JPH1062176A - 圧電振動子およびこれを用いた圧電振動ジャイロ - Google Patents
圧電振動子およびこれを用いた圧電振動ジャイロInfo
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- JPH1062176A JPH1062176A JP8215791A JP21579196A JPH1062176A JP H1062176 A JPH1062176 A JP H1062176A JP 8215791 A JP8215791 A JP 8215791A JP 21579196 A JP21579196 A JP 21579196A JP H1062176 A JPH1062176 A JP H1062176A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ジャイロに用いて好適な圧電振動子とこれを
用いた小型、安価で高精度のジャイロを提供する。 【解決手段】 リング状圧電振動子は中央部に貫通した
孔を有する扁平な円柱状の圧電体１に、その内壁に接地
電極２を、また、円柱外壁の外周の９０度毎に所定の幅
の４つの電極を設ける。対向する一対の電極を駆動電極
３ａ、３ｂとし、他の一対を検出電極４ａ、４ｂとす
る。駆動電極３ａ、３ｂに交流電源より同位相の交流電
圧を印加すると、圧電体１は振動し、振動している状態
でこの圧電体１に回転角速度を与えると振動付加方向と
直角の方向にコリオリ力が生じる。このコリオリ力によ
り圧電体１に回転角速度に対応した電圧が生じ、検出電
極４ａ、４ｂでこの電圧が検出され、角速度が求められ
る。リング状圧電振動子１００は、その最も振動しない
部位が円筒内壁の検出電極４ａおよび４ｂに対向してい
る部位にあり、この部位で固定する。
用いた小型、安価で高精度のジャイロを提供する。 【解決手段】 リング状圧電振動子は中央部に貫通した
孔を有する扁平な円柱状の圧電体１に、その内壁に接地
電極２を、また、円柱外壁の外周の９０度毎に所定の幅
の４つの電極を設ける。対向する一対の電極を駆動電極
３ａ、３ｂとし、他の一対を検出電極４ａ、４ｂとす
る。駆動電極３ａ、３ｂに交流電源より同位相の交流電
圧を印加すると、圧電体１は振動し、振動している状態
でこの圧電体１に回転角速度を与えると振動付加方向と
直角の方向にコリオリ力が生じる。このコリオリ力によ
り圧電体１に回転角速度に対応した電圧が生じ、検出電
極４ａ、４ｂでこの電圧が検出され、角速度が求められ
る。リング状圧電振動子１００は、その最も振動しない
部位が円筒内壁の検出電極４ａおよび４ｂに対向してい
る部位にあり、この部位で固定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電振動子の構造
と、この圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロ、および
この圧電振動ジャイロの利用に関する。
と、この圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロ、および
この圧電振動ジャイロの利用に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ビデオカメラの分野において、手
ブレ補正機能が低価格機にも導入されるようになってき
ている。手ブレ補正は幾つかの方式があるが、現在では
角速度センサで手ブレを検出し、この検出結果に基づい
て撮像レンズの前に置かれた可変プリズムの頂角を制御
する方法や、撮像素子であるＣＣＤの画素切り出し位置
を制御する方法が主に用いられている。いずれの方法に
おいても角速度センサは必須のデバイスとなるものであ
る。
ブレ補正機能が低価格機にも導入されるようになってき
ている。手ブレ補正は幾つかの方式があるが、現在では
角速度センサで手ブレを検出し、この検出結果に基づい
て撮像レンズの前に置かれた可変プリズムの頂角を制御
する方法や、撮像素子であるＣＣＤの画素切り出し位置
を制御する方法が主に用いられている。いずれの方法に
おいても角速度センサは必須のデバイスとなるものであ
る。
【０００３】また、カーナビゲーションの分野において
は、更に位置精度を高めるために、衛星を用いたＧＰＳ
（Global Positioning System ）による位置情報の検出
に加え、走行している自動車の速度と角速度を検出し、
例えばトンネルやビルの陰等のＧＰＳ衛星から受信がで
きない環境においても、正確な位置情報が得られるよう
