JP2612941B2 - 光ファイバ多孔質母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ多孔質母材の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光ファイバ多孔質母材、特にはけい素化合物
を複数の酸水素火炎バーナーで加水分解して得たガラス
微粒子を担体上に堆積させる外付けCVD法により、大型
の光ファイバ多孔質母材を生産性よく製造する方法に関
するものである。
を複数の酸水素火炎バーナーで加水分解して得たガラス
微粒子を担体上に堆積させる外付けCVD法により、大型
の光ファイバ多孔質母材を生産性よく製造する方法に関
するものである。
（従来の技術） 光ファイバ母材は、けい素化合物を酸水素火炎バーナ
ーで加水分解して得たガラス微粒子を耐熱性の担体上に
堆積するという外付けCVD法によって多孔質母材を作
り、これを焼結し、透明ガラス化することによって作ら
れているが、この多孔質母材の大型化およびその生産性
向上のためにはこのバーナーを複数個使用する方法が汎
用されている。
ーで加水分解して得たガラス微粒子を耐熱性の担体上に
堆積するという外付けCVD法によって多孔質母材を作
り、これを焼結し、透明ガラス化することによって作ら
れているが、この多孔質母材の大型化およびその生産性
向上のためにはこのバーナーを複数個使用する方法が汎
用されている。
（発明が解決しようとする課題） しかし、この外付けCVD法による多孔質母材の製造に
おいて複数のバーナーを用いる場合、通常このバーナー
は一定間隔で設置されており、この間隔が小さくて２つ
のバーナーが近づきすぎると火炎同志が干渉し合うため
にガラス微粒子の堆積効率が低下し、またこの間隔が大
きくてバーナー間隔が開きすぎるとガラス微粒子堆積部
の両端テーパー部が大きくなって有効部が短かくなり、
歩留りがわるくなるという不利がある。
おいて複数のバーナーを用いる場合、通常このバーナー
は一定間隔で設置されており、この間隔が小さくて２つ
のバーナーが近づきすぎると火炎同志が干渉し合うため
にガラス微粒子の堆積効率が低下し、またこの間隔が大
きくてバーナー間隔が開きすぎるとガラス微粒子堆積部
の両端テーパー部が大きくなって有効部が短かくなり、
歩留りがわるくなるという不利がある。
（課題を解決するための手段） 本発明はこのような不利を解決することのできる光フ
ァイバ多孔質母材の製造方法に関するものであり、これ
は複数のバーナーを用いて外付けCVD法により担体上に
ガラス微粒子を堆積させた光ファイバ多孔質母材を製造
する方法において、該バーナーの間隔をガラス微粒子を
堆積の有効堆積部にではバーナー径の４倍以上とし、テ
ーパー部においてはバーナー径の３倍以下とすることを
特徴とするものである。
ァイバ多孔質母材の製造方法に関するものであり、これ
は複数のバーナーを用いて外付けCVD法により担体上に
ガラス微粒子を堆積させた光ファイバ多孔質母材を製造
する方法において、該バーナーの間隔をガラス微粒子を
堆積の有効堆積部にではバーナー径の４倍以上とし、テ
ーパー部においてはバーナー径の３倍以下とすることを
特徴とするものである。
すなわち、本発明者らは酸水素火炎バーナーを複数本
使用する外付けCVD法によって光ファイバ多孔質母材を
製造する方法において、これを効率よく実施する方法に
ついて種々検討した結果、第２図に示すようにここに使
用する複数個のバーナーの間隔を固定化せずにこれを可
動とし、有効堆積部においてはのバーナー間隔をバーナ
ー径の４倍以上とすると各バーナーの火炎同志が干渉し
合うことがなくなるので、この部分でのガラス微粒子の
堆積効率を85％以上とすることができること、また第３
図に示すようにテーパー部についてはこのバーナー間隔
をバーナー径の３倍以下とするとこのテーパー部をほぼ
一定で最小値とすることができることを見出し、その結
果有効堆積部を最長とすることができるということを確
認して本発明を完成させた。
使用する外付けCVD法によって光ファイバ多孔質母材を
製造する方法において、これを効率よく実施する方法に
ついて種々検討した結果、第２図に示すようにここに使
用する複数個のバーナーの間隔を固定化せずにこれを可
動とし、有効堆積部においてはのバーナー間隔をバーナ
ー径の４倍以上とすると各バーナーの火炎同志が干渉し
合うことがなくなるので、この部分でのガラス微粒子の
堆積効率を85％以上とすることができること、また第３
図に示すようにテーパー部についてはこのバーナー間隔
をバーナー径の３倍以下とするとこのテーパー部をほぼ
一定で最小値とすることができることを見出し、その結
果有効堆積部を最長とすることができるということを確
認して本発明を完成させた。
以下これをさらに詳述する。
（作用） 本発明による光ファイバ多孔質母材の製造は外付けCV
D法で行なわれる。
D法で行なわれる。
これは四塩化けい素（SiCl4）などのけい素化合物を
酸水素火炎バーナーに送り、この酸水素火炎で加水分解
してガラス微粒子を生成させ、これを合成石英、炭化け
い素、炭素などの耐熱性材料からなる担体上に堆積して
