JPH10277894A - ウエハの加工方法及び平面研削盤及び研削工具 - Google Patents
ウエハの加工方法及び平面研削盤及び研削工具Info
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- JPH10277894A JPH10277894A JP10277297A JP10277297A JPH10277894A JP H10277894 A JPH10277894 A JP H10277894A JP 10277297 A JP10277297 A JP 10277297A JP 10277297 A JP10277297 A JP 10277297A JP H10277894 A JPH10277894 A JP H10277894A
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- grinding
- grindstone
- wafer
- work
- tool
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハの研削加工の際のウエハの支持を研削
工具で行う。 【解決手段】 ワーク17中心をカップ砥石3が通過
し、ワークは一定位置で回転送りを与えられる。カップ
砥石3の研削作用面以外のワーク表面に接触する接触部
材4,5を砥石3の内外に一体的に設けた。研削工具だ
けでワークが支持されワークがたわまない。
工具で行う。 【解決手段】 ワーク17中心をカップ砥石3が通過
し、ワークは一定位置で回転送りを与えられる。カップ
砥石3の研削作用面以外のワーク表面に接触する接触部
材4,5を砥石3の内外に一体的に設けた。研削工具だ
けでワークが支持されワークがたわまない。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体に使用さ
れる硬質な薄板状のウエハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する加工方法及びその加工方法に用いられる平
面研削盤及び研削工具に関するものである。
れる硬質な薄板状のウエハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する加工方法及びその加工方法に用いられる平
面研削盤及び研削工具に関するものである。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】インゴットから切断し
たウエハは面粗度、形状精度共に粗である。そこでイン
ゴットから切断後のウエハをラップ仕上を行うと非常に
時間がかかり加工能率がよくない。またウエハの片面研
削においては、真空チャックでワークの片面を吸着する
ためインゴットから片面研削後のウエハの形状は吸着中
は平面であるが、真空チャックからワークを外すと形状
は元に戻り反る傾向にある。
たウエハは面粗度、形状精度共に粗である。そこでイン
ゴットから切断後のウエハをラップ仕上を行うと非常に
時間がかかり加工能率がよくない。またウエハの片面研
削においては、真空チャックでワークの片面を吸着する
ためインゴットから片面研削後のウエハの形状は吸着中
は平面であるが、真空チャックからワークを外すと形状
は元に戻り反る傾向にある。
【0003】上述のラップ加工による加工能率及び加工
精度の向上を計るために試みられる研削によるウエハの
加工によれば、短かい加工時間で所要の面精度が得られ
る。しかし乍らウエハのチャッキングを真空チャックに
よる限り、形状精度は得られない。
精度の向上を計るために試みられる研削によるウエハの
加工によれば、短かい加工時間で所要の面精度が得られ
る。しかし乍らウエハのチャッキングを真空チャックに
よる限り、形状精度は得られない。
【0004】本発明は上述従来の技術を更に発展させた
ものであり、短時間で面精度と形状精度が得られるシリ
コンウエハーの加工方法及びその加工方法に用いられる
平面研削盤及び研削工具を提供することを目的とする。
ものであり、短時間で面精度と形状精度が得られるシリ
コンウエハーの加工方法及びその加工方法に用いられる
平面研削盤及び研削工具を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本出願に係る第1の発明
はインゴットから切断後のウエハの加工方法において、
カップ形の砥石とこの砥石外周側又は及び内周側に砥石
の研削作用面と同一平面で砥石と同一中心の円環状ワー
ク接触部とを有する工具を対向させて砥石端面で研削を
行う両頭平面研削盤を準備して、前記工具の円環状ワー
ク接触部をウエハに接触し、ウエハを回転させると共に
前記工具を回転しウエハの両面に作用させて前記円環状
ワーク接触部でウエハを支持して前記砥石で研削を行う
ことを特徴とするウエハの加工方法である。
はインゴットから切断後のウエハの加工方法において、
カップ形の砥石とこの砥石外周側又は及び内周側に砥石
の研削作用面と同一平面で砥石と同一中心の円環状ワー
ク接触部とを有する工具を対向させて砥石端面で研削を
行う両頭平面研削盤を準備して、前記工具の円環状ワー
ク接触部をウエハに接触し、ウエハを回転させると共に
前記工具を回転しウエハの両面に作用させて前記円環状
ワーク接触部でウエハを支持して前記砥石で研削を行う
ことを特徴とするウエハの加工方法である。
【0006】本出願に係る第2の発明は前記砥石は共に
研削作用のある砥石を用いて両面を同時に研削すること
を特徴とする第1の発明に記載のウエハの加工方法であ
る。
研削作用のある砥石を用いて両面を同時に研削すること
を特徴とする第1の発明に記載のウエハの加工方法であ
る。
【0007】本出願に係る第3の発明は前記砥石の内一
方は研削作用のある砥石を用いると共に他方の砥石は研
削作用が前記研削作用のある砥石に比較して研削作用の
小さい砥石を用いることを特徴とする第1の発明に記載
のウエハの加工方法である。
方は研削作用のある砥石を用いると共に他方の砥石は研
削作用が前記研削作用のある砥石に比較して研削作用の
小さい砥石を用いることを特徴とする第1の発明に記載
のウエハの加工方法である。
【0008】本出願に係る第4の発明は前記ウエハはウ
エハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハの
切欠部に係合するワーク駆動部を有する貫通穴を有し、
ウエハより薄い薄片の回転板とともに回転して研削され
ることを特徴とする第1から第3の発明の何れか1つに
記載のウエハの加工方法である。
エハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハの
切欠部に係合するワーク駆動部を有する貫通穴を有し、
ウエハより薄い薄片の回転板とともに回転して研削され
ることを特徴とする第1から第3の発明の何れか1つに
記載のウエハの加工方法である。
【0009】本出願に係る第5の発明はウエハの中心に
砥石の研削作用面が重なるように加工することを特徴と
する第1から第4の発明の何れか1つに記載のウエハの
加工方法である。
砥石の研削作用面が重なるように加工することを特徴と
する第1から第4の発明の何れか1つに記載のウエハの
