JPH10293075A - リーク量測定装置 - Google Patents
リーク量測定装置Info
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- JPH10293075A JPH10293075A JP10317897A JP10317897A JPH10293075A JP H10293075 A JPH10293075 A JP H10293075A JP 10317897 A JP10317897 A JP 10317897A JP 10317897 A JP10317897 A JP 10317897A JP H10293075 A JPH10293075 A JP H10293075A
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- pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で短時間で正確にリーク量を測定
するリーク量測定装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 マスタチャンバと取付具に取付けられた
検査物の差圧の変化により検査物のリーク量を測定する
リーク量測定装置において、検査物より放出されるガス
の放出流量に対応した値を予め記録する放出流量記録部
と、差圧測定時に、放出流量記録部に記録されている放
出流量に対応した気体をマスタチャンバに放出する気体
放出手段と、を備える。
するリーク量測定装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 マスタチャンバと取付具に取付けられた
検査物の差圧の変化により検査物のリーク量を測定する
リーク量測定装置において、検査物より放出されるガス
の放出流量に対応した値を予め記録する放出流量記録部
と、差圧測定時に、放出流量記録部に記録されている放
出流量に対応した気体をマスタチャンバに放出する気体
放出手段と、を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は容器のリーク量を測
定するリーク量測定装置に関する。
定するリーク量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】今日では部品等の信頼性を向上させるた
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリーク量を測定する必要がある。
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリーク量を測定する必要がある。
【０００３】また、自動車等においてはエアコンディシ
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを判定しなければならない。従来、低リー
ク量を測定する方法としては、例えばハロゲン，ヘリウ
ム等のガスを使用する方法、真空放置法、差圧法等があ
る。
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを判定しなければならない。従来、低リー
ク量を測定する方法としては、例えばハロゲン，ヘリウ
ム等のガスを使用する方法、真空放置法、差圧法等があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ガスによる方法は１０
-9cc/sec程度のリーク量を容易に測定することができる
が、ガスを使用するためにランニングコストが高く、リ
ークしたガス量を検出する測定装置が複雑高価で、更に
ガスがリークして測定できるようになるまでの時間（応
答時間）が長くなり、流れ作業によって作られる製品の
リーク量を測定するには測定系が膨大となる欠点があ
る。
-9cc/sec程度のリーク量を容易に測定することができる
が、ガスを使用するためにランニングコストが高く、リ
ークしたガス量を検出する測定装置が複雑高価で、更に
ガスがリークして測定できるようになるまでの時間（応
答時間）が長くなり、流れ作業によって作られる製品の
リーク量を測定するには測定系が膨大となる欠点があ
る。
【０００５】また真空放置法は検査物の容器の圧力を設
定した圧力（真空）にして放置し、所定時間後の容器の
圧力との差よりリーク量を測定する方法であるが、低リ
ーク量の場合はリーク量が測定可能となる圧力に変化す
るまでに長時間を要する欠点がある。
