JPH1028354A - トルクセンサ付きモータ - Google Patents

トルクセンサ付きモータ

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Publication number
JPH1028354A
JPH1028354A JP8198269A JP19826996A JPH1028354A JP H1028354 A JPH1028354 A JP H1028354A JP 8198269 A JP8198269 A JP 8198269A JP 19826996 A JP19826996 A JP 19826996A JP H1028354 A JPH1028354 A JP H1028354A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating shaft
magnetostrictive
torque sensor
motor
rotor
Prior art date
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Pending
Application number
JP8198269A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuaki Ikeda
満昭 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP8198269A priority Critical patent/JPH1028354A/ja
Publication of JPH1028354A publication Critical patent/JPH1028354A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 正確なトルク検出値が得られるトルクセンサ
付きモータを提供する。 【解決手段】 回転子4を中央部に固定した回転軸3
と、回転軸3を回転子4の両側で支持する2つの軸受1
3、14と、回転軸3の表面に設けられ、回転軸3の長
さ方向に対して一定角度をなし、前記一定角度が互いに
反対方向であるとともに、回転軸3の円周方向に整列し
た複数のスリットを持ち逆磁歪効果を有する2列の磁歪
膜5A,5Bと、磁歪膜5A,5Bに空隙を介してそれ
ぞれ対向する2つの励磁・検出コイル6A,6Bとを備
えたトルクセンサ付きモータにおいて、磁歪膜5A,5
Bは2つの軸受13、14から回転子4側にそれぞれ等
距離の位置に配置してあるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁性体の逆磁歪効
果を利用した磁歪式トルクセンサを内蔵したトルクセン
サ付きモータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、磁歪式トルクセンサを内蔵したト
ルクセンサ付きモータは、例えば図3に示すように、円
筒状のフレーム1の内側に円筒状の固定子2を設け、固
定子2の内側に回転軸3に固定された回転子4を設けて
ある。フレーム1の両端面に負荷側ブラケット11と反
負荷側ブラケット12を設け、各ブラケット11、12
にはそれぞれ軸受13、14を設けてある。回転軸3は
軸受13、14に支持されている。回転子4と軸受13
との間の回転軸3の表面には、逆磁歪効果を有する磁歪
体を設けてある。この磁歪体は、回転軸3の長さ方向に
対して互いに反対方向に傾斜し、かつ回転軸3の円周方
向に整列した複数のスリットを有する2列の磁歪膜5
A、5Bから形成されている。この磁歪膜5A、5Bの
外周には、空隙を介して磁歪膜5A、5Bにそれぞれ対
向する励磁・検出コイル6A、6Bが設けられ、支持部
7によって負荷側ブラケット11に取り付けられてい
る。トルクセンサ8は、磁歪膜5A、5Bと励磁・検出
コイル6A、6Bとを前述のように構成したものであ
る。なお、一定角度で傾斜した複数のスリットを回転軸
の長さ方向に対して互いに反対方向にする理由は、回転
軸の回転方向を検出するためである。このように、磁歪
膜と励磁・検出コイルからなる逆磁歪効果を利用したト
ルクセンサの例として、回転軸の応力によって変化する
磁歪膜の透磁率の変化を2つの検出コイルのインピーダ
ンスの変化として検出し、両検出コイルの検出値の差分
値により回転軸に加わるトルクを求める磁歪式トルクセ
ンサが多く開示されている(例えば、特開平6−291
384号公報)。また、図4に示すように、前記従来例
には、トルクセンサ8の回転子4側にもトルクセンサ専
