JPH105503A - 脱気装置 - Google Patents
脱気装置Info
- Publication number
- JPH105503A JPH105503A JP18136996A JP18136996A JPH105503A JP H105503 A JPH105503 A JP H105503A JP 18136996 A JP18136996 A JP 18136996A JP 18136996 A JP18136996 A JP 18136996A JP H105503 A JPH105503 A JP H105503A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- liquid
- deaeration
- liquid leakage
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体中の溶存ガスを除去する脱気作業におい
て、脱気処理中の液漏れ発生を速やかに確認することが
でき液漏れにより発生するトラブルを未然に防止するこ
とができる脱気装置を提供すること。 【解決手段】 １本以上のフッ素樹脂製の気体透過性チ
ューブからなる脱気エレメントが真空チャンバー内に配
設されてなる脱気装置において、この脱気装置の真空チ
ャンバーに、液漏れを確認するための窓部を設けた脱気
装置とする。
て、脱気処理中の液漏れ発生を速やかに確認することが
でき液漏れにより発生するトラブルを未然に防止するこ
とができる脱気装置を提供すること。 【解決手段】 １本以上のフッ素樹脂製の気体透過性チ
ューブからなる脱気エレメントが真空チャンバー内に配
設されてなる脱気装置において、この脱気装置の真空チ
ャンバーに、液漏れを確認するための窓部を設けた脱気
装置とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液体中の溶存ガ
スを除去する脱気作業において、脱気処理中の液漏れ発
生を外部から速やかに確認することができ、液漏れによ
り発生するトラブルを未然に防止することができる脱気
装置に関するものである。
スを除去する脱気作業において、脱気処理中の液漏れ発
生を外部から速やかに確認することができ、液漏れによ
り発生するトラブルを未然に防止することができる脱気
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、熱交換器における熱交換エレメ
ント或いは溶液中の溶存ガスを除去する脱気装置は、フ
ッ素樹脂製の接合部材とフッ素樹脂製チューブを接合せ
しめた脱気エレメントを、プラスチック製や金属製、或
いは、ガラス製の真空チャンバー内に固定治具を用いて
一体化することにより製造される。このような脱気装置
の例としては、例えば、図２に示す技術が存在する。こ
れらの脱気装置の構成は、フッ素樹脂製の気体透過性チ
ューブからなる脱気エレメント（Ａ）を固定治具（Ｂ）
により真空チャンバー（Ｃ）内部に接続固定してなるも
のであり、このような脱気装置の運転方法としては、吸
引口（Ｄ）に接続された真空ポンプ等の減圧装置により
真空チャンバー（Ｃ）内を減圧した状態で、フッ素樹脂
製チューブ内に処理液を加圧送液する方法が一般的であ
る。
ント或いは溶液中の溶存ガスを除去する脱気装置は、フ
ッ素樹脂製の接合部材とフッ素樹脂製チューブを接合せ
しめた脱気エレメントを、プラスチック製や金属製、或
いは、ガラス製の真空チャンバー内に固定治具を用いて
一体化することにより製造される。このような脱気装置
の例としては、例えば、図２に示す技術が存在する。こ
れらの脱気装置の構成は、フッ素樹脂製の気体透過性チ
ューブからなる脱気エレメント（Ａ）を固定治具（Ｂ）
により真空チャンバー（Ｃ）内部に接続固定してなるも
のであり、このような脱気装置の運転方法としては、吸
引口（Ｄ）に接続された真空ポンプ等の減圧装置により
真空チャンバー（Ｃ）内を減圧した状態で、フッ素樹脂
製チューブ内に処理液を加圧送液する方法が一般的であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな脱気方法においては、処理液を加圧送液するために
真空チャンバーと脱気エレメントを一体化する固定治具
に少なからず負荷が加わり、そのために脱気エレメント
が真空チャンバーから外れて処理液が漏れ出すことがあ
るが、上記したような従来の脱気装置では、処理液の漏
れを外部から確認することができないため、漏れ出した
処理液が真空ポンプ等の減圧装置に流入してしまうこと
があった。本発明の解決課題は、液体中の溶存ガスを除
去する脱気作業において、脱気処理中の液漏れ発生を速
やかに確認することができ液漏れにより発生するトラブ
ルを未然に防止することができる脱気装置を提供するこ
とにある。
うな脱気方法においては、処理液を加圧送液するために
真空チャンバーと脱気エレメントを一体化する固定治具
に少なからず負荷が加わり、そのために脱気エレメント
が真空チャンバーから外れて処理液が漏れ出すことがあ
るが、上記したような従来の脱気装置では、処理液の漏
れを外部から確認することができないため、漏れ出した
処理液が真空ポンプ等の減圧装置に流入してしまうこと
があった。本発明の解決課題は、液体中の溶存ガスを除
去する脱気作業において、脱気処理中の液漏れ発生を速
やかに確認することができ液漏れにより発生するトラブ
ルを未然に防止することができる脱気装置を提供するこ
とにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、１本以上のフ
ッ素樹脂製の気体透過性チューブからなる脱気エレメン
トが真空チャンバー内に配設されてなる脱気装置におい
て、この脱気装置の真空チャンバーに、液漏れを確認す
るための窓部を設けたことを特徴とする脱気装置を提供
することにより、上記従来の課題を解決する。
ッ素樹脂製の気体透過性チューブからなる脱気エレメン
トが真空チャンバー内に配設されてなる脱気装置におい
て、この脱気装置の真空チャンバーに、液漏れを確認す
るための窓部を設けたことを特徴とする脱気装置を提供
