JPH1058290A - 硬脆材料の研削装置 - Google Patents

硬脆材料の研削装置

Info

Publication number
JPH1058290A
JPH1058290A JP8219906A JP21990696A JPH1058290A JP H1058290 A JPH1058290 A JP H1058290A JP 8219906 A JP8219906 A JP 8219906A JP 21990696 A JP21990696 A JP 21990696A JP H1058290 A JPH1058290 A JP H1058290A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grinding
vibrator
base
hard
grinding wheel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8219906A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Hashimoto
橋本洋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP8219906A priority Critical patent/JPH1058290A/ja
Priority to US08/910,353 priority patent/US5984765A/en
Priority to DE19736248A priority patent/DE19736248A1/de
Priority to KR10-1998-0003227A priority patent/KR100491625B1/ko
Publication of JPH1058290A publication Critical patent/JPH1058290A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B24B1/04Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B35/00Machines or devices designed for superfinishing surfaces on work, i.e. by means of abrading blocks reciprocating with high frequency
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S451/00Abrading
    • Y10S451/91Ultrasonic

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動子を用いることによる利点を生かし、実
質上研削砥石を大きくして大形の硬脆材料を能率的に研
削できる装置を提供する。 【解決手段】 回転主軸3に支持させた剛性の有る研削
基盤1に、駆動モータ6によって回動する複数の研削砥
石4……を前記回動主軸3を中心とする同一円周上にし
て列設する。各研削砥石4と前記研削基盤1との間に
は、前記研削砥石4を被研削材方向に振動させる振動子
5を介在させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス、セラミックス
などの硬く、脆い材料すなわち硬脆材料の研削装置に関
するもので、硬脆材料を延性モード域で研削するための
研削装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】硬脆材料を延性モード域で研削するに
は、研削砥石の切れ味が悪くなるところから、研削抵抗
の低減とドレッシングの省略ということが課題であり、
この課題を解決する一つの手段として本発明者は、駆動
モータに振動子を介して研削砥石を取付け、この研削砥
石を振動子と共に駆動モータで回動駆動させ、被研削材
を研削することを提案した。
【0003】この提案は、研削時に行われる研削液の供
給と被研削材方向への研削砥石の振動によって、当該研
削局部への研削液の供給と排出が円滑に行われ、その結
果、安定した研削操作を行うことができ、前記の課題に
対応できるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
装置は、振動子(例えば、圧電素子を利用した超音波振
動子が市販されている)により研削砥石への振動の付与
は、研削砥石が大きくなる(例えば、直径100mm)
と技術的に不可能となり、振動子を用いることによる研
削抵抗の低減などの利点を得ることはできない。
【0005】本発明は、振動子を用いることによる利点
を生かし、実質上研削砥石を大きくして大形の硬脆材料
を能率的に研削できる装置を提供しようとするものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】回動主軸に支持させた剛
性の研削基盤に、複数の研削砥石を、前記回動主軸を中
心とする同一円周上にして列設し、各研削砥石と前記研
削基盤との間には、前記研削砥石を被研削材方向に振動
させる振動子を介在させた構成とする。
【0007】
【作用】硬脆材料(被研削材)の研削個所に研削液を連
続的に供給しつつ、研削基盤を回動させて切刃を形成
し、かつ、研削砥石を振動子によって研削個所方向に振
動させ、研削操作が行われる。
【0008】
【実施例】図面は本発明に係る硬脆材料の研削装置の一
実施例を示し、図1は要部の正面図、図2は図1の底面
図である。
【0009】1は鋼材で構成した剛性(研削抵抗によっ
て変形しにくい性質)の研削基盤で、研削基盤1は、円
形状の主体板1aの一方の片面1a′中央に取付筒1b
を立設して成り、取付筒1bに形成した雌螺子2を、第
一駆動モータ(図示省略)によって回動する回動主軸3
に螺合して組付け、該回動主軸3に支持させたものであ
る。
【0010】この研削基盤1の前記主体板1aの他の一
方の片面1a″には、前記回動主軸3を中心とする同一
円上にして研削砥石4,4…を互いに等間隔を存して列
設し、各研削砥石4,4…は、該研削砥石4,4…と前
記研削基盤1との間に介在させた振動子5と共に、研削
基盤1の前記一方の片面1a′側に設けた第二駆動モー
タ6で回動駆動するようになっている。
【0011】また、研削砥石4は、ほぼ円柱体の下面に
周縁部を残して凹入させた円形皿状体のリング状の下面
にダイヤモンド微粒を固着して構成し、斯様な形態にす
ることにより可及的に研削抵抗とドレッシングの回数の
低減を図っている。
【0012】振動子5は、超音波或いはモータ組込型静
圧空気を利用して回動軸(図示していない)に組付けた
研削砥石4を被研削材(硬脆材料)方向に振動させるも
のである。
【0013】しかして、研削基盤1を回動させつつ、研
削砥石4,4…を振動子5,5…と共に回動させて硬脆
材料の研削を行うのである。
【0014】なお、実施例装置は、研削砥石4、4…
を、いわば自転させつつ公転させるようになっている
が、自転(自転することによって研削砥石の局部的な摩
耗を防ぐことができる)すなわち第二駆動モータ6を省
略して公転すなわち研削基盤1を回動させるだけでも良
い。この場合は、研削砥石4、4…を実施例のような形
状にせずに、例えば、研削基盤1の回動方向に沿う方向
に長い長形状にすれば良い。 研削砥石4、4は実施例
のごとく互いに等間隔に配置することが望ましいが、必
ずしも等間隔に配置する必要がなく、その配置数も研削
基盤1の回転速度と相対的に決められ、要は、いずれか
の砥石が材料を研削する状態にあれば良い。
【0015】
【発明の効果】本発明は前記の通りの構成であるから、
個々の研削砥石が振動子の存在によって振動されて研削
を行うから研削抵抗の低減という振動子を用いることに
よる長所を生かし、各研削砥石と研削基盤の組付け関係
を全体的にみれば、単独の研削砥石の形態を拡大した形
状を成すことになり、大形の硬脆材料を能率的に研削で
きる装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】要部の正面図。
【図2】図1の底面図。
【符号の説明】
1 研削基盤 3 回転主軸 4 研削砥石 5 振動子