用の軸受15を設け、支持部70によって負荷側ブラケ
ット11に取り付けたものがある。この例では、2つの
軸受13、15によって回転軸3の表面に設けられた磁
歪膜5A,5Bの両側が支持され、磁歪膜5A,5Bを
設けた部分に曲げ応力が加わらないようにしてある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記図3に
示した従来技術では、回転子4によって発生する回転力
による歪みのため発生するトルクセンサの出力以外に、
回転子4のアンバランスとそれに伴う遠心力で、曲げ応
力による歪みが発生し、この歪によるトルクセンサの出
力が発生する。この曲げ応力によるトルクセンサの出力
は、2列の磁歪膜5A,5Bの位置が軸受13から異な
る距離の位置にあるため異なる出力値になり、2つの検
出値の差分値をとっても相殺されない。このため、モー
タによって回転軸4にトルクが加わっていなくても出力
が発生し、トルク値が正確に検出できないという問題が
あった。前記図4に示した従来技術では、2つの軸受1
3、15によって回転軸3の磁歪膜5A、5Bの両側を
支持し、磁歪膜5A、5Bを設けた部分に前述の曲げ応
力が加わらないようにしてあるので、トルクセンサ8か
ら曲げによる出力は発生しない。しかし、負荷側の軸受
部分の軸方向長さがほぼ2倍に大きくなるという問題が
あった。さらに、図4の構成では、ロータ4からの熱が
2つの軸受に囲まれて逃げにくく、トルクセンサ部分の
温度上昇が大きくなるとともに、2列の磁歪膜5A、5
Bの間に温度勾配が生じて、トルク検出精度が低下する
という問題があった。本発明は、回転軸に曲げ応力が加
わっても正確なトルク検出値が得られる高精度のトルク
センサ付きモータを提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、第1の発明によるトルクセンサ付きモータは、回転
子を中央部に固定した回転軸と、前記回転軸を前記回転
子の両側で支持する2つの軸受と、前記回転軸の表面に
設けられ、前記回転軸の長さ方向に対して一定角度をな
し、前記一定角度が互いに反対方向であるとともに、前
記回転軸の円周方向に整列した複数のスリットを持ち逆
磁歪効果を有する2列の磁歪体と、前記磁歪体に空隙を
介してそれぞれ対向する2つの励磁・検出コイルとを備
えたトルクセンサ付きモータにおいて、前記磁歪体は、
前記2つの軸受から前記回転子側にそれぞれ等距離の位
置に配置してあるものである。また、第2の発明による
トルクセンサ付きモータは、前記回転軸は非磁性材料か
らなり、前記磁歪体は前記回転軸の表面に膜を形成して
あるものである。 また、第3の発明によるトルクセン
サ付きモータは、前記回転軸は逆磁歪効果を有する磁性
材料からなり、前記磁歪体は前記回転軸の表面に前記ス
リットを加工することにより形成してあるものである。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
ついて説明する。図1は本発明の第1の実施例を示す側
断面図である。図に示した構成は従来例とほぼ同じであ
る。その構成は、円筒状のフレーム1の内側に円筒状の
固定子2を設け、固定子2の内側にステンレス鋼などの
非磁性材料からなる回転軸3に固定された回転子4が設
けられている。回転軸3は、フレーム1の両端面に設け
た負荷側ブラケット11と反負荷側ブラケット12に、
軸受13、14を介して支持されている。これに対し従
来例と異なる点は、逆磁歪効果を有する磁歪体として、
回転軸3の長さ方向に対して時計回りに見て互いに反対
方向に一定の角度で傾斜し、かつ回転軸3の円周方向に
整列した複数のスリットを有する磁歪膜5Aと5Bを、
回転子4の両側の軸受13と14からの距離がほぼ等し
い位置に、それぞれ真空蒸着法あるいはメッキ法などに
より形成した構成にある。すなわち、磁歪膜5Aは軸受
13の近傍の回転子4側に、磁歪膜5Bは軸受14の近
傍の回転子4側に、それぞれ中心間の距離がほぼ等しい
長さLになるように配置されている。励磁・検出コイル
6Aは、磁歪膜5Aに空隙を介して対向するように支持
部7Aによって負荷側ブラケット11に取り付けられ、
励磁・検出コイル6Bは、磁歪膜5Bに空隙を介して対
向するように支持部7Bによって反負荷側ブラケット1
2に取り付けられている。
【0006】このような構成により、回転軸3にアンバ
ランスや遠心力により曲げ応力が生じたとき、軸受13
から磁歪膜5Aと軸受14から磁歪膜5Bまでの距離が
同じ位置になるので、磁歪膜5Aと5Bには同じ曲げ応
力が発生する。そのため、磁歪膜5Aと5Bの検出値の
差分は零になる。また、モータの回転子4から磁歪膜5
