JPH1058237A - ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法 - Google Patents
ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法Info
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- JPH1058237A JPH1058237A JP21374896A JP21374896A JPH1058237A JP H1058237 A JPH1058237 A JP H1058237A JP 21374896 A JP21374896 A JP 21374896A JP 21374896 A JP21374896 A JP 21374896A JP H1058237 A JPH1058237 A JP H1058237A
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- wire electrode
- electric discharge
- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、被加工物に対するワイヤ電極の姿勢
を変えて、ワイヤ電極とワイヤガイドおよび被加工物の
冷却を確実になすとともに、加工屑を除去し易い構成と
して、加工電流の供給可能値を上げ、高速加工による加
工効率の向上と、加工精度の向上を両立させたワイヤ放
電加工機およびワイヤ放電加工方法を提供する。 【解決手段】一対のワイヤガイド18,19間にワイヤ
電極Wを所定の張力を与えて走行駆動するとともに、ワ
イヤ電極を被加工物Aに対向し、これらワイヤ電極と被
加工物間に電圧を印加して放電させ、被加工物を溶融加
工するワイヤ放電加工機において、上記ワイヤガイド1
8,19は、ワイヤ電極Wを三次元的に位置変更するエ
レベータ機構5と、XYテーブルユニット15に支持さ
れる。
を変えて、ワイヤ電極とワイヤガイドおよび被加工物の
冷却を確実になすとともに、加工屑を除去し易い構成と
して、加工電流の供給可能値を上げ、高速加工による加
工効率の向上と、加工精度の向上を両立させたワイヤ放
電加工機およびワイヤ放電加工方法を提供する。 【解決手段】一対のワイヤガイド18,19間にワイヤ
電極Wを所定の張力を与えて走行駆動するとともに、ワ
イヤ電極を被加工物Aに対向し、これらワイヤ電極と被
加工物間に電圧を印加して放電させ、被加工物を溶融加
工するワイヤ放電加工機において、上記ワイヤガイド1
8,19は、ワイヤ電極Wを三次元的に位置変更するエ
レベータ機構5と、XYテーブルユニット15に支持さ
れる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤ放電加工機
およびワイヤ放電加工方法に関する。
およびワイヤ放電加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ワイヤ放電加工機は、加工液を貯溜する
とともに被加工物を搭載し、XY2軸方向に移動可能な
加工槽と、ワイヤ電極の走行系が設けられる加工機本体
とから構成される。
とともに被加工物を搭載し、XY2軸方向に移動可能な
加工槽と、ワイヤ電極の走行系が設けられる加工機本体
とから構成される。
【0003】用いられる上記ワイヤ電極は0.2mmφ程
度の極めて細い直径であり、一対のワイヤガイド間に所
定の張力を与えられて、所定速度で順次繰り出される。
これにより、放電によって生じる電極摩耗を補正するよ
うになっている。
度の極めて細い直径であり、一対のワイヤガイド間に所
定の張力を与えられて、所定速度で順次繰り出される。
これにより、放電によって生じる電極摩耗を補正するよ
うになっている。
【0004】放電加工時は、ワイヤ電極の位置は固定で
あり、被加工物がXY方向に移動する。そして、ワイヤ
電極と被加工物と極く近接した状態で対向され、電圧を
印加される。ワイヤ電極から被加工物に対して放電さ
れ、放電現象により電子が被加工物の絶縁破壊を生じて
溶融せしめ、この溶融物を排斥することによって切断加
工が行なわれる。
あり、被加工物がXY方向に移動する。そして、ワイヤ
電極と被加工物と極く近接した状態で対向され、電圧を
印加される。ワイヤ電極から被加工物に対して放電さ
れ、放電現象により電子が被加工物の絶縁破壊を生じて
溶融せしめ、この溶融物を排斥することによって切断加
工が行なわれる。
【0005】普通、被加工物を水平方向に支持し、これ
に対してワイヤガイドを上下垂直方向に対向し、ワイヤ
電極を垂直方向に走行しながら水平方向に移動して加工
するようになっている。
に対してワイヤガイドを上下垂直方向に対向し、ワイヤ
電極を垂直方向に走行しながら水平方向に移動して加工
するようになっている。
【0006】また、テーパ加工機能を備えた場合は、ワ
イヤが垂直方向に対して±15〜30°程度は傾くよう
に、上部もしくは下部のワイヤガイドが水平方向に移動
調整される。
イヤが垂直方向に対して±15〜30°程度は傾くよう
に、上部もしくは下部のワイヤガイドが水平方向に移動
調整される。
【0007】上部ワイヤガイドには、加工液が導かれる
経路と、この経路と連通しワイヤ電極とともに加工液を
吐出する先端ノズル部が設けられている。この加工液は
先端ノズル部から被加工物の加工溝に対して供給され
る。また、機種によっては、下部ワイヤガイドと被加工
物を加工液中に浸漬する、浸漬吐出タイプもある。
経路と、この経路と連通しワイヤ電極とともに加工液を
吐出する先端ノズル部が設けられている。この加工液は
先端ノズル部から被加工物の加工溝に対して供給され
る。また、機種によっては、下部ワイヤガイドと被加工
物を加工液中に浸漬する、浸漬吐出タイプもある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
してワイヤ電極を垂直走行することについては、以下の
ような不具合があった。上部ワイヤガイドには、ワイヤ
電極の走行路と、ワイヤ電極に給電するための給電端子
が収容されるとともに、加工液の供給経路などが設けら
れている。そのため、ワイヤ電極に対する十分な冷却効
果を発揮できずにあり、抵抗発熱が発生し易い状況下に
ある。極端な場合は、この発熱により断線する恐れもあ
る。
してワイヤ電極を垂直走行することについては、以下の
ような不具合があった。上部ワイヤガイドには、ワイヤ
電極の走行路と、ワイヤ電極に給電するための給電端子
が収容されるとともに、加工液の供給経路などが設けら
れている。そのため、ワイヤ電極に対する十分な冷却効
果を発揮できずにあり、抵抗発熱が発生し易い状況下に
ある。極端な場合は、この発熱により断線する恐れもあ
る。
【0009】図9に示すように、被加工物Aを加工液S
中に浸漬した状態でワイヤ放電加工をなすと、加工にと
もなって生成される加工屑は、同時に発生するガスとと
もにワイヤ電極Wに沿うよう垂直方向に上昇する。
中に浸漬した状態でワイヤ放電加工をなすと、加工にと
もなって生成される加工屑は、同時に発生するガスとと
もにワイヤ電極Wに沿うよう垂直方向に上昇する。
【0010】これら加工屑およびガスは、加工によって
得られる切り溝aを通るが、被加工物A上部で滞留し易
い。また、上部ワイヤガイドBから供給される加工液に
よって、新たに生成される加工屑が切り溝から円滑に排
出されることの障害となっている。
得られる切り溝aを通るが、被加工物A上部で滞留し易
い。また、上部ワイヤガイドBから供給される加工液に
