JPH1049585A - 製品の品質管理方法 - Google Patents
製品の品質管理方法Info
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- JPH1049585A JPH1049585A JP20676096A JP20676096A JPH1049585A JP H1049585 A JPH1049585 A JP H1049585A JP 20676096 A JP20676096 A JP 20676096A JP 20676096 A JP20676096 A JP 20676096A JP H1049585 A JPH1049585 A JP H1049585A
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Classifications
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造装置の特性データをロット情報と同じよ
うに取り扱えることにより、精度良くかつ短時間で不良
発生原因等のデータ解析を行えるようにする。 【解決手段】 製造装置を用いた処理によりロット単位
で製造される製品の品質を管理する方法であって、製品
のロット単位での特性を表すロット情報（ＰＱＣデー
タ、検査データ）と、製造装置で処理された日時の情報
を表すロット履歴とをロット毎に集めるとともに、製造
装置の特性を測定することにより、この測定結果と測定
日時とを製造装置の特性データ（ＥＱＣデータ）として
求め、ロット履歴を基にロットが製造装置で処理された
日時順にＰＱＣデータ、検査データを並べるとともに、
ＥＱＣデータをこのデータの測定日時順に並べて、ＰＱ
Ｃデータ、検査データとＥＱＣデータとを日時で関連付
け、関連付けられたＰＱＣデータ、検査データ、ＥＱＣ
データとを比較することにより製品の品質を管理する。
うに取り扱えることにより、精度良くかつ短時間で不良
発生原因等のデータ解析を行えるようにする。 【解決手段】 製造装置を用いた処理によりロット単位
で製造される製品の品質を管理する方法であって、製品
のロット単位での特性を表すロット情報（ＰＱＣデー
タ、検査データ）と、製造装置で処理された日時の情報
を表すロット履歴とをロット毎に集めるとともに、製造
装置の特性を測定することにより、この測定結果と測定
日時とを製造装置の特性データ（ＥＱＣデータ）として
求め、ロット履歴を基にロットが製造装置で処理された
日時順にＰＱＣデータ、検査データを並べるとともに、
ＥＱＣデータをこのデータの測定日時順に並べて、ＰＱ
Ｃデータ、検査データとＥＱＣデータとを日時で関連付
け、関連付けられたＰＱＣデータ、検査データ、ＥＱＣ
データとを比較することにより製品の品質を管理する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロット単位で製造
される製品の品質管理方法に関し、特に液晶表示装置の
品質管理に好適な製品の品質管理方法に関するものであ
る。
される製品の品質管理方法に関し、特に液晶表示装置の
品質管理に好適な製品の品質管理方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ロット単位で製造が行われる製品
としては、例えば液晶表示装置が知られている。この液
晶製造装置の製造ラインでは、製造される製品の品質を
管理するために、例えば製造中にロット単位の特性が測
定され、また製造された製品の検査が行われる。そし
て、検査結果から得られた検査データ、ロット単位の特
性の測定結果から得られたロット特性データ（以下、こ
れをＰＱＣ（Process Quality Contorol）データと記
す) 等を用いて製品の管理を行っている。なお、本明細
書中では、歩留りのデータもＰＱＣデータの一つとす
る。
としては、例えば液晶表示装置が知られている。この液
晶製造装置の製造ラインでは、製造される製品の品質を
管理するために、例えば製造中にロット単位の特性が測
定され、また製造された製品の検査が行われる。そし
て、検査結果から得られた検査データ、ロット単位の特
性の測定結果から得られたロット特性データ（以下、こ
れをＰＱＣ（Process Quality Contorol）データと記
す) 等を用いて製品の管理を行っている。なお、本明細
書中では、歩留りのデータもＰＱＣデータの一つとす
る。
【０００３】また、上記製造ラインでは、製造に用いる
製造装置を管理するため、製造装置毎に製造装置の特性
が測定される。この測定はロットの流れに対して不定期
に、例えば１日に１〜２回の頻度で行われる。よって、
