JP3207787B2 - ウエハの加工方法及び平面研削盤及びワーク支持部材 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体に使用さ
れる硬質な薄板状のウエハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する加工方法及びその加工方法に用いられる平
面研削盤及びワーク支持部材に関するものである。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】インゴットから切断し
たウエハは面粗度、形状精度共に粗である。そこでイン
ゴットから切断後のウエハをラップ仕上を行うと非常に
時間がかかり加工能率がよくない。またウエハの片面研
削においては、真空チャックでワークの片面を吸着する
ためインゴットから片面研削後のウエハの形状は吸着中
は平面であるが、真空チャックからワークを外すと形状
は元に戻り反る傾向にある。

【０００３】上述のラップ加工による加工能率及び加工
精度の向上を計るために試みられる研削によるウエハの
加工によれば、短かい加工時間で所要の面精度が得られ
る。しかし乍らウエハのチャッキングを真空チャックに
よる限り、形状精度は得られない。

【０００４】本発明は後述従来の技術を更に発展させた
ものであり、短時間で面精度と形状精度が得られるウエ
ハの加工方法及びその加工方法に用いられる平面研削盤
及びワーク支持部材を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本出願に係る第１の発明
はインゴットから切断後のウエハの加工方法において、
ウエハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハ
のノッチに係合する前進位置と、この前進位置から後退
した後退位置とをとるワーク駆動部と、このワーク駆動
部が突出するセット穴を有し、ウエハより薄い薄片で砥
石よりも大径の回転板と、一対の砥石を有し砥石端面を
対向させて砥石端面でウエハの研削を行う両頭平面研削
盤とを準備して、ワーク駆動部を後退させた状態でウエ
ハをセット穴に挿入した後、ワーク駆動部を回転板の中
心に向って前進させワーク駆動部にウエハのノッチを係
合させてセット穴にウエハを遊嵌した状態で、前記回転
板を駆動することによりウエハを回転させると共に、前
記砥石を回転しウエハの両面に作用させて研削を行うこ
とを特徴とするウエハの加工方法である。

【０００６】本出願に係る第２の発明は前記砥石はカッ
プ砥石であって、前記ウエハの中心にカップ砥石の研削
作用面が重なるように加工することを特徴とする請求項
１に記載のウエハの加工方法である。

【０００７】本出願に係る第３の発明は一対のカップ砥
石が両砥石端面を対向して配設され、砥石端面で外周に
ノッチを有する円板形ワークの板面を加工する両頭平面
研削盤において、ワークを遊嵌し、内周から内部に向っ
て突設され前記ワークのノッチに係合する前進位置と、
この前進位置から後退した後退位置をとるワーク駆動部
を有するセット穴を備え前記ワークよりも薄く砥石端面
が近接可能なように砥石径よりも大きな大きさを有する
回転板と、前記ワーク駆動部を進退させる駆動手段と、
前記回転板を回転自在に支持する支持部材と、前記支持
部材に設けられ 前記回転板を回転駆動する駆動手段と、
を具備したことを特徴とする両頭平面研削盤である。

【０００８】本出願に係る第４の発明は一対のカップ砥
石が両砥石端面を対向して配設され、砥石端面で外周に
ノッチを有する円板形ワークの板面を加工する両頭平面
研削盤において、ワークを遊嵌し、内周から内部へ向っ
て突設され前記ワークのノッチに係合するワーク駆動部
を有するセット穴を備え前記ワークよりも薄く砥石端面
が近接可能なように砥石径よりも大きな大きさを有する
回転板と、前記ワーク駆動部は前記回転板に対して半径
方向に移動自在に取り付けられ、前記ワーク駆動部を前
記回転板の中心に向って付勢するばね部材と、前記ワー
ク駆動部を前記ばね部材のばね力に抗して後退させるア
クチュエータと、前記回転板を回転自在に支持する支持
部材と、前記支持部材に設けられ前記回転板を回転駆動
する駆動手段とを具備したことを特徴とする両頭平面研
削盤である。

【０００９】本出願に係る第５の発明は前記回転板のワ
ーク駆動部は少くともワークに接する面がワークよりも
軟質の材料でなることを特徴とする第３又は第４の発明
に記載の両頭平面研削盤である。

【００１０】本出願に係る第６の発明は前記回転板の支
持部材は砥石軸に直角方向に設けられた案内部材に移動
自在に係合するスライドテーブルであることを特徴とす
る第５の発明に記載の両頭平面研削盤である。

【００１１】本出願に係る第７の発明は砥石端面で外周
にノッチを有する円板形のワークの平面を加工する研削
盤に用いられるワーク支持部材において、ワークを遊嵌
し、内周から内部へ向って突設されワークのノッチに係
合するワーク駆動部を有するセット穴を有し、ワークよ
り薄い薄片で砥石よりも大径の回転板と、前記ワーク駆
動部は前記回転板に対して半径方向に移動自在に取り付
けられ、前記ワーク駆動部を前記回転板の中心に向って
付勢するばね部材と、前記ワーク駆動部を前記ばね部材
のばね力に抗して後退させるアクチュエータと、前記回
転板を回転自在 に支持する支持手段と、前記支持手段に
設けられ回転板を回転駆動する駆動手段とを具備したこ
とを特徴とするワーク支持部材である。

【００１２】本出願に係る第８の発明はワーク駆動部は
少なくともワークに接する面がワークよりも軟質の材料
でなることを特徴とする第７の発明に記載のワーク支持
部材である。

【００１３】本出願に係る第９の発明は前記回転板のワ
ークに接する側をワークよりも軟質の材料としたことを
特徴とする第７又は第８の発明に記載のワーク支持部材
である。

【００１４】本出願に係る第１０の発明は前記支持手段
は回転板の板面に平行な案内手段に移動自在に嵌合して
いることを特徴とする第７から第９の発明の何れか１つ
に記載のワーク支持部材である。

【００１５】本出願に係る第１１の発明は前記回転板は
中心部のワークよりも薄い部分の外周側が前記ワークよ
り薄い部分よりも厚肉で円環状であることを特徴とする
第７から第１０の発明の何れか１つに記載のワーク支持
部材である。

【００１６】

【従来の技術】シリコンウエハなどのウエハはインゴッ
トをインナソー又はワイヤソーで切断後、ラップ盤で研
磨仕上を行っている。

【００１７】一方ウエハを研削により仕上げることが例
えば実登３０２８７３４号公報、機械と工具、１９９５
年７月号第６０頁から第６４頁、砥粒加工学会誌Ｖｏ
ｌ．３９Ｎｏ．４ １９９５．ＪＵＬ．第２０頁から第
２３頁等に開示されている。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態
を、図１〜図１０に基づいて詳細に説明する。