にしたハイブリッド式のカーナビゲーションが普及して
きており、この場合も角速度センサは必須のデバイスと
なっている。
は、更に位置精度を高めるために、衛星を用いたＧＰＳ
（Global Positioning System ）による位置情報の検出
に加え、走行している自動車の速度と角速度を検出し、
例えばトンネルやビルの陰等のＧＰＳ衛星から受信がで
きない環境においても、正確な位置情報が得られるよう
にしたハイブリッド式のカーナビゲーションが普及して
きており、この場合も角速度センサは必須のデバイスと
なっている。
【０００４】上述したことから、これら電子機器の普及
に伴い角速度センサにおいても小型化、軽量化、低価格
化が求められるようになってきている。特にビデオカメ
ラの用途においては、手ブレの微小な角速度に対する検
出感度とリニアリティが、また、カーナビゲーションの
用途においては、温度、湿度、振動、外部磁界等の環境
の変化に対する安定性、長期信頼性が要求されている。
に伴い角速度センサにおいても小型化、軽量化、低価格
化が求められるようになってきている。特にビデオカメ
ラの用途においては、手ブレの微小な角速度に対する検
出感度とリニアリティが、また、カーナビゲーションの
用途においては、温度、湿度、振動、外部磁界等の環境
の変化に対する安定性、長期信頼性が要求されている。
【０００５】かかる状況から、種々ある角速度検出方式
のなかから小型化、低価格化が比較的容易な音片型の圧
電振動ジャイロが主に用いられるようになってきてい
る。音片型の圧電振動ジャイロは大きくは２つの種類に
分類される。その一つはエリンバ、水晶、ＰＺＴ等の音
片型振動体にＰＺＴ等のシート状圧電素子を複数枚接着
したものであり、また、他の一つはＰＺＴ等の音片型振
動体の表面に直接電極を形成したものである。いずれも
振動体を振動させ、振動体の回転により発生するコリオ
リ力によって圧電体が変位を受け、その変位の大きさに
応じて発生した電圧を検出するタイプである。振動体と
しては何れも三角柱等の棒状のものを用いている。
のなかから小型化、低価格化が比較的容易な音片型の圧
電振動ジャイロが主に用いられるようになってきてい
る。音片型の圧電振動ジャイロは大きくは２つの種類に
分類される。その一つはエリンバ、水晶、ＰＺＴ等の音
片型振動体にＰＺＴ等のシート状圧電素子を複数枚接着
したものであり、また、他の一つはＰＺＴ等の音片型振
動体の表面に直接電極を形成したものである。いずれも
振動体を振動させ、振動体の回転により発生するコリオ
リ力によって圧電体が変位を受け、その変位の大きさに
応じて発生した電圧を検出するタイプである。振動体と
しては何れも三角柱等の棒状のものを用いている。
【０００６】例えば、図６は振動体を用いたジャイロの
一例であって、同図（ａ）はその斜視図であり、同図
（ｂ）は同図（ａ）の矢視Ａからの側面図である。振動
体１０は三角柱の形状であって、その３つの側面に圧電
体１１が密着されている。しかしながら、このジャイロ
の感度を高めるためには、振動体１０を、その振動を抑
制することのないように固定しなければならない。従っ
て、理論的に振動しない振動の節（ノード点）で支持す
ることが必要になる。即ち、振動体１０の節である２か
所の稜線上の支持点１３で支持ワイヤ１２とスポット溶
接等により固定し、支持ワイヤ１２は基板１４に固定さ
れて、振動体１０を自由に振動できるように保持する。
一例であって、同図（ａ）はその斜視図であり、同図
（ｂ）は同図（ａ）の矢視Ａからの側面図である。振動
体１０は三角柱の形状であって、その３つの側面に圧電
体１１が密着されている。しかしながら、このジャイロ
の感度を高めるためには、振動体１０を、その振動を抑
制することのないように固定しなければならない。従っ
て、理論的に振動しない振動の節（ノード点）で支持す
ることが必要になる。即ち、振動体１０の節である２か
所の稜線上の支持点１３で支持ワイヤ１２とスポット溶
接等により固定し、支持ワイヤ１２は基板１４に固定さ
れて、振動体１０を自由に振動できるように保持する。
【０００７】しかしながら、上述した固定方法では厳密
に固定位置を決定しなければならず、また、高度な組み
立て技術が必要であって生産性が悪い欠点があった。更
に、この固定方法では対衝撃性等の信頼性にも問題を有
していた。
に固定位置を決定しなければならず、また、高度な組み
立て技術が必要であって生産性が悪い欠点があった。更
に、この固定方法では対衝撃性等の信頼性にも問題を有
していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従って本発明の課題
