JPH10251832A - 耐摩耗性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 - Google Patents
耐摩耗性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具Info
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- JPH10251832A JPH10251832A JP5475897A JP5475897A JPH10251832A JP H10251832 A JPH10251832 A JP H10251832A JP 5475897 A JP5475897 A JP 5475897A JP 5475897 A JP5475897 A JP 5475897A JP H10251832 A JPH10251832 A JP H10251832A
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- layer
- oxide
- cemented carbide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐摩耗性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削
工具を提供する。 【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、ＷＣ基
超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる超硬工具
基体の表面に、組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｎ、およ
び組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｃd Ｎ1-d （ただし、
原子比で、ａ：０．２〜０．６、ｂ：０．１〜０．７
９、ｃ：０．０１〜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、ｄ：０．
０１〜０．５を満足し、ＭはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、および
Ｓｉのうちのいずれか１種を示す）で表される（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮのうちの１
種の単層または２種の複層からなる蒸着硬質層の加熱酸
化層で構成され、この加熱酸化層の構成層が、（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＮＯまたは（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮＯからな
る素地に微細なＴｉ酸化物とＡｌ酸化物とＭ酸化物が分
散分布した組織を有する硬質被覆層を、０．５〜１５μ
ｍの平均層厚で形成したものからなる。
工具を提供する。 【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、ＷＣ基
超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる超硬工具
基体の表面に、組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｎ、およ
び組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｃd Ｎ1-d （ただし、
原子比で、ａ：０．２〜０．６、ｂ：０．１〜０．７
９、ｃ：０．０１〜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、ｄ：０．
０１〜０．５を満足し、ＭはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、および
Ｓｉのうちのいずれか１種を示す）で表される（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮのうちの１
種の単層または２種の複層からなる蒸着硬質層の加熱酸
化層で構成され、この加熱酸化層の構成層が、（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＮＯまたは（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮＯからな
る素地に微細なＴｉ酸化物とＡｌ酸化物とＭ酸化物が分
散分布した組織を有する硬質被覆層を、０．５〜１５μ
ｍの平均層厚で形成したものからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、すぐれた耐摩耗
性を有し、したがって例えば鋼の連続切削や断続切削で
長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮する表面被覆超硬
合金製切削工具（以下、被覆超硬切削工具と云う）に関
するものである。
性を有し、したがって例えば鋼の連続切削や断続切削で
長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮する表面被覆超硬
合金製切削工具（以下、被覆超硬切削工具と云う）に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、一般に、例えば図１に概略説明図
で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレ
ーティング装置を用い、ヒータで装置内を例えば７００
℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を
有するＴｉ−Ａｌ合金がセットされたカソード電極（蒸
発源）との間にアーク放電を発生させ、同時に装置内に
反応ガスとして窒素ガス、または窒素ガスとメタンガス