得られる測定データ（以下、これをＥＱＣ（Equipment
Quality Contorol) データと記す）は、ロット番号の情
報を持たないため、ロット番号の情報を持つＰＱＣデー
タや検査データ、歩留り等とは別々にデータ処理され
る。すなわち、主にＥＱＣデータの推移を追って、その
データが管理値内に納まるように製造装置の管理を行っ
ている。
製造装置を管理するため、製造装置毎に製造装置の特性
が測定される。この測定はロットの流れに対して不定期
に、例えば１日に１〜２回の頻度で行われる。よって、
得られる測定データ（以下、これをＥＱＣ（Equipment
Quality Contorol) データと記す）は、ロット番号の情
報を持たないため、ロット番号の情報を持つＰＱＣデー
タや検査データ、歩留り等とは別々にデータ処理され
る。すなわち、主にＥＱＣデータの推移を追って、その
データが管理値内に納まるように製造装置の管理を行っ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来では、前述したよ
うにＥＱＣデータがロット番号の情報を持たず、主にそ
のデータが管理値内に納まっているか否かでデータを処
理するだけであるため、ＥＱＣデータに大きな変化がな
い限り変化点を見落としがちであるといった難点があ
る。また、ＥＱＣデータがロット番号の情報を持つＰＱ
Ｃデータや検査データ、歩留り等と関連付けられない
（紐付けられない）ため、ＥＱＣデータの変化が製品の
特性にどのような影響を与えるかが不明となっている。
その結果、例えば、ＥＱＣデータの変化が原因で異常ロ
ットが発生し、不良のＰＱＣデータや検査データ等が得
られた場合でも、勘である程度の当たりを付けて手作業
でＥＱＣデータやＰＱＣデータ、検査データのグラフ等
を作成し、原因を究明していく以外に方法がなく、原因
究明に非常に手間取るといった不都合が起きている。
うにＥＱＣデータがロット番号の情報を持たず、主にそ
のデータが管理値内に納まっているか否かでデータを処
理するだけであるため、ＥＱＣデータに大きな変化がな
い限り変化点を見落としがちであるといった難点があ
る。また、ＥＱＣデータがロット番号の情報を持つＰＱ
Ｃデータや検査データ、歩留り等と関連付けられない
（紐付けられない）ため、ＥＱＣデータの変化が製品の
特性にどのような影響を与えるかが不明となっている。
その結果、例えば、ＥＱＣデータの変化が原因で異常ロ
ットが発生し、不良のＰＱＣデータや検査データ等が得
られた場合でも、勘である程度の当たりを付けて手作業
でＥＱＣデータやＰＱＣデータ、検査データのグラフ等
を作成し、原因を究明していく以外に方法がなく、原因
究明に非常に手間取るといった不都合が起きている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、製造装置を用いた処理によりロット単位で
製造される製品の品質を管理する方法であって、製品の
ロット単位での特性を表すロット情報と、製造装置で処
理された日時の情報を表すロット履歴とをロット毎に集
めるとともに、上記製造装置の特性を測定することによ
り、この測定結果と測定日時とを製造装置の特性データ
として求め、ロット履歴を基にロットが製造装置で処理
された日時順にロット情報を並べるとともに、製造装置
の特性データをこの特性データの測定日時順に並べて、
ロット情報と製造装置の特性データとを日時で関連付
け、関連付けられたロット情報と製造装置の特性データ
とを比較することにより製品の品質を管理することを特
徴とする。
の本発明は、製造装置を用いた処理によりロット単位で
製造される製品の品質を管理する方法であって、製品の
ロット単位での特性を表すロット情報と、製造装置で処
理された日時の情報を表すロット履歴とをロット毎に集
めるとともに、上記製造装置の特性を測定することによ
り、この測定結果と測定日時とを製造装置の特性データ
として求め、ロット履歴を基にロットが製造装置で処理
された日時順にロット情報を並べるとともに、製造装置
の特性データをこの特性データの測定日時順に並べて、
ロット情報と製造装置の特性データとを日時で関連付
け、関連付けられたロット情報と製造装置の特性データ
とを比較することにより製品の品質を管理することを特
徴とする。
【０００６】本発明では、ロット情報と製造装置の特性
データとを日時で関連付けるため、ロット番号の情報を
持たない製造装置の特性データと、ロット番号の情報を
持つロット情報とが一元化されて同じように取り扱える
ことになる。よって、製造装置の特性データとロット情
報との相関関係が明らかとなって、データの解析が精度
良くかつ容易に行える。
データとを日時で関連付けるため、ロット番号の情報を