A,5Bまでの距離もほとんど同じになるので、温度変
化も同様に起こり、検出値の差分値には影響しない。こ
のような曲げ応力や温度変化による影響を実験で確認す
るため、実験条件として、ステンレス製の回転軸3の表
面に、スパッタ法により厚さ5μmの90%Ni−Fe
膜を磁歪膜5A,5Bとして形成した。また、励磁コイ
ルを200ターン、検出コイルを600ターンとして励
磁・検出コイル6を形成した。このような条件下で、モ
ータを毎分1000回転まで回転し、出力変化を測定し
た結果、曲げに基づく出力は全く観察されなかった。ま
た、毎分1000回転で長時間連続運転を行ったが、温
度変化による出力変化も生じなかった。図2は、本発明
の第2の実施例を示す側断面図である。前記第1の実施
例では、磁歪体として回転軸3の表面に真空蒸着法ある
いはメッキ法などにより磁歪膜5A,5Bを形成した例
について説明したが、この場合は、マルエージング鋼か
らなる回転軸3の表面に直接、機械加工またはエッチン
グ加工により、回転軸3の長さ方向に対して時計回りに
見て互いに反対方向に一定の角度で傾斜し、かつ回転軸
3の円周方向に整列した複数のスリット50A,50B
を形成して磁歪体としたものである。第2の実施例の場
合の実験結果は、上記第1の実施例とほぼ同じ結果とな
った。
【0007】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ト
ルクセンサを構成する逆磁歪効果を有する磁歪体を、回
転軸を支持する2つの軸受から等距離の位置に配置し
て、トルクセンサ専用の軸受がなくても、曲げ応力の影
響を受けないようにしてあるので、トルクセンサの出力
は曲げの影響を受けることがなく、またモータの発熱に
よる精度低下も防ぐことができ、正確なトルク検出値が
得られるトルクセンサ付きモータを提供できる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例を示す側断面図であ
る。
【図2】 本発明の第2の実施例を示す側断面図であ
る。
【図3】 従来例を示す側断面図である。
【図4】 他の従来例を示す側断面図である。
【符号の説明】
1:フレーム、11:負荷側ブラケット、12:反負荷
側ブラケット、13、14:軸受、2:固定子、3:回
転軸、4:回転子、5A,5B:磁歪膜、50A,50
B:スリット、6A,6B:励磁・検出コイル、7A,
7B:支持部、8:トルクセンサ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転子を中央部に固定した回転軸と、前
    記回転軸を前記回転子の両側で支持する2つの軸受と、
    前記回転軸の表面に設けられ、前記回転軸の長さ方向に
    対して一定角度をなし、前記一定角度が互いに反対方向
    であるとともに、前記回転軸の円周方向に整列した複数
    のスリットを持ち逆磁歪効果を有する2列の磁歪体と、
    前記磁歪体に空隙を介してそれぞれ対向する2つの励磁
    ・検出コイルとを備えたトルクセンサ付きモータにおい
    て、前記磁歪体は、前記2つの軸受から前記回転子側に
    それぞれ等距離の位置に配置してあることを特徴とする
    トルクセンサ付きモータ。
  2. 【請求項2】 前記回転軸は非磁性材料からなり、前記
    磁歪体は前記回転軸の表面に膜を形成してある請求項1
    記載のトルクセンサ付きモータ。
  3. 【請求項3】 前記回転軸は逆磁歪効果を有する磁性材
    料からなり、前記磁歪体は前記回転軸の表面に前記スリ
    ットを加工することにより形成してある請求項1記載の
    トルクセンサ付きモータ。
JP8198269A 1996-07-08 1996-07-08 トルクセンサ付きモータ Pending JPH1028354A (ja)

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JP8198269A JPH1028354A (ja) 1996-07-08 1996-07-08 トルクセンサ付きモータ

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JP8198269A Pending JPH1028354A (ja) 1996-07-08 1996-07-08 トルクセンサ付きモータ

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Cited By (6)

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