を導入し、一方炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）
基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示
す）基サーメットからなる工具基体（以下、これらを総
称して超硬工具基体と云う）には、例えば−１２０Ｖの
バイアス電圧を印加した条件で、前記超硬工具基体の表
面に、例えば特開昭６２−５６５６５号公報に記載され
るように、ＴｉとＡｌの複合窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａ
ｌ）Ｎで示す］および複合炭窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａ
ｌ）ＣＮで示す］のうちの１種の単層または２種の複層
からなる蒸着硬質層で構成された硬質被覆層を０．５〜
１５μｍの平均層厚で形成することにより被覆超硬切削
工具を製造することが知られている。
で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレ
ーティング装置を用い、ヒータで装置内を例えば７００
℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を
有するＴｉ−Ａｌ合金がセットされたカソード電極（蒸
発源）との間にアーク放電を発生させ、同時に装置内に
反応ガスとして窒素ガス、または窒素ガスとメタンガス
を導入し、一方炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）
基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示
す）基サーメットからなる工具基体（以下、これらを総
称して超硬工具基体と云う）には、例えば−１２０Ｖの
バイアス電圧を印加した条件で、前記超硬工具基体の表
面に、例えば特開昭６２−５６５６５号公報に記載され
るように、ＴｉとＡｌの複合窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａ
ｌ）Ｎで示す］および複合炭窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａ
ｌ）ＣＮで示す］のうちの１種の単層または２種の複層
からなる蒸着硬質層で構成された硬質被覆層を０．５〜
１５μｍの平均層厚で形成することにより被覆超硬切削
工具を製造することが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年の切削加工
のＦＡ化および高速化はめざましく、かつ切削加工の省
力化および省エネ化に対する要求もつよく、これに伴
い、切削工具には使用寿命の延命化が強く望まれている
が、上記の従来被覆超硬切削工具の場合、これを構成す
る硬質被覆層、すなわち（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎおよび（Ｔ
ｉ，Ａｌ）ＣＮからなる蒸着硬質層は良好な耐チッピン
グ性（切刃に微小欠けが発生しにくい性質）を示すもの
の、耐摩耗性が十分でないために、比較的短時間で使用
寿命に至るのが現状である。
のＦＡ化および高速化はめざましく、かつ切削加工の省
力化および省エネ化に対する要求もつよく、これに伴
い、切削工具には使用寿命の延命化が強く望まれている
が、上記の従来被覆超硬切削工具の場合、これを構成す
る硬質被覆層、すなわち（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎおよび（Ｔ
ｉ，Ａｌ）ＣＮからなる蒸着硬質層は良好な耐チッピン
グ性（切刃に微小欠けが発生しにくい性質）を示すもの
の、耐摩耗性が十分でないために、比較的短時間で使用
寿命に至るのが現状である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、上記の従来被覆超硬切削工具の
硬質被覆層を構成する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎおよび（Ｔｉ，
Ａｌ）ＣＮからなる蒸着硬質層に着目し、これの耐摩耗
性向上を図るべく研究を行った結果、前記蒸着硬質層
を、 組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｎ、 および組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｃd Ｎ1-d 、 （ただし、原子比で、ａ：０．２〜０．６、ｂ：０．１
〜０．７９、ｃ：０．０１〜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、
ｄ：０．０１〜０．５を満足し、ＭはＭｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、およびＳｉのうちのいずれか１種を示す）、で表さ
れるＴｉとＡｌとＭの複合窒化物および複合炭窒化物
［以下、それぞれ（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＣＮで示す］のうちの１種の単層または２種
の複層で構成した上で、これに、減圧下または加圧下の
酸化性雰囲気中、３００〜１０００℃の範囲内の所定温
度に所定時間保持後、冷却の加熱酸化処理を施すと、被
覆超硬切削工具における上記の（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｎお
よび（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮからなる蒸着硬質層が、そ
れぞれＴｉとＡｌとＭの複合窒酸化物［以下、（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＮＯで示す］および複合炭窒酸化物［以下、
（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮＯで示す］からなる素地に微細