持たない製造装置の特性データと、ロット番号の情報を
持つロット情報とが一元化されて同じように取り扱える
ことになる。よって、製造装置の特性データとロット情
報との相関関係が明らかとなって、データの解析が精度
良くかつ容易に行える。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る製品の品質管
理方法の実施形態を図面に基づいて説明する。ここで
は、制御部、記憶部、表示部、入力部を備えた情報処理
装置を用いて製品の品質管理を行う場合について述べ
る。図１は一実施形態を説明するための工程図である。
品質管理される製品は、製造装置を用いた処理によって
ロット毎に製造されるものである。この製品の品質管理
を行うにあたっては、まず図１のステップ（以下、ＳＴ
と記す）１に示すように、製品のロット単位での特性を
表すロット情報と、製造装置で処理された日時の情報を
表すロット履歴とをロット毎に集める。
理方法の実施形態を図面に基づいて説明する。ここで
は、制御部、記憶部、表示部、入力部を備えた情報処理
装置を用いて製品の品質管理を行う場合について述べ
る。図１は一実施形態を説明するための工程図である。
品質管理される製品は、製造装置を用いた処理によって
ロット毎に製造されるものである。この製品の品質管理
を行うにあたっては、まず図１のステップ（以下、ＳＴ
と記す）１に示すように、製品のロット単位での特性を
表すロット情報と、製造装置で処理された日時の情報を
表すロット履歴とをロット毎に集める。
【０００８】上記ロット情報としては、図２に示すよう
な、例えば製品の製造中に測定されるロット特性を表す
ロット特性データ（以下、ＰＱＣデータと記す）と、検
査装置を用いた製品の検査よって得られる検査データ等
が挙げられる。ここでは、ロット情報としてＰＱＣデー
タと検査データとを用い、ロット毎にＰＱＣデータと検
査データとを集める。
な、例えば製品の製造中に測定されるロット特性を表す
ロット特性データ（以下、ＰＱＣデータと記す）と、検
査装置を用いた製品の検査よって得られる検査データ等
が挙げられる。ここでは、ロット情報としてＰＱＣデー
タと検査データとを用い、ロット毎にＰＱＣデータと検
査データとを集める。
【０００９】また製造装置の特性を測定することによ
り、この測定結果と測定日時とを製造装置の特性データ
（以下、ＥＱＣデータと記す）として求め、集める。な
お、この実施形態において、品質管理に用いる情報処理
装置は、上記の製造装置と、この製造装置の特性を測定
する装置と、ＰＱＣデータ、検査データを得る各種の装
置とそれぞれ接続されている。したがって、図２に示す
ように、ロット履歴、検査データ、ＰＱＣデータ、ＥＱ
Ｃデータは、発生する度に情報処理装置の記憶部１に格
納され、データベースとして集約される。
り、この測定結果と測定日時とを製造装置の特性データ
（以下、ＥＱＣデータと記す）として求め、集める。な
お、この実施形態において、品質管理に用いる情報処理
装置は、上記の製造装置と、この製造装置の特性を測定
する装置と、ＰＱＣデータ、検査データを得る各種の装
置とそれぞれ接続されている。したがって、図２に示す
ように、ロット履歴、検査データ、ＰＱＣデータ、ＥＱ
Ｃデータは、発生する度に情報処理装置の記憶部１に格
納され、データベースとして集約される。
【００１０】各データの発生の様子を図３に示す。例え
ば図３に示すように第１製造装置１１、第２製造装置１
２によってこの順にロットが処理された後、ロット特性
（ＰＱＣ）が測定され、検査装置１３によって製品検査
が行われて製品が製造される場合には、処理が行われる
度に、ロット番号、処理に用いられた製造装置名、処理
日時等の情報が発生し、これらがロット履歴として記憶
部１に記憶される。同様に、ＰＱＣ測定が行われる毎
に、ロット番号、測定日時等の情報を含むロット履歴
と、ロット番号の情報およびＰＱＣ測定結果からなるＰ
ＱＣデータとが発生して、これらのデータが記憶部１に
記憶される。また検査が行われる毎に、ロット番号、検
査装置名、測定日時等の情報を含むロット履歴と、検査
結果およびロット番号の情報からなる検査データとが発
生して、これらのデータが記憶部１に記憶される。
ば図３に示すように第１製造装置１１、第２製造装置１
２によってこの順にロットが処理された後、ロット特性
（ＰＱＣ）が測定され、検査装置１３によって製品検査
が行われて製品が製造される場合には、処理が行われる
度に、ロット番号、処理に用いられた製造装置名、処理
日時等の情報が発生し、これらがロット履歴として記憶
部１に記憶される。同様に、ＰＱＣ測定が行われる毎
に、ロット番号、測定日時等の情報を含むロット履歴
と、ロット番号の情報およびＰＱＣ測定結果からなるＰ
