JPH06203782A - Incidental device for electron microscope - Google Patents
Incidental device for electron microscopeInfo
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 29
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 28
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 abstract 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 206010033799 Paralysis Diseases 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、電子顕微鏡本体に取
付けて、電子ビームを利用した種々の分析等を行う場合
に、真空の保持が効率的にできるように、電子顕微鏡本
体との接続部付近に、改良したエアロックバルブを設け
た電子顕微鏡の付帯装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a connecting portion with an electron microscope main body so that a vacuum can be efficiently held when it is attached to an electron microscope main body and various analyzes using an electron beam are performed. The present invention relates to an auxiliary device for an electron microscope provided with an improved airlock valve in the vicinity.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年電子顕微鏡を、拡大した試料の像を
観察するという用途の他に、内部に分析すべき試料を配
置した真空容器を付帯装置として取付け、これに電子顕
微鏡の電子ビームを照射して、分析装置として用いるこ
とが行われている。しかしてこの付帯装置は、図2に示
すように、電子顕微鏡1に1個の付帯装置2を付属させ
るだけでは、その機能に限界があるため、複数の付帯装
置2a,2b等を用意しておき、その分析等の目的に合
った付帯装置に交換する必要がある。2. Description of the Related Art In recent years, in addition to the purpose of observing an enlarged image of a sample in an electron microscope, a vacuum container in which a sample to be analyzed is arranged is attached as an accessory device, and the electron beam of the electron microscope is irradiated onto the vacuum container. Then, it is used as an analyzer. However, as shown in FIG. 2, the accessory device has a limit in its function only by attaching one accessory device 2 to the electron microscope 1. Therefore, a plurality of accessory devices 2a, 2b, etc. are prepared. Every time, it is necessary to replace it with an accessory device suitable for the purpose of the analysis.
【0003】そこで付帯装置2等を交換して、他の付帯
装置2a,2b等を取付けることになるが、その交換を
する際には、電子顕微鏡本体1の内部が大気圧になって
しまうのは仕方がないとして、付帯装置2等は真空のま
ゝ保持した方が、後で再び真空にするためや、その他い
ろいろな点で都合がよいので、付帯装置2等の本体との
接続部4に近い部分にエアロックバルブ3を設け、電子
顕微鏡本体1から切り離す場合には、このエアロックバ
ルブ3を閉じて、切り離されても付帯装置2内の真空が
維持されるようになっている。Therefore, the accessory device 2 or the like is replaced and other accessory devices 2a, 2b or the like are attached. However, when the accessory device 2 is replaced, the inside of the electron microscope main body 1 becomes atmospheric pressure. Since it is unavoidable, it is convenient to maintain the vacuum of the accessory device 2 or the like in order to make the vacuum again later, and in other various points. When the air lock valve 3 is provided at a portion close to, and is separated from the electron microscope main body 1, the air lock valve 3 is closed so that the vacuum in the accessory device 2 is maintained even if the air lock valve 3 is separated.
【0004】図3は電子顕微鏡本体1と付帯装置2を真
空にするための、真空ポンプ、その空気通路を形成する
バルブ及びその制御装置を示しており、それらは、大気
圧から一定圧まで真空にする荒引き用のロータリポンプ
5、更に高真空にするためのディフュージョンポンプ
6、本体1とロータリポンプ5との間のロータリポンプ
吸入側バルブV1、大気リーク用バルブV2、本体1と
ディフュージョンポンプ6との間のディフュージョンポ
ンプ吸入側バルブV3、ディフュージョンポンプ6とロ
ータリポンプ5との間のディフュージョンポンプ排出側
バルブV4、本体1に設けられる真空度センサ7及びこ
れらのポンプとバルブとを制御する制御装置8から成っ
ている。FIG. 3 shows a vacuum pump for evacuating the electron microscope main body 1 and the auxiliary device 2, a valve forming an air passage thereof and a control device thereof, which are vacuum from atmospheric pressure to a constant pressure. Rotary pump 5 for roughing, diffusion pump 6 for further high vacuum, rotary pump suction side valve V1 between main body 1 and rotary pump 5, atmospheric leak valve V2, main body 1 and diffusion pump 6 And a diffusion pump suction side valve V3, a diffusion pump discharge side valve V4 between the diffusion pump 6 and the rotary pump 5, a vacuum sensor 7 provided in the main body 1, and a control device for controlling these pumps and valves. Made of eight.
