JPH1050926A - ハイブリッドモジュール - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 容積の大きな放熱フィンや、高価な窒化アル
ミニウム系セラミック基板を使用せず、回路部品14で
発生した熱を回路基板19へほぼ直接伝達して放熱する
ことにより、安価で小形なハイブリッドモジュールを得
る。 【解決手段】 ハイブリッドモジュールは、回路基板1
1と、回路基板11上に実装された発熱性を有する回路
部品14と、前記回路基板11が実装された親回路基板
19とを有し、発熱性を有する回路部品14を回路基板
11の親回路基板19と対向する側に搭載し、親回路基
板19上に形成された膜状の熱伝導性部材21に回路部
品14の外装体の表面を固着する。これによって、熱伝
導性部材21を介して回路部品14で発生した熱が親回
路基板19に熱伝達される。
ミニウム系セラミック基板を使用せず、回路部品14で
発生した熱を回路基板19へほぼ直接伝達して放熱する
ことにより、安価で小形なハイブリッドモジュールを得
る。 【解決手段】 ハイブリッドモジュールは、回路基板1
1と、回路基板11上に実装された発熱性を有する回路
部品14と、前記回路基板11が実装された親回路基板
19とを有し、発熱性を有する回路部品14を回路基板
11の親回路基板19と対向する側に搭載し、親回路基
板19上に形成された膜状の熱伝導性部材21に回路部
品14の外装体の表面を固着する。これによって、熱伝
導性部材21を介して回路部品14で発生した熱が親回
路基板19に熱伝達される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路パターンが形
成された回路基板に、積層コンデンサーや積層インダク
ター等のチップ部品や、半導体部品を搭載し、回路を構
成したハイブリッドモジュールであって、回路基板上に
電界効果形トランジスタやパワー半導体等の発熱性を有
する回路部品を搭載したハイブリッドモジュールに関す
る。
成された回路基板に、積層コンデンサーや積層インダク
ター等のチップ部品や、半導体部品を搭載し、回路を構
成したハイブリッドモジュールであって、回路基板上に
電界効果形トランジスタやパワー半導体等の発熱性を有
する回路部品を搭載したハイブリッドモジュールに関す
る。
【0002】
【従来の技術】回路基板上に電界効果形トランジスタや
パワー半導体等の発熱性を有する回路部品を搭載した従
来のハイブリッドモジュールでは、回路部品から放熱を
図るため、特殊な放熱手段を設けたものがある。例え
ば、特開平5−13627号公報に示されたハイブリッ
ドモジュールでは、回路基板に放熱フィンを設け、回路
基板上に搭載された発熱性を有する回路部品を、板バネ
状の熱伝達部材を介して前記放熱フィンと接続したもの
である。このハイブリッドモジュールでは、回路部品で
発生した熱が、放熱フィンを介して大気中に放出され
る。
パワー半導体等の発熱性を有する回路部品を搭載した従
来のハイブリッドモジュールでは、回路部品から放熱を
図るため、特殊な放熱手段を設けたものがある。例え
ば、特開平5−13627号公報に示されたハイブリッ
ドモジュールでは、回路基板に放熱フィンを設け、回路
基板上に搭載された発熱性を有する回路部品を、板バネ
状の熱伝達部材を介して前記放熱フィンと接続したもの
である。このハイブリッドモジュールでは、回路部品で
発生した熱が、放熱フィンを介して大気中に放出され
る。
【0003】また、回路基板上に発熱性を有する回路部
品を搭載したハイブリッドモジュールの他の従来例とし
て、図7に示すようなものもある。このハイブリッドモ
ジュールでは、回路基板1として窒化アルミニウム系の
セラミックが使用され、この回路基板1上のランド電極
6、6上にチップ状回路部品7、7が実装されると共
に、ランド電極4上に半田パンプ5を介して発熱性を有
する半導体素子等の回路部品3が搭載されている。そし
て、回路基板1は親回路基板9上に搭載されると共に、
回路基板1の端子電極8、8が、親回路基板9上に形成
されたランド電極10、10に半田で接続されている。
さらに、回路基板1と親回路基板9との対向した面は、
親回路基板9の上に形成された熱伝導性の良好な導体膜
2を介して接合されている。
品を搭載したハイブリッドモジュールの他の従来例とし
て、図7に示すようなものもある。このハイブリッドモ
ジュールでは、回路基板1として窒化アルミニウム系の
セラミックが使用され、この回路基板1上のランド電極
6、6上にチップ状回路部品7、7が実装されると共
に、ランド電極4上に半田パンプ5を介して発熱性を有
する半導体素子等の回路部品3が搭載されている。そし
て、回路基板1は親回路基板9上に搭載されると共に、
回路基板1の端子電極8、8が、親回路基板9上に形成
されたランド電極10、10に半田で接続されている。
さらに、回路基板1と親回路基板9との対向した面は、
親回路基板9の上に形成された熱伝導性の良好な導体膜
2を介して接合されている。
【0004】窒化アルミニウム系セラミックは、熱伝導
性が良い絶縁材料として注目されている。前記のハイブ
リッドモジュールでは、回路基板1上に搭載された回路
部品3から発生する熱が、窒化アルミニウム系セラミッ
クからなる熱伝導性良好な回路基板1と導体膜2を介し
て親回路基板9へと伝達され、放熱される。
性が良い絶縁材料として注目されている。前記のハイブ
リッドモジュールでは、回路基板1上に搭載された回路
部品3から発生する熱が、窒化アルミニウム系セラミッ
クからなる熱伝導性良好な回路基板1と導体膜2を介し
て親回路基板9へと伝達され、放熱される。
【0005】
【発明が解決しようとしている課題】前者のハイブリッ
ドモジュールは、放熱フィンを介して回路部品で発生し
た熱を大気中に放出するものであり、放熱効率を高める
ためには、必然的に放熱フィンの表面積が出来るだけ広
いことが必要となる。このため、ハイブリッドモジュー
ルにおいて放熱フィンの占める容積が大きくなり、小形
化がしにくいという課題がある。
ドモジュールは、放熱フィンを介して回路部品で発生し
た熱を大気中に放出するものであり、放熱効率を高める
ためには、必然的に放熱フィンの表面積が出来るだけ広
いことが必要となる。このため、ハイブリッドモジュー
ルにおいて放熱フィンの占める容積が大きくなり、小形
化がしにくいという課題がある。
【0006】他方、前者のハイブリッドモジュールで
は、電子部品4で発生した熱が回路基板1を介して親回
路基板9へと放熱されるため、放熱フィンは不要であ
り、回路基板1が放熱手段を兼ねるため、容積の増大は
ない。しかし、窒化アルミニウム系セラミックは、熱伝
導性がよいものの、現在ではアルミナ等の一般的な基板
材料に比べてきわめて高価であるため、材料のコスト高
