JPH1027820A - 異方性導電体貼付装置及び異方性導電体貼付方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 異方性導電体を精度よく圧着できる異方性導
電体貼付装置を提供する。 【解決手段】 走行路の下流に配置され供給リール１４
からくり出されたテープ３をガイド体２０，２１に沿っ
て送る送りローラ２２と、走行路の途中に配置されテー
プに張力を付与する張力発生部と、張力発生部よりも下
流に配置され異方性導電体４を所定長さに切断するカッ
タ１７と、切断部とテープ送り部との間に配置されテー
プの他方の面を吸着して保持した状態でワークに前進し
てこのテープの一方の面にある異方性導電体４をワーク
に圧着する圧着ツール１９と、圧着ツールに保持される
異方性導電体がワークに着地するときに予めテープ送り
部を駆動してテープの戻し動作を行う制御部とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、異方性導電体貼付
装置及び異方性導電体貼付方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルなどのワークに電子部品を実
装する工法において、異方性導電体をワークに貼付ける
異方性導電体貼付装置が用いられる。この異方性導電体
貼付装置のうちには、ワークの長さとほぼ等しい異方性
導電体を一括して貼付けるものと、電子部品の１個分又
は数個分の長さに短く切断された異方性導電体をワーク
の１辺に対して複数回くり返し貼付けるものとがある。

【０００３】後者のタイプの異方性導電体貼付装置を例
に従来技術の問題点を図１２を参照しながら説明する。

【０００４】図１２において、１は基板であり、この長
さよりも短い異方性導電体が貼付けられるべきワークに
相当する。２は圧着ツールであって、一方の面に所定長
さに切断された異方性導電体４が貼着けられたテープ３
を、矢印Ｎ１方向に下降して基板１に貼付けるものであ
る。そして、圧着ツール２によって所定長さに切断され
た異方性導電体４が貼付けられる際、異方性導電体４が
水平な姿勢となるように、圧着ツール２の両側部には、
テープ３を水平に保持するガイド体５，６が設けてあ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで実は、このタ
イプの異方性導電体貼付装置によると、図１２（ａ）に
示すように、圧着ツール２とガイド体５，６を常に水平
に位置させ、一体的に下降させることはできない。なぜ
ならこのような構成を採用すると、ガイド体５，６が基
板１に衝突して基板１が損傷を受けてしまうからであ
る。因みに、基板１は通常ガラス等の傷付きやすい材料
で構成されているため、ガイド体５，６が直に接触する
ようなことは避けなければならないのである。

【０００６】このため、必然的に図１２（ｂ）に示すよ
うに、ガイド体５，６を基板１から高さＨだけ浮かせて
おき、鎖線で示すように、圧着ツール２のみを下降させ
て貼付けを行うことになる。ところが、このようにする
と、所定長さに切断された異方性導電体４は、貼付け前
（実線参照）に圧着ツール２に対して位置決めされてお
り、テープ３はガイド体５側で拘束されているので、圧
着ツール２が下降したときずれΔＬが発生してしまう。

【０００７】このように、従来の異方性導電体貼付装置
では、貼付けられる異方性導電体が位置ずれしてしまう
という問題点があった。そこで本発明は、異方性導電体
の位置ずれを防止できる異方性導電体貼付装置を提供す
ることを第１の目的とする。

【０００８】また従来の異方性導電体貼付装置では、異
方性導電体の貼付け専用の異方性導電体貼付装置と貼付
け結果を検査する検査装置を別体に構成し、異方性導電
体貼付装置ですべての貼付けが完了した後検査装置で検
査を行っていた。

【０００９】しかしながら、このような構成によると、
２つの装置を独立して用意し施設規模が大きくなるだけ
でなく、ワークを位置決めする時間が、貼付時と検査時
とで二重にかかってしまうことになり、ロスタイムが多
いという問題点もあった。そこで本発明は、コンパクト
で短時間に貼付けと検査とを完了できる異方性導電体貼
付装置を提供することを第２の目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の異方性導電体貼
付装置は、第１の目的を達成するため、テープを供給す
る供給リールと、テープの走行路に配置されたガイド体
と、走行路の下流に配置され供給リールからくり出され
たテープをガイド体に沿って送るテープ送り部と、走行
路の途中に配置されテープに張力を付与する張力発生部
と、張力発生部よりも下流に配置され異方性導電体を所
定長さに切断する切断部と、切断部とテープ送り部との
間に配置されテープの他方の面を吸着して保持した状態
でワークに前進してこのテープの一方の面にある異方性
導電体をワークに圧着する圧着ツールと、圧着ツールに
保持される異方性導電体がワークに着地した際異方性導
電体がワーク上で所定の位置となるようにテープ送り部
を駆動してテープの位置を補正する制御部とを備えてい
る。

