JP2002335142A - 圧電振動片と圧電振動片の製造方法、それを用いた圧電振動子、ならびに圧電発振器 - Google Patents
圧電振動片と圧電振動片の製造方法、それを用いた圧電振動子、ならびに圧電発振器Info
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- JP2002335142A JP2002335142A JP2001140631A JP2001140631A JP2002335142A JP 2002335142 A JP2002335142 A JP 2002335142A JP 2001140631 A JP2001140631 A JP 2001140631A JP 2001140631 A JP2001140631 A JP 2001140631A JP 2002335142 A JP2002335142 A JP 2002335142A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 既存の工程を大幅に変更させることなく圧電
振動片の小型化を図ることが可能で、さらに圧電振動片
を導電性接着剤を用いて他部材に密着させる際、前記導
電性接着剤の広がりによって電極間で短絡が生じるのを
防止することのできる圧電振動片と圧電振動片の製造方
法、それを用いた圧電振動子、ならびに圧電発振器を提
供する。 【解決手段】 ウェハより取り出される圧電振動片１０
を用いた圧電振動子３２である。圧電振動片１０は、側
端面２６に凹部２８と、この凹部２８から突出する折り
取り残部３０とを有している。またベース基板３４は、
圧電振動片１０を搭載可能とし端子電極４２、４４を有
している。導電性接着剤４６は、双方の貼り合わせの
際、はみ出しが生じても、凹部２８に流れ込み、折り取
り残部３０が両極の導電性接着剤４６を遮断するので、
短絡防止をなすことができる。
振動片の小型化を図ることが可能で、さらに圧電振動片
を導電性接着剤を用いて他部材に密着させる際、前記導
電性接着剤の広がりによって電極間で短絡が生じるのを
防止することのできる圧電振動片と圧電振動片の製造方
法、それを用いた圧電振動子、ならびに圧電発振器を提
供する。 【解決手段】 ウェハより取り出される圧電振動片１０
を用いた圧電振動子３２である。圧電振動片１０は、側
端面２６に凹部２８と、この凹部２８から突出する折り
取り残部３０とを有している。またベース基板３４は、
圧電振動片１０を搭載可能とし端子電極４２、４４を有
している。導電性接着剤４６は、双方の貼り合わせの
際、はみ出しが生じても、凹部２８に流れ込み、折り取
り残部３０が両極の導電性接着剤４６を遮断するので、
短絡防止をなすことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電材料からなる
ウェハを利用して構成する圧電振動子の製造方法とそれ
を用いた振動子に関するものである。
ウェハを利用して構成する圧電振動子の製造方法とそれ
を用いた振動子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電材料からなるウェハから、フ
ォトレジストやエッチング等の技術を用いて複数の圧電
振動片を一括して製造する方法が知られている。すなわ
ち上記製造方法では、まず圧電材料からなるウェハの表
面を研磨し、次いでこのウェハ表面に耐食膜を形成した
り、配線用のパターンをフォトレジストによって形成す
る。そしてこれら成膜工程とともに、外形フォトレジス
ト工程や外形エッチング工程を前記ウェハに対して行
い、圧電振動片の外形を形成するようにしている。
ォトレジストやエッチング等の技術を用いて複数の圧電
振動片を一括して製造する方法が知られている。すなわ
ち上記製造方法では、まず圧電材料からなるウェハの表
面を研磨し、次いでこのウェハ表面に耐食膜を形成した
り、配線用のパターンをフォトレジストによって形成す
る。そしてこれら成膜工程とともに、外形フォトレジス
ト工程や外形エッチング工程を前記ウェハに対して行
い、圧電振動片の外形を形成するようにしている。
【０００３】図５は、圧電材料からなるウェハに複数の
圧電振動片を形成した状態を示す説明図であり、同図
（１）はウェハ全体図を示し、同図（２）は、同図
（１）における要部拡大図を示す。なお本図で説明する
圧電振動片は、逆メサ型と称されるものであり、圧電振
動片の中央部分をハーフエッチングにて薄肉に形成して
おり、これにより高周波振動を得られるようになってい
る。
圧電振動片を形成した状態を示す説明図であり、同図
（１）はウェハ全体図を示し、同図（２）は、同図
（１）における要部拡大図を示す。なお本図で説明する
圧電振動片は、逆メサ型と称されるものであり、圧電振
動片の中央部分をハーフエッチングにて薄肉に形成して
おり、これにより高周波振動を得られるようになってい
る。
【０００４】同図（１）に示すように、圧電材料からな
るウェハ１には、複数の圧電振動片２が形成されてお
り、これらは同図（２）に示すように連結部３によって
ウェハ１と接続されている。そして前記圧電振動片２
は、前記ウェハ１より外形抜きがされた状態で、薄肉部
（いわゆる励振部）の厚み調整等が行われ、所定の工程
を通過した後、圧電振動片２に外力を加え、連結部３を
折る（図中、破線を参照）ことで圧電振動片２を、ウェ
ハ１より取り出すようにしている。
るウェハ１には、複数の圧電振動片２が形成されてお
り、これらは同図（２）に示すように連結部３によって
ウェハ１と接続されている。そして前記圧電振動片２
は、前記ウェハ１より外形抜きがされた状態で、薄肉部
（いわゆる励振部）の厚み調整等が行われ、所定の工程
を通過した後、圧電振動片２に外力を加え、連結部３を
折る（図中、破線を参照）ことで圧電振動片２を、ウェ
ハ１より取り出すようにしている。
【０００５】なお前記ウェハより折り取られた圧電振動
片は、その後、ベース基板の表面に導電性接着剤を用い
て接続され、前記ベース基板に設けられた端子電極と電
気的導通が図られる。そして電気的導通が図られた後
は、前記ベース基板の上方よりカバーを被せ、前記圧電
振動片を封止して圧電振動子を形成する。
片は、その後、ベース基板の表面に導電性接着剤を用い
て接続され、前記ベース基板に設けられた端子電極と電
気的導通が図られる。そして電気的導通が図られた後
は、前記ベース基板の上方よりカバーを被せ、前記圧電
振動片を封止して圧電振動子を形成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしウェハ１に複数
の圧電振動片２を形成する際には、下記に示すような問
題点があった。すなわちウェハ１と圧電振動片２を接続
する連結部３は、圧電振動片２の側端面から突出する形
態となっている。このため前記圧電振動片２に必要な一
辺の長さは、圧電振動片２の辺長さに連結部３の長さを
加えた寸法となり、一個あたりの圧電振動片２の専有面
積が増大し、ウェハ１からの取り個数が低減するという
問題点があった。
の圧電振動片２を形成する際には、下記に示すような問
題点があった。すなわちウェハ１と圧電振動片２を接続
する連結部３は、圧電振動片２の側端面から突出する形
態となっている。このため前記圧電振動片２に必要な一
辺の長さは、圧電振動片２の辺長さに連結部３の長さを
加えた寸法となり、一個あたりの圧電振動片２の専有面
積が増大し、ウェハ１からの取り個数が低減するという
問題点があった。
【０００７】またウェハ１から取り出される圧電振動片
２の側端面には、（圧電振動片の特性に寄与しない）連
結部３の折り取り残部が存在している。そしてこの折り
取り残部が存在することにより、圧電振動片２の小型化
が阻害される要因になっていた。
２の側端面には、（圧電振動片の特性に寄与しない）連
結部３の折り取り残部が存在している。そしてこの折り
取り残部が存在することにより、圧電振動片２の小型化
が阻害される要因になっていた。
【０００８】さらに圧電振動片の電極に導電性接着剤を
塗布し、圧電振動片をベース基板に押し付けると、導電
性接着剤が圧電振動片とベース基板との間で広がってし
まい、異なる電極間で短絡が生じるおそれがあった。
塗布し、圧電振動片をベース基板に押し付けると、導電
性接着剤が圧電振動片とベース基板との間で広がってし
まい、異なる電極間で短絡が生じるおそれがあった。
【０００９】ところで上述した導電性接着剤の広がりに
より短絡が生じるのを防止するために、特開平９−２３
２９０２号公報や、特開平８−３１６７７１号公報、あ
るいは特開平７−７４５７６号公報に示される内容が開
示されている。
より短絡が生じるのを防止するために、特開平９−２３
２９０２号公報や、特開平８−３１６７７１号公報、あ
るいは特開平７−７４５７６号公報に示される内容が開