を招くという課題ある。
は、電子部品4で発生した熱が回路基板1を介して親回
路基板9へと放熱されるため、放熱フィンは不要であ
り、回路基板1が放熱手段を兼ねるため、容積の増大は
ない。しかし、窒化アルミニウム系セラミックは、熱伝
導性がよいものの、現在ではアルミナ等の一般的な基板
材料に比べてきわめて高価であるため、材料のコスト高
を招くという課題ある。
【0007】本発明は、このような従来のハイブリッド
モジュールにおける課題に鑑み、回路部品14で発生し
た熱を放熱フィンを介して大気中に放熱するのではな
く、回路部品14で発生した熱を親回路基板19に伝達
して放熱する方式のハイブリッドモジュールにおいて、
高価な窒化アルミニウム系セラミック基板を使用するこ
となく、回路部品14から回路基板19への放熱を可能
とするものである。
モジュールにおける課題に鑑み、回路部品14で発生し
た熱を放熱フィンを介して大気中に放熱するのではな
く、回路部品14で発生した熱を親回路基板19に伝達
して放熱する方式のハイブリッドモジュールにおいて、
高価な窒化アルミニウム系セラミック基板を使用するこ
となく、回路部品14から回路基板19への放熱を可能
とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明では、このような
目的を達成するため、発熱性を有する回路部品14を、
回路基板11の親回路基板19と対向する面側に実装
し、回路部品14で発生する熱を親回路基板19に直接
または膜状の熱伝導性部材21を介して伝達するように
した。これにより、小さい容積のハイブリッドモジュー
ルが得られると共に、熱伝導性が良好な窒化アルミニウ
ム系セラミックの基板を使用することなく、一般的なア
ルミナ系等のセラミックからなる回路基板が使用出来る
ようにした。
目的を達成するため、発熱性を有する回路部品14を、
回路基板11の親回路基板19と対向する面側に実装
し、回路部品14で発生する熱を親回路基板19に直接
または膜状の熱伝導性部材21を介して伝達するように
した。これにより、小さい容積のハイブリッドモジュー
ルが得られると共に、熱伝導性が良好な窒化アルミニウ
ム系セラミックの基板を使用することなく、一般的なア
ルミナ系等のセラミックからなる回路基板が使用出来る
ようにした。
【0009】すなわち、本発明によるハイブリッドモジ
ュールは、回路基板11と、回路基板11上に実装され
た発熱性を有する回路部品14と、前記回路基板11が
実装された親回路基板19とを有し、発熱性を有する回
路部品14を回路基板11の親回路基板19と対向する
側に搭載すると共に、回路部品14から親回路基板19
に熱伝達されることを特徴とする。
ュールは、回路基板11と、回路基板11上に実装され
た発熱性を有する回路部品14と、前記回路基板11が
実装された親回路基板19とを有し、発熱性を有する回
路部品14を回路基板11の親回路基板19と対向する
側に搭載すると共に、回路部品14から親回路基板19
に熱伝達されることを特徴とする。
【0010】例えば、回路部品14が回路基板11の親
回路基板19と対向する主面に設けた凹部12内に実装
されている。そして、親回路基板19上に膜状の熱伝導
性部材21が形成され、この熱伝導部材21に回路部品
14の外装体の表面が固着されている。これによって、
熱伝導性部材21を介して回路部品14で発生した熱が
親回路基板19に熱伝達される。
回路基板19と対向する主面に設けた凹部12内に実装
されている。そして、親回路基板19上に膜状の熱伝導
性部材21が形成され、この熱伝導部材21に回路部品
14の外装体の表面が固着されている。これによって、
熱伝導性部材21を介して回路部品14で発生した熱が
親回路基板19に熱伝達される。
【0011】このようなハイブリッドモジュールでは、
回路部品14で発生した熱が、直接或は膜状の熱伝導部
材21を介して親回路基板19に伝達され、放熱される
ので、回路基板11は特に熱伝導が良好な窒化アルミニ
ウムである必要はなく、一般的なアルミナ系のものであ
ってもよい。また、回路部品14で発生した熱を大気中
に放熱する方式ではなく、親回路基板19に伝達して放
熱する方式のハイブリッドモジュールであるため、放熱
フィン等も不要である。
回路部品14で発生した熱が、直接或は膜状の熱伝導部
材21を介して親回路基板19に伝達され、放熱される
ので、回路基板11は特に熱伝導が良好な窒化アルミニ
ウムである必要はなく、一般的なアルミナ系のものであ
ってもよい。また、回路部品14で発生した熱を大気中
に放熱する方式ではなく、親回路基板19に伝達して放
熱する方式のハイブリッドモジュールであるため、放熱
フィン等も不要である。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
1に示すように、アルミナ、ガラス・エポキシ樹脂等の
絶縁材からなる基板に回路パターン(図示せず)を形成
した回路基板11を用意し、この主面に凹部12を形成
する。この凹部12は、例えばレーザー加工により形成
され、その中に実装される回路部品14の形状に合わせ
て、その縦横厚み寸法よりやや大きく形成される。さら
に、この凹部12の底面には、前記回路部品14の端子
電極を接続するランド電極13が形成される。図示して
いないが、回路基板11は、例えば多層構造になってお
り、その内部に回路パターンが形成され、前記ランド電
極13は、この回路パターンに接続されている。
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
1に示すように、アルミナ、ガラス・エポキシ樹脂等の
絶縁材からなる基板に回路パターン(図示せず)を形成
した回路基板11を用意し、この主面に凹部12を形成
する。この凹部12は、例えばレーザー加工により形成
され、その中に実装される回路部品14の形状に合わせ
て、その縦横厚み寸法よりやや大きく形成される。さら
に、この凹部12の底面には、前記回路部品14の端子
電極を接続するランド電極13が形成される。図示して
いないが、回路基板11は、例えば多層構造になってお
り、その内部に回路パターンが形成され、前記ランド電
極13は、この回路パターンに接続されている。
【0013】さらに、この回路基板11の凹部12の中
に発熱性を有する半導体素子等の回路部品14を収納す
ると共に、回路部品14の端子電極を前記ランド電極1
3に接続する。例えば、回路部品14として発熱性を有
する半導体素子を凹部12に収納し、回路部品14の半
田パンプ15をランド電極13に半田付けする。この状
態で、回路部品14の表面は、回路基板11の主面とほ
ぼ同じ面となる。その後、凹部12内に封止用の樹脂2
2を封入し、凹部12の開口部から外側に向いた回路基
板14の一表面を除いて樹脂封止する。