【００１１】また第２の目的を達成するため、走行路に
沿ってテープを送るテープ送り部と、走行路上のテープ
の他方の面側に配置された圧着ツールと、圧着ツールを
ワークに対して進退させて異方性導電体をワークへ貼付
ける進退機構と、異方性導電体を貼付けて圧着ツールが
後退した直後にテープとワークとの間に進入して貼付け
の成否を検知する検出手段を備えている。

【００１２】

【発明の実施の形態】請求項１記載の異方性導電体貼付
装置は、テープを供給する供給リールと、テープの走行
路に配置されたガイド体と、走行路の下流に配置され供
給リールからくり出されたテープをガイド体に沿って送
るテープ送り部と、走行路の途中に配置されテープに張
力を付与する張力発生部と、張力発生部よりも下流に配
置され異方性導電体を所定長さに切断する切断部と、切
断部とテープ送り部との間に配置されテープの他方の面
を吸着して保持した状態でワークに前進してこのテープ
の一方の面にある異方性導電体をワークに圧着する圧着
ツールと、圧着ツールに保持される異方性導電体がワー
クに着地した際異方性導電体がワーク上で所定の位置と
なるようにテープ送り部を駆動してテープの位置を補正
する制御部とを備えている。したがって、圧着ツールの
前進に伴うずれを解消して、貼付動作の位置精度を高く
保持することができる。

【００１３】また請求項３記載の異方性導電体貼付装置
は、走行路に沿ってテープを送るテープ送り部と、走行
路上のテープの他方の面側に配置された圧着ツールと、
圧着ツールをワークに対して進退させて異方性導電体を
ワークへ貼付ける進退機構と、異方性導電体を貼付けて
圧着ツールが後退した直後にテープとワークとの間に進
入して貼付けの成否を検知する検出手段を備えている。
したがって、異方性導電体の貼付けと並行して検査を行
うことができ、検査装置専用のスペースを確保する必要
がなくまた検査のためだけにワークを位置決めする時間
を節約できる。

【００１４】次に図面を参照しながら、本発明の実施の
形態を説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけ
る異方性導電体貼付装置の斜視図である。図１におい
て、７は基台であり、基台７上には基板１０の下面中央
部を保持する基板ホルダ９と、基板ホルダ９をＸＹθ方
向自在に移動させる基板位置決めテーブル８が設けられ
ている。したがって、基板位置決めテーブル８を駆動す
ると、基板１０を自在に位置決めできる。

【００１５】また、１２は基板１０の下面縁部を下受け
する下受台、１３は基台７の後部に立設される支持台で
あって、支持台１３の前面には、異方性導電体４の供給
手段と供給された異方性導電体４を基板１０に貼付ける
装着ヘッド部１８とが設けられている。

【００１６】供給手段のうち、１４は一方の面に異方性
導電体４が貼着されたテープ３を巻回する供給リール、
１５は供給リール１４からテープ３をくり出す引出ロー
ラ、１６は引出されたテープ３をＵ字状になるように内
部に吸引することで、テープ３に張力を付与する張力発
生部としての吸引体である。また、支持台１３の前面に
は、テープ３を案内するガイド体２９，３０，２０，２
１が所定位置に配置されており、テープ３の走行路が規
定されている。

【００１７】１７はテープ３の一方の面に貼着された異
方性導電体４を所定長さごとに切断する切断部としての
カッタ、２２はテープ３を上述の走行路に沿って送るテ
ープ送り部としての送りローラ、２３は送りローラ２２
からテープ３を巻取る回収部としての巻取リールであ
る。そして、圧着ツール１９の下方において、所定長さ
に切断された異方性導電体４はガイド体２０，２１に案
内されることで水平に保持されており、従来の技術の項
で述べたように、これらのガイド体２０，２１は、ワー
クとしての基板１０に直接触れないように、基板から一
定の高さＨだけ上方に浮かせてある。また２４は、所定
長さに切断された異方性導電体４の貼着直後に基板１０
に貼付けられた異方性導電体４からテープ３を剥がすテ
ープ剥離部である。

