JP3536098B2 - リーク検査装置 - Google Patents
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- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
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- G01M3/3263—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers using a differential pressure detector
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Description
格値以下であるか否かを検査するリーク検査装置に関す
る。
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリークを検査する必要がある。
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを検査しなければならない。本願の発明者
は先に特願2000−47501および特願2000−
47503において、簡単な装置構成で短時間に正確に
リーク検査を可能にしたリーク検査装置を考案し、出願
した。
出力孔等を密封した検査物をチャンバ内に収納し、チャ
ンバ内の空気を排気して検査物のリーク検査を行うよう
にしていた。またチャンバは、チャンバ内に水や水蒸気
等が付着していると、検査時にチャンバ内の空気を排気
すると付着していた水や水蒸気等がガスとなって放出さ
れリーク検査に誤りが発生することから、チャンバ内に
は水や水蒸気等が付着していない状態でリーク検査が行
われていた。
の検査物を検査するためにチャンバの蓋を開けたときに
は水蒸気を含む空気がチャンバ内に流入し、チャンバの
内壁に付着する。また、チャンバの蓋を長時間開けた状
態においても大気中の水蒸気がチャンバの内壁に付着す
る。このようにしてチャンバの内壁に水や水蒸気が付着
すると次の検査物の検査時には付着した水や水蒸気がガ
スとなって放出されて検査物のリークに加算され、検査
合格品であるにもかかわらず不合格となる検査誤りを発
生する。
無くし、正確にリーク検査を可能にしたリーク検査装置
を提供することを課題とする。
めに、本発明が採用した手段を説明する。第1の発明に
おいては、マスタチャンバと入出力孔等を密封した検査
物を収納したチャンバの空気を排気した後で密封し、該
両者間の差圧の変化より前記検査物のリークを検査する
リーク検査装置において、検査時の排気圧における前記
検査物より前記チャンバ内に放出されるガスの単位時間
当たりの放出流量に対応した値を記録した放出流量記録
部と、前記両者の差圧測定時に、前記放出流量記録部に
記録されている放出流量に対応した気体を前記マスタチ
ャンバに放出する気体放出手段と、前記マスタチャンバ
と前記チャンバとの差圧を測定する差圧計と、判定圧力
を記録した判定圧力記録部と、所定時間を計時する計時
部と、乾燥空気送出部と、前記チャンバの蓋が開時に前
記乾燥空気送出部より前記チャンバに乾燥空気を送出
し、検査時には前記乾燥空気の前記チャンバへの送出を
停止し、前記マスタチャンバおよび前記チャンバ内の空
気を排気させた後で密封すると共に前記計時部で計時を
開始させ、所定時間計時されたとき前記差圧計の差圧値
と前記判定圧力記録部に記録されている判定圧力とを比
較し、該比較した結果を出力する制御部と、を備える。
した検査物を収納するチャンバと、前記チャンバ内の真
空圧を測定する圧力計と、判定圧力を記録した判定圧力
記録部と、所定時間を計時する計時部と、乾燥空気送出
部と、前記チャンバの蓋が開時に前記乾燥空気送出部よ