定した圧力（真空）にして放置し、所定時間後の容器の
圧力との差よりリーク量を測定する方法であるが、低リ
ーク量の場合はリーク量が測定可能となる圧力に変化す
るまでに長時間を要する欠点がある。
【０００６】また差圧法は、図５に示すように、マスタ
チャンバ１および取付具２に取付けられた検査物３を排
気ポンプ５で排気し、所定の気圧に排気されたならばバ
ルブＶ1 およびＶ2 を閉じ、バルブＶ3 およびＶ4 を開
いて差圧計４で差圧を測定してリーク量を測定するもの
である。
チャンバ１および取付具２に取付けられた検査物３を排
気ポンプ５で排気し、所定の気圧に排気されたならばバ
ルブＶ1 およびＶ2 を閉じ、バルブＶ3 およびＶ4 を開
いて差圧計４で差圧を測定してリーク量を測定するもの
である。
【０００７】 すなわち、時間ｔ＝Ｔ1 で測定した差圧をＤＰ1 時間ｔ＝Ｔ1 ＋Ｔで測定した差圧をＤＰ2 取付具＋検査物の容積をＱ とすると、リーク量Ｌは Ｌ＝Ｑ（ＤＰ1 −ＤＰ2 ）／Ｔ ……（１） で算出することができる。
【０００８】この方法によればリーク量が１０-2cc/sec
程度のものを容易に短時間で測定することができる。し
かし、流れ作業で出来上った製品には多くの水蒸気やそ
の他のガスが含まれており、１０-5cc/sec以下のリーク
量を測定するには、これらのガスが放出され、測定され
たリーク量に多くの誤差が含まれ、実際上使いものには
ならなかった。
程度のものを容易に短時間で測定することができる。し
かし、流れ作業で出来上った製品には多くの水蒸気やそ
の他のガスが含まれており、１０-5cc/sec以下のリーク
量を測定するには、これらのガスが放出され、測定され
たリーク量に多くの誤差が含まれ、実際上使いものには
ならなかった。
【０００９】本発明は簡単な装置構成で短時間に正確に
リーク量を測定可能にしたリーク量測定装置を提供する
ことを課題とする。
リーク量を測定可能にしたリーク量測定装置を提供する
ことを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本発明が採用した手段を説明する。第１の発明に
おいては、マスタチャンバと取付具に取付けられた検査
物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化
より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置
において、前記検査物より放出されるガスの放出流量に
対応した値を予め記録する放出流量記録部と、前記両者
の差圧測定時に、前記放出流量記録部に記録されている
放出流量に対応した気体を前記マスタチャンバに放出す
る気体放出手段と、を備える。
めに、本発明が採用した手段を説明する。第１の発明に
おいては、マスタチャンバと取付具に取付けられた検査
物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化
より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置
において、前記検査物より放出されるガスの放出流量に
対応した値を予め記録する放出流量記録部と、前記両者
の差圧測定時に、前記放出流量記録部に記録されている
放出流量に対応した気体を前記マスタチャンバに放出す
る気体放出手段と、を備える。
【００１１】検査物より放出されるガスの放出流量に対
応する値を予め記録し、差圧測定時に記録されている放
出流量に対応する気体をマスタチャンバに放出するよう
にしたので、検査物より放出されるガスによる圧力の変
化は打消され、真のリーク量を測定することができる。
応する値を予め記録し、差圧測定時に記録されている放
出流量に対応する気体をマスタチャンバに放出するよう
にしたので、検査物より放出されるガスによる圧力の変
化は打消され、真のリーク量を測定することができる。
【００１２】第２の発明においては、前記気体放出手段
を、気体を設定した圧力に調圧するレギュレータと、該
レギュレータで調圧された気体を前記マスタチャンバに
放出するノズルと、前記放出流量記録部に記録されてい
る放出量が前記ノズルより放出されるよう前記レギュレ
ータの圧力を設定する流量圧力変換部と、で構成する。
を、気体を設定した圧力に調圧するレギュレータと、該
レギュレータで調圧された気体を前記マスタチャンバに
放出するノズルと、前記放出流量記録部に記録されてい
る放出量が前記ノズルより放出されるよう前記レギュレ