に発熱性を有する半導体素子等の回路部品14を収納す
ると共に、回路部品14の端子電極を前記ランド電極1
3に接続する。例えば、回路部品14として発熱性を有
する半導体素子を凹部12に収納し、回路部品14の半
田パンプ15をランド電極13に半田付けする。この状
態で、回路部品14の表面は、回路基板11の主面とほ
ぼ同じ面となる。その後、凹部12内に封止用の樹脂2
2を封入し、凹部12の開口部から外側に向いた回路基
板14の一表面を除いて樹脂封止する。
【0014】次に、この回路基板11の回路部品14が
搭載された凹部12側を下側に向け、上側になった主面
にチップ部品等の回路部品17、17を搭載し、それら
の端子電極をランド電極16、16に半田付けする。さ
らに、この回路基板11を親回路基板19上に搭載し、
回路基板11の側面に設けた端子電極18、18を親回
路基板19上のランド電極20、20に半田付けする。
この親回路基板19の前記回路部品14と対応する位置
には、前記ランド電極20、20と共に、熱伝導性部材
21として導体膜が予め形成されており、前記回路基板
11の端子電極18、18がランド電極20、20に半
田付けされるのと同時に、この熱伝導性部材21に前記
回路部品14の表面が半田付けされる。
搭載された凹部12側を下側に向け、上側になった主面
にチップ部品等の回路部品17、17を搭載し、それら
の端子電極をランド電極16、16に半田付けする。さ
らに、この回路基板11を親回路基板19上に搭載し、
回路基板11の側面に設けた端子電極18、18を親回
路基板19上のランド電極20、20に半田付けする。
この親回路基板19の前記回路部品14と対応する位置
には、前記ランド電極20、20と共に、熱伝導性部材
21として導体膜が予め形成されており、前記回路基板
11の端子電極18、18がランド電極20、20に半
田付けされるのと同時に、この熱伝導性部材21に前記
回路部品14の表面が半田付けされる。
【0015】これにより、図1に示すようなハイブリッ
ドモジュールが完成する。このハイブリッドモジュール
では、発熱性を有する半導体素子等の回路部品14から
生じる熱が熱伝導性部材21を介して親回路基板19に
伝達され、放熱される。図1の例では、回路部品14の
表面に熱伝導性部材21が直接半田付けされているが、
図2の例では、回路部品14の表面に熱伝導性の良好な
銅等の金属板23が予め半田付けされ、この金属板23
が熱伝導性部材21に半田付けされている。これによ
り、回路部品14の高さと凹部12の深さの違いが調整
されると共に、回路部品14から親回路基板19に円滑
に熱が伝達される。
ドモジュールが完成する。このハイブリッドモジュール
では、発熱性を有する半導体素子等の回路部品14から
生じる熱が熱伝導性部材21を介して親回路基板19に
伝達され、放熱される。図1の例では、回路部品14の
表面に熱伝導性部材21が直接半田付けされているが、
図2の例では、回路部品14の表面に熱伝導性の良好な
銅等の金属板23が予め半田付けされ、この金属板23
が熱伝導性部材21に半田付けされている。これによ
り、回路部品14の高さと凹部12の深さの違いが調整
されると共に、回路部品14から親回路基板19に円滑
に熱が伝達される。
【0016】図3の例は、回路基板11に凹部12を設
けず、その下面に発熱性を有する回路部品14を搭載し
たものである。この回路部品14に対応して、親回路基
板19上に導体膜からなる熱伝導性部材21が形成され
ている。回路基板11の側面にリード端子24、24が
取り付けられ、このリード端子24、24が親回路基板
19上のランド電極20、20に半田付けされたとき、
回路部品14の下表面が前記熱伝導性部材21の表面に
ほぼ当接する。そして、リード端子24、24が前記ラ
ンド電極20、20に半田付けされると同時に、回路部
品14の表面が熱伝導性部材21に半田付けされる。
けず、その下面に発熱性を有する回路部品14を搭載し
たものである。この回路部品14に対応して、親回路基
板19上に導体膜からなる熱伝導性部材21が形成され
ている。回路基板11の側面にリード端子24、24が
取り付けられ、このリード端子24、24が親回路基板
19上のランド電極20、20に半田付けされたとき、
回路部品14の下表面が前記熱伝導性部材21の表面に
ほぼ当接する。そして、リード端子24、24が前記ラ
ンド電極20、20に半田付けされると同時に、回路部
品14の表面が熱伝導性部材21に半田付けされる。
【0017】図4の例は、図3の例において、回路基板
11に搭載した回路部品14を熱伝導性良好な金属箱状
の放熱部材24で囲むと共に、回路部品14の下表面を
この放熱部材24の上内面に半田付けし、さらにこの放
熱部材24の下表面を前記熱伝導性部材21に半田付け
している。この例では、回路部品14で発生した熱が放
熱部材24に伝達され、一部の熱がこの放熱部材24か
ら大気中に放熱されると共に、他の一部の熱が熱伝導部
材24を介して親回路基板19に伝達される。このた
め、より高い放熱効果が得られる。
11に搭載した回路部品14を熱伝導性良好な金属箱状
の放熱部材24で囲むと共に、回路部品14の下表面を
この放熱部材24の上内面に半田付けし、さらにこの放
熱部材24の下表面を前記熱伝導性部材21に半田付け
している。この例では、回路部品14で発生した熱が放
熱部材24に伝達され、一部の熱がこの放熱部材24か
ら大気中に放熱されると共に、他の一部の熱が熱伝導部
材24を介して親回路基板19に伝達される。このた
め、より高い放熱効果が得られる。
【0018】図5の例は、前述の図2の例において、厚
みの異なる2つの回路部品14、14を実装した例であ
る。この例では、凹部12の各々回路の回路部品14、
14を実装する部分の深さを変えることで、何れの回路
部品14、14もその下表面が回路基板11の下主面と
ほぼ面一となるように実装している。これら回路基板1
4、14の下表面が親回路基板19上の熱伝導性部材2
1の表面に半田付けされることは、前記図2の例と同じ
である。
みの異なる2つの回路部品14、14を実装した例であ
る。この例では、凹部12の各々回路の回路部品14、
14を実装する部分の深さを変えることで、何れの回路
部品14、14もその下表面が回路基板11の下主面と
ほぼ面一となるように実装している。これら回路基板1
4、14の下表面が親回路基板19上の熱伝導性部材2
1の表面に半田付けされることは、前記図2の例と同じ
である。
【0019】図6の例は、前述の図4の例において、厚
みの異なる2つの回路部品14、14を実装した例であ
る。この例では、放熱部材24の各々回路の回路部品1
4、14を実装する部分の肉厚を変え、その上内面の高
さを変えることで、何れの回路部品14、14もその下
