JPH10318881A - 色温度補正法及びその装置 - Google Patents
色温度補正法及びその装置Info
- Publication number
- JPH10318881A JPH10318881A JP9125792A JP12579297A JPH10318881A JP H10318881 A JPH10318881 A JP H10318881A JP 9125792 A JP9125792 A JP 9125792A JP 12579297 A JP12579297 A JP 12579297A JP H10318881 A JPH10318881 A JP H10318881A
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- JP
- Japan
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- optical
- light
- color temperature
- light source
- homogenizer
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 照明用光源の分光特性を微調整できる色温度
補正法及びその装置を提供する。 【解決手段】 光源１４からの光をオプティカルホモジ
ナイザ１２に入射し、オプティカルホモジナイザ１２よ
り対象物を照明する際に、光源１４からオプティカルホ
モジナイザ１２に至る光路１８に、その光路を部分的に
覆うように補正用フィルター１６を進退自在に挿入して
色温度を補正するものである。
補正法及びその装置を提供する。 【解決手段】 光源１４からの光をオプティカルホモジ
ナイザ１２に入射し、オプティカルホモジナイザ１２よ
り対象物を照明する際に、光源１４からオプティカルホ
モジナイザ１２に至る光路１８に、その光路を部分的に
覆うように補正用フィルター１６を進退自在に挿入して
色温度を補正するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、照明用光源の分光
特性を改良できる色温度補正法及びその装置に関するも
のである。
特性を改良できる色温度補正法及びその装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】液晶カラーフィルターの検査には、その
フィルター基板の一方に照明用光源を配置し、他方で、
その透過光をＣＣＤカメラで検出し、画像処理にてＲＧ
Ｂの各ピクセルに色ムラがないかどうか或いは異物が付
着していないかどうかを検出している。
フィルター基板の一方に照明用光源を配置し、他方で、
その透過光をＣＣＤカメラで検出し、画像処理にてＲＧ
Ｂの各ピクセルに色ムラがないかどうか或いは異物が付
着していないかどうかを検出している。
【０００３】一般に照明用光源は、分光特性が均一でな
く、カメラ等で撮像した像が不自然となる。特に、液晶
カラーフィルターの検査においては、ＲＧＢの色を諧調
別に分けて識別するため、分光特性の不均一性が検査性
能を悪化させてしまう。
く、カメラ等で撮像した像が不自然となる。特に、液晶
カラーフィルターの検査においては、ＲＧＢの色を諧調
別に分けて識別するため、分光特性の不均一性が検査性
能を悪化させてしまう。
【０００４】従来、この分光特性の改善のためには、色
温度補正フィルターを用いその色温度補正フィルターを
光源に被せて行うことが一般的で、多くの種類の特性を
持ったフィルターが用いられている。
温度補正フィルターを用いその色温度補正フィルターを
光源に被せて行うことが一般的で、多くの種類の特性を
持ったフィルターが用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、種々の
特性の色温度補正フィルターを光源に被せて調整しても
分光特性の微調整ができない問題がある。
特性の色温度補正フィルターを光源に被せて調整しても
分光特性の微調整ができない問題がある。
【０００６】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、照明用光源の分光特性を微調整できる色温度補正法
及びその装置を提供することにある。
し、照明用光源の分光特性を微調整できる色温度補正法
及びその装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、光源からの光をオプティカルホモ
ジナイザに入射し、オプティカルホモジナイザより対象
物を照明する際に、光源からオプティカルホモジナイザ
に至る光路に、その光路を部分的に覆うように補正用フ
ィルターを進退自在に挿入して色温度を補正する色温度
補正法である。
に請求項１の発明は、光源からの光をオプティカルホモ
ジナイザに入射し、オプティカルホモジナイザより対象
物を照明する際に、光源からオプティカルホモジナイザ
に至る光路に、その光路を部分的に覆うように補正用フ
ィルターを進退自在に挿入して色温度を補正する色温度
補正法である。
【０００８】請求項２の発明は、光源からの光をオプテ
ィカルホモジナイザに入射し、オプティカルホモジナイ
ザより対象物を照明するための色温度補正装置におい
て、光源からオプティカルホモジナイザに至る光路に、
その光路を部分的に覆うように補正用フィルターを進退
自在に設けた色温度補正装置である。
ィカルホモジナイザに入射し、オプティカルホモジナイ
ザより対象物を照明するための色温度補正装置におい
て、光源からオプティカルホモジナイザに至る光路に、
その光路を部分的に覆うように補正用フィルターを進退
自在に設けた色温度補正装置である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適一実施の形態
を添付図面に基づいて詳述する。
を添付図面に基づいて詳述する。
【００１０】図１において、１０は、対象物としての液