【0005】図4は、エアロックバルブ3及びその付近
の付帯装置2の断面を示すもので、本体1との取付フラ
ンジ11と付帯装置2自身への取付フランジ12との間
に、エアロックバルブ3のバルブ本体13があり、その
中には中空部14が形成されており、その中空部14内
を仕切り板15が摺動するようになっており、仕切り板
15を駆動するため、開閉軸16がこれに接続してい
る。開閉軸16とバルブ本体13とは、真空シール16
aによってシールされている。FIG. 4 shows a cross section of the airlock valve 3 and the auxiliary device 2 in the vicinity thereof. The airlock valve 3 is provided between the mounting flange 11 of the main body 1 and the mounting flange 12 of the auxiliary device 2 itself. 3 has a valve body 13 in which a hollow portion 14 is formed, and a partition plate 15 is slidable in the hollow portion 14 so that the partition plate 15 is driven. 16 is connected to this. A vacuum seal 16 is provided between the opening / closing shaft 16 and the valve body 13.
It is sealed by a.
【0006】仕切り板15の上面と中空部14との間に
は、真空シール17が介装されて、気密を保持するよう
になっており、仕切り板15の両側には円柱状突出部1
8が突出して、バルブ本体13に固着しているスロープ
状の押上金具19と係合している。円柱状突出部18と
押上金具19とは、仕切り板15が開閉軸16により押
されて、バルブ本体13の通路13aを閉止しようとす
るときには、円柱状突出部18が押上金具19によって
押上げられて、仕切り板15の上面がバルブ本体13の
中空部14の上壁の下面に押し付けられ、真空シール1
7によって密着して、気密を保持するようになってい
る。A vacuum seal 17 is interposed between the upper surface of the partition plate 15 and the hollow portion 14 so as to maintain airtightness, and the cylindrical protrusions 1 are provided on both sides of the partition plate 15.
8 protrudes and is engaged with a slope-shaped push-up fitting 19 fixed to the valve body 13. When the partition plate 15 is pushed by the opening / closing shaft 16 to close the passage 13a of the valve body 13, the cylindrical protrusion 18 and the push-up fitting 19 are pushed up by the push-up fitting 19. The upper surface of the partition plate 15 is pressed against the lower surface of the upper wall of the hollow portion 14 of the valve body 13, and the vacuum seal 1
It adheres by 7 and maintains airtightness.
【0007】測定を行うときは、まず図3のポンプとバ
ルブとを制御して、本体1及び付帯装置2を真空にしな
ければならないが、これには大気中に置かれた状態の本
体1に、最初は同じく大気中に置かれた状態の付帯装置
2を、連結部4の部分で装着し、付帯装置2のエアロッ
クバルブ3を開き、バルブV1を開き、バルブV2,V
3,V4を閉じた状態で、ロータリポンプ5をフル回転
させて、本体1及び付帯装置2内の空気を低い真空まで
荒引きする。When performing the measurement, first, the pump and the valve shown in FIG. 3 must be controlled to make the main body 1 and the auxiliary device 2 a vacuum. First, the auxiliary device 2 which is also placed in the atmosphere at the beginning is attached at the connecting portion 4, the air lock valve 3 of the auxiliary device 2 is opened, the valve V1 is opened, and the valves V2, V
With 3, 3 and V4 closed, the rotary pump 5 is fully rotated to roughly pull the air in the main body 1 and the auxiliary device 2 to a low vacuum.