することにより、上記従来の課題を解決する。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る脱気装置の好
適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図
１は本発明に係る脱気装置の一実施例を示す断面図であ
る。本発明に係る脱気装置（１）は図１に示す如く、真
空チャンバー（２）と該真空チャンバー（２）内に配設
される脱気エレメント（３）から構成される。本発明に
係る脱気装置（１）においては、真空チャンバー（２）
の材質は特に限定されるものではなく、金属、プラスチ
ック、ガラス等、適宜任意の素材を用いることができる
が、耐久性や耐薬品性の点から、金属材料を用いる場合
はステンレス鋼を、プラスチック材料を用いる場合はポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やテトラフルオ
ロエチレン−パープルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂、
ポリエチレン樹脂等を用いることが好ましい。また真空
チャンバー（２）の形状及び大きさについても、真空ポ
ンプ等の減圧手段と接続可能な吸引口（２１）と脱気エ
レメント（３）に処理液を通過させるための入液口（２
２）及び出液口（２３）を有し且つ脱気エレメント
（３）をその内部に収めることが可能な大きさであれば
特に限定されない。
適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図
１は本発明に係る脱気装置の一実施例を示す断面図であ
る。本発明に係る脱気装置（１）は図１に示す如く、真
空チャンバー（２）と該真空チャンバー（２）内に配設
される脱気エレメント（３）から構成される。本発明に
係る脱気装置（１）においては、真空チャンバー（２）
の材質は特に限定されるものではなく、金属、プラスチ
ック、ガラス等、適宜任意の素材を用いることができる
が、耐久性や耐薬品性の点から、金属材料を用いる場合
はステンレス鋼を、プラスチック材料を用いる場合はポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やテトラフルオ
ロエチレン−パープルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂、
ポリエチレン樹脂等を用いることが好ましい。また真空
チャンバー（２）の形状及び大きさについても、真空ポ
ンプ等の減圧手段と接続可能な吸引口（２１）と脱気エ
レメント（３）に処理液を通過させるための入液口（２
２）及び出液口（２３）を有し且つ脱気エレメント
（３）をその内部に収めることが可能な大きさであれば
特に限定されない。
【０００６】脱気エレメント（３）は、１本のフッ素樹
脂製気体透過性チューブ又は２本以上のフッ素樹脂製気
体透過性チューブが端部において熱融着性を有するフッ
素樹脂粉末を介して融着により接合一体化されてなる気
体透過性チューブ束からなる。気体透過性チューブの材
質の具体例としては、ポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パ−フルオロアル
キルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオ
ロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥ
Ｐ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦ
Ｅ）等が例示できるが、これらに限定されるものではな
い。また、熱融着性を有するフッ素樹脂粉末についても
特に限定されるものではないが、具体的には、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体
（ＦＥＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、エチレン−テトラ
フルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）等の粉末を好適
な例として例示することができる。
脂製気体透過性チューブ又は２本以上のフッ素樹脂製気
体透過性チューブが端部において熱融着性を有するフッ
素樹脂粉末を介して融着により接合一体化されてなる気
体透過性チューブ束からなる。気体透過性チューブの材
質の具体例としては、ポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パ−フルオロアル
キルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオ
ロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥ
Ｐ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦ
Ｅ）等が例示できるが、これらに限定されるものではな
い。また、熱融着性を有するフッ素樹脂粉末についても
特に限定されるものではないが、具体的には、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体
（ＦＥＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、エチレン−テトラ
フルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）等の粉末を好適
な例として例示することができる。
【０００７】脱気エレメント（３）端部には嵌合片
（４）が取着されており、この嵌合片（４）を真空チャ
ンバー（２）に固定された筒状固定部材（５）の嵌合部
（５１）に嵌入し、筒状固定部材（５）の雄ねじ部（５
１）にナット（６）を螺合させることにより、脱気エレ
メント（３）が真空チャンバー（２）に固定される。な
お、本発明に係る脱気装置においては、脱気エレメント