ＱＣデータとが発生して、これらのデータが記憶部１に
記憶される。また検査が行われる毎に、ロット番号、検
査装置名、測定日時等の情報を含むロット履歴と、検査
結果およびロット番号の情報からなる検査データとが発
生して、これらのデータが記憶部１に記憶される。
【００１１】また第１製造装置１１の特性が、例えば１
日１回測定される度に、得られた結果とこの測定に用い
た装置名と、測定日時との情報がＥＱＣデータとして発
生し、ＥＱＣデータが記憶部１に記憶される。同様に第
２製造装置１２の特性が、例えば１日２回測定される度
に、ＥＱＣデータが発生して記憶部１に記憶される。次
に、図１のＳＴ２に示すように、ロット履歴を基にロッ
トが製造装置で処理された日時順にロット情報のＰＱＣ
データと検査データとを並べる。またこれとともに、Ｅ
ＱＣデータをこのＥＱＣデータの測定日時順に並べる。
そしてＰＱＣデータおよび検査データとＥＱＣデータと
を日時で関連付ける（ＳＴ３）。またロット情報の例え
ばＰＱＣデータと検査データとをロット番号で関連付け
る。
日１回測定される度に、得られた結果とこの測定に用い
た装置名と、測定日時との情報がＥＱＣデータとして発
生し、ＥＱＣデータが記憶部１に記憶される。同様に第
２製造装置１２の特性が、例えば１日２回測定される度
に、ＥＱＣデータが発生して記憶部１に記憶される。次
に、図１のＳＴ２に示すように、ロット履歴を基にロッ
トが製造装置で処理された日時順にロット情報のＰＱＣ
データと検査データとを並べる。またこれとともに、Ｅ
ＱＣデータをこのＥＱＣデータの測定日時順に並べる。
そしてＰＱＣデータおよび検査データとＥＱＣデータと
を日時で関連付ける（ＳＴ３）。またロット情報の例え
ばＰＱＣデータと検査データとをロット番号で関連付け
る。
【００１２】ＥＱＣデータとロットとの時間的関係の一
例を図４に示す。例えば図３に示す第２製造装置１２か
ら得られた２回のＥＱＣデータのうち、１回目の測定結
果をDateE1、測定日時をTimeE1とし、２回目の測定結果
をDateE2、測定日時をTimeE2とする。また第２製造装置
１２でロット１を処理した日時をL1、ロット２を処理し
た日時をL2、以降L3、L4とする。ロットを第２製造装置
１２で処理された日時順に並べ、ＥＱＣデータを測定日
時順に並べることにより、例えば図４に示すような時間
的関係、すなわち、TimeE1以前に処理されたロットがロ
ット１、TimeE1とTimeE2との間に処理されたロットがロ
ット２、ロット３、TimeE2以降に処理されたロットがロ
ット４といった関係が明らかになる。
例を図４に示す。例えば図３に示す第２製造装置１２か
ら得られた２回のＥＱＣデータのうち、１回目の測定結
果をDateE1、測定日時をTimeE1とし、２回目の測定結果
をDateE2、測定日時をTimeE2とする。また第２製造装置
１２でロット１を処理した日時をL1、ロット２を処理し
た日時をL2、以降L3、L4とする。ロットを第２製造装置
１２で処理された日時順に並べ、ＥＱＣデータを測定日
時順に並べることにより、例えば図４に示すような時間
的関係、すなわち、TimeE1以前に処理されたロットがロ
ット１、TimeE1とTimeE2との間に処理されたロットがロ
ット２、ロット３、TimeE2以降に処理されたロットがロ
ット４といった関係が明らかになる。
【００１３】そして、例えばＥＱＣデータをこの測定が
行われた日時以前に処理されたロットに関連付け、ある
いはＥＱＣデータをこの測定が行われた日時以降に処理
されたロットに関連付ける。ＥＱＣデータをこの測定が
行われた日時以前のロットに関連付けた場合には、Date
E1がロット１に、DateE2がロット２、ロット３に関連付
けられる。またＥＱＣデータをこの測定が行われた日時
以降のロットに関連付けた場合には、DateE1がロット
２、ロット３に、DateE2がロット４に関連付けられる。
このような方法により、ＥＱＣデータと、ＰＱＣデー
タ、検査データとが関連付けされる。
行われた日時以前に処理されたロットに関連付け、ある
いはＥＱＣデータをこの測定が行われた日時以降に処理
されたロットに関連付ける。ＥＱＣデータをこの測定が
行われた日時以前のロットに関連付けた場合には、Date
E1がロット１に、DateE2がロット２、ロット３に関連付
けられる。またＥＱＣデータをこの測定が行われた日時
以降のロットに関連付けた場合には、DateE1がロット
２、ロット３に、DateE2がロット４に関連付けられる。
このような方法により、ＥＱＣデータと、ＰＱＣデー
タ、検査データとが関連付けされる。
【００１４】またこの関連付けは、例えばＰＱＣデー
タ、ＥＱＣデータ等を格納する記憶部１を備えた情報処