加工方法である。
【0010】本出願に係る第6の発明は砥石端面を対向
して配設され、砥石端面で薄板のワークの板面を加工す
る両頭平面研削盤において、円環状の端面を研削作用面
とする回転砥石と、前記回転砥石の外周側又は及び内周
側に環状に設けられ、前記砥石の研削作用面と同一平面
上にあるワーク接触面を有するワーク接触部材と、前記
砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材と、
を有する研削工具を備えたことを特徴とする両頭平面研
削盤である。
して配設され、砥石端面で薄板のワークの板面を加工す
る両頭平面研削盤において、円環状の端面を研削作用面
とする回転砥石と、前記回転砥石の外周側又は及び内周
側に環状に設けられ、前記砥石の研削作用面と同一平面
上にあるワーク接触面を有するワーク接触部材と、前記
砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材と、
を有する研削工具を備えたことを特徴とする両頭平面研
削盤である。
【0011】本出願に係る第7の発明はインゴットから
切断後のウエハの加工方法において、カップ形の砥石と
この砥石の外周側又は及び内周側に研削作用面と同一平
面で砥石と同一中心の円環状ワーク接触部とを有する工
具を有し砥石端面で研削を行う単頭平面研削盤を準備し
て、前記工具の円環状ワーク接触部をウエハに接触した
状態で、ウエハを回転させると共に前記工具を回転しウ
エハの片面に作用させて前記円環状ワーク接触部をウエ
ハに接触して前記砥石で研削を行うことを特徴とするウ
エハの加工方法である。
切断後のウエハの加工方法において、カップ形の砥石と
この砥石の外周側又は及び内周側に研削作用面と同一平
面で砥石と同一中心の円環状ワーク接触部とを有する工
具を有し砥石端面で研削を行う単頭平面研削盤を準備し
て、前記工具の円環状ワーク接触部をウエハに接触した
状態で、ウエハを回転させると共に前記工具を回転しウ
エハの片面に作用させて前記円環状ワーク接触部をウエ
ハに接触して前記砥石で研削を行うことを特徴とするウ
エハの加工方法である。
【0012】本出願に係る第8の発明は前記ウエハはウ
エハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハの
切欠部に係合するワーク駆動部を有する穴を有する回転
板とともに回転して研削されることを特徴とする第7の
発明に記載のウエハの加工方法である。
エハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハの
切欠部に係合するワーク駆動部を有する穴を有する回転
板とともに回転して研削されることを特徴とする第7の
発明に記載のウエハの加工方法である。
【0013】本出願に係る第9の発明はウエハの中心に
砥石の研削作用面が重なるように加工することを特徴と
する第7又は第8の発明に記載のウエハの加工方法であ
る。
砥石の研削作用面が重なるように加工することを特徴と
する第7又は第8の発明に記載のウエハの加工方法であ
る。
【0014】本出願に係る第10の発明は前記回転板の
穴を有底としてウエハを支持することを特徴とする第8
の発明に記載のウエハの加工方法である。
穴を有底としてウエハを支持することを特徴とする第8
の発明に記載のウエハの加工方法である。
【0015】本出願に係る第11の発明は砥石端面で薄
板のワークの板面を加工する単頭平面研削盤において、
円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、前記回転
砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けられ、前記砥
石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接触面を有す
るワーク接触部材と、前記砥石とワーク接触部材を一体
的に保持する保持部材と、を有する研削工具を備えたこ
とを特徴とする単頭平面研削盤である。
板のワークの板面を加工する単頭平面研削盤において、
円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、前記回転
砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けられ、前記砥
石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接触面を有す
るワーク接触部材と、前記砥石とワーク接触部材を一体
的に保持する保持部材と、を有する研削工具を備えたこ
とを特徴とする単頭平面研削盤である。
【0016】本出願に係る第12の発明は円板形のワー
クを回転し、ワークの表面を研削加工する研削工具にお
いて、円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、前
記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けられ、
前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接触面
を有するワーク接触部材と、前記砥石とワーク接触部材
を一体的に保持する保持部材と、を有することを特徴と
する研削工具である。
クを回転し、ワークの表面を研削加工する研削工具にお
いて、円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、前
記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けられ、
前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接触面
を有するワーク接触部材と、前記砥石とワーク接触部材
を一体的に保持する保持部材と、を有することを特徴と
する研削工具である。
【0017】本出願に係る第13の発明は前記回転砥石
は円環状のダイヤモンド砥石でありワーク接触部材はダ
イヤモンドを除く砥粒を用いた円環状の砥石であること
を特徴とする第12の発明に記載の研削工具である。
は円環状のダイヤモンド砥石でありワーク接触部材はダ
イヤモンドを除く砥粒を用いた円環状の砥石であること
を特徴とする第12の発明に記載の研削工具である。
【0018】本出願に係る第14の発明は前記ワーク接
触部材はワークに作用して回転砥石がワークを研削する
能力よりも研削能力が小さく、工具摩耗が回転砥石より
も大である砥石であることを特徴とする第12の発明に
記載の研削工具である。
触部材はワークに作用して回転砥石がワークを研削する
能力よりも研削能力が小さく、工具摩耗が回転砥石より
も大である砥石であることを特徴とする第12の発明に
記載の研削工具である。
【0019】本出願に係る第15の発明は前記ワーク接
触部材は潤滑性を有する材質であることを特徴とする第
12から第14の発明の何れか1つに記載の研削工具で
ある。
触部材は潤滑性を有する材質であることを特徴とする第
12から第14の発明の何れか1つに記載の研削工具で
ある。
【0020】本出願に係る第16の発明は前記回転砥石