は、ジャイロに用いて好適な形状の振動体を得、この振
動体の支持を簡略にして強固、確実に行い、生産効率が
よく、小型、低価格のジャイロを提供しようとするもの
である。
は、ジャイロに用いて好適な形状の振動体を得、この振
動体の支持を簡略にして強固、確実に行い、生産効率が
よく、小型、低価格のジャイロを提供しようとするもの
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
成されたものであり、扁平な円筒形状の圧電体であっ
て、円筒内壁の全側面にわたって接地電極を形成すると
共に、円筒外壁に、その円筒外周に沿って９０度毎に所
定幅の電極を４本形成し、対向する一対の電極を電圧印
加電極とし、他の対向する一対の電極を電圧検出電極と
する圧電振動子を構成する。
成されたものであり、扁平な円筒形状の圧電体であっ
て、円筒内壁の全側面にわたって接地電極を形成すると
共に、円筒外壁に、その円筒外周に沿って９０度毎に所
定幅の電極を４本形成し、対向する一対の電極を電圧印
加電極とし、他の対向する一対の電極を電圧検出電極と
する圧電振動子を構成する。
【００１０】また、前記圧電振動子を、自由に振動する
ことが可能な状態にして固定部材に固着すると共に、少
なくとも、前記一対の電圧印加電極に所定の周波数の交
流電圧を印加する手段と、他の一対の電圧検出電極の出
力信号を処理する手段とを具備して圧電振動ジャイロを
構成する。前記圧電振動子の固定部材への固着は、前記
圧電振動子の円筒内壁に設けられた接地電極の所定部位
を固定部材の取付け部に固定する。
ことが可能な状態にして固定部材に固着すると共に、少
なくとも、前記一対の電圧印加電極に所定の周波数の交
流電圧を印加する手段と、他の一対の電圧検出電極の出
力信号を処理する手段とを具備して圧電振動ジャイロを
構成する。前記圧電振動子の固定部材への固着は、前記
圧電振動子の円筒内壁に設けられた接地電極の所定部位
を固定部材の取付け部に固定する。
【００１１】上述した２個の圧電振動ジャイロを、その
角速度検出軸を互いに直角に配置して一体構成した２軸
の圧電振動ジャイロを構成する。また、上述した３個の
圧電振動ジャイロを、その角速度検出軸を互いに直角に
配置して一体構成した３軸の圧電振動ジャイロを構成す
る。
角速度検出軸を互いに直角に配置して一体構成した２軸
の圧電振動ジャイロを構成する。また、上述した３個の
圧電振動ジャイロを、その角速度検出軸を互いに直角に
配置して一体構成した３軸の圧電振動ジャイロを構成す
る。
【００１２】また、上述した圧電振動ジャイロを用いて
手触れ補正機構を構成し、この手触れ補正機構を用いて
ビデオカメラを作製する。更に、上述した圧電振動ジャ
イロを用いてカーナビゲーション装置を構成する。
手触れ補正機構を構成し、この手触れ補正機構を用いて
ビデオカメラを作製する。更に、上述した圧電振動ジャ
イロを用いてカーナビゲーション装置を構成する。
【００１３】本発明によると、径方向に振動する扁平な
円筒形状の圧電振動子は、その支持を強固、確実に行う
ことが容易であり、従って、生産効率がよく、小型、低
価格のジャイロを構成できる。また、２軸、或いは３軸
方向の角速度を検出する一体構成のジャイロも容易に作
製することができ、更に、このジャイロを手ブレ補正装
置、カーナビゲーション装置等に用いることにより、小
型、安価で信頼性の高い装置が構成できる。
円筒形状の圧電振動子は、その支持を強固、確実に行う
ことが容易であり、従って、生産効率がよく、小型、低
価格のジャイロを構成できる。また、２軸、或いは３軸
方向の角速度を検出する一体構成のジャイロも容易に作
製することができ、更に、このジャイロを手ブレ補正装
置、カーナビゲーション装置等に用いることにより、小
型、安価で信頼性の高い装置が構成できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明者は径方向に振動する扁平
な円筒形状（以下、単に「リング状」と記す）の圧電振
動子は、振動子の支持が簡単で、小型、軽量、低価格で
生産性に富み、また、２軸、或いは３軸に一体構成する
ことが容易であることを見いだした。即ち、本発明は、
振動している物体を回転させると、その振動方向と直角
な方向にコリオリの力が発生するという現象を利用した
角速度センサである圧電振動ジャイロにおいて、径方向
に振動するリング状の圧電振動子を用いることにより、
振動子の支持が簡略化でき、小型化が容易で生産性に富
むことを特徴とする圧電振動ジャイロに関するものであ
