JPH111764A - 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する表面被覆超硬合金製切削工具 - Google Patents
硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する表面被覆超硬合金製切削工具Info
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- JPH111764A JPH111764A JP15231597A JP15231597A JPH111764A JP H111764 A JPH111764 A JP H111764A JP 15231597 A JP15231597 A JP 15231597A JP 15231597 A JP15231597 A JP 15231597A JP H111764 A JPH111764 A JP H111764A
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- cemented carbide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する表面
被覆超硬合金製切削工具を提供する。 【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金基体または
炭窒化チタン系サーメット基体の表面に、アークイオン
プレーティング形成の組成式:(Ti1-x Alx)Nお
よび同(Ti1-x Alx )C1-y Ny (ただし、原子比
で、xは0.3〜0.7、yは0.5〜0.99を示
す)を有する(Ti,Al)N層および(Ti,Al)
CN層のうちのいずれか、または両方で構成された単層
または複層からなる硬質被覆層を1〜10μmの平均層
厚で物理蒸着してなる被覆超硬工具にして、前記被覆超
硬工具の少なくとも切刃稜線部に、すくい面側深さおよ
び/または逃げ面側深さで測定して、表面から0.5μ
mから上記硬質被覆層の平均層厚の50%までの範囲内
の深さに亘って酸素イオン照射酸素注入層を形成してな
る。
被覆超硬合金製切削工具を提供する。 【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金基体または
炭窒化チタン系サーメット基体の表面に、アークイオン
プレーティング形成の組成式:(Ti1-x Alx)Nお
よび同(Ti1-x Alx )C1-y Ny (ただし、原子比
で、xは0.3〜0.7、yは0.5〜0.99を示
す)を有する(Ti,Al)N層および(Ti,Al)
CN層のうちのいずれか、または両方で構成された単層
または複層からなる硬質被覆層を1〜10μmの平均層
厚で物理蒸着してなる被覆超硬工具にして、前記被覆超
硬工具の少なくとも切刃稜線部に、すくい面側深さおよ
び/または逃げ面側深さで測定して、表面から0.5μ
mから上記硬質被覆層の平均層厚の50%までの範囲内
の深さに亘って酸素イオン照射酸素注入層を形成してな
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、硬質被覆層がす
ぐれた耐摩耗性を有し、したがって例えば鋼などの連続
切削や断続切削で長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮
し、工具寿命の延命化を可能ならしめる表面被覆超硬合
金製切削工具(以下、被覆超硬工具と云う)に関するも
のである。
ぐれた耐摩耗性を有し、したがって例えば鋼などの連続
切削や断続切削で長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮
し、工具寿命の延命化を可能ならしめる表面被覆超硬合
金製切削工具(以下、被覆超硬工具と云う)に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来、一般に、例えば図1に概略説明図
で示される物理蒸着装置の1種であるアークイオンプレ
ーティング装置を用い、ヒータで装置内を、例えば雰囲
気を20mtorrの真空として、500℃の温度に加
熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するTi−
Al合金がセットされたカソード電極(蒸発源)との間
に、例えば電圧:35V、電流:90Aの条件でアーク
放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガ
ス、または窒素ガスとメタンガスを導入し、一方炭化タ
ングステン(以下、WCで示す)基超硬合金または炭窒
化チタン(以下、TiCNで示す)基サーメットからな
る基体(以下、これらを総称して超硬基体と云う)に
は、例えばー200Vのバイアス電圧を印加した条件
で、前記超硬合金基体の表面に、例えば特開昭62−5
6565号公報に記載されるように、TiとAlの複合
窒化物[以下、(Ti,Al)Nで示す]および複合炭
窒化物[以下、(Ti,Al)CNで示す]のうちのい
ずれか、あるいは両方で構成された単層または複層の硬
質被覆層を1〜10μmの平均層厚で蒸着することによ
り被覆超硬工具を製造することが知られている。また、
これらの被覆超硬工具が、例えば鋼などの連続切削や断
続切削に用いられることも良く知られるところである。
で示される物理蒸着装置の1種であるアークイオンプレ
ーティング装置を用い、ヒータで装置内を、例えば雰囲
気を20mtorrの真空として、500℃の温度に加
熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するTi−
Al合金がセットされたカソード電極(蒸発源)との間
に、例えば電圧:35V、電流:90Aの条件でアーク
放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガ
ス、または窒素ガスとメタンガスを導入し、一方炭化タ
ングステン(以下、WCで示す)基超硬合金または炭窒
化チタン(以下、TiCNで示す)基サーメットからな
る基体(以下、これらを総称して超硬基体と云う)に
は、例えばー200Vのバイアス電圧を印加した条件
で、前記超硬合金基体の表面に、例えば特開昭62−5
6565号公報に記載されるように、TiとAlの複合
窒化物[以下、(Ti,Al)Nで示す]および複合炭
窒化物[以下、(Ti,Al)CNで示す]のうちのい
ずれか、あるいは両方で構成された単層または複層の硬
質被覆層を1〜10μmの平均層厚で蒸着することによ
り被覆超硬工具を製造することが知られている。また、
これらの被覆超硬工具が、例えば鋼などの連続切削や断
続切削に用いられることも良く知られるところである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年の切削装置
のFA化はめざましく、かつ切削加工の低コスト化に対
する要求も強く、これに伴い、切削工具には使用寿命の
延命化が強く望まれているが、上記の従来被覆超硬工具
は、これらの要求に十分満足に対応できるだけの耐摩耗
性を具備するものではなく、したがってより一段と長い
使用寿命を示す被覆超硬工具の開発が望まれている。
のFA化はめざましく、かつ切削加工の低コスト化に対
する要求も強く、これに伴い、切削工具には使用寿命の
延命化が強く望まれているが、上記の従来被覆超硬工具
は、これらの要求に十分満足に対応できるだけの耐摩耗
性を具備するものではなく、したがってより一段と長い
使用寿命を示す被覆超硬工具の開発が望まれている。
【0004】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、上記の従来被覆超硬工具を構成
する硬質被覆層に着目し、特にこれの耐摩耗性向上を図
るべく研を行った結果、上記の従来被覆超硬工具の硬質
被覆層を構成する(Ti,Al)N層および(Ti,A
l)CN層を、上記の通り図3に例示されるアークイオ
ンプレーティング装置を用いて形成するに際して、その
条件を、 雰囲気圧力(真空度):5〜30mtorr、 雰囲気温度:300〜700℃、 アーク放電電流:80〜100A、 アーク放電電圧:10〜50V、 基体へのバイアス電圧:−150〜−300V、 として、組成式:(Ti1-x Alx )Nおよび同(Ti
1-x Alx )C1-y Ny(ただし、原子比で、xは0.