なＴｉ酸化物とＡｌ酸化物とＭ酸化物が分散分布した組
織を有する加熱酸化層となり、このように硬質被覆層が
前記の加熱酸化層からなる被覆超硬切削工具は、連続切
削および断続切削ですぐれた耐摩耗性を示し、長期に亘
ってすぐれた切削性能を発揮するという研究結果が得ら
れたのである。
上述のような観点から、上記の従来被覆超硬切削工具の
硬質被覆層を構成する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎおよび（Ｔｉ，
Ａｌ）ＣＮからなる蒸着硬質層に着目し、これの耐摩耗
性向上を図るべく研究を行った結果、前記蒸着硬質層
を、 組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｎ、 および組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｃd Ｎ1-d 、 （ただし、原子比で、ａ：０．２〜０．６、ｂ：０．１
〜０．７９、ｃ：０．０１〜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、
ｄ：０．０１〜０．５を満足し、ＭはＭｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、およびＳｉのうちのいずれか１種を示す）、で表さ
れるＴｉとＡｌとＭの複合窒化物および複合炭窒化物
［以下、それぞれ（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＣＮで示す］のうちの１種の単層または２種
の複層で構成した上で、これに、減圧下または加圧下の
酸化性雰囲気中、３００〜１０００℃の範囲内の所定温
度に所定時間保持後、冷却の加熱酸化処理を施すと、被
覆超硬切削工具における上記の（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｎお
よび（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮからなる蒸着硬質層が、そ
れぞれＴｉとＡｌとＭの複合窒酸化物［以下、（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＮＯで示す］および複合炭窒酸化物［以下、
（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮＯで示す］からなる素地に微細
なＴｉ酸化物とＡｌ酸化物とＭ酸化物が分散分布した組
織を有する加熱酸化層となり、このように硬質被覆層が
前記の加熱酸化層からなる被覆超硬切削工具は、連続切
削および断続切削ですぐれた耐摩耗性を示し、長期に亘
ってすぐれた切削性能を発揮するという研究結果が得ら
れたのである。
【０００５】この発明は、上記の研究結果に基づいてな
されたものであって、超硬工具基体の表面に、 組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｎ、 および組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｃd Ｎ1-d 、 （ただし、原子比で、ａ：０．２〜０．６、ｂ：０．１
〜０．７９、ｃ：０．０１〜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、
ｄ：０．０１〜０．５を満足し、ＭはＭｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、およびＳｉのうちのいずれか１種を示す）、で表さ
れる（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｃ
Ｎのうちの１種の単層または２種の複層からなる蒸着硬
質層の加熱酸化層で構成され、この加熱酸化層の構成層
が、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＮＯまたは（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）
ＣＮＯからなる素地に微細なＴｉ酸化物とＡｌ酸化物と
Ｍ酸化物が分散分布した組織を有する硬質被覆層を、
０．５〜１５μｍの平均層厚で形成してなる、耐摩耗性
のすぐれた被覆超硬切削工具に特徴を有するものであ
る。
されたものであって、超硬工具基体の表面に、 組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｎ、 および組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｃd Ｎ1-d 、 （ただし、原子比で、ａ：０．２〜０．６、ｂ：０．１
〜０．７９、ｃ：０．０１〜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、
ｄ：０．０１〜０．５を満足し、ＭはＭｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、およびＳｉのうちのいずれか１種を示す）、で表さ
れる（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｃ
Ｎのうちの１種の単層または２種の複層からなる蒸着硬
質層の加熱酸化層で構成され、この加熱酸化層の構成層
が、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＮＯまたは（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）
ＣＮＯからなる素地に微細なＴｉ酸化物とＡｌ酸化物と
Ｍ酸化物が分散分布した組織を有する硬質被覆層を、
０．５〜１５μｍの平均層厚で形成してなる、耐摩耗性
のすぐれた被覆超硬切削工具に特徴を有するものであ
る。
【０００６】つぎに、この発明の被覆超硬切削工具の硬
質被覆層にかかる（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＣＮの組成比（原子比）を上記の通りに限定