よって、新たに生成される加工屑が切り溝から円滑に排
出されることの障害となっている。
【0011】この傾向は、被加工物の切断厚さが厚くな
るほど強くなっていて、特に被加工物の上部から中間部
における加工屑の排出が悪い。これは、異常放電の多発
につながり、15〜20A以上の大きな加工電流を投入
することができない。たとえ、ワイヤ電極Wの線径を一
段太いものに変えたとしても、平均加工電流が20A以
上になるような高効率で、高速加工を期待するには無理
がある。
るほど強くなっていて、特に被加工物の上部から中間部
における加工屑の排出が悪い。これは、異常放電の多発
につながり、15〜20A以上の大きな加工電流を投入
することができない。たとえ、ワイヤ電極Wの線径を一
段太いものに変えたとしても、平均加工電流が20A以
上になるような高効率で、高速加工を期待するには無理
がある。
【0012】図7中のC曲線は、従来の加工物厚さに対
する面積加工速度の特性を示し、加工物厚さが増すにつ
れて面積加工速度が低速化し、加工能率が極端に低下す
ることが分かる。
する面積加工速度の特性を示し、加工物厚さが増すにつ
れて面積加工速度が低速化し、加工能率が極端に低下す
ることが分かる。
【0013】また、加工屑の排出状況が悪くなるにつれ
て、上記ワイヤ電極Wの被加工物Aに対する挿入側(加
工始め側)と、排出側(加工完了側)とで切り溝a幅の
寸法差が発生することや、切断厚さの中間位置で切断溝
幅が急に拡大する、いわゆるタイコが発生して加工精度
が劣化する。
て、上記ワイヤ電極Wの被加工物Aに対する挿入側(加
工始め側)と、排出側(加工完了側)とで切り溝a幅の
寸法差が発生することや、切断厚さの中間位置で切断溝
幅が急に拡大する、いわゆるタイコが発生して加工精度
が劣化する。
【0014】本発明は上記事情にもとづいてなされたも
のであり、その目的とするところは、被加工物に対する
ワイヤ電極の姿勢を変えて、ワイヤ電極とワイヤガイド
および被加工物の冷却を確実になすとともに、加工屑を
除去し易い構成として、加工電流の供給可能値を上げ、
高速加工による加工効率の向上と、加工精度の向上を両
立させたワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法を
提供しようとするものである。
のであり、その目的とするところは、被加工物に対する
ワイヤ電極の姿勢を変えて、ワイヤ電極とワイヤガイド
および被加工物の冷却を確実になすとともに、加工屑を
除去し易い構成として、加工電流の供給可能値を上げ、
高速加工による加工効率の向上と、加工精度の向上を両
立させたワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法を
提供しようとするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
第1の発明のワイヤ放電加工機は、請求項1として、一
対のワイヤガイド間にワイヤ電極を所定の張力を与えて
走行駆動するとともに、ワイヤ電極を被加工物に対向
し、これらワイヤ電極と被加工物間に電圧を印加して放
電させ、被加工物を溶融加工するワイヤ放電加工機にお
いて、上記ワイヤガイドは、被加工物に対して水平方向
に対向して設けられ、ワイヤ電極を三次元的に位置変更
する変更手段に支持されることを特徴とする。
第1の発明のワイヤ放電加工機は、請求項1として、一
対のワイヤガイド間にワイヤ電極を所定の張力を与えて
走行駆動するとともに、ワイヤ電極を被加工物に対向
し、これらワイヤ電極と被加工物間に電圧を印加して放
電させ、被加工物を溶融加工するワイヤ放電加工機にお
いて、上記ワイヤガイドは、被加工物に対して水平方向
に対向して設けられ、ワイヤ電極を三次元的に位置変更
する変更手段に支持されることを特徴とする。
【0016】請求項2として、請求項1記載の上記変更
手段は、被加工物とワイヤ電極との間に空中放電し可視
化することによって、被加工物に対するワイヤ電極の平
行出しをなす平行出し機能を備えたことを特徴とする。
手段は、被加工物とワイヤ電極との間に空中放電し可視
化することによって、被加工物に対するワイヤ電極の平
行出しをなす平行出し機能を備えたことを特徴とする。
【0017】請求項3として、請求項2記載の上記平行
出し機能は、被加工物の水平面であるXY平面と、前後
方向に垂直な面であるXZ面に対して平行出しすること
を特徴とする機。
出し機能は、被加工物の水平面であるXY平面と、前後
方向に垂直な面であるXZ面に対して平行出しすること
を特徴とする機。
【0018】上記目的を達成するため第2の発明のワイ
ヤ放電加工機は、請求項4として、一対のワイヤガイド
間にワイヤ電極を所定の張力を与えて走行駆動するとと
もに、ワイヤ電極を被加工物に対向し、これらワイヤ電
極と被加工物間に電圧を印加して放電させ、被加工物を
溶融加工するワイヤ放電加工機において、上記被加工物
と、この被加工物を放電加工するワイヤ電極部位および
一対のワイヤガイドは、加工液中に浸漬されることを特
徴とする。
ヤ放電加工機は、請求項4として、一対のワイヤガイド
間にワイヤ電極を所定の張力を与えて走行駆動するとと
もに、ワイヤ電極を被加工物に対向し、これらワイヤ電
極と被加工物間に電圧を印加して放電させ、被加工物を
溶融加工するワイヤ放電加工機において、上記被加工物
と、この被加工物を放電加工するワイヤ電極部位および
一対のワイヤガイドは、加工液中に浸漬されることを特
徴とする。
【0019】上記目的を達成するため第3の発明のワイ
ヤ放電加工機は、請求項5として、一対のワイヤガイド
間にワイヤ電極を所定の張力を与えて走行駆動するとと
もに、ワイヤ電極を被加工物に対向し、これらワイヤ電
極と被加工物間に電圧を印加して放電させ、被加工物を
溶融加工するワイヤ放電加工機において、上記被加工物
と、この被加工物を放電加工するワイヤ電極部位および
一対のワイヤガイドは、加工液中に浸漬され、被加工物
の水平面に対してワイヤ電極を平行に張るとともに、ワ
イヤ電極を垂直方向に駆動して放電加工をなすことを特
徴とする。
ヤ放電加工機は、請求項5として、一対のワイヤガイド
間にワイヤ電極を所定の張力を与えて走行駆動するとと
もに、ワイヤ電極を被加工物に対向し、これらワイヤ電
極と被加工物間に電圧を印加して放電させ、被加工物を
溶融加工するワイヤ放電加工機において、上記被加工物
と、この被加工物を放電加工するワイヤ電極部位および
一対のワイヤガイドは、加工液中に浸漬され、被加工物
の水平面に対してワイヤ電極を平行に張るとともに、ワ
イヤ電極を垂直方向に駆動して放電加工をなすことを特
徴とする。
【0020】請求項6として、請求項1ないし請求項5
記載の上記ワイヤガイドは、上記ワイヤ電極が挿通する
とともに加工液を給出する先端ノズル部を備え、かつこ
の先端ノズル部にワイヤ電極に沿って加工液を噴出する
噴流部を備えたことを特徴とする。
記載の上記ワイヤガイドは、上記ワイヤ電極が挿通する
とともに加工液を給出する先端ノズル部を備え、かつこ
の先端ノズル部にワイヤ電極に沿って加工液を噴出する
噴流部を備えたことを特徴とする。
【0021】請求項7として、請求項6記載の上記噴流
部は、メッシュ部材とハニカム部材および補助噴流口
の、いずれかであることを特徴とする。上記目的を達成
するため第4の発明のワイヤ放電加工方法は、請求項8
として、一対のワイヤガイド間にワイヤ電極を所定の張
力を与えて走行駆動するとともに、ワイヤ電極を被加工
物に対向し、これらワイヤ電極と被加工物間に電圧を印
加して放電させ、被加工物を溶融加工するワイヤ放電加
工方法において、直径が0.25mmφで、抵抗率が0.