はワークを研削する能力を有する砥粒を有し、前記ワー
ク接触部材はワークに接触してワークを摩耗させること
がなくワークにより摩耗させられる材質であることを特
徴とする第12に記載の研削工具である。
はワークを研削する能力を有する砥粒を有し、前記ワー
ク接触部材はワークに接触してワークを摩耗させること
がなくワークにより摩耗させられる材質であることを特
徴とする第12に記載の研削工具である。
【0021】本出願に係る第17の発明は前記研削工具
は円板形の鉄製台座端面に回転砥石として砥粒を結合剤
で固着すると共にワーク接触部材を同台座端面に固着し
たものである第12から第16の発明の何れか1つに記
載の研削工具である。
は円板形の鉄製台座端面に回転砥石として砥粒を結合剤
で固着すると共にワーク接触部材を同台座端面に固着し
たものである第12から第16の発明の何れか1つに記
載の研削工具である。
【0022】
【従来の技術】シリコンウエハなどのウエハはインゴッ
トをインナソー又はワイヤソーで切断後、ラップ盤で研
磨仕上を行っている。
トをインナソー又はワイヤソーで切断後、ラップ盤で研
磨仕上を行っている。
【0023】一方ウエハを研削により仕上げることが例
えば実登3028734号公報、機械と工具、1995
年7月号第60頁から第64頁、砥粒加工学会誌Vo
l.39No.4 1995.JUL.第20頁から第
23頁等に開示されている。
えば実登3028734号公報、機械と工具、1995
年7月号第60頁から第64頁、砥粒加工学会誌Vo
l.39No.4 1995.JUL.第20頁から第
23頁等に開示されている。
【0024】
【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態
を、図1〜図11に基づいて詳細に説明する。
を、図1〜図11に基づいて詳細に説明する。
【0025】(実施の形態1)図1〜図4に示すよう
に、この実施の形態の両頭平面研削盤は下部フレーム1
1を備え、その下部フレーム11上には上部フレーム1
11が固定されている。下部フレーム11には下部砥石
回転昇降機構12及びワーク支持部材14が装設され、
上部フレーム111には上部砥石回転昇降機構13が装
設されている。両砥石回転昇降機構12,13には夫々
上下部回転砥石15,16が配設され、それらの回転砥
石15,16の上部または下部端面の研削作用面15
a,16aが互いに平行となるように対向配置されてい
る。そして、薄板状のワーク17がワーク支持部材14
に支持された状態で、両砥石回転昇降機構12,13の
回転砥石15,16間に挿入配置され、それらの回転砥
石15,16の研削作用面15a,16aにより、ワー
ク17の両面が同時に研削されるようになっている。
に、この実施の形態の両頭平面研削盤は下部フレーム1
1を備え、その下部フレーム11上には上部フレーム1
11が固定されている。下部フレーム11には下部砥石
回転昇降機構12及びワーク支持部材14が装設され、
上部フレーム111には上部砥石回転昇降機構13が装
設されている。両砥石回転昇降機構12,13には夫々
上下部回転砥石15,16が配設され、それらの回転砥
石15,16の上部または下部端面の研削作用面15
a,16aが互いに平行となるように対向配置されてい
る。そして、薄板状のワーク17がワーク支持部材14
に支持された状態で、両砥石回転昇降機構12,13の
回転砥石15,16間に挿入配置され、それらの回転砥
石15,16の研削作用面15a,16aにより、ワー
ク17の両面が同時に研削されるようになっている。
【0026】図2及び図3に示すように、前記下部砥石
回転昇降機構12の砥石台20は下部フレーム11上に
いわゆるV平のガイド21を介して、下部回転砥石15
の回転軸線と直交する方向へ移動可能に支持されてい
る。下部砥石台移動用モータ22は下部フレーム11の
側部に配設され、このモータ22の回転により、砥石台
20に固定したボールナット23aにねじ込まれたボー
ルねじ23を介して砥石台20が水平横方向に移動す
る。下部軸支筒24は砥石台20と一体に設けられた上
下方向のガイド24aを介して下部回転砥石15の回転
軸線方向へ昇降可能に支持されている。下部砥石台昇降
用モータ25は砥石台20の下部においてガイド部24
aの側部に配設され、このモータ25の回転により、ウ
ォームとウォームホイールで構成される回転伝達機構2
6及び下部軸支筒24に固定されたブラケット24bに
固定された図示されないボールナットにねじ込まれたボ
ールねじ27を介してガイド部24aに案内されて下部
軸支筒24が昇降される。なお、この昇降ストロークは
わずかである。
回転昇降機構12の砥石台20は下部フレーム11上に
いわゆるV平のガイド21を介して、下部回転砥石15
の回転軸線と直交する方向へ移動可能に支持されてい
る。下部砥石台移動用モータ22は下部フレーム11の
側部に配設され、このモータ22の回転により、砥石台
20に固定したボールナット23aにねじ込まれたボー
ルねじ23を介して砥石台20が水平横方向に移動す
る。下部軸支筒24は砥石台20と一体に設けられた上
下方向のガイド24aを介して下部回転砥石15の回転
軸線方向へ昇降可能に支持されている。下部砥石台昇降
用モータ25は砥石台20の下部においてガイド部24
aの側部に配設され、このモータ25の回転により、ウ
ォームとウォームホイールで構成される回転伝達機構2
6及び下部軸支筒24に固定されたブラケット24bに
固定された図示されないボールナットにねじ込まれたボ
ールねじ27を介してガイド部24aに案内されて下部
軸支筒24が昇降される。なお、この昇降ストロークは
わずかである。
【0027】下部砥石軸28は下部軸支筒24内に回転
自在に支持され、その上端に一体的に形成された砥石ホ
ルダ29を介して下部回転砥石15が装着されている。
自在に支持され、その上端に一体的に形成された砥石ホ
ルダ29を介して下部回転砥石15が装着されている。
【0028】砥石駆動モータ34は下部軸支筒24の内
部に配設され、そのステータは下部軸支筒24に嵌入固
定され、そのロータは下部砥石軸28に嵌入固定され研
削加工に際しては、このモータ34の回転により下部砥
石軸28を介して下部回転砥石15が高速回転する。
部に配設され、そのステータは下部軸支筒24に嵌入固
定され、そのロータは下部砥石軸28に嵌入固定され研
削加工に際しては、このモータ34の回転により下部砥
石軸28を介して下部回転砥石15が高速回転する。
【0029】図3に示すように、前記上部砥石回転昇降
機構13の上部軸支筒38は上部フレーム111と一体
のガイド39を介して、下部回転砥石16の回転軸線方
向へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ40は上
部フレーム111の側部に配設され、このモータ40の
回転により、上部軸支筒38に固定されたブラケット3
8aに嵌入固定されたボールナット41aにねじ込まれ
たボールねじ41を介して上部軸支筒38が昇降され
る。
機構13の上部軸支筒38は上部フレーム111と一体
のガイド39を介して、下部回転砥石16の回転軸線方
向へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ40は上
