JPH10267694A - ロータリーエンコーダ - Google Patents
ロータリーエンコーダInfo
- Publication number
- JPH10267694A JPH10267694A JP7700697A JP7700697A JPH10267694A JP H10267694 A JPH10267694 A JP H10267694A JP 7700697 A JP7700697 A JP 7700697A JP 7700697 A JP7700697 A JP 7700697A JP H10267694 A JPH10267694 A JP H10267694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- phase grating
- fixed plate
- rotary encoder
- around
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 信号変調度の高い光学系を有するロータリー
エンコーダを提供することを目的とする。 【解決手段】 透明基盤上の表面に、光源から出射され
た光の光軸に対してほぼ垂直で、かつ互いに平行に設け
た凹凸形状の位相格子を備えた回転板と固定板とを具備
したロータリーエンコーダにおいて、不要な光を遮る遮
光体14bを固定板14の位相格子4a周辺に設ける。
エンコーダを提供することを目的とする。 【解決手段】 透明基盤上の表面に、光源から出射され
た光の光軸に対してほぼ垂直で、かつ互いに平行に設け
た凹凸形状の位相格子を備えた回転板と固定板とを具備
したロータリーエンコーダにおいて、不要な光を遮る遮
光体14bを固定板14の位相格子4a周辺に設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転体の回転位置
を検出する、特に透過型位相格子方式によって信号生成
を行うロータリーエンコーダに関するものである。
を検出する、特に透過型位相格子方式によって信号生成
を行うロータリーエンコーダに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、産業用機器の駆動源として保守が
容易なACサーボモータの需要が増加し、このACサー
ボモータにはモータ軸の回転位置センサとしてロータリ
ーエンコーダが搭載されている。このロ−タリ−エンコ
ーダには、インクリメンタルエンコーダとアブソリュー
トエンコ−ダがあり、さらに信号生成方式により、明暗
格子方式と凹凸形状の位相格子方式に区分される。
容易なACサーボモータの需要が増加し、このACサー
ボモータにはモータ軸の回転位置センサとしてロータリ
ーエンコーダが搭載されている。このロ−タリ−エンコ
ーダには、インクリメンタルエンコーダとアブソリュー
トエンコ−ダがあり、さらに信号生成方式により、明暗
格子方式と凹凸形状の位相格子方式に区分される。
【0003】特に高パルス化に対応するため透過型位相
格子方式が開発されている(例えば、特開平7−181
009号公報参照)。
格子方式が開発されている(例えば、特開平7−181
009号公報参照)。
【0004】図6は回転板及び固定板の表面に位相格子
を設けた透過型位相格子方式のロータリーエンコーダの
構成図、図7はこの方式の概念図を示す。
を設けた透過型位相格子方式のロータリーエンコーダの
構成図、図7はこの方式の概念図を示す。
【0005】図6において、1は光源となる発光部で、
可干渉な光を発する。2は光源1より発せられた光をコ
リメートするレンズである。3は回転板、4は固定板
で、共に発光部1から出射された光の光軸に対してほぼ
垂直かつ互いに平行で、主として±1次回折光を透過さ
せる位相格子を有し、透明基盤上の凹凸形状にて形成さ
れており、透明基盤の屈折率と空気の屈折率との差を利
用することにより、主として±1次回折光を透過させ
る。凹凸の形状としては、成型の容易さから断面が矩形
の形状が一般的で、回転板3上の位相格子は放射状に形
成され、固定板4上の位相格子は主として回転板3上の
位相格子の一部を切り出した形状を用いるが、信号生成
方式によって異なる。5は光検出器で、受光した光の強
度に応じた電気的信号を発生させる。6はモータ軸で回
転板3と剛的に接続されている。7はモータブラケット
であり、発光部1,固定板4,光検出器5,モータブラ
ケット7は剛的に設置されている。
可干渉な光を発する。2は光源1より発せられた光をコ
リメートするレンズである。3は回転板、4は固定板
で、共に発光部1から出射された光の光軸に対してほぼ
垂直かつ互いに平行で、主として±1次回折光を透過さ
せる位相格子を有し、透明基盤上の凹凸形状にて形成さ
れており、透明基盤の屈折率と空気の屈折率との差を利
用することにより、主として±1次回折光を透過させ