ータの圧力を設定する流量圧力変換部と、で構成する。
【００１３】マスタチャンバに気体を放出する気体放出
手段を気体の圧力を調整するレギュレータとノズルとで
構成し、レギュレータの圧力を変化させて放出量を変化
させるようにしたので、簡単な構成で正確な気体の放出
を行うことができる。第３の発明においては、前記放出
流量記録部に記録する放出流量を、前記取付具に検査物
と同一種類の検査物を取付け、空気を排気して密封直後
の差圧と長時間排気後または複数回排気して放出ガス量
が無視できるようになった状態での差圧より放出流量を
求める。
手段を気体の圧力を調整するレギュレータとノズルとで
構成し、レギュレータの圧力を変化させて放出量を変化
させるようにしたので、簡単な構成で正確な気体の放出
を行うことができる。第３の発明においては、前記放出
流量記録部に記録する放出流量を、前記取付具に検査物
と同一種類の検査物を取付け、空気を排気して密封直後
の差圧と長時間排気後または複数回排気して放出ガス量
が無視できるようになった状態での差圧より放出流量を
求める。
【００１４】取付具に検査物と同一種類の検査物を取付
けて排気し、排気直後の差圧と長時間排気後の差圧より
算出されたリーク量の差より放出ガスの流量を求めるよ
うにしたので、放出流量記録部に記録する放出流量を特
別な装置を必要とせずに正確に求めることができる。
けて排気し、排気直後の差圧と長時間排気後の差圧より
算出されたリーク量の差より放出ガスの流量を求めるよ
うにしたので、放出流量記録部に記録する放出流量を特
別な装置を必要とせずに正確に求めることができる。
【００１５】第４の発明においては、前記ノズルより前
記マスタチャンバに放出する気体を空気とする。マスタ
チャンバに放出する気体を空気としたので、特別な気体
を必要とせず、ランニングコストを低下させることがで
きる。
記マスタチャンバに放出する気体を空気とする。マスタ
チャンバに放出する気体を空気としたので、特別な気体
を必要とせず、ランニングコストを低下させることがで
きる。
【００１６】また第５の発明においては、前記マスタチ
ャンバと取付具に取付けられた検査物との間の差圧を測
定する測定系を、差圧計と、差圧計の一方の入力と前記
マスタチャンバとの間にバルブ（Ｖ3 ）を、差圧計の他
方の入力と前記取付具との間にバルブ（Ｖ4 ）を、また
前記マスタチャンバおよび検査物の排気を行う排気手段
と差圧計の両入力との間にそれぞれバルブ（Ｖ5 ，
Ｖ6 ）を設け、差圧の測定開始時に先ず排気手段に接続
された開状態の両バルブ（Ｖ5 ，Ｖ6 ）に前記マスタチ
ャンバおよび取付具に接続されている両バルブ（Ｖ3 ，
Ｖ4 ）を開にし、その後排気手段に接続された両バルブ
（Ｖ5 ，Ｖ6 ）を閉にして差圧測定を開始する。
ャンバと取付具に取付けられた検査物との間の差圧を測
定する測定系を、差圧計と、差圧計の一方の入力と前記
マスタチャンバとの間にバルブ（Ｖ3 ）を、差圧計の他
方の入力と前記取付具との間にバルブ（Ｖ4 ）を、また
前記マスタチャンバおよび検査物の排気を行う排気手段
と差圧計の両入力との間にそれぞれバルブ（Ｖ5 ，
Ｖ6 ）を設け、差圧の測定開始時に先ず排気手段に接続
された開状態の両バルブ（Ｖ5 ，Ｖ6 ）に前記マスタチ
ャンバおよび取付具に接続されている両バルブ（Ｖ3 ，
Ｖ4 ）を開にし、その後排気手段に接続された両バルブ
（Ｖ5 ，Ｖ6 ）を閉にして差圧測定を開始する。
【００１７】差圧の測定開始時に、先ず差圧計の両入力
を排気手段に接続して排気し、その後マスタチャンバお
よび取付具と接続して差圧を測定するようにしたので、
差圧計の振動がなくなり、直ちに差圧を測定することが
でき、正確なリーク量を測定することができる。
を排気手段に接続して排気し、その後マスタチャンバお
よび取付具と接続して差圧を測定するようにしたので、
差圧計の振動がなくなり、直ちに差圧を測定することが
でき、正確なリーク量を測定することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１〜図
３を参照して説明する。図１は本発明の実施例の構成
図、図２および図３は同実施例の動作フローチャートで
ある。図１において、１はマスタチャンバ、２は検査物
３を取付ける取付具、４は差圧計、５は排気ポンプ、６
は空気圧を調整するレギュレータ、７はレギュレータ６
で調圧された空気をマスタチャンバ１に放出するノズ
ル、８および９は圧力計、Ｖ1 〜Ｖ8 はバルブである。
３を参照して説明する。図１は本発明の実施例の構成