多孔質ガラスを母材とするのであるが、この担体上への
ガラス微粒子の堆積を増加させるために本発明の方法で
はこの酸水素火炎バーナーが２個または２個以上の複数
個で行なわれる。
酸水素火炎バーナーに送り、この酸水素火炎で加水分解
してガラス微粒子を生成させ、これを合成石英、炭化け
い素、炭素などの耐熱性材料からなる担体上に堆積して
多孔質ガラスを母材とするのであるが、この担体上への
ガラス微粒子の堆積を増加させるために本発明の方法で
はこの酸水素火炎バーナーが２個または２個以上の複数
個で行なわれる。
つぎにこれを添付の図面にともづいて説明する。第１
図は本発明の方法による光ファイバ多孔質母材の製造装
置の縦断面図を示したものであり、光ファイバ多孔質母
材１は合成石英、炭化けい素、炭素などのような耐熱性
の担体２の上に、四塩化けい素などのガス状けい素化合
物を送入している酸水素火炎バーナー３−1,3−２・・
・などでけい素化合物を加水分解して得たガラス微粒子
４を堆積させることによって作られるが、このバーナー
３−1,3−２はバーナー台５にバーナー間隔が調整でき
るように載置されており、このものは多孔質母材の直径
を略々均一にするということから担体２またはこのバー
ナー台５のいずれかまたは両者が左右に一定の速度で移
動できるようにされている。
図は本発明の方法による光ファイバ多孔質母材の製造装
置の縦断面図を示したものであり、光ファイバ多孔質母
材１は合成石英、炭化けい素、炭素などのような耐熱性
の担体２の上に、四塩化けい素などのガス状けい素化合
物を送入している酸水素火炎バーナー３−1,3−２・・
・などでけい素化合物を加水分解して得たガラス微粒子
４を堆積させることによって作られるが、このバーナー
３−1,3−２はバーナー台５にバーナー間隔が調整でき
るように載置されており、このものは多孔質母材の直径
を略々均一にするということから担体２またはこのバー
ナー台５のいずれかまたは両者が左右に一定の速度で移
動できるようにされている。
このようにして作られた多孔質母材は図に示されてい
るように径が略々均一とされている直胴部（以下これを
有効堆積部と略記する）と三角形状の端末部（以下これ
をテーパー部と略記する）とによって構成されている
が、本発明の方法ではこの多孔質母材１を大型のものと
すること、またこの生産性を向上させるために酸水素火
炎バーナー３が複数個使用されている。
るように径が略々均一とされている直胴部（以下これを
有効堆積部と略記する）と三角形状の端末部（以下これ
をテーパー部と略記する）とによって構成されている
が、本発明の方法ではこの多孔質母材１を大型のものと
すること、またこの生産性を向上させるために酸水素火
炎バーナー３が複数個使用されている。
しかして、この酸水素火炎バーナーは有効堆積部を形
成させるために少なくとも２本（３−１、３−２）が使
用されるが、この２本の酸水素火炎バーナー３−１、３
−２のバーナー間隔はバーナー径の４倍以上とする必要
がある。これはバーナー間隔がバーナー径の４倍以下で
あるとバーナー火炎同志が干渉し合ってガラス微粒子４
の担体２への堆積収率が低下してしまうが、これをバー
ナー径の４倍以上とすればバーナー火炎同志が干渉し合
うことがなくなるので、ガラス微粒子の有効堆積部への
堆積収率を85％以上とすることができる。
成させるために少なくとも２本（３−１、３−２）が使
用されるが、この２本の酸水素火炎バーナー３−１、３
−２のバーナー間隔はバーナー径の４倍以上とする必要
がある。これはバーナー間隔がバーナー径の４倍以下で
あるとバーナー火炎同志が干渉し合ってガラス微粒子４
の担体２への堆積収率が低下してしまうが、これをバー
ナー径の４倍以上とすればバーナー火炎同志が干渉し合
うことがなくなるので、ガラス微粒子の有効堆積部への
堆積収率を85％以上とすることができる。
また、このテーパ部におけるガラス微粒子の堆積はこ
のテーパー部が最終的には有効堆積部から切り離されて
回収されるもので光ファイバとされるものではなく、し
たがってできるだけ小さいものとすることがよいので、
酸水素火炎バーナー３−１、３−２が担体２の両末端に
移動してきたときにはこのバーナー間隔をバーナー径の
３倍以下と小さくすることが必要であり、これによれば
この部位ではバーナー火炎同志が干渉し合うのでガラス
微粒子４の担体２への堆積収率がわるくなるが、テーパ
ー部を最小とすることができる。
のテーパー部が最終的には有効堆積部から切り離されて
回収されるもので光ファイバとされるものではなく、し
たがってできるだけ小さいものとすることがよいので、
酸水素火炎バーナー３−１、３−２が担体２の両末端に
移動してきたときにはこのバーナー間隔をバーナー径の
３倍以下と小さくすることが必要であり、これによれば
この部位ではバーナー火炎同志が干渉し合うのでガラス
微粒子４の担体２への堆積収率がわるくなるが、テーパ
ー部を最小とすることができる。
すなわち、本発明による光ファイバ多孔質母材の製造
は、前記したように複数のバーナーを用いて外付けCVD
法で光ファイバ多孔質母材の製造する方法において、該
バーナーの間隔を有効堆積部ではバーナー径の４倍以上