【００１９】（実施の形態１）この実施の形態は全体構成を説明している。

【００２０】図１〜図４に示すように、この実施の形態
の両頭平面研削盤は下部フレーム１１を備え、その下部
フレーム１１上には上部フレーム１１１が固定されてい
る。下部フレーム１１には下部砥石回転昇降機構１２及
びワーク支持部材１４が装設され、上部フレーム１１１
には上部砥石回転昇降機構１３が装設されている。両砥
石回転昇降機構１２，１３には夫々上下部回転砥石１
５，１６が配設され、それらの回転砥石１５，１６の上
部または下部端面の研削作用面１５ａ，１６ａが互いに
平行となるように対向配置されている。そして、薄板状
のワーク１７がワーク支持部材１４に支持された状態
で、両砥石回転昇降機構１２，１３の回転砥石１５，１
６間に挿入配置され、それらの回転砥石１５，１６の研
削作用面１５ａ，１６ａにより、ワーク１７の両面が同
時に研削されるようになっている。

【００２１】図２及び図３に示すように、前記下部砥石
回転昇降機構１２の砥石台２０は下部フレーム１１上に
いわゆるＶ平のガイド２１を介して、下部回転砥石１５
の回転軸線と直交する方向へ移動可能に支持されてい
る。下部砥石台移動用モータ２２は下部フレーム１１の
側部に配設され、このモータ２２の回転により、砥石台
２０に固定したボールナット２３ａにねじ込まれたボー
ルねじ２３を介して砥石台２０が水平横方向に移動す
る。下部軸支筒２４は砥石台２０と一体に設けられた上
下方向のガイド２４ａを介して下部回転砥石１５の回転
軸線方向へ昇降可能に支持されている。下部砥石台昇降
用モータ２５は砥石台２０の下部においてガイド部２４
ａの側部に配設され、このモータ２５の回転により、ウ
ォームとウォームホイールで構成される回転伝達機構２
６及び下部軸支筒２４に固定されたブラケット２４ｂに
固定された図示されないボールナットにねじ込まれたボ
ールねじ２７を介してガイド部２４ａに案内されて下部
軸支筒２４が昇降される。なお、この昇降ストロークは
わずかである。

【００２２】下部砥石軸２８は下部軸支筒２４内に回転
自在に支持され、その上端に一体的に形成された砥石ホ
ルダ２９を介して下部回転砥石１５が装着されている。

【００２３】砥石駆動モータ３４は下部軸支筒２４の内
部に配設され、そのステータは下部軸支筒２４に嵌入固
定され、そのロータは下部砥石軸２８に嵌入固定され研
削加工に際しては、このモータ３４の回転により下部砥
石軸２８を介して下部回転砥石１５が高速回転する。

【００２４】図３に示すように、前記上部砥石回転昇降
機構１３の上部軸支筒３８は上部フレーム１１１と一体
のガイド３９を介して、下部回転砥石１６の回転軸線方
向へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ４０は上
部フレーム１１１の側部に配設され、このモータ４０の
回転により、上部軸支筒３８に固定されたブラケット３
８ａに嵌入固定されたボールナット４１ａにねじ込まれ
たボールねじ４１を介して上部軸支筒３８が昇降され
る。

【００２５】上部砥石軸４２は前記上部軸支筒３８内に
回転可能に支持され、その下端には一体的に形成された
砥石ホルダ４３を介して上部回転砥石１６が装着されて
いる。砥石駆動モータ４８は上部軸支筒３８の内部に配
設され、そのステータは上部軸支筒３８に嵌入固定さ
れ、そのロータは上部砥石軸４２に嵌入固定され研削加
工に際して、このモータ４８の回転により、上部砥石軸
４２を介して上部回転砥石１６が高速回転する。

【００２６】図２、図４に示すように、前記ワーク支持
部材１４の支持台５２は上下部の両砥石回転昇降機構１
２，１３間において、下部フレーム１１上に配設されて
いる。スライドテーブル５３は支持台５２上の下部回転
砥石１５の両側に配設された一対のガイドレール５４を
介して、下部砥石回転昇降機構１２の砥石台２０の移動
方向と同方向へ移動可能に支持されている。図４に示す
ようにスライドテーブル移動用モータ５５は支持台５２
上に配設され、このモータ５５の回転により、このモー
タ５５のモータ軸に連結されたボールねじ５６がスライ
ドテーブル５３に固定されたボールナット５６ａにねじ
込まれていてスライドテーブル５３が移動可能となって
いる。

【００２７】円環状の回転板５７は前記スライドテーブ
ル５３内に配され、スライドテーブル５３に回転自在に
支持される３個のガイドローラ５８を介して回転可能に
支持されている（図５参照）。回転板５７は円環状の肉
厚の外周枠５７ａにワーク支持板６０を装着してある。
外周枠５７ａの下部外周にはギヤ５９が形成されてい
る。ワーク支持板６０はワーク１７より薄く形成され、
外周枠５７ａの下面にその重力で撓んで変形しないよう
に図示しないテンション機構を介して、水平に張設さ
れ、その中心にはワーク１７を着脱可能にセットするた
めのセット穴６０ａが形成されている。このセット穴６
０ａはワーク１７が遊嵌する直径を有する。回転板回転
用モータ６１はスライドテーブル５３上に配設され、こ
のモータ６１のモータ軸には回転板５７のギヤ５９に噛
合するギヤ６２が固定されている。そして、このモータ
６１の回転により、ギヤ６２，５９を介して回転板５７
が回転する。上記外周枠５７ａの内径は回転板５７に対
してオフセットして降下してくる上部回転砥石１６がワ
ーク支持板６０へ接近し得る直径を有する。

【００２８】図４に示すように上記ワーク支持板６０の
セット穴６０ａにはインゴットから切断された未研削の
ウエハであるワーク１７の結晶方位の基準となるノッチ
１７ａに係合するように内周側へ向って突出するワーク
駆動部６０ｂが設けてある。このワーク１７のノッチ１
７ａの形状は本実施の形態のようなＶ溝状の形状であ
り、前記駆動部６０ｂはワークのノッチ１７ａをほぼ補
完する形状としてある。ただし、ワーク１７のノッチ１
７ａは結晶方位を知るための位置以外にワーク１７を駆
動するためにワーク１７に別に設けてもよい。

【００２９】上述のワークセット穴６０ａは本例では円
であるが、円に限らずワーク１７の位置が定まる形状で
あればよいので例えば、ワーク１７の外周を等配した少
なくとも３個所において、ワーク１７の外周に接するよ
うにしてもよい。

