JPH10252943A - Vacuum valve - Google Patents
Vacuum valveInfo
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- JPH10252943A JPH10252943A JP8211997A JP8211997A JPH10252943A JP H10252943 A JPH10252943 A JP H10252943A JP 8211997 A JP8211997 A JP 8211997A JP 8211997 A JP8211997 A JP 8211997A JP H10252943 A JPH10252943 A JP H10252943A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空バルブに関
し、特に薄膜作製の為の半導体製造装置に使用される真
空バルブの改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum valve, and more particularly to an improvement in a vacuum valve used in a semiconductor manufacturing apparatus for producing a thin film.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造装置は、その多くの工程を真
空雰囲気中で行うものが多いが、最近の超ＬＳＩでは、
集積度の高まりにつれて、装置が実現できる真空のレベ
ル（いわゆる真空度）は勿論の事、製造装置中の塵（パ
ーティクル）が製品歩留まりに与える影響が益々大きな
比重を占める様になっている。そこで、パーティクルに
よる悪影響を避け、製品歩留まりの向上を図るため、半
導体製造中の真空雰囲気のパーティクルの厳しい管理が
要求されている。2. Description of the Related Art In many semiconductor manufacturing apparatuses, many steps are performed in a vacuum atmosphere.
As the degree of integration increases, the influence of dust (particles) in the manufacturing apparatus on the product yield as well as the vacuum level (so-called vacuum degree) that can be realized by the apparatus occupies an increasingly large proportion. Therefore, strict control of particles in a vacuum atmosphere during semiconductor manufacturing is required in order to avoid adverse effects due to particles and to improve product yield.
【０００３】ところで、これら半導体製造装置は通常数
多くの部品から構成されているが、製造装置全体のクリ
ーン度を高める為には、これらの構成部品もパーティク
ルの発生が少ないクリーンなものが求められてきている
し、出来上がった製造装置全体を清浄に保つ為には、パ
ーティクルの発生を押さえた特別の部屋（クリーンルー
ム）内に設置する必要もある。そして、クリーンルーム
内に置かれた製造装置を運転する上で必要となる種々の
ガスを制御する為に用いられるバルブ類も、当然前述の
目的に沿った特別仕様の弁（真空バルブ）が用いられて
いる。[0003] These semiconductor manufacturing apparatuses are usually composed of a large number of components, but in order to increase the cleanliness of the entire manufacturing apparatus, these components are required to be clean with little generation of particles. However, in order to keep the completed manufacturing apparatus clean, it is necessary to install the apparatus in a special room (clean room) in which generation of particles is suppressed. Also, valves used for controlling various gases required for operating the manufacturing apparatus placed in the clean room are naturally special-purpose valves (vacuum valves) for the purpose described above. ing.
【０００４】従来、この種の真空バルブにはバルブ摺動
部から発生した塵の拡散を押さえるためとか、摺動部か
らの真空漏れを極力低減させ、装置の超高真空を実現
（通常１０-7Ｔｏｏｒ以下）するために、種々の工夫が
施されてきており、その一つがＯリングとベローズの二
重シールを用いる方法である。この方法が用いられた真
空バルブでは、バルブシャフトの摺動部の真空シールに
関して、Ｏリング等の軸シールを用いて封止し、その上
から更にベローズを用いて封止し、二重にシールしてい
た。Heretofore, this type of vacuum valve has realized an ultra-high vacuum of the apparatus (usually 10 −) in order to suppress the diffusion of dust generated from the valve sliding portion or to reduce vacuum leakage from the sliding portion as much as possible. Various measures have been taken in order to achieve this ( 7 Toor or less), one of which is a method using a double seal of an O-ring and a bellows. In a vacuum valve using this method, the vacuum seal of the sliding portion of the valve shaft is sealed using a shaft seal such as an O-ring, and then further sealed with a bellows, and double sealed. Was.
