JPH10267627A - リードフレームの検査方法及び装置 - Google Patents

リードフレームの検査方法及び装置

Info

Publication number
JPH10267627A
JPH10267627A JP7182597A JP7182597A JPH10267627A JP H10267627 A JPH10267627 A JP H10267627A JP 7182597 A JP7182597 A JP 7182597A JP 7182597 A JP7182597 A JP 7182597A JP H10267627 A JPH10267627 A JP H10267627A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
lead
camera
leads
short
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7182597A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Takeda
博 武田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority to JP7182597A priority Critical patent/JPH10267627A/ja
Publication of JPH10267627A publication Critical patent/JPH10267627A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】形状の複雑なリードフレーム、特にLOC構造
を採るリードフレームのリード短絡有無の検査を可能に
する検査方法及び装置を提供する。 【解決手段】画像を取り込み可能なカメラ5と、カメラ
5により取り込まれた画像を画像処理する画像処理部8
と、照明光源6とを備え、照明光源6とカメラ5との間
にリードフレーム7が通過するように搬送ベルト4が設
けられたリードフレーム検査装置において、カメラ5に
より取り込まれたリードフレーム7の画像を2値化処理
し、所定の測定範囲におけるリード数Aと、リードフレ
ームの種類に応じて予め設定されたリード数Bとを比較
し、AとBの異同によりリードフレームの短絡の有無を
判定する処理方式を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体実装用部品
として用いられるリードフレームのリード先端部の短絡
の有無を検査する方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体実装用部品としてのリードフレー
ムの検査項目には、リード変形検査、リード間隔検査、
メッキエリア検査、メッキ外観検査などがある。これら
の検査対象となるリードフレームには、通常、パターン
中央部に半導体チップを搭載可能なアイランドが形成さ
れていると共に、半導体チップとワイヤーボンディング
などにより電気的に接続されるべきリードが、外側より
アイランド部に向かって放射状に延びた構造となってい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、最近用いられ
るメモリー用リードフレームは、パターン中央部にアイ
ランドがなく、また、リード形状も複雑化している。そ
して、この様なリードフレームのリード間隔は、上記の
如き構造をした従来のリード間隔を測る装置では測定困
難となっている。
【0004】また、近年のモールド樹脂やモールド技術
の進展により、リード間隔の最小規格値(少なくとも開
いていなければならない間隔値)が狭小化の傾向にあ
り、リード間隔の測定よりもリード短絡の有無を検査す
ることが重要視されてきている。本発明は、このような
リードフレーム業界の要請に対応すべく開発されたもの
であり、形状の複雑なリードフレーム、特にLOC構造
を採るリードフレームのリード短絡の有無の検査を可能
にする検査方法及び装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るリードフレームの検査方法は、カメラ
より取り込まれたリードフレームの画像を2値化処理
し、所定の測定範囲におけるリード数Aを算出し、該リ
ード数Aとリードフレームの種類に応じて予め設定され
たリードの数Bとを比較し、AとBとが等しい場合には
該リードフレームを短絡なしと判定し、AとBとが異な
る場合には該リードフレームを短絡ありと判定するよう
にしたことを特徴とする。
【0006】また、本発明に係るリードフレームの検査
方法は、好ましくは、先端部にテープが貼着された構造
のリードフレームを検査対象とすることを特徴とする。
【0007】また、本発明に係るリードフレームの検査
装置は、画像を取り込み可能なカメラと、カメラにより
取り込まれた画像を処理する画像処理装置と、照明光源
とを備え、照明光源とカメラとの間をリードフレームが
通過するようにしたリードフレームの検査装置におい
て、カメラに取り込まれたリードフレームの画像を2値
化処理し、所定の測定範囲におけるリード数Aと、リー
ドフレームの種類に応じて予め設定されたリード数Bと
を比較し、AとBの異同によりリード短絡の有無を判定
するようにしたことを特徴とする。
【0008】また、本発明に係るリードフレームの検査
装置は、好ましくは、先端部にテープが貼着された構造
のリードフレームを検査可能になされていることを特徴
とする。
【0009】本発明によるリードフレームの検査装置に
は、検査対象となるリードフレームの種類に従って所定
の測定枠内におけるリード数とリード間隔とリード短絡
判定率との関係を示す基準データが予め格納されてい
る。そして、画像処理して得られたパターンより、リー
ド数と、各リード間隔とを求め、これらと予め記憶装置
に格納された基準データと比較することによりリードの
短絡の有無を検出する。本発明は、透過照明によるリー
ドフレームの影を画像処理することにより被検査リード
の数を算出して、リード間の短絡の有無を検出するよう
にしたので、リード形状が極めて複雑な場合でも画像の
濃淡(または明度差)がリード形状に沿って明確にな
り、2値化のためのしきい値を設定し易い。また、本発
明は、リード間の短絡の有無の判定に際し、被検査リー
ドの数を基準データと比較するようにしたので、基準パ
ターンと被検査パターンとの位置合わせを行う必要がな
く、その結果、複雑な形状のリードフレームについて
も、効率よく、かつ正確にリード間の短絡の有無を検出
することができる。
【0010】
【発明の実施形態】以下、本発明によるリードフレーム
の検査装置、及びリードフレームの検査方法につき、図
を用いて説明する。図1は、本発明によるリードフレー