理装置によって自動的に、あるいは情報処理装置の入力
部からの入力によって設定され、データ処理されて情報
処理装置の表示部に、図２（ａ）、（ｂ）に示すごと
く、ＥＱＣデータとＰＱＣデータ等が関連付けられてグ
ラフ表示され、あるいは帳票表示される。また、これと
合わせて図２（ｃ）、（ｄ）に示すように、表示部にＥ
ＱＣデータやＰＱＣデータ等も個別に表示させることも
可能である。
タ、ＥＱＣデータ等を格納する記憶部１を備えた情報処
理装置によって自動的に、あるいは情報処理装置の入力
部からの入力によって設定され、データ処理されて情報
処理装置の表示部に、図２（ａ）、（ｂ）に示すごと
く、ＥＱＣデータとＰＱＣデータ等が関連付けられてグ
ラフ表示され、あるいは帳票表示される。また、これと
合わせて図２（ｃ）、（ｄ）に示すように、表示部にＥ
ＱＣデータやＰＱＣデータ等も個別に表示させることも
可能である。
【００１５】次いで、図１のＳＴ４に示すように、関連
付けられたＥＱＣデータ、ＰＱＣデータ、検査データ
を、例えば表示されたグラフを目視することにより比較
する。そして、比較結果に基づき、第１製造装置１１、
第２製造装置１２等を制御することによって、製品の品
質を管理する。
付けられたＥＱＣデータ、ＰＱＣデータ、検査データ
を、例えば表示されたグラフを目視することにより比較
する。そして、比較結果に基づき、第１製造装置１１、
第２製造装置１２等を制御することによって、製品の品
質を管理する。
【００１６】図５は、液晶表示装置からなる製品を製造
した場合において、上記方法によりＥＱＣデータ、ＰＱ
Ｃデータ、検査データを集めて関連付け、グラフ表示し
た結果を示したものである。ここでＥＱＣデータは、図
６に示すようにＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が形成され
た基板２に対してローラ３を回転させてラビング処理す
る、ラビング装置のラビングの押し込み量のデータであ
る。またＰＱＣデータは、ＴＦＴの歩留りのデータであ
り、検査データは製造された液晶表示装置の画像テスト
（ＤＴ）での輝点不良率のデータである。
した場合において、上記方法によりＥＱＣデータ、ＰＱ
Ｃデータ、検査データを集めて関連付け、グラフ表示し
た結果を示したものである。ここでＥＱＣデータは、図
６に示すようにＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が形成され
た基板２に対してローラ３を回転させてラビング処理す
る、ラビング装置のラビングの押し込み量のデータであ
る。またＰＱＣデータは、ＴＦＴの歩留りのデータであ
り、検査データは製造された液晶表示装置の画像テスト
（ＤＴ）での輝点不良率のデータである。
【００１７】一般に、ＤＴにて輝点不良が多発したロッ
トが得られた場合のその輝点の発生原因となる要因とし
て、ＴＦＴ不良、ゴミやキズ、ラビングの押し込み量が
あることが知られている。このうち、輝点の多発が例え
ばラビングの押し込み量に原因がある場合には、ＴＦＴ
の特性と輝点の発生とは関係がないために、図５に示す
ごとく、ＰＱＣデータと検査データとでは相関関係が得
られず、これらのデータから輝点の発生原因が究明でき
ない。またラビングの押し込み量が、仮に通常値が５０
０μｍであり、管理値が７００μｍである場合には、図
５に示すように輝点不良の多発が観察されたロットを処
理した際の押し込み量の値が６００μｍであると、輝点
の多発がラビングの押し込み量に起因していても、プロ
セス上の警告がでないことになる。
トが得られた場合のその輝点の発生原因となる要因とし
て、ＴＦＴ不良、ゴミやキズ、ラビングの押し込み量が
あることが知られている。このうち、輝点の多発が例え
ばラビングの押し込み量に原因がある場合には、ＴＦＴ
の特性と輝点の発生とは関係がないために、図５に示す
ごとく、ＰＱＣデータと検査データとでは相関関係が得
られず、これらのデータから輝点の発生原因が究明でき
ない。またラビングの押し込み量が、仮に通常値が５０
０μｍであり、管理値が７００μｍである場合には、図
５に示すように輝点不良の多発が観察されたロットを処
理した際の押し込み量の値が６００μｍであると、輝点
の多発がラビングの押し込み量に起因していても、プロ
セス上の警告がでないことになる。
【００１８】しかしながら、上記方法によりＥＱＣデー
タ、ＰＱＣデータ、検査データを集めて測定日時順、処
理された日時順に並べて日時で関連付け、比較すること
により、押し込み量と輝点不良率との相関関係を知見す
ることができ、不良の発生原因を解析できる。
タ、ＰＱＣデータ、検査データを集めて測定日時順、処
理された日時順に並べて日時で関連付け、比較すること