【００３０】次に、前記のように構成された両頭平面研
削盤の動作を説明する。

【００３１】さて、この両頭平面研削盤において、研削
加工を行う場合には、ワーク１７がワーク支持部材１４
のワーク支持板６０に遊嵌された状態で、上下両砥石回
転昇降機構１２，１３の上下部回転砥石１５，１６間に
挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降機構
１２，１３の上下部回転砥石１５，１６が高速回転され
るとともに、回転板回転用モータ６１が低速で回転駆動
され、ワーク支持板６０は回転駆動手段としてのギヤ６
２，５９を介して回転され、セット穴６０ａに保持され
たワーク１７が回転する。そして、上部砥石回転昇降機
構１３の上部回転砥石１６がワーク１７に向って下降接
近されて、両回転砥石１５，１６の研削作用面１５ａ，
１６ａによりワーク１７の両面が同時に研削される。

【００３２】図７は研削工具の研削作用面を見る正面
図、図８は図７の中心を含む縦断面図である。前述した
回転砥石（研削工具）１５，１６は本実施の形態では同
一部材が用いられる。ここではこの研削工具の全体を符
号１で表わす。

【００３３】この研削工具１は鉄製円板の台板２の端面
に同心円状に回転砥石としてのダイヤモンド砥石３、ワ
ークサポートとしてのワーク接触部材４，５を備えてい
る。これは何れも幅をもって円環状に配せられている。
即ち、ダイヤモンド砥石３の直径よりも大きい直径のワ
ーク接触部材４を台板２の外周近くに設けると共にダイ
ヤモンド砥石３の直径よりも小さいワーク接触部材５を
台板２の中心近くに設けてある。尚、ワーク接触部材
４，５の何れか一方のみを設けてもよい。

【００３４】このダイヤモンド砥石３はダイヤモンド砥
粒を結合剤で固めると共に台板２に固着したものであ
る。またワーク接触部材４，５は夫々ワーク１７によっ
て摩耗させられる物質で潤滑性のあるもの例えば含油セ
ラミックなどが適当である。

【００３５】ダイヤモンド砥石３の研削作用面３ａとワ
ーク接触部材４，５のワークとの接触面４ａ，５ａは砥
石軸に対する直角な同一平面上にある。台板２の背面に
は円筒形の凹形嵌合部２ａでもって砥石ホルダ６（前述
の符号２９，４３に代えて用いる）の凸形嵌合部６ａに
嵌合し、台板２の背面と砥石ホルダ６の前面を密着させ
台板２のボルト穴を挿通するボルト７を砥石ホルダ６に
ねじ込み固定されている。

【００３６】上記構成における作用について述べる。上
部回転砥石１６を上昇させた状態でスライドテーブル５
３を移動してワークセット穴６０ａの中心ＯＷを研削工
具１の中心ＯＧとオフセットｅして位置させる。このオ
フセットｅはダイヤモンド砥石３の平均半径である。ワ
ーク中心ＯＷは必ずダイヤモンド砥石３に重なる必要が
ある。ここで下部回転砥石１５を上昇してワーク支持板
６０下面に近接させ、ワーク１７をワーク１７のノッチ
１７ａをワークセット穴６０ａ内へ突出しているワーク
駆動部６０ｂに係合させてワーク１７をワークセット穴
６０ａ内へ嵌め込み、下部回転砥石１５上に載置する。
これによってワーク１７の上下面はワーク支持板６０上
下面よりも夫々上下へ出ている。ここで上部回転砥石１
６を下降してワーク１７に接近する。

【００３７】ここで砥石駆動モータ３４，４８、ワーク
駆動用の回転板回転用モータ６１を付勢すると夫々上下
部回転砥石１５，１６、ワーク１７は回転する。ここで
上部回転砥石１６を下降してワーク１７に切り込むと、
ダイヤモンド砥石３はワーク１７の両面を夫々研削す
る。この研削の際にワーク１７はダイヤモンド砥石３の
研削作用面３ａが作用している処（ワーク１７の中心を
とおる円弧帯）以外は、ワーク接触部材４，５でワーク
１７の外周近くを両面側より支持する。このワーク接触
部材４，５はワーク１７を摩耗させることはないがワー
ク１７により摩耗させられる材質、又はワーク１７を摩
耗させるがダイヤモンド砥石３よりもより早く摩耗する
材質が選ばれている。ワーク接触部材４，５は例えばア
ルミナ質砥粒又は炭化けい素質砥粒を軟らかい結合剤で
結合されている。

【００３８】ワーク１７の加工が終わると上部回転砥石
１６を上昇し、下部回転砥石１５から外周側にはみ出し
ているワーク１７の部分１７ｂ（図７参照）を持ち上げ
てワーク１７をセット穴６０ａから抜いてワーク１７を
取り出す。

【００３９】上述においてワーク１７としてウエハの直
径２００ｍｍ、ワーク回転速度１０ｒ．ｐ．ｍ、ダイヤ
モンド砥石３の外径１６０ｍ、内径１３０ｍｍ、上下の
回転砥石１５，１６を同速度で同方向に回転し、これら
の回転速度２０００〜３０００ｒ．ｐ．ｍで研削した
処、ＴＴＶ ０．３μｍ、研削時間は２分であった。

【００４０】（実施の形態２） 図９、図１０はダイヤモンドインプリ砥石を用いた研削
工具１の例である。台板２の表面には多数の同心円で同
方向を半径方向の円について交互に分割位置を設けてダ
イヤモンドインプリ砥石８を設けたものであり、ワーク
１７に対してはワーク１７の中心を研削工具１の外周が
とおる位置から研削工具１でワーク１７を全部覆ってし
まう範囲で研削を行う。

【００４１】（実施の形態３） ワーク１７の片面の研削仕上を主眼とすると、上述の両
頭研削盤を用いて、下部回転砥石１５を回転しないか、
ゆるく回転して加工するか、下部回転砥石１５をワーク
１７に対して研削作用のゆるい部材に変えてもよい。

【００４２】本発明の実施の形態は上述のようにウエハ
の結晶方位を示すために設けるノッチへ駆動部を突出さ
せたワークセット穴を有するウエハよりも薄いワーク支
持板を回転駆動した状態でウエハの上下面に砥石を同時
に作用させて研削するようにしたので、ウエハが確実に
回転送りを与えられ研削作用がウエハの全面に平均して
作用し両面同時に研削されるという効果がある。そして
研削であるため短時間で良好な表面粗度を確保できると
共に真空チャックによりウエハを吸着する場合、真空チ
ャックの吸着面に引き込まれることにより、平とされた
状態で、形状精度の良好でないウエハを加工して真空チ
ャックより取り外した場合に弾力により形状が復元して
形状精度が悪化するが、この実施の形態によればワーク
支持のためにワークを平にしないので形状精度が良好で
ある。