【0008】そして、本体1及び付帯装置2の内部の真
空度が上昇して、真空度センサ7により一定値以下にな
ったことが検出されると、バルブV2はそのまゝ、ロー
タリポンプ5もそのまゝ回転しているが、バルブV1が
閉じられ、バルブV3,V4が開いて、ディフュージョ
ンポンプ6を作動させる。そうして本体1及び付帯装置
2の内部は、高真空に本引きされ、その状態で付帯装置
2による種々の測定等が行われる。When the degree of vacuum inside the main body 1 and the accessory device 2 rises and the vacuum degree sensor 7 detects that the degree of vacuum is below a certain value, the valve V2 stays at that state and the rotary pump 5 also. Although it is still rotating, the valve V1 is closed and the valves V3 and V4 are opened to operate the diffusion pump 6. Then, the inside of the main body 1 and the accessory device 2 is permanently pulled to a high vacuum, and in that state, various measurements and the like are performed by the accessory device 2.
【0009】次に、付帯装置2を切り離して、他の付帯
装置2a,2b等と交換して測定等を行うには、付帯装
置2のエアロックバルブ3を閉じて、付帯装置2の内部
を真空に保持しておき、接続部4の部分で本体と切り離
し、付帯装置2a,2b等と交換する。しかしてこれら
の付帯装置2a,2b等が先に一度測定が行われたもの
である場合は、これらのエアロックバルブ3は閉じられ
ており、真空が保持されている筈である。Next, in order to separate the accessory device 2 and replace it with other accessory devices 2a, 2b, etc. for measurement, etc., the air lock valve 3 of the accessory device 2 is closed and the inside of the accessory device 2 is closed. It is kept in vacuum, separated from the main body at the connecting portion 4, and replaced with the accessory devices 2a, 2b and the like. However, if these accessory devices 2a, 2b etc. have previously been measured once, these airlock valves 3 should be closed and the vacuum should be maintained.
【0010】そこで新しい付帯装置2a,2b等を本体
1に接続した後、本体1と付帯装置2a,2b等の真空
度を上げなければならないが、新しい付帯装置2a,2
b等は既に真空になっているから、ロータリポンプ5に
よって荒引きしている間は、エアロックバルブ3を閉じ
ておき、真空度センサ7により、本体1内の真空度が一
定値以下になったことが検知されたのに同期して、エア
ロックバルブ3を開くようにする。Therefore, after connecting the new accessory devices 2a, 2b, etc. to the main body 1, the degree of vacuum of the main body 1 and the accessory devices 2a, 2b, etc. must be increased.
Since b and the like are already in a vacuum, the air lock valve 3 is closed while the rotary pump 5 is roughing, and the vacuum degree sensor 7 keeps the vacuum degree in the main body 1 below a certain value. The air lock valve 3 is opened in synchronism with the fact that the failure is detected.
【0011】このようにすれば、付帯装置2a,2b等
に保持されている真空は、一般には微小なリークによ
り、やゝ低下しているのが普通で、本体1の荒引き後の
真空度に近い値となっていると考えられるから、真空度
センサ7によるロータリポンプ5からディフュージョン
ポンプ6への切換と、エアロックバルブ3を開くのを同
期すれば、丁度よい時期に切換えが行われることにな
る。In this way, the vacuum held by the accessory devices 2a, 2b, etc. is usually slightly lowered due to a small leak, and the degree of vacuum after the rough drawing of the main body 1 is usually low. Since it is considered that the value is close to, the switching from the rotary pump 5 to the diffusion pump 6 by the vacuum sensor 7 and the opening of the air lock valve 3 are synchronized, so that the switching can be performed at an appropriate time. become.
【0012】また、もし付帯装置2a,2b等に保持さ
れている真空が、本体1の荒引き後の真空度より高い値
に維持されているときは、真空度センサ7が一定値を示
したことにより、ロータリポンプ5からディフュージョ
ンポンプ6への切換と同期して、エアロックバルブ3を
開くと、その時は、付帯装置2a,2b等の側から見れ
ば、本体1の真空度がまだ自身の真空度に達していない
状態であり、低真空の本体1側から、付帯装置2a,2
b等の方に一旦空気が流れ込むことになるが、本体1側
からディフュージョンポンプ6で引かれ、再び高真空に
される。Further, if the vacuum held by the accessory devices 2a, 2b, etc. is maintained at a value higher than the vacuum degree after the main body 1 is subjected to roughing, the vacuum degree sensor 7 shows a constant value. Thus, when the airlock valve 3 is opened in synchronization with the switching from the rotary pump 5 to the diffusion pump 6, at that time, when viewed from the side of the accessory devices 2a, 2b, etc., the degree of vacuum of the main body 1 is still its own. The degree of vacuum is not reached, and the auxiliary devices 2a, 2
Although air will once flow into b, etc., it is pulled by the diffusion pump 6 from the side of the main body 1 and made into a high vacuum again.