25Ω・cmより小さいワイヤ電極であるとき、上記被加
工物と、この被加工物を放電加工するワイヤ電極部位お
よび一対のワイヤガイドを加工液中に浸漬し、被加工物
の水平面に対してワイヤ電極を平行に張るとともに、ワ
イヤ電極を垂直方向に駆動して放電加工をなし、被加工
物に対するワイヤ電極の離反速度を、接近速度と同等も
しくはそれ以下に設定したことを特徴とする。
部は、メッシュ部材とハニカム部材および補助噴流口
の、いずれかであることを特徴とする。上記目的を達成
するため第4の発明のワイヤ放電加工方法は、請求項8
として、一対のワイヤガイド間にワイヤ電極を所定の張
力を与えて走行駆動するとともに、ワイヤ電極を被加工
物に対向し、これらワイヤ電極と被加工物間に電圧を印
加して放電させ、被加工物を溶融加工するワイヤ放電加
工方法において、直径が0.25mmφで、抵抗率が0.
25Ω・cmより小さいワイヤ電極であるとき、上記被加
工物と、この被加工物を放電加工するワイヤ電極部位お
よび一対のワイヤガイドを加工液中に浸漬し、被加工物
の水平面に対してワイヤ電極を平行に張るとともに、ワ
イヤ電極を垂直方向に駆動して放電加工をなし、被加工
物に対するワイヤ電極の離反速度を、接近速度と同等も
しくはそれ以下に設定したことを特徴とする。
【0022】このような課題を解決する手段を備えるこ
とにより、請求項1ないし請求項8記載の発明では、被
加工物に対するワイヤ電極の姿勢を変えて、ワイヤ電極
とワイヤガイドおよび被加工物の冷却を確実になすとと
もに、加工屑を除去して、加工電流の供給可能値を上げ
られる。
とにより、請求項1ないし請求項8記載の発明では、被
加工物に対するワイヤ電極の姿勢を変えて、ワイヤ電極
とワイヤガイドおよび被加工物の冷却を確実になすとと
もに、加工屑を除去して、加工電流の供給可能値を上げ
られる。
【0023】
【実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図面にも
とづいて説明する。図1において、1はワイヤ走行系ユ
ニットであり、2は加工槽である。上記ワイヤ走行系ユ
ニット1は、ここでは加工槽2内の左右両側部に沿って
立設される一対のガイド体3,3を備えている。これら
ガイド体3,3には、ユニット本体4がガイド体に沿っ
て、すなわち垂直方向に移動自在に支持される。
とづいて説明する。図1において、1はワイヤ走行系ユ
ニットであり、2は加工槽である。上記ワイヤ走行系ユ
ニット1は、ここでは加工槽2内の左右両側部に沿って
立設される一対のガイド体3,3を備えている。これら
ガイド体3,3には、ユニット本体4がガイド体に沿っ
て、すなわち垂直方向に移動自在に支持される。
【0024】上記ユニット本体4には、エレベータ機構
5が連結されていて、このエレベータ機構の駆動によっ
てユニット本体4はガイド体3,3に沿って上下垂直方
向に移動され、その位置を制御されるようになってい
る。
5が連結されていて、このエレベータ機構の駆動によっ
てユニット本体4はガイド体3,3に沿って上下垂直方
向に移動され、その位置を制御されるようになってい
る。
【0025】ユニット本体4の、図において左側上部に
はワイヤボビン6が設けられる。このワイヤボビン6
は、ワイヤWを巻装した状態で枢支され、かつワイヤを
順次繰り出すようになっている。
はワイヤボビン6が設けられる。このワイヤボビン6
は、ワイヤWを巻装した状態で枢支され、かつワイヤを
順次繰り出すようになっている。
【0026】ワイヤWの繰り出し方向には、複数のアイ
ドルプーリ7…と、ブレーキ用プーリユニット8と、後
述する第1,第2のアーム9a,9bに設けられる案内
プーリ10と、駆動源11と連結される駆動用プーリ1
2およびこの駆動プーリに転接する従動プーリ13とか
ら構成されるワイヤ走行路14が設けられる。
ドルプーリ7…と、ブレーキ用プーリユニット8と、後
述する第1,第2のアーム9a,9bに設けられる案内
プーリ10と、駆動源11と連結される駆動用プーリ1
2およびこの駆動プーリに転接する従動プーリ13とか
ら構成されるワイヤ走行路14が設けられる。
【0027】したがって、ワイヤボビン6から繰り出さ
れるワイヤWは、これらアイドルプーリ7…などからな
るワイヤ走行路14に係止され、かつ上記駆動プーリ1
2と従動プーリ13に挟持される。そして、駆動源11
の駆動作用によってワイヤWは走行路14に沿って走行
駆動されるようになっている。
れるワイヤWは、これらアイドルプーリ7…などからな
るワイヤ走行路14に係止され、かつ上記駆動プーリ1
2と従動プーリ13に挟持される。そして、駆動源11
の駆動作用によってワイヤWは走行路14に沿って走行
駆動されるようになっている。
【0028】上記ブレーキ用プーリユニット8は、ワイ
ヤ走行路14に沿って繰り出されるワイヤWに所定のブ
レーキ力を付与して、ワイヤの弛みなどを防止してい
る。また、ユニット本体4には、XYテーブルユニット
15が設けられる。このXYテーブルユニット15の下
端部に沿って、一端が上記第1のアーム9aに枢支さ
れ、他端が軸受け具16に枢支されるボールねじ17が
架設される。
ヤ走行路14に沿って繰り出されるワイヤWに所定のブ
レーキ力を付与して、ワイヤの弛みなどを防止してい
る。また、ユニット本体4には、XYテーブルユニット
15が設けられる。このXYテーブルユニット15の下
端部に沿って、一端が上記第1のアーム9aに枢支さ
れ、他端が軸受け具16に枢支されるボールねじ17が
架設される。
【0029】上記第1のアーム9aには、ボールねじ1
7の図示しない回転駆動源が取付けられ、かつ第1のワ
イヤガイド18が設けられる。ボールねじ17の中途部
には、上記第2のアーム9bが掛合しており、ここには
第2のワイヤガイド19が設けられる。
7の図示しない回転駆動源が取付けられ、かつ第1のワ
イヤガイド18が設けられる。ボールねじ17の中途部
には、上記第2のアーム9bが掛合しており、ここには
第2のワイヤガイド19が設けられる。
【0030】すなわち、ボールねじ17を回転駆動する
のにともなって、第2のアーム9bは第2のワイヤガイ
ド19とともに、ボールねじの回転方向に移動するよう
になっている。当然、第1のアーム9aおよび第1のワ
イヤガイド18は、その位置が常に固定される。
のにともなって、第2のアーム9bは第2のワイヤガイ
ド19とともに、ボールねじの回転方向に移動するよう
になっている。当然、第1のアーム9aおよび第1のワ
イヤガイド18は、その位置が常に固定される。
【0031】第1,第2のアーム9a,9bに設けられ
る第1,第2のワイヤガイド18,19は、互いに先端
ノズル部nを備えており、これら先端ノズル部は互いに
水平方向に対向する状態で取付けられる。
る第1,第2のワイヤガイド18,19は、互いに先端
ノズル部nを備えており、これら先端ノズル部は互いに
水平方向に対向する状態で取付けられる。
【0032】それぞれのワイヤガイド18,19の先端
ノズル部nには、上記ワイヤWが挿通するようになって
いるとともに、このワイヤWに給電する図示しない給電
端子を備えている。
ノズル部nには、上記ワイヤWが挿通するようになって
いるとともに、このワイヤWに給電する図示しない給電
端子を備えている。