示されている。
【００１０】しかし特開平９−２３２９０２号公報にお
いては、圧電振動片と電気的導通をなす台座間の側壁に
窪みを形成し、この窪みに導電性接着剤を取り込むこと
で、短絡防止を図っているものの、この窪みを形成する
ためには、３層の絶縁層をあらかじめ積層させなければ
ならず、その製造過程は困難なものになっていた。
いては、圧電振動片と電気的導通をなす台座間の側壁に
窪みを形成し、この窪みに導電性接着剤を取り込むこと
で、短絡防止を図っているものの、この窪みを形成する
ためには、３層の絶縁層をあらかじめ積層させなければ
ならず、その製造過程は困難なものになっていた。
【００１１】また特開平８−３１６７７１号公報におい
ては、電極を有した支持台に、ベースと接する溝部と、
この溝部に貫通する穴が設けられており、圧電素子を接
する側に塗布された導電性ペーストは、前記穴を通じて
溝部へと入り込み、電極間の短絡を防止するようにして
いる。しかし本公報においては、支持台自体に溝部と、
この溝部に貫通する穴を別途形成しなくてはならず、製
造工程が複雑化する問題があった。
ては、電極を有した支持台に、ベースと接する溝部と、
この溝部に貫通する穴が設けられており、圧電素子を接
する側に塗布された導電性ペーストは、前記穴を通じて
溝部へと入り込み、電極間の短絡を防止するようにして
いる。しかし本公報においては、支持台自体に溝部と、
この溝部に貫通する穴を別途形成しなくてはならず、製
造工程が複雑化する問題があった。
【００１２】さらに特開平７−７４５７６号公報におい
ても、支持部の間に切欠部を形成し、この切欠部によっ
て支持部間の導電性接着剤が交わるのを防止するように
しているが、切欠部を形成するため別途工程が必要とな
り、上記公報と同様、製造工程が複雑化する問題があっ
た。
ても、支持部の間に切欠部を形成し、この切欠部によっ
て支持部間の導電性接着剤が交わるのを防止するように
しているが、切欠部を形成するため別途工程が必要とな
り、上記公報と同様、製造工程が複雑化する問題があっ
た。
【００１３】また上述したこれら公報において、導電性
接着剤の流れ込み防止対策は、全て圧電振動子を取り付
けるベース側で行われており、圧電振動片自体に接着剤
の流れ防止の構造を持たせたものはない。このため圧電
振動片を他の容器に適用しようとすると、導電性接着剤
の広がりによって短絡が生じてしまうおそれがあった。
接着剤の流れ込み防止対策は、全て圧電振動子を取り付
けるベース側で行われており、圧電振動片自体に接着剤
の流れ防止の構造を持たせたものはない。このため圧電
振動片を他の容器に適用しようとすると、導電性接着剤
の広がりによって短絡が生じてしまうおそれがあった。
【００１４】本発明は、上記従来の問題点に着目し、既
存の工程を大幅に変更させることなく圧電振動片の小型
化を図ることが可能で、さらに圧電振動片を導電性接着
剤を用いて他部材に密着させる際、前記導電性接着剤の
広がりによって電極間で短絡が生じるのを防止すること
のできる圧電振動片と圧電振動片の製造方法、それを用
いた圧電振動子、ならびに圧電発振器を提供することを
目的とする。
存の工程を大幅に変更させることなく圧電振動片の小型
化を図ることが可能で、さらに圧電振動片を導電性接着
剤を用いて他部材に密着させる際、前記導電性接着剤の
広がりによって電極間で短絡が生じるのを防止すること
のできる圧電振動片と圧電振動片の製造方法、それを用
いた圧電振動子、ならびに圧電発振器を提供することを
目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電振動片の
外形をエッチングによって形成する際、圧電振動片本体
の側端部に凹部を形成し、この凹部からウェハとの接続
をなす連結部を形成すれば、ウェハ圧電振動子と連結部
を加えた長さを短縮させることができ、ウェハあたりの
取り個数を増加させることができるという知見に基づい
てなされたものである。
外形をエッチングによって形成する際、圧電振動片本体
の側端部に凹部を形成し、この凹部からウェハとの接続
をなす連結部を形成すれば、ウェハ圧電振動子と連結部
を加えた長さを短縮させることができ、ウェハあたりの
取り個数を増加させることができるという知見に基づい
てなされたものである。
【００１６】すなわち本発明に係る圧電振動子は、圧電
材料からなるウェハより取り出される圧電振動片であっ
て、振動片本体の側端面に凹部と、この凹部側面から突
出し前記ウェハとの接続をなす連結部の折り取り残部と
を有し、この折り取り残部が前記側端面より内側に収ま
るよう、前記折り取り残部の高さを設定するよう構成し
た。
材料からなるウェハより取り出される圧電振動片であっ
て、振動片本体の側端面に凹部と、この凹部側面から突
出し前記ウェハとの接続をなす連結部の折り取り残部と
を有し、この折り取り残部が前記側端面より内側に収ま
るよう、前記折り取り残部の高さを設定するよう構成し
た。
【００１７】また本発明に係る圧電振動子の製造方法
は、圧電材料からなるウェハより圧電振動片を形成する
ための製造方法であって、前記ウェハからエッチングに
より前記圧電振動片の外形を形成する際に、前記圧電振
動片の側端面に凹部と、この凹部側面から突出し前記ウ
ェハへの接続をなす連結部を形成し、前記圧電振動片を
前記ウェハから取り出す際、前記連結部の折り取り残部
が前記圧電振動片における前記側端面から突出しないよ
う折り取りをなすこととした。そして前記圧電振動片は
逆メサ型圧電振動片であればよい。
は、圧電材料からなるウェハより圧電振動片を形成する
ための製造方法であって、前記ウェハからエッチングに
より前記圧電振動片の外形を形成する際に、前記圧電振
動片の側端面に凹部と、この凹部側面から突出し前記ウ
ェハへの接続をなす連結部を形成し、前記圧電振動片を
前記ウェハから取り出す際、前記連結部の折り取り残部
が前記圧電振動片における前記側端面から突出しないよ
う折り取りをなすこととした。そして前記圧電振動片は
逆メサ型圧電振動片であればよい。
【００１８】なお前記連結部における前記側端面より前
記圧電振動片側に弱体部を形成し、この弱体部に沿った
折り取りをなすことが望ましく、さらにこの弱体部は、
前記連結部の側面に形成されるくびれ部や、前記連結部
に貫通する孔部からなるようにしてもよい。そして前記
弱体部は、前記圧電振動片の外形と同時に形成されるこ
とが好ましい。また前記弱体部は、前記連結部の薄肉化
により形成されてもよく、前記連結部の薄肉化は、前記
連結部へのハーフエッチングによって行うようにしても
よい。
記圧電振動片側に弱体部を形成し、この弱体部に沿った
折り取りをなすことが望ましく、さらにこの弱体部は、
前記連結部の側面に形成されるくびれ部や、前記連結部
に貫通する孔部からなるようにしてもよい。そして前記
弱体部は、前記圧電振動片の外形と同時に形成されるこ
とが好ましい。また前記弱体部は、前記連結部の薄肉化
により形成されてもよく、前記連結部の薄肉化は、前記
連結部へのハーフエッチングによって行うようにしても
よい。
【００１９】そして本発明に係る圧電振動子によれば、
圧電材料からなるウエハより取り出される圧電振動片を
用いた圧電振動子であって、前記圧電振動片本体の側端
面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウエハ
との接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部が
前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の
高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を有
する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能とし
前記電極に対面する端子電極を有したベース基板とを有
し、前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて
接続するよう構成した。ここで前記連結部における折り
取り残部の高さを、前記側端面に一致させたり、さらに
前記凹部は、前記電極の形成位置を超えるまで深く形成
されることが望ましい。
圧電材料からなるウエハより取り出される圧電振動片を
用いた圧電振動子であって、前記圧電振動片本体の側端
面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウエハ
との接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部が
前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の