る。凹凸の形状としては、成型の容易さから断面が矩形
の形状が一般的で、回転板3上の位相格子は放射状に形
成され、固定板4上の位相格子は主として回転板3上の
位相格子の一部を切り出した形状を用いるが、信号生成
方式によって異なる。5は光検出器で、受光した光の強
度に応じた電気的信号を発生させる。6はモータ軸で回
転板3と剛的に接続されている。7はモータブラケット
であり、発光部1,固定板4,光検出器5,モータブラ
ケット7は剛的に設置されている。
【0006】図7において、発光部1より射出された光
は、レンズによってコリメートされた後、回転板3の表
面に形成された位相格子により回折され、主に±1次回
折光が固定板4に到達する。そして、固定板4の表面に
形成された位相格子4aにより再度回折され、主に±1
次回折光が射出される。回転板3及び固定板4にて回折
された回折光のうち、初めに回転板3にて+1次に回折
され、次に固定板4にて−1次に回折された光(以下
“(+1,−1)次光”と呼ぶ)と(−1,+1)次光
が主として光検出器5に入射する。(+1,−1)次光
と(−1,+1)次光とは互いに干渉し、互いに強め合
うか、弱め合うかは回転板3、固定板4の相対位置によ
って変化する。この光の強度の変化を光検出器5が電気
的信号の変化に変換し、信号処理回路を用いてこの電気
的信号の変化を基に、回転板3の回転量即ち回転板3に
剛的に接続されているモータ軸の回転量に応じたパルス
を生成する。
は、レンズによってコリメートされた後、回転板3の表
面に形成された位相格子により回折され、主に±1次回
折光が固定板4に到達する。そして、固定板4の表面に
形成された位相格子4aにより再度回折され、主に±1
次回折光が射出される。回転板3及び固定板4にて回折
された回折光のうち、初めに回転板3にて+1次に回折
され、次に固定板4にて−1次に回折された光(以下
“(+1,−1)次光”と呼ぶ)と(−1,+1)次光
が主として光検出器5に入射する。(+1,−1)次光
と(−1,+1)次光とは互いに干渉し、互いに強め合
うか、弱め合うかは回転板3、固定板4の相対位置によ
って変化する。この光の強度の変化を光検出器5が電気
的信号の変化に変換し、信号処理回路を用いてこの電気
的信号の変化を基に、回転板3の回転量即ち回転板3に
剛的に接続されているモータ軸の回転量に応じたパルス
を生成する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、光源から出射された光は、回転板,固定
板,光検出器の各表面や配線等で反射しており、エンコ
ーダ信号生成に必要な光と、不必要な光とを発生して別
の経路で進行する。この反射光のうち信号生成に不要な
光を乱反射光と呼び、この乱反射光も一緒に光検出器の
受光部に入射して電気的信号に変換される。つまり、透
過した乱反射光が受光部に入射した場合(図6における
実線の光路)は、電気的信号のオフセットとして現れ信
号変調度の低下を招くという問題点を有していた。
来の構成では、光源から出射された光は、回転板,固定
板,光検出器の各表面や配線等で反射しており、エンコ
ーダ信号生成に必要な光と、不必要な光とを発生して別
の経路で進行する。この反射光のうち信号生成に不要な
光を乱反射光と呼び、この乱反射光も一緒に光検出器の
受光部に入射して電気的信号に変換される。つまり、透
過した乱反射光が受光部に入射した場合(図6における
実線の光路)は、電気的信号のオフセットとして現れ信
号変調度の低下を招くという問題点を有していた。
【0008】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、信号変調度のより高い光学系を有するロータリーエ
ンコーダを提供することを目的とする。
で、信号変調度のより高い光学系を有するロータリーエ
ンコーダを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、不要な光を遮る遮光体を固定板の位相格子
周辺に設けたものである。また、固定板の位相格子周辺
に凹凸形状を設けたロータリーエンコーダである。
に本発明は、不要な光を遮る遮光体を固定板の位相格子
周辺に設けたものである。また、固定板の位相格子周辺
に凹凸形状を設けたロータリーエンコーダである。
【0010】
【発明の実施の形態】上記課題を解決するために本発明
は、可干渉な光を出射する光源と、前記光源から出射さ
れた光をコリメートするレンズと、前記光源から出射さ
れた光の光軸に対してほぼ垂直で、かつ互いに平行に設
けられており透明基盤上の表面に凹凸形状によって形成
される位相格子を有する回転板及び固定板と、前記回転
板及び固定板の位相格子によって回折された光を受光
し、電気的信号に変換する光検出器とを具備し、前記固
定板の位相格子周辺部に遮光体を設けたことを特徴とす