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】ところで前述の、ロー
タリポンプ5からディフュージョンポンプ6への切換え
を、真空度センサ7によって行い、それに同期してエア
ロックバルブ3を開くようにしている電子顕微鏡の付帯
装置において、エアロックバルブ3に傷がついたり、ご
みが付着したりして、リークを起こし、付帯装置内の圧
力が、低真空あるいは大気圧になっている場合には、上
記のような切換えがうまく行かない。By the way, the above-mentioned switching from the rotary pump 5 to the diffusion pump 6 is performed by the vacuum degree sensor 7, and the air lock valve 3 is opened in synchronism therewith. In the device, when the air lock valve 3 is scratched or dust is attached to cause a leak and the pressure in the accessory device is low vacuum or atmospheric pressure, the switching as described above is performed. Does not work.
【0014】即ち切換時には、本体1側は既にかなりの
真空になっており、既にディフュージョンポンプ6が作
動を開始しようとしているので、そこへエアロックバル
ブ3が開けば、折角かなりな真空に達している本体1内
に低真空の空気あるいは大気圧が流れ込んで、本体1内
部に、またはディフュージョンポンプ6に一斉に進入
し、ディフュージョンポンプ6を破壊してしまい、悪く
すると爆発を起こして電子顕微鏡本体の機能が麻痺して
しまうという問題があった。That is, at the time of switching, the main body 1 side is already in a considerable vacuum, and the diffusion pump 6 is already about to start operating. Therefore, if the airlock valve 3 is opened there, a considerable vacuum is reached. Low vacuum air or atmospheric pressure flows into the main body 1 and enters the main body 1 or into the diffusion pump 6 all at once, destroying the diffusion pump 6 and, if worse, causing an explosion to cause damage to the main body of the electron microscope. There was a problem that the function was paralyzed.
【0015】この発明はこのような従来の課題に着目し
てなされたもので、付帯装置が低真空あるいは大気圧に
なっている場合にも、ロータリポンプからディフュージ
ョンポンプへの切換えと、エアロックバルブを開くのを
同期して行い、切換えが円滑に行われて、有効に真空度
を上げることができる電子顕微鏡の付帯装置を提供する
ことを目的とする。The present invention has been made in view of such a conventional problem. Even when the auxiliary device is in a low vacuum or at atmospheric pressure, the rotary pump is switched to the diffusion pump and the air lock valve is used. It is an object of the present invention to provide an accessory device for an electron microscope in which the opening of the electron microscope is performed in synchronization, the switching is smoothly performed, and the degree of vacuum can be effectively increased.
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するための手段として、その構成を、電子顕微鏡本
体に真空容器を取付け、該真空容器にエアロックバルブ
を設けた電子顕微鏡の付帯装置において、前記エアロッ
クバルブの流体通路を閉止する仕切り板に、逆流側では
流路を常時閉止するとともに、作動側の流路ではその両
側の気圧が一定圧力差以上になったときのみ作動する逆
止弁を設けることとした。As a means for solving the above-mentioned problems, the present invention has the structure of an electron microscope in which a vacuum container is attached to an electron microscope main body and an air lock valve is provided in the vacuum container. In the accessory device, the partition plate that closes the fluid passage of the airlock valve always closes the flow passage on the backflow side, and operates only when the air pressure on both sides of the flow passage on the operating side exceeds a certain pressure difference. It was decided to install a check valve that does this.