図、図２および図３は同実施例の動作フローチャートで
ある。図１において、１はマスタチャンバ、２は検査物
３を取付ける取付具、４は差圧計、５は排気ポンプ、６
は空気圧を調整するレギュレータ、７はレギュレータ６
で調圧された空気をマスタチャンバ１に放出するノズ
ル、８および９は圧力計、Ｖ1 〜Ｖ8 はバルブである。
【００１９】また、１１はマスタチャンバに放出する放
出流量を記録する放出流量記録部、１２は放出流量記録
部１１に記録されている放出流量がマスタチャンバに放
出するようにレギュレータ６の圧力に変換する流量圧力
変換部、１３はレギュレータ制御部、１４はリーク量算
出部、１５は制御部、１６はインタフェース（Ｉ／
Ｏ）、１７は処理を実行するプロセッサ（ＣＰＵ）であ
る。
出流量を記録する放出流量記録部、１２は放出流量記録
部１１に記録されている放出流量がマスタチャンバに放
出するようにレギュレータ６の圧力に変換する流量圧力
変換部、１３はレギュレータ制御部、１４はリーク量算
出部、１５は制御部、１６はインタフェース（Ｉ／
Ｏ）、１７は処理を実行するプロセッサ（ＣＰＵ）であ
る。
【００２０】まず放出流量記録部１１に記録する放出流
量について説明する。検査物を或る真空圧にしたとき、
検査物には水蒸気やその他のガスが含まれているため、
図４に示すように、ガスが放出される。ガスの放出流量
は、始めは多く、時間とともに減少し、長時間真空状態
にすると殆んどのガスが放出されてガスの放出が無くな
る。マスタチャンバ１や取付具２は、リークが無く、か
つ、このようにエージングされた状態のものが使用され
る。
量について説明する。検査物を或る真空圧にしたとき、
検査物には水蒸気やその他のガスが含まれているため、
図４に示すように、ガスが放出される。ガスの放出流量
は、始めは多く、時間とともに減少し、長時間真空状態
にすると殆んどのガスが放出されてガスの放出が無くな
る。マスタチャンバ１や取付具２は、リークが無く、か
つ、このようにエージングされた状態のものが使用され
る。
【００２１】放出流量記録部に記録する放出流量は、先
ず検査物と同一種類の検査物を取付具２に取付け、設定
真空圧になったときの差圧計４の差圧を前述した式
（１）に代入してリーク量Ｌ1 を求める。この求められ
たＬ1 には真のリーク量に加えて放出ガス量も含まれて
いる。
ず検査物と同一種類の検査物を取付具２に取付け、設定
真空圧になったときの差圧計４の差圧を前述した式
（１）に代入してリーク量Ｌ1 を求める。この求められ
たＬ1 には真のリーク量に加えて放出ガス量も含まれて
いる。
【００２２】次に真空状態を長時間保った後、または何
度も真空状態をくり返す等を行って放出ガスが無視でき
るような状態で再度設定真空圧にし、式（１）よりリー
ク量Ｌ2 を求める。このようにして求めたＬ2 は真のリ
ーク量のみとなる。そこで、Ｌ1 −Ｌ2 の演算を行ない
放出流量Ｌ3 を算出し、放出流量記録部１１に予め記録
する。なおマスタチャンバ１の容量Ｑ′と取付具２＋検
査物３の容量Ｑが等しくない場合は、（Ｌ1 −Ｌ2 ）
Ｑ′／Ｑを放出流量Ｌ3 として記録する。
度も真空状態をくり返す等を行って放出ガスが無視でき
るような状態で再度設定真空圧にし、式（１）よりリー
ク量Ｌ2 を求める。このようにして求めたＬ2 は真のリ
ーク量のみとなる。そこで、Ｌ1 −Ｌ2 の演算を行ない
放出流量Ｌ3 を算出し、放出流量記録部１１に予め記録
する。なおマスタチャンバ１の容量Ｑ′と取付具２＋検
査物３の容量Ｑが等しくない場合は、（Ｌ1 −Ｌ2 ）
Ｑ′／Ｑを放出流量Ｌ3 として記録する。
【００２３】つぎに流量圧力変換部１２について説明す
る。ノズル７の孔の直径およびマスタチャンバ１の真空
圧が決まれば、レギュレータ６で調圧する圧力とマスタ
チャンバ１に放出される放出流量の関係を求めることが
できる。
る。ノズル７の孔の直径およびマスタチャンバ１の真空
圧が決まれば、レギュレータ６で調圧する圧力とマスタ
チャンバ１に放出される放出流量の関係を求めることが
できる。
【００２４】ノズル７の直径を精密に測定してレギュレ
ータ１の圧力を求めることもできるが、従来例で説明し
たガスを用いる方法等によって圧力と放出流量の関係を
求めるようにしてもよい。流量圧力変換部１２には、こ
のようにして得られた放出流量に対応するレギュレータ
の圧力を予め記録する。
ータ１の圧力を求めることもできるが、従来例で説明し
たガスを用いる方法等によって圧力と放出流量の関係を