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回動主軸に支持させた剛性の有る研削基
    盤に、複数の互いに同形な研削砥石を、前記回動主軸を
    中心とする同一円周上にして列設し、各研削砥石と前記
    研削基盤との間には、前記研削砥石を被研削材方向に振
    動させる振動子を介在させた、硬脆材料の研削装置。
JP8219906A 1996-08-21 1996-08-21 硬脆材料の研削装置 Pending JPH1058290A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8219906A JPH1058290A (ja) 1996-08-21 1996-08-21 硬脆材料の研削装置
US08/910,353 US5984765A (en) 1996-08-21 1997-08-12 Ultrasonic vibration composite grinding tool
DE19736248A DE19736248A1 (de) 1996-08-21 1997-08-20 Ultraschall-Vibrations-Verbundschleifwerkzeug
KR10-1998-0003227A KR100491625B1 (ko) 1996-08-21 1998-02-05 초음파 진동 복합 가공구

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8219906A JPH1058290A (ja) 1996-08-21 1996-08-21 硬脆材料の研削装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1058290A true JPH1058290A (ja) 1998-03-03

Family

ID=16742890

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8219906A Pending JPH1058290A (ja) 1996-08-21 1996-08-21 硬脆材料の研削装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5984765A (ja)
JP (1) JPH1058290A (ja)
KR (1) KR100491625B1 (ja)
DE (1) DE19736248A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008023693A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Disco Abrasive Syst Ltd 研削装置および研削ホイール
WO2009122472A1 (ja) * 2008-03-31 2009-10-08 シャープ株式会社 研磨装置および研磨方法