るロータリーエンコーダである。
は、可干渉な光を出射する光源と、前記光源から出射さ
れた光をコリメートするレンズと、前記光源から出射さ
れた光の光軸に対してほぼ垂直で、かつ互いに平行に設
けられており透明基盤上の表面に凹凸形状によって形成
される位相格子を有する回転板及び固定板と、前記回転
板及び固定板の位相格子によって回折された光を受光
し、電気的信号に変換する光検出器とを具備し、前記固
定板の位相格子周辺部に遮光体を設けたことを特徴とす
るロータリーエンコーダである。
【0011】また、遮光体が、固定板表面に蒸着された
金属化合物被膜である請求項1記載のロータリーエンコ
ーダである。
金属化合物被膜である請求項1記載のロータリーエンコ
ーダである。
【0012】また、可干渉な光を出射する光源と、前記
光源から出射された光をコリメートするレンズと、前記
光源から出射された光の光軸に対してほぼ垂直で、かつ
互いに平行に設けられており透明基盤上の表面に凹凸形
状によって形成される位相格子を有する回転板及び固定
板と、前記回転板及び固定板の位相格子によって回折さ
れた光を受光し、電気的信号に変換する光検出器とを具
備し、前記固定板の位相格子周辺部に凹凸形状を設けた
ことを特徴とするロータリーエンコーダである。
光源から出射された光をコリメートするレンズと、前記
光源から出射された光の光軸に対してほぼ垂直で、かつ
互いに平行に設けられており透明基盤上の表面に凹凸形
状によって形成される位相格子を有する回転板及び固定
板と、前記回転板及び固定板の位相格子によって回折さ
れた光を受光し、電気的信号に変換する光検出器とを具
備し、前記固定板の位相格子周辺部に凹凸形状を設けた
ことを特徴とするロータリーエンコーダである。
【0013】さらに、凹凸形状が、位相格子もしくはフ
レネル・ゾーン・プレート(FZP)である請求項3記
載のロータリーエンコーダである。
レネル・ゾーン・プレート(FZP)である請求項3記
載のロータリーエンコーダである。
【0014】このように固定板の位相格子周辺部に設け
た遮光体で、乱反射光などの不要な光を遮光するもの
で、光検出器の受光部に不要な光が入射するのを防ぐこ
とができる。
た遮光体で、乱反射光などの不要な光を遮光するもの
で、光検出器の受光部に不要な光が入射するのを防ぐこ
とができる。
【0015】また、遮光体を蒸着された金属化合物被膜
とすることで、容易に遮光体を形成することができる。
とすることで、容易に遮光体を形成することができる。
【0016】また、固定板の位相格子周辺部に凹凸形状
を設けることで、光検出器の受光部に積極的に偏光さ
せ、受光部に不要な光が入射するのを防ぐことができ
る。
を設けることで、光検出器の受光部に積極的に偏光さ
せ、受光部に不要な光が入射するのを防ぐことができ
る。
【0017】さらに、固定板の位相格子周辺部の凹凸形
状を位相格子もしくはフレネル・ゾーン・プレート(F
ZP)にすることで、光検出器の受光部に積極的に集光
させ、もしくは受光部外に積極的に集光させ、光検出器
の受光部に不要な光が入射するのを防ぐことができる。
状を位相格子もしくはフレネル・ゾーン・プレート(F
ZP)にすることで、光検出器の受光部に積極的に集光
させ、もしくは受光部外に積極的に集光させ、光検出器
の受光部に不要な光が入射するのを防ぐことができる。
【0018】このように光検出器の受光部に不要な乱反
射光が入射するのを防ぎ、電気的信号のオフセットをよ
り低下させ、信号変調度のより高い光学系を有するロー
タリーエンコーダを得ることができる。
射光が入射するのを防ぎ、電気的信号のオフセットをよ
り低下させ、信号変調度のより高い光学系を有するロー
タリーエンコーダを得ることができる。
【0019】そして、エンコーダ信号のHレベル電圧を
Vh、Lレベル電圧をVl、信号変調度をMとすると、
M=(Vh−Vl)/(Vh+Vl)で表わされ、この
信号変調度Mが大きいほど信号処理や整形回路への負担
度が軽減するもので、信号変調度の高低がロータリーエ
ンコーダの光学系を評価する上での一つの指標となって
いる。
Vh、Lレベル電圧をVl、信号変調度をMとすると、
M=(Vh−Vl)/(Vh+Vl)で表わされ、この
信号変調度Mが大きいほど信号処理や整形回路への負担
度が軽減するもので、信号変調度の高低がロータリーエ
ンコーダの光学系を評価する上での一つの指標となって
いる。
【0020】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。なお、固定板以外は従来と同じであ
り同じ符号を用いて詳細な説明は省略する。
しながら説明する。なお、固定板以外は従来と同じであ
り同じ符号を用いて詳細な説明は省略する。
【0021】(実施例1)図1において、固定板14は
エンコーダ信号生成のための位相格子4a領域と、位相
格子周辺の遮光体14b領域とで構成され、従来の光検
