JPH10281113A - Abnormal condition diagnostic device for actuator - Google Patents
Abnormal condition diagnostic device for actuatorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、アクチュエータの
可動部またはその被駆動体の動作状態を正常時の動作状
態と比較することにより、アクチュエータ及び被駆動体
の異常を検知する診断装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diagnostic apparatus for detecting an abnormality of an actuator and a driven body by comparing an operating state of a movable portion of the actuator or a driven body thereof with a normal operating state. is there.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のアクチュエータの診断装
置としては、可動部または被駆動体の動作開始部と動作
終了部の各々に磁気センサ又はリミットスイッチを設
け、可動部または被駆動体が各々の磁気センサを通過す
る時間差、つまり動作開始から動作終了までの時間を監
視し、正常時の時間を基準に設定していた上限時間より
も遅い、または下限時間よりも早い場合には、摺動抵抗
増大、作動流体の漏れ、流量調整弁の不良等の設備異常
と判定していた。2. Description of the Related Art Conventionally, as a diagnostic device for this type of actuator, a magnetic sensor or a limit switch is provided at each of an operation start portion and an operation end portion of a movable portion or a driven body, and each of the movable portion or the driven body is provided with a magnetic sensor or a limit switch. The time difference between passing the magnetic sensor, that is, the time from the start of operation to the end of operation, is monitored, and if it is later than the upper limit time set based on the normal time or earlier than the lower limit time, sliding It was determined that the equipment was abnormal, such as an increase in resistance, leakage of working fluid, or a defective flow control valve.
【０００３】また、上記の装置よりももっと厳密に、ア
クチュエータの動作状況を診断する装置としては、例え
ば、特開平６−２１８５１４号公報に示されるものが知
られている。これは、動作時の作動流体の単位時間当た
りの流量を、アクチュエータと作動流体動力源との間に
設置している油圧モータの単位時間当たりの回転数に変
換し、その単位時間当たりの回転数を正常時の設定値と
比較して、連続的なアクチュエータの動作が異常か否か
を判定するものである。これにより、前記の磁気センサ
を使用した動作時間監視では検出が困難であった摺動部
の局所的なカジリ等による動作状態の異常を検出してい
た。Further, as a device for diagnosing the operation status of an actuator more strictly than the above device, there is known a device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-218514, for example. It converts the flow rate of the working fluid per unit time during operation into the number of rotations per unit time of the hydraulic motor installed between the actuator and the working fluid power source, and the number of rotations per unit time. Is compared with a set value in a normal state to determine whether or not continuous operation of the actuator is abnormal. As a result, an abnormality in the operation state due to local galling or the like of the sliding portion, which has been difficult to detect by operation time monitoring using the magnetic sensor, has been detected.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の装置
においては、単位時間当たりの流量を検出するものであ
るため、流量調整弁を使用し、それを絞り込んで使用し
ていた場合、アクチュエータ内部のロッド折損等による
負荷断絶の異常があっても、単位時間当たりの流量は流
速調整弁の流速に律則されるので、単位時間当たりの流
量は正常時と変化がなく、異常を検出できない。However, in the above-mentioned device, since the flow rate per unit time is detected, if a flow control valve is used and the flow control valve is narrowed down and used, the inside of the actuator is not provided. Even if there is an abnormality in load disconnection due to rod breakage or the like, the flow rate per unit time is governed by the flow rate of the flow rate adjusting valve.
【０００５】更に、作動流体に空気のような圧縮性流体
を使用したアクチュエータにおいては、摺動部の局所的
なカジリ等の異常があった場合、作動流体が圧縮性であ
るため、一時的に圧力が変化するだけで、単位時間当た
りの流量では検出できない。Further, in an actuator using a compressive fluid such as air as the working fluid, if there is an abnormality such as local galling of the sliding portion, the working fluid is compressible. It can not be detected by the flow rate per unit time only because the pressure changes.
【０００６】その結果、アクチュエータ及び被駆動体の
早期の異常検出が不可能となり、生産損失に繋がる重大
故障を伴う。As a result, early detection of abnormalities in the actuator and the driven body becomes impossible, resulting in a serious failure that leads to a production loss.