した理由を説明する。すなわち、上記（Ｔｉ，Ａｌ，
Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮにおいて、構成成
分であるＴｉとＡｌは共存した状態で耐摩耗性の向上に
寄与する作用をもつが、ＴｉおよびＡｌのいずれかでも
Ｔｉ：０．２未満およびＡｌ：０．１未満になると所望
のすぐれた耐摩耗性を確保することができず、一方同じ
くＴｉおよびＡｌのいずれかでも、その割合がＴｉ：
０．６およびＡｌ：０．７９を越えると靭性が低下し、
切刃にチッピングが発生し易くなることから、その割合
をＴｉ：０．２〜０．６、望ましくは０．３〜０．５、
Ａｌ：０．１〜０．７９、望ましくは０．３〜０．７と
定めた。また、同じく構成成分であるＭは、靭性を向上
させ、もって切刃にチッピングが発生するのを防止する
作用をもつが、その割合が０．０１未満では所望の靭性
向上効果が得られず、一方その割合が０．３を越えると
層自体の硬さが急激に低下し、ＴｉおよびＡｌによって
もたらされるすぐれた耐摩耗性を確保することができな
くなることから、その割合を０．０１〜０．３、望まし
くは０．０５〜０．２と定めた。さらに、（Ｔｉ，Ａ
ｌ，Ｍ）ＣＮにおけるＣ成分には、硬さを向上させる作
用があるので、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮは上記（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）Ｎに比して相対的に高い硬さをもつが、この
場合Ｃ成分の割合が０．０１未満では所定の硬さ向上効
果が得られず、一方その割合が０．５を越えると靭性が
急激に低下するようになることから、Ｃ成分の割合を
０．０１〜０．５、望ましくは０．１〜０．４５と定め
た。
質被覆層にかかる（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＣＮの組成比（原子比）を上記の通りに限定
した理由を説明する。すなわち、上記（Ｔｉ，Ａｌ，
Ｍ）Ｎおよび（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮにおいて、構成成
分であるＴｉとＡｌは共存した状態で耐摩耗性の向上に
寄与する作用をもつが、ＴｉおよびＡｌのいずれかでも
Ｔｉ：０．２未満およびＡｌ：０．１未満になると所望
のすぐれた耐摩耗性を確保することができず、一方同じ
くＴｉおよびＡｌのいずれかでも、その割合がＴｉ：
０．６およびＡｌ：０．７９を越えると靭性が低下し、
切刃にチッピングが発生し易くなることから、その割合
をＴｉ：０．２〜０．６、望ましくは０．３〜０．５、
Ａｌ：０．１〜０．７９、望ましくは０．３〜０．７と
定めた。また、同じく構成成分であるＭは、靭性を向上
させ、もって切刃にチッピングが発生するのを防止する
作用をもつが、その割合が０．０１未満では所望の靭性
向上効果が得られず、一方その割合が０．３を越えると
層自体の硬さが急激に低下し、ＴｉおよびＡｌによって
もたらされるすぐれた耐摩耗性を確保することができな
くなることから、その割合を０．０１〜０．３、望まし
くは０．０５〜０．２と定めた。さらに、（Ｔｉ，Ａ
ｌ，Ｍ）ＣＮにおけるＣ成分には、硬さを向上させる作
用があるので、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＣＮは上記（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）Ｎに比して相対的に高い硬さをもつが、この
場合Ｃ成分の割合が０．０１未満では所定の硬さ向上効
果が得られず、一方その割合が０．５を越えると靭性が
急激に低下するようになることから、Ｃ成分の割合を
０．０１〜０．５、望ましくは０．１〜０．４５と定め
た。
【０００７】また、この発明の被覆超硬切削工具の硬質
被覆層を構成する加熱酸化層の平均層厚を０．５〜１５
μｍとしたのは、その層厚が０．５μｍ未満では所望の
耐摩耗性を確保することができず、一方その層厚が１５
μｍを越えると切刃にチッピングが発生し易くなるとい
う理由からである。さらに、この発明の被覆超硬切削工
具において、これの使用前および使用後の識別を容易に
するために、黄金色を有する窒化チタン（以下、ＴｉＮ
で示す）層を０．１〜１μｍの平均層厚で上記加熱酸化
層の表面に蒸着するとよい。これは、その層厚が０．１
μｍ未満では黄金色の明確な付与ができず、一方所望の
黄金色は１μｍまでの層厚で十分であるという理由によ
るものである。
被覆層を構成する加熱酸化層の平均層厚を０．５〜１５
μｍとしたのは、その層厚が０．５μｍ未満では所望の
耐摩耗性を確保することができず、一方その層厚が１５
μｍを越えると切刃にチッピングが発生し易くなるとい
う理由からである。さらに、この発明の被覆超硬切削工
具において、これの使用前および使用後の識別を容易に
するために、黄金色を有する窒化チタン（以下、ＴｉＮ
で示す）層を０．１〜１μｍの平均層厚で上記加熱酸化
層の表面に蒸着するとよい。これは、その層厚が０．１
μｍ未満では黄金色の明確な付与ができず、一方所望の
黄金色は１μｍまでの層厚で十分であるという理由によ
るものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】ついで、この発明の被覆超硬切削
工具を実施例により具体的に説明する。原料粉末とし
て、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、
ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、Ｎｂ
Ｃ粉末、Ｃｒ3 Ｃ2 粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、お
よびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示さ
れる配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合