表面が放熱部材24の上内面にほぼ当接した状態で半田
付けされている。放熱部材24の下表面が親回路基板1
9上の熱伝導性部材21の表面に半田付けされること
は、前記図4の例と同じである。
みの異なる2つの回路部品14、14を実装した例であ
る。この例では、放熱部材24の各々回路の回路部品1
4、14を実装する部分の肉厚を変え、その上内面の高
さを変えることで、何れの回路部品14、14もその下
表面が放熱部材24の上内面にほぼ当接した状態で半田
付けされている。放熱部材24の下表面が親回路基板1
9上の熱伝導性部材21の表面に半田付けされること
は、前記図4の例と同じである。
【0020】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によるハイブ
リッドモジュールは、回路部品14で発生した熱を放熱
フィンを介して大気中に放熱するものではないので、放
熱フィンが不要となり、容積を小さくすることができ
る。しかも、高価な窒化アルミニウム系セラミック基板
を使用することなく、回路部品14で発生した熱を親回
路基板19に直接伝達して放熱するため、安価なアルミ
ナ系やガラス・エポキシ樹脂系等の基板を使用すること
ができ、原価の低減も可能となる。
リッドモジュールは、回路部品14で発生した熱を放熱
フィンを介して大気中に放熱するものではないので、放
熱フィンが不要となり、容積を小さくすることができ
る。しかも、高価な窒化アルミニウム系セラミック基板
を使用することなく、回路部品14で発生した熱を親回
路基板19に直接伝達して放熱するため、安価なアルミ
ナ系やガラス・エポキシ樹脂系等の基板を使用すること
ができ、原価の低減も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるハイブリッドモジュールの例を示
す縦断側面図である。
す縦断側面図である。
【図2】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図3】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図4】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図5】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図6】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図7】ハイブリッドモジュールの従来例を示す縦断側
面図である。
面図である。
11 回路基板 14 回路部品 17 回路部品 19 親回路基板 21 熱伝導部材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成9年6月30日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 ハイブリッドモジュール
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路パターンが形
成された回路基板に、積層コンデンサーや積層インダク
ター等のチップ部品や、半導体部品を搭載し、回路を構
成したハイブリッドモジュールであって、回路基板上に
電界効果形トランジスタやパワー半導体等の発熱性を有
する回路部品を搭載したハイブリッドモジュールに関す
る。
成された回路基板に、積層コンデンサーや積層インダク
ター等のチップ部品や、半導体部品を搭載し、回路を構
成したハイブリッドモジュールであって、回路基板上に
電界効果形トランジスタやパワー半導体等の発熱性を有
する回路部品を搭載したハイブリッドモジュールに関す
る。
【0002】
【従来の技術】回路基板上に電界効果形トランジスタや
パワー半導体等の発熱性を有する回路部品を搭載した従
来のハイブリッドモジュールでは、回路部品から放熱を
図るため、特殊な放熱手段を設けたものがある。例え
ば、特開平5−13627号公報に示されたハイブリッ
ドモジュールでは、回路基板に放熱フィンを設け、回路
基板上に搭載された発熱性を有する回路部品を、板バネ
状の熱伝導部材を介して前記放熱フィンと接続したもの
である。このハイブリッドモジュールでは、回路部品で
発生した熱が、放熱フィンを介して大気中に放出され
る。
パワー半導体等の発熱性を有する回路部品を搭載した従
来のハイブリッドモジュールでは、回路部品から放熱を
図るため、特殊な放熱手段を設けたものがある。例え
ば、特開平5−13627号公報に示されたハイブリッ
ドモジュールでは、回路基板に放熱フィンを設け、回路
基板上に搭載された発熱性を有する回路部品を、板バネ
状の熱伝導部材を介して前記放熱フィンと接続したもの
である。このハイブリッドモジュールでは、回路部品で
発生した熱が、放熱フィンを介して大気中に放出され
る。
【0003】また、回路基板上に発熱性を有する回路部
品を搭載したハイブリッドモジュールの他の従来例とし
て、図7に示すようなものもある。このハイブリッドモ
ジュールでは、回路基板1として窒化アルミニウム系の
セラミックが使用され、この回路基板1上のランド電極
6、6上にチップ状回路部品7、7が実装されると共
に、ランド電極4上に半田バンプ5を介して発熱性を有
する半導体素子等の回路部品3が搭載されている。そし
て、回路基板1は親回路基板9上に搭載されると共に、
回路基板1の端子電極8、8が、親回路基板9上に形成
されたランド電極10、10に半田で接続されている。
さらに、回路基板1と親回路基板9との対向した面は、
親回路基板9の上に形成された熱伝導性の良好な導体膜
2を介して接合されている。
品を搭載したハイブリッドモジュールの他の従来例とし
て、図7に示すようなものもある。このハイブリッドモ
ジュールでは、回路基板1として窒化アルミニウム系の
セラミックが使用され、この回路基板1上のランド電極
6、6上にチップ状回路部品7、7が実装されると共
に、ランド電極4上に半田バンプ5を介して発熱性を有
する半導体素子等の回路部品3が搭載されている。そし
て、回路基板1は親回路基板9上に搭載されると共に、
回路基板1の端子電極8、8が、親回路基板9上に形成
されたランド電極10、10に半田で接続されている。
さらに、回路基板1と親回路基板9との対向した面は、
親回路基板9の上に形成された熱伝導性の良好な導体膜
2を介して接合されている。
【0004】窒化アルミニウム系セラミックは、熱伝導
性が良い絶縁材料として注目されている。前記のハイブ
リッドモジュールでは、回路基板1上に搭載された回路
部品3から発生する熱が、窒化アルミニウム系セラミッ
クからなる熱伝導性良好な回路基板1と導体膜2を介し
て親回路基板9へと伝導され、放熱される。
性が良い絶縁材料として注目されている。前記のハイブ