高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を有
する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能とし
前記電極に対面する端子電極を有したベース基板とを有
し、前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて
接続するよう構成した。ここで前記連結部における折り
取り残部の高さを、前記側端面に一致させたり、さらに
前記凹部は、前記電極の形成位置を超えるまで深く形成
されることが望ましい。
【００２０】さらに本発明に係る圧電発振器によれば、
圧電材料からなるウエハより取り出される圧電振動片を
用いた圧電発振器であって、前記圧電振動片本体の側端
面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウエハ
との接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部が
前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の
高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を有
する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能とし
前記電極に対面する端子電極を有したベース基板と、前
記圧電振動片を発振駆動するための集積回路とを有し、
前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて接続
するよう構成した。そして請求項１３記載の圧電発振器
であって、前記集積回路が前記圧電振動片の下部であっ
て、前記ベース基板上に搭載されていることが望まし
い。
圧電材料からなるウエハより取り出される圧電振動片を
用いた圧電発振器であって、前記圧電振動片本体の側端
面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウエハ
との接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部が
前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の
高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を有
する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能とし
前記電極に対面する端子電極を有したベース基板と、前
記圧電振動片を発振駆動するための集積回路とを有し、
前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて接続
するよう構成した。そして請求項１３記載の圧電発振器
であって、前記集積回路が前記圧電振動片の下部であっ
て、前記ベース基板上に搭載されていることが望まし
い。
【００２１】これらの構成によれば、凹部の側面から連
結部が突出するので、当該連結部は、その一部が圧電振
動片の内側に位置することとなる。このように圧電振動
片の長さと、連結部の長さを重ねるようにすれば、連結
部が設けられた側の寸法を短くすることができ、圧電振
動片と連結部を含めた面積を低減させることが可能にな
る。ゆえにウェハ上における圧電振動片の取り個数を増
大させることができ、生産効率の向上を達成することが
できる。なお製造対象となる圧電振動片が、逆メサ型圧
電振動片であれば、外形形成時のエッチングによって同
時に凹部を形成することが可能になる。
結部が突出するので、当該連結部は、その一部が圧電振
動片の内側に位置することとなる。このように圧電振動
片の長さと、連結部の長さを重ねるようにすれば、連結
部が設けられた側の寸法を短くすることができ、圧電振
動片と連結部を含めた面積を低減させることが可能にな
る。ゆえにウェハ上における圧電振動片の取り個数を増
大させることができ、生産効率の向上を達成することが
できる。なお製造対象となる圧電振動片が、逆メサ型圧
電振動片であれば、外形形成時のエッチングによって同
時に凹部を形成することが可能になる。
【００２２】なお連結部を形成する際、側端面より内側
に、弱体部を形成しておけば、外力を連結部に加える
と、集中荷重が前記弱体部に加わり、その部分で折り取
りがなされる。このため連結部が圧電振動片の側端面よ
り突出するのを防止することができる。そして弱体部
を、連結部の側面に形成されるくびれ部や、連結部に貫
通する孔部とすれば、連結部と同時にエッチングにより
形成することが可能になる。このように凹部を形成し
て、折り取り残部を圧電振動片の側端面内側に収めたこ
とから、余分な突起が圧電振動片の本体から突出するこ
とが無くなり、圧電振動片自体の小型化を図ることがで
きる。
に、弱体部を形成しておけば、外力を連結部に加える
と、集中荷重が前記弱体部に加わり、その部分で折り取
りがなされる。このため連結部が圧電振動片の側端面よ
り突出するのを防止することができる。そして弱体部
を、連結部の側面に形成されるくびれ部や、連結部に貫
通する孔部とすれば、連結部と同時にエッチングにより
形成することが可能になる。このように凹部を形成し
て、折り取り残部を圧電振動片の側端面内側に収めたこ
とから、余分な突起が圧電振動片の本体から突出するこ
とが無くなり、圧電振動片自体の小型化を図ることがで
きる。
【００２３】ところで連結部にハーフエッチングを施
し、この薄肉部を弱体部としても上記と同様の作用効果
を得ることができる。なお圧電振動片が逆メサ型であれ
ば、枠体中央をハーフエッチングすると同時に、連結部
にハーフエッチングを行い、薄肉部を形成することが可
能になる。
し、この薄肉部を弱体部としても上記と同様の作用効果
を得ることができる。なお圧電振動片が逆メサ型であれ
ば、枠体中央をハーフエッチングすると同時に、連結部
にハーフエッチングを行い、薄肉部を形成することが可
能になる。
【００２４】また圧電振動子においては、圧電振動片の
凹部両端側に形成された電極と、ベース基板に形成され
る端子電極とを、導電性接着剤を用いて接続させるが、
この接続の際、前記導電性接着剤が双方の密着によって
はみ出したとしても、凹部縁辺と、折り取り残部とで形
成される空隙に導電性接着剤が入り込み、さらに折り取
り残部が、両電極に塗布された導電性接着剤を壁となっ
て分断するので、両電極に塗布された導電性接着剤が混
ざり合うことが防止でき、短絡が生じるのを防止するこ
とができる。
凹部両端側に形成された電極と、ベース基板に形成され
る端子電極とを、導電性接着剤を用いて接続させるが、
この接続の際、前記導電性接着剤が双方の密着によって
はみ出したとしても、凹部縁辺と、折り取り残部とで形
成される空隙に導電性接着剤が入り込み、さらに折り取
り残部が、両電極に塗布された導電性接着剤を壁となっ
て分断するので、両電極に塗布された導電性接着剤が混
ざり合うことが防止でき、短絡が生じるのを防止するこ
とができる。
【００２５】そして連結部における折り取り残部の高さ
を、圧電振動片における側端面に一致させれば、導電性
接着剤の流れ防止をなす壁の役割を最大限に発揮させる
ことができる。さらに凹部を、電極の形成位置を超える
まで深く形成すれば、両電極の間には必ず凹部と折り取
り残部とで形成される空隙が存在するので、双方の導電
性接着剤が交わるのを確実に防止することができる。
を、圧電振動片における側端面に一致させれば、導電性
接着剤の流れ防止をなす壁の役割を最大限に発揮させる
ことができる。さらに凹部を、電極の形成位置を超える
まで深く形成すれば、両電極の間には必ず凹部と折り取
り残部とで形成される空隙が存在するので、双方の導電
性接着剤が交わるのを確実に防止することができる。
【００２６】なお圧電発振器についても、当該圧電発振
器を構成する圧電振動片に凹部縁辺と、この凹部縁辺か
ら突出する折り取り残部が設けられている。このため前
記凹部縁辺と、折り取り残部とで形成される空隙に導電
性接着剤が入り込み、さらに折り取り残部が、両電極に
塗布された導電性接着剤を壁となって分断するので、両
電極に塗布された導電性接着剤が混ざり合うことが防止
でき、短絡が生じるのを防止することができる。故に前
記圧電振動片と、当該圧電振動片を発振駆動させる集積
回路との組み合わせにおいても、圧電発振器自体の小型
化と短絡防止を達成することができる。また前記集積回
路をベース基板上で、圧電振動片の下部になるよう配置
すれば、圧電発振器自体を一層小型にすることが可能に
なり、実装面積の低減を図ることができる。
器を構成する圧電振動片に凹部縁辺と、この凹部縁辺か