晶ディスプレイ等のカラーフィルター基板で、ＲＧＢの
ピクセル（図示せず）が配列される。
晶ディスプレイ等のカラーフィルター基板で、ＲＧＢの
ピクセル（図示せず）が配列される。
【００１１】このカラーフィルター基板１０を検査すべ
く、石英ガラス等からなるオプティカルホモジナイザ１
２が設けられ、そのオプティカルホモジナイザ１２の両
端部、或いは、その途中等に照明用光を入射するための
ハロゲンランプ等の光源１４が配置される。
く、石英ガラス等からなるオプティカルホモジナイザ１
２が設けられ、そのオプティカルホモジナイザ１２の両
端部、或いは、その途中等に照明用光を入射するための
ハロゲンランプ等の光源１４が配置される。
【００１２】このオプティカルホモジナイザ１２は、数
箇所から別々に入射された光を撹拌し、これをカラーフ
ィルター基板１０側に出射するもので、全体には反射ミ
ラーで覆われ、出射側に光出射用の窓が形成される。
箇所から別々に入射された光を撹拌し、これをカラーフ
ィルター基板１０側に出射するもので、全体には反射ミ
ラーで覆われ、出射側に光出射用の窓が形成される。
【００１３】カラーフィルター基板１０の検査において
は、そのフィルター基板１０の各ピクセルが、ＣＣＤカ
メラ（図示せず）で撮像され、画像処理にてＲＧＢの各
ピクセルの欠陥と各色毎の色ムラが検出されるようにな
っている。
は、そのフィルター基板１０の各ピクセルが、ＣＣＤカ
メラ（図示せず）で撮像され、画像処理にてＲＧＢの各
ピクセルの欠陥と各色毎の色ムラが検出されるようにな
っている。
【００１４】この場合、図２に示すようにハロゲンラン
プの分光特性は、図２で、ａの曲線で示すように波長４
００〜８００ｎｍの範囲で光の相対強度が一様でなく、
青の相対強度が低く、赤の相対強度が高くなる。
プの分光特性は、図２で、ａの曲線で示すように波長４
００〜８００ｎｍの範囲で光の相対強度が一様でなく、
青の相対強度が低く、赤の相対強度が高くなる。
【００１５】本発明においては、図１に示すように、補
正用フィルターとしての青フィルター１６を光源１４と
オプティカルホモジナイザ１２の入射端間の光路１８に
その光路１８を部分的に覆うように進退自在に設けて色
温度を補正するようにしたものである。
正用フィルターとしての青フィルター１６を光源１４と
オプティカルホモジナイザ１２の入射端間の光路１８に
その光路１８を部分的に覆うように進退自在に設けて色
温度を補正するようにしたものである。
【００１６】次に本発明の作用を述べる。
【００１７】上述のように、光源１４から、オプティカ
ルホモジナイザ１２に光が１〜３箇所から入射され、そ
のオプティカルホモジナイザ１２よりカラーフィルター
基板１０に矢印１５のように照射され、そのカラーフィ
ルター基板１０を透過した光がＣＣＤカメラで撮像され
て各ＲＧＢのピクセルの色ムラ等が、画像処理にて自動
的に検査される。
ルホモジナイザ１２に光が１〜３箇所から入射され、そ
のオプティカルホモジナイザ１２よりカラーフィルター
基板１０に矢印１５のように照射され、そのカラーフィ
ルター基板１０を透過した光がＣＣＤカメラで撮像され
て各ＲＧＢのピクセルの色ムラ等が、画像処理にて自動
的に検査される。
【００１８】この場合、ＣＣＤカメラで撮像される像
は、２５６諧調であり、光源１４に、ハロゲンランプを
用いた場合の分光特性は、図２にａで示した曲線のよう
に分布するため、ＲＧＢの各平均階調が例えば、Ｒ；２
３０、Ｇ；１５０、Ｂ；６０となり、赤（Ｒ）が高く、
青（Ｂ）が低くなり、青色の光が最も不足してしまい、
Ｂのピクセルの検出性能が悪くなる。
は、２５６諧調であり、光源１４に、ハロゲンランプを
用いた場合の分光特性は、図２にａで示した曲線のよう
に分布するため、ＲＧＢの各平均階調が例えば、Ｒ；２
３０、Ｇ；１５０、Ｂ；６０となり、赤（Ｒ）が高く、
青（Ｂ）が低くなり、青色の光が最も不足してしまい、
Ｂのピクセルの検出性能が悪くなる。
【００１９】そこで、青フィルター１６を光路１８の一
部を覆うように、例えば約４０％程度まで光路１８を覆
うように挿入することで、色温度を補正することができ
る。
部を覆うように、例えば約４０％程度まで光路１８を覆
うように挿入することで、色温度を補正することができ
る。
【００２０】この青フィルター１６を通した光の分光特
性は、図２に点線ｂで示した分布となり、ａで示した分
布とｂで示した分布の光とが混合することで、その分光
特性はｃで示したように、波長４００〜８００ｎｍの範
囲で光の相対強度が一様となる。
性は、図２に点線ｂで示した分布となり、ａで示した分
布とｂで示した分布の光とが混合することで、その分光
特性はｃで示したように、波長４００〜８００ｎｍの範
囲で光の相対強度が一様となる。
【００２１】このように、光の分光特性を調整すること
で、ＣＣＤカメラでの、ＲＧＢの各平均階調が、Ｒ；２
００、Ｇ；１５０、Ｂ；１００となり、Ｒが下がり、Ｂ
が上がって、各色の諧調差が適度な値となるため、適当
な閾値を設定すれば、ＲＧＢの各ピクセルを良好に検出
できると共にその色ムラの検出が容易にできる。
で、ＣＣＤカメラでの、ＲＧＢの各平均階調が、Ｒ；２
００、Ｇ；１５０、Ｂ；１００となり、Ｒが下がり、Ｂ
が上がって、各色の諧調差が適度な値となるため、適当
な閾値を設定すれば、ＲＧＢの各ピクセルを良好に検出
できると共にその色ムラの検出が容易にできる。
【００２２】なお、上述の実施の形態においては、主に
カラーフィルター基板１０の検査用の照明の光源につい
て説明したが、他の照明用光源に応用できることは勿論
である。また、補正用フィルターとして青フィルター１
６を用いる例で説明したが、光源１４の分光特性に応じ
て替えれば良く、光源１４の分光特性と逆の特性となる
フィルターを用いれば良いことは勿論である。
カラーフィルター基板１０の検査用の照明の光源につい
て説明したが、他の照明用光源に応用できることは勿論
である。また、補正用フィルターとして青フィルター１