とし、テーパー部ではバーナー径の３倍以下とするもの
であるが、これによれば最長の有効堆積部を得ることが
でき、ここでのガラス微粒子の堆積収率を85％以上とす
ることができるので大口径の光ファイバ多孔質母材を生
産性よく製造することができるし、テーパー部は少さく
することができるのでこの面からも生産性を向上させる
ことができるという有利性が与えられる。
は、前記したように複数のバーナーを用いて外付けCVD
法で光ファイバ多孔質母材の製造する方法において、該
バーナーの間隔を有効堆積部ではバーナー径の４倍以上
とし、テーパー部ではバーナー径の３倍以下とするもの
であるが、これによれば最長の有効堆積部を得ることが
でき、ここでのガラス微粒子の堆積収率を85％以上とす
ることができるので大口径の光ファイバ多孔質母材を生
産性よく製造することができるし、テーパー部は少さく
することができるのでこの面からも生産性を向上させる
ことができるという有利性が与えられる。
（実施例） つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例 担体軸方向に平行に左右に往復運動できるように口径
25mmの可動性酸水素バーナー２個を設置した第１図に示
した外付CVD法装置を使用し、これに担体として直径40m
mφ、長さ800mmのコア用石英ガラスロッドを設置し、40
rpmで回転させた。
25mmの可動性酸水素バーナー２個を設置した第１図に示
した外付CVD法装置を使用し、これに担体として直径40m
mφ、長さ800mmのコア用石英ガラスロッドを設置し、40
rpmで回転させた。
ついで装置中央に２本の酸水素火炎バーナーをバーナ
ー間隔がバーナー径の５倍である125mmとなすように設
置する（図中の（Ｂ））と共に、これらを担体と平行に
左右に100mm/分の速度で往復運動するようにし、このバ
ーナーに四塩化けい素（SiCl4）を300g/時、酸素ガスを
4m3/時、水素ガスを4m3/時で供給して着火し、この火炎
中でのSiCl4の加水分解で発生したシリカ微粒子を担体
上に堆積させ、このバーナーが担体の両端に近づいたと
き（図中の（Ａ）、（Ｃ））にはこの２本のバーナー間
隔をバーナー径の３倍以下である40mmになるようにし、
10時間ガラス微粒子の担体上への堆積を行なったとこ
ろ、有効堆積部92％、テーパー部８％の直径が150mmφ
である多孔質ガラス母材が得られ、このものの平均堆積
収率は75％であった。
ー間隔がバーナー径の５倍である125mmとなすように設
置する（図中の（Ｂ））と共に、これらを担体と平行に
左右に100mm/分の速度で往復運動するようにし、このバ
ーナーに四塩化けい素（SiCl4）を300g/時、酸素ガスを
4m3/時、水素ガスを4m3/時で供給して着火し、この火炎
中でのSiCl4の加水分解で発生したシリカ微粒子を担体
上に堆積させ、このバーナーが担体の両端に近づいたと
き（図中の（Ａ）、（Ｃ））にはこの２本のバーナー間
隔をバーナー径の３倍以下である40mmになるようにし、
10時間ガラス微粒子の担体上への堆積を行なったとこ
ろ、有効堆積部92％、テーパー部８％の直径が150mmφ
である多孔質ガラス母材が得られ、このものの平均堆積
収率は75％であった。
しかし、比較のためにこの２本のバーナー間隔をバー
ナー径の３倍である75mmに固定したほかは上記と同様に
処理したところ、得られた多孔質ガラス母材の有効堆積
部は84％でテーパー部は16％であり、このときのシリカ
微粒子の平均堆積収率は50％となった。
ナー径の３倍である75mmに固定したほかは上記と同様に
処理したところ、得られた多孔質ガラス母材の有効堆積
部は84％でテーパー部は16％であり、このときのシリカ
微粒子の平均堆積収率は50％となった。
（発明の効果） 本発明は光ファイバ多孔質ガラス母材の製造法に関す
るものであり、これは前記したように複数の酸水素火炎
バーナーを用いるCVD法において、この２本のバーナー
間隔を有効堆積部においてはバーナー径の４倍以上と
し、テーパー部ではこれをバーナー径の３倍以下とする
ものであるが、これによればテーパー部を最小とするこ
とができるし、有効堆積部ではバーナー火炎同志の干渉
がなくなるのでこの堆積収率を85％以上とすることがで
き、平均堆積収率を上げることができるという工業的な
有利性が与えられる。
るものであり、これは前記したように複数の酸水素火炎
バーナーを用いるCVD法において、この２本のバーナー
間隔を有効堆積部においてはバーナー径の４倍以上と
し、テーパー部ではこれをバーナー径の３倍以下とする
ものであるが、これによればテーパー部を最小とするこ
とができるし、有効堆積部ではバーナー火炎同志の干渉
がなくなるのでこの堆積収率を85％以上とすることがで
き、平均堆積収率を上げることができるという工業的な
有利性が与えられる。
第１図は本発明の方法に使用されるCVD法による多孔質
ガラス母材製造装置の縦断面図を示したものであり、第
２図はバーナー間隙と堆積効率との関係図、第３図はバ
ーナー間隙とテーパー部の長さとの関係図を示したもの