求めるようにしてもよい。流量圧力変換部１２には、こ
のようにして得られた放出流量に対応するレギュレータ
の圧力を予め記録する。
【００２５】また、レギュレータ制御部１３は、後述す
るリーク量測定中は、放出流量記録部１１に記録されて
いる放出流量を読出し、読出した放出流量に対応する圧
力を流量圧力変換部１２により変換し、Ｉ／Ｏ１６を介
して入力される圧力計８の圧力が流量圧力変換部１２で
変換された圧力となるようにＩ／Ｏ１６を介してレギュ
レータ６を制御する。
るリーク量測定中は、放出流量記録部１１に記録されて
いる放出流量を読出し、読出した放出流量に対応する圧
力を流量圧力変換部１２により変換し、Ｉ／Ｏ１６を介
して入力される圧力計８の圧力が流量圧力変換部１２で
変換された圧力となるようにＩ／Ｏ１６を介してレギュ
レータ６を制御する。
【００２６】つぎに図２および図３を参照して実施例の
動作を説明する。先ず、検査物３を取付具２に取付けて
動作が開始される。ステップＳ１では、制御部１５は、
先ず各バルブＶ1 〜Ｖ8 の初期設定を行なう。
動作を説明する。先ず、検査物３を取付具２に取付けて
動作が開始される。ステップＳ１では、制御部１５は、
先ず各バルブＶ1 〜Ｖ8 の初期設定を行なう。
【００２７】すなわち、バルブＶ8 （以後バルブは略し
Ｖn とする）を閉じて取付具２に空気が吸気されるのを
防止する。またＶ3 およびＶ4 を閉じ、Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ
5 ，Ｖ6 およびＶ7 を開とする。ステップＳ２では、ス
テップＳ１でＶ1 およびＶ2 が開となると排気ポンプ５
によりマスタチャンバ１および検査物３と取付具２内に
ある空気が排気される。
Ｖn とする）を閉じて取付具２に空気が吸気されるのを
防止する。またＶ3 およびＶ4 を閉じ、Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ
5 ，Ｖ6 およびＶ7 を開とする。ステップＳ２では、ス
テップＳ１でＶ1 およびＶ2 が開となると排気ポンプ５
によりマスタチャンバ１および検査物３と取付具２内に
ある空気が排気される。
【００２８】ステップＳ３では、制御部１５は、圧力計
９の指示する圧力をＩ／Ｏ１６を介して読込み、測定開
始準備圧力になったか否かを判定し、準備圧力になるま
で待機する。すなわち、リーク量測定時の圧力（設定圧
力）に達するまでに設けられた準備圧力になるまで待機
する。
９の指示する圧力をＩ／Ｏ１６を介して読込み、測定開
始準備圧力になったか否かを判定し、準備圧力になるま
で待機する。すなわち、リーク量測定時の圧力（設定圧
力）に達するまでに設けられた準備圧力になるまで待機
する。
【００２９】ステップＳ４では、制御部１５は、準備圧
力になるとＶ3 およびＶ4 を開とし、その後Ｖ5 および
Ｖ6 を閉じるよう指示する。このように、先ずＶ5 およ
びＶ6 を開にした状態でＶ3 およびＶ4 を開にしＶ 5 お
よびＶ6 を閉じる理由は、短時間で差圧計４の振れを停
止させるためである。
力になるとＶ3 およびＶ4 を開とし、その後Ｖ5 および
Ｖ6 を閉じるよう指示する。このように、先ずＶ5 およ
びＶ6 を開にした状態でＶ3 およびＶ4 を開にしＶ 5 お
よびＶ6 を閉じる理由は、短時間で差圧計４の振れを停
止させるためである。
【００３０】高感度の差圧計は振動の周期が長く、最初
に大きな差圧があるものを入力した場合は大きく振動
し、その振動が停止するまでには長時間を要する。そこ
で、先ず同じＶ5 およびＶ6 を開状態として同じ圧力の
ものを入力し、次にＶ3 およびＶ4 を開いても、その差
圧による影響は無視できるようになり、Ｖ5 およびＶ6
を閉じて差圧の測定を開始させるようにしている。
に大きな差圧があるものを入力した場合は大きく振動
し、その振動が停止するまでには長時間を要する。そこ
で、先ず同じＶ5 およびＶ6 を開状態として同じ圧力の
ものを入力し、次にＶ3 およびＶ4 を開いても、その差
圧による影響は無視できるようになり、Ｖ5 およびＶ6
を閉じて差圧の測定を開始させるようにしている。
【００３１】このように短時間で差圧の測定を開始でき
るようにすることにより正確なリーク量を測定すること
ができる。すなわち、放出ガス量は、図４で説明したよ
うに、時間とともに大きく変化する。したがって、振動
が停止するまでの時間が大きく異なった場合は、放出流
量記録部１１に記録されている放出流量と実際に検査物