ムの検査装置の一実施形態における搬送部,画像入力部
及び照明部を示す部分側面図である。本実施形態による
検査装置には、検査前のリードフレームを積載可能なリ
ードフレーム・ローディングストッカ1と、検査後不良
品と判定されたリードフレームを積載可能なアンロード
・不良品ストッカ2と、良品と判定されたリードフレー
ムを積載可能なアンロード・良品ストッカ3とが設けら
れ、また、リードフレームを所定の方向に搬送する搬送
部として搬送ベルト4が、それらのストッカの間を通る
ようにして設けられている。搬送ベルト4を挟んで上方
には、所定位置に搬送されたリードフレームの画像を取
り込むためのCCDカメラ5、下方には、所定位置に搬
送されたリードフレームを照明するための照明光源6が
設けられており、搬送ベルト4上のリードフレーム7が
CCDカメラ5と照明光源6との間を通過せしめられる
ようになっている。更に、本実施形態の検査装置には、
リードフレーム・ローディングストッカ1に積載された
リードフレーム7を一定間隔で搬送ベルト4上に移送し
得る移送手段(図示省略)、リードフレーム7がCCD
カメラ5と照明光源6との間を通過後の搬送ベルト4上
のリードフレーム7をアンロード・不良品ストッカ2,
アンロード良品ストッカ3にそれぞれ移送し得る移送手
段(図示省略)が備えられている。
【0011】図2は、画像入力部と画像処理部及び照明
部を示す本実施形態の構成概要図である。照明光源6
は、例えば、高周波点灯による蛍光灯を備えると共にそ
の頂部に拡散板6aを備えてなり、拡散板6aを透過し
た光がリードフレーム7を照射するように配置されてお
り、リードフレーム7の画像を影としてCCDカメラ5
に取り込ませるようになっている。また、CCDカメラ
5は、画像処理装置8と接続されている。画像処理装置
8の内部には、例えば、記憶領域に、検査対象となるリ
ードフレームの種類に従って所定の測定枠内におけるリ
ード数とリード間隔とリード短絡判定率との関係を示す
基準データが予め格納されている。また、画像処理装置
8の内部には、CCDカメラ5より取り込まれた画像を
2値化処理、ラベリング処理する処理装置と共に、更
に、画像処理して得られたパターンより求められたリー
ド数と各リード間隔とを予め記憶装置に格納された基準
データと比較することによりリードの短絡の有無を検出
するようにした処理装置が組み込まれている。また、画
像処理装置8は、リード短絡の有無により、リードフレ
ームがアンロード・不良品ストッカ2,アンロード良品
ストッカ3に区分けして送り込まれるように搬送ベルト
4及び上記移送手段を制御し得る制御回路(図示省略)
を介して上述の移送手段と接続されている。
【0012】図3は、上記装置を用いてLOC構造のリ
ードフレームの影を画像処理して得られた2値画像を示
す平面図、図4は、本実施形態の画像処理装置8による
リードの短絡有無の検査手順を示すフローチャートであ
る。画像処理装置8の処理手順について説明すると、先
ず、ステップS1でCCDカメラ5により入力されたリ
ードフレームの画像を、画素の濃度値に基づき予め定め
ておいた所定のしきい値によって2値化し(ステップS
2)、次に、2値化された画像上の所定範囲内の連結領
域に順に番号を付け(ラベリング)、このラベリングに
より最後に付けられた番号をリード数Aとして算出する
(ステップS3)。
【0013】次に、画像処理装置8の内部記憶領域に予
め格納された検査対象のリードフレームと同種のリード
フレームの基準リード数Bを検索して求め(ステップS
4)、画像処理して得られたリード数Aと各リード間隔
を、上記リードフレームの基準データと比較し(ステッ
プS5)、リード数Aと基準リード数Bとが等しいと
き、リードフレーム7に短絡部なしと判定し、リード数
Aと基準リード数Bとが異なるとき、リードフレーム7
に短絡部ありと判定して所定の電気信号を制御回路(図
示省略)に送り込み、リードフレーム7に短絡部なしと
判定したとき、該リードフレーム7をアンロード・良品
ストッカ3に送り込み(ステップS6)、他方、リード
フレーム7に短絡部ありと判定したとき、該リードフレ
ーム7をアンロード・不良品ストッカ2に送り込む(ス
テップS7)ように移送手段(図示省略)を駆動する。
これにより、リードフレームがリード短絡の有無毎に区
分けされる。尚、本発明の検査装置及び検査方法は、例
えば、ポリイミドフィルム等の光透過性フィルム上に設
けられた配線パターンの短絡の有無の検出にも用いるこ
とが可能である。
【0014】従って、本実施形態の検査装置によれば、
透過照明によるリードフレームの影を画像としてCCD
カメラに取り込むようにしたので、リード形状が極めて
複雑な場合でも画像の濃淡(または明度差)がリード形
状に沿って明確になり、2値化のためのしきい値を設定
し易い。また、本実施形態の検査方法及び装置は、被検
査リードの数を数値として格納された基準データと比較
するようにしてその異同によりリード間の短絡の有無を
検出するようにしたので、基準パターンを格納しておく
必要がなくなり、装置の記憶領域にとられる容量を大幅
に少なくすることができ、また、基準パターンと被検査
パターンとの位置合わせが不要となり、その結果、複雑
な形状のリードフレームについても、効率よく、かつ正
確にリード間の短絡の有無を検出することができる。
【0015】
【発明の効果】本発明の方法及び装置によれば、リード
フレームの影を画像処理して求めたリード数を予め格納
された基準リード数と比較することによりリード短絡の
有無を判定するようにしたので、検査が簡便かつ確実で
あるばかりでなく、複雑なリードパターンのものでも支
障なくリード短絡の有無を検出できる。また、リード先
端にテープが張りつけられた構造のリードフレームであ
っても、テープが照明光を所定量透過させることができ
るものであれば、リード短絡の有無を支障無く検査する
ことができる。
【0016】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の検査装置の一実施形態を示すリードフ
レーム検査装置の搬送部,画像入力部及び照明部を示す
部分側面図である。
【図2】画像入力部と画像処理部及び照明部を示す本実
施形態の構成概要図である。
【図3】図3は、上記装置を用いてLOC構造のリード
フレームの影を画像処理して得られた2値画像を示す平
面図である。
【図4】本実施形態の画像処理装置8によるリードの短
絡有無の検査手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
1 リードフレーム・ローディングストッカ 2 アンロード・不良品ストッカ 3 アンロード・良品ストッカ 4 搬送ベルト 5 CCDカメラ 6 照明光源 6a 拡散板 7 リードフレーム 8 画像処理装置