【００４３】また本発明の実施の形態に用いる研削工具
は台板端面に円環状にダイヤモンド砥石を配しその内外
周に夫々円環状にワーク接触部を設けてあるので、ダイ
ヤモンド砥石がカップ砥石形態でウエハの一部しか砥石
の研削作用面で押えられないので、ウエハを如何にして
支持すべきであるかという課題が装置本体にワーク支持
手段を付設することなく解決される。

【００４４】また、この研削工具によれば薄板の形状が
円形でなく、砥石の研削作用面が接する部分以外が支持
されない形状例えば四角板、多角形、不定形状の薄板の
加工においても効果がある。

【００４５】実施の形態の研削盤は竪形両頭平面研削盤
について述べたが横型両頭平面研削盤を用いてもよい。

【００４６】（実施の形態４） 図１１はワーク支持部材の他の実施の形態４を示す平面
図、図１２は図１１の縦断面図である。

【００４７】この実施の形態４は前各実施の形態と同様
に回転板５７に取り付けるワーク支持板６０の構成が異
なるがその他は同一である。

【００４８】全体を符号５７で示す回転板の外周枠５７
ａにはワーク支持板６０が固定されている。ワーク支持
板６０は中抜き円板状の金属板６０ｃの内周に中抜きワ
ーク保持板６０ｄ（ワーク保持部材）を一体的に設けた
ものである。

【００４９】ワーク保持板６０ｄと金属板６０ｃを合せ
ると、前述の実施の形態のワーク支持板６０と同一であ
る。ワーク保持板６０ｄは金属板６０ｃと一体成形また
は溶着または接着してある。金属板６０ｃ、ワーク保持
板６０ｄの厚さは常にワーク１７であるウエハの厚さよ
り薄い。金属板６０ｃとワーク保持板６０ｄとは同厚も
しくは、厚さを異にする。ワーク保持板６０ｄは合成樹
脂または硬質ゴム銅合金、アルミニウム合金等のワーク
１７よりも軟質の材料で作られるものである。

【００５０】この実施の形態４においては、ワーク駆動
部６０ｂはワーク保持板６０ｄの内周となるセット穴６
０ａよりもワーク保持板６０ｄの内側へ突出している。
即ち、ワーク駆動部６０ｂは金属板６０ｃからワーク保
持板６０ｄを半径方向に横切るように突出形成されてい
る。

【００５１】この実施の形態４によれば、ワーク１７が
ワーク１７よりも軟かい材料のワーク保持板６０ｄで保
持されて回転されるので、ワーク１７の外周部が研削抵
抗の変動でワーク保持板６０ｄの内周との間でチャタリ
ングが生じてその結果ワーク１７外周にチッピング等の
損傷が生ずるのを防止する効果がある。

【００５２】なお、上述でワーク保持板において半径方
向の幅を小さくして行くと、金属板６０ｃの内周に金属
を鍍金したと同様になる。また、金属板の内周に合成樹
脂材を溶着してもよい。即ち、金属板６０ｃの内周にコ
ーティングしたものもこの実施の形態に含まれる。

【００５３】（実施の形態５） この実施の形態５はウエハ等のノッチ１７ａにワーク駆
動部６０ｂを嵌合した状態で回転板５７が回転した際に
ワーク１７のノッチ１７ａが欠けたりするおそれを防止
するためのものである。

【００５４】図１３、図１４に示すようにワーク駆動部
６０ｂは金属で製作されたワーク支持板６０の本体６０
ｅの内周から半径方向に角形に切り込んだ切り込み部６
０ｆに入り込む形でワーク駆動部６０ｂの根本部６０ｂ
１が前記本体６０ｅと固着するように一体成形または接
着されている。もしくは本体６０ｅとワーク駆動部６０
ｂは溶着されている。ワーク駆動部６０ｂは合成樹脂、
アルミニウム合金、銅合金等のワーク１７例えばウエハ
よりも軟らかい材料が選択される。

【００５５】上述においてワーク駆動部６０ｂ、金属板
であるワーク支持板本体６０ｅの厚さはワーク１７の厚
さよりも薄い。

【００５６】この実施の形態５によれば、研削抵抗の変
動等によりウエハノッチ部にチッピング等の損傷が入る
のを防ぐことができる。

【００５７】（実施の形態６） 図１５、図１６は実施の形態６を示す。この実施の形態
６ではワーク支持板６０は金属板の外周側円板６０ｇと
内周側の合成樹脂のワーク支持板６０ｈとを一体的に有
し、外周側円板６０ｇと内周側のワーク支持板６０ｈは
一体成形または溶着または接着している。この実施の形
態６ではワーク支持板６０ｈの内周には一体にワーク駆
動部６０ｂを備えている。

【００５８】なお外周側円板６０ｇを例えば鉄材で製作
し、ワーク支持板６０ｈを非鉄金属、例えば、銅合金、
アルミニウム合金または合成樹脂等のワーク１７例えば
ウエハよりも軟質の材料で製作している。

【００５９】この実施の形態６によれば外周側円板６０
ｇが外周枠５７ａに固定されているので剛性が保たれる
と共にワーク支持板６０ｈおよびここに形成されたワー
ク駆動部６０ｂがワーク１７よりも軟質のため、研削抵
抗の変動等によりワーク１７にチッピングが生ずるのを
防止できる。

【００６０】なお実施の形態６において、前述した処で
は外周側円板６０ｇの板面の縁の両側にわたるようにワ
ーク支持板６０ｈを設けてあり、ワーク支持板６０ｈの
厚さは外周側円板６０ｇよりも厚さは厚い。そこで接
着、熱溶着等でワーク支持板６０ｈを外周側円板６０ｇ
に固着する際はワーク支持板６０ｈの外周に周方向の溝
を設け、この溝を外周側円板６０ｇの内周に嵌め込むよ
うにするようにしている。

【００６１】しかし、ワーク支持板６０ｈの厚みが薄
く、外周側円板６０ｇとの嵌め込み用の溝を形成するこ
とが困難であり、又、厚み面同志で接着または溶着する
ことが困難な場合、図１７、図１８のように、外周側円
板６０ｇ上にワーク支持板６０ｈの片面縁部を重ね合わ
せ、この接した面を接着または溶着することにより一体
化することもきる。