より放出されるガス量に違いを生じ、リーク量の測定結
果に大きな誤差を生ずるが、短時間で測定可能であれば
記録されている放出流量と同じとなり、誤差が含まれな
くなる。
るようにすることにより正確なリーク量を測定すること
ができる。すなわち、放出ガス量は、図４で説明したよ
うに、時間とともに大きく変化する。したがって、振動
が停止するまでの時間が大きく異なった場合は、放出流
量記録部１１に記録されている放出流量と実際に検査物
より放出されるガス量に違いを生じ、リーク量の測定結
果に大きな誤差を生ずるが、短時間で測定可能であれば
記録されている放出流量と同じとなり、誤差が含まれな
くなる。
【００３２】つぎに、また動作にもどって、ステップＳ
５では、制御部１５は、圧力計９の指示する圧力が設定
圧力になったか否かを判定し、設定圧力となるまで待機
する。ステップＳ６では、制御部１５は、Ｖ1 およびＶ
2 を閉じて排気を停止させる。
５では、制御部１５は、圧力計９の指示する圧力が設定
圧力になったか否かを判定し、設定圧力となるまで待機
する。ステップＳ６では、制御部１５は、Ｖ1 およびＶ
2 を閉じて排気を停止させる。
【００３３】ステップＳ７では、制御部１５は、差圧計
４の指示する差圧ＤＰ1 を取込み、ステップＳ８に移っ
て設定時間（Ｔ）経過させ、ステップＳ９に移って差圧
ＤＰ 2 を取込む。ステップＳ１０では、リーク量算出部
１４は、式（１）に基づいてＤＰ1 およびＤＰ2 よりリ
ーク量Ｌを算出して出力する。
４の指示する差圧ＤＰ1 を取込み、ステップＳ８に移っ
て設定時間（Ｔ）経過させ、ステップＳ９に移って差圧
ＤＰ 2 を取込む。ステップＳ１０では、リーク量算出部
１４は、式（１）に基づいてＤＰ1 およびＤＰ2 よりリ
ーク量Ｌを算出して出力する。
【００３４】ステップＳ１１では、制御部１５は、
Ｖ3 、Ｖ4 およびＶ7 を閉じてステップＳ１２に移り、
Ｖ8 を開にして取付具２と検査物３内に空気を流し込み
大気圧にする。ステップＳ１３では、検査物３を交換す
る。
Ｖ3 、Ｖ4 およびＶ7 を閉じてステップＳ１２に移り、
Ｖ8 を開にして取付具２と検査物３内に空気を流し込み
大気圧にする。ステップＳ１３では、検査物３を交換す
る。
【００３５】ステップＳ１３で検査物３の交換が終了す
ると、ステップＳ１４に移り、制御部１５は、Ｖ8 を閉
じ、Ｖ5 ，Ｖ6 およびＶ7 を開にすると共にＶ1 および
Ｖ2を開にして排気を開始し、以下ステップＳ２に移
り、ステップＳ２〜Ｓ１４が繰り返される。
ると、ステップＳ１４に移り、制御部１５は、Ｖ8 を閉
じ、Ｖ5 ，Ｖ6 およびＶ7 を開にすると共にＶ1 および
Ｖ2を開にして排気を開始し、以下ステップＳ２に移
り、ステップＳ２〜Ｓ１４が繰り返される。
【００３６】なお実施例では放出流量記録部１１に記録
する放出流量を１点としたが、この場合はステップＳ８
で設定した時間Ｔが小さい場合であって、Ｔが大の場合
は時間Ｔ内の放出流量を複数個記録させ、時間の経過と
ともに放出流量を変化させれば正確なリーク量を測定す
ることができる。
する放出流量を１点としたが、この場合はステップＳ８
で設定した時間Ｔが小さい場合であって、Ｔが大の場合
は時間Ｔ内の放出流量を複数個記録させ、時間の経過と
ともに放出流量を変化させれば正確なリーク量を測定す
ることができる。
【００３７】また実施例では、ステップＳ７〜Ｓ１０に
よりリーク量を算出していたが、ステップＳ７〜Ｓ１０
を複数回行って複数個のリーク量を算出し、算出された
複数個の平均値をリーク量として出力するようにしても
よい。
よりリーク量を算出していたが、ステップＳ７〜Ｓ１０
を複数回行って複数個のリーク量を算出し、算出された
複数個の平均値をリーク量として出力するようにしても
よい。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
の効果が得られる。検査物より放出されるガスの放出流
量に対応する値を予め記録し、差圧測定時に記録されて
いる放出流量に対応する気体をマスタチャンバに放出す
るようにしたので、検査物より放出されるガスによる圧
力の変化は差圧測定値には打消されて測定されず、真の
リーク量を測定することができる。
の効果が得られる。検査物より放出されるガスの放出流
量に対応する値を予め記録し、差圧測定時に記録されて
いる放出流量に対応する気体をマスタチャンバに放出す
るようにしたので、検査物より放出されるガスによる圧
力の変化は差圧測定値には打消されて測定されず、真の