【０００５】従来からあるこの種の真空バルブでは、バ
ルブ組立後や、バルブを装置組み込み後に、バルブのベ
ローズ部から漏れが無いかどうかをＨｅリークディテク
タ等で検査するために、バルブの外からベローズの大気
側の内側空間部にＨｅガス等を導入するための連通孔を
有していた。この連通孔は、又、弁体の上下動に伴うベ
ローズの伸縮でベローズの内側空間部の内容積が変化
し、このため内圧が変動し、ベローズが短寿命とならな
いように、ベローズの内側空間部の大気がバルブの外部
と自由に出入できるようにする機能上の観点からも必要
なものであった。In a conventional vacuum valve of this type, after assembling the valve or assembling the valve into a device, a bellows is provided from outside of the valve in order to inspect whether there is any leakage from the bellows portion of the valve with a He leak detector or the like. Had a communication hole for introducing He gas or the like into the inner space on the atmosphere side. In addition, the internal space of the bellows is changed so that the internal volume of the inner space of the bellows changes due to the expansion and contraction of the bellows due to the vertical movement of the valve body. This was necessary from the functional point of view that the air in the part could freely enter and exit the outside of the valve.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】半導体製造装置、特に
薄膜作製の為の真空装置はパーティクルが少ない特別の
クリーンルーム内に設置される。しかし、上記従来の真
空バルブは、連通孔があるためバルブ開閉に伴い、ベロ
ーズの内側空間部における摺動部から発生するパーテイ
クルをバルブの外へ排出し、クリーンルームを汚染して
しまうといった欠点があった。製品歩留まりを大きく左
右するこのパーティクルは出来るだけ発生を押さえる
か、又は押さえられない時は拡散を防止することが要求
されるが、連通孔を無くしてしまえば、ベローズ部のＨ
ｅリークテストができなくなり、またバルブ開閉に伴い
ベローズの内側空間部の圧力が変化し、ベローズに力が
掛かり、ベローズの寿命が短くなる。A semiconductor manufacturing apparatus, particularly a vacuum apparatus for producing a thin film, is installed in a special clean room with few particles. However, the above-mentioned conventional vacuum valve has a drawback in that since there is a communication hole, particles generated from a sliding portion in the inner space of the bellows are discharged to the outside of the valve when the valve is opened and closed, thereby contaminating the clean room. Was. These particles, which greatly affect the product yield, are required to suppress generation as much as possible, or to prevent diffusion when they are not suppressed, but if the communication holes are eliminated, the H of the bellows part will be reduced.
e The leak test cannot be performed, and the pressure in the inner space of the bellows changes with the opening and closing of the valve, a force is applied to the bellows, and the life of the bellows is shortened.
【０００７】本発明の目的は、上記の問題を解決するこ
とにあり、ベローズの内側空間部と大気空間部とを通じ
る連通孔を有する真空バルブの開閉に伴い、ベローズの
内側空間部から発生するパーティクルを、バルブ外へ排
出しない真空バルブを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problem, and is generated from the inner space of the bellows with the opening and closing of a vacuum valve having a communication hole through which the inner space of the bellows communicates with the atmosphere. An object of the present invention is to provide a vacuum valve that does not discharge particles out of the valve.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段および作用】上記の目的を
達成するために、本発明の真空バルブは、バルブシャフ
トを介して弁体を駆動させる真空バルブのバルブシャフ
ト摺動部を軸封材で真空封止し、その上からベローズで
被い、当該ベローズの内側空間部とバルブ外の大気空間
部とを連通孔で連通した真空バルブにおいて、該連通孔
にエアフィルタを設けたものである。このエアフィルタ
を設けることにより、ベローズの内側空間部で発生する
パーティクルをバルブ外のクリーンルーム内へ排出する
ことが防げられる。In order to achieve the above object, a vacuum valve according to the present invention has a valve shaft sliding portion of a vacuum valve for driving a valve body through a valve shaft with a shaft sealing material. The vacuum valve is a vacuum valve which is vacuum-sealed, covered with a bellows from above, and a communication hole connects an inner space portion of the bellows and an air space portion outside the valve with a communication hole, and an air filter is provided in the communication hole. By providing this air filter, it is possible to prevent particles generated in the space inside the bellows from being discharged into the clean room outside the valve.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下に本発明の真空バルブの好適