【００１８】次に、図２〜図４を参照しながら、さらに
構造を詳述する。図２に示すように、供給手段における
引出ローラ１５は第１のモータ２５により駆動されてお
り、吸引体１６は、透明な樹脂から構成され、その形状
は上端部が開口し縦長の深い箱状となっている。そし
て、吸引体１６の下端部には、吸引ユニット２６が接続
され、吸引体１６内から空気を引き込むことで、テープ
３を吸引体１６内でＵ字状にたわませテープ３に張力を
付与するようになっている。また、吸引体１６の側部に
は、上方に第１のセンサ２７が、下方に第２のセンサ２
８が配設されている。そして、第１のセンサ２７がテー
プ３を検出しなくなると、テープ切れ等の異常があると
解釈される。また第２のセンサ２８がテープ３を検出す
ると、テープ３が最大長さだけ吸引体１６内に引き込ま
れていると解釈して引出ローラ１５によるテープ３の繰
り出しを停止するようになっている。また、カッタ１７
よりもやや下流側には、第３のセンサ３１が配置され、
異方性導電体４の有無をチェックしている。この第３の
センサ３１が、異方性導電体４が無いことを検知する
と、テープ３の終端部に達したものと解釈される。

【００１９】また、３４は送りローラ２２を駆動する第
２のモータ、３５は送りローラ２２と対面しスプリング
３６で付勢されてテープ３を挟持する付勢ローラ、３７
は後述する伝動系３８を介して巻取リール２３を駆動す
る第３のモータである。

【００２０】次に、圧着ヘッド部１８には、圧着ツール
１９と、圧着ツール１９をロッド３３によって昇降（即
ち、基板１０に対して進退）させる進退機構としてのシ
リンダ３２が設けてある。また、圧着ツール１９には、
異方性導電体４を加熱するためにヒータＨが内蔵されて
おり、テープ３を吸着するために図外の吸引装置に接続
される吸引路１９ａが形成されている。この吸引路１９
ａは、圧着ツール１９の下面に開口している。

【００２１】そして、テープ剥離部２４は、ブロック４
１を水平に突没させるシリンダなどの駆動部４０と、ブ
ロック４１の先端部に回転自在に軸支されるローラ４２
を備える。またブロック４１の上部には、異方性導電体
４の有無を検知する検知手段としての異方性導電体検知
センサ４３が装着されている。したがって、テープ３を
基板１０に貼付けられた異方性導電体４から剥離するた
めに、ローラ４２を移動させると、それと共に異方性導
電体検知センサ４３が一体的に移動する。このように、
本形態の異方性導電体貼付装置では、検出手段と剥離手
段とが、一体的に移動するように構成されている。

【００２２】そして、図３に示すように、第１のセンサ
２７、第２のセンサ２８、第３のセンサ３１及び異方性
導電体検出センサ４３の出力は、制御部４４に入力され
ており、上述した各解釈は全て制御部４４が行う。ま
た、第１のモータ２５、第２のモータ３４及び第３のモ
ータ３７も全て制御部４４にコントロールされ、何らか
の異常が発生したときは、報知部４５を用いて作業者に
異常が通知される。制御部４４は、各モータ２５，３
４，３７をコントロールしているが、そのうちでも重要
なのは、圧着ツール１９に保持される所定長さに切断さ
れた異方性導電体４が基板１０に着地した際、所定長さ
に切断された異方性導電体４が基板１０上で所定の位置
になるように、第２のモータ３４を制御する点、より詳
しくは、圧着ツール１９の前進直前に、上述したずれΔ
Ｌをキャンセルするようにテープ３の戻し動作を行う点
である。

【００２３】次に、図４を参照しながら、伝動系３８の
詳細を説明する。図４において、４７は支持台１３に装
着された軸受４６により回転自在に軸支された第１のシ
ャフトであり、第１のシャフト４７の左端部には巻取リ
ール２３のボス部が軸着され、右端部には磁性体からな
る円板４７ａが設けられている。また４８は、第３のモ
ータ３７の回転力が、プーリ４９、タイミングベルト５
０及びプーリ５１を介して付与される第２のシャフトで
ある。ここで、第３のモータ３７は制御部４４によって
常時駆動されている。