部フレーム111の側部に配設され、このモータ40の
回転により、上部軸支筒38に固定されたブラケット3
8aに嵌入固定されたボールナット41aにねじ込まれ
たボールねじ41を介して上部軸支筒38が昇降され
る。
【0030】上部砥石軸42は前記上部軸支筒38内に
回転可能に支持され、その下端には一体的に形成された
砥石ホルダ43を介して上部回転砥石16が装着されて
いる。砥石駆動モータ48は上部軸支筒38の内部に配
設され、そのステータは上部軸支筒38に嵌入固定さ
れ、そのロータは上部砥石軸42に嵌入固定され研削加
工に際して、このモータ48の回転により、上部砥石軸
42を介して上部回転砥石16が高速回転する。
回転可能に支持され、その下端には一体的に形成された
砥石ホルダ43を介して上部回転砥石16が装着されて
いる。砥石駆動モータ48は上部軸支筒38の内部に配
設され、そのステータは上部軸支筒38に嵌入固定さ
れ、そのロータは上部砥石軸42に嵌入固定され研削加
工に際して、このモータ48の回転により、上部砥石軸
42を介して上部回転砥石16が高速回転する。
【0031】図2、図4に示すように、前記ワーク支持
部材14の支持台52は上下部の両砥石回転昇降機構1
2,13間において、下部フレーム11上に配設されて
いる。スライドテーブル53は支持台52上の下部回転
砥石15の両側に配設された一対のガイドレール54を
介して、下部砥石回転昇降機構12の砥石台20の移動
方向と同方向へ移動可能に支持されている。図4に示す
ようにスライドテーブル移動用モータ55は支持台52
上に配設され、このモータ55の回転により、このモー
タ55のモータ軸に連結されたボールねじ56がスライ
ドテーブル53に固定されたボールナット56aにねじ
込まれていてスライドテーブル53が移動可能となって
いる。
部材14の支持台52は上下部の両砥石回転昇降機構1
2,13間において、下部フレーム11上に配設されて
いる。スライドテーブル53は支持台52上の下部回転
砥石15の両側に配設された一対のガイドレール54を
介して、下部砥石回転昇降機構12の砥石台20の移動
方向と同方向へ移動可能に支持されている。図4に示す
ようにスライドテーブル移動用モータ55は支持台52
上に配設され、このモータ55の回転により、このモー
タ55のモータ軸に連結されたボールねじ56がスライ
ドテーブル53に固定されたボールナット56aにねじ
込まれていてスライドテーブル53が移動可能となって
いる。
【0032】円環状の回転板57は前記スライドテーブ
ル53内に配され、スライドテーブル53に回転自在に
支持される3個のガイドローラ58を介して回転可能に
支持されている(図5参照)。回転板57は円環状の肉
厚の外周枠57aにワーク支持板60を装着してある。
外周枠57aの下部外周にはギヤ59が形成されてい
る。ワーク支持板60はワーク17より薄く形成され、
外周枠57aの下面にその重力で撓んで変形しないよう
に図示しないテンション機構を介して、水平に張設さ
れ、その中心にはワーク17を着脱可能にセットするた
めのセット穴60aが形成されている。このセット穴6
0aはワーク17が遊嵌する直径を有する。回転板回転
用モータ61はスライドテーブル53上に配設され、こ
のモータ61のモータ軸には回転板57のギヤ59に噛
合するギヤ62が固定されている。そして、このモータ
61の回転により、ギヤ62,59を介して回転板57
が回転する。上記外周枠57aの内径は回転板57に対
してオフセットして降下してくる上部回転砥石16がワ
ーク支持板60へ接近し得る直径を有する。
ル53内に配され、スライドテーブル53に回転自在に
支持される3個のガイドローラ58を介して回転可能に
支持されている(図5参照)。回転板57は円環状の肉
厚の外周枠57aにワーク支持板60を装着してある。
外周枠57aの下部外周にはギヤ59が形成されてい
る。ワーク支持板60はワーク17より薄く形成され、
外周枠57aの下面にその重力で撓んで変形しないよう
に図示しないテンション機構を介して、水平に張設さ
れ、その中心にはワーク17を着脱可能にセットするた
めのセット穴60aが形成されている。このセット穴6
0aはワーク17が遊嵌する直径を有する。回転板回転
用モータ61はスライドテーブル53上に配設され、こ
のモータ61のモータ軸には回転板57のギヤ59に噛
合するギヤ62が固定されている。そして、このモータ
61の回転により、ギヤ62,59を介して回転板57
が回転する。上記外周枠57aの内径は回転板57に対
してオフセットして降下してくる上部回転砥石16がワ
ーク支持板60へ接近し得る直径を有する。
【0033】図4に示すように上記ワーク支持板60の
セット穴60aにはインゴットから切断された未研削の
ウエハであるワーク17の結晶方位の基準となるノッチ
やオリフラ(オリエンテーションフラット)等の切欠部
17aに係合するように内周側へ向って突出するワーク
駆動部60bが設けてある。このワーク17の切欠部1
7aの形状は本実施の形態のようなV溝状のノッチ又は
ワーク外周の円弧を切るオリフラを縁とした形状であ
り、前記駆動部60bはワークの切欠部17aをほぼ補
完する形状としてある。ただし、ワーク17の切欠部1
7aは結晶方位を知るための位置以外にワーク17を駆
動するためにワーク17に別に設けてもよい。
セット穴60aにはインゴットから切断された未研削の
ウエハであるワーク17の結晶方位の基準となるノッチ
やオリフラ(オリエンテーションフラット)等の切欠部
17aに係合するように内周側へ向って突出するワーク
駆動部60bが設けてある。このワーク17の切欠部1
7aの形状は本実施の形態のようなV溝状のノッチ又は
ワーク外周の円弧を切るオリフラを縁とした形状であ
り、前記駆動部60bはワークの切欠部17aをほぼ補
完する形状としてある。ただし、ワーク17の切欠部1
7aは結晶方位を知るための位置以外にワーク17を駆
動するためにワーク17に別に設けてもよい。
【0034】上述のワークセット穴60aは本例では円
であるが、円に限らずワーク17の位置が定まる形状で
あればよいので例えば、ワーク17の外周を等配した少
なくとも3個所において、ワーク17の外周に接するよ
うにしてもよい。
であるが、円に限らずワーク17の位置が定まる形状で
あればよいので例えば、ワーク17の外周を等配した少
なくとも3個所において、ワーク17の外周に接するよ
うにしてもよい。
【0035】次に、前記のように構成された両頭平面研
削盤の動作を説明する。
削盤の動作を説明する。
【0036】さて、この両頭平面研削盤において、研削
加工を行う場合には、ワーク17がワーク支持部材14
のワーク支持板60に遊嵌された状態で、上下両砥石回
転昇降機構12,13の上下部回転砥石15,16間に
挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降機構
12,13の上下部回転砥石15,16が高速回転され
るとともに、回転板回転用モータ61が低速で回転駆動
され、ワーク支持板60は回転駆動手段としてのギヤ6
2,59を介して回転され、セット穴60aに保持され
たワーク17が回転する。そして、上部砥石回転昇降機