【0033】したがって、第1,第2のワイヤガイド1
8,19間のワイヤWはワイヤ電極として形成されるこ
ととなり、かつ所定の張力を持った状態で張られてい
る。そして、各ワイヤガイド18,19は上記ワイヤ走
行路14の一部を形成することになり、各ワイヤガイド
の先端ノズル部nが互いに水平方向に対向するところか
ら、これら相互間に張られるワイヤ電極Wは水平方向に
向く。
8,19間のワイヤWはワイヤ電極として形成されるこ
ととなり、かつ所定の張力を持った状態で張られてい
る。そして、各ワイヤガイド18,19は上記ワイヤ走
行路14の一部を形成することになり、各ワイヤガイド
の先端ノズル部nが互いに水平方向に対向するところか
ら、これら相互間に張られるワイヤ電極Wは水平方向に
向く。
【0034】結局、第1,第2のワイヤガイド18,1
9は、エレベータ機構5と、XYテーブルユニット15
に間接的に支持されることになり、これらの駆動制御に
より、その位置が三次元的に設定される。
9は、エレベータ機構5と、XYテーブルユニット15
に間接的に支持されることになり、これらの駆動制御に
より、その位置が三次元的に設定される。
【0035】すなわち、エレベータ機構5と、XYテー
ブルユニット15は、第1,第2のワイヤガイド18,
19に対する変更手段20を構成する。上記加工槽2内
には、加工液Sが貯溜される。この加工液として、水
(脱イオン水)や、石油(ケロシン)があるが、取扱い
が容易で火災の心配がなく、加工部分とワイヤの冷却が
良く、ワイヤの強制振動があっても極間に短絡が発生し
ない程度の間隙を形成する他の理由から、現在ではほと
んど比抵抗105 Ω・cm以上の純水が使用される。
ブルユニット15は、第1,第2のワイヤガイド18,
19に対する変更手段20を構成する。上記加工槽2内
には、加工液Sが貯溜される。この加工液として、水
(脱イオン水)や、石油(ケロシン)があるが、取扱い
が容易で火災の心配がなく、加工部分とワイヤの冷却が
良く、ワイヤの強制振動があっても極間に短絡が発生し
ない程度の間隙を形成する他の理由から、現在ではほと
んど比抵抗105 Ω・cm以上の純水が使用される。
【0036】ワイヤ電極Wによって加工される被加工物
Aは、加工槽2内に収容される。すなわち、加工槽2内
の加工液S中に確実に浸漬される状態にある。換言すれ
ば、被加工物Aの高さ寸法を上回るよう、加工液Sの水
深寸法が設定され、第1,第2のワイヤガイド18,1
9間に張られるワイヤ電極Wは、被加工物Aを加工する
ときには、加工液S中に浸漬した状態で放電加工をなす
ことになる。
Aは、加工槽2内に収容される。すなわち、加工槽2内
の加工液S中に確実に浸漬される状態にある。換言すれ
ば、被加工物Aの高さ寸法を上回るよう、加工液Sの水
深寸法が設定され、第1,第2のワイヤガイド18,1
9間に張られるワイヤ電極Wは、被加工物Aを加工する
ときには、加工液S中に浸漬した状態で放電加工をなす
ことになる。
【0037】つぎに、実際のワイヤ放電加工を説明す
る。はじめに、加工槽2内に被加工物Aを浸漬支持し、
この幅寸法を若干上回るよう第1,第2のワイヤガイド
18,19の先端ノズル部n間隔を設定する。この寸法
合せは、第1のアーム9aに備えられる駆動源でボール
ねじ17を回転駆動することにより第2のアーム9bが
移動して、各先端ノズル部n間に被加工物Aを位置させ
ることで可能である。
る。はじめに、加工槽2内に被加工物Aを浸漬支持し、
この幅寸法を若干上回るよう第1,第2のワイヤガイド
18,19の先端ノズル部n間隔を設定する。この寸法
合せは、第1のアーム9aに備えられる駆動源でボール
ねじ17を回転駆動することにより第2のアーム9bが
移動して、各先端ノズル部n間に被加工物Aを位置させ
ることで可能である。
【0038】第1,第2のワイヤガイド18,19間に
水平方向に張られるワイヤ電極Wは、被加工物Aの上面
部が水平であるところから、被加工物Aに対してワイヤ
電極Wは平行に対向する。
水平方向に張られるワイヤ電極Wは、被加工物Aの上面
部が水平であるところから、被加工物Aに対してワイヤ
電極Wは平行に対向する。
【0039】そして、ユニット本体4を所定速度で降下
する。ワイヤ電極Wと加工電源の陰極が電気的に接続さ
れる一方、被加工物Aには加工電源の陽極が電気的に接
続されており、それぞれに所定の電圧が印加される。
する。ワイヤ電極Wと加工電源の陰極が電気的に接続さ
れる一方、被加工物Aには加工電源の陽極が電気的に接
続されており、それぞれに所定の電圧が印加される。
【0040】すると、ワイヤ電極Wから被加工物Aに対
する放電がなされ、放電現象による電子が被加工物Aに
対する絶縁破壊を生じて溶融し、切断される。このと
き、XYテーブルユニット15が制御されるとともにエ
レベータ機構5が制御され、ワイヤ電極Wは三次元的に
移動処理される。すなわち、ワイヤ電極Wは被加工物A
を所望の形状に加工できる。
する放電がなされ、放電現象による電子が被加工物Aに
対する絶縁破壊を生じて溶融し、切断される。このと
き、XYテーブルユニット15が制御されるとともにエ
レベータ機構5が制御され、ワイヤ電極Wは三次元的に
移動処理される。すなわち、ワイヤ電極Wは被加工物A
を所望の形状に加工できる。
【0041】同時に、ワイヤWはワイヤ走行路14に沿
って所定の速度で繰り出され、放電によって生じる電極
摩耗を補正する。給電端子を備えた第1,第2のワイヤ
ガイド18,19と、これらワイヤガイド相互間に掛け
渡されるワイヤ電極W部位および被加工物Aとも加工液
S中に浸漬されるところから、これら全ては常時、加工
液Sによって冷却される。
って所定の速度で繰り出され、放電によって生じる電極
摩耗を補正する。給電端子を備えた第1,第2のワイヤ
ガイド18,19と、これらワイヤガイド相互間に掛け
渡されるワイヤ電極W部位および被加工物Aとも加工液
S中に浸漬されるところから、これら全ては常時、加工
液Sによって冷却される。
【0042】したがって、たとえ大電流を投入しても、
ワイヤ電極Wおよび給電部に抵抗発熱が生じることがな
く、断線の恐れがない。このような大電流の投入は、高
効率で迅速な加工につながり、作業性の大幅向上を得ら
れる。
ワイヤ電極Wおよび給電部に抵抗発熱が生じることがな
く、断線の恐れがない。このような大電流の投入は、高
効率で迅速な加工につながり、作業性の大幅向上を得ら
れる。
【0043】そして、図8に示すように、被加工物Aに
対してワイヤ電極Wが水平に張られ、これを垂直方向に
移動して加工がなされる。これにより、加工にともなっ
て被加工物Aから生成される加工屑は放電のガスととも
に上昇する。
対してワイヤ電極Wが水平に張られ、これを垂直方向に
移動して加工がなされる。これにより、加工にともなっ
て被加工物Aから生成される加工屑は放電のガスととも
に上昇する。
【0044】ワイヤ電極Wが水平方向に張られていると
ころから、これら加工屑と放電のガスは生成された直後
にワイヤ電極より離反し、加工屑を介して生じ易い異常
放電が防止され、ワイヤ電極の断線事故を抑制して、信
頼性の高い放電加工がなされる。
ころから、これら加工屑と放電のガスは生成された直後
にワイヤ電極より離反し、加工屑を介して生じ易い異常