【００２４】そして、第１のシャフト４７と第２のシャ
フト４８との間には、すべりクラッチ５２が介装され
る。即ち、第１のシャフト４７は、すべりクラッチ５２
のハウジング５３に設けられた軸受５４により、ハウジ
ング５３の左側に回転自在に軸支されており、ハウジン
グ５３の右側には、第２のシャフト４８に軸着された円
板状のマグネット５５が設けてある。そして円板４７ａ
とマグネット５５は、隙間が開いた状態で同軸的に対面
している。

【００２５】したがって、第１のシャフト４７の円板４
７ａは、マグネット５５に吸引されており、第２のシャ
フト４８が回転すると、マグネット５５の吸引力によっ
て、通常第１のシャフト４７は第２のシャフト４８と同
一の回転速度で回転し、巻取リール２３も同様に回転す
る。

【００２６】しかし、送りローラ２２が停止してテープ
３がピンと張っている場合のように、第１のシャフト４
７の回転に対する負荷が大きくなると、マグネット５５
の吸引力が負けて第２のシャフト４８と第１のシャフト
４７とに回転差が発生する。即ち、すべりクラッチ５２
を介装したことで、第３のモータ３７を常時駆動すると
いう簡単な制御を採用しても、巻取リール２３に巻取ら
れるテープ３に過大な張力が作用しないようにすること
ができる。

【００２７】次に、図５〜図１１を参照しながら、本形
態の異方性導電体貼付方法の各過程を説明する。まず、
図５に示すように、異方性導電体４の切断を行う。この
とき、シリンダ３２のロッド３３は引き込まれており、
圧着ツール１９の下面は、ガイド体２０，２１とほぼ同
じ高さにあり、圧着ツール１９は吸引路１９ａによって
テープ３の他方の面を吸着している。したがって、圧着
ツール１９の下方のテープ３は水平な姿勢をとる。そし
て、矢印Ｍ１で示すように、カッタ１７を作動させ、所
定長さごとに異方性導電体４を切断する。なお、図５に
示すように、カッタ１７が作動する前の状態では、既
に、カッタ１７の位置よりも下流側で、２枚の異方性導
電体４ｘ，４ｙが切断され、最前列の異方性導電体４ｘ
が圧着ツール１９の真下にあるように、送りローラ２２
で送られて位置決めされている。このとき圧着ツール１
９は、ヒータＨの発熱によって高温になっており、異方
性導電体４ｘは予め加熱されている。

【００２８】次に、図６に示すように、矢印Ｎ２で示す
ように、送りローラ２２を逆転させ、圧着ツール１９と
送りローラ２２との間のテープ３を、上述したずれΔＬ
だけたるませる（矢印Ｍ３）。

【００２９】そして、図７に示すように、シリンダ３２
を駆動して、圧着ツール１９を基板１０側へ前進させ、
異方性導電体４ｘを熱と圧力で基板に仮付けする（矢印
Ｍ４）。このとき、圧着ツール１９の上流側のテープ３
は吸引体１６による張力で吸引体１６側へ引張られてい
るが圧着ツール１９による吸引力（保持力）のほうが張
力より強いので圧着ツール１９の下降に伴って矢印Ｍ６
で示すようにΔＬだけ移動する。また下流側のテープ３
はすでに送りローラ２２の戻し動作によって圧着ツール
１９の下流にΔＬだけたるませているので圧着ツール１
９が下降しても矢印Ｍ５で示すよう引張られることがな
い。従って圧着ツール１９に吸着・保持されている部分
のテープ３に過大な張力が作用してこの部分のテープ３
を圧着ツール１９に対してずらしてしまうことがなくな
り、異方性導電体４ｘが基板１０に着地する際には、図
５のように、異方性導電体４ｘは圧着ツール１９に対し
て位置決めされたときと同じ位置関係となる。即ち、予
めΔずれＬ分だけ逆方向に戻しておくことで、従来の技
術の項で述べたずれΔＬをキャンセルし、圧着ツール１
９が下降するときにこの圧着ツール１９に吸着されてい
るテープ３がずれないようにしたものである。