り前記チャンバに乾燥空気を送出し、検査時には前記乾
燥空気の前記チャンバへの送出を停止し、前記チャンバ
内の空気を排気させると共に前記計時部で計時を開始さ
せ、所定時間計時されたとき前記圧力計の圧力値と前記
判定圧力記録部に記録されている判定圧とを比較し、該
比較結果を出力する制御部と、を備える。
空気を排気する排気ポンプにタンクを接続し、該タンク
の真空圧が所定値になったときバルブを開いてチャンバ
内の空気を排気する。
した検査物を収納するチャンバと、前記チャンバ内の真
空圧を測定する圧力計と、判定圧力を記録した判定圧力
記録部と、所定時間を計時する計時部と、乾燥空気送出
部と、前記チャンバの蓋が開時に前記乾燥空気送出部よ
り前記チャンバに乾燥空気を送出し、検査時には前記乾
燥空気の前記チャンバへの送出を停止し、前記チャンバ
内の空気を所定圧力になるまで排気させ、所定圧力に達
したとき排気を停止させると共に前記計時部で計時を開
始させ、所定時間計時されたとき前記圧力計の圧力値と
前記判定圧力記録部に記録されている判定圧とを比較
し、該比較結果を出力する制御部と、を備える。
3を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施例の
構成図、図2および図3は同第1の実施例の動作フロー
チャートである。図1において、1はマスタチャンバ、
2は検査物3を収納するチャンバ、4は差圧計、5は排
気ポンプ、6は空気圧を調整するレギュレータ、7はレ
ギュレータ6で調圧された空気をマスタチャンバ1に放
出するノズル、8および9は圧力計、10は乾燥空気送
出装置、V1 〜V8 はバルブである。
放出流量を記録する放出流量記録部、12はマスタチャ
ンバ1に放出流量記録部11に記録されている放出流量
の空気が放出するようにレギュレータ6の対応する圧力
に変換する流量圧力変換部、13はレギュレータ制御
部、14は判定圧力を記録する判定圧力記録部、15は
計時部、16は制御部、17はインタフェース(I/
O)、18は処理を実行するプロセッサ(CPU)であ
る。検査物3は入出力孔を蓋3aで密封し、チャンバ2
に収納した後でチャンバの蓋2aによりチャンバ2を密
封する。なお、2bはパッキンである。
量について説明する。検査物には水、水蒸気、油等が付
着しているため、検査物を或る真空圧にしたとき、水、
水蒸気、油等は気化し、図4に示すように、ガスとなっ
て放出される。ガスの放出流量は、始めは多く、気化す
るにしたがって時間とともに減少し、長時間真空状態に
すると殆んどのガスが放出されてガスの放出が無くな
る。マスタチャンバ1やチャンバ2は、リークが無く、
かつ、このようにエージングされた状態のものが使用さ
れる。
は、先ず検査物3と同一種類の検査物を入出力孔等を密
封してチャンバ2内に収納し、設定真空圧になったとき
の単位時間当りのリーク量L1 を求める。この求められ
たL1 には真のリーク量に加えて前述した放出ガス量も
含まれている。
度も真空状態をくり返す等を行って放出ガスが無視でき
るような状態で再度設定真空圧にし、リーク量L2 を求
める。このようにして求めたL2 は真のリーク量のみと
なる。そこで、L1 −L2 の演算を行い単位時間当りの
放出流量L3 を算出し、放出流量記録部11に予め記録
する。なおマスタチャンバ1の容量Q′と検査物3を収
納したチャンバ2の容量Qが等しくない場合は、(L1
−L2 )Q′/Qを放出流量L3 として記録する。ま
た、例えば特願2000−47504に記載された方法
によって求めるようにしてもよい。
る。ノズル7の孔の直径およびマスタチャンバ1の真空
圧が決まれば、レギュレータ6で調圧する圧力とマスタ
チャンバ1に放出される単位時間当りの放出流量の関係
を求めることができる。流量圧力変換部12には、この
ようにして得られた放出流量に対応するレギュレータの