る。
な円筒形状（以下、単に「リング状」と記す）の圧電振
動子は、振動子の支持が簡単で、小型、軽量、低価格で
生産性に富み、また、２軸、或いは３軸に一体構成する
ことが容易であることを見いだした。即ち、本発明は、
振動している物体を回転させると、その振動方向と直角
な方向にコリオリの力が発生するという現象を利用した
角速度センサである圧電振動ジャイロにおいて、径方向
に振動するリング状の圧電振動子を用いることにより、
振動子の支持が簡略化でき、小型化が容易で生産性に富
むことを特徴とする圧電振動ジャイロに関するものであ
る。
【００１５】つぎに、本発明の実施の形態例について図
１ないし図５を参照して説明する。図１は本発明による
リング状の圧電体で形成された振動子（以下、単に「リ
ング状圧電振動子」と記す）の斜視図であり、図２はリ
ング状圧電振動子の振動パターンを示す図である。図３
はこのリング状圧電振動子を用いたジャイロの回路構成
例を示す図である。また、図４はリング状圧電振動子の
支持方法を示し、（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）は
その断面図である。更に図５は本発明のリング状圧電振
動子の複数個を一体化したジャイロの構成例である。
１ないし図５を参照して説明する。図１は本発明による
リング状の圧電体で形成された振動子（以下、単に「リ
ング状圧電振動子」と記す）の斜視図であり、図２はリ
ング状圧電振動子の振動パターンを示す図である。図３
はこのリング状圧電振動子を用いたジャイロの回路構成
例を示す図である。また、図４はリング状圧電振動子の
支持方法を示し、（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）は
その断面図である。更に図５は本発明のリング状圧電振
動子の複数個を一体化したジャイロの構成例である。
【００１６】本発明のリング状圧電振動子１００の形状
は図１に示すように、中央部に貫通した孔を有する扁平
な円柱状の圧電体１に、その内壁に接地電極２を、ま
た、円柱外壁の外周の９０度毎に所定の幅の４つの電極
を設ける。対向する一対の電極を駆動電極３ａ、３ｂと
し、他の一対を検出電極４ａ、４ｂとする。
は図１に示すように、中央部に貫通した孔を有する扁平
な円柱状の圧電体１に、その内壁に接地電極２を、ま
た、円柱外壁の外周の９０度毎に所定の幅の４つの電極
を設ける。対向する一対の電極を駆動電極３ａ、３ｂと
し、他の一対を検出電極４ａ、４ｂとする。
【００１７】リング状圧電振動子１００の作製は、ＰＺ
Ｔ等の圧電材料の原料粉末を所定の組成にて混練し、リ
ング状にプレス成形し、１２００〜１３００℃で焼結す
る。その後、銀等の導電ペーストを焼き付け、電極をメ
ッキ、スパッタ、蒸着等の方法により形成し、更にその
後、圧電効果を持たせるために分極を行う。分極は図１
の矢印で示す方向に成されるように、接地電極２と駆動
電極３ａ、３ｂおよび検出電極４ａ、４ｂとの間に電圧
を印加して行う。駆動電極３ａ、３ｂは圧電体１に振動
を与える電極であり、また、検出電極４ａ、４ｂは圧電
体１が回転した際に生じるコリオリ力を検出する電極で
ある。また、圧電体１の振動モードは図２に示すように
なる。
Ｔ等の圧電材料の原料粉末を所定の組成にて混練し、リ
ング状にプレス成形し、１２００〜１３００℃で焼結す
る。その後、銀等の導電ペーストを焼き付け、電極をメ
ッキ、スパッタ、蒸着等の方法により形成し、更にその
後、圧電効果を持たせるために分極を行う。分極は図１
の矢印で示す方向に成されるように、接地電極２と駆動
電極３ａ、３ｂおよび検出電極４ａ、４ｂとの間に電圧
を印加して行う。駆動電極３ａ、３ｂは圧電体１に振動
を与える電極であり、また、検出電極４ａ、４ｂは圧電
体１が回転した際に生じるコリオリ力を検出する電極で
ある。また、圧電体１の振動モードは図２に示すように
なる。
【００１８】つぎに図３を参照してリング状圧電振動子
１００の動作について説明する。まず、駆動電極３ａ、
３ｂに交流電源５より同位相の交流電圧を印加すると、
圧電効果により電気−機械変換を行い、図２に示した振
動を発生する。このリング状圧電振動子１００に回転角
速度を与えると振動付加方向と直角の方向にコリオリ力
が生じ、このコリオリ力により圧電素子１に回転角速度
に対応した電圧が生じて、検出電極４ａ、４ｂによりこ
の電圧が検出されて角速度が求められる。
１００の動作について説明する。まず、駆動電極３ａ、
３ｂに交流電源５より同位相の交流電圧を印加すると、
圧電効果により電気−機械変換を行い、図２に示した振