出器5と重ねて用いることで、周辺から乱反射光が光検
出器の受光部に入射するのを防止する。
エンコーダ信号生成のための位相格子4a領域と、位相
格子周辺の遮光体14b領域とで構成され、従来の光検
出器5と重ねて用いることで、周辺から乱反射光が光検
出器の受光部に入射するのを防止する。
【0022】また、遮光体14bは固定板14の位相格
子4a周辺に蒸着方法により酸化金属皮膜で形成するの
で、光検出器の受光部に対して位置精度よく形成するこ
とができ、乱反射光が受光部に入射するのを確実に防止
できる。
子4a周辺に蒸着方法により酸化金属皮膜で形成するの
で、光検出器の受光部に対して位置精度よく形成するこ
とができ、乱反射光が受光部に入射するのを確実に防止
できる。
【0023】なお、遮光体14bは光を透過しない材質
であれば他の材質でもよく、また他のコーティング方法
でもよい。さらに、遮光体14bは光の乱反射を防ぐ効
果も考慮すると光を吸収する黒色がより効果的である。
であれば他の材質でもよく、また他のコーティング方法
でもよい。さらに、遮光体14bは光の乱反射を防ぐ効
果も考慮すると光を吸収する黒色がより効果的である。
【0024】(実施例2)図2,図3は他の実施例を示
し、固定板は位相格子4a領域と、位相格子周辺の凹凸
形状領域とで構成され、従来の光検出器と重ねて用いる
ことで、周辺から乱反射光が光検出器の受光部に入射す
るのを防止する。
し、固定板は位相格子4a領域と、位相格子周辺の凹凸
形状領域とで構成され、従来の光検出器と重ねて用いる
ことで、周辺から乱反射光が光検出器の受光部に入射す
るのを防止する。
【0025】図2において、凹凸形状24c領域に固定
板の位相格子4aと同じ位相格子を採用したもので、結
果的に位相格子の数が増えたのと同じ構造である。
板の位相格子4aと同じ位相格子を採用したもので、結
果的に位相格子の数が増えたのと同じ構造である。
【0026】図3は凹凸形状領域に別の凹凸形状34d
を用いた例で、フレネル・ゾーン・プレート(以下FZ
Pと称す)と呼ばれる円弧状の格子を同心円状に形成し
たもので、受光部から比較的遠い部位に位置するように
FZPを設計することにより、積極的に光を受光部外に
偏向させて、周辺から乱反射光が受光部に入射するのを
防止したものである。
を用いた例で、フレネル・ゾーン・プレート(以下FZ
Pと称す)と呼ばれる円弧状の格子を同心円状に形成し
たもので、受光部から比較的遠い部位に位置するように
FZPを設計することにより、積極的に光を受光部外に
偏向させて、周辺から乱反射光が受光部に入射するのを
防止したものである。
【0027】このFZPは光を吸収できないので乱反射
を防ぐという効果に関しては遮光体を用いる方が効果的
であるが、遮光体の形成という別のプロセスが不要であ
り、位相格子4aと同一工程で作成が可能なため安価に
得ることができる。
を防ぐという効果に関しては遮光体を用いる方が効果的
であるが、遮光体の形成という別のプロセスが不要であ
り、位相格子4aと同一工程で作成が可能なため安価に
得ることができる。
【0028】なお、図示はしないが、位相格子周辺の凹
凸形状の領域に、増設した位相格子とさらに周辺にFZ
Pとを共存させてもよい。
凸形状の領域に、増設した位相格子とさらに周辺にFZ
Pとを共存させてもよい。
【0029】図4において、従来の図7において破線の
光路で示される光は、エンコーダ信号にオフセットとし
て影響を与えていたが、新たに設けた遮光体14bで遮
られ、光検出器の受光部5aに入射するのを防止でき
る。
光路で示される光は、エンコーダ信号にオフセットとし
て影響を与えていたが、新たに設けた遮光体14bで遮
られ、光検出器の受光部5aに入射するのを防止でき
る。
【0030】図5において、従来の図7において破線の
光路で示される光は、エンコーダ信号にオフセットとし
て影響を与えていたが、増設した凹凸形状24c,34
d(増設した位相格子)により光路を偏向させ、破線で
示すように光が受光部5aに入射するのを防止できる。
光路で示される光は、エンコーダ信号にオフセットとし
て影響を与えていたが、増設した凹凸形状24c,34
d(増設した位相格子)により光路を偏向させ、破線で
示すように光が受光部5aに入射するのを防止できる。
【0031】なお、図5では一次回折光の代表的な光路
を矢印で示したが、さらに位相格子の数を増設して、積
極的に高次の回折光(±2次の方向への回折光)を入射
させれば、エンコーダ信号の信号変調度をより高くする
ことができる。
を矢印で示したが、さらに位相格子の数を増設して、積
極的に高次の回折光(±2次の方向への回折光)を入射
させれば、エンコーダ信号の信号変調度をより高くする
ことができる。
【0032】
【発明の効果】上記の実施例から明らかなように請求項
1記載の発明によれば、固定板上の位相格子周辺に遮光