【０００７】本発明は、作動流体を問わず、流量調整弁
等を使用したアクチュエータの異常も検出可能とした診
断装置を提供することを、その技術的な課題とするもの
である。An object of the present invention is to provide a diagnostic apparatus capable of detecting an abnormality of an actuator using a flow control valve or the like regardless of a working fluid.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るために講じた技術的手段は、下記の通りである。The technical means taken to solve the above technical problems are as follows.
【０００９】（１）アクチュエータの動作指令からの時
間を計測する手段とアクチュエータの可動部またはその
被駆動体の移動変位を検出する変位計と、前記変位計の
出力に基づいて移動変位をアクチュエータの移動速度に
変換する計算手段と、前記計算手段によって演算したア
クチュエータの移動速度と前記計測手段によって計測し
た動作指令からの経過時間、移動時間と予め設定した前
記可動部または被駆動体が正常に動作している際の移動
速度及び動作指令からの経過時間とを比較して前記可動
部の動作状態が正常か否かを判定する異常判定手段とを
備えたことを特徴とするアクチュエータ及び被駆動体の
異常診断装置である。(1) Means for measuring the time from the operation command of the actuator, a displacement meter for detecting the movement displacement of the movable portion of the actuator or its driven body, and the displacement of the actuator based on the output of the displacement meter. Calculating means for converting to the moving speed, the moving time of the actuator calculated by the calculating means and the elapsed time from the operation command measured by the measuring means, the moving time, and the preset movable part or driven body operate normally. An actuator and a driven body, comprising: abnormality determining means for comparing a moving speed at the time of movement and an elapsed time from an operation command to determine whether or not the operation state of the movable portion is normal. Abnormality diagnosis device.
【００１０】（２）アクチュエータの動作指令からの経
過時間を計測する手段とアクチュエータの可動部または
その被駆動体の移動速度を検出する速度計と、前記速度
計で検出した移動速度及び、前記計測手段により計測し
た動作指令信号からの経過時間と予め設定した前記可動
部または被駆動体が正常に動作している際の移動速度及
び、前記計測手段により計測した動作指令信号からの経
過時間とを比較して前記可動部の動作状態が正常か否か
を判定する異常判定手段とを備えたことを特徴とするア
クチュエータ及び被駆動体の異常診断装置である。(2) Means for measuring the elapsed time from the operation command of the actuator, a speedometer for detecting the moving speed of the movable portion of the actuator or its driven body, the moving speed detected by the speedometer, and the measurement The elapsed time from the operation command signal measured by the means, the predetermined moving speed when the movable part or the driven body is operating normally, and the elapsed time from the operation command signal measured by the measuring means. An abnormality diagnosing device for an actuator and a driven body, comprising: an abnormality determining unit that determines whether the operation state of the movable unit is normal or not.
【００１１】アクチュエータ及び被駆動体の可動部に何
らかの軽微な異常が発生した際、摺動抵抗が増大し、可
動部の動作開始が遅れたり、定常速度が遅くなったり、
定常動作時に脈動が生じたり、ストローク時間が長くな
ったりする。When any minor abnormality occurs in the movable part of the actuator and the driven body, the sliding resistance increases, the operation start of the movable part is delayed, and the steady speed is reduced.
Pulsation occurs during a steady operation, or the stroke time becomes longer.
【００１２】それらの項目を管理値として、傾向管理
し、正常時の値と比較することにより、異常か否かを判
定するものである。また、動作状況の全体的な診断とし
て、正常時の速度パターンを基準にある一定変化すると
警報を出力することもできる。[0012] These items are used as management values to manage the tendency, and are compared with normal values to determine whether or not there is an abnormality. Also, as an overall diagnosis of the operating condition, an alarm can be output when a certain constant change is made based on the normal speed pattern.