【0017】[0017]
【作用】次に本発明の作用を説明する。付帯装置が真空
になっており、それが大気中に放置されているときは、
逆止弁は常時閉止している。そして付帯装置を本体に接
続した後、付帯装置のエアロックバルブの仕切り板を閉
止した状態で、本体側の真空度を上げて行くと、真空度
が一定値に達したとき真空度センサで検出され、真空ポ
ンプがディフュージョンポンプに切り換わる。Next, the operation of the present invention will be described. When the accessory device is evacuated and left in the atmosphere,
The check valve is always closed. Then, after connecting the accessory device to the main unit, with the partition plate of the air lock valve of the accessory device closed, increasing the vacuum level on the main unit side detects when the vacuum level reaches a certain value with the vacuum level sensor. Then, the vacuum pump is switched to the diffusion pump.
【0018】こゝで付帯装置に保持されている真空が、
本体の荒引き後の真空度と同一の値であるときは、仕切
り板に設けられた逆止弁は閉止しており、真空度センサ
が一定値を示したことにより、ロータリポンプからディ
フュージョンポンプへの切換と同期して、エアロックバ
ルブを開くと、本体側と付帯装置側の圧力は同じでその
間の流れはなく、両方がディフュージョンポンプで高真
空にされる。The vacuum held in the accessory device is
If the vacuum level is the same as that after the roughing of the main body, the check valve provided on the partition plate is closed, and the vacuum level sensor indicates a constant value, so the rotary pump changes to the diffusion pump. When the air lock valve is opened in synchronism with the switching of the above, the pressures on the main body side and the auxiliary device side are the same and there is no flow between them, and both are made into a high vacuum by the diffusion pump.
【0019】また、付帯装置に保持されている真空が、
本体の荒引き後の真空度より高い値に維持されていると
きは、仕切り板に設けられた逆止弁は閉止したまゝであ
り、真空度センサが一定値を示したことにより、ロータ
リポンプからディフュージョンポンプへの切換と同期し
て、エアロックバルブを開くと、従来と同様に低真空の
本体側から、付帯装置の方に空気が流れ込むことになる
が、ディフュージョンポンプで再び高真空にされる。Further, the vacuum held in the accessory device is
When the vacuum is maintained at a value higher than that after the roughing of the body, the check valve provided on the partition plate remains closed, and the vacuum sensor shows a constant value. When the airlock valve is opened in synchronism with the changeover from the diffusion pump to the diffusion pump, air will flow from the low vacuum main unit side to the accessory device as in the conventional case, but the diffusion pump will re-enable the high vacuum. It
【0020】一方、付帯装置の真空度が、真空度センサ
が示す一定値より低くなっている場合は、本体側の真空
度が徐々に上がって、真空度センサが一定値を示す前
に、付帯装置の真空度よりも高い状態に達するが、この
状態で、仕切り板に設けられた逆止弁が作動し、付帯装
置内の真空は、本体側の真空に引かれて、本体側と同時
に真空度が上がって行くから、真空度センサが一定値を
示してロータリポンプによる排気がディフュージョンポ
ンプに切り換わったとき、エアロックバルブを開くこと
により、従来通り切換えが円滑に行われる。On the other hand, when the degree of vacuum of the accessory device is lower than the constant value indicated by the vacuum degree sensor, the degree of vacuum on the main body side gradually increases, and before the vacuum degree sensor shows the constant value, the incident degree is increased. Although it reaches a level higher than the vacuum level of the device, in this state, the check valve provided on the partition plate operates, and the vacuum inside the accessory device is pulled by the vacuum on the main body side, and at the same time as the main body side, it is vacuumed. Since the degree of vacuum increases, when the vacuum sensor shows a constant value and the exhaust from the rotary pump is switched to the diffusion pump, the air lock valve is opened to smoothly perform the switching.
【0021】[0021]
【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
本発明の電子顕微鏡本体1、付帯装置2とそのエアロッ
クバルブ3を有すること、そのエアロックバルブ3に仕
切り板が装着されている点は、従来の図3、図4に示す
ものと同様であり、同一部材は同一符号を以て示してい
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings.
The electron microscope main body 1, the accessory device 2, and the air lock valve 3 thereof according to the present invention are the same as those shown in FIGS. 3 and 4 of the related art in that the air lock valve 3 is provided with a partition plate. The same members are designated by the same reference numerals.