構13の上部回転砥石16がワーク17に向って下降接
近されて、両回転砥石15,16の研削作用面15a,
16aによりワーク17の両面が同時に研削される。
加工を行う場合には、ワーク17がワーク支持部材14
のワーク支持板60に遊嵌された状態で、上下両砥石回
転昇降機構12,13の上下部回転砥石15,16間に
挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降機構
12,13の上下部回転砥石15,16が高速回転され
るとともに、回転板回転用モータ61が低速で回転駆動
され、ワーク支持板60は回転駆動手段としてのギヤ6
2,59を介して回転され、セット穴60aに保持され
たワーク17が回転する。そして、上部砥石回転昇降機
構13の上部回転砥石16がワーク17に向って下降接
近されて、両回転砥石15,16の研削作用面15a,
16aによりワーク17の両面が同時に研削される。
【0037】図7は研削工具の研削作用面を見る正面
図、図8は図7の中心を含む縦断面図である。前述した
回転砥石(研削工具)15,16は本実施の形態では同
一部材が用いられる。ここではこの研削工具の全体を符
号1で表わす。
図、図8は図7の中心を含む縦断面図である。前述した
回転砥石(研削工具)15,16は本実施の形態では同
一部材が用いられる。ここではこの研削工具の全体を符
号1で表わす。
【0038】この研削工具1は鉄製円板の台板2の端面
に同心円状に回転砥石としてのダイヤモンド砥石3、ワ
ークサポートとしてのワーク接触部材4,5を備えてい
る。これは何れも幅をもって円環状に配せられている。
即ち、ダイヤモンド砥石3の直径よりも大きい直径のワ
ーク接触部材4を台板2の外周近くに設けると共にダイ
ヤモンド砥石3の直径よりも小さいワーク接触部材5を
台板2の中心近くに設けてある。尚、ワーク接触部材
4,5の何れか一方のみを設けてもよい。
に同心円状に回転砥石としてのダイヤモンド砥石3、ワ
ークサポートとしてのワーク接触部材4,5を備えてい
る。これは何れも幅をもって円環状に配せられている。
即ち、ダイヤモンド砥石3の直径よりも大きい直径のワ
ーク接触部材4を台板2の外周近くに設けると共にダイ
ヤモンド砥石3の直径よりも小さいワーク接触部材5を
台板2の中心近くに設けてある。尚、ワーク接触部材
4,5の何れか一方のみを設けてもよい。
【0039】このダイヤモンド砥石3はダイヤモンド砥
粒を結合剤で固めると共に台板2に固着したものであ
る。またワーク接触部材4,5は夫々ワーク17によっ
て摩耗させられる物質で潤滑性のあるもの例えば含油セ
ラミックなどが適当である。
粒を結合剤で固めると共に台板2に固着したものであ
る。またワーク接触部材4,5は夫々ワーク17によっ
て摩耗させられる物質で潤滑性のあるもの例えば含油セ
ラミックなどが適当である。
【0040】ダイヤモンド砥石3の研削作用面3aとワ
ーク接触部材4,5のワークとの接触面4a,5aは砥
石軸に対する直角な同一平面上にある。台板2の背面に
は円筒形の凹形嵌合部2aでもって砥石ホルダ6(前述
の符号29,43に代えて用いる)の凸形嵌合部6aに
嵌合し、台板2の背面と砥石ホルダ6の前面を密着させ
台板2のボルト穴を挿通するボルト7を砥石ホルダ6に
ねじ込み固定されている。
ーク接触部材4,5のワークとの接触面4a,5aは砥
石軸に対する直角な同一平面上にある。台板2の背面に
は円筒形の凹形嵌合部2aでもって砥石ホルダ6(前述
の符号29,43に代えて用いる)の凸形嵌合部6aに
嵌合し、台板2の背面と砥石ホルダ6の前面を密着させ
台板2のボルト穴を挿通するボルト7を砥石ホルダ6に
ねじ込み固定されている。
【0041】上記構成における作用について述べる。上
部回転砥石16を上昇させた状態でスライドテーブル5
3を移動してワークセット穴60aの中心OWを研削工
具1の中心OGとオフセットeして位置させる。このオ
フセットeはダイヤモンド砥石3の平均半径である。ワ
ーク中心OWは必ずダイヤモンド砥石3に重なる必要が
ある。ここで下部回転砥石15を上昇してワーク支持板
60下面に近接させ、ワーク17をワーク17の切欠部
17aをワークセット穴60a内へ突出しているワーク
駆動部60bに係合させてワーク17をワークセット穴
60a内へ嵌め込み、下部回転砥石15上に載置する。
これによってワーク17の上下面はワーク支持板60上
下面よりも夫々上下へ出ている。ここで上部回転砥石1
6を下降してワーク17に接近する。
部回転砥石16を上昇させた状態でスライドテーブル5
3を移動してワークセット穴60aの中心OWを研削工
具1の中心OGとオフセットeして位置させる。このオ
フセットeはダイヤモンド砥石3の平均半径である。ワ
ーク中心OWは必ずダイヤモンド砥石3に重なる必要が
ある。ここで下部回転砥石15を上昇してワーク支持板
60下面に近接させ、ワーク17をワーク17の切欠部
17aをワークセット穴60a内へ突出しているワーク
駆動部60bに係合させてワーク17をワークセット穴
60a内へ嵌め込み、下部回転砥石15上に載置する。
これによってワーク17の上下面はワーク支持板60上
下面よりも夫々上下へ出ている。ここで上部回転砥石1
6を下降してワーク17に接近する。
【0042】ここで砥石駆動モータ34,48、ワーク
駆動用の回転板回転用モータ61を付勢すると夫々上下
部回転砥石15,16、ワーク17は回転する。ここで
上部回転砥石16を下降してワーク17に切り込むと、
ダイヤモンド砥石3はワーク17の両面を夫々研削す
る。この研削の際にワーク17はダイヤモンド砥石3の
研削作用面3aが作用している処(ワーク17の中心を
とおる円弧帯)以外は、ワーク接触部材4,5でワーク
17の外周近くを両面側より支持する。このワーク接触
部材4,5はワーク17を摩耗させることはないがワー
ク17により摩耗させられる材質、又はワーク17を摩
耗させるがダイヤモンド砥石3よりもより早く摩耗する
材質が選ばれている。ワーク接触部材4,5は例えばア
ルミナ質砥粒又は炭化けい素質砥粒を軟らかい結合剤で
結合されている。
駆動用の回転板回転用モータ61を付勢すると夫々上下
部回転砥石15,16、ワーク17は回転する。ここで
上部回転砥石16を下降してワーク17に切り込むと、
ダイヤモンド砥石3はワーク17の両面を夫々研削す
る。この研削の際にワーク17はダイヤモンド砥石3の
研削作用面3aが作用している処(ワーク17の中心を
とおる円弧帯)以外は、ワーク接触部材4,5でワーク
17の外周近くを両面側より支持する。このワーク接触
部材4,5はワーク17を摩耗させることはないがワー
ク17により摩耗させられる材質、又はワーク17を摩
耗させるがダイヤモンド砥石3よりもより早く摩耗する
材質が選ばれている。ワーク接触部材4,5は例えばア
ルミナ質砥粒又は炭化けい素質砥粒を軟らかい結合剤で
結合されている。
【0043】ワーク17の加工が終わると上部回転砥石
16を上昇し、下部回転砥石15から外周側にはみ出し
ているワーク17の部分17b(図7参照)を持ち上げ
てワーク17をセット穴60aから抜いてワーク17を
取り出す。
16を上昇し、下部回転砥石15から外周側にはみ出し
ているワーク17の部分17b(図7参照)を持ち上げ