圧力を予め記録する。
るリーク検査中は、放出流量記録部11に記録されてい
る放出流量を読出し、読出した放出流量に対応する圧力
を流量圧力変換部12により変換し、圧力計8の圧力が
流量圧力変換部12で変換された圧力となるようにレギ
ュレータ6を制御する。
施例の動作を説明する。ステップS1では、操作者は入
出力孔等に蓋をして密封した検査物3をチャンバ2内に
収納し、チャンバ2に蓋をして密封する。ステップS2
では、制御部16は、先ず各バルブV1 〜V8 の初期設
定を行う。
Vn とする)を閉じて乾燥空気送出装置10よりチャン
バ2に送出されている乾燥空気の送出を停止する。また
V3 およびV4 を閉じ、V1 ,V2 ,V5 ,V6 および
V7 を開とする。
V8 を開にして乾燥空気送出装置10より乾燥空気をチ
ャンバ2内に送出する理由は、前述したように、チャン
バ2はガスが放出されないようにエージングされている
が、チャンバ2の蓋2aを開にして検査物3の交換等を
行っている間には大気中に含まれる水分等が浸入してチ
ャンバ2の内面に付着し、検査時に付着した水分等がガ
スとなって放出され、検査結果に影響を与える。
きはチャンバ2内に乾燥空気を送出し、チャンバ2の内
面等に水分が付着するのを防止する。なお乾燥空気送出
装置10より送出される乾燥空気の乾燥度を高くするた
め、送出される乾燥空気を加熱して高温の乾燥空気を送
出するようにしてもよい。
よびV2 が開となると排気ポンプ5によりマスタチャン
バ1およびチャンバ2内にある空気が排気される。
9の指示する圧力をI/O17を介して読込み、測定開
始準備圧力になったか否かを判定し、準備圧力になるま
で待機する。すなわち、リーク検査時の圧力(設定圧
力)に達するまでに設けられた準備圧力になるまで待機
する。
力になるとV3 およびV4 を開とし、その後V5 および
V6 を閉じるよう指示する。このように、先ずV5 およ
びV6 を開にした状態でV3 およびV4 を開にし、その
後V5 およびV6 を閉じる理由は、短時間で差圧計4の
振れを停止させるためである。
に大きな差圧があるものを入力した場合は大きく振動
し、その振動が停止するまでには長時間を要する。そこ
で、先ずV5 およびV6 を開状態として同じ圧力のもの
を入力し、次にV3 およびV4を開いても、その差圧に
よる影響は無視できるようになり、V5 およびV6 を閉
じて差圧の測定を開始させるようにしている。
るようにすることにより正確なリーク量を測定すること
ができる。すなわち、放出ガス量は、図4で説明したよ
うに、時間とともに大きく変化する。したがって、振動
が停止するまでの時間が大きく異なった場合は、放出流
量記録部11に記録されている放出流量と実際に検査物
より放出されるガス量に違いを生じ、リーク量の測定結
果に大きな誤差を生ずるが、短時間で測定可能であれば
記録されている放出流量と同じとなり、誤差が含まれな
くなる。
6では、制御部16は、圧力計9の指示する圧力が設定
圧力になったか否かを判定し、設定圧力となるまで待機
する。ステップS7では、制御部16は、V1 およびV
2 を閉じて排気を停止させると共に計時部15に指令し
て時間の計時を開始させる。
間(T)経過したとき、ステップS9に移って差圧計4
より差圧DPを取込む。ステップS10では、制御部1
6は、ステップS9で取込んだ差圧値DPが判定圧力記
録部14に記録されている判定圧力Pより小さいか否か
を判定する。
ステップS11に移って検査合格を、またNOの場合は
ステップS12に移って検査不合格を出力し、ステップ
S13に移る。
1 およびV2 を閉じてマスタチャンバ1およびチャンバ
2の排気を停止した時点においては差圧計4の差圧値D
Pは0である。排気した真空状態においては、チャンバ
2に収納された検査物3に付着している水蒸気は気化し