動を発生する。このリング状圧電振動子１００に回転角
速度を与えると振動付加方向と直角の方向にコリオリ力
が生じ、このコリオリ力により圧電素子１に回転角速度
に対応した電圧が生じて、検出電極４ａ、４ｂによりこ
の電圧が検出されて角速度が求められる。
【００１９】このコリオリ力による電圧は検出電極４ａ
と検出電極４ｂとでは逆位相であるため、オペアンプ
（差動増幅器）６の２つの入力端にそれぞれの検出出力
を接続することにより、２倍の検出電圧を得ることがで
きる。また、駆動電極３ａ、３ｂに電圧を印加した際に
検出電極４ａ、４ｂ方向の振動も生じるが、これによっ
て発生する検出電極４ａ、４ｂ方向の電圧はオペアンプ
６によってキャンセルされるため、誤差の少ない角速度
の検出が可能となる。
と検出電極４ｂとでは逆位相であるため、オペアンプ
（差動増幅器）６の２つの入力端にそれぞれの検出出力
を接続することにより、２倍の検出電圧を得ることがで
きる。また、駆動電極３ａ、３ｂに電圧を印加した際に
検出電極４ａ、４ｂ方向の振動も生じるが、これによっ
て発生する検出電極４ａ、４ｂ方向の電圧はオペアンプ
６によってキャンセルされるため、誤差の少ない角速度
の検出が可能となる。
【００２０】つぎに、リング状圧電振動子１００の固定
方法について図４を参照して説明する。振動ジャイロの
感度は振動の大きさに大きく依存するため、振動子の支
持はその振動を抑制しない方法で行わなければならな
い。前述したように従来の三角柱のような音片型の振動
子の場合、ノード点で支持しなければならないが、本発
明のリング状圧電振動子１００は、その最も振動しない
部位が円筒内壁の検出電極４ａおよび４ｂに対向してい
る部位にあり、従って、この部位を固定部材７の取付け
部８に当接し、ハンダ付け等により固定することでリン
グ状圧電振動子１００の支持をすることができる。
方法について図４を参照して説明する。振動ジャイロの
感度は振動の大きさに大きく依存するため、振動子の支
持はその振動を抑制しない方法で行わなければならな
い。前述したように従来の三角柱のような音片型の振動
子の場合、ノード点で支持しなければならないが、本発
明のリング状圧電振動子１００は、その最も振動しない
部位が円筒内壁の検出電極４ａおよび４ｂに対向してい
る部位にあり、従って、この部位を固定部材７の取付け
部８に当接し、ハンダ付け等により固定することでリン
グ状圧電振動子１００の支持をすることができる。
【００２１】このように従来用いられてきたスポット溶
接によらずに支持ができ、しかも確実で強固に行うこと
ができる。従って、本発明のリング状圧電振動子１００
を複数個一体としたジャイロの構成も容易となる。図５
はその一例であって、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対応したＸ軸
用取付け部８ｘ、Ｙ軸用取付け部８ｙ、Ｚ軸用取付け部
８ｚを有する固定部材７ａに、それぞれの取付け部に対
応してＸ軸用リング状圧電振動子１００ｘ、Ｙ軸用リン
グ状圧電振動子１００ｙ、Ｚ軸用リング状圧電振動子１
００ｚを固定することにより３軸一体型のジャイロを容
易に構成できる。尚、上述のものから１つの軸構成を除
いて２軸一体型のジャイロを構成することができること
は当然である。
接によらずに支持ができ、しかも確実で強固に行うこと
ができる。従って、本発明のリング状圧電振動子１００
を複数個一体としたジャイロの構成も容易となる。図５
はその一例であって、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対応したＸ軸
用取付け部８ｘ、Ｙ軸用取付け部８ｙ、Ｚ軸用取付け部
８ｚを有する固定部材７ａに、それぞれの取付け部に対
応してＸ軸用リング状圧電振動子１００ｘ、Ｙ軸用リン
グ状圧電振動子１００ｙ、Ｚ軸用リング状圧電振動子１
００ｚを固定することにより３軸一体型のジャイロを容
易に構成できる。尚、上述のものから１つの軸構成を除
いて２軸一体型のジャイロを構成することができること
は当然である。
【００２２】また、上述した特性を有する圧電振動ジャ
イロを用いて手ブレ補正装置を構成し、これをビデオカ
メラに用いて効果的に手ブレ補正を行うことが可能であ
る。更に、カーナビゲーションにこの圧電振動ジャイロ
を用いることにより、小型、安価で信頼性の高い装置を
構成することが可能となるものである。
イロを用いて手ブレ補正装置を構成し、これをビデオカ
メラに用いて効果的に手ブレ補正を行うことが可能であ
る。更に、カーナビゲーションにこの圧電振動ジャイロ