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】カメラより取り込まれたリードフレームの
    画像を2値化処理し、所定の測定範囲におけるリード数
    Aを算出し、該リード数Aとリードフレームの種類に応
    じて予め設定されたリードの数Bとを比較し、AとBと
    が等しい場合には該リードフレームを短絡なしと判定
    し、AとBとが異なる場合には該リードフレームを短絡
    ありと判定するようにしたことを特徴とするリードフレ
    ームの検査方法。
  2. 【請求項2】先端部にテープが貼着された構造のリード
    フレームを検査対象とすることを特徴とする請求項1に
    記載のリードフレームの検査方法。
  3. 【請求項3】画像を取り込み可能なカメラと、前記カメ
    ラにより取り込まれた画像を処理する画像処理装置と、
    照明光源とを備え、前記照明光源とカメラとの間をリー
    ドフレームが通過するようにしたリードフレームの検査
    装置において、 前記カメラに取り込まれたリードフレームの画像を2値
    化処理し、所定の測定範囲におけるリード数Aと、リー
    ドフレームの種類に応じて予め設定されたリード数Bと
    を比較し、AとBの異同によりリード短絡の有無を判定
    するようにしたことを特徴とするリードフレームの検査
    装置。
  4. 【請求項4】先端部にテープが貼着された構造のリード
    フレームを検査可能になされていることを特徴とする請
    求項3に記載のリードフレームの検査装置。
JP7182597A 1997-03-25 1997-03-25 リードフレームの検査方法及び装置 Pending JPH10267627A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7182597A JPH10267627A (ja) 1997-03-25 1997-03-25 リードフレームの検査方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7182597A JPH10267627A (ja) 1997-03-25 1997-03-25 リードフレームの検査方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10267627A true JPH10267627A (ja) 1998-10-09