てチャンバ2内にガスを放出する。しかし、このガスの
放出量に対応する気体をマスタチャンバ1内に放出する
ため、検査物3にリークが無い場合は差圧値DPは0と
なる。
内に大気圧で密封されている空気がチャンバ2内に放出
され、マスタチャンバ1とチャンバ2との間に、図5に
示されるように、時間と共に差圧が大となる。そこで時
間T0 よりT時間経過したときの規格を満たすリーク量
に対応する差圧値DP=Pを判定圧力として予め判定圧
力記録部14に記録させ、DP≦Pの場合は検査合格
を、DP>Pの場合は不合格を出力するようにしてい
る。
V3 ,V4 およびV7 を閉じてステップS14に移り、
V8 を開にしてチャンバ2内に乾燥空気送出装置10よ
り乾燥空気を流し込み大気圧にする。ステップS15で
は、チャンバ2の蓋を開いて検査物3を交換する。なお
蓋が開いている間は乾燥空気送出装置10より乾燥空気
がチャンバ2内に送出される。
ると、ステップS16に移り、制御部16は、V8 を閉
じてチャンバ2内への乾燥空気の送出を停止し、ステッ
プS17に移ってV5 ,V6 およびV7 を開にすると共
にV1 およびV2 を開にして排気を開始し、以下ステッ
プS3に移り、ステップS3〜S16が繰り返される。
圧値DPを、ステップS10に移って所定値Pより小か
否かを判定し、小さい場合はステップS11に移って検
査合格を、また大きい場合はステップS12に移って検
査不合格を出力していたが、ステップS9で取込んだ差
圧値DPより、予め求めた差圧値とリーク量の測定値と
の関係、または差圧値に対するリーク量の算出式を用い
てリーク量を算出して出力するようにしてもよい。
する放出流量を1点としたが、この場合はステップS8
で設定した時間Tが小さい場合であって、Tが大の場合
は時間T内の放出流量を複数個記録させ、時間の経過と
ともに放出流量を変化させるようにしてもよい。
されている放出流量を読出して流量圧力変換部で圧力に
変換していたが、変換された圧力を記録しており、記録
されている圧力を読出してレギュレータ6を調圧するよ
うにしてもよい。
2の実施例を説明する。図6は本発明の第2の実施例の
構成図、図7および図8は第2の実施例の動作フローチ
ャートである。図6において、2は検査物3を収納する
チャンバ、5はチャンバ2内の空気を排気する排気ポン
プ、8はチャンバ1内の真空圧を測定する圧力計、10
は乾燥空気送出装置、V1 ,V2 およびV3 はバルブ、
14は判定圧力記録部、15は所定時間を計時する計時
部、16は制御部、17はインタフェース(I/O)、
18は処理を実行するプロセッサ(CPU)である。
ャンバ2に収納後、チャンバ2の蓋2aでチャンバ2を
密封する。なお2bはパッキンである。
に、第2の実施例の原理を図9を参照して説明する。バ
ルブV2 を閉じ、バルブV1 を開いてチャンバ2内の空
気を排気ポンプ5で排気すると、チャンバ2内の圧力
は、図9に示されるように、大気圧より時間tの経過と
共に低下する。
リークが無い場合は、Aで示すようにチャンバ2内の圧
力は時間と共に低下するが、検査物3にリークが有る場
合は検査物3内の空気がリークしてチャンバ2内に放出
され、Bで示すように、リークが無い場合に比べて時間
に対する圧力の低下が少なくなる。
り、予め許容されるリーク量が判明している検査物をチ
ャンバに収納して図9で示す時間対圧力の関係を求め
る。つぎに、図9のAで示すリーク無しに対して、或る
程度の圧力差が発生する所定時間T(T=T2 −T1 、
T1 :開弁時間、T2 :計測時間)と計測時間T2にお
ける圧力P2 を読取り、読取った所定時間Tを計時部1
5に設定し、また圧力P2 を判定圧力記録部14に記録
する。
ンバ2内に収納されている検査物3の外表面に付着して
いる水分等がガスとなって放出されるが、この放出され
るガスもリークに加えた判定圧力を判定圧力記録部14