し、乾燥した後、１．５ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力で圧粉体
にプレス成形し、この圧粉体を真空中、温度：１４００
℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分に
Ｒ：０．０５のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・Ｓ
ＰＧＡ１２０４０８のチップ形状をもったＷＣ基超硬合
金製の超硬工具基体Ａ１〜Ａ８を形成した。また、原料
粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有す
るＴｉＣＮ（重量比でＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉
末、Ｍｏ2 Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉
末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、こ
れら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボ
ールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、１ｔｏｎ
／ｃｍ2 の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を
１０ｔｏｒｒの窒素雰囲気中、温度：１５４０℃に１時
間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０
３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２
０４０６のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製
の超硬工具基体Ｂ１〜Ｂ６を形成した。
工具を実施例により具体的に説明する。原料粉末とし
て、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、
ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、Ｎｂ
Ｃ粉末、Ｃｒ3 Ｃ2 粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、お
よびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示さ
れる配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合
し、乾燥した後、１．５ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力で圧粉体
にプレス成形し、この圧粉体を真空中、温度：１４００
℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分に
Ｒ：０．０５のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・Ｓ
ＰＧＡ１２０４０８のチップ形状をもったＷＣ基超硬合
金製の超硬工具基体Ａ１〜Ａ８を形成した。また、原料
粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有す
るＴｉＣＮ（重量比でＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉
末、Ｍｏ2 Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉
末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、こ
れら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボ
ールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、１ｔｏｎ
／ｃｍ2 の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を
１０ｔｏｒｒの窒素雰囲気中、温度：１５４０℃に１時
間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０
３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２
０４０６のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製
の超硬工具基体Ｂ１〜Ｂ６を形成した。
【０００９】ついで、これら超硬工具基体Ａ１〜Ａ８お
よびＢ１〜Ｂ６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥し
た状態で、それぞれ図１に示されるアークイオンプレー
ティング装置に装入し、一方カソード電極（蒸発源）と
して種々の成分組成をもったＴｉ−Ａｌ−Ｍ合金を装着
し、装置内を排気して１×１０-5ｔｏｒｒの真空に保持
しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、
Ａｒガスを装置内に導入して１×１０-3ｔｏｒｒのＡｒ
雰囲気とし、この状態で超硬工具基体に−８００ｖのバ
イアス電圧を印加して超硬工具基体表面をＡｒガスボン
バート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガ
ス、または窒素ガスとメタンガスを導入して５×１０-3
ｔｏｒｒの反応雰囲気とすると共に、前記超硬工具基体
に印加するバイアス電圧を−２００ｖに下げて、前記カ
ソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生さ
せ、もって前記超硬工具基体Ａ１〜Ａ８およびＢ１〜Ｂ
６のそれぞれの表面に、表３、４に示される組成および