【００６２】（実施の形態７） 前述した各実施の形態ではワーク駆動部はワーク支持板
と一体またはワーク支持板に固定されて不動である。

【００６３】この実施の形態７はワーク駆動部をワーク
支持板に対して弾性保持したものである。図１９〜図２
２はこの実施の形態７を示す。

【００６４】図１９はワーク支持部材を上から見る平面
図である。回転板５７のワーク支持板６０の上面には回
転板５７の中心へ向って半径方向にワーク駆動部６０ｂ
が設けられている。

【００６５】ワーク駆動部６０ｂはワーク１７のノッチ
１７ａに嵌合する突端６０ｂ２を有し、この突端６０ｂ
２から退いた位置から後部へのびる胴部６０ｂ３の中間
がブラケット６６の下面に設けた円筒形のスタッド６３
に遊嵌して外周枠５７ａに取り付けられている。このス
タッド６３はブラケット６６の高さよりもδ／２だけ高
い位置に首下がある。このスタッド６３にはナット６４
がねじ込まれている。従ってワーク駆動部６０ｂはわず
かに動き得る。また胴部６０ｂ３上面とブラケット６６
間にもδ／２の隙間がある。

【００６６】即ち、上記δは０．１ｍｍ以下である。即
ち、突端６０ｂ２、胴部６０ｂ３を有するワーク駆動部
材６０ｂ４は上下には殆んど移動しないようにしてあ
る。この胴部６０ｂ３は角形であり、この両側を挟持し
て緩衝材６５が配設されている。この緩衝材６５を接
着、溶着した取付ブラケット６６は図示されないボルト
でワーク支持板６０の上面に固定されている。従って前
記ワーク駆動部６０ｂを構成するワーク駆動部材６０ｂ
４は緩衝材６５でもって制動されてわずかに水平面内で
可動であって、突端６０ｂ２に加わる衝撃を小さくする
ようにしてある。そして突端６０ｂ２側のワーク駆動部
材６０ｂ４の厚さはワーク１７の厚さよりも小さく、そ
の幅はワーク支持板６０に設けた半径方向のスリット６
０ｉに遊嵌している。

【００６７】回転板５７が回転すると、ワーク駆動部６
０ｂの突端６０ｂ２はワーク１７のノッチ１７ａと係合
してワーク１７を回転させる。研削負荷の変動がある
と、ワーク１７を駆動する回転力は変動してワーク駆動
部６０ｂの突端６０ｂ２に加わるが、胴部６０ｂ３の両
側の緩衝材６５でもってワーク１７のノッチ１７ａとワ
ーク駆動部６０ｂの突端６０ｂ２間に生ずる衝撃は緩和
される。これによって、ワーク１７が例えばウエハのよ
うな場合であってもワーク１７のノッチ１７ａの損傷、
ワーク１７の外周のチッピングが生じない。

【００６８】（実施の形態８） 図２３〜図２７にこの実施の形態８を示す。

【００６９】図２３、図２７に示すように回転板５７の
外周枠５７ａのすぐ内側にワーク駆動部６０ｂが配設さ
れている。回転板５７とワーク駆動部材６０ｂ４は同一
面にあり、ワーク駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２がワ
ーク１７のノッチ１７ａに係合可能となっている。ワー
ク駆動部６０ｂはワーク駆動部材６０ｂ４をワーク１７
の半径方向へ突出移動してノッチ１７ａに係合した位置
（図２５（ｂ）参照）と、ノッチ１７ａから後退した位
置（図２５（ａ）参照）を取るようにアクチュエータ６
７に取り付けられている。アクチュエータ６７は外周枠
５７ａの下面に固定されたマニフォルド６８に固定され
ている。回転板回転用モータ６１はサーボモータであっ
て図示されない制御装置により、付勢されて回転板５７
を回転すると共に回転板５７を一定位置に停止させる。

【００７０】この回転板５７の定位置停止位置におい
て、マニフォルド６８の入口６８ａに向って進退し、こ
の入口６８ａに先端部６９ａが嵌合する位置と、この入
口６８ａから先端部６９ａが後退した位置をとるプラン
ジャ６９を備えた流体圧シリンダ７１がスライドテーブ
ル５３に固定されている。この流体圧シリンダ７１に対
しては圧力流体源、例えば、空気圧縮装置７２から切換
弁７３を介して圧縮空気が給排されるようになってい
る。

【００７１】図２６はアクチュエータ６７を示す。アク
チュエータ６７は円筒形のシリンダ室を有するシリンダ
本体６７ａとシリンダ本体６７ａに密に嵌合して進退可
能なプランジャ６７ｂとシリンダ本体６７ａの後部シリ
ンダ室６７ｒに縮設された圧縮コイルばね７４と、プラ
ンジャ６７ｂの周囲に設けたプランジャ６７ｂの軸方向
の溝６７ｂ１に先端が嵌合し、シリンダ本体６７ａにね
じ込まれた小ねじ７５とを有してプランジャ６７ｂはシ
リンダ本体６７ａに対して回転しないようになってい
る。プランジャ６７ｂの先端の水平方向に設けたすり割
溝６７ｂ２にワーク駆動部材６０ｂ４を嵌入し、プラン
ジャ６７ｂにねじ込んだ小ねじ７６でもってワーク駆動
部材６０ｂ４を押圧してある。アクチュエータ６７の前
部シリンダ室６７ｆに通ずるポート６７ｃはマニフォル
ド６８の圧縮空気通路６８ｂに連通している。

【００７２】図２７に示すようにマニフォルド６８の圧
縮空気通路６８ｂの入口６８ａは円錐形をしている。流
体圧シリンダ７１のシリンダ本体７１ａに密に嵌合する
プランジャ６９の先端部６９ａは上記マニフォルド６８
の入口６８ａに一致する円錐形をしている。プランジャ
６９の中心にはプランジャ６９の進退方向に貫通する圧
縮空気の通路６９ｃが設けられている。この通路６９ｃ
は細穴またはオリフィル（不図示）を有し、プランジャ
６９ｂの前進を確保する。これによって流体圧シリンダ
７１のシリンダ本体７１ａの後部シリンダ室７１ｒとプ
ランジャ先端部６９ａとは連通している。シリンダ本体
７１ａの前部シリンダ室７１ｆ、後部シリンダ室７１ｒ
は夫々ポート７１ｂ、７１ｃで切換弁７３に通じてい
る。なお、切換弁７３は圧縮空気を圧力源とする場合は
三方切換弁である。