に記録する。
の実施例の動作を説明する。ステップS21では、操作
者は入出力孔等に蓋をして密封された検査物3をチャン
バ2内に収納し、チャンバ2に蓋2aをかぶせて密封す
る。
動作スイッチをオンして検査開始を入力すると、制御部
16は、I/O17を介してバルブV2 を閉じてチャン
バ2内への乾燥空気の送出を停止させると共にバルブV
1 を開にして排気ポンプ5によってチャンバ2内の空気
の排気を開始させる。
ンバ2内の排気を開始させると、計時部15に指令して
時間の計時を開始させる。ステップS24では、制御部
16は、計時部15で所定時間T′の計時完了信号が出
力されるまで待機する。
計8のバルブV3 を一旦開いて後で再度閉にする。ステ
ップS26では、制御部16は、計時部15で所定時間
T″の計時完了信号が出力されるまで待機する。
ブV3 を開にする。なおステップS24〜S27でのバ
ルブV3 を開閉させる理由については後で説明する。ス
テップS28では、制御部16は、計時部15で所定時
間Tの計時完了信号が出力されるまで待機する。
O17を介して圧力計8が出力する圧力値Pを取込み、
ステップS30に移って取込んだ圧力値Pが判定圧力記
録部14に記録されている判定圧力P2 より低いか否か
を判定する。ステップS30で、圧力値Pが判定圧力P
2 より低い場合はステップS31に移って検査合格を、
また高い場合はステップS32に移って検査不合格を出
力してステップS33に移る。
ブV1 およびV3 を閉じて排気を停止させると共にバル
ブV2 を開にして乾燥空気送出装置10よりチャンバ2
内に乾燥空気を送出する。
の蓋2aを開いて検査物3を取出し、ステップS21に
移って次の検査物の検査を開始する。このようにチャン
バ2の蓋2aが開いているときは乾燥空気送出装置10
より乾燥空気をチャンバ2内に送出するため、チャンバ
2内に水分が付着することが無く、ガスが放出されず、
検査の誤判定を無くすことができる。
33でのバルブV3 を開閉させる理由を説明する。検査
が終了し、前述したステップS33でバルブV2 を開に
するとチャンバ2内の圧力は排気圧より大気圧に急激に
変化する。このためチャンバ2内の圧力を測定する圧力
計8にダメージを与える。
ルブV3 を閉じて圧力計8の圧力を検査終了時の排気圧
に保ち、バルブV3 の開は次の検査物3の検査を開始
し、リーク検査の判定を行う時間に近づいた時に開にす
る。
の圧力を示している。図10において、点線はチャンバ
2内の圧力を示し、時間T1 ,T2 およびTは図9で説
明した通りである。時間T1 でバルブV1 を開き、チャ
ンバ2内の空気の排気を開始(ステップS22)する
と、点線で示されるように圧力が低下する。
づいた時間T3 になると、バルブV 3 を開にして圧力計
8の圧力をチャンバ2内の圧力と同じにしてバルブV3
を閉じる(ステップS25)。さらに時間が経過し、時
間T2 の直前である時間T4 になるとバルブV3 を開と
し(ステップS27)、リーク検査に対処させる。
T′(=T3 −T1 )およびT″(T 4 −T1 )を予め
記録させ、ステップS24では記録されている時間T′
経過したか否かを判定させ、またステップS26では記
録されている時間T″経過したか否かを判定させてい
る。
0で示されるように、 T′<T″<T なる関係があり、これらの値は予め実験によって求め
る。
5で時間T′でバルブV3 を開にして再度閉じていた
が、ステップS24およびS25を削除してステップS
26およびS27に移り、時間T″経過したときバルブ
V3 を開にするようにしてもよい。
本発明の第3の実施例を説明する。図11は第3の実施
例の構成図、図12は第3の実施例の動作フローチャー
トである。第3の実施例の構成は、図11に示されるよ
うに、図6で説明した第2の実施例の構成の排気ポンプ