てワーク17をセット穴60aから抜いてワーク17を
取り出す。
【0044】上述においてワーク17としてウエハの直
径200mm、ワーク回転速度10r.p.m、ダイヤ
モンド砥石3の外径160m、内径130mm、上下の
回転砥石15,16を同速度で同方向に回転し、これら
の回転速度2000〜3000r.p.mで研削した
処、TTV 0.3μm、研削時間は2分であった。
径200mm、ワーク回転速度10r.p.m、ダイヤ
モンド砥石3の外径160m、内径130mm、上下の
回転砥石15,16を同速度で同方向に回転し、これら
の回転速度2000〜3000r.p.mで研削した
処、TTV 0.3μm、研削時間は2分であった。
【0045】(実施の形態2)図9、図10はダイヤモ
ンドインプリ砥石を用いた研削工具1の例である。台板
2の表面には多数の同心円で同方向を半径方向の円につ
いて交互に分割位置を設けてダイヤモンドインプリ砥石
8を設けたものであり、ワーク17に対してはワーク1
7の中心を研削工具1の外周がとおる位置から研削工具
1でワーク17を全部覆ってしまう範囲で研削を行う。
ンドインプリ砥石を用いた研削工具1の例である。台板
2の表面には多数の同心円で同方向を半径方向の円につ
いて交互に分割位置を設けてダイヤモンドインプリ砥石
8を設けたものであり、ワーク17に対してはワーク1
7の中心を研削工具1の外周がとおる位置から研削工具
1でワーク17を全部覆ってしまう範囲で研削を行う。
【0046】(実施の形態3)ワーク17の片面の研削
仕上を主眼とすると、上述の両頭研削盤を用いて、下部
回転砥石15を回転しないか、ゆるく回転して加工する
か、下部回転砥石15をワーク17に対して研削作用の
ゆるい、又は研削作用のない部材に変えてもよい。
仕上を主眼とすると、上述の両頭研削盤を用いて、下部
回転砥石15を回転しないか、ゆるく回転して加工する
か、下部回転砥石15をワーク17に対して研削作用の
ゆるい、又は研削作用のない部材に変えてもよい。
【0047】(実施の形態4)ワーク17の片面の研削
仕上を行う場合は端面を研削作用面とする砥石を有する
単頭平面研削盤によることもできる。図11はかかる単
頭研削盤であって下部フレーム11には下部砥石台関係
部材はなく、下部フレーム11上にはガイドレール52
とワーク支持部材14のみが設けられる。なおこの場
合、下部フレーム11上に平面の上面を設けて前述のワ
ーク支持板60をこの上面に接触又は接近するように設
けてもよく、ワークセット穴60aに底を設けてもよ
い。この場合、ワークセット穴60aの深さは当然ワー
ク17の厚さよりも小さい。
仕上を行う場合は端面を研削作用面とする砥石を有する
単頭平面研削盤によることもできる。図11はかかる単
頭研削盤であって下部フレーム11には下部砥石台関係
部材はなく、下部フレーム11上にはガイドレール52
とワーク支持部材14のみが設けられる。なおこの場
合、下部フレーム11上に平面の上面を設けて前述のワ
ーク支持板60をこの上面に接触又は接近するように設
けてもよく、ワークセット穴60aに底を設けてもよ
い。この場合、ワークセット穴60aの深さは当然ワー
ク17の厚さよりも小さい。
【0048】本発明の実施の形態は上述のようにウエハ
の結晶方位を示すために設ける切欠部へ駆動部を突出さ
せたワークセット穴を有するウエハよりも薄いワーク支
持板を回転駆動した状態でウエハの上下面に砥石を同時
に作用させて研削するようにしたので、ウエハが確実に
回転送りを与えられ研削作用がウエハの全面に平均して
作用し両面同時に研削されるという効果がある。そして
研削であるため短時間で良好な表面粗度を確保できると
共に真空チャックによりウエハを吸着する場合、真空チ
ャックの吸着面に引き込まれることにより、平とされた
状態で、形状精度の良好でないウエハを加工して真空チ
ャックより取り外した場合に弾力により形状が復元して
形状精度が悪化するが、この実施の形態によればワーク
支持のためにワークを平にしないので形状精度が良好で
ある。
の結晶方位を示すために設ける切欠部へ駆動部を突出さ
せたワークセット穴を有するウエハよりも薄いワーク支
持板を回転駆動した状態でウエハの上下面に砥石を同時
に作用させて研削するようにしたので、ウエハが確実に
回転送りを与えられ研削作用がウエハの全面に平均して
作用し両面同時に研削されるという効果がある。そして
研削であるため短時間で良好な表面粗度を確保できると
共に真空チャックによりウエハを吸着する場合、真空チ
ャックの吸着面に引き込まれることにより、平とされた
状態で、形状精度の良好でないウエハを加工して真空チ
ャックより取り外した場合に弾力により形状が復元して
形状精度が悪化するが、この実施の形態によればワーク
支持のためにワークを平にしないので形状精度が良好で
ある。
【0049】また片面研削の場合も上述のようにウエハ
はワーク支持板のセット穴に嵌合して駆動部をウエハ結
晶の方位を見るための切欠部に嵌合して強制的にウエハ
に回転送りを与えるものであるため、良好な表面粗度と
併せて形状精度が良好となる。
はワーク支持板のセット穴に嵌合して駆動部をウエハ結
晶の方位を見るための切欠部に嵌合して強制的にウエハ
に回転送りを与えるものであるため、良好な表面粗度と
併せて形状精度が良好となる。
【0050】また本発明の実施の形態に用いる研削工具
は台板端面に円環状にダイヤモンド砥石を配しその内外
周に夫々円環状にワーク接触部を設けてあるので、ダイ
ヤモンド砥石がカップ砥石形態でウエハの一部しか砥石
の研削作用面で押えられないので、ウエハを如何にして
支持すべきであるるかという課題が装置本体にワーク支
持手段を付設することなく解決される。
は台板端面に円環状にダイヤモンド砥石を配しその内外
周に夫々円環状にワーク接触部を設けてあるので、ダイ
ヤモンド砥石がカップ砥石形態でウエハの一部しか砥石
の研削作用面で押えられないので、ウエハを如何にして
支持すべきであるるかという課題が装置本体にワーク支
持手段を付設することなく解決される。
【0051】また、この研削工具によれば薄板の形状が
円形でなく、砥石の研削作用面が接する部分以外が支持
されない形状例えば四角板、多角形、不定形状の薄板の
加工においても効果がある。
円形でなく、砥石の研削作用面が接する部分以外が支持
されない形状例えば四角板、多角形、不定形状の薄板の
加工においても効果がある。
【0052】実施の形態の研削盤は竪形両頭平面研削
盤、竪形単頭平面研削盤について述べたが横型両頭平面
研削盤、横型単頭平面研削盤を用いてもよい。
盤、竪形単頭平面研削盤について述べたが横型両頭平面
研削盤、横型単頭平面研削盤を用いてもよい。
【0053】
【発明の効果】本発明のシリコンウエハーの加工方法に
よればシリコンウエハーを強制して自転可能で且つ、シ
リコンウエハーの両面を同時に研削できるため、加工時
間が短かく且つ面粗度、形状精度が良好である。
よればシリコンウエハーを強制して自転可能で且つ、シ
リコンウエハーの両面を同時に研削できるため、加工時
間が短かく且つ面粗度、形状精度が良好である。
【0054】また上記においてシリコンウエハーの両面
を異なる研削作用を呈する砥石を用いて加工することに
より、片面のみを所要の仕上を行うと共に他の回路を付