により、押し込み量と輝点不良率との相関関係を知見す
ることができ、不良の発生原因を解析できる。
【００１９】以上のように本実施形態では、ロット番号
の情報を持たないＥＱＣデータと、ロット番号の情報を
持つＰＱＣデータ、検査データからなるロット情報とを
日時で関連付けることにより、これらのデータを一元化
でき、ＥＱＣデータをロット情報と同じように取り扱う
ことができるので、これらのデータの相関関係が明らか
となってデータの解析を容易にかつ精度良く行うことが
できる。よって、手作業でそれぞれのデータを個別に処
理していた従来に比較して、精度良く製品の品質を管理
することができ、また製造装置に起因して異常ロットが
発生した際の、原因究明に要する時間を短縮することが
できる。さらに製造装置の特性変化によるロット異常を
予測することができるので、異常ロットの発生に至る前
に製造装置の特性をコントロールすることも可能であ
り、被害を最小限に抑えることができる。
の情報を持たないＥＱＣデータと、ロット番号の情報を
持つＰＱＣデータ、検査データからなるロット情報とを
日時で関連付けることにより、これらのデータを一元化
でき、ＥＱＣデータをロット情報と同じように取り扱う
ことができるので、これらのデータの相関関係が明らか
となってデータの解析を容易にかつ精度良く行うことが
できる。よって、手作業でそれぞれのデータを個別に処
理していた従来に比較して、精度良く製品の品質を管理
することができ、また製造装置に起因して異常ロットが
発生した際の、原因究明に要する時間を短縮することが
できる。さらに製造装置の特性変化によるロット異常を
予測することができるので、異常ロットの発生に至る前
に製造装置の特性をコントロールすることも可能であ
り、被害を最小限に抑えることができる。
【００２０】なお、本実施形態では、ロット情報として
ＰＱＣデータおよび検査データとＥＱＣデータとを関連
付けて比較した場合について述べたが、本発明はこれに
限定されるものでなく、ＰＱＣデータとＥＱＣデータと
を関連付け、あるいは検査データとＥＱＣデータとを関
連付けて品質管理を行ってもよい。また本実施形態で
は、製品が液晶表示装置である場合について述べたが、
本発明はこの他、ロット単位で製造される種々の製品の
品質管理に適用できるのはもちろんである。
ＰＱＣデータおよび検査データとＥＱＣデータとを関連
付けて比較した場合について述べたが、本発明はこれに
限定されるものでなく、ＰＱＣデータとＥＱＣデータと
を関連付け、あるいは検査データとＥＱＣデータとを関
連付けて品質管理を行ってもよい。また本実施形態で
は、製品が液晶表示装置である場合について述べたが、
本発明はこの他、ロット単位で製造される種々の製品の
品質管理に適用できるのはもちろんである。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る製品の
品質管理方法によれば、製造装置の特性データと、ロッ
ト情報とを日時で関連付けることにより、製造装置の特
性データをロット情報との相関関係を明らかにできるの
で、これらのデータの解析を精度良くかつ容易に行うこ
とができる。よって、従来に比較し、精度良く製品の品
質管理を行うことができるとともに、製造装置に起因し
て異常ロットが発生した際の、原因究明に要する時間の
短縮を図ることができる。
品質管理方法によれば、製造装置の特性データと、ロッ
ト情報とを日時で関連付けることにより、製造装置の特
性データをロット情報との相関関係を明らかにできるの
で、これらのデータの解析を精度良くかつ容易に行うこ
とができる。よって、従来に比較し、精度良く製品の品
質管理を行うことができるとともに、製造装置に起因し
て異常ロットが発生した際の、原因究明に要する時間の
短縮を図ることができる。
【図１】本発明に係る製品の品質管理方法の一実施形態
を示す工程図である。
を示す工程図である。
【図２】データの処理の一例を説明する図である。
【図３】各データの発生の様子を説明する図である。
【図４】ＥＱＣデータとロットとの時間的関係の一例を
説明する図である。
説明する図である。
【図５】ＥＱＣデータとロット情報とを関連付けた様子
を示す図である。
を示す図である。
【図６】ラビング処理の説明図である。
１１ 第１製造装置 １２ 第２製造装置
Claims (2)
- 【請求項１】 製造装置を用いた処理によりロット単位
で製造される製品の品質を管理する方法であって、 製品のロット単位での特性を表すロット情報と、前記製
造装置で処理された日時の情報を表すロット履歴とをロ
ット毎に集めるとともに、前記製造装置の特性を測定す
ることにより、この測定結果と測定日時とを前記製造装