な実施形態を図面に基づいて説明する。図１はいわゆる
自動Ｌ型真空バルブと呼ばれるものである。３はシリン
ダであり、隔壁１９を挟み込んで、バルブボディ１５と
ボルト２０で固定されており、該シリンダ３内にはピス
トン２が納められている。１及び１４はピストン２を動
作させるための圧搾気体（エア）の出入口ポート、４は
シリンダに設けられた上部ストツパ部である。ピストン
２の中心にはバルブシャフト６の一端がナット５を用い
て固定され、該シャフトは隔壁１９を摺動自在に貫通し
てバルブボディ１５内に延び、他端で弁体７部とつなが
っている。１２及び１３の部分はバルブボディ１５の一
部を形成し、本発明の真空バルブで制御すべき被制御流
体が流れる為の流通口である。弁体７がバルブボディ１
５の弁座１６に対面する部分には真空シール材１７が付
設されている。又、弁体７と隔壁１９との間にはバルブ
シャフト６を包んでベローズ８が設けられ、ベローズ８
の一端は隔壁１９に、他端は弁体７に固定されている。
１０はベローズ８の内部側空間９とバルブ外の大気空間
部とを結ぶ連通孔、１１はその連通孔１０に設けられた
エアフィルタである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a vacuum valve according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows what is called an automatic L-type vacuum valve. Reference numeral 3 denotes a cylinder, which is fixed to the valve body 15 with bolts 20 with the partition wall 19 interposed therebetween, and the piston 2 is accommodated in the cylinder 3. Reference numerals 1 and 14 denote inlet / outlet ports for compressed gas (air) for operating the piston 2, and reference numeral 4 denotes an upper stopper provided in the cylinder. One end of a valve shaft 6 is fixed to the center of the piston 2 using a nut 5. The shaft extends slidably through the partition wall 19 into the valve body 15, and is connected to the valve body 7 at the other end. I have. Portions 12 and 13 form a part of the valve body 15 and are flow ports through which a controlled fluid to be controlled by the vacuum valve of the present invention flows. Valve body 7 is valve body 1
A vacuum seal member 17 is attached to a portion facing the valve seat 16 of No. 5. A bellows 8 is provided between the valve body 7 and the partition wall 19 to surround the valve shaft 6.
Is fixed to the partition wall 19 and the other end is fixed to the valve body 7.
Reference numeral 10 denotes a communication hole that connects the internal space 9 of the bellows 8 to the atmosphere space outside the valve. Reference numeral 11 denotes an air filter provided in the communication hole 10.
【００１０】上記真空バルブを開にするには、圧搾空気
（エア）をポート１に入れることにより、ピストン２を
上方向に移動させ、シリンダ３の上部ストッパ部４に接
触し停止させる。その結果、ピストン２にナット５で固
着されたバルブシャフト６を介して弁体７が上方向に移
動し、流通口１２と１３が連通状態となり、バルブは開
となる。In order to open the vacuum valve, compressed air (air) is introduced into the port 1 to move the piston 2 upward, so that the piston 2 comes into contact with the upper stopper 4 of the cylinder 3 and is stopped. As a result, the valve element 7 moves upward via the valve shaft 6 fixed to the piston 2 with the nut 5, the communication ports 12 and 13 are in communication, and the valve is opened.
【００１１】その際ベローズ８が縮むので、ベローズ８
の大気側の内側空間９の中の大気は圧縮され、連通孔１
０からエアフィルタ１１を介してバルブ外のクリーンル
ーム内に排出される。At this time, since the bellows 8 shrinks, the bellows 8
The atmosphere in the inner space 9 on the atmosphere side is compressed and the communication hole 1 is opened.
From 0, it is discharged into the clean room outside the valve via the air filter 11.
【００１２】また、上記真空バルブを閉にするには、圧
搾空気（エア）をポート１４に入れることにより、ピス
トン２が下方向に移動し、ピストン２にナット５にて接
続されたバルブシャフト６を介して弁体７がバルブボデ
ィ１５の弁座１６に接触し停止する。この際、弁体７に
付属した真空シール材１７により、流通口１２と１３が
弁体７により気密に遮断され、バルブは閉状態となる。In order to close the vacuum valve, compressed air (air) is introduced into the port 14 so that the piston 2 moves downward, and the valve shaft 6 connected to the piston 2 by the nut 5. The valve body 7 comes into contact with the valve seat 16 of the valve body 15 via the valve body 15 and stops. At this time, the flow ports 12 and 13 are airtightly shut off by the valve body 7 by the vacuum seal material 17 attached to the valve body 7, and the valve is closed.