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6043961A (en) * 1995-09-08 2000-03-28 Kao Corporation Magnetic recording medium and method for producing the same
JP2000260738A (ja) * 1999-03-10 2000-09-22 Hitachi Ltd 半導体基板の研削加工方法ならびに半導体装置および半導体装置の製造方法
DE19928950A1 (de) * 1999-06-24 2000-12-07 Wacker Siltronic Halbleitermat Verfahren zum Schleifen der Oberfläche eines Werkstücks
DE20221899U1 (de) 2002-05-24 2008-12-11 FIP Forschungsinstitut für Produktionstechnik GmbH Braunschweig Feinschleifmaschine
JP5082621B2 (ja) * 2007-06-28 2012-11-28 株式会社ジェイテクト 工作物の研削方法及び加工装置
DE102007060973B4 (de) * 2007-12-14 2009-11-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur duktilen Schleifbearbeitung sprödharter Werkstoffe
CN102179733A (zh) * 2011-04-11 2011-09-14 辽宁工业大学 圆环形超声抛光振子
CN104526471B (zh) * 2014-12-02 2017-04-26 河南理工大学 超声3d振动复合elid精密磨削***及磨削方法
CN114683097B (zh) * 2022-03-07 2023-06-02 广州大学 一种圆柱滚子轴承滚动体超声强化加工***和方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6044261A (ja) * 1983-08-23 1985-03-09 Toshiba Corp ダイヤフラム加工装置
CH665784A5 (de) * 1985-03-21 1988-06-15 Hansen Dieter Ag Ultraschallbearbeitungswerkzeug.
JPS63232930A (ja) * 1987-03-19 1988-09-28 Canon Inc 研磨方法
FR2613651B1 (fr) * 1987-04-10 1994-07-22 Onera (Off Nat Aerospatiale) Machine d'usinage par abrasion ultrasonore
JPH02303757A (ja) * 1989-05-19 1990-12-17 Fuji Electric Co Ltd 砥粒加工装置
SE501695C2 (sv) * 1993-06-22 1995-04-24 Sandvik Ab Förfarande för tillförsel av kylmedel till en slipkopp samt slipkopp för att utföra förfarandet
DE4444853B4 (de) * 1994-12-16 2006-09-28 Hilti Ag Handgerät zur materialabtragenden Bearbeitung mit elektroakustischem Wandler für die Erzeugung von Ultraschallschwingungen
JP3435241B2 (ja) * 1995-01-23 2003-08-11 三菱電機株式会社 テープ状半導体搭載装置の評価装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008023693A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Disco Abrasive Syst Ltd 研削装置および研削ホイール
WO2009122472A1 (ja) * 2008-03-31 2009-10-08 シャープ株式会社 研磨装置および研磨方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990023059A (ko) 1999-03-25
KR100491625B1 (ko) 2005-09-08
US5984765A (en) 1999-11-16
DE19736248A1 (de) 1998-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3664188B2 (ja) 表面加工方法及びその装置
JPH1058290A (ja) 硬脆材料の研削装置
KR970000448A (ko) 연마 패드를 갖는 회전 연마 휠로 가공품을 연마하는 방법
JP2004009198A (ja) ディスクパッドの研削方法と研削装置
JP2008194771A (ja) レンズ球面研削方法及び装置
US5993300A (en) Ultrasonic vibration composite processing tool
JP5362492B2 (ja) 研削ホイール
JP5848640B2 (ja) 研磨定盤およびラッピング装置
JP2001038603A (ja) ドレッサ,ドレッサ付き研磨装置及びドレッシング方法
JP5208630B2 (ja) 研削ホイール
JPS63185556A (ja) 研磨装置
JPH06297303A (ja) 超音波加工ヘッド
JP3850345B2 (ja) 精密孔仕上装置
JP2625768B2 (ja) 超音波振動研磨または研削盤
JP2002025951A (ja) 両面加工装置及びその研磨手段のツルーイング方法
JPH03234451A (ja) ねじり振動を利用した研摩法
JP2863809B2 (ja) ドレッシング装置
JPH0866866A (ja) 研削ヘッド
JPS61252056A (ja) 振動研摩加工法
JP3645944B2 (ja) 超音波バリ取り装置
JPS61214959A (ja) 振動研摩加工装置
JP3094355B2 (ja) 湿式研磨方法およびその装置
JP2002239879A (ja) 超音波振動加工法
JPH06339865A (ja) 超音波研削用カップ砥石及びこれを用いた 超音波研削加工機
JP2006000963A (ja) センタレス研削盤におけるドレッシング方法とセンタレス研削盤

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050414

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050426

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051206

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060418