【0022】図1は本発明の構成を示し、エアロックバ
ルブ3の仕切り板20の中に逆止弁21を装着した拡大
断面図である。そして逆止弁21の構成は、仕切り板2
0の中央部に通孔22があけられており、その中に球体
23が、真空シールになっている弁座24に接して置か
れている。そして球体23を下方へ押すように、ばね2
5がばね押え26を介して装着され、ばね押え26は通
孔22の内面との間のねじ27により、仕切り板20に
取付けられている。FIG. 1 shows the construction of the present invention and is an enlarged sectional view in which a check valve 21 is mounted in a partition plate 20 of the airlock valve 3. The structure of the check valve 21 is the partition plate 2
A through hole 22 is formed in the center of 0, and a sphere 23 is placed in contact with a valve seat 24 which is a vacuum seal. Then, press the sphere 23 downward so that the spring 2
5 is mounted via a spring retainer 26, and the spring retainer 26 is attached to the partition plate 20 by a screw 27 between the spring retainer 26 and the inner surface of the through hole 22.
【0023】付帯装置2の真空度が高い状態で、電子顕
微鏡本体1から切り離されて大気中に放置されていると
きは、エアロックバルブ3の仕切り板20が閉止してお
り、エアロックバルブ3の仕切り板20の逆止弁21
は、真空と大気の圧力差とばね25の押圧力とにより、
球体23が、真空シールになっている弁座24に押圧さ
れて、常時閉止した状態となっており、付帯装置2内に
おける真空を保持することができる。When the auxiliary device 2 has a high degree of vacuum and is separated from the electron microscope body 1 and left in the atmosphere, the partition plate 20 of the airlock valve 3 is closed and the airlock valve 3 is closed. Check valve 21 of partition plate 20
Is due to the pressure difference between the vacuum and the atmosphere and the pressing force of the spring 25,
The spherical body 23 is pressed by the valve seat 24, which is a vacuum seal, and is always closed, so that the vacuum in the accessory device 2 can be maintained.
【0024】そして付帯装置2を本体1に接続した後、
付帯装置2のエアロックバルブ3の仕切り板20を閉止
した状態で、本体1の真空度を上げて行くと、真空度が
一定値に達したとき真空度センサ7で検出され、真空ポ
ンプがロータリポンプ5からディフュージョンポンプ6
に切り換わる。After connecting the accessory device 2 to the main body 1,
When the vacuum degree of the main body 1 is increased with the partition plate 20 of the air lock valve 3 of the accessory device 2 closed, the vacuum degree sensor 7 detects when the vacuum degree reaches a certain value, and the vacuum pump rotates the rotary pump. Pump 5 to diffusion pump 6
Switch to.
【0025】こゝで付帯装置2に保持されている真空
が、本体1の荒引き後の真空度センサ7で検出される真
空度と、同一の値であるときは、仕切り板20に設けら
れた逆止弁21は、ばね25の力によって閉止してお
り、真空度センサ7が一定値を示したことにより、ロー
タリポンプ5からディフュージョンポンプ6への切換と
同期して、エアロックバルブ3の仕切り板20を開く
と、本体1側と付帯装置2側の圧力は同じでその間の流
れはなく、切換え後は両方がディフュージョンポンプ6
で高真空にされる。When the vacuum held by the accessory device 2 is the same as the vacuum detected by the vacuum sensor 7 after the main body 1 is roughly drawn, the vacuum is provided on the partition plate 20. The check valve 21 is closed by the force of the spring 25, and since the vacuum sensor 7 shows a constant value, the check valve 21 is synchronized with the switching from the rotary pump 5 to the diffusion pump 6 and the air lock valve 3 operates. When the partition plate 20 is opened, the pressures on the main body 1 side and the auxiliary device 2 side are the same and there is no flow between them.
It is made high vacuum.