を用いることにより、小型、安価で信頼性の高い装置を
構成することが可能となるものである。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
径方向に振動するリング状の圧電振動子は、その支持を
強固、確実に行うことが容易であって、これを用いるこ
とにより、生産効率がよく、小型、低価格のジャイロを
構成することが可能となる。また、２軸、或いは３軸方
向の角速度を検出するために、それぞれの軸方向に前記
圧電振動子を設け、一体構成のジャイロも容易に作製す
ることができる。
径方向に振動するリング状の圧電振動子は、その支持を
強固、確実に行うことが容易であって、これを用いるこ
とにより、生産効率がよく、小型、低価格のジャイロを
構成することが可能となる。また、２軸、或いは３軸方
向の角速度を検出するために、それぞれの軸方向に前記
圧電振動子を設け、一体構成のジャイロも容易に作製す
ることができる。
【００２４】また、本発明の圧電振動ジャイロを手ブレ
補正装置、カーナビゲーション装置等に用いることによ
り、精度、信頼性の高い装置を構成することができる。
補正装置、カーナビゲーション装置等に用いることによ
り、精度、信頼性の高い装置を構成することができる。
【図１】 本発明によるリング状圧電振動子の斜視図で
ある。
ある。
【図２】 リング状圧電振動子の振動パターンを示す図
である。
である。
【図３】 本発明によるリング状圧電振動子を用いたジ
ャイロの回路構成例を示す図である。
ャイロの回路構成例を示す図である。
【図４】 リング状圧電振動子の支持方法を示し、
（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）はその断面図であ
る。
（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）はその断面図であ
る。
【図５】 本発明のリング状圧電振動子の複数個を一体
としたジャイロの構成例である。
としたジャイロの構成例である。
【図６】 従来の圧電振動ジャイロの一例であって、
（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の矢視Ａの
側面図である。
（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の矢視Ａの
側面図である。
１…圧電体、２…接地電極、３ａ、３ｂ…駆動電極、４
ａ、４ｂ…検出電極、５…交流電源、６…オペアンプ、
７，７ａ…固定部材、８…取付け部、８ｘ…Ｘ軸用取付
け部、８ｙ…Ｙ軸用取付け部、８ｚ…Ｚ軸用取付け部、
１０…振動体、１１…圧電体、１２…支持ワイヤ、１３
…支持点、１４…基板、１００…リング状圧電振動子、
１００ｘ…Ｘ軸用リング状圧電振動子、１００ｙ…Ｙ軸
用リング状圧電振動子、１００ｚ…Ｚ軸用リング状圧電
振動子
ａ、４ｂ…検出電極、５…交流電源、６…オペアンプ、
７，７ａ…固定部材、８…取付け部、８ｘ…Ｘ軸用取付
け部、８ｙ…Ｙ軸用取付け部、８ｚ…Ｚ軸用取付け部、
１０…振動体、１１…圧電体、１２…支持ワイヤ、１３
…支持点、１４…基板、１００…リング状圧電振動子、
１００ｘ…Ｘ軸用リング状圧電振動子、１００ｙ…Ｙ軸
用リング状圧電振動子、１００ｚ…Ｚ軸用リング状圧電
振動子
Claims (8)
- 【請求項１】 扁平な円筒形状の圧電体であって、 円筒内壁の全側面にわたって接地電極を形成すると共
に、 円筒外壁に、その円筒外周に沿って９０度毎に所定幅の
電極を４本形成し、対向する一対の電極を電圧印加電極
とし、他の対向する一対の電極を電圧検出電極とするこ
とを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項２】 請求項１に記載の圧電振動子を、自由に
振動することが可能な状態にして固定部材に固着すると
共に、 少なくとも、 前記一対の電圧印加電極に所定の周波数の交流電圧を印
加する手段と、 他の一対の電圧検出電極の出力信号を処理する手段とを
具備して構成したことを特徴とする圧電振動ジャイロ。 - 【請求項３】 前記圧電振動子の固定部材への固着は、
前記圧電振動子の円筒内壁に設けられた接地電極の所定
部位を固定部材の取付け部に固定して行われることを特
徴とする、請求項２に記載の圧電振動ジャイロ。 - 【請求項４】 請求項２に記載した２個の圧電振動ジャ
イロを、その角速度検出軸を互いに直角に配置して一体
構成したことを特徴とする２軸の圧電振動ジャイロ。 - 【請求項５】 請求項２に記載した３個の圧電振動ジャ