5にタンク19、圧力計9およびバルブV4 が付加され
る。
し、検査物内の圧力との間に差が生じ、検査物内の空気
がチャンバ内にリークすることにより、図9で説明した
ように、リーク有とリーク無しの場合とで圧力差が生じ
る。したがって、短時間で検査を行うには短時間でチャ
ンバ内の圧力を低下させればよい。
じてV4 を開き予めタンク19を排気ポンプで排気させ
ておき、図13に示すように、バルブV1 を時間t=T
1 で開にするとチャンバ内の圧力は大気圧よりP3 に急
激に低下する。したがって、第2の実施例に比べて、第
3の実施例ではチャンバ内の圧力を大気圧より圧力P3
に低下させるまでの時間を短縮することができる。
したとき、毎回チャンバ内の圧力がP3 となるように、
バルブV1 を開く前のタンク19の圧力を圧力計9によ
り測定して所定の圧力になるよう調整している。
の動作を説明する。第3の実施例では、第2の実施例で
説明した図7および図8のステップS21とステップS
22との間に、図12で示すステップS40が、またス
テップS22とステップS23との間にS41が挿入さ
れ、またステップS33に代えてステップS33′が実
行される。
6は、バルブV1 を閉じV4 を開にしてタンク19内の
空気を排気し、圧力計9の圧力値が所定値になったとき
ステップS22に移り、バルブV2 を閉じると共にバル
ブV1 を開いてチャンバ2内の空気を排気する。
ップS41に移り、直ちにバルブV 4 を閉じ、タンク1
9より排気を無くする。またステップS33′では、バ
ルブV1 およびV3 を閉にしてバルブV2 を開にしてチ
ャンバ2内に乾燥空気を送出すると共にバルブV4 を開
にしてタンク19内の空気の排気を開始する。
の実施例を説明する。第4の実施例の構成は図6で説明
した第2の実施例の構成と同じである。第4の実施例
は、図6で示した構成を使用し、真空放置法によってリ
ークの検査を行うようにしたものである。
T1 よりチャンバ2内の空気の排気を開始し、チャンバ
2内の圧力が所定の圧力P0 になった時間T5 で排気を
停止する。
で示されるように排気停止時の圧力P0 が保たれるが、
検査物3にリークが有ると、検査物3内の空気がリーク
してチャンバ2内に放出されるため、Bに示されるよう
に時間と共にチャンバ2内の圧力は上昇する。
所定時間T経過後の時間T6 のチャンバ2内の圧力Pが
所定値P2 より小の場合は検査合格とするものである。
したがって、判定圧力記録部14には予め判定圧力P2
を記録しておく。
トを示しており、図7および図8で説明した第2の実施
例のステップS28を削除し、ステップS27とステッ
プS29の間にステップS50〜S52が挿入され、そ
れ以外は第2の実施例で説明したと同様である。
計8の圧力値が所定値P0 になったか否かを判定し、所
定値P0 になるまで待機する。ステップS51では、制
御部16は、所定値P0 になったと判定されたときはバ
ルブV1 を閉にして排気を停止すると共に計時部15の
計時を開始させ、ステップS52に移って計時部15の
計時時間がT時間計時したか否かを判定し、T時間計時
されるまで待機する。
れたときはステップS29に移り、圧力計8の圧力値を
取込み、以後第2の実施例で説明したステップS30〜
S34およびS21〜S27が実行される。
の効果が得られる。密封した検査物をチャンバ内に収納
し、検査物より放出されるガスの放出流量に対応する値
を予め記録し、差圧測定時に記録されている放出流量に
対応する気体をマスタチャンバに放出するようにしたの
で、検査物より放出されるガスによる圧力の変化は差圧
測定値には打消されて検出されず、また、チャンバの蓋
が開のときは乾燥空気をチャンバ内に送出するようにし
たので、チャンバに水分等が付着されず、検査時の精度
を高めることができる。
ャンバ内の空気を排気させ、所定時間経過後のチャンバ