６を用いる例で説明したが、光源１４の分光特性に応じ
て替えれば良く、光源１４の分光特性と逆の特性となる
フィルターを用いれば良いことは勿論である。
【００２３】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、光源から
オプティカルホモジナイザに至る光路に、その光路を部
分的に覆うように補正用フィルターを進退自在に設ける
ことで、光源の分光特性の微調整が行える。
オプティカルホモジナイザに至る光路に、その光路を部
分的に覆うように補正用フィルターを進退自在に設ける
ことで、光源の分光特性の微調整が行える。
【図１】本発明の一実施の形態を示す概略図である。
【図２】本発明において、分光特性の調整を説明する図
である。
である。
１２ オプティカルホモジナイザ １４ 光源 １６ 青フィルター（補正用フィルター） １８ 光路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５３０ Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５３０
Claims (2)
- 【請求項１】 光源からの光をオプティカルホモジナイ
ザに入射し、オプティカルホモジナイザより対象物を照
明する際に、光源からオプティカルホモジナイザに至る
光路に、その光路を部分的に覆うように補正用フィルタ
ーを進退自在に挿入して色温度を補正することを特徴と
する色温度補正法。 - 【請求項２】 光源からの光をオプティカルホモジナイ
ザに入射し、オプティカルホモジナイザより対象物を照
明するための色温度補正装置において、光源からオプテ
ィカルホモジナイザに至る光路に、その光路を部分的に
覆うように補正用フィルターを進退自在に設けたことを
特徴とする色温度補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9125792A JPH10318881A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 色温度補正法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9125792A JPH10318881A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 色温度補正法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10318881A true JPH10318881A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=14918992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9125792A Pending JPH10318881A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 色温度補正法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10318881A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10330003A1 (de) * | 2003-07-03 | 2005-02-03 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung, Verfahren und Computerprogramm zur Wafer-Inspektion |
| WO2016095334A1 (zh) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 背光模组结构 |
| WO2022050322A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 富士電機株式会社 | ガス分析計 |
-
1997
- 1997-05-15 JP JP9125792A patent/JPH10318881A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10330003A1 (de) * | 2003-07-03 | 2005-02-03 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung, Verfahren und Computerprogramm zur Wafer-Inspektion |
| DE10330003B4 (de) * | 2003-07-03 | 2007-03-08 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung, Verfahren und Computerprogramm zur Wafer-Inspektion |
| US7224446B2 (en) | 2003-07-03 | 2007-05-29 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Apparatus, method, and computer program for wafer inspection |
| WO2016095334A1 (zh) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 背光模组结构 |
| WO2022050322A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 富士電機株式会社 | ガス分析計 |
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