【００１３】このように本発明の異常診断装置を設ける
ことにより、アクチュエータまたはその被駆動体の可動
部において、何らかの異常が発生する前にその兆候を確
実に検出できる。その結果、従来のように、流量調整弁
を使用した油圧回路において、アクチュエータ内部のロ
ッド折損等の負荷断絶の異常があったにも係わらず、正
常であると判定することは回避できる。By providing the abnormality diagnosis apparatus of the present invention as described above, it is possible to reliably detect a sign of an abnormality before the occurrence of any abnormality in the movable portion of the actuator or its driven body. As a result, it is possible to avoid determining that the hydraulic circuit using the flow rate control valve is normal in spite of the abnormality of the load disconnection such as the broken rod in the actuator as in the related art.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、実施例の
図面に従って説明する。Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
【００１５】図１に本発明の実施例（第１実施例）を示
す。この異常診断装置は、アクチュエータ１の可動部２
またはその被駆動体３の移動変位を測定する変位計４
と、その移動変位を移動速度に変換する速度変換器５
と、予め設定した前記可動部２または被駆動体３が正常
に動作している際の移動速度及び移動時間と前記速度変
換器５によって得た移動速度とを比較してアクチュエー
タ１及び被駆動体３の動作状態が正常か否かを判定する
異常判定装置６を配置して構成される。FIG. 1 shows an embodiment (first embodiment) of the present invention. This abnormality diagnosis device includes a movable portion 2 of an actuator 1.
Or a displacement meter 4 for measuring the displacement of the driven body 3
And a speed converter 5 for converting the moving displacement into a moving speed.
The moving speed and the moving time when the movable unit 2 or the driven body 3 is operating normally and the moving speed obtained by the speed converter 5 are compared with each other. An abnormality determination device 6 for determining whether or not the operation state of the device 3 is normal is arranged and configured.
【００１６】アクチュエータ１の作動指令が出される
と、アクチュエータ１はポンプ等の動力源より供給され
る作動流体の圧力をピストンに受け、それに接続されて
いるロッドを介し、被駆動体３に連結した可動部２を駆
動する。When an operation command for the actuator 1 is issued, the actuator 1 receives the pressure of the working fluid supplied from a power source such as a pump on the piston, and is connected to the driven body 3 via a rod connected thereto. The movable part 2 is driven.
【００１７】アクチュエータ１の作動指令が出されてか
らの経過時間を測定すると共に、アクチュエータ１の可
動部２が動作した際の移動変位を、可動部２または被駆
動体３の変位を測定する変位計４で検出し、その移動変
位と指令が出されてからの経過時間とを速度変換器５で
移動速度に変換する。The elapsed time from when the operation command of the actuator 1 is issued is measured, and the movement displacement when the movable part 2 of the actuator 1 operates is measured by the displacement for measuring the displacement of the movable part 2 or the driven body 3. The moving displacement and the elapsed time from the issuance of the command are converted by a speed converter 5 into a moving speed.
【００１８】異常判定装置６にて、その移動速度と予め
設定した前記可動部２または被駆動体３が正常に動作し
ている際の動作指令が出されてからの経過時間と移動速
度とを比較してアクチュエータ１の動作状態が正常か否
かをアクチュエータ１の延び時と収縮時との動作指令毎
で判定する。The abnormality determining device 6 determines the moving speed and the time elapsed and the moving speed after a preset operation command is issued when the movable part 2 or the driven body 3 is operating normally. In comparison, it is determined whether the operation state of the actuator 1 is normal or not for each operation command when the actuator 1 is extended and contracted.
【００１９】図２は、異常判定装置６における異常判定
方法を示す概念グラフである。実線で示した正常に動作
している際の動作指令が出されてからの経過時間と移動
速度の関係に対して、予め動作指令が出されてからの経
過時間あるいは移動速度の個別に、時間に応じた許容移
動速度のいづれか一方あるいは双方に許容値を設け、す
なわち、経過時間あるいは移動速度のいづれか一方ある
いは双方の上限、下限を設定し、この上限及び下限を越
えた場合、この経過時間に応じた許容移動速度を一部で
も超過した場合、異常と判断し異常判断装置が警報を出
力し、注意を喚起する。この判定法は、管理値の設定が
困難な異常を総合的に判定できる。FIG. 2 is a conceptual graph showing an abnormality determination method in the abnormality determination device 6. The relationship between the time elapsed since the operation command was issued during normal operation and the moving speed, as indicated by the solid line, and the moving speed was compared with the time elapsed since the operation command was issued or the moving speed separately. An allowable value is provided for one or both of the allowable moving speeds according to the above, that is, the upper limit and the lower limit of either or both of the elapsed time and the moving speed are set. If any of the permissible moving speeds exceeds the corresponding allowable moving speed, it is determined that there is an abnormality, and the abnormality determination device outputs a warning and calls attention. This determination method can comprehensively determine an abnormality for which it is difficult to set a management value.