内の圧力値と予め記録されている判定圧力とを比較して
検査の合否を出力させるようにしたので、簡単な装置構
成で短時間にリーク検査を行うことができ、また、チャ
ンバの蓋が開のときは乾燥空気をチャンバ内に送出する
ようにしたので、チャンバに水分等が付着されず、検査
時の精度を高めることができる。
ャンバ内の空気を排気させ、所定圧力に達したとき排気
を停止すると共に時間の計時を開始し、所定時間経過後
のチャンバ内の圧力値と予め記録されている判定圧力と
を比較して検査の合否を出力させるようにしたので、簡
単な装置構成で短時間にリーク検査を行うことができ、
また、チャンバの蓋が開のときは乾燥空気をチャンバ内
に送出するようにしたので、チャンバに水分等が付着さ
れず、検査時の精度を高めることができる。
ある。
る。
る。
る。
る。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 マスタチャンバと入出力孔等を密封した
検査物を収納したチャンバの空気を排気した後で密封
し、該両者間の差圧の変化より前記検査物のリークを検
査するリーク検査装置において、 検査時の排気圧における前記検査物より前記チャンバ内
に放出されるガスの単位時間当たりの放出流量に対応し
た値を記録した放出流量記録部と、 前記両者の差圧測定時に、前記放出流量記録部に記録さ
れている放出流量に対応した気体を前記マスタチャンバ
に放出する気体放出手段と、 前記マスタチャンバと前記チャンバとの差圧を測定する
差圧計と、 判定圧力を記録した判定圧力記録部と、 所定時間を計時する計時部と、 乾燥空気送出部と、 前記チャンバの蓋が開時に前記乾燥空気送出部より前記
チャンバに乾燥空気を送出し、 検査時には前記乾燥空気の前記チャンバへの送出を停止
し、前記マスタチャンバおよび前記チャンバ内の空気を
排気させた後で密封すると共に前記計時部で計時を開始
させ、所定時間計時されたとき前記差圧計の差圧値と前
記判定圧力記録部に記録されている判定圧力とを比較
し、該比較した結果を出力する制御部と、 を備えたことを特徴とするリーク検査装置。 - 【請求項2】 入出力孔等を密封した検査物を収納する
チャンバと、 前記チャンバ内の真空圧を測定する圧力計と、 判定圧力を記録した判定圧力記録部と、 所定時間を計時する計時部と、 乾燥空気送出部と、 前記チャンバの蓋が開時に前記乾燥空気送出部より前記
チャンバに乾燥空気を送出し、 検査時には前記乾燥空気の前記チャンバへの送出を停止
し、前記チャンバ内の空気を排気させると共に前記計時
部で計時を開始させ、所定時間計時されたとき前記圧力
計の圧力値と前記判定圧力記録部に記録されている判定
圧とを比較し、該比較結果を出力する制御部と、 を備えたことを特徴とするリーク検査装置。 - 【請求項3】 前記チャンバ内の空気を排気する排気ポ
ンプにタンクを接続し、該タンクの真空圧が所定値にな
ったときバルブを開いてチャンバ内の空気を排気するよ
うにしたことを特徴とする請求項2記載のリーク検査装
置。 - 【請求項4】 入出力孔等を密封した検査物を収納する
チャンバと、 前記チャンバ内の真空圧を測定する圧力計と、 判定圧力を記録した判定圧力記録部と、 所定時間を計時する計時部と、 乾燥空気送出部と、 前記チャンバの蓋が開時に前記乾燥空気送出部より前記
チャンバに乾燥空気を送出し、 検査時には前記乾燥空気の前記チャンバへの送出を停止
し、前記チャンバ内の空気を所定圧力になるまで排気さ
せ、所定圧力に達したとき排気を停止させると共に前記
計時部で計時を開始させ、所定時間計時されたとき前記
圧力計の圧力値と前記判定圧力記録部に記録されている
判定圧とを比較し、該比較結果を出力する制御部と、を
備えたことを特徴とするリーク検査装置。
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