放電が防止され、ワイヤ電極の断線事故を抑制して、信
頼性の高い放電加工がなされる。
【0045】さらに、上記ワイヤ電極Wの被加工物Aに
対する挿入側(加工始め側)から排出側(加工完了側)
へ、一方向に加工屑が流れるようなことがないから、加
工屑を介しての二次放電による両側の寸法差がなくな
り、常に同一の加工寸法に仕上がる。
対する挿入側(加工始め側)から排出側(加工完了側)
へ、一方向に加工屑が流れるようなことがないから、加
工屑を介しての二次放電による両側の寸法差がなくな
り、常に同一の加工寸法に仕上がる。
【0046】加工屑は生成直後に上昇してワイヤ電極W
から離反するが、加工液Sの供給は左右(水平)方向と
なるところから、加工屑が被加工物の中間で滞留するこ
とによるタイコ現象の発生がなく、精度の高い加工がな
される。
から離反するが、加工液Sの供給は左右(水平)方向と
なるところから、加工屑が被加工物の中間で滞留するこ
とによるタイコ現象の発生がなく、精度の高い加工がな
される。
【0047】実際には、ワイヤ電極による加工部分が加
工液中に浸漬していれば良いので、被加工物に対する加
工深さの移動にともなって、加工液面を低下する制御を
行なっても良い。この場合、第2のワイヤガイド19を
送るボールねじ17やXYテーブルユニット15が水没
することがなく、防水構造を採用する必要もない。
工液中に浸漬していれば良いので、被加工物に対する加
工深さの移動にともなって、加工液面を低下する制御を
行なっても良い。この場合、第2のワイヤガイド19を
送るボールねじ17やXYテーブルユニット15が水没
することがなく、防水構造を採用する必要もない。
【0048】なお、上記実施の形態では、第1,第2の
ワイヤガイド18,19を三次元的に位置合せするため
に、エレベータ機構5とXYテーブルユニット15とか
ら構成される変更手段20を備えたから、各動作軸の制
限重量を軽減でき、省エネルギ化できる。また、動作重
量は常に一定であるところから、位置補正の方法が容易
ですみ、加工精度の向上を得られる。
ワイヤガイド18,19を三次元的に位置合せするため
に、エレベータ機構5とXYテーブルユニット15とか
ら構成される変更手段20を備えたから、各動作軸の制
限重量を軽減でき、省エネルギ化できる。また、動作重
量は常に一定であるところから、位置補正の方法が容易
ですみ、加工精度の向上を得られる。
【0049】図7において、D曲線が本発明のワイヤ放
電加工機による特性である。実際に、平均加工電流が4
0A以上になり、加工速度は従来のワイヤ放電加工機と
比較して5倍以上の高速化を図ることとなる。
電加工機による特性である。実際に、平均加工電流が4
0A以上になり、加工速度は従来のワイヤ放電加工機と
比較して5倍以上の高速化を図ることとなる。
【0050】なお、各ワイヤガイド18,19に対する
三次元的な位置合せとして、ワイヤガイドを直接的もし
くは間接的に移動調整するようにしたが、これに限定さ
れるものではなく、図2に示すようにしても良い。
三次元的な位置合せとして、ワイヤガイドを直接的もし
くは間接的に移動調整するようにしたが、これに限定さ
れるものではなく、図2に示すようにしても良い。
【0051】第1,第2のワイヤガイド18A,19A
は、ここでは図示しないが互いの間隔寸法を調整可能と
するのみであり、他の調整構造は不要である。ただし、
被加工物AをXYテーブルユニット15Aに支持すると
ともに、このXYテーブルユニットごとZ方向である垂
直方向に移動可能なエレベータ機構5Aから構成される
変更手段20Aを備える。
は、ここでは図示しないが互いの間隔寸法を調整可能と
するのみであり、他の調整構造は不要である。ただし、
被加工物AをXYテーブルユニット15Aに支持すると
ともに、このXYテーブルユニットごとZ方向である垂
直方向に移動可能なエレベータ機構5Aから構成される
変更手段20Aを備える。
【0052】すなわち、被加工物Aを三次元的に移動可
能とすることにより、ワイヤガイド18A,19Aおよ
び被加工物を加工するワイヤ電極Wの位置合せが三次元
的に調整可能となる。
能とすることにより、ワイヤガイド18A,19Aおよ
び被加工物を加工するワイヤ電極Wの位置合せが三次元
的に調整可能となる。
【0053】ただし、これら構成部品および被加工物に
給電する制御回路21は加工槽外部に配置できるのに対
して、XYテーブルユニット15Aやエレベータ機構5
Aなどの変更手段20Aは全て加工液S中に浸漬しなけ
ればならないので、何らかの防水処理が必要となる。
給電する制御回路21は加工槽外部に配置できるのに対
して、XYテーブルユニット15Aやエレベータ機構5
Aなどの変更手段20Aは全て加工液S中に浸漬しなけ
ればならないので、何らかの防水処理が必要となる。
【0054】なお、上記各実施の形態では、水平面を有
する被加工物Aに対してワイヤ電極Wを水平方向に張
り、これを垂直方向に降下することによりワイヤ放電加
工をなしたが、これに限定されるものではなく、図3に
示すような加工でも良い。
する被加工物Aに対してワイヤ電極Wを水平方向に張
り、これを垂直方向に降下することによりワイヤ放電加
工をなしたが、これに限定されるものではなく、図3に
示すような加工でも良い。
【0055】すなわち、水平面を有する被加工物Aに対
してワイヤ電極Wを所定の角度θ°に傾斜させ、この傾
斜角度を保持したまま、垂直方向に降下してワイヤ放電
加工をなす。
してワイヤ電極Wを所定の角度θ°に傾斜させ、この傾
斜角度を保持したまま、垂直方向に降下してワイヤ放電
加工をなす。
【0056】すなわち、被加工物Aに対して、ワイヤ電
極Wははじめ一点で接触し、以後、徐々に切断距離が増
大する。これにより、切断初期において加工液に対する
衝撃がなくなり、加工液が動揺しない。したがって、加
工の安定性が確保され、ワイヤ電極の断線事故などの影
響がない。
極Wははじめ一点で接触し、以後、徐々に切断距離が増
大する。これにより、切断初期において加工液に対する
衝撃がなくなり、加工液が動揺しない。したがって、加
工の安定性が確保され、ワイヤ電極の断線事故などの影
響がない。
【0057】図4に示すように、ワイヤ電極Wは、被加
工物Aの水平面であるXY平面と、前後方向に垂直な面
であるXZ面に対して平行出しする機能を備える。この
平行出し機能は、上記変更手段30,30Aを制御する
とともに、ワイヤ電極Wと被加工物Aの接触を、電流の
流れの有無、変化、電圧の変化および微弱放電の発生に
よって可視化する。
工物Aの水平面であるXY平面と、前後方向に垂直な面
であるXZ面に対して平行出しする機能を備える。この
平行出し機能は、上記変更手段30,30Aを制御する
とともに、ワイヤ電極Wと被加工物Aの接触を、電流の
流れの有無、変化、電圧の変化および微弱放電の発生に
よって可視化する。
【0058】すなわち、空中放電によってワイヤ電極W
と被加工物Aとの間に火花を飛ばし、その有無で平行で
あるか否かを確認する。ワイヤガイドは、図5(A)に
示すような、第1のワイヤガイド18Bであってもよ
い。このワイヤガイド18Bには、図示しないポンプと
連通する加工液供給口体22が接続される。そして、先
端ノズル部nから加工液を積極的に給出するようにして
も良い。