【0026】また、付帯装置2に保持されている真空
が、本体1の荒引き後の真空度センサ7で検出される真
空度より高い値に維持されているときは、仕切り板20
に設けられた逆止弁21は閉止したまゝであり、真空度
センサ7が一定値を示したことにより、ロータリポンプ
5からディフュージョンポンプ6への切換と同期して、
エアロックバルブ3の仕切り板20を開くと、低真空の
本体1側から、高真空の付帯装置2の方に空気が一時的
に流れ込むことになるが、付帯装置2の方に流れ込んだ
空気は、ディフュージョンポンプ6で再び高真空にされ
る。このように付帯装置2の真空度が、真空度センサ7
で検出される真空度よりも高いか同じであれば、逆止弁
21があっても従来と同様である。Further, when the vacuum held in the accessory device 2 is maintained at a value higher than the vacuum detected by the vacuum sensor 7 after roughing the main body 1, the partition plate 20 is used.
The non-return valve 21 provided in the is kept closed, and since the vacuum sensor 7 shows a constant value, in synchronization with the switching from the rotary pump 5 to the diffusion pump 6,
When the partition plate 20 of the airlock valve 3 is opened, air temporarily flows from the low-vacuum main body 1 side toward the high-vacuum auxiliary device 2, but the air flowing into the auxiliary device 2 is , The diffusion pump 6 makes a high vacuum again. In this way, the degree of vacuum of the accessory device 2 is determined by the degree of vacuum sensor 7
If the degree of vacuum is higher than or equal to the degree of vacuum detected in, the check valve 21 is the same as the conventional one.
【0027】しかしエアロックバルブ3に傷がついた
り、ごみが付着したりして、リークを起こし、付帯装置
2内の圧力が、低真空あるいは大気圧になっている場合
には、ロータリポンプ5による荒引きにより、本体1側
の真空度が徐々に上がって、真空度センサ7が一定値を
示す前に、付帯装置2の真空度よりも高い状態に達する
ようになる。すると仕切り板20に設けられた逆止弁2
1は、図の下方の付帯装置の圧力の方が高くなるため、
球体23がばね25の力に抗して上昇し、逆止弁21の
下方から上方への空気通路ができあがる。However, when the air lock valve 3 is damaged or dust adheres to cause a leak and the pressure in the accessory device 2 is low vacuum or atmospheric pressure, the rotary pump 5 is used. As a result of the rough drawing, the degree of vacuum on the main body 1 side gradually rises and reaches a state higher than the degree of vacuum of the accessory device 2 before the vacuum degree sensor 7 shows a constant value. Then, the check valve 2 provided on the partition plate 20
1 is because the pressure of the auxiliary device in the lower part of the figure is higher,
The spherical body 23 rises against the force of the spring 25, and an air passage from below to above the check valve 21 is completed.
【0028】すると付帯装置2内の低真空乃至大気は、
本体1側の真空に引かれて、本体1側と同時に真空度が
上昇して行き、真空度センサ7で検出される一定値に達
するが、両者が同一かつ同時であるから、ロータリポン
プ5による排気がディフュージョンポンプ6に切り換わ
り、それに同期してエアロックバルブ3を開いても、従
来通り切換えが円滑に行われる。Then, the low vacuum or the atmosphere in the accessory device 2 is
The degree of vacuum rises at the same time as the body 1 side is pulled by the vacuum of the body 1 side and reaches a certain value detected by the vacuum degree sensor 7. However, since both are the same and are the same, the rotary pump 5 is used. Even if the exhaust gas is switched to the diffusion pump 6 and the air lock valve 3 is opened in synchronization with it, the switching is smoothly performed as in the conventional case.
【0029】なお、上記の実施例では、バルブ本体13
に挿入される仕切り板20として、厚めの平板を用い、
これに球体23、弁座24とばね25を用いる逆止弁2
1を装着するものについて述べたが、仕切り板も平板に
限らず、エアロックバルブの流体通路を閉止するもので
あれば、どのような形式でもよく、逆止弁も本実施例の
ような球体とばねの形式には限定されない。In the above embodiment, the valve body 13
As a partition plate 20 to be inserted into the
Check valve 2 using sphere 23, valve seat 24 and spring 25 for this
1 has been described, the partition plate is not limited to a flat plate, and any type may be used as long as it closes the fluid passage of the airlock valve, and the check valve is also a spherical body as in the present embodiment. The form of the spring is not limited.