体を設けることで、エンコーダ信号生成に不要な乱反射
光を遮り、光検出器の受光部への影響を低減することが
できる。
1記載の発明によれば、固定板上の位相格子周辺に遮光
体を設けることで、エンコーダ信号生成に不要な乱反射
光を遮り、光検出器の受光部への影響を低減することが
できる。
【0033】また、請求項3記載の発明によれば、固定
板上の位相格子周辺に凹凸形状を設けることで、エンコ
ーダ信号生成に不要な乱反射光の光路を偏向し光検出器
の受光部への影響を低減することができる。これにより
信号変調度の高い信号を生成する光学系を有したロータ
リーエンコーダを得ることができる。
板上の位相格子周辺に凹凸形状を設けることで、エンコ
ーダ信号生成に不要な乱反射光の光路を偏向し光検出器
の受光部への影響を低減することができる。これにより
信号変調度の高い信号を生成する光学系を有したロータ
リーエンコーダを得ることができる。
【図1】本発明の第一の実施例における固定板の構成図
【図2】本発明の第二の実施例における固定板の構成図
【図3】本発明の第二の実施例における別の固定板の構
成図
成図
【図4】本発明の第一の実施例の光学系概念図
【図5】本発明の第二の実施例の光学系概念図
【図6】従来の透過型位相格子方式を用いたロータリー
エンコーダの構成図
エンコーダの構成図
【図7】従来の透過型位相格子方式を用いたロータリー
エンコーダの光学系概念図
エンコーダの光学系概念図
1 光源 2 レンズ 3 回転板 14,24,34 固定板 4a 位相格子 14b 遮光体 24c 凹凸形状 34d フレネル・ゾーン・プレート(FZP) 5 光検出器
Claims (4)
- 【請求項1】可干渉な光を出射する光源と、前記光源か
ら出射された光をコリメートするレンズと、前記光源か
ら出射された光の光軸に対してほぼ垂直で、かつ互いに
平行に設けられており透明基盤上の表面に凹凸形状によ
って形成される位相格子を有する回転板及び固定板と、
前記回転板及び固定板の位相格子によって回折された光
を受光し、電気的信号に変換する光検出器とを具備し、
前記固定板の位相格子周辺部に遮光体を設けたことを特
徴とするロータリーエンコーダ。 - 【請求項2】遮光体が、固定板表面に蒸着された金属化
合物被膜である請求項1記載のロータリーエンコーダ。 - 【請求項3】可干渉な光を出射する光源と、前記光源か
ら出射された光をコリメートするレンズと、前記光源か
ら出射された光の光軸に対してほぼ垂直で、かつ互いに
平行に設けられており透明基盤上の表面に凹凸形状によ
って形成される位相格子を有する回転板及び固定板と、
前記回転板及び固定板の位相格子によって回折された光
を受光し、電気的信号に変換する光検出器とを具備し、
前記固定板の位相格子周辺部に凹凸形状を設けたことを
特徴とするロータリーエンコーダ。 - 【請求項4】凹凸形状が、位相格子もしくはフレネル・
ゾーン・プレート(FZP)である請求項3記載のロー
タリーエンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7700697A JPH10267694A (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | ロータリーエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7700697A JPH10267694A (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | ロータリーエンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10267694A true JPH10267694A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13621687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7700697A Pending JPH10267694A (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | ロータリーエンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10267694A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004069702A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 干渉式位置測定装置 |
JP2007116136A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-05-10 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 位相変調素子、位相変調素子の製造方法、結晶化装置および結晶化方法 |