【００３０】この圧着が済んだら、図８に示すように、
圧着ツール１９をガイド体２０，２１とほぼ同じ高さま
で後退させる。それと同時に、第２のモータ３４を停止
させ、送りローラ２２と付勢ローラ３５でテープ３の下
流側をクランプしておき、駆動部４０を作動させ、矢印
Ｍ８で示すように、ローラ４２を用いてテープ３のみを
下流側に押し込む。一方、異方性導電体４ｘは基板１０
に圧着されているから、ローラ４２が圧着ツール１９の
下部を通過すると、ローラ４２の移動によって基板１０
に圧着された異方性導電体４ｘからテープ３がきれいに
剥がされることになる（図９）。

【００３１】そしてこのとき、ブロック４１は圧着ツー
ル１９の下面の真下に位置する。このとき、図１０に示
すように、ブロック４１に設けられた異方性導電体検出
センサ４３で真上のテープ３を検査する。この検査の結
果、テープ３に異方性導電体４ｘが検出されなければ圧
着が成功したものと解釈し、異方性導電体４ｘが検出さ
れれば圧着が失敗し動作に異常があったものと解釈され
る。なお、圧着の成否を検査するため、センサ４３をブ
ロック４１に上下逆向きに取り付け基板１０をセンサ４
３で検査し、基板１０上に異方性導電体４ｘが存在すれ
ば正常、なければ異常と解釈してもよい。ここで、図
９、図１０に示す状態では、圧着ツール１９でテープ３
の他方の面を吸着しておく。また、吸引体１６の張力に
よりテープ３の上流側は、基板１０上の異方性導電体４
ｘから剥がされた直後に矢印Ｍ９で示すように距離２・
ΔＬだけ上流側へ移動する。

【００３２】次に図１１に示すように、次に圧着動作へ
の準備を行う。即ち、ブロック４１及びローラ４２を引
き込ませると共に、送りローラ２２を矢印Ｍ１０で示す
ように、正方向へ回転させてテープ３を下流側へ送る。
このときの送り量は、異方性導電体４ｘ（４ｙ）の長さ
をＬとするとＬ＋ΔＬである。これにより、次回の異方
性導電体４ｙが圧着ツール１９に対して位置決めされ
る。また、基板位置決めテーブル８を駆動して、矢印Ｍ
１１で示すように、次の異方性導電体４ｙを圧着すべき
箇所が圧着ツール１９の真下になるように、基板１０を
移動させる。これで、図５に示した位置関係となり、以
上の動作をくり返すことで次々に異方性導電体４を基板
１０に圧着することができる。

【００３３】

【発明の効果】本発明の異方性導電体貼付装置は、テー
プを供給する供給リールと、テープの走行路に配置され
たガイド体と、走行路の下流に配置され供給リールから
くり出されたテープをガイド体に沿って送るテープ送り
部と、走行路の途中に配置されテープに張力を付与する
張力発生部と、張力発生部よりも下流に配置され異方性
導電体を所定長さに切断する切断部と、切断部とテープ
送り部との間に配置されテープの他方の面を吸着して保
持した状態でワークに前進してこのテープの一方の面に
ある異方性導電体をワークに圧着する圧着ツールと、圧
着ツールに保持される異方性導電体がワークに着地した
際異方性導電体がワーク上で所定の位置となるようにテ
ープ送り部を駆動してテープの位置を補正する制御部と
を備えているので、異方性導電体のずれを解消して貼付
位置精度を向上できる。

【００３４】また、走行路に沿ってテープを送るテープ
送り部と、走行路上のテープの他方の面側に配置された
圧着ツールと、圧着ツールをワークに対して進退させて
異方性導電体をワークへ貼付ける進退機構と、異方性導
電体を貼付けて圧着ツールが後退した直後にテープとワ
ークとの間に進入して貼付けの成否を検知する検出手段
を備えることにより、タクトタイムを短縮もでき貼付直
後の検査を実施して貼付動作の信頼性を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付装置の斜視図