（３）の真空チャンバー（２）への接続固定方法は、図
示例に何ら限定されるものではなく、接続部の気密性に
優れ且つ真空チャンバー（２）内に脱気エレメント
（３）を確実に固定することができれば、適宜任意の方
法を採用することができる。
（４）が取着されており、この嵌合片（４）を真空チャ
ンバー（２）に固定された筒状固定部材（５）の嵌合部
（５１）に嵌入し、筒状固定部材（５）の雄ねじ部（５
１）にナット（６）を螺合させることにより、脱気エレ
メント（３）が真空チャンバー（２）に固定される。な
お、本発明に係る脱気装置においては、脱気エレメント
（３）の真空チャンバー（２）への接続固定方法は、図
示例に何ら限定されるものではなく、接続部の気密性に
優れ且つ真空チャンバー（２）内に脱気エレメント
（３）を確実に固定することができれば、適宜任意の方
法を採用することができる。
【０００８】真空チャンバー（２）には液位計（７）が
設けられており、真空チャンバー（２）内に液漏れが発
生した場合には、この液位計（７）により外部から速や
かに液漏れを検知することができるようになっている。
液位計（７）は、真空チャンバー（２）内の液を外部か
ら確認することができればその形状、材質は特に限定さ
れないが、内径については少なくとも１ｍｍ以上とする
ことが好ましい。また、材質については、テトラフルオ
ロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）等を好ましく使用することができる。な
お、本発明に係る脱気装置において真空チャンバー
（２）に設けられる窓部は、図示例のような液位計構造
に限定されるものではなく、真空チャンバー（２）内の
液を外部から確認することができればどのような構造で
あっても全て好適に採用することができ、例えば、液位
計（７）を設ける代わりに単にのぞき窓を設ける構成と
してもよい。
設けられており、真空チャンバー（２）内に液漏れが発
生した場合には、この液位計（７）により外部から速や
かに液漏れを検知することができるようになっている。
液位計（７）は、真空チャンバー（２）内の液を外部か
ら確認することができればその形状、材質は特に限定さ
れないが、内径については少なくとも１ｍｍ以上とする
ことが好ましい。また、材質については、テトラフルオ
ロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）等を好ましく使用することができる。な
お、本発明に係る脱気装置において真空チャンバー
（２）に設けられる窓部は、図示例のような液位計構造
に限定されるものではなく、真空チャンバー（２）内の
液を外部から確認することができればどのような構造で
あっても全て好適に採用することができ、例えば、液位
計（７）を設ける代わりに単にのぞき窓を設ける構成と
してもよい。
【０００９】以下、本発明に係る脱気装置の実施例及び
比較例を示すことにより、本発明に係る脱気装置の効果
をより明確にする。
比較例を示すことにより、本発明に係る脱気装置の効果
をより明確にする。
【実施例】脱気エレメント（３）を真空チャンバー
（２）内に配設した脱気装置（１）において、真空チャ
ンバー（２）に液漏れを確認するための窓部として、Ｐ
ＦＡの透明チューブ（内径５ｍｍ）からなる液位計
（７）を取り付けた。そして、真空チャンバー（２）の
吸引口（２１）に真空ポンプ等の減圧装置を接続して作
動させることにより真空チャンバー（２）内を真空状態
にし、入液口（２３）より脱気エレメント（３）に処理
液を供給して脱気作業を行った。この脱気作業の際に、
処理液の供給流量を大きくして脱気エレメント（３）内
の圧力を高くしたところ、真空チャンバー（２）と脱気
エレメント（３）とが脱離し処理液が真空チャンバー
（２）内に漏れ出したが、真空チャンバー（２）に設け
られた液位計（７）により液漏れが速やかに確認でき、
真空ポンプ等の減圧装置への処理液の流入を未然に防止
することができた。
（２）内に配設した脱気装置（１）において、真空チャ
ンバー（２）に液漏れを確認するための窓部として、Ｐ
ＦＡの透明チューブ（内径５ｍｍ）からなる液位計
（７）を取り付けた。そして、真空チャンバー（２）の
吸引口（２１）に真空ポンプ等の減圧装置を接続して作
動させることにより真空チャンバー（２）内を真空状態
にし、入液口（２３）より脱気エレメント（３）に処理
液を供給して脱気作業を行った。この脱気作業の際に、
処理液の供給流量を大きくして脱気エレメント（３）内
の圧力を高くしたところ、真空チャンバー（２）と脱気
エレメント（３）とが脱離し処理液が真空チャンバー
（２）内に漏れ出したが、真空チャンバー（２）に設け
られた液位計（７）により液漏れが速やかに確認でき、
真空ポンプ等の減圧装置への処理液の流入を未然に防止
することができた。
【００１０】
【比較例】実施例において用いた脱気装置（１）におい
て、真空チャンバー（２）の液位計（７）を取り外し
て、実施例と同じ方法で作業したところ、同様に液漏れ
が発生したが液漏れを検知することができず、漏れ出し
た処理液が真空ポンプ等の減圧装置へ流入してしまっ
た。
て、真空チャンバー（２）の液位計（７）を取り外し
て、実施例と同じ方法で作業したところ、同様に液漏れ
が発生したが液漏れを検知することができず、漏れ出し
た処理液が真空ポンプ等の減圧装置へ流入してしまっ
た。
【００１１】
【発明の効果】以上説明した如く、本発明は、１本以上
のフッ素樹脂製の気体透過性チューブからなる脱気エレ
メントが真空チャンバー内に配設されてなる脱気装置に
おいて、この脱気装置の真空チャンバーに、液漏れを確
認するための窓部を設けたことを特徴とする脱気装置で
あるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、真空
チャンバーに液漏れを確認するための窓部が設けられて
いるので、脱気作業中において真空チャンバー内で液漏
れが発生した場合に、窓部を介して外部から速やかに液
漏れを検知して迅速に対応することができ、液漏れによ
り発生するトラブルを未然に防止することができる。