リーク量を測定することができる。
【００３９】また、マスタチャンバに気体を放出する気
体放出手段を気体の圧力を調整するレギュレータとノズ
ルとで構成し、レギュレータの圧力を変化させて放出量
を変化させるようにしたので、簡単な構成で正確な気体
の放出を行うことができる。また、取付具に検査物と同
一種類の検査物を取付けて排気し、排気直後の差圧と長
時間排気後の差圧より算出されたリーク量の差より放出
ガスの流量を求めるようにしたので、放出流量記録部に
記録する放出流量を特別な装置を必要とせずに正確に求
めることができる。
体放出手段を気体の圧力を調整するレギュレータとノズ
ルとで構成し、レギュレータの圧力を変化させて放出量
を変化させるようにしたので、簡単な構成で正確な気体
の放出を行うことができる。また、取付具に検査物と同
一種類の検査物を取付けて排気し、排気直後の差圧と長
時間排気後の差圧より算出されたリーク量の差より放出
ガスの流量を求めるようにしたので、放出流量記録部に
記録する放出流量を特別な装置を必要とせずに正確に求
めることができる。
【００４０】また、マスタチャンバに放出する気体を空
気としたので、特別な気体を必要とせず、ランニングコ
ストを低下させることができる。また、差圧の測定開始
時に、先ず差圧計の両入力を排気手段に接続して排気
し、その後マスタチャンバおよび取付具と接続して差圧
を測定するようにしたので、差圧計の振動がなくなり、
直ちに差圧を測定することができ、正確なリーク量を測
定することができる。
気としたので、特別な気体を必要とせず、ランニングコ
ストを低下させることができる。また、差圧の測定開始
時に、先ず差圧計の両入力を排気手段に接続して排気
し、その後マスタチャンバおよび取付具と接続して差圧
を測定するようにしたので、差圧計の振動がなくなり、
直ちに差圧を測定することができ、正確なリーク量を測
定することができる。
【図１】本発明の実施例の構成図である。
【図２】同実施例の動作フローチャートである。
【図３】同実施例の動作フローチャートである。
【図４】時間に対する放出ガス量を説明するための図で
ある。
ある。
【図５】従来例の構成図である。
【符号の説明】 １ マスタチャンバ ２ 取付具 ３ 検査物 ４ 差圧計 ５ 排気ポンプ ６ レギュレータ ７ ノズル ８，９ 圧力計 Ｖ1 〜Ｖ8 バルブ １１ 放出流量記録部 １２ 流量圧力変換部 １３ レギュレータ制御部 １４ リーク量算出部 １５ 制御部 １６ インタフェース（Ｉ／Ｏ） １７ プロセッサ（ＣＰＵ）
Claims (5)
- 【請求項１】 マスタチャンバと取付具に取付けられた
検査物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の
変化より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定
装置において、 前記検査物より放出されるガスの放出流量に対応した値
を予め記録する放出流量記録部と、 前記両者の差圧測定時に、前記放出流量記録部に記録さ
れている放出流量に対応した気体を前記マスタチャンバ
に放出する気体放出手段と、を備えたことを特徴とする
リーク量測定装置。 - 【請求項２】 前記気体放出手段を、気体を設定した圧
力に調圧するレギュレータと、該レギュレータで調圧さ
れた気体を前記マスタチャンバに放出するノズルと、前
記放出流量記録部に記録されている放出量が前記ノズル
より放出されるよう前記レギュレータの圧力を設定する
流量圧力変換部と、で構成するようにしたことを特徴と
する請求項１記載のリーク量測定装置。 - 【請求項３】 前記放出流量記録部に記録する放出流量
を、前記取付具に検査物と同一種類の検査物を取付け、
空気を排気して密封直後の差圧と長時間排気後または複
数回排気して放出ガス量が無視できるようになった状態
での差圧より放出流量を求めるようにしたことを特徴と
する請求項１または２記載のリーク量測定装置。 - 【請求項４】 前記ノズルより前記マスタチャンバに放
出する気体を空気としたことを特徴とすることを特徴と
する請求項１，２または３記載のリーク量測定装置。 - 【請求項５】 前記マスタチャンバと取付具に取付けら
れた検査物との間の差圧を測定する測定系を、差圧計
と、差圧計の一方の入力と前記マスタチャンバとの間に
バルブ（Ｖ3 ）を、差圧計の他方の入力と前記取付具と
の間にバルブ（Ｖ4 ）を、また前記マスタチャンバおよ
び検査物の排気を行う排気手段と差圧計の両入力との間