さない面には必要な限りの仕上を行うことができる。
を異なる研削作用を呈する砥石を用いて加工することに
より、片面のみを所要の仕上を行うと共に他の回路を付
さない面には必要な限りの仕上を行うことができる。
【0055】また上記においてカップ砥石の研削作用面
がシリコンウエハーの中心をとおるようにすることによ
りシリコンウエハーの全面を研削できる。
がシリコンウエハーの中心をとおるようにすることによ
りシリコンウエハーの全面を研削できる。
【0056】また上記においてはカップ砥石の研削作用
面の内外部側に円環状の砥石接触部を有する研削工具を
用いてシリコンウエハーを加工しているので、研削工具
だけでシリコンウエハーの面の支持ができる。
面の内外部側に円環状の砥石接触部を有する研削工具を
用いてシリコンウエハーを加工しているので、研削工具
だけでシリコンウエハーの面の支持ができる。
【0057】円板形のワークを回転し、ワークの表面を
研削加工する研削工具において、端面を研削作用面とす
る回転砥石と、回転砥石の外周側又は及び内周側に環状
に設けられ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にある
ワーク接触面を有するワーク接触部材と、砥石とワーク
接触部材を一体的に保持する保持部材と、を有する研削
工具によれば、薄板の加工において薄板の研削と薄板の
支持ができ、薄板の形状にかかわらず研削工具でワーク
の支持ができる。
研削加工する研削工具において、端面を研削作用面とす
る回転砥石と、回転砥石の外周側又は及び内周側に環状
に設けられ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にある
ワーク接触面を有するワーク接触部材と、砥石とワーク
接触部材を一体的に保持する保持部材と、を有する研削
工具によれば、薄板の加工において薄板の研削と薄板の
支持ができ、薄板の形状にかかわらず研削工具でワーク
の支持ができる。
【図1】この発明の両頭平面研削盤の実施の形態を示す
正面図である。
正面図である。
【図2】下部フレーム部分の要部縦断面図である。
【図3】上部フレーム部分の要部縦断面図である。
【図4】ワーク支持部材の平面図である。
【図5】スライドテーブル部を示す縦断面図である。
【図6】同じく斜視図である。
【図7】研削工具の正面図である。
【図8】図7の縦断面図である。
【図9】研削工具の他の例を示す正面図である。
【図10】図9の縦断面図である。
【図11】この発明の単頭研削盤の実施の形態を示す正
面図である。
面図である。
1…研削工具 2…台板 2a…凹形嵌合部 3…ダイヤモンド砥石 3a…研削作用面 4,5…ワーク接触部材 4a,5a…ワーク接触面 6…砥石ホルダ 6a…凸形嵌合部 7…ボルト 8…ダイヤモンドインプリ砥石 11…下部フレーム 12…下部砥石回転昇降機構 13…上部砥石回転昇降機構 14…ワーク支持部材 15…下部回転砥石 15a…研削作用面 16…上部回転砥石 16a…研削作用面 17…ワーク(ウエハ) 17a…切欠部 17b…部
分 20…砥石台 21…ガイド 22…下部砥石台移動用モータ 23…ボールネジ 23a…ボールナット 24…下部軸支筒 24a…ガイド部 24b…ブラケ
ット 25…下部砥石台昇降用モータ 26…回転伝達機構 27…ボールねじ 28…下部砥石軸 29…砥石ホルダ 34…砥石駆動モータ 38…上部軸支筒 38a…ブラケット 39…ガイド 40…昇降用モータ 41…ボールねじ 41a…ボールナット 42…上部砥石軸 43…砥石ホルダ 48…砥石駆動モータ 52…支持台 53…スライドテーブル 54…ガイドレール 55…スライドテーブル移動用モータ 56…ボールねじ 56a…ボールナット 57…回転板 57a…外周枠 58…ガイドローラ 59…ギヤ 60…ワーク支持板 60a…セット穴 60b…ワー
ク駆動部 61…回転板回転用モータ 62…ギヤ 111…上部フレーム
分 20…砥石台 21…ガイド 22…下部砥石台移動用モータ 23…ボールネジ 23a…ボールナット 24…下部軸支筒 24a…ガイド部 24b…ブラケ
ット 25…下部砥石台昇降用モータ 26…回転伝達機構 27…ボールねじ 28…下部砥石軸 29…砥石ホルダ 34…砥石駆動モータ 38…上部軸支筒 38a…ブラケット 39…ガイド 40…昇降用モータ 41…ボールねじ 41a…ボールナット 42…上部砥石軸 43…砥石ホルダ 48…砥石駆動モータ 52…支持台 53…スライドテーブル 54…ガイドレール 55…スライドテーブル移動用モータ 56…ボールねじ 56a…ボールナット 57…回転板 57a…外周枠 58…ガイドローラ 59…ギヤ 60…ワーク支持板 60a…セット穴 60b…ワー
ク駆動部 61…回転板回転用モータ 62…ギヤ 111…上部フレーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 豊尚 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内
Claims (17)
- 【請求項1】 インゴットから切断後のウエハの加工方
法において、 カップ形の砥石とこの砥石外周側又は及び内周側に砥石
の研削作用面と同一平面で砥石と同一中心の円環状ワー
ク接触部とを有する工具を対向させて砥石端面で研削を
行う両頭平面研削盤を準備して、 前記工具の円環状ワーク接触部をウエハに接触し、ウエ
ハを回転させると共に前記工具を回転しウエハの両面に
作用させて前記円環状ワーク接触部でウエハを支持して
前記砥石で研削を行うことを特徴とするウエハの加工方
法。 - 【請求項2】 前記砥石は共に研削作用のある砥石を用
いて両面を同時に研削することを特徴とする請求項1に
記載のウエハの加工方法。 - 【請求項3】 前記砥石の内一方は研削作用のある砥石
を用いると共に他方の砥石は研削作用が前記研削作用の
ある砥石に比較して研削作用の小さい砥石を用いること
を特徴とする請求項1に記載のウエハの加工方法。 - 【請求項4】 前記ウエハはウエハを遊嵌し、内周から
内部へ向って突設されウエハの切欠部に係合するワーク
駆動部を有する貫通穴を有し、ウエハより薄い薄片の回
転板とともに回転して研削されることを特徴とする請求
項1から3の何れか1つに記載のウエハの加工方法。 - 【請求項5】 ウエハの中心に砥石の研削作用面が重な
るように加工することを特徴とする請求項1から4の何
れか1つに記載のウエハの加工方法。 - 【請求項6】 砥石端面を対向して配設され、砥石端面
で薄板のワークの板面を加工する両頭平面研削盤におい
て、 円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、 前記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けら
れ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接
触面を有するワーク接触部材と、 前記砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材
と、を有する研削工具を備えたことを特徴とする両頭平