と被加工物Aとの間に火花を飛ばし、その有無で平行で
あるか否かを確認する。ワイヤガイドは、図5(A)に
示すような、第1のワイヤガイド18Bであってもよ
い。このワイヤガイド18Bには、図示しないポンプと
連通する加工液供給口体22が接続される。そして、先
端ノズル部nから加工液を積極的に給出するようにして
も良い。
【0059】すなわち、先端ノズル部nから加工液を噴
出することにより、ワイヤ電極Wに沿う加工液の噴流を
形成でき、被加工物の切り溝から容易に離反しない加工
屑を強制的に除去する。
出することにより、ワイヤ電極Wに沿う加工液の噴流を
形成でき、被加工物の切り溝から容易に離反しない加工
屑を強制的に除去する。
【0060】ただし、先端ノズル部nを単純な開口部と
すると、ここから噴出する加工液の流れはワイヤ電極W
に平行でない流れが含まれ、流れる距離が長くなるにつ
れて噴流の直径が大になり、必要な流れの流速が低下し
てしまう。
すると、ここから噴出する加工液の流れはワイヤ電極W
に平行でない流れが含まれ、流れる距離が長くなるにつ
れて噴流の直径が大になり、必要な流れの流速が低下し
てしまう。
【0061】そこで、先端ノズル部nに、噴流部23を
備える。この噴流部23は、先端ノズル部nに嵌挿され
る、たとえばハニカム状口体である。ハニカムの間隔
は、たとえば1mm、その長さは約10mmあればよい。ハ
ニカム状口体23から噴出される加工液の液圧は20Kg
/mm2 とする。
備える。この噴流部23は、先端ノズル部nに嵌挿され
る、たとえばハニカム状口体である。ハニカムの間隔
は、たとえば1mm、その長さは約10mmあればよい。ハ
ニカム状口体23から噴出される加工液の液圧は20Kg
/mm2 とする。
【0062】このような条件を採用すれば、第1のワイ
ヤガイド18Bから供給される加工液はハニカム状口体
23を通過する間に整流されて、ワイヤ電極Wに平行で
ない流れの成分は除去される。
ヤガイド18Bから供給される加工液はハニカム状口体
23を通過する間に整流されて、ワイヤ電極Wに平行で
ない流れの成分は除去される。
【0063】したがって、加工液はワイヤ電極Wに沿う
流れだけとなり、加工液の噴流の直径は広がらずにす
み、充分な速さの流速で流れて、切り溝に生成される加
工物を効率よく除去する。
流れだけとなり、加工液の噴流の直径は広がらずにす
み、充分な速さの流速で流れて、切り溝に生成される加
工物を効率よく除去する。
【0064】なお、噴流部23を構成するものとして、
ハニカム状口体に代って、複数枚のメッシュ(金網)を
所定間隔を存して配置することでも、全く同様の作用効
果を得られることができる。
ハニカム状口体に代って、複数枚のメッシュ(金網)を
所定間隔を存して配置することでも、全く同様の作用効
果を得られることができる。
【0065】図5(B)に示す第1のワイヤガイド18
Cであってもよい。この場合、ワイヤガイド18C内に
は、漏斗状の仕切り部材24が設けられる。この仕切り
部材24は、ワイヤガイド18Cの軸方向に沿うほぼ半
分程度の位置から漏斗状の皿部分で仕切っており、仕切
られた両側にそれぞれ図示しないポンプに連通する供給
口体22a,22bが接続される。
Cであってもよい。この場合、ワイヤガイド18C内に
は、漏斗状の仕切り部材24が設けられる。この仕切り
部材24は、ワイヤガイド18Cの軸方向に沿うほぼ半
分程度の位置から漏斗状の皿部分で仕切っており、仕切
られた両側にそれぞれ図示しないポンプに連通する供給
口体22a,22bが接続される。
【0066】仕切り部材24の先端部は、ワイヤガイド
18Cの先端ノズル部nと同芯で、かつ細径に形成され
る。したがって、先端ノズル部nは、ワイヤ電極Wに沿
って加工液が給出される主噴流口25と、仕切り部材2
4の外周面と先端ノズル部nの内周面との間から加工液
が給出される補助噴流口26の二重構造となる。
18Cの先端ノズル部nと同芯で、かつ細径に形成され
る。したがって、先端ノズル部nは、ワイヤ電極Wに沿
って加工液が給出される主噴流口25と、仕切り部材2
4の外周面と先端ノズル部nの内周面との間から加工液
が給出される補助噴流口26の二重構造となる。
【0067】主噴流口25から給出される噴流の周囲
を、補助噴流口26から給出される補助噴流が囲む。す
なわち、主噴流口25から給出される噴流の運動量を補
助噴流口26から給出される補助噴流が保護し、助成す
るので、より多量の加工液を加工溝内に給出でき、加工
屑の除去をより効率よく行なえる。
を、補助噴流口26から給出される補助噴流が囲む。す
なわち、主噴流口25から給出される噴流の運動量を補
助噴流口26から給出される補助噴流が保護し、助成す
るので、より多量の加工液を加工溝内に給出でき、加工
屑の除去をより効率よく行なえる。
【0068】このため、ノズル内周部から外周部にかけ
て流速が速くなるように、ノズルの主噴流口25による
流速を補助噴流口26による流速よりも速い速度に設定
するとよい。
て流速が速くなるように、ノズルの主噴流口25による
流速を補助噴流口26による流速よりも速い速度に設定
するとよい。
【0069】以下に述べるような、ワイヤ放電加工方法
を採用してもよい。すなわち、図6に示すように、被加
工物Aに対して水平方向に張られたワイヤ電極Wを垂直
に移動して放電加工するのに、その加工移動速度Va は
2〜40mm/分に設定される。
を採用してもよい。すなわち、図6に示すように、被加
工物Aに対して水平方向に張られたワイヤ電極Wを垂直
に移動して放電加工するのに、その加工移動速度Va は
2〜40mm/分に設定される。
【0070】普通、加工屑が円滑に除去せず、そのまま
滞積する場合は、異常放電が発生して電圧が低下する。
具体的には、たとえば0.1秒当たりの平均電圧が80
V前後に低下した場合に異常放電が発生したと判断され
る。このときは、ただちにワイヤ電極を加工溝から離反
しなければならない。
滞積する場合は、異常放電が発生して電圧が低下する。
具体的には、たとえば0.1秒当たりの平均電圧が80
V前後に低下した場合に異常放電が発生したと判断され
る。このときは、ただちにワイヤ電極を加工溝から離反
しなければならない。
【0071】しかしながら、ここでは、以下の条件のワ
イヤ電極Wを使用した場合は、異常放電を検出してから
ワイヤ電極を加工溝から離反するまで、0.1秒の待ち
時間を設定する。
イヤ電極Wを使用した場合は、異常放電を検出してから
ワイヤ電極を加工溝から離反するまで、0.1秒の待ち
時間を設定する。
【0072】もしくは、離反速度Vb を加工移動速度V
a と同等として離反する、もしくは離反速度を加工移動
速度以下の遅い速度(Va ≧Vb )に設定する。当然、
異常が解消されたら、ただちに通常の放電加工に復帰す
る。
a と同等として離反する、もしくは離反速度を加工移動
速度以下の遅い速度(Va ≧Vb )に設定する。当然、
異常が解消されたら、ただちに通常の放電加工に復帰す
る。
【0073】以上の制御は、特に、通常用いられるとこ
ろの黄銅(BS)製の電極ワイヤを対象とするのではな
く、たとえばコンピードワイヤ(商品名)と呼ばれる許
容電流が大きく、抵抗の少ないワイヤ電極に対して有効
である。
ろの黄銅(BS)製の電極ワイヤを対象とするのではな