【0030】[0030]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、付帯装置のエアロックバルブの流体通路を閉止する
仕切り板に、逆止弁を設けたので、付帯装置を電子顕微
鏡本体から取り外した場合にも、真空を維持できるとと
もに、付帯装置内の真空がリークして低真空または大気
圧になっている場合において、この付帯装置を電子顕微
鏡本体に直接接続して、付帯装置と本体とを同時に排気
し、しかもロータリポンプからディフュージョンポンプ
への切換と同期して、エアロックバルブを開放しても、
トラブルを起こすことなく排気を行うことができ、電子
顕微鏡と付帯装置による測定を、能率よく行うことがで
きるという効果を有する。As described above, according to the present invention, since the check valve is provided in the partition plate that closes the fluid passage of the air lock valve of the accessory device, the accessory device is removed from the electron microscope main body. In this case, the vacuum can be maintained, and when the vacuum in the accessory device leaks to a low vacuum or atmospheric pressure, this accessory device is directly connected to the main body of the electron microscope to separate the accessory device from the main body. Evacuate at the same time, and even if the airlock valve is opened in synchronization with the switching from the rotary pump to the diffusion pump,
It has an effect that exhaust can be performed without causing trouble, and measurement by an electron microscope and an auxiliary device can be efficiently performed.
【図1】本発明の構成を示すエアロックバルブの仕切り
板の拡大断面図である。FIG. 1 is an enlarged cross-sectional view of a partition plate of an airlock valve showing the configuration of the present invention.
【図2】本発明の前提となる、電子顕微鏡に複数の付帯
装置を取付ける場合の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram for attaching a plurality of accessory devices to an electron microscope, which is a premise of the present invention.
【図3】電子顕微鏡と付帯装置の真空排気を行う場合の
系統図である。FIG. 3 is a system diagram in the case where the electron microscope and the auxiliary device are evacuated.
【図4】従来の付帯装置のエアロックバルブと、付帯装
置と本体との接続部を示す一部切欠断面図である。FIG. 4 is a partially cutaway sectional view showing an air lock valve of a conventional accessory device and a connecting portion between the accessory device and a main body.
1 電子顕微鏡本体 2 付帯装置 3 エアロックバルブ 20 仕切り板 21 逆止弁 1 Electron Microscope Main Body 2 Attached Device 3 Airlock Valve 20 Partition Plate 21 Check Valve
Claims (1)
真空容器にエアロックバルブを設けた電子顕微鏡の付帯
装置において、前記エアロックバルブの流体通路を閉止
する仕切り板に、逆流側では流路を常時閉止するととも
に、作動側の流路ではその両側の気圧が一定圧力差以上
になったときのみ作動する逆止弁を設けたことを特徴と
する電子顕微鏡の付帯装置1. An electron microscope incidental device comprising a vacuum container attached to an electron microscope main body and an air lock valve provided in the vacuum container, wherein a partition plate for closing a fluid passage of the air lock valve is provided with a flow path on the backflow side. The auxiliary device of the electron microscope, which is provided with a check valve that is always closed and that is activated only when the air pressure on both sides of the flow passage on the operating side exceeds a certain pressure difference.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5000211A JPH06203782A (en) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | Incidental device for electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5000211A JPH06203782A (en) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | Incidental device for electron microscope |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06203782A true JPH06203782A (en) | 1994-07-22 |
Family
ID=11467633
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5000211A Pending JPH06203782A (en) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | Incidental device for electron microscope |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06203782A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015102245A (en) * | 2013-11-21 | 2015-06-04 | バット ホールディング アーゲー | Method of operating valve |
-
1993
- 1993-01-05 JP JP5000211A patent/JPH06203782A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015102245A (en) * | 2013-11-21 | 2015-06-04 | バット ホールディング アーゲー | Method of operating valve |
US9157538B2 (en) | 2013-11-21 | 2015-10-13 | Vat Holding Ag | Method of operating a valve |
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