WO2015011848A1 (ja) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | 太陽誘電株式会社 | 変位計測装置及び変位計測方法 |
-
1997
- 1997-03-28 JP JP7700697A patent/JPH10267694A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004069702A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 干渉式位置測定装置 |
JP2007116136A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-05-10 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 位相変調素子、位相変調素子の製造方法、結晶化装置および結晶化方法 |
WO2015011848A1 (ja) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | 太陽誘電株式会社 | 変位計測装置及び変位計測方法 |
JP2015021890A (ja) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | 太陽誘電株式会社 | 変位計測装置及び変位計測方法 |
US10012519B2 (en) | 2013-07-22 | 2018-07-03 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Displacement measurement device and displacement measurement method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0421069Y2 (ja) | ||
US7358481B2 (en) | Reflective encoder with three-dimensional code carrier | |
JP3254737B2 (ja) | エンコーダー | |
US5498870A (en) | Rotation information detection apparatus | |
JP3227206B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
US5483059A (en) | Signal processing method using comparator level adjustment in a displacement measuring device | |
JP6407502B1 (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
JPH10267694A (ja) | ロータリーエンコーダ | |
JP3032712B2 (ja) | 位相格子 | |
JPH102761A (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP3196487B2 (ja) | 変移の測定方法および測定装置 | |
JPH10206192A (ja) | ロータリーエンコーダ | |
JP2570510Y2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP3574733B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP2004028862A (ja) | 投影型エンコーダ | |
JP2003279383A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JPH1082661A (ja) | 反射型のオプティカルエンコーダ | |
WO2014203314A1 (ja) | エンコーダ、エンコーダ付きモータ、及びサーボシステム | |
JP2004271271A (ja) | 投影型ロータリエンコーダ | |
JPS6032126B2 (ja) | 光電型エンコ−ダ | |
CN219757356U (zh) | 光栅、编码器和伺服电机 | |
JPS62128615A (ja) | 光学式エンコ−ダ | |
JP2783242B2 (ja) | 回転検出装置 | |
JP2021043088A (ja) | 光電式エンコーダ | |
JPH11142187A (ja) | ロータリエンコーダ |