く、たとえばコンピードワイヤ(商品名)と呼ばれる許
容電流が大きく、抵抗の少ないワイヤ電極に対して有効
である。
【0074】具体的には、ワイヤ電極の直径が0、25
mmで、抵抗率が2.15Ω・cmよりも小さいワイヤを対
象とする。このようなワイヤ電極は、異常放電が発生し
ても、加工屑の排出が容易で、たやすく異常放電が解消
する。したがって、異常放電が発生してもただちにワイ
ヤ電極を退避しなくても異常放電が終了するので、以上
のごとき制御をなす。その結果、より多い放電回数を利
用でき効率向上に寄与する。
mmで、抵抗率が2.15Ω・cmよりも小さいワイヤを対
象とする。このようなワイヤ電極は、異常放電が発生し
ても、加工屑の排出が容易で、たやすく異常放電が解消
する。したがって、異常放電が発生してもただちにワイ
ヤ電極を退避しなくても異常放電が終了するので、以上
のごとき制御をなす。その結果、より多い放電回数を利
用でき効率向上に寄与する。
【0075】
【発明の効果】以上説明したように請求項1の発明は、
ワイヤガイドは、ワイヤ電極を三次元的に位置変更する
変更手段に支持される。請求項2の発明は、変更手段
は、被加工物とワイヤ電極との間に空中放電し可視化す
ることによって、被加工物に対するワイヤ電極の平行出
しをなす平行出し機能を備える。
ワイヤガイドは、ワイヤ電極を三次元的に位置変更する
変更手段に支持される。請求項2の発明は、変更手段
は、被加工物とワイヤ電極との間に空中放電し可視化す
ることによって、被加工物に対するワイヤ電極の平行出
しをなす平行出し機能を備える。
【0076】請求項3の発明は、平行出し機能は、被加
工物の水平面であるXY平面と、前後方向に垂直な面で
あるXZ面に対して平行出しする。請求項4の発明は、
被加工物と、この被加工物を放電加工するワイヤ電極部
位および一対のワイヤガイドは、加工液中に浸漬され
る。
工物の水平面であるXY平面と、前後方向に垂直な面で
あるXZ面に対して平行出しする。請求項4の発明は、
被加工物と、この被加工物を放電加工するワイヤ電極部
位および一対のワイヤガイドは、加工液中に浸漬され
る。
【0077】請求項5の発明は、被加工物と、ワイヤ電
極および一対のワイヤガイドを加工液中に浸漬し、被加
工物の水平面に対してワイヤ電極を平行に張るととも
に、ワイヤ電極を垂直方向に駆動して放電加工をなす。
極および一対のワイヤガイドを加工液中に浸漬し、被加
工物の水平面に対してワイヤ電極を平行に張るととも
に、ワイヤ電極を垂直方向に駆動して放電加工をなす。
【0078】請求項6の発明は、ワイヤガイドは、ワイ
ヤ電極が挿通するとともに加工液を給出する先端ノズル
部を備え、この先端ノズル部にワイヤ電極に沿って加工
液を噴出する噴流部を備えた。
ヤ電極が挿通するとともに加工液を給出する先端ノズル
部を備え、この先端ノズル部にワイヤ電極に沿って加工
液を噴出する噴流部を備えた。
【0079】請求項7の発明は、上記噴流部は、メッシ
ュ部材とハニカム部材および補助噴流口の、いずれかで
ある。請求項8の発明は、直径が0.25mmφで抵抗率
が0.25Ω・cmより小さいワイヤ電極であるとき、被
加工物と、ワイヤ電極部位および一対のワイヤガイドを
加工液中に浸漬し、被加工物の水平面に対してワイヤ電
極を平行に張るとともに、ワイヤ電極を垂直方向に駆動
して放電加工をなし、被加工物に対するワイヤ電極の離
反速度を、接近速度と同等もしくはそれ以下に設定し
た。
ュ部材とハニカム部材および補助噴流口の、いずれかで
ある。請求項8の発明は、直径が0.25mmφで抵抗率
が0.25Ω・cmより小さいワイヤ電極であるとき、被
加工物と、ワイヤ電極部位および一対のワイヤガイドを
加工液中に浸漬し、被加工物の水平面に対してワイヤ電
極を平行に張るとともに、ワイヤ電極を垂直方向に駆動
して放電加工をなし、被加工物に対するワイヤ電極の離
反速度を、接近速度と同等もしくはそれ以下に設定し
た。
【0080】このような請求項1ないし請求項8の発明
によれば、被加工物に対するワイヤ電極の姿勢を最適状
態に変えて、ワイヤ電極とワイヤガイドおよび被加工物
の冷却を確実になすとともに、加工屑を除去し易い構成
として、加工電流の供給可能値を上げ、高速加工による
加工効率の向上と、加工精度の向上を両立させる効果を
奏する。
によれば、被加工物に対するワイヤ電極の姿勢を最適状
態に変えて、ワイヤ電極とワイヤガイドおよび被加工物
の冷却を確実になすとともに、加工屑を除去し易い構成
として、加工電流の供給可能値を上げ、高速加工による
加工効率の向上と、加工精度の向上を両立させる効果を
奏する。
【図1】本発明の一実施の形態を示す、ワイヤ放電加工
機の概略の構成図。
機の概略の構成図。
【図2】他の実施の形態の、ワイヤ放電加工機の概略の
構成図。
構成図。
【図3】さらに他の実施の形態の、放電加工を説明する
図。
図。
【図4】ワイヤ電極の被加工物に対する平行出し機能を
説明する図。
説明する図。
【図5】(A)は、さらに他の実施の形態の、第1のワ
イヤガイドの縦断面図。(B)は、さらに他の実施の形
態の、第1のワイヤガイドの縦断面図。
イヤガイドの縦断面図。(B)は、さらに他の実施の形
態の、第1のワイヤガイドの縦断面図。
【図6】さらに他の実施の形態の、ワイヤ放電加工方法
を説明する図。
を説明する図。
【図7】従来と本発明の加工特性を比較する図。
【図8】本発明における加工状況を説明する図。
【図9】従来の加工状況を説明する図。
18…第1のワイヤガイド、 19…第2のワイヤガイド、 n…先端ノズル部、 W…ワイヤ電極、 20…変更手段、 23…ハニカム部材、 26…補助噴流口。
フロントページの続き (72)発明者 鈴木 雅也 東京都港区芝浦一丁目1番1号 株式会社 東芝本社事務所内
Claims (8)
- 【請求項1】一対のワイヤガイド間にワイヤ電極を所定
の張力を与えて走行駆動するとともに、ワイヤ電極を被
加工物に対向し、これらワイヤ電極と被加工物間に電圧
を印加して放電させ、被加工物を溶融加工するワイヤ放
電加工機において、 上記ワイヤガイドは、被加工物に対して水平方向に対向
して設けられ、ワイヤ電極を三次元的に位置変更する変
更手段に支持されることを特徴とするワイヤ放電加工
機。 - 【請求項2】請求項1記載の上記変更手段は、被加工物
とワイヤ電極との間に空中放電し可視化することによっ
て、被加工物に対するワイヤ電極の平行出しをなす平行
出し機能を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工機。 - 【請求項3】請求項2記載の上記平行出し機能は、被加
工物の水平面であるXY平面と、前後方向に垂直な面で
あるXZ面に対して平行出しすることを特徴とするワイ
ヤ放電加工機。 - 【請求項4】一対のワイヤガイド間にワイヤ電極を所定
の張力を与えて走行駆動するとともに、ワイヤ電極を被
加工物に対向し、これらワイヤ電極と被加工物間に電圧
を印加して放電させ、被加工物を溶融加工するワイヤ放
電加工機において、 上記被加工物と、この被加工物を放電加工するワイヤ電
極部位および一対のワイヤガイドは、加工液中に浸漬さ
れることを特徴とするワイヤ放電加工機。 - 【請求項5】一対のワイヤガイド間にワイヤ電極を所定