のフッ素樹脂製の気体透過性チューブからなる脱気エレ
メントが真空チャンバー内に配設されてなる脱気装置に
おいて、この脱気装置の真空チャンバーに、液漏れを確
認するための窓部を設けたことを特徴とする脱気装置で
あるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、真空
チャンバーに液漏れを確認するための窓部が設けられて
いるので、脱気作業中において真空チャンバー内で液漏
れが発生した場合に、窓部を介して外部から速やかに液
漏れを検知して迅速に対応することができ、液漏れによ
り発生するトラブルを未然に防止することができる。
【図１】本発明に係る脱気装置の一実施例の断面図であ
る。
る。
【図２】従来の脱気装置の一実施例の断面図である。
１ 脱気装置 ２ 真空チャンバー ３ 脱気エレメント ７ 窓部（液位計）
Claims (1)
- 【請求項１】 １本以上のフッ素樹脂製の気体透過性チ
ューブからなる脱気エレメントが真空チャンバー内に配
設されてなる脱気装置において、この脱気装置の真空チ
ャンバーに、液漏れを確認するための窓部を設けたこと
を特徴とする脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18136996A JPH105503A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18136996A JPH105503A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 脱気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH105503A true JPH105503A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=16099527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18136996A Pending JPH105503A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH105503A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009219996A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Kurita Water Ind Ltd | 気体透過膜の劣化検知方法及び気体透過膜モジュールの運転方法 |
-
1996
- 1996-06-21 JP JP18136996A patent/JPH105503A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009219996A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Kurita Water Ind Ltd | 気体透過膜の劣化検知方法及び気体透過膜モジュールの運転方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001246232A (ja) | ガス透過膜装置 | |
| KR101097621B1 (ko) | 튜브 디바이스 및 그 튜브 디바이스를 포함하는 배관시스템 | |
| JP2007511340A (ja) | 軸方向移送ラインガス抜き | |
| TWI388368B (zh) | 脫氣裝置 | |
| JP2006312140A (ja) | 脱気装置 | |
| KR20150091891A (ko) | 비결정질 불소수지 중공사튜브를 이용한 탈기장치 및 그 제조법 | |
| JPH10165708A (ja) | 脱気装置 | |
| US20090015009A1 (en) | Fluid connector | |
| JPH105503A (ja) | 脱気装置 | |
| JPH02290201A (ja) | 液体の脱気方法 | |
| JP3847909B2 (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| JP3398826B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP3585077B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JPH11333206A (ja) | 脱気装置 | |
| JP3616221B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP4105716B2 (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| JPH08312846A (ja) | 管状部材用シールリング保持壁とシール方法、及びその保持壁を持つ流体部品、並びにその流体部品を持つ流体装置 | |
| JP3398824B2 (ja) | 脱気装置 | |
| KR102673894B1 (ko) | 반도체 cvd 공정에서 액체 내 캐리어 기체 제거용 탈기 장치 및 그 제조방법 | |
| JP3521368B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP4885050B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP3521364B2 (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| JP2010019560A (ja) | 非接触式温度検出装置 | |
| JP3398825B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP2005305442A (ja) | 脱気装置及び脱気方法 |