【００７３】上記構成の実施の形態８の作用を説明す
る。

【００７４】前回の加工が終了し、両頭平面研削盤が運
転を停止している状態では、流体圧シリンダ７１のプラ
ンジャ６９は後退位置に有り、プランジャ６９の先端部
６９ａはマニフォルド６８の入口６８ａから後退してお
り、ワーク駆動部材６０ｂ４を取り付けたプランジャ６
７ｂは圧縮コイルばね７４のばね力で前進した前進端に
有る。このプランジャ６７ｂの前進端位置においてはワ
ーク駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２はワーク１７のノ
ッチ１７ａの位置よりも回転板５７の中心側に有る。

【００７５】ワーク１７を取り付けるには切換弁７３を
切り換えて流体圧シリンダ７１の後部シリンダ室７１ｒ
に圧縮空気を送り込む。この圧縮空気は後部シリンダ室
７１ｒから通路６９ｃを通じて外部へ逃げるが、通路６
９ｃの絞り抵抗のため、プランジャ６９ｂには前進方向
の推力が生じて前進し、プランジャ先端部６９ａは一定
位置に停止している回転板５７に備えるマニフォルド６
８の入口６８ａに嵌め合され、圧縮空気はプランジャ６
９の通路６９ｃ、マニフォルド６８の通路６８ｂ、ポー
ト６７ｃをとおり、アクチュエータ６７の前部シリンダ
室６７ｆに進入し、圧縮コイルばね７４のばね力に抗し
てプランジャ６７ｂを後退させる。これによってワーク
駆動部材６０ｂ４は後退する。この状態でワーク１７の
ノッチ１７ａをワーク駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２
に一致させてセット穴６０ａに嵌め込む。なお、この際
のワーク１７を保持する仕方は両頭平面研削盤にワーク
１７をセットする際の前述の実施の形態と同様である。

【００７６】次に空気圧縮装置７２からの圧縮空気を切
換弁７３で切り換えると、圧縮空気は流体圧シリンダ７
１の前部シリンダ室７１ｆに送入されると共に後部シリ
ンダ室７１ｒの圧縮空気は大気中に解放され、プランジ
ャ６９は後退し、プランジャ先端６９ａはマニフォルド
６８の入口６８ａから離れる。これと同時にアクチュエ
ータ６７の前部シリンダ室６７ｆの圧縮空気はポート６
７ｃ、通路６８ｂをとおり入口６８ａから大気中へ放出
される。従って今まで前部シリンダ室６７ｆ中の圧縮空
気圧力で左行して縮められていた圧縮コイルばね７４の
ばね力でプランジャ６７ｂは前進し、ワーク駆動部材６
０ｂ４はワーク１７のノッチ１７ａに向って進む。この
際にワーク駆動部材６０ｂ４の三角形の突端６０ｂ２と
ワーク１７のＶ形のノッチ１７ａとの間に図２３（ａ）
に示すようにずれαがあったとしても、ワーク駆動部材
６０ｂ４は圧縮コイルばね７４のばね力でもってその突
端６０ｂ２がノッチ１７ａに進入する力でワーク１７は
セット穴６０ａ中で回転して図２５の（ａ）から（ｂ）
のようにワーク駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２とノッ
チ１７ａは一致する。このようにワーク１７をワーク支
持部材１４にセットする際、ワーク１７のノッチ１７ａ
がラフにセットされても、正しい位置にセットされる。

【００７７】上述のようにしてあるため、マニフォルド
６８、アクチュエータ６７、ワーク駆動部材６０ｂ４は
回転板５７と一体的になって回転する。そこで、研削抵
抗に変動があることにより、ワーク駆動部材６０ｂ４の
突端６０ｂ２とワーク１７のノッチ１７ａ間に圧縮コイ
ルばね７４のばね力が作用した状態でガタがないのでこ
の突端６０ｂ２とノッチ１７ａがぶつかりワーク１７に
チッピング等の損傷が生ずるのを防止できる。また、ワ
ーク１７を回転板５７に対して着脱する際も、ノッチ１
７ａとワーク駆動部材６０ｂ間は離れているのでワーク
１７はセット穴６０ａにラフにセットできる。

【００７８】ワーク１７の研削が終ると回転板５７は定
位置で停止する。切換弁７３を切り換えるとプランジャ
６９は前進してその先端部６９ａはマニフォルド６８の
入口６８ａに嵌合すると共にマニフォルド６８の通路６
９ｃ、アクチュエータ６７のポート６７ｃを通じてアク
チュエータ６７の前部シリンダ室６７ｆに圧縮空気を送
入し、プランジャ６７ｂを圧縮コイルバネ７４のばね力
に抗して後退させ、ワーク１７のノッチ１７ａとワーク
駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２との間に隙間を生じさ
せる。ここで加工済ワーク１７を取り外し、未加工ワー
ク１７をセット穴６０ａに嵌め合せる。

【００７９】（実施の形態９） この実施の形態９は実施の形態７において、研削抵抗の
変動を検出するようにしたものである。図２８〜図３０
にこの実施の形態９を示す。ワーク支持部材としては図
２０、図２１に示した実施の形態７と全体構成が同一で
ある。

【００８０】図３０に示すようにワーク駆動部材６０ｂ
４の胴部６０ｂ３は緩衝材６５で挟持されている。この
緩衝材６５に穴を設けてワーク駆動部材６０ｂ４の胴部
６０ｂ３の両側の夫々と取付ブラケット６６の内壁間に
圧力検出器７７（７７ａ，７７ｂ）を設けてある。この
圧力検出器７７は圧電素子であるが変位計等であっても
よい。圧力検出器７７で検出された圧力は圧電変換さ
れ、オペアンプ７８ａ，７８ｂで夫々増幅して比較器を
含む制御装置７９で圧力検出器７７ａ，７７ｂが検出し
た圧力の差を算出し、数値制御装置８１を介して、ワー
ク回転速度、砥石回転速度、砥石切り込みを制御する。

【００８１】図２８、図２９に示すように上記圧力検出
器７７ａ，７７ｂ間はワーク支持板６０の下面に設けた
回転板５７と同心の二条のスリップリング８２とスリッ
プリング８２に夫々摺動する２本のブラッシ８３により
オぺアンプ１８ａ，１８ｂに取り出す。または、図示さ
れないが、圧力検出器７７ａ，７７ｂに電波発信器（不
図示）を備え、無線受信器を介して前記圧力検出器７７
ａ，７７ｂの信号をオペアンプ７８ａ，７８ｂに入力す
るようにしてもよい。

【００８２】この実施の形態９によれば砥石摩耗により
研削抵抗が異常に大きくなり、ワーク１７のノッチ１７
ａにクラックや割れが生じるおそれがあるときは、砥
石、ワークの減速、切り込みを少なくする等により、対
処できる。