の張力を与えて走行駆動するとともに、ワイヤ電極を被
加工物に対向し、これらワイヤ電極と被加工物間に電圧
を印加して放電させ、被加工物を溶融加工するワイヤ放
電加工機において、 上記被加工物と、この被加工物を放電加工するワイヤ電
極部位および一対のワイヤガイドは、加工液中に浸漬さ
れ、 被加工物の水平面に対してワイヤ電極を平行に張るとと
もに、ワイヤ電極を垂直方向に駆動して放電加工をなす
ことを特徴とするワイヤ放電加工機。 - 【請求項6】請求項1ないし請求項5記載の上記ワイヤ
ガイドは、上記ワイヤ電極が挿通するとともに加工液を
給出する先端ノズル部を備え、かつこの先端ノズル部に
ワイヤ電極に沿って加工液を噴出する噴流部を備えたこ
とを特徴とするワイヤ放電加工機。 - 【請求項7】請求項6記載の上記噴流部は、メッシュ部
材とハニカム部材および補助噴流口の、いずれかである
ことを特徴とするワイヤ放電加工機。 - 【請求項8】一対のワイヤガイド間にワイヤ電極を所定
の張力を与えて走行駆動するとともに、ワイヤ電極を被
加工物に対向し、これらワイヤ電極と被加工物間に電圧
を印加して放電させ、被加工物を溶融加工するワイヤ放
電加工方法において、 直径が0.25mmφで、抵抗率が0.25Ω・cmより小
さいワイヤ電極であるとき、 上記被加工物と、この被加工物を放電加工するワイヤ電
極部位および一対のワイヤガイドを加工液中に浸漬し、 被加工物の水平面に対してワイヤ電極を平行に張るとと
もに、ワイヤ電極を垂直方向に駆動して放電加工をな
し、 被加工物に対するワイヤ電極の離反速度を、接近速度と
同等もしくはそれ以下に設定したことを特徴とするワイ
ヤ放電加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21374896A JPH1058237A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21374896A JPH1058237A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1058237A true JPH1058237A (ja) | 1998-03-03 |
Family
ID=16644377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21374896A Pending JPH1058237A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1058237A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012254505A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Fanuc Ltd | 被加工物を傾けてテーパ加工を行うワイヤ放電加工機 |
US20130240487A1 (en) * | 2010-11-24 | 2013-09-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire-cut electrical discharge machining apparatus and semiconductor wafer manufacturing method |
JP2014000656A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Canon Marketing Japan Inc | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、加工物 |
CN103920952A (zh) * | 2014-05-05 | 2014-07-16 | 江南大学 | 一种变厚度电化学放电线切割加工装置 |
-
1996
- 1996-08-13 JP JP21374896A patent/JPH1058237A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130240487A1 (en) * | 2010-11-24 | 2013-09-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire-cut electrical discharge machining apparatus and semiconductor wafer manufacturing method |
US9387548B2 (en) * | 2010-11-24 | 2016-07-12 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire-cut electrical discharge machining apparatus and semiconductor wafer manufacturing method |
DE112011103905B4 (de) | 2010-11-24 | 2022-09-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Drahtschneideelektroerodierverfahren und Halbleiterwaferherstellungsverfahren |
JP2012254505A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Fanuc Ltd | 被加工物を傾けてテーパ加工を行うワイヤ放電加工機 |
US10046407B2 (en) | 2011-06-10 | 2018-08-14 | Fanuc Corporation | Wire electric discharge machine for taper-machining tilted workpiece |
JP2014000656A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Canon Marketing Japan Inc | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、加工物 |
CN103506720A (zh) * | 2012-06-20 | 2014-01-15 | 佳能市场营销日本株式会社 | 金属线放电加工装置、金属线放电加工方法、加工物 |
US9636764B2 (en) | 2012-06-20 | 2017-05-02 | Canon Marketing Japan Kabushiki Kaisha | Wire electrical discharge machining apparatus, wire electrical discharge machining method, and work |
CN103920952A (zh) * | 2014-05-05 | 2014-07-16 | 江南大学 | 一种变厚度电化学放电线切割加工装置 |
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