リッドモジュールでは、回路基板1上に搭載された回路
部品3から発生する熱が、窒化アルミニウム系セラミッ
クからなる熱伝導性良好な回路基板1と導体膜2を介し
て親回路基板9へと伝導され、放熱される。
【0005】
【発明が解決しようとしている課題】前者のハイブリッ
ドモジュールは、放熱フィンを介して回路部品で発生し
た熱を大気中に放出するものであり、放熱効率を高める
ためには、必然的に放熱フィンの表面積が出来るだけ広
いことが必要となる。このため、ハイブリッドモジュー
ルにおいて放熱フィンの占める容積が大きくなり、小形
化がしにくいという課題がある。
ドモジュールは、放熱フィンを介して回路部品で発生し
た熱を大気中に放出するものであり、放熱効率を高める
ためには、必然的に放熱フィンの表面積が出来るだけ広
いことが必要となる。このため、ハイブリッドモジュー
ルにおいて放熱フィンの占める容積が大きくなり、小形
化がしにくいという課題がある。
【0006】他方、前者のハイブリッドモジュールで
は、電子部品4で発生した熱が回路基板1を介して親回
路基板9へと放熱されるため、放熱フィンは不要であ
り、回路基板1が放熱手段を兼ねるため、容積の増大は
ない。しかし、窒化アルミニウム系セラミックは、熱伝
導性がよいものの、現在ではアルミナ等の一般的な基板
材料に比べてきわめて高価であるため、材料のコスト高
を招くという課題ある。
は、電子部品4で発生した熱が回路基板1を介して親回
路基板9へと放熱されるため、放熱フィンは不要であ
り、回路基板1が放熱手段を兼ねるため、容積の増大は
ない。しかし、窒化アルミニウム系セラミックは、熱伝
導性がよいものの、現在ではアルミナ等の一般的な基板
材料に比べてきわめて高価であるため、材料のコスト高
を招くという課題ある。
【0007】本発明は、このような従来のハイブリッド
モジュールにおける課題に鑑み、回路部品14で発生し
た熱を放熱フィンを介して大気中に放熱するのではな
く、回路部品14で発生した熱を親回路基板19に伝導
して放熱する方式のハイブリッドモジュールにおいて、
高価な窒化アルミニウム系セラミック基板を使用するこ
となく、回路部品14から回路基板19への放熱を可能
とするものである。
モジュールにおける課題に鑑み、回路部品14で発生し
た熱を放熱フィンを介して大気中に放熱するのではな
く、回路部品14で発生した熱を親回路基板19に伝導
して放熱する方式のハイブリッドモジュールにおいて、
高価な窒化アルミニウム系セラミック基板を使用するこ
となく、回路部品14から回路基板19への放熱を可能
とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明では、このような
目的を達成するため、発熱性を有する回路部品14を、
回路基板11の親回路基板19と対向する面側に実装
し、回路部品14で発生する熱を親回路基板19に直接
または膜状の熱伝導性部材21を介して伝導するように
した。これにより、小さい容積のハイブリッドモジュー
ルが得られると共に、熱伝導性が良好な窒化アルミニウ
ム系セラミックの基板を使用することなく、一般的なア
ルミナ系等のセラミックからなる回路基板が使用出来る
ようにした。
目的を達成するため、発熱性を有する回路部品14を、
回路基板11の親回路基板19と対向する面側に実装
し、回路部品14で発生する熱を親回路基板19に直接
または膜状の熱伝導性部材21を介して伝導するように
した。これにより、小さい容積のハイブリッドモジュー
ルが得られると共に、熱伝導性が良好な窒化アルミニウ
ム系セラミックの基板を使用することなく、一般的なア
ルミナ系等のセラミックからなる回路基板が使用出来る
ようにした。
【0009】すなわち、本発明によるハイブリッドモジ
ュールは、回路基板11と、回路基板11上に実装され
た発熱性を有する回路部品14と、前記回路基板11が
実装された親回路基板19とを有し、発熱性を有する回
路部品14を回路基板11の親回路基板19と対向する
側に搭載すると共に、回路部品14から親回路基板19
に熱伝導されることを特徴とする。
ュールは、回路基板11と、回路基板11上に実装され
た発熱性を有する回路部品14と、前記回路基板11が
実装された親回路基板19とを有し、発熱性を有する回
路部品14を回路基板11の親回路基板19と対向する
側に搭載すると共に、回路部品14から親回路基板19
に熱伝導されることを特徴とする。
【0010】例えば、回路部品14が回路基板11の親
回路基板19と対向する主面に設けた凹部12内に実装
されている。そして、親回路基板19上に膜状の熱伝導
性部材21が形成され、この熱伝導部材21に回路部品
14の外装体の表面が固着されている。これによって、
熱伝導性部材21を介して回路部品14で発生した熱が
親回路基板19に熱伝導される。
回路基板19と対向する主面に設けた凹部12内に実装
されている。そして、親回路基板19上に膜状の熱伝導
性部材21が形成され、この熱伝導部材21に回路部品
14の外装体の表面が固着されている。これによって、
熱伝導性部材21を介して回路部品14で発生した熱が
親回路基板19に熱伝導される。
【0011】このようなハイブリッドモジュールでは、
回路部品14で発生した熱が、直接或は膜状の熱伝導部
材21を介して親回路基板19に伝導され、放熱される
ので、回路基板11は特に熱伝導が良好な窒化アルミニ
ウムである必要はなく、一般的なアルミナ系のものであ
ってもよい。また、回路部品14で発生した熱を大気中
に放熱する方式ではなく、親回路基板19に伝導して放
熱する方式のハイブリッドモジュールであるため、放熱
フィン等も不要である。
回路部品14で発生した熱が、直接或は膜状の熱伝導部
材21を介して親回路基板19に伝導され、放熱される
ので、回路基板11は特に熱伝導が良好な窒化アルミニ
ウムである必要はなく、一般的なアルミナ系のものであ
ってもよい。また、回路部品14で発生した熱を大気中
に放熱する方式ではなく、親回路基板19に伝導して放
熱する方式のハイブリッドモジュールであるため、放熱
フィン等も不要である。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
1に示すように、アルミナ、ガラス・エポキシ樹脂等の
絶縁材からなる基板に回路パターン(図示せず)を形成
した回路基板11を用意し、この主面に凹部12を形成
する。この凹部12は、例えばレーザー加工により形成
され、その中に実装される回路部品14の形状に合わせ
て、その縦横厚み寸法よりやや大きく形成される。さら
に、この凹部12の底面には、前記回路部品14の端子
電極を接続するランド電極13が形成される。図示して
いないが、回路基板11は、例えば多層構造になってお
り、その内部に回路パターンが形成され、前記ランド電