【００８３】（実施の形態１０） 図３１はワーク駆動部の好適な実施の形態を示す。

【００８４】図３１はワーク１７のＶ字形のノッチ１７
ａに対してＶ字の腹部にワーク駆動部６０ｂが接触する
ように、ワーク駆動部６０ｂの腹部を突形の曲面６０ｂ
５としたものである。この曲面は円又は二次曲線もしく
はインボリュート等である。この形状を採用することに
より、ノッチ１７ａとワーク１７の外周との角１７ｃに
ワーク駆動部６０ｂが当たることがないので、特にチッ
ピングを生じ易いワーク１７の角１７ｃのチッピングを
防止できる。

【００８５】

【発明の効果】本発明のウエハの加工方法によればウエ
ハのセットが容易である。そしてウエハを強制して自転
可能で且つ、ウエハの両面を同時に研削できるため、加
工時間が短かく且つ面粗度、形状精度が良好である。

【００８６】また上記においてウエハの両面を異なる研
削作用を呈する砥石を用いて加工することにより、片面
のみを所要の仕上を行うと共に他の回路を付さない面に
は必要な限りの仕上を行うことがいきる。

【００８７】また上記においてカップ砥石の研削作用面
がウエハの中心をとおるようにすることによりウエハの
全面を研削できる。

【００８８】内周にワークのノッチに係合する前進位置
と、この前進位置から後退位置をとるワーク駆動部を有
しワークが嵌め込まれるセット穴を備えワークよりも薄
く砥石端面が近接可能な回転板と、この回転板を回転自
在に支持する支持部材と、ワーク駆動部を進退させる駆
動手段と、回転板の回転駆動手段を備えた両頭平面研削
盤によればワークをラフにセットでき、薄いワークを効
率よく加工でき、形状精度（ワープ）のすぐれた製品が
得られる。また、ここで、ワーク駆動部を回転板の中心
に向って付勢するばね部材を設けると、ワークにチッピ
ングが生ずるのを防止できる。

【００８９】本発明のワーク支持部材は容易に両頭研削
盤に取り付け可能で研削盤の装置本体は殆んどそのまま
用いることができる。

【００９０】本発明のワーク駆動部のワークに接する面
又はワーク駆動部をワークよりも軟質の材料としたワー
ク支持部材によれば、ワークのノッチに割れ等の損傷を
生ずるおそれがなくなる。

【００９１】本発明の回転板のワークに接する側をワー
クよりも軟質の材料としたワーク支持部材によれば、ワ
ークのチッピング、ワークのノッチの割れ等の損傷を防
止する効果がある。回転板は中心部のワークよりも薄い
部分の外周側がワークより薄い部分よりも肉厚で円環状
であるため、回転板の強度、剛性を確保できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の両頭平面研削盤の実施の形態を示す
正面図である。

【図２】下部フレーム部分の要部縦断面図である。

【図３】上部フレーム部分の要部縦断面図である。

【図４】ワーク支持部材の平面図である。

【図５】スライドテーブル部を示す縦断面図である。

【図６】同じく斜視図である。

【図７】研削工具の正面図である。

【図８】図７の縦断面図である。

【図９】研削工具の他の例を示す正面図である。

【図１０】図９の縦断面図である。

【図１１】実施の形態４のワーク支持部材の要部の平面
図である。

【図１２】図１１の縦断面図である。

【図１３】実施の形態５のワーク支持部材の要部の平面
図である。

【図１４】図１３の縦断面図である。

【図１５】実施の形態６のワーク支持部材の要部の平面
図である。

【図１６】図１５の縦断面図である。

【図１７】実施の形態６の変形例の平面図である。

【図１８】図１７の縦断面図である。

【図１９】実施の形態７のワーク支持部材の要部の平面
図である。

【図２０】図１９の縦断面図である。

【図２１】実施の形態７におけるワーク駆動部の斜視図
である。

【図２２】図１９の縦断面図である。

【図２３】実施の形態８のワーク支持部材の平面図であ
る。

【図２４】図２３の縦断面図である。

【図２５】（ａ），（ｂ）は夫々ワーク駆動部材の動作
を示す平面図である。

【図２６】ワーク駆動部材を取り付けたアクチュエータ
の縦断面図である。

【図２７】図２４の一部を一部断面で示す拡大側面図で
ある。

【図２８】実施の形態９のワーク支持部材の平面図であ
る。

【図２９】図２８の縦断面図である。

【図３０】実施の形態９の負荷検出手段の一部を透視し
てみる斜視図である。

【図３１】実施の形態１０の平面図である。

【符号の説明】

１…研削工具 ２…台板 ２ａ…凹形嵌合部 ３…ダイヤモンド砥石 ３ａ…研削作用面 ４，５…ワーク接触部材 ４ａ，５ａ…ワーク接触面 ６…砥石ホルダ ６ａ…凸形嵌合部 ７…ボルト ８…ダイヤモンドインプリ砥石 １１…下部フレーム １２…下部砥石回転昇降機構 １３…上部砥石回転昇降機構 １４…ワーク支持部材 １５…下部回転砥石 １５ａ…研削作用面 １６…上部回転砥石 １６ａ…研削作用面 １７…ワーク（ウエハ） １７ａ…ノッチ １７ｂ…部
分 １７ｃ…角 ２０…砥石台 ２１…ガイド ２２…下部砥石台移動用モータ ２３…ボールネジ ２３ａ…ボールナット ２４…下部軸支筒 ２４ａ…ガイド部 ２４ｂ…ブラケ
ット ２５…下部砥石台昇降用モータ ２６…回転伝達機構 ２７…ボールねじ ２８…下部砥石軸 ２９…砥石ホルダ ３４…砥石駆動モータ ３８…上部軸支筒 ３８ａ…ブラケット ３９…ガイド ４０…昇降用モータ ４１…ボールねじ ４１ａ…ボールナット ４２…上部砥石軸 ４３…砥石ホルダ ４８…砥石駆動モータ ５２…支持台 ５３…スライドテーブル ５４…ガイドレール ５５…スライドテーブル移動用モータ ５６…ボールねじ ５６ａ…ボールナット ５７…回転板 ５７ａ…外周枠 ５８…ガイドローラ ５９…ギア ６０…ワーク支持板 ６０ａ…セット穴 ６０ｂ…ワー
ク駆動部 ６０ｂ１…根本部 ６０ｂ２…突端 ６０ｂ
３…胴部 ６０ｂ４…ワーク駆動部材 ６０ｂ５…曲面
６０ｃ…金属板 ６０ｄ…ワーク支持板 ６０ｅ…本
体 ６０ｆ…切り込み部 ６０ｇ…外周側円板 ６０ｈ
…ワーク支持板 ６０ｉ…スリット ６１…回転板回転用モータ ６２…ギア ６３…スタッド ６３ａ…胴部 ６４…ボルト ６５…緩衝材 ６６…ブラケット ６７…アクチュエータ ６７ａ…シリンダ本体 ６７ｂ
…プランジャ ６７ｂ１…溝 ６７ｂ２…すり割り溝
６７ｃ…ポート ６７ｆ…前部シリンダ室 ６７ｒ…シ
リンダ室 ６８…マニフォルド ６８ａ…入口 ６８ｂ…圧縮空気
通路 ６９…プランジャ ６９ａ…先端部 ６９ｂ…プランジ
ャ ６９ｃ…通路 ７１…流体圧シリンダ ７１ａ…シリンダ本体 ７１
ｂ，７１ｃ…ポート ７１ｆ…前部シリンダ室 ７１ｒ
…後部シリンダ室 ７２…空気圧縮装置 ７３…切換弁 ７４…圧縮コイルばね ７５…小ねじ ７６…小ねじ ７７，７７ａ，７７ｂ…圧力検出器 ７８ａ，７８ｂ…オペアンプ ７９…制御装置 ８１…数値制御装置 ８２…スリップリング ８３…ブラッシ １１１…上部フレーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 豊尚 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会 社 日平トヤマ富山工場内 (72)発明者 温井 満 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会 社 日平トヤマ富山工場内 (56)参考文献 特開 平８−162430（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−266430（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−155358（ＪＰ，Ａ) 実公 平４−13076（ＪＰ，Ｙ２) 米国特許5533924（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 7/17 B24B 41/06 H01L 21/304 621