【００２０】尚、正常値と上限値、下限値の間に注意値
を設け、この設定値を越える場合にも注意を喚起するよ
うにしてもよい。Note that a caution value may be provided between the normal value and the upper limit value and the lower limit value, and a caution may be issued even when the set value is exceeded.
【００２１】図３は、異常判定装置６における異常判定
方法を示す概念グラフである。FIG. 3 is a conceptual graph showing an abnormality determination method in the abnormality determination device 6.
【００２２】正常に動作している際に予め設定している
指令が出されてからの経過時間と移動速度の関係を太点
線で示し、異常が発生した場合の動作指令が出されてか
らの経過時間との移動速度の関係の例を太実線で示す。The relationship between the elapsed time from the issuance of a preset command during normal operation and the moving speed is indicated by a bold dotted line, and the operation after the issuance of an operation command when an abnormality occurs is indicated. An example of the relationship between the elapsed time and the moving speed is indicated by a thick solid line.
【００２３】この方法では判定項目を、正常時と異常時
の動作指令が出されてからの経過時間と移動速度の関係
の差を数値で表し、動作指令から実際に可動部２が動き
だすまでの時間を動作遅れ時間ｔ1、可働部２が動きだ
して定常速度になるまでの時間を立ち上がり時間ｔ2、
可動部が動きだして停止するまでの時間をストローク時
間ｔ3、可動部が定常速度で動いている間の平均値を平
均定常速度Ｓａ、可動部が定常速度で動いている間の最
大値と最小値の差を定常速度脈動値Ｓｂとしている。In this method, the judgment item is represented by a numerical value representing the difference between the relationship between the elapsed time from the issuance of the operation command in the normal state and the operation command in the abnormal state and the moving speed. The time is the operation delay time t 1 , and the time from when the movable part 2 starts to move to the steady speed is the rise time t 2 ,
The time required for the movable part to start moving and stop is the stroke time t 3 , the average value while the movable part is moving at the steady speed is the average stationary speed Sa, and the maximum value and the minimum while the movable part is moving at the steady speed. The difference between the values is defined as a steady speed pulsation value Sb.
【００２４】すなわち、動作遅れ時間ｔ1は、動作指令
から、移動速度が予想される正常時の定常時の移動速度
の１割程度に設定している立上り速度値ＶLを越えるま
での時間、立上り時間ｔ2は、移動速度が前記ＶLを越
え、予め正常時の定常時の移動速度より若干低めに設定
している速度値ＶHに到達するまでの時間、ストローク
時間ｔ3は、移動速度が前記ＶLを越え再びＶLを下回る
までの時間、定常時の平均速度Ｓａは、移動速度が前記
ＶHを初めて越えてから最後にＶHを下回るまでの時間に
おける平均移動速度、定常時速度脈動値Ｓｂは、移動速
度が前記ＶHを初めて越えてから最後にＶHを下回るまで
の時間における移動速度の最大値と最小値の差として、
異常判定装置６で計算される。That is, the operation delay time t 1 is the time from the operation command until the moving speed exceeds the rising speed value VL which is set to about 10% of the expected normal moving speed at normal time. The rise time t 2 is a time until the moving speed exceeds the VL and reaches a speed value V H which is set slightly lower than a normal moving speed in a normal state in advance, and the stroke time t 3 is a moving time. time to speed falls below again V L exceeds the V L, the average speed Sa in a steady state, the average travel speed in time from the moving speed exceeds the first time the V H to below the end V H, constant The constant speed pulsation value Sb is a difference between the maximum value and the minimum value of the moving speed in the time from when the moving speed first exceeds the VH to when the moving speed finally falls below the VH .
It is calculated by the abnormality determination device 6.
【００２５】前記のｔ1〜ｔ3、Ｓａ、Ｓｂの各々につい
て上限あるいは下限のいづれか又は双方の限界値を予め
設定し、正常値と限界値の間に好ましくは注意値を設定
しておき、異常管理項目のいづれかが注意値または限界
値を超過した場合、異常と判断して、例えば「動作遅れ
時間ｔ1注意」のように警報を出力し、喚起させる。For each of the above-mentioned t 1 to t 3 , Sa and Sb, one or both of the upper and lower limit values are set in advance, and a caution value is preferably set between the normal value and the limit value. If either abnormal management item exceeds a note value or limit value, it is determined that abnormality, outputs alarm as example of the "operation delay time t 1 CAUTION" evoke.