極13は、この回路パターンに接続されている。
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
1に示すように、アルミナ、ガラス・エポキシ樹脂等の
絶縁材からなる基板に回路パターン(図示せず)を形成
した回路基板11を用意し、この主面に凹部12を形成
する。この凹部12は、例えばレーザー加工により形成
され、その中に実装される回路部品14の形状に合わせ
て、その縦横厚み寸法よりやや大きく形成される。さら
に、この凹部12の底面には、前記回路部品14の端子
電極を接続するランド電極13が形成される。図示して
いないが、回路基板11は、例えば多層構造になってお
り、その内部に回路パターンが形成され、前記ランド電
極13は、この回路パターンに接続されている。
【0013】さらに、この回路基板11の凹部12の中
に発熱性を有する半導体素子等の回路部品14を収納す
ると共に、回路部品14の端子電極を前記ランド電極1
3に接続する。例えば、回路部品14として発熱性を有
する半導体素子を凹部12に収納し、回路部品14の半
田バンプ15をランド電極13に半田付けする。この状
態で、回路部品14の表面は、回路基板11の主面とほ
ぼ同じ面となる。その後、凹部12内に封止用の樹脂2
2を封入し、凹部12の開口部から外側に向いた回路基
板14の一表面を除いて樹脂封止する。
に発熱性を有する半導体素子等の回路部品14を収納す
ると共に、回路部品14の端子電極を前記ランド電極1
3に接続する。例えば、回路部品14として発熱性を有
する半導体素子を凹部12に収納し、回路部品14の半
田バンプ15をランド電極13に半田付けする。この状
態で、回路部品14の表面は、回路基板11の主面とほ
ぼ同じ面となる。その後、凹部12内に封止用の樹脂2
2を封入し、凹部12の開口部から外側に向いた回路基
板14の一表面を除いて樹脂封止する。
【0014】次に、この回路基板11の回路部品14が
搭載された凹部12側を下側に向け、上側になった主面
にチップ部品等の回路部品17、17を搭載し、それら
の端子電極をランド電極16、16に半田付けする。さ
らに、この回路基板11を親回路基板19上に搭載し、
回路基板11の側面に設けた端子電極18、18を親回
路基板19上のランド電極20、20に半田付けする。
この親回路基板19の前記回路部品14と対応する位置
には、前記ランド電極20、20と共に、熱伝導性部材
21として導体膜が予め形成されており、前記回路基板
11の端子電極18、18がランド電極20、20に半
田付けされるのと同時に、この熱伝導性部材21に前記
回路部品14の表面が半田付けされる。
搭載された凹部12側を下側に向け、上側になった主面
にチップ部品等の回路部品17、17を搭載し、それら
の端子電極をランド電極16、16に半田付けする。さ
らに、この回路基板11を親回路基板19上に搭載し、
回路基板11の側面に設けた端子電極18、18を親回
路基板19上のランド電極20、20に半田付けする。
この親回路基板19の前記回路部品14と対応する位置
には、前記ランド電極20、20と共に、熱伝導性部材
21として導体膜が予め形成されており、前記回路基板
11の端子電極18、18がランド電極20、20に半
田付けされるのと同時に、この熱伝導性部材21に前記
回路部品14の表面が半田付けされる。
【0015】これにより、図1に示すようなハイブリッ
ドモジュールが完成する。このハイブリッドモジュール
では、発熱性を有する半導体素子等の回路部品14から
生じる熱が熱伝導性部材21を介して親回路基板19に
伝導され、放熱される。図1の例では、回路部品14の
表面に熱伝導性部材21が直接半田付けされているが、
図2の例では、回路部品14の表面に熱伝導性の良好な
銅等の金属板23が予め半田付けされ、この金属板23
が熱伝導性部材21に半田付けされている。これによ
り、回路部品14の高さと凹部12の深さの違いが調整
されると共に、回路部品14から親回路基板19に円滑
に熱が伝導される。
ドモジュールが完成する。このハイブリッドモジュール
では、発熱性を有する半導体素子等の回路部品14から
生じる熱が熱伝導性部材21を介して親回路基板19に
伝導され、放熱される。図1の例では、回路部品14の
表面に熱伝導性部材21が直接半田付けされているが、
図2の例では、回路部品14の表面に熱伝導性の良好な
銅等の金属板23が予め半田付けされ、この金属板23
が熱伝導性部材21に半田付けされている。これによ
り、回路部品14の高さと凹部12の深さの違いが調整
されると共に、回路部品14から親回路基板19に円滑
に熱が伝導される。
【0016】図3の例は、回路基板11に凹部12を設
けず、その下面に発熱性を有する回路部品14を搭載し
たものである。この回路部品14に対応して、親回路基
板19上に導体膜からなる熱伝導性部材21が形成され
ている。回路基板11の側面にリード端子24、24が
取り付けられ、このリード端子24、24が親回路基板
19上のランド電極20、20に半田付けされたとき、
回路部品14の下表面が前記熱伝導性部材21の表面に
ほぼ当接する。そして、リード端子24、24が前記ラ
ンド電極20、20に半田付けされると同時に、回路部
品14の表面が熱伝導性部材21に半田付けされる。
けず、その下面に発熱性を有する回路部品14を搭載し
たものである。この回路部品14に対応して、親回路基
板19上に導体膜からなる熱伝導性部材21が形成され
ている。回路基板11の側面にリード端子24、24が
取り付けられ、このリード端子24、24が親回路基板
19上のランド電極20、20に半田付けされたとき、
回路部品14の下表面が前記熱伝導性部材21の表面に
ほぼ当接する。そして、リード端子24、24が前記ラ
ンド電極20、20に半田付けされると同時に、回路部
品14の表面が熱伝導性部材21に半田付けされる。
【0017】図4の例は、図3の例において、回路基板
11に搭載した回路部品14を熱伝導性良好な金属箱状
の放熱部材26で囲むと共に、回路部品14の下表面を
この放熱部材26の上内面に半田付けし、さらにこの放
熱部材26の下表面を前記熱伝導性部材21に半田付け
している。この例では、回路部品14で発生した熱が放
熱部材26に伝導され、一部の熱がこの放熱部材26か
ら大気中に放熱されると共に、他の一部の熱が放熱部材
26を介して親回路基板19に伝導される。このため、
より高い放熱効果が得られる。
11に搭載した回路部品14を熱伝導性良好な金属箱状
の放熱部材26で囲むと共に、回路部品14の下表面を
この放熱部材26の上内面に半田付けし、さらにこの放
熱部材26の下表面を前記熱伝導性部材21に半田付け
している。この例では、回路部品14で発生した熱が放
熱部材26に伝導され、一部の熱がこの放熱部材26か