にそれぞれバルブ（Ｖ5 ，Ｖ6 ）を設け、差圧の測定開
始時に先ず排気手段に接続された開状態の両バルブ（Ｖ
5 ，Ｖ6 ）に前記マスタチャンバおよび取付具に接続さ
れている両バルブ（Ｖ3 ，Ｖ4 ）を開にし、その後排気
手段に接続された両バルブ（Ｖ5 ，Ｖ6 ）を閉にして差
圧測定を開始するようしたことを特徴とする請求項１，
２，３または４記載のリーク量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9103178A JP3038321B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | リーク量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9103178A JP3038321B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | リーク量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10293075A true JPH10293075A (ja) | 1998-11-04 |
| JP3038321B2 JP3038321B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=14347271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9103178A Expired - Fee Related JP3038321B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | リーク量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3038321B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013141691A (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Honda Motor Co Ltd | 炉の空気室の体積を算出する方法、鋳造方法、炉の空気室の体積を算出する装置および炉の空気室の体積を算出するためのプログラム |
| JP2017524903A (ja) * | 2014-06-12 | 2017-08-31 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | フィルムチャンバを用いた差圧測定 |
| CN113640630A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-11-12 | 广东省医疗器械质量监督检验所 | 一种管道气体压力调节器的测试方法及*** |
-
1997
- 1997-04-21 JP JP9103178A patent/JP3038321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013141691A (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Honda Motor Co Ltd | 炉の空気室の体積を算出する方法、鋳造方法、炉の空気室の体積を算出する装置および炉の空気室の体積を算出するためのプログラム |
| JP2017524903A (ja) * | 2014-06-12 | 2017-08-31 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | フィルムチャンバを用いた差圧測定 |
| CN113640630A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-11-12 | 广东省医疗器械质量监督检验所 | 一种管道气体压力调节器的测试方法及*** |
| CN113640630B (zh) * | 2021-08-03 | 2024-02-06 | 广东省医疗器械质量监督检验所 | 一种管道气体压力调节器的测试方法及*** |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3038321B2 (ja) | 2000-05-08 |
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