【００２６】これにより、設備に異常が発生したかどう
かを随時把握することができる。Thus, it is possible to determine at any time whether an abnormality has occurred in the equipment.
【００２７】上限管理の場合は上限値が注意値よりも大
きく、下限管理の場合は下限値が注意値よりも小さくな
るように設定しておく。In the case of the upper limit management, the upper limit is set to be larger than the caution value, and in the case of the lower limit management, the lower limit is set to be smaller than the caution value.
【００２８】この判定法は、経過時間に区分を設け、時
間区分に応じた移動速度を設定するか、或いは速度区分
を設けて、それに到達するための時間を設定し、各管理
値ｔ1〜ｔ3、Ｓａ、Ｓｂについて、それぞれ許容上限、
許容下限を設け、それぞれの許容限界を越えた場合に異
常と判断することによって、どの段階で異常が発生して
いるかを図２の判定法よりも的確に把握することがで
き、その発生頻度を管理することにより、設備の劣化に
ついても判断することが可能となる。In this determination method, a section is provided for the elapsed time and a moving speed is set according to the time section, or a speed section is provided and a time for reaching the section is set, and each of the management values t 1 to t 1 is set. For t 3 , Sa and Sb, respectively, the allowable upper limit,
By setting a permissible lower limit and judging an abnormality when the permissible limit is exceeded, it is possible to grasp at which stage the abnormality has occurred more accurately than the determination method of FIG. By managing, it is possible to determine the deterioration of the equipment.
【００２９】尚、本判定方法は、図２の判定する方法と
兼用しても構わない。This determination method may be used in combination with the determination method shown in FIG.
【００３０】次に図４に本発明の他の実施例（第２実施
例）を示す。この異常診断装置は、アクチュエータ１の
可動部２または被駆動体３の移動速度を測定する速度計
７と、予め設定した前記可動部２または被駆動体３が正
常に動作している際の移動速度と前記速度計７の移動速
度とを比較してアクチュエータ１及び被駆動体３の動作
状態が正常か否かを判定する異常判定装置６を配置して
構成される。FIG. 4 shows another embodiment (second embodiment) of the present invention. This abnormality diagnosis device includes a speedometer 7 for measuring a moving speed of the movable part 2 or the driven body 3 of the actuator 1 and a movement when the movable part 2 or the driven body 3 is operating normally. An abnormality determination device 6 is arranged to compare the speed with the moving speed of the speedometer 7 to determine whether the operation states of the actuator 1 and the driven body 3 are normal.
【００３１】本実施例は、動作指令が出されてからの経
過時間を測定すると共に、可動部２またはそれに連結し
た被駆動体３が動作した際の移動速度を、可動部２また
は被駆動体２の速度を測定する速度計７で検出する。In the present embodiment, the elapsed time from when the operation command is issued is measured, and the moving speed when the movable part 2 or the driven body 3 connected to the movable part 2 operates is measured. The speed is detected by a speedometer 7 that measures the speed of the second.
【００３２】異常判定装置６での判定方法は、実施例１
と同様に行えばよい。The determination method in the abnormality determination device 6 is described in the first embodiment.
What should be done in the same way.
【００３３】尚、本発明においては、第１実施例、第２
実施例に限定されることなく、例えば、変位計には、超
音波変位計、レーザ変位計、マグネスケール、アクチュ
エータ内蔵変位計、速度計には、ＰＬＧ、ドップラ速度
計を使用してもよい。In the present invention, the first embodiment, the second embodiment
Without being limited to the embodiment, for example, an ultrasonic displacement meter, a laser displacement meter, a magnescale, a displacement meter with a built-in actuator, and a speedometer may be a PLG or a Doppler speedometer as the displacement meter.