平均層厚をもった蒸着硬質層を形成して被覆超硬工具基
体１〜２２とし、さらに引き続いて前記蒸着硬質層形成
の被覆超硬工具基体１〜２２のそれぞれに表５に示され
る条件で加熱酸化処理を施して、前記蒸着硬質層をそれ
ぞれ加熱酸化層とすることにより本発明被覆超硬切削工
具１〜２２をそれぞれ製造した。また、比較の目的で、
アークイオンプレーティング装置に装着されるカソード
電極（蒸発源）を種々の成分組成をもったＴｉ−Ａｌ合
金として、表６、７に示される通りの組成および平均層
厚をもった蒸着硬質層を形成し、この蒸着硬質層に対し
て加熱酸化処理を行わない以外は同一の条件で従来被覆
超硬切削工具１〜２２をそれぞれ製造した。なお、この
結果得られた本発明被覆超硬切削工具１〜２２のそれぞ
れについて、その加熱酸化層の組織を電子プローブＸ線
マイクロアナライザー装置およびＸ線回折装置により観
察したところ、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＮＯまたは（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＣＮＯからなる素地に微細なＴｉ酸化物とＡ
ｌ酸化物とＭ酸化物が分散分布した組織をもつことが確
認された。
よびＢ１〜Ｂ６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥し
た状態で、それぞれ図１に示されるアークイオンプレー
ティング装置に装入し、一方カソード電極（蒸発源）と
して種々の成分組成をもったＴｉ−Ａｌ−Ｍ合金を装着
し、装置内を排気して１×１０-5ｔｏｒｒの真空に保持
しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、
Ａｒガスを装置内に導入して１×１０-3ｔｏｒｒのＡｒ
雰囲気とし、この状態で超硬工具基体に−８００ｖのバ
イアス電圧を印加して超硬工具基体表面をＡｒガスボン
バート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガ
ス、または窒素ガスとメタンガスを導入して５×１０-3
ｔｏｒｒの反応雰囲気とすると共に、前記超硬工具基体
に印加するバイアス電圧を−２００ｖに下げて、前記カ
ソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生さ
せ、もって前記超硬工具基体Ａ１〜Ａ８およびＢ１〜Ｂ
６のそれぞれの表面に、表３、４に示される組成および
平均層厚をもった蒸着硬質層を形成して被覆超硬工具基
体１〜２２とし、さらに引き続いて前記蒸着硬質層形成
の被覆超硬工具基体１〜２２のそれぞれに表５に示され
る条件で加熱酸化処理を施して、前記蒸着硬質層をそれ
ぞれ加熱酸化層とすることにより本発明被覆超硬切削工
具１〜２２をそれぞれ製造した。また、比較の目的で、
アークイオンプレーティング装置に装着されるカソード
電極（蒸発源）を種々の成分組成をもったＴｉ−Ａｌ合
金として、表６、７に示される通りの組成および平均層
厚をもった蒸着硬質層を形成し、この蒸着硬質層に対し
て加熱酸化処理を行わない以外は同一の条件で従来被覆
超硬切削工具１〜２２をそれぞれ製造した。なお、この
結果得られた本発明被覆超硬切削工具１〜２２のそれぞ
れについて、その加熱酸化層の組織を電子プローブＸ線
マイクロアナライザー装置およびＸ線回折装置により観
察したところ、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｍ）ＮＯまたは（Ｔｉ，
Ａｌ，Ｍ）ＣＮＯからなる素地に微細なＴｉ酸化物とＡ
ｌ酸化物とＭ酸化物が分散分布した組織をもつことが確
認された。
【００１０】この結果得られた各種の被覆超硬切削工具
のうち、本発明被覆超硬切削工具１〜１８および従来被
覆超硬切削工具１〜１６については、 被削材：ＪＩＳ・Ｓ５０Ｃの角材、 切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．２５ｍｍ／刃、 切り込み：２．５ｍｍ、 の条件で炭素鋼の乾式フライス切削試験を行ない、また
本発明被覆超硬切削工具１７〜２２および従来被覆超硬
切削工具１７〜２２については、 被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の丸棒、 切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．２ｍｍ／ｒｅｖ、 切り込み：１．５ｍｍ、 の条件で合金鋼の乾式連続切削試験を行ない、いずれの
切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅が０．２ｍｍに至るま
での切削時間を測定した。これらの測定結果を表８に示
した。
のうち、本発明被覆超硬切削工具１〜１８および従来被
覆超硬切削工具１〜１６については、 被削材：ＪＩＳ・Ｓ５０Ｃの角材、 切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．２５ｍｍ／刃、 切り込み：２．５ｍｍ、 の条件で炭素鋼の乾式フライス切削試験を行ない、また
本発明被覆超硬切削工具１７〜２２および従来被覆超硬
切削工具１７〜２２については、 被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の丸棒、 切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ、 送り：０．２ｍｍ／ｒｅｖ、 切り込み：１．５ｍｍ、 の条件で合金鋼の乾式連続切削試験を行ない、いずれの
切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅が０．２ｍｍに至るま
での切削時間を測定した。これらの測定結果を表８に示
した。
【００１１】
【表１】
【００１２】
【表２】
【００１３】
【表３】
【００１４】
【表４】
【００１５】
【表５】
【００１６】
【表６】
【００１７】
【表７】
【００１８】
【表８】
【００１９】
【発明の効果】表１〜８に示される結果から、本発明被
