JP4724756B2 - 基板検査用カメラのための照明装置を備える基板検査装置 - Google Patents
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Description
これらの各検査ユニットは、X−Y軸方向への制御された移動を可能に配置される移動体と、該移動体に対し前記被検査基板の面方向であるZ軸方向への進退移動を可能に取り付けられたコンタクトプローブとを備え、前記第1の検査ユニットの前記コンタクトプローブ側には、そのレンズ面を該コンタクトプローブの接触端の進出方向に向け、かつ、その照射光軸を前記被検査基板の検査ポイント方向に向けた複数個の光源を前記レンズ面の周囲に取り付けてなる照明装置を具備させた基板検査用カメラを配設し、前記第2の検査ユニットの前記コンタクトプローブと第3の検査ユニットの前記コンタクトプローブとのそれぞれの軸回りには、これらの各コンタクトプローブが向かう適宜角度での斜め下方への進出方向と同方向である前記被検査基板の検査ポイント方向をそれぞれの照明光軸とする複数個の光源を備える照明装置を各別に配設したことを最も主要な特徴とする。
12 第1の検査ユニット
13 移動体
14 X軸ガイド
15 コンタクトプローブ
15a 接触端
16 モータ
17 無端ベルト
18 基板検査用カメラ
18a レンズ面
19 照明装置
19a 基板
19b 光源
20 エアシリンダ
22 第2の検査ユニット
23 移動体
24 X軸ガイド
25 コンタクトプローブ
25a 接触端
26 モータ
27 無端ベルト
28 照明装置
28a 基板
28b 光源
30 エアシリンダ
32 第3の検査ユニット
33 移動体
34 X軸ガイド
35 コンタクトプローブ
35a 接触端
36 モータ
37 無端ベルト
38 照明装置
38a 基板
38b 光源
40 エアシリンダ
Claims (2)
- 定置された被検査基板の主に中央検査領域を移動する第1の検査ユニットと、該第1の検査ユニットの下方に位置して前記被検査基板の主に左側検査領域を移動する第2の検査ユニットと、前記第1の検査ユニットの下方に位置して前記被検査基板の主に右側検査領域を移動する第3の検査ユニットとで少なくとも構成され、
これらの各検査ユニットは、X−Y軸方向への制御された移動を可能に配置される移動体と、該移動体に対し前記被検査基板の面方向であるZ軸方向への進退移動を可能に取り付けられたコンタクトプローブとを備え、
前記第1の検査ユニットの前記コンタクトプローブ側には、そのレンズ面を該コンタクトプローブの接触端の進出方向に向け、かつ、その照射光軸を前記被検査基板の検査ポイント方向に向けた複数個の光源を前記レンズ面の周囲に取り付けてなる照明装置を具備させた基板検査用カメラを配設し、
前記第2の検査ユニットの前記コンタクトプローブと第3の検査ユニットの前記コンタクトプローブとのそれぞれの軸回りには、これらの各コンタクトプローブが向かう適宜角度での斜め下方への進出方向と同方向である前記被検査基板の検査ポイント方向をそれぞれの照明光軸とする複数個の光源を備える照明装置を各別に配設したことを特徴とする基板検査用カメラのための照明装置を備える基板検査装置。 - 前記照明装置の少なくとも1つは、発光色の切り換えを可能に前記光源を配設した請求項1に記載の基板検査用カメラのための照明装置を備える基板検査装置。
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