置の特性データとして求める第１工程と、 前記ロット履歴を基にロットが前記製造装置で処理され
た日時順にロット情報を並べるとともに、前記製造装置
の特性データを該特性データの測定日時順に並べて、前
記ロット情報と前記製造装置の特性データとを日時で関
連付ける第２工程と、 関連付けられたロット情報と製造装置の特性データとを
比較することにより製品の品質を管理する第３工程とを
有することを特徴とする製品の品質管理方法。 - 【請求項２】 前記製品の製造は、製造された製品をロ
ット毎に検査する工程を含んで行われ、 前記ロット情報は、製品を製造する際にロット毎に測定
されたロット特性データと前記検査の結果から得られた
ロット毎の検査データとからなり、 前記第２工程では、前記ロット情報と前記製造装置の特
性データとを日時で関連付けるとともに、前記検査デー
タと前記ロット特性データとをロット番号で関連付け、 前記第３工程では、関連付けられたロット特性データと
製造装置の特性データと検査データとを比較することに
より、製品の品質を管理することを特徴とする請求項１
記載の製品の品質管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20676096A JPH1049585A (ja) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | 製品の品質管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20676096A JPH1049585A (ja) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | 製品の品質管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1049585A true JPH1049585A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16528640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20676096A Withdrawn JPH1049585A (ja) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | 製品の品質管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1049585A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002371490A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-26 | Fuji Xerox Office Supply Co Ltd | 紙の品質管理システム |
| JP2006301974A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Omron Corp | 製造条件設定システム、製造条件設定方法、制御プログラムおよびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| JP4500876B1 (ja) * | 2009-01-20 | 2010-07-14 | シャープ株式会社 | 生産管理システム |
| JP5451927B1 (ja) * | 2013-06-04 | 2014-03-26 | 株式会社ＰｒｅＦＥＥＤ | 異常発生原因の特定システム、異常発生原因の特定方法、及び異常発生原因の特定プログラム |
| CN104155933A (zh) * | 2014-07-15 | 2014-11-19 | 郑州轻工业学院 | 一种预计和控制含热气的多相流***出料品质的方法 |
-
1996
- 1996-08-06 JP JP20676096A patent/JPH1049585A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN104155933B (zh) * | 2014-07-15 | 2016-07-06 | 郑州轻工业学院 | 一种预计和控制含热气的多相流***出料品质的方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060228 |
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| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20060501 |