覆超硬切削工具１〜２２は、いずれも鋼の連続切削およ
び断続切削（フライス切削）で従来被覆超硬切削工具１
〜２２に比してすぐれた耐摩耗性を示すことが明らかで
ある。上述のように、この発明の被覆超硬切削工具は、
硬質被覆層を上記の加熱酸化層で構成することによって
すぐれた耐摩耗性をもつようになり、これによって使用
寿命の著しい延命化が可能となるので、切削加工のＦＡ
化および省力化に十分満足に対応することができるので
ある。
覆超硬切削工具１〜２２は、いずれも鋼の連続切削およ
び断続切削（フライス切削）で従来被覆超硬切削工具１
〜２２に比してすぐれた耐摩耗性を示すことが明らかで
ある。上述のように、この発明の被覆超硬切削工具は、
硬質被覆層を上記の加熱酸化層で構成することによって
すぐれた耐摩耗性をもつようになり、これによって使用
寿命の著しい延命化が可能となるので、切削加工のＦＡ
化および省力化に十分満足に対応することができるので
ある。
【図１】アークイオンプレーティング装置の概略説明図
である。
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ２３Ｃ 14/58 Ｃ２３Ｃ 14/58 Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒
化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
硬質被覆層を０．５〜１５μｍの平均層厚で形成してな
る表面被覆超硬合金製切削工具において、前記硬質被覆
層を、 組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｎ、 および組成式：（Ｔｉa Ａｌb Ｍc ）Ｃd Ｎ1-d 、 （ただし、原子比で、ａ：０．２〜０．６、ｂ：０．１
〜０．７９、ｃ：０．０１〜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、
ｄ：０．０１〜０．５を満足し、ＭはＭｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、およびＳｉのうちのいずれか１種を示す）、で表さ
れるＴｉとＡｌとＭの複合窒化物および複合炭窒化物の
うちの１種の単層または２種の複層からなる蒸着硬質層
の加熱酸化層で構成し、この加熱酸化層の構成層が、Ｔ
ｉとＡｌとＭの複合酸窒化物または炭酸窒化物からなる
素地に微細なＴｉ酸化物とＡｌ酸化物とＭ酸化物が分散
分布した組織を有することを特徴とする耐摩耗性のすぐ
れた表面被覆超硬合金製切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05475897A JP3451878B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05475897A JP3451878B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10251832A true JPH10251832A (ja) | 1998-09-22 |
| JP3451878B2 JP3451878B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=12979682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05475897A Expired - Fee Related JP3451878B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3451878B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7695829B2 (en) | 2006-09-21 | 2010-04-13 | Kobe Steel, Ltd. | Hard film and hard film-coated tool |
| JP2015053357A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 三菱マテリアル株式会社 | サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにサーミスタセンサ |
| JP5713891B2 (ja) * | 2009-05-11 | 2015-05-07 | 昭和電工株式会社 | 触媒及びその製造方法ならびにその用途 |
-
1997
- 1997-03-10 JP JP05475897A patent/JP3451878B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7695829B2 (en) | 2006-09-21 | 2010-04-13 | Kobe Steel, Ltd. | Hard film and hard film-coated tool |
| JP5713891B2 (ja) * | 2009-05-11 | 2015-05-07 | 昭和電工株式会社 | 触媒及びその製造方法ならびにその用途 |
| US9048499B2 (en) | 2009-05-11 | 2015-06-02 | Showa Denko K.K. | Catalyst, production process therefor and use thereof |
| JP2015053357A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 三菱マテリアル株式会社 | サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにサーミスタセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3451878B2 (ja) | 2003-09-29 |
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