【図２】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付装置の正面図

【図３】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付装置のブロック図

【図４】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付装置の伝動系の断面図

【図５】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付方法の工程説明図

【図６】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付方法の工程説明図

【図７】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付方法の工程説明図

【図８】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付方法の工程説明図

【図９】本発明の一実施の形態における異方性導電体貼
付方法の工程説明図

【図１０】本発明の一実施の形態における異方性導電体
貼付方法の工程説明図

【図１１】本発明の一実施の形態における異方性導電体
貼付方法の工程説明図

【図１２】（ａ）従来の異方性導電体貼付装置の動作説
明図 （ｂ）従来の異方性導電体貼付装置の動作説明図

【符号の説明】

３ テープ ４ 異方性導電体 １４ 供給リール １７ カッタ １９ 圧着ツール ２０，２１ ガイド体 ２２ 送りローラ ４４ 制御部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】テープの一方の面に貼着された異方性導電
   体をワークに貼付ける異方性導電体貼付装置であって、
   テープを供給する供給リールと、テープの走行路に配置
   されたガイド体と、前記走行路の下流に配置され前記供
   給リールからくり出されたテープを前記ガイド体に沿っ
   て送るテープ送り部と、前記走行路の途中に配置されテ
   ープに張力を付与する張力発生部と、前記張力発生部よ
   りも下流に配置され異方性導電体を所定長さに切断する
   切断部と、前記切断部と前記テープ送り部との間に配置
   されテープの他方の面を吸着して保持した状態でワーク
   に前進してこのテープの一方の面にある異方性導電体を
   ワークに圧着する圧着ツールと、前記圧着ツールに保持
   される異方性導電体がワークに着地した際に前記圧着ツ
   ールに保持されたテープがこの圧着ツールに対して位置
   ずれしないように予め前記テープ送り部を駆動してテー
   プの戻し動作を行う制御部とを備えたことを特徴とする
   異方性導電体貼付装置。
2. 【請求項２】テープの一方の面に貼着され、所定長さに
   切断された異方性導電体を、ワークに貼付ける異方性導
   電体貼付方法であって、テープ送り部でテープを送って
   所定長さに切断された異方性導電体をこのテープ送り部
   よりもテープ送り方向における上流側で且つテープの他
   方の面側に位置する圧着ツールに対して位置決めする工
   程と、前記圧着ツールでテープを吸着して保持する工程
   と、前記テープ送り部でテープを逆方向に送ってテープ
   をこのテープ送り部と前記圧着ツールの間に所定量戻す
   工程と、前記圧着ツールをワークへ向けて前進させてテ
   ープの一方の面にある所定長さに切断された異方性導電
   体をワークに貼付ける工程と、前記圧着ツールを後退さ
   せワークに貼付けられた異方性導電体からテープを剥が
   す工程を含むことを特徴とする異方性導電体貼付方法。
3. 【請求項３】テープの一方の面に貼着された異方性導電
   体をワークに貼付ける異方性導電体貼付装置であって、
   走行路に沿ってテープを送るテープ送り部と、前記走行
   路上のテープの他方の面側に配置された圧着ツールと、
   前記圧着ツールをワークに対して進退させて異方性導電
   体をワークへ貼付ける進退機構と、異方性導電体を貼付
   けて前記圧着ツールが後退した直後にテープとワークと
   の間に進入して貼付けの成否を検知する検出手段を備え
   たことを特徴とする異方性導電体貼付装置。
4. 【請求項４】前記検出手段は、テープの一方の面もしく
   はワーク上の異方性導電体の有無を検出することを特徴
   とする請求項３記載の異方性導電体貼付装置。
5. 【請求項５】前記検出手段は、ワークに貼付けられた異
   方性導電体からテープを剥がす剥離手段と一体的に移動
   することを特徴とする請求項３記載の異方性導電体貼付
   装置。
6. 【請求項６】テープの一方の面に貼着され、所定長さに
   切断された異方性導電体をワークに貼付ける異方性導電
   体貼付方法であって、テープを送って所定長さに切断さ
   れた異方性導電体をテープの他方の面側に位置する圧着
   ツールに対して位置決めする工程と、前記圧着ツールを
   ワークに向かって前進させ所定長さに切断された異方性
   導電体をワークに貼付ける工程と、前記圧着ツールを後
   退させワークに貼付けられた異方性導電体からテープを
   剥がす工程と、剥がされたテープとワークの間に検出手
   段を進入させ貼付けの成否を検知する工程とを含むこと
   を特徴とする異方性導電体貼付方法。