面研削盤。 - 【請求項7】 インゴットから切断後のウエハの加工方
法において、 カップ形の砥石とこの砥石の外周側又は及び内周側に研
削作用面と同一平面で砥石と同一中心の円環状ワーク接
触部とを有する工具を有し砥石端面で研削を行う単頭平
面研削盤を準備して、 前記工具の円環状ワーク接触部をウエハに接触した状態
で、ウエハを回転させると共に前記工具を回転しウエハ
の片面に作用させて前記円環状ワーク接触部をウエハに
接触して前記砥石で研削を行うことを特徴とするウエハ
の加工方法。 - 【請求項8】 前記ウエハはウエハを遊嵌し、内周から
内部へ向って突設されウエハの切欠部に係合するワーク
駆動部を有する穴を有する回転板とともに回転して研削
されることを特徴とする請求項7に記載のウエハの加工
方法。 - 【請求項9】 ウエハの中心に砥石の研削作用面が重な
るように加工することを特徴とする請求項7又は8に記
載のウエハの加工方法。 - 【請求項10】 前記回転板の穴を有底としてウエハを
支持することを特徴とする請求項8に記載のウエハの加
工方法。 - 【請求項11】 砥石端面で薄板のワークの板面を加工
する単頭平面研削盤において、円環状の端面を研削作用
面とする回転砥石と、 前記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けら
れ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接
触面を有するワーク接触部材と、 前記砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材
と、を有する研削工具を備えたことを特徴とする単頭平
面研削盤。 - 【請求項12】 円板形のワークを回転し、ワークの表
面を研削加工する研削工具において、 円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、 前記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けら
れ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接
触面を有するワーク接触部材と、 前記砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材
と、を有することを特徴とする研削工具。 - 【請求項13】 前記回転砥石は円環状のダイヤモンド
砥石でありワーク接触部材はダイヤモンドを除く砥粒を
用いた円環状の砥石であることを特徴とする請求項12
に記載の研削工具。 - 【請求項14】 前記ワーク接触部材はワークに作用し
て回転砥石がワークを研削する能力よりも研削能力が小
さく、工具摩耗が回転砥石よりも大である砥石であるこ
とを特徴とする請求項12に記載の研削工具。 - 【請求項15】 前記ワーク接触部材は潤滑性を有する
材質であることを特徴とする請求項12から14の何れ
か1つに記載の研削工具。 - 【請求項16】 前記回転砥石はワークを研削する能力
を有する砥粒を有し、前記ワーク接触部材はワークに接
触してワークを摩耗させることがなくワークにより摩耗
させられる材質であることを特徴とする請求項12に記
載の研削工具。 - 【請求項17】 前記研削工具は円板形の鉄製台座端面
に回転砥石として砥粒を結合剤で固着すると共にワーク
接触部材を同台座端面に固着したものである請求項12
から16の何れか1つに記載の研削工具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10277297A JPH10277894A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | ウエハの加工方法及び平面研削盤及び研削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10277297A JPH10277894A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | ウエハの加工方法及び平面研削盤及び研削工具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10277894A true JPH10277894A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=14336461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10277297A Pending JPH10277894A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | ウエハの加工方法及び平面研削盤及び研削工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10277894A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001021356A1 (fr) * | 1999-09-24 | 2001-03-29 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Procede et dispositif de meulage des deux faces d'un disque fin |
-
1997
- 1997-04-04 JP JP10277297A patent/JPH10277894A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001021356A1 (fr) * | 1999-09-24 | 2001-03-29 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Procede et dispositif de meulage des deux faces d'un disque fin |
EP1193029A1 (en) * | 1999-09-24 | 2002-04-03 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd | Method and device for grinding double sides of thin disk work |
US6726525B1 (en) | 1999-09-24 | 2004-04-27 | Shin-Estu Handotai Co., Ltd. | Method and device for grinding double sides of thin disk work |
EP1193029A4 (en) * | 1999-09-24 | 2004-05-06 | Shinetsu Handotai Kk | DOUBLE-SIDED POLISHING METHOD AND DEVICE FOR THIN DISC |
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