ら突出する折り取り残部が設けられている。このため前
記凹部縁辺と、折り取り残部とで形成される空隙に導電
性接着剤が入り込み、さらに折り取り残部が、両電極に
塗布された導電性接着剤を壁となって分断するので、両
電極に塗布された導電性接着剤が混ざり合うことが防止
でき、短絡が生じるのを防止することができる。故に前
記圧電振動片と、当該圧電振動片を発振駆動させる集積
回路との組み合わせにおいても、圧電発振器自体の小型
化と短絡防止を達成することができる。また前記集積回
路をベース基板上で、圧電振動片の下部になるよう配置
すれば、圧電発振器自体を一層小型にすることが可能に
なり、実装面積の低減を図ることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る圧電振動片
と圧電振動片の製造方法、それを用いた圧電振動子、な
らびに圧電発振器に好適な具体的実施の形態を図面を参
照して詳細に説明する。
と圧電振動片の製造方法、それを用いた圧電振動子、な
らびに圧電発振器に好適な具体的実施の形態を図面を参
照して詳細に説明する。
【００２８】図１は、本実施の形態に係る圧電振動片の
構造を示す説明図である。同図に示すように、本実施の
形態に係る圧電振動片１０は、一般に水晶体からなり、
外形をなす枠体１２と、当該枠体１２の中央部分に窪み
のように形成された薄肉部からなる励振部１４とから構
成されている。ここで当該励振部１４の厚みは、高周波
振動を得る目的から、非常に薄く設定されている（例え
ば１０μm程度）。このため励振部１４だけでは当該励
振部１４自体の姿勢を保つだけの強度が無く、その周囲
に形成された強度の有る枠体１２によって前記励振部１
４の保持を行うようにしている。
構造を示す説明図である。同図に示すように、本実施の
形態に係る圧電振動片１０は、一般に水晶体からなり、
外形をなす枠体１２と、当該枠体１２の中央部分に窪み
のように形成された薄肉部からなる励振部１４とから構
成されている。ここで当該励振部１４の厚みは、高周波
振動を得る目的から、非常に薄く設定されている（例え
ば１０μm程度）。このため励振部１４だけでは当該励
振部１４自体の姿勢を保つだけの強度が無く、その周囲
に形成された強度の有る枠体１２によって前記励振部１
４の保持を行うようにしている。
【００２９】このような圧電振動片１０では、励振部１
４の表裏面に励振電極１６が形成されているとともに、
枠体１２の隅部に引出電極１８、２０が形成されてお
り、これら電極同士を接続するよう、段差２２の表面に
は配線パターン２４が形成されている。そして前記励振
部１４の表裏面に設けられた励振電極１６に引出電極１
８、２０より電圧を印加することで、あらかじめ設定さ
れた共振周波数を得るようにしている。
４の表裏面に励振電極１６が形成されているとともに、
枠体１２の隅部に引出電極１８、２０が形成されてお
り、これら電極同士を接続するよう、段差２２の表面に
は配線パターン２４が形成されている。そして前記励振
部１４の表裏面に設けられた励振電極１６に引出電極１
８、２０より電圧を印加することで、あらかじめ設定さ
れた共振周波数を得るようにしている。
【００３０】ところで圧電振動片１０において、引出電
極１８、２０で構成される側端面２６（図中、Ａ面を参
照）には、前記引出電極１８と引出電極２０との間に凹
部２８が形成されているとともに、この凹部２８の中央
部分からは、振動子本体より外方に突出する折り取り残
部３０が形成されている。そしてこの折り取り残部３０
の突出高さは、前述した側端面２６を超えないだけの高
さに設定されている。
極１８、２０で構成される側端面２６（図中、Ａ面を参
照）には、前記引出電極１８と引出電極２０との間に凹
部２８が形成されているとともに、この凹部２８の中央
部分からは、振動子本体より外方に突出する折り取り残
部３０が形成されている。そしてこの折り取り残部３０
の突出高さは、前述した側端面２６を超えないだけの高
さに設定されている。
【００３１】図２は、本実施の形態に係る圧電振動子の
構造を示す説明図であり、同図（１）は圧電振動子の長
手方向断面図を示し、同図（２）は、同図（１）におけ
るＡＡ断面図であり、同図（３）は、圧電振動子の上側
面図を示す。
構造を示す説明図であり、同図（１）は圧電振動子の長
手方向断面図を示し、同図（２）は、同図（１）におけ
るＡＡ断面図であり、同図（３）は、圧電振動子の上側
面図を示す。
【００３２】これらの図に示すように、本実施の形態に
係る圧電振動子３２は、図１で示した圧電振動片１０
と、当該圧電振動片１０を保持するためのベース基板３
４と、このベース基板３４とともに前記圧電振動片１０
を封止するためのカバー３５とで構成されている。
係る圧電振動子３２は、図１で示した圧電振動片１０
と、当該圧電振動片１０を保持するためのベース基板３
４と、このベース基板３４とともに前記圧電振動片１０
を封止するためのカバー３５とで構成されている。
【００３３】ベース基板３４は、矩形状からなり、その
中央部分には窪み３６が形成されている。そしてこの窪
み３６の周囲に位置する枠体３８の一辺を支持台４０と
し、当該支持台４０の表面に、圧電振動片１０における
引出電極１８、２０にそれぞれ対応する端子電極４２、
４４を設けるようにしている。なお端子電極４２、４４
からは図示しない配線パターンがベース基板３４の背面
側へと引き回され、ベース基板３４とカバー３５とで封
止された圧電振動片１０に、圧電振動子３２の外部よ
り、電圧を印加可能にしている。
中央部分には窪み３６が形成されている。そしてこの窪
み３６の周囲に位置する枠体３８の一辺を支持台４０と
し、当該支持台４０の表面に、圧電振動片１０における
引出電極１８、２０にそれぞれ対応する端子電極４２、
４４を設けるようにしている。なお端子電極４２、４４
からは図示しない配線パターンがベース基板３４の背面
側へと引き回され、ベース基板３４とカバー３５とで封
止された圧電振動片１０に、圧電振動子３２の外部よ
り、電圧を印加可能にしている。
【００３４】なお上述した端子電極４２、４４に引出電
極１８、２０を接続するためには、導電性接着剤４６が
用いられる。当該導電性接着剤４６は、導電性を有した
銀等を含有しており、対象物の間に介在させることで、
対象物同士の接合と、電気的導通を図るようにしたもの
である。
極１８、２０を接続するためには、導電性接着剤４６が
用いられる。当該導電性接着剤４６は、導電性を有した
銀等を含有しており、対象物の間に介在させることで、
対象物同士の接合と、電気的導通を図るようにしたもの
である。
【００３５】そして圧電振動子３２においては、上述の
ような特性を有する導電性接着剤４６を、あらかじめ端
子電極４２、４４の表面に塗布しておき、その後、これ
ら端子電極４２、４４に引出電極１８、２０を重ねるよ
うに、ベース基板３４の上方から圧電振動片１０を押し
付け、圧電振動片１０を支持台４０から片持ちにさせた
状態で上記接着剤を硬化させる。
ような特性を有する導電性接着剤４６を、あらかじめ端
子電極４２、４４の表面に塗布しておき、その後、これ
ら端子電極４２、４４に引出電極１８、２０を重ねるよ
うに、ベース基板３４の上方から圧電振動片１０を押し
付け、圧電振動片１０を支持台４０から片持ちにさせた
状態で上記接着剤を硬化させる。
【００３６】ところで本実施の形態に係る圧電振動片１
０では、前述の通り側端面２６に凹部２８が形成され、
引出電極１８、２０を分断するとともに、前記凹部２８
の中央部分に折り取り残部３０が形成されている。
０では、前述の通り側端面２６に凹部２８が形成され、
引出電極１８、２０を分断するとともに、前記凹部２８
の中央部分に折り取り残部３０が形成されている。
【００３７】このため導電性接着剤４６が塗布された端
子電極４２、４４に引出電極１８、２０を押し付けるこ
とによって、前記導電性接着剤４６が電極範囲から広が
っても、導電性接着剤４６は凹部２８に溜まることとな
り、さらに端子電極４２と端子電極４４側それぞれの導
電性接着剤４６は、前述した折り取り残部３０が壁とな
って混ざり合うことがない。このため端子電極４２と端
子電極４４（引出電極１８と引出電極２０）が導電性接
着剤４６によって短絡することが無くなり、圧電振動子
３２の製造時における良品率を向上させることが可能に
なる。
子電極４２、４４に引出電極１８、２０を押し付けるこ
とによって、前記導電性接着剤４６が電極範囲から広が
っても、導電性接着剤４６は凹部２８に溜まることとな
り、さらに端子電極４２と端子電極４４側それぞれの導
電性接着剤４６は、前述した折り取り残部３０が壁とな
って混ざり合うことがない。このため端子電極４２と端
子電極４４（引出電極１８と引出電極２０）が導電性接
着剤４６によって短絡することが無くなり、圧電振動子