である。１ ……光ファイバ多孔質母材 ２……担体 ３−１ ３−２……酸水素火炎バーナー ４……ガラス微粒子、５……バーナー台 ｌ……バーナー間隔、ｄ……バーナー径
ガラス母材製造装置の縦断面図を示したものであり、第
２図はバーナー間隙と堆積効率との関係図、第３図はバ
ーナー間隙とテーパー部の長さとの関係図を示したもの
である。１ ……光ファイバ多孔質母材 ２……担体 ３−１ ３−２……酸水素火炎バーナー ４……ガラス微粒子、５……バーナー台 ｌ……バーナー間隔、ｄ……バーナー径
Claims (1)
- 【請求項１】複数のバーナーを用いて外付けCVD法によ
り担体上にガラス微粒子を堆積させた光ファイバ多孔質
母材の製造方法において、該バーナーの間隔をガラス微
粒子堆積の有効堆積部においてはバーナー径の４倍以上
とし、テーパー部においてはバーナー径の３倍以下とす
ることを特徴とする光ファイバ多孔質母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1247225A JP2612941B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1247225A JP2612941B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109231A JPH03109231A (ja) | 1991-05-09 |
| JP2612941B2 true JP2612941B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=17160317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1247225A Expired - Lifetime JP2612941B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2612941B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2791663B1 (fr) * | 1999-04-01 | 2001-06-29 | Cit Alcatel | Procede de fabrication d'une reforme pour fibre optique et plus particulierement d'une preforme de fort diametre |
| EP1065175B1 (en) | 1999-07-02 | 2005-03-30 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing a glass optical fibre preform by the outside vapour deposition process |
| DE10047100B4 (de) * | 2000-09-21 | 2004-09-30 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Zylinders aus dotiertem Quarzglas |
| CN1392866A (zh) * | 2000-11-24 | 2003-01-22 | 住友电气工业株式会社 | 玻璃微粒子堆积体的制造方法及其使用的装置 |
| JP3512027B2 (ja) * | 2001-09-20 | 2004-03-29 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質母材の製造方法 |
| WO2007073031A1 (en) * | 2005-12-19 | 2007-06-28 | Ls Cable Ltd. | Method for fabricating optical fiber preform with low oh concentration using mcvd process |
| KR101695400B1 (ko) * | 2015-11-03 | 2017-01-23 | 주식회사 아론 | 광섬유 모재 제조장치 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0383831A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-09 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
-
1989
- 1989-09-22 JP JP1247225A patent/JP2612941B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03109231A (ja) | 1991-05-09 |
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Legal Events
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