
さ）〕は、８０％であった。
【００１２】（実施例２）ＯＶＤ法において、実施例１
と同様の出発材を作成し、ロッドを縦方向に配置した。
３本バーナの配置は、表１のように設定して多孔質母材
の製造を行った。使用したバーナ構造は、実施例１と同
様であり、ガスの流量条件は、６ポートＨ 2 流量のみ１
２０リットル／分に増量した以外、同じく設定した。ま
た、出発材を５００ｍｍ／分の速度で往復移動させ、外
径２３０ｍｍになるまで、ガラス微粒子を積層させた。
と同様の出発材を作成し、ロッドを縦方向に配置した。
３本バーナの配置は、表１のように設定して多孔質母材
の製造を行った。使用したバーナ構造は、実施例１と同
様であり、ガスの流量条件は、６ポートＨ 2 流量のみ１
２０リットル／分に増量した以外、同じく設定した。ま
た、出発材を５００ｍｍ／分の速度で往復移動させ、外
径２３０ｍｍになるまで、ガラス微粒子を積層させた。
【００１３】
【表１】
【００１４】以上の実験結果をグラフにまとめると図７
及び８のようになる。即ち、周方向に隣接するバーナ角
度としては、４５〜１２０°が好ましく、バーナ中心軸
と出発材の軸とのなす角度は、６０〜９０°が好まし
い。
及び８のようになる。即ち、周方向に隣接するバーナ角
度としては、４５〜１２０°が好ましく、バーナ中心軸
と出発材の軸とのなす角度は、６０〜９０°が好まし
い。
【００１５】
【発明の効果】本発明に従いガラス原料を火炎加水分解
又は酸化させ、ガラス微粒子を出発材に堆積、成長させ
て光ファイバ用母材を製造する際にガラス微粒子生成用
バーナを母材周方向の特定位置、すなわち少なくとも３
方向から母材に向けて配置しながら堆積、成長を行うこ
とにより、堆積速度と形状歩留を著しく増加させること
ができる。
又は酸化させ、ガラス微粒子を出発材に堆積、成長させ
て光ファイバ用母材を製造する際にガラス微粒子生成用
バーナを母材周方向の特定位置、すなわち少なくとも３
方向から母材に向けて配置しながら堆積、成長を行うこ
とにより、堆積速度と形状歩留を著しく増加させること
ができる。
【図１】ガラス微粒子を出発材に堆積して得られる光フ
ァイバ用母材の有効部長さと非有効部長さを示すモデル
図。
ァイバ用母材の有効部長さと非有効部長さを示すモデル
図。
【図２】本発明の方法を実施する一態様を示す３方向配
置でＶＡＤ法によるものを示す概念図。
置でＶＡＤ法によるものを示す概念図。
【図３】本発明の方法を実施する一態様を示す３方向配
置でＯＶＤ法によるものを示す概念図。
置でＯＶＤ法によるものを示す概念図。
【図４】本発明により周方向に配置される隣接するバー
ナ中心軸の角度αを示す概念図。
ナ中心軸の角度αを示す概念図。
【図５】本発明により周方向に配置されるバーナ中心軸
と出発材の軸とのなす角度θを示す概念図。
と出発材の軸とのなす角度θを示す概念図。
【図６】θ＝９０°の場合に、周方向に角度αで配置さ
れるバーナの軸方向の間隔ｌを示す概念図。
れるバーナの軸方向の間隔ｌを示す概念図。
【図７】本発明の実施例で得られた周方向に隣接するバ
ーナ角度αと堆積速度、収率との関係を示すグラフ。
ーナ角度αと堆積速度、収率との関係を示すグラフ。
【図８】本発明の実施例で得られたバーナ中心軸を出発
材とのなす角度θと堆積速度、収率との関係を示すグラ
フ。
材とのなす角度θと堆積速度、収率との関係を示すグラ
フ。
Claims (5)
- 【請求項１】 ガラス原料を火炎加水分解又は酸化さ
せ、ガラス微粒子を出発材に堆積、成長させる光ファイ
バ用母材の製造方法において、ガラス微粒子生成用バー
ナを母材周方向に配置し、かつ３方向以上から配置する
ことを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項２】 周方向に配置される隣接するバーナの角
度を４５〜１２０°とすることを特徴とする請求項１に
記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項３】 バーナの中心軸と出発材の軸とのなす角
度を６０〜１００°とすることを特徴とする請求項１又
は２に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項４】 ガラス微粒子の堆積、生成をＶＡＤ法で
行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の
光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項５】 ガラス微粒子の堆積、生成をＯＶＤ法で
行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の
光ファイバ用母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22972096A JPH1072230A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22972096A JPH1072230A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1072230A true JPH1072230A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16896651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22972096A Pending JPH1072230A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1072230A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103663959A (zh) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP22972096A patent/JPH1072230A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103663959A (zh) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法 |
| JP2014076942A (ja) * | 2012-09-24 | 2014-05-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3543537B2 (ja) | ガラス微粒子合成方法及びそのための焦点型バーナ | |
| CN103663959B (zh) | 光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法 | |
| JP4614782B2 (ja) | 光ファイバ用石英ガラス母材の製造方法 | |
| JP2006182624A (ja) | ガラス棒状体の製造方法 | |
| JPH1072230A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP2612941B2 (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
| JP3133392B2 (ja) | 光ファイバ用スート母材の製造方法 | |
| JP3290559B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JP3003173B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JP2002249326A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JP3917022B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| JPH03112820A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JP4398114B2 (ja) | 凹凸の少ない光ファイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JPH0777968B2 (ja) | 光ファイバープリフォーム母材の製造方法 | |
| JPS60260433A (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| JP2005247636A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法及びガラス母材 | |
| JPS63225540A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JPH107429A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法および製造装置 | |
| JPH05330844A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPS63123828A (ja) | 光フアイバ用多孔質母材の製造方法 | |
| JP3118723B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH0733469A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP2004026518A (ja) | シリカ多孔質母材の製造方法 | |
| JPH0712954B2 (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| JPH0435429B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050608 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050610 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051018 |