Family

ID=13471728

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7182597A Pending JPH10267627A (ja) 1997-03-25 1997-03-25 リードフレームの検査方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10267627A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100424813C (zh) * 2004-06-22 2008-10-08 株式会社迪斯科 加工装置
CN103234477A (zh) * 2013-04-03 2013-08-07 北京印刷学院 一种透明基材上金属导线印迹形貌特征的检测和表征方法
CN104990502A (zh) * 2015-07-15 2015-10-21 苏州朗坤自动化设备有限公司 一种高效手机膜检测装置
CN111482377A (zh) * 2019-01-25 2020-08-04 瀚萱科技有限公司 导线架自动检查装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100424813C (zh) * 2004-06-22 2008-10-08 株式会社迪斯科 加工装置
CN103234477A (zh) * 2013-04-03 2013-08-07 北京印刷学院 一种透明基材上金属导线印迹形貌特征的检测和表征方法
CN104990502A (zh) * 2015-07-15 2015-10-21 苏州朗坤自动化设备有限公司 一种高效手机膜检测装置
CN111482377A (zh) * 2019-01-25 2020-08-04 瀚萱科技有限公司 导线架自动检查装置
CN111482377B (zh) * 2019-01-25 2022-03-29 瀚萱科技有限公司 导线架自动检查装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI665443B (zh) 自動光學檢測系統及其操作方法
JPH10242219A (ja) バンプ検査方法
JPH10267627A (ja) リードフレームの検査方法及び装置
JP2002243655A (ja) 電子部品の外観検査方法および外観検査装置
JP3974015B2 (ja) 物品検査システム
JPH10132754A (ja) リードフレームの外観検査装置
JP2007003494A (ja) 配線パターンの検査方法およびその装置
JPH11111784A (ja) バンプ高さ良否判定装置
JPH07260445A (ja) リードフレームの自動検査方法及び装置
JP3233205B2 (ja) 回路検査方法および装置
JPH0786355A (ja) 測定前後のtabを画像認識するtab試験装置
JP2000266514A (ja) 金属板の検査方法及び装置
JPH0843048A (ja) 物品の外観検査システムの検査精度の補償方法及びその装置
JP3778116B2 (ja) Tcp用ハンドラ
KR101551351B1 (ko) 엘이디 리드프레임 검사 방법
JPH1074260A (ja) めっき有無検査装置
CN116413279A (zh) 被动元件检测设备及方法
JPH05114640A (ja) リード測定方法および装置並びにそれが使用されたリード検査装置
JPH0578399B2 (ja)
JP2925882B2 (ja) 回路パターン検査装置
JPS63298142A (ja) 混成集積回路用半田付検査装置
JPH0576185B2 (ja)
JPH052634A (ja) 視覚認識装置
KR20030085874A (ko) 반도체패키지의 분류방법
JPH0590365A (ja) 検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050104

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20050920

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Effective date: 20060131

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02