ら大気中に放熱されると共に、他の一部の熱が放熱部材
26を介して親回路基板19に伝導される。このため、
より高い放熱効果が得られる。
【0018】図5の例は、前述の図2の例において、厚
みの異なる2つの回路部品14、14を実装した例であ
る。この例では、凹部12の各々回路の回路部品14、
14を実装する部分の深さを変えることで、何れの回路
部品14、14もその下表面が回路基板11の下主面と
ほぼ面一となるように実装している。これら回路基板1
4、14の下表面が親回路基板19上の熱伝導性部材2
1の表面に半田付けされることは、前記図2の例と同じ
である。
みの異なる2つの回路部品14、14を実装した例であ
る。この例では、凹部12の各々回路の回路部品14、
14を実装する部分の深さを変えることで、何れの回路
部品14、14もその下表面が回路基板11の下主面と
ほぼ面一となるように実装している。これら回路基板1
4、14の下表面が親回路基板19上の熱伝導性部材2
1の表面に半田付けされることは、前記図2の例と同じ
である。
【0019】図6の例は、前述の図4の例において、厚
みの異なる2つの回路部品14、14を実装した例であ
る。この例では、放熱部材26の各々回路の回路部品1
4、14を実装する部分の肉厚を変え、その上内面の高
さを変えることで、何れの回路部品14、14もその下
表面が放熱部材26の上内面にほぼ当接した状態で半田
付けされている。放熱部材26の下表面が親回路基板1
9上の熱伝導性部材21の表面に半田付けされること
は、前記図4の例と同じである。
みの異なる2つの回路部品14、14を実装した例であ
る。この例では、放熱部材26の各々回路の回路部品1
4、14を実装する部分の肉厚を変え、その上内面の高
さを変えることで、何れの回路部品14、14もその下
表面が放熱部材26の上内面にほぼ当接した状態で半田
付けされている。放熱部材26の下表面が親回路基板1
9上の熱伝導性部材21の表面に半田付けされること
は、前記図4の例と同じである。
【0020】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によるハイブ
リッドモジュールは、回路部品14で発生した熱を放熱
フィンを介して大気中に放熱するものではないので、放
熱フィンが不要となり、容積を小さくすることができ
る。しかも、高価な窒化アルミニウム系セラミック基板
を使用することなく、回路部品14で発生した熱を親回
路基板19に直接伝導して放熱するため、安価なアルミ
ナ系やガラス・エポキシ樹脂系等の基板を使用すること
ができ、原価の低減も可能となる。
リッドモジュールは、回路部品14で発生した熱を放熱
フィンを介して大気中に放熱するものではないので、放
熱フィンが不要となり、容積を小さくすることができ
る。しかも、高価な窒化アルミニウム系セラミック基板
を使用することなく、回路部品14で発生した熱を親回
路基板19に直接伝導して放熱するため、安価なアルミ
ナ系やガラス・エポキシ樹脂系等の基板を使用すること
ができ、原価の低減も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるハイブリッドモジュールの例を示
す縦断側面図である。
す縦断側面図である。
【図2】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図3】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図4】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図5】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図6】本発明によるハイブリッドモジュールの他の例
を示す縦断側面図である。
を示す縦断側面図である。
【図7】ハイブリッドモジュールの従来例を示す縦断側
面図である。
面図である。
【符号の説明】 11 回路基板 14 回路部品 17 回路部品 19 親回路基板 21 熱伝導部材
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】
【手続補正3】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】変更
【補正内容】
【図6】
Claims (4)
- 【請求項1】 回路基板(11)と、回路基板(11)
上に実装された発熱性を有する回路部品(14)と、前
記回路基板(11)が実装された親回路基板(19)と
を有するハイブリッドモジュールにおいて、発熱性を有
する回路部品(14)を回路基板(11)の親回路基板
(19)と対向する側に搭載すると共に、この回路部品
(14)から親回路基板(19)に熱伝達されることを
特徴とするハイブリッドモジュール。 - 【請求項2】 回路部品(14)が膜状の熱伝導性部材
(21)を介して親回路基板(19)に接合されている
ことを特徴とする請求項1に記載のハイブリッドモジュ
ール。 - 【請求項3】 熱伝導部材(21)が親回路基板(1
9)上に形成された導体膜からなり、この熱伝導部材
(21)に回路部品(14)の外装体の表面が固着され
ていることを特徴とする請求項2に記載のハイブリッド
モジュール。 - 【請求項4】 回路部品(14)が回路基板(11)の
親回路基板(19)と対向する主面に設けた凹部(1
2)内に実装されていることを特徴とする請求項1〜3
の何れかに記載のハイブリッドモジュール。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8219272A JPH1050926A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ハイブリッドモジュール |
DE69739136T DE69739136D1 (de) | 1996-07-31 | 1997-07-16 | Hybrid-Modul |
EP97112139A EP0822595B1 (en) | 1996-07-31 | 1997-07-16 | Hybrid module |