【００３４】[0034]
【発明の効果】アクチュエータ及びその被駆動体におい
て、何らかの異常が発生する前にその兆候を確実に検出
できる。その結果、従来のように、流量調整弁を使用し
た油圧回路において、アクチュエータ内部のロッド折損
等の負荷断絶の異常があったにも係わらず、正常である
と判定することは決してない。According to the present invention, it is possible to reliably detect a sign of the actuator and its driven body before any abnormality occurs. As a result, in the hydraulic circuit using the flow control valve as in the related art, it is never determined that the hydraulic circuit is normal in spite of the abnormality of the load disconnection such as the broken rod inside the actuator.
【図１】本発明に関わるアクチュエータの異常判定装置
と変位計と速度変換器をコイル台車の油圧シリンダの装
着した例（第１実施例）の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an example (first embodiment) in which an actuator abnormality determination device, a displacement meter, and a speed converter according to the present invention are mounted on a hydraulic cylinder of a coil carriage.
【図２】アクチュエータの異常診断を速度パターンで検
出することを示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing that abnormality diagnosis of an actuator is detected by a speed pattern.
【図３】アクチュエータの異常管理項目を示すグラフで
ある。FIG. 3 is a graph showing an abnormality management item of an actuator.
【図４】本発明に関わるアクチュエータの異常判定装置
と速度計をコイル台車の油圧シリンダの装着した例（第
２実施例）の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of an example (second embodiment) in which an actuator abnormality determination device and a speedometer according to the present invention are mounted on a hydraulic cylinder of a coil truck.
１ アクチュエータ ２ 可動部 ３ 被駆動体 ４ 変位計 ５ 速度変換器 ６ 異常判定装置 ７ 速度計 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator 2 Movable part 3 Driven object 4 Displacement meter 5 Speed converter 6 Abnormality judging device 7 Speedometer
Claims (2)
計測する手段とアクチュエータの可動部またはその被駆
動体の移動変位を検出する変位計と、前記変位計の出力
に基づいて移動変位をアクチュエータの移動速度に変換
する計算手段と、前記計算手段によって演算したアクチ
ュエータの移動速度と前記計測手段によって計測した動
作指令からの経過時間、移動時間と予め設定した前記可
動部または被駆動体が正常に動作している際の移動速度
及び動作指令からの経過時間とを比較して前記可動部の
動作状態が正常か否かを判定する異常判定手段とを備え
たことを特徴とするアクチュエータ及び被駆動体の異常
診断装置。1. A means for measuring time from an operation command of an actuator, a displacement meter for detecting a movement displacement of a movable portion of the actuator or a driven body thereof, and a movement displacement of the actuator based on an output of the displacement meter. The calculating means for converting to speed, the moving time of the actuator calculated by the calculating means and the elapsed time from the operation command measured by the measuring means, the moving time and the preset movable part or driven body operate normally. Abnormality determining means for comparing the moving speed at the time of operation with the elapsed time from the operation command to determine whether the operation state of the movable portion is normal or not. Abnormal diagnostic device.
間を計測する手段とアクチュエータの可動部またはその
被駆動体の移動速度を検出する速度計と、前記速度計で
検出した移動速度及び、前記計測手段により計測した動
作指令信号からの経過時間と予め設定した前記可動部ま
たは被駆動体が正常に動作している際の移動速度及び、
前記計測手段により計測した動作指令信号からの経過時
間とを比較して前記可動部の動作状態が正常か否かを判
定する異常判定手段とを備えたことを特徴とするアクチ
ュエータ及び被駆動体の異常診断装置。2. A means for measuring an elapsed time from an operation command of an actuator, a speedometer for detecting a moving speed of a movable portion of the actuator or a driven body thereof, a moving speed detected by the speedometer, and the measuring means. The moving time when the movable portion or the driven body is normally operating and the elapsed time from the operation command signal measured by
Abnormality determining means for comparing the elapsed time from the operation command signal measured by the measuring means to determine whether or not the operating state of the movable section is normal, and Abnormal diagnostic device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9790297A JPH10281113A (en) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | Abnormal condition diagnostic device for actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9790297A JPH10281113A (en) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | Abnormal condition diagnostic device for actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10281113A true JPH10281113A (en) | 1998-10-20 |
Family
ID=14204671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9790297A Withdrawn JPH10281113A (en) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | Abnormal condition diagnostic device for actuator |
Country Status (1)
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|---|---|
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