３２の製造時における良品率を向上させることが可能に
なる。
【００３８】なお凹部２８の最奥部の位置を引出電極１
８、２０の位置よりも内側になるようにすれば、引出電
極１８と引出電極２０とが、凹部２８によって完全に分
断されるので、導電性接着剤４６の流れ込みによる短絡
発生を一層防止することができる。図３は、本実施の形
態に係る圧電振動片をウェハから折り取る前段の状態を
示した状態図であり、同図（１）はウェハ全体図を示
し、同図（２）は同図（１）における要部拡大図を示
す。
８、２０の位置よりも内側になるようにすれば、引出電
極１８と引出電極２０とが、凹部２８によって完全に分
断されるので、導電性接着剤４６の流れ込みによる短絡
発生を一層防止することができる。図３は、本実施の形
態に係る圧電振動片をウェハから折り取る前段の状態を
示した状態図であり、同図（１）はウェハ全体図を示
し、同図（２）は同図（１）における要部拡大図を示
す。
【００３９】これらの図に示すように、水晶を圧電材料
としたウェハ４８を、後述する種々の工程（図４を参
照）に通すことで、前記ウェハ４８の表面に複数の圧電
振動片１０を形成することができる。ここで個々の圧電
振動片１０においては、凹部から折り取り残部３０の前
身となる連結部５０が引き出されており、ウェハ４８と
の接続を行うようにしている。
としたウェハ４８を、後述する種々の工程（図４を参
照）に通すことで、前記ウェハ４８の表面に複数の圧電
振動片１０を形成することができる。ここで個々の圧電
振動片１０においては、凹部から折り取り残部３０の前
身となる連結部５０が引き出されており、ウェハ４８と
の接続を行うようにしている。
【００４０】このため従来では、圧電振動片の長さに連
結部の長さを加えた寸法が、必要であったが、同図
（２）に示すように連結部の長さ（図中、寸法Ａ）と、
圧電振動片１０の長さ（図中、寸法Ｂ）が凹部２８によ
って重複した形態となり、本実施の形態では、個々の圧
電振動片１０に必要な長さ（図中、寸法Ｃ）は、
結部の長さを加えた寸法が、必要であったが、同図
（２）に示すように連結部の長さ（図中、寸法Ａ）と、
圧電振動片１０の長さ（図中、寸法Ｂ）が凹部２８によ
って重複した形態となり、本実施の形態では、個々の圧
電振動片１０に必要な長さ（図中、寸法Ｃ）は、
【数式１】 となる。Ａ寸法がＢ寸法に包含される結果、Ｃ寸法はＢ
寸法より若干大きければよいこととなる。ゆえに同図
（１）の矢印５２に示す縦方向により多くの圧電振動片
１０を形成することとができ、単一のウェハ４８からよ
り多くの圧電振動片１０を製造することが可能になる。
寸法より若干大きければよいこととなる。ゆえに同図
（１）の矢印５２に示す縦方向により多くの圧電振動片
１０を形成することとができ、単一のウェハ４８からよ
り多くの圧電振動片１０を製造することが可能になる。
【００４１】そしてウェハ４８上に複数形成された圧電
振動片１０に外力を加え、前記ウェハ４８から圧電振動
片１０を取り出す際、圧電振動片１０側に残る折り取り
残部３０の突出高さが、側端面２６の内側になるよう連
結部５０の折り取り位置を設定すればよい。このように
折り取り残部３０の突出高さを側端面２６の内側になる
ようにすれば、折り取り残部３０が圧電振動片１０の外
形より突出することが無くなり、上述した導電性接着剤
４６の流れ込み防止の効果に加え、圧電振動子３２の小
型化を図ることが可能になる。尚、圧電発振器を形成す
る場合には、圧電振動片１０の下でベース基板３４の窪
み３６に圧電振動片１０を駆動するために回路（図示せ
ず。）を搭載する。接着剤の流れ出しの虞がないので、
こうすることにより、極めてコンパクトな圧電発振器を
得ることができる。
振動片１０に外力を加え、前記ウェハ４８から圧電振動
片１０を取り出す際、圧電振動片１０側に残る折り取り
残部３０の突出高さが、側端面２６の内側になるよう連
結部５０の折り取り位置を設定すればよい。このように
折り取り残部３０の突出高さを側端面２６の内側になる
ようにすれば、折り取り残部３０が圧電振動片１０の外
形より突出することが無くなり、上述した導電性接着剤
４６の流れ込み防止の効果に加え、圧電振動子３２の小
型化を図ることが可能になる。尚、圧電発振器を形成す
る場合には、圧電振動片１０の下でベース基板３４の窪
み３６に圧電振動片１０を駆動するために回路（図示せ
ず。）を搭載する。接着剤の流れ出しの虞がないので、
こうすることにより、極めてコンパクトな圧電発振器を
得ることができる。
【００４２】なお逆メサ型の圧電振動片１０では、その
外形をエッチングによって形成するが、この外形形成の
ためのエッチング時に、凹部２８も同時に形成すること
が可能である。このため既存の工程に何ら追加をするこ
となく、凹部２８を形成することができる。ところで連
結部５０に対し折り取りを行う際、前記連結部５０に積
極的に弱体部を設け、折り取りの位置を一定にすること
が望ましい。
外形をエッチングによって形成するが、この外形形成の
ためのエッチング時に、凹部２８も同時に形成すること
が可能である。このため既存の工程に何ら追加をするこ
となく、凹部２８を形成することができる。ところで連
結部５０に対し折り取りを行う際、前記連結部５０に積
極的に弱体部を設け、折り取りの位置を一定にすること
が望ましい。
【００４３】図４は、連結部に形成される弱体部の形状
説明図であり、同図（４）は同図（３）のＢＢ断面図を
示している。まず同図（１）に示すように、連結部５０
の側面に弱体部となるくびれ部５６を設け、当該くびれ
部５６を設けたことにより連結部５０の全幅を一部分だ
け狭くしておく。このように一箇所だけ連結部５０の幅
を狭めておけば、圧電振動片１０に外力を加えると、く
びれ部５６の位置に応力が集中し、連結部５０における
最狭の箇所で折り取りがなされる。なおくびれ部５６の
位置は、同図（１）の寸法ｔ1に示すように側端面２６
より内側に設定すれば、折り取り残部３０の先端は常
に、側端面２６より内側となり、圧電振動片１０の外形
からはみ出すのを防止することができる。
説明図であり、同図（４）は同図（３）のＢＢ断面図を
示している。まず同図（１）に示すように、連結部５０
の側面に弱体部となるくびれ部５６を設け、当該くびれ
部５６を設けたことにより連結部５０の全幅を一部分だ
け狭くしておく。このように一箇所だけ連結部５０の幅
を狭めておけば、圧電振動片１０に外力を加えると、く
びれ部５６の位置に応力が集中し、連結部５０における
最狭の箇所で折り取りがなされる。なおくびれ部５６の
位置は、同図（１）の寸法ｔ1に示すように側端面２６
より内側に設定すれば、折り取り残部３０の先端は常
に、側端面２６より内側となり、圧電振動片１０の外形
からはみ出すのを防止することができる。
【００４４】またくびれ部５６に代えて、同図（２）に
示すように、連結部５０に複数の貫通孔５８を形成し、
これを弱体部としてもよい。なお貫通孔５８の位置を、
同図（２）の寸法ｔ2に示すように側端面２６より内側
に設定すれば、同図（１）と同様、折り取り残部３０の
先端は常に、側端面２６より内側となり、圧電振動片１
０の外形からはみ出すのを防止することができる。貫通
孔５８の形成も外形形成のためのエッチング時に行うこ
とができる。
示すように、連結部５０に複数の貫通孔５８を形成し、
これを弱体部としてもよい。なお貫通孔５８の位置を、
同図（２）の寸法ｔ2に示すように側端面２６より内側
に設定すれば、同図（１）と同様、折り取り残部３０の
先端は常に、側端面２６より内側となり、圧電振動片１
０の外形からはみ出すのを防止することができる。貫通
孔５８の形成も外形形成のためのエッチング時に行うこ
とができる。
【００４５】さらに同図（３）や同図（４）に示すよう
に、連結部５０を跨ぐよう溝部６０を形成し、この溝部
６０を弱体部としてもよい。このように溝部６０を連結
部５０に形成すれば、溝部６０の最奥部分が薄肉となる
ので、外力を加えることで容易に溝部６０に沿った折り
取りをなすことができる。また溝部６０の位置を、同図
（３）の寸法ｔ3に示すように側端面２６より内側に設
定すれば、同図（１）、同図（２）と同様、折り取り残
部３０の先端は常に、側端面２６より内側となり、圧電
振動片１０の外形からはみ出すのを防止することができ
る。溝部６０の形成は励振部１４の形成の際行うことが
できる。また上述したくびれ部５６、貫通孔５８、溝部
６０は、それぞれ単独である必要もなく、例えばくびれ
部５６と貫通孔５８とで弱体部を形成するようにしても
よい。
に、連結部５０を跨ぐよう溝部６０を形成し、この溝部
６０を弱体部としてもよい。このように溝部６０を連結
部５０に形成すれば、溝部６０の最奥部分が薄肉となる
ので、外力を加えることで容易に溝部６０に沿った折り
取りをなすことができる。また溝部６０の位置を、同図