イロを、その角速度検出軸を互いに直角に配置して一体
構成したことを特徴とする３軸の圧電振動ジャイロ。 - 【請求項６】 請求項２または請求項４に記載の圧電振
動ジャイロを用いて構成したことを特徴とする手触れ補
正機構。 - 【請求項７】 請求項６に記載の手触れ補正機構を具備
したことを特徴とするビデオカメラ。 - 【請求項８】 請求項２または請求項４または請求項５
に記載の圧電振動ジャイロを用いたことを特徴とするカ
ーナビゲーション装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215791A JPH1062176A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 圧電振動子およびこれを用いた圧電振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215791A JPH1062176A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 圧電振動子およびこれを用いた圧電振動ジャイロ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062176A true JPH1062176A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16678307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8215791A Abandoned JPH1062176A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 圧電振動子およびこれを用いた圧電振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1062176A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007052013A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-03-01 | Litton Syst Inc | 円筒状リングサスペンションを有するリング共振器ジャイロスコープ |
| JP2007514947A (ja) * | 2003-12-19 | 2007-06-07 | コミサリア、ア、レネルジ、アトミク | 微細加工振動構造及び関連するマイクロ・ジャイロスコープ |
| CN102297689A (zh) * | 2011-07-22 | 2011-12-28 | 上海交通大学 | 静电驱动压电检测闭环控制微固体模态陀螺 |
| JP2015001385A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | コベルコ建機株式会社 | 建設機械 |
-
1996
- 1996-08-15 JP JP8215791A patent/JPH1062176A/ja not_active Abandoned
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007514947A (ja) * | 2003-12-19 | 2007-06-07 | コミサリア、ア、レネルジ、アトミク | 微細加工振動構造及び関連するマイクロ・ジャイロスコープ |
| JP2007052013A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-03-01 | Litton Syst Inc | 円筒状リングサスペンションを有するリング共振器ジャイロスコープ |
| CN102297689A (zh) * | 2011-07-22 | 2011-12-28 | 上海交通大学 | 静电驱动压电检测闭环控制微固体模态陀螺 |
| JP2015001385A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | コベルコ建機株式会社 | 建設機械 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050104 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050322 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20050523 |