US09/282,055 US6125039A (en) | 1996-07-31 | 1999-03-29 | Hybrid module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8219272A JPH1050926A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ハイブリッドモジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1050926A true JPH1050926A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16732932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8219272A Pending JPH1050926A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ハイブリッドモジュール |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0822595B1 (ja) |
JP (1) | JPH1050926A (ja) |
DE (1) | DE69739136D1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002141433A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Kyocera Corp | 半導体装置 |
KR100618759B1 (ko) * | 1998-10-26 | 2006-08-31 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 하이브리드 모듈 |
US9293446B2 (en) | 2012-07-26 | 2016-03-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Low profile semiconductor module with metal film support |
WO2022172673A1 (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-18 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置および電子機器 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100563122B1 (ko) * | 1998-01-30 | 2006-03-21 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 하이브리드 모듈 및 그 제조방법 및 그 설치방법 |
WO2000004595A2 (en) * | 1998-07-20 | 2000-01-27 | Intel Corporation | Land-side mounting of components to an integrated circuit package |
TW484344B (en) * | 1998-10-26 | 2002-04-21 | Taiyo Yuden Kk | Hybrid module |
WO2003007374A1 (fr) * | 2001-07-12 | 2003-01-23 | Hitachi, Ltd. | Module hybride |
CN108811320A (zh) * | 2017-05-05 | 2018-11-13 | 乾坤科技股份有限公司 | 电子模块与电路板 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4031733A1 (de) * | 1990-10-06 | 1992-04-09 | Bosch Gmbh Robert | Mehrlagenhybride mit leistungsbauelementen |
JPH04359587A (ja) * | 1991-06-06 | 1992-12-11 | Taiyo Yuden Co Ltd | 混成集積回路モジュール及び製造方法 |
DE4222474A1 (de) * | 1992-07-09 | 1994-01-13 | Bosch Gmbh Robert | Montageeinheit für Mehrlagenhybrid mit Leistungsbauelementen |
US5307240A (en) * | 1992-12-02 | 1994-04-26 | Intel Corporation | Chiplid, multichip semiconductor package design concept |
-
1996
- 1996-07-31 JP JP8219272A patent/JPH1050926A/ja active Pending
-
1997
- 1997-07-16 DE DE69739136T patent/DE69739136D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-07-16 EP EP97112139A patent/EP0822595B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100618759B1 (ko) * | 1998-10-26 | 2006-08-31 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 하이브리드 모듈 |
JP2002141433A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Kyocera Corp | 半導体装置 |
JP4544724B2 (ja) * | 2000-10-30 | 2010-09-15 | 京セラ株式会社 | 半導体装置 |
US9293446B2 (en) | 2012-07-26 | 2016-03-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Low profile semiconductor module with metal film support |
WO2022172673A1 (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-18 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置および電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69739136D1 (de) | 2009-01-15 |
EP0822595A3 (en) | 1999-03-03 |
EP0822595B1 (en) | 2008-12-03 |
EP0822595A2 (en) | 1998-02-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000815 |