（３）の寸法ｔ3に示すように側端面２６より内側に設
定すれば、同図（１）、同図（２）と同様、折り取り残
部３０の先端は常に、側端面２６より内側となり、圧電
振動片１０の外形からはみ出すのを防止することができ
る。溝部６０の形成は励振部１４の形成の際行うことが
できる。また上述したくびれ部５６、貫通孔５８、溝部
６０は、それぞれ単独である必要もなく、例えばくびれ
部５６と貫通孔５８とで弱体部を形成するようにしても
よい。
【００４６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、圧
電材料からなるウェハより取り出される圧電振動片であ
って、振動片本体の側端面に凹部と、この凹部側面から
突出し前記ウェハとの接続をなす連結部の折り取り残部
とを有し、この折り取り残部が前記側端面より内側に収
まるよう、前記折り取り残部の高さを設定したり、
電材料からなるウェハより取り出される圧電振動片であ
って、振動片本体の側端面に凹部と、この凹部側面から
突出し前記ウェハとの接続をなす連結部の折り取り残部
とを有し、この折り取り残部が前記側端面より内側に収
まるよう、前記折り取り残部の高さを設定したり、
【００４７】圧電材料からなるウェハより圧電振動片を
形成するための製造方法であって、前記ウェハからエッ
チングにより前記圧電振動片の外形を形成する際に、前
記圧電振動片の側端面に凹部と、この凹部側面から突出
し前記ウェハへの接続をなす連結部を形成し、前記圧電
振動片を前記ウェハから取り出す際、前記連結部の折り
取り残部が前記圧電振動片における前記側端面から突出
しないよう折り取りをなしたり、また圧電材料からなる
ウエハより取り出される圧電振動片を用いた圧電振動子
であって、前記圧電振動片本体の側端面には凹部と、こ
の当該凹部側面から突出し前記ウエハとの接続をなす折
取り残部とを有し、この折取り残部が前記側端面より内
側に収まるよう、前記折り取り残部の高さを設定すると
ともに、前期凹部の両端側に電極を有する前記圧電振動
片と、当該圧電振動片を搭載可能とし前記電極に対面す
る端子電極を有したベース基板とを有し、前記電極と前
記端子電極とを導電性接着剤を用いて接続したり、さら
に圧電材料からなるウエハより取り出される圧電振動片
を用いた圧電発振器であって、前記圧電振動片本体の側
端面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウエ
ハとの接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部
が前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部
の高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を
有する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能と
し前記電極に対面する端子電極を有したベース基板と、
前記圧電振動片を発振駆動するための集積回路とを有
し、前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて
接続したことから、既存の工程を大幅に変更させること
なく圧電振動子や発振器の小型化を図ることが可能で、
さらに圧電振動子を導電性接着剤を用いて他部材に密着
させる際、前記導電性接着剤の広がりによって電極間で
短絡が生じるのを防止することか可能になる。
形成するための製造方法であって、前記ウェハからエッ
チングにより前記圧電振動片の外形を形成する際に、前
記圧電振動片の側端面に凹部と、この凹部側面から突出
し前記ウェハへの接続をなす連結部を形成し、前記圧電
振動片を前記ウェハから取り出す際、前記連結部の折り
取り残部が前記圧電振動片における前記側端面から突出
しないよう折り取りをなしたり、また圧電材料からなる
ウエハより取り出される圧電振動片を用いた圧電振動子
であって、前記圧電振動片本体の側端面には凹部と、こ
の当該凹部側面から突出し前記ウエハとの接続をなす折
取り残部とを有し、この折取り残部が前記側端面より内
側に収まるよう、前記折り取り残部の高さを設定すると
ともに、前期凹部の両端側に電極を有する前記圧電振動
片と、当該圧電振動片を搭載可能とし前記電極に対面す
る端子電極を有したベース基板とを有し、前記電極と前
記端子電極とを導電性接着剤を用いて接続したり、さら
に圧電材料からなるウエハより取り出される圧電振動片
を用いた圧電発振器であって、前記圧電振動片本体の側
端面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウエ
ハとの接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部
が前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部
の高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を
有する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能と
し前記電極に対面する端子電極を有したベース基板と、
前記圧電振動片を発振駆動するための集積回路とを有
し、前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて
接続したことから、既存の工程を大幅に変更させること
なく圧電振動子や発振器の小型化を図ることが可能で、
さらに圧電振動子を導電性接着剤を用いて他部材に密着
させる際、前記導電性接着剤の広がりによって電極間で
短絡が生じるのを防止することか可能になる。
【図１】本実施の形態に係る圧電振動子の構造を示す説
明図である。
明図である。
【図２】本実施の形態に係る圧電振動子の構造を示す説
明図である。
明図である。
【図３】本実施の形態に係る圧電振動子をウェハから折
り取る前段の状態を示した状態図である。
り取る前段の状態を示した状態図である。
【図４】連結部に形成される弱体部の形状説明図であ
る。
る。
【図５】圧電材料からなるウェハに複数の圧電振動片を
従来技術により形成した状態を示す説明図である。
従来技術により形成した状態を示す説明図である。
１………ウェハ、２………圧電振動片、３………連結
部、１０………圧電振動片、１２………枠体、１４……
…励振部、１６………励振電極、１８………引出電極、
２０………引出電極、２２………段差、２４………配線
パターン、２６………側端面、２８………凹部、３０…
……折り取り残部、３２………圧電振動子、３４………
ベース基板、３５………カバー、３６………窪み、３８
………枠体、４０………支持台、４２………端子電極、
４４………端子電極、４６………導電性接着剤、４８…
……ウェハ、５０………連結部、５２………矢印、５６
………くびれ部、５８………貫通孔、６０………溝部
部、１０………圧電振動片、１２………枠体、１４……
…励振部、１６………励振電極、１８………引出電極、
２０………引出電極、２２………段差、２４………配線
パターン、２６………側端面、２８………凹部、３０…
……折り取り残部、３２………圧電振動子、３４………
ベース基板、３５………カバー、３６………窪み、３８
………枠体、４０………支持台、４２………端子電極、
４４………端子電極、４６………導電性接着剤、４８…
……ウェハ、５０………連結部、５２………矢印、５６
………くびれ部、５８………貫通孔、６０………溝部
【手続補正書】
【提出日】平成１４年３月６日（２００２．３．６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】そして本発明に係る圧電振動子によれば、
圧電材料からなるウェハより取り出される圧電振動片を
用いた圧電振動子であって、前記圧電振動片本体の側端
面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウェハ
との接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部が
前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の
高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を有
する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能とし
前記電極に対面する端子電極を有したベース基板とを有
し、前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて
接続するよう構成した。ここで前記連結部における折り
取り残部の高さを、前記側端面に一致させたり、さらに
前記凹部は、前記電極の形成位置を超えるまで深く形成
されることが望ましい。
圧電材料からなるウェハより取り出される圧電振動片を
用いた圧電振動子であって、前記圧電振動片本体の側端
面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウェハ
との接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部が
前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の
高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を有
する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能とし
前記電極に対面する端子電極を有したベース基板とを有
し、前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて
接続するよう構成した。ここで前記連結部における折り
取り残部の高さを、前記側端面に一致させたり、さらに
前記凹部は、前記電極の形成位置を超えるまで深く形成
されることが望ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】さらに本発明に係る圧電発振器によれば、
圧電材料からなるウェハより取り出される圧電振動片を
用いた圧電発振器であって、前記圧電振動片本体の側端
面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウェハ
との接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部が
前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の
高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を有
する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能とし
前記電極に対面する端子電極を有したベース基板と、前
記圧電振動片を発振駆動するための集積回路とを有し、
前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて接続
するよう構成した。そして請求項１３記載の圧電発振器
であって、前記集積回路が前記圧電振動片の下部であっ
て、前記ベース基板上に搭載されていることが望まし
い。
圧電材料からなるウェハより取り出される圧電振動片を
用いた圧電発振器であって、前記圧電振動片本体の側端
面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウェハ
との接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部が
前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の
高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を有
する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能とし
前記電極に対面する端子電極を有したベース基板と、前
記圧電振動片を発振駆動するための集積回路とを有し、
前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて接続
するよう構成した。そして請求項１３記載の圧電発振器
であって、前記集積回路が前記圧電振動片の下部であっ
て、前記ベース基板上に搭載されていることが望まし
い。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４７】圧電材料からなるウェハより圧電振動片を
形成するための製造方法であって、前記ウェハからエッ
チングにより前記圧電振動片の外形を形成する際に、前
記圧電振動片の側端面に凹部と、この凹部側面から突出
し前記ウェハへの接続をなす連結部を形成し、前記圧電
振動片を前記ウェハから取り出す際、前記連結部の折り
取り残部が前記圧電振動片における前記側端面から突出
しないよう折り取りをなしたり、また圧電材料からなる
ウェハより取り出される圧電振動片を用いた圧電振動子
であって、前記圧電振動片本体の側端面には凹部と、こ
の当該凹部側面から突出し前記ウェハとの接続をなす折
取り残部とを有し、この折取り残部が前記側端面より内
側に収まるよう、前記折り取り残部の高さを設定すると
ともに、前期凹部の両端側に電極を有する前記圧電振動
片と、当該圧電振動片を搭載可能とし前記電極に対面す
る端子電極を有したベース基板とを有し、前記電極と前
記端子電極とを導電性接着剤を用いて接続したり、さら
に圧電材料からなるウェハより取り出される圧電振動片
を用いた圧電発振器であって、前記圧電振動片本体の側
端面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウェ
ハとの接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部
が前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部
の高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を
有する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能と
し前記電極に対面する端子電極を有したベース基板と、
前記圧電振動片を発振駆動するための集積回路とを有
し、前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて
接続したことから、既存の工程を大幅に変更させること
なく圧電振動子や発振器の小型化を図ることが可能で、
さらに圧電振動子を導電性接着剤を用いて他部材に密着
させる際、前記導電性接着剤の広がりによって電極間で
短絡が生じるのを防止することが可能になる。
形成するための製造方法であって、前記ウェハからエッ
チングにより前記圧電振動片の外形を形成する際に、前
記圧電振動片の側端面に凹部と、この凹部側面から突出
し前記ウェハへの接続をなす連結部を形成し、前記圧電
振動片を前記ウェハから取り出す際、前記連結部の折り
取り残部が前記圧電振動片における前記側端面から突出
しないよう折り取りをなしたり、また圧電材料からなる
ウェハより取り出される圧電振動片を用いた圧電振動子
であって、前記圧電振動片本体の側端面には凹部と、こ
の当該凹部側面から突出し前記ウェハとの接続をなす折
取り残部とを有し、この折取り残部が前記側端面より内
側に収まるよう、前記折り取り残部の高さを設定すると
ともに、前期凹部の両端側に電極を有する前記圧電振動
片と、当該圧電振動片を搭載可能とし前記電極に対面す
る端子電極を有したベース基板とを有し、前記電極と前
記端子電極とを導電性接着剤を用いて接続したり、さら
に圧電材料からなるウェハより取り出される圧電振動片
を用いた圧電発振器であって、前記圧電振動片本体の側
端面には凹部と、この当該凹部側面から突出し前記ウェ
ハとの接続をなす折取り残部とを有し、この折取り残部
が前記側端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部
の高さを設定するとともに、前期凹部の両端側に電極を
有する前記圧電振動片と、当該圧電振動片を搭載可能と
し前記電極に対面する端子電極を有したベース基板と、
前記圧電振動片を発振駆動するための集積回路とを有
し、前記電極と前記端子電極とを導電性接着剤を用いて
接続したことから、既存の工程を大幅に変更させること
なく圧電振動子や発振器の小型化を図ることが可能で、
さらに圧電振動子を導電性接着剤を用いて他部材に密着
させる際、前記導電性接着剤の広がりによって電極間で
短絡が生じるのを防止することが可能になる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
Claims (14)
- 【請求項１】 圧電材料からなるウェハより取り出され
る圧電振動片であって、振動片本体の側端面に凹部と、
この凹部側面から突出し前記ウェハとの接続をなす連結
部の折り取り残部とを有し、この折り取り残部が前記側
端面より内側に収まるよう、前記折り取り残部の高さを
設定したことを特徴とする圧電振動片。 - 【請求項２】 圧電材料からなるウェハより圧電振動片