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インゴットから切断後のウエハの加工方
   法において、 ウエハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハ
   のノッチに係合する前進位置と、この前進位置から後退
   した後退位置とをとるワーク駆動部と、このワーク駆動
   部が突出するセット穴を有し、ウエハより薄い薄片で砥
   石よりも大径の回転板と、 一対の砥石を有し砥石端面を対向させて砥石端面でウエ
   ハの研削を行う両頭平面研削盤とを準備して、ワーク駆動部を後退させた状態でウエハをセット穴に挿
   入した後、ワーク駆動部を回転板の中心に向って前進さ
   せ ワーク駆動部にウエハのノッチを係合させてセット穴
   にウエハを遊嵌した状態で、前記回転板を駆動すること
   によりウエハを回転させると共に、前記砥石を回転しウ
   エハの両面に作用させて研削を行うことを特徴とするウ
   エハの加工方法。
2. 【請求項２】 前記砥石はカップ砥石であって、前記ウ
   エハの中心にカップ砥石の研削作用面が重なるように加
   工することを特徴とする請求項１に記載のウエハの加工
   方法。
3. 【請求項３】 一対のカップ砥石が両砥石端面を対向し
   て配設され、砥石端面で外周にノッチを有する円板形ワ
   ークの板面を加工する両頭平面研削盤において、ワークを遊嵌し、内周から内部に向って突設され 前記ワ
   ークのノッチに係合する前進位置と、この前進位置から
   後退した後退位置をとるワーク駆動部を有するセット穴
   を備え前記ワークよりも薄く砥石端面が近接可能なよう
   に砥石径よりも大きな大きさを有する回転板と、前記ワーク駆動部を進退させる駆動手段と、 前記回転板を回転自在に支持する支持部材と、前記支持部材に設けられ前記回転板を回転駆動する 駆動
   手段と、 を具備したことを特徴とする両頭平面研削盤。
4. 【請求項４】 一対のカップ砥石が両砥石端面を対向し
   て配設され、砥石端面で外周にノッチを有する円板形ワ
   ークの板面を加工する両頭平面研削盤において、 ワークを遊嵌し、内周から内部へ向って突設され前記ワ
   ークのノッチに係合するワーク駆動部を有するセット穴
   を備え前記ワークよりも薄く砥石端面が近接可能なよう
   に砥石径よりも大きな大きさを有する回転板と、 前記ワーク駆動部は前記回転板に対して半径方向に移動
   自在に取り付けられ、 前記ワーク駆動部を前記回転板の中心に向って付勢する
   ばね部材と、 前記ワーク駆動部を前記ばね部材のばね力に抗して後退
   させるアクチュエータと、 前記回転板を回転自在に支持する支持部材と、 前記支持部材に設けられ前記回転板を回転駆動する駆動
   手段とを具備したことを特徴とする両頭平面研削盤。
5. 【請求項５】 前記回転板のワーク駆動部は少くともワ
   ークに接する面がワークよりも軟質の材料でなることを
   特徴とする請求項３又は４に記載の両頭平面研削盤。
6. 【請求項６】 前記回転板の支持部材は砥石軸に直角方
   向に設けられた案内部材に移動自在に係合するスライド
   テーブルであることを特徴とする請求項５に記載の両頭
   平面研削盤。
7. 【請求項７】 砥石端面で外周にノッチを有する円板形
   のワークの平面を加工する研削盤に用いられるワーク支
   持部材において、 ワークを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されワーク
   のノッチに係合するワーク駆動部を有するセット穴を有
   し、ワークより薄い薄片で砥石よりも大径の回転板と、 前記ワーク駆動部は前記回転板に対して半径方向に移動
   自在に取り付けられ、 前記ワーク駆動部を前記回転板の中心に向って付勢する
   ばね部材と、 前記ワーク駆動部を前記ばね部材のばね力に抗して後退
   させるアクチュエータと、 前記回転板を回転自在に支持する支持手段と、 前記支持手段に設けられ回転板を回転駆動する駆動手段
   とを具備したことを特徴とするワーク支持部材。
8. 【請求項８】 ワーク駆動部は少なくともワークに接す
   る面がワークよりも軟質の材料でなることを特徴とする
   請求項７に記載のワーク支持部材。
9. 【請求項９】 前記回転板のワークに接する側をワーク
   よりも軟質の材料としたことを特徴とする請求項７又は
   請求項８に記載のワーク支持部材。
10. 【請求項１０】 前記支持手段は回転板の板面に平行な
    案内手段に移動自在に嵌合していることを特徴とする請
    求項７から９の何れか１つに記載のワーク支持部材。
11. 【請求項１１】 前記回転板は中心部のワークよりも薄
    い部分の外周側が前記ワークより薄い部分よりも厚肉で
    円環状であることを特徴とする請求項７から１０の何れ
    か１つに記載のワーク支持部材。