【００１３】その際ベローズ８は伸長し、ベローズ８の
大気側の内側空間９が減圧状態となり、バルブ外のクリ
ーンルーム内の大気がエアフィルタ１１を介して連通孔
１０を通りベローズの内側空間９に導入される。At this time, the bellows 8 expands, and the inner space 9 on the air side of the bellows 8 is depressurized, and the air in the clean room outside the valve passes through the communication hole 10 via the air filter 11 and enters the inner space 9 of the bellows. be introduced.
【００１４】このような構造となっているので、真空バ
ルブを開状態にする際、ベローズ８の内側空間９のパー
ティクルをバルブの外に排出することがなく、クリーン
ルームをパーティクルにより汚染することはない。With this structure, when the vacuum valve is opened, the particles in the inner space 9 of the bellows 8 are not discharged out of the valve, and the clean room is not contaminated by the particles. .
【００１５】尚、本実施形態では自動Ｌ型真空バルブの
例を説明したが、手動Ｌ型真空バルブ、手動のゲートバ
ルブ、自動のゲートバルブ等、バルブ開閉時にベローズ
伸縮を伴う真空バルブ全てに応用できることは言うまで
もない。また、図１ではエアフィルタ１１を真空バルブ
の外に配置した図で示したが、連通孔１０内に内蔵して
もよいことは勿論である。In this embodiment, an example of an automatic L-type vacuum valve has been described. However, the present invention is applied to all vacuum valves which have a bellows expansion and contraction when the valve is opened and closed, such as a manual L-type vacuum valve, a manual gate valve, and an automatic gate valve. It goes without saying that you can do it. Although FIG. 1 shows the air filter 11 arranged outside the vacuum valve, it goes without saying that the air filter 11 may be built in the communication hole 10.
【００１６】[0016]
【発明の効果】真空バルブの開閉を行っても、ベローズ
の内側空間部から発生するパーティクルを真空バルブの
外部へ排出しないので、真空バルブでクリーンルーム内
をパーティクル汚染することが防げられる。As described above, even if the vacuum valve is opened and closed, particles generated from the inner space of the bellows are not discharged to the outside of the vacuum valve, so that the vacuum valve can be prevented from contaminating the inside of the clean room.
【図１】本発明の一実施形態を示した真空バルブの縦断
面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a vacuum valve showing an embodiment of the present invention.
１ ポート ２ ピストン ３ シリンダ ４ 上部ストッパ部 ５ ナット ６ バルブシャフト ７ 弁体 ８ ベローズ ９ ベローズの内側空間 １０ 連通孔 １１ エアフィルタ １２ 流通口 １３ 流通口 １４ ポート １５ バルブボディ １６ 弁座 １７ 真空シール材 １８ 軸シール １９ 隔壁 ２０ ボル 1 Port 2 Piston 3 Cylinder 4 Upper Stopper 5 Nut 6 Valve Shaft 7 Valve 8 Bellows 9 Inner Space of Bellows 10 Communication Hole 11 Air Filter 12 Flow Port 13 Flow Port 14 Port 15 Valve Body 16 Valve Seat 17 Vacuum Seal Material 18 Shaft seal 19 Partition wall 20 Vol
Claims (1)
フトを導入するに際して、バルブシャフト摺動部を軸封
材で真空封止し、その上から更にベローズで封止し、当
該ベローズの内側空間部とバルブ外の大気空間部とを連
通孔で連通した真空バルブにおいて、該連通孔にエアフ
ィルタを設けたことを特徴とする真空バルブ。When introducing a valve shaft for driving a valve body of a vacuum valve, a sliding portion of the valve shaft is vacuum-sealed with a shaft sealing material, further sealed with a bellows from above, and an inner space of the bellows is provided. A vacuum valve in which an air filter is provided in the communication hole, wherein the communication portion communicates with the atmosphere space outside the valve through a communication hole.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8211997A JPH10252943A (en) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | Vacuum valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8211997A JPH10252943A (en) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | Vacuum valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10252943A true JPH10252943A (en) | 1998-09-22 |
Family
ID=13765534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8211997A Pending JPH10252943A (en) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | Vacuum valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10252943A (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101075591B1 (en) * | 2011-05-20 | 2011-10-20 | (주)아이엠 | A gate valve for semiconductor producing process |
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-
1997
- 1997-03-14 JP JP8211997A patent/JPH10252943A/en active Pending
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