を形成するための製造方法であって、前記ウェハからエ
ッチングにより前記圧電振動片の外形を形成する際に、
前記圧電振動片の側端面に凹部と、この凹部側面から突
出し前記ウェハへの接続をなす連結部を形成し、前記圧
電振動片を前記ウェハから取り出す際、前記連結部の折
り取り残部が前記圧電振動片における前記側端面から突
出しないよう折り取りをなすことを特徴とする圧電振動
片の製造方法。 - 【請求項３】 前記圧電振動片は逆メサ型圧電振動片で
あることを特徴とする請求項２に記載の圧電振動片の製
造方法。 - 【請求項４】 前記連結部における前記側端面より前記
圧電振動片側に弱体部を形成し、この弱体部に沿った折
り取りをなすことを特徴とする請求項２または請求項３
に記載の圧電振動片の製造方法。 - 【請求項５】 前記弱体部は、前記連結部の側面に形成
されるくびれ部からなることを特徴とする請求項４に記
載の圧電振動片の製造方法。 - 【請求項６】 前記弱体部は、前記連結部に貫通する孔
部からなることを特徴とする請求項４に記載の圧電振動
片の製造方法。 - 【請求項７】 前記弱体部は、前記圧電振動片の外形と
同時に形成されることを特徴とする請求項５または請求
項６に記載の圧電振動片の製造方法。 - 【請求項８】 前記弱体部は、前記連結部の薄肉化によ
り形成されることを特徴とする請求項４乃至請求項６の
いずれかに記載の圧電振動片の製造方法。 - 【請求項９】 前記連結部の薄肉化は、前記連結部への
ハーフエッチングによって行われることを特徴とする請
求項８に記載の圧電振動片の製造方法。 - 【請求項１０】 圧電材料からなるウエハより取り出さ
れる圧電振動片を用いた圧電振動子であって、前記圧電
振動片本体の側端面には凹部と、この当該凹部側面から
突出し前記ウエハとの接続をなす折取り残部とを有し、
この折取り残部が前記側端面より内側に収まるよう、前
記折り取り残部の高さを設定するとともに、前期凹部の
両端側に電極を有する前記圧電振動片と、当該圧電振動
片を搭載可能とし前記電極に対面する端子電極を有した
ベース基板とを有し、前記電極と前記端子電極とを導電
性接着剤を用いて接続したことを特徴とする圧電振動
子。 - 【請求項１１】 前記連結部における折り取り残部の高
さを、前記側端面に一致させたことを特徴とする請求項
１０に記載の圧電振動子。 - 【請求項１２】 前記凹部は、前記電極の形成位置を超
えるまで深く形成されることを特徴とする請求項１０に
記載の圧電振動子。 - 【請求項１３】 圧電材料からなるウエハより取り出さ
れる圧電振動片を用いた圧電発振器であって、前記圧電
振動片本体の側端面には凹部と、この当該凹部側面から
突出し前記ウエハとの接続をなす折取り残部とを有し、
この折取り残部が前記側端面より内側に収まるよう、前
記折り取り残部の高さを設定するとともに、前期凹部の
両端側に電極を有する前記圧電振動片と、当該圧電振動
片を搭載可能とし前記電極に対面する端子電極を有した
ベース基板と、前記圧電振動片を発振駆動するための集
積回路とを有し、前記電極と前記端子電極とを導電性接
着剤を用いて接続したことを特徴とする圧電発振器。 - 【請求項１４】 請求項１３記載の圧電発振器であっ
て、前記集積回路が前記圧電振動片の下部であって、前
記ベース基板上に搭載されていることを特徴とする圧電
発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140631A JP3520415B2 (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | 圧電振動片と圧電振動片の製造方法、それを用いた圧電振動子、ならびに圧電発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140631A JP3520415B2 (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | 圧電振動片と圧電振動片の製造方法、それを用いた圧電振動子、ならびに圧電発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002335142A true JP2002335142A (ja) | 2002-11-22 |
| JP3520415B2 JP3520415B2 (ja) | 2004-04-19 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001140631A Expired - Fee Related JP3520415B2 (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | 圧電振動片と圧電振動片の製造方法、それを用いた圧電振動子、ならびに圧電発振器 |
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| JP (1) | JP3520415B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007181072A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Citizen Miyota Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法および圧電デバイス |
| CN101383598A (zh) * | 2007-08-27 | 2009-03-11 | 精工电子有限公司 | 密封端及其制造方法、压电振荡器及其制造方法、振荡器 |
| JP2010011352A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の製造方法及び水晶振動子並びに電子部品 |
| US20100314355A1 (en) * | 2009-06-12 | 2010-12-16 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Ultrasonic probe |
| US10181836B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-01-15 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and moving object |
| JP2021114705A (ja) * | 2020-01-20 | 2021-08-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器、及び移動体 |
-
2001
- 2001-05-10 JP JP2001140631A patent/JP3520415B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4690193B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2011-06-01 | シチズンファインテックミヨタ株式会社 | 圧電デバイスの製造方法および圧電デバイス |
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| CN101924528A (zh) * | 2009-06-12 | 2010-12-22 | 日本电波工业株式会社 | 晶体振子的制造方法 |
| JP2011019213A (ja) * | 2009-06-12 | 2011-01-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
| US8431030B2 (en) * | 2009-06-12 | 2013-04-30 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Process for manufacturing crystal resonator |
| US10181836B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-01-15 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and moving object |
| JP2021114705A (ja) * | 2020-01-20 | 2021-08-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器、及び移動体 |
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