3〜0.7、yは0.5〜0.99を示す)を満足する
(Ti,Al)N層および(Ti,Al)CN層を形成
し、ついで、上記組成式を満足する(Ti,Al)N層
および/または(Ti,Al)CN層で構成された単層
または複層の硬質被覆層を1〜10μmの平均層厚で蒸
着してなる被覆超硬工具の少なくともすくい面と逃げ面
の交わる切刃稜線部(以下、単に切刃稜線部という)、
すなわち切刃稜線部、切刃稜線部とすくい面、切刃稜線
部と逃げ面、あるいは切刃稜線部とすくい面と逃げ面
に、電子衝撃型(熱陰極型、Kaufman型、バケッ
ト型)や冷陰極型、さらに高周波放電型などのイオン銃
を用いて、酸素イオン照射を行って、すくい面側深さお
よび/または逃げ面側深さで測定して、表面から0.5
μmから上記硬質被覆層の平均層厚の50%までの範囲
内の深さに亘って酸素イオン照射酸素注入層を形成する
と、この結果の被覆超硬工具はすぐれた耐摩耗性を具備
するようになり、長期にわたってすぐれた切削性能を発
揮するという研究結果を得たのである。
上述のような観点から、上記の従来被覆超硬工具を構成
する硬質被覆層に着目し、特にこれの耐摩耗性向上を図
るべく研を行った結果、上記の従来被覆超硬工具の硬質
被覆層を構成する(Ti,Al)N層および(Ti,A
l)CN層を、上記の通り図3に例示されるアークイオ
ンプレーティング装置を用いて形成するに際して、その
条件を、 雰囲気圧力(真空度):5〜30mtorr、 雰囲気温度:300〜700℃、 アーク放電電流:80〜100A、 アーク放電電圧:10〜50V、 基体へのバイアス電圧:−150〜−300V、 として、組成式:(Ti1-x Alx )Nおよび同(Ti
1-x Alx )C1-y Ny(ただし、原子比で、xは0.
3〜0.7、yは0.5〜0.99を示す)を満足する
(Ti,Al)N層および(Ti,Al)CN層を形成
し、ついで、上記組成式を満足する(Ti,Al)N層
および/または(Ti,Al)CN層で構成された単層
または複層の硬質被覆層を1〜10μmの平均層厚で蒸
着してなる被覆超硬工具の少なくともすくい面と逃げ面
の交わる切刃稜線部(以下、単に切刃稜線部という)、
すなわち切刃稜線部、切刃稜線部とすくい面、切刃稜線
部と逃げ面、あるいは切刃稜線部とすくい面と逃げ面
に、電子衝撃型(熱陰極型、Kaufman型、バケッ
ト型)や冷陰極型、さらに高周波放電型などのイオン銃
を用いて、酸素イオン照射を行って、すくい面側深さお
よび/または逃げ面側深さで測定して、表面から0.5
μmから上記硬質被覆層の平均層厚の50%までの範囲
内の深さに亘って酸素イオン照射酸素注入層を形成する
と、この結果の被覆超硬工具はすぐれた耐摩耗性を具備
するようになり、長期にわたってすぐれた切削性能を発
揮するという研究結果を得たのである。
【0005】この発明は、上記の研究結果に基づいてな
されたものであって、超硬基体の表面に、アークイオン
プレーティング形成の組成式:(Ti1-x Alx )Nお
よび同(Ti1-x Alx )C1-y Ny (ただし、原子比
で、xは0.3〜0.7、yは0.5〜0.99を示
す)を有する(Ti,Al)N層および(Ti,Al)
CN層のうちのいずれか、または両方で構成された単層
または複層からなる硬質被覆層を1〜10μmの平均層
厚で物理蒸着してなる被覆超硬工具にして、前記被覆超
硬工具の少なくとも切刃稜線部に、すくい面側深さおよ
び/または逃げ面側深さで測定して、表面から0.5μ
mから上記硬質被覆層の平均層厚の50%までの範囲内
の深さに亘って酸素イオン照射酸素注入層を形成してな
る、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する被覆超硬工
具に特徴を有するものである。
されたものであって、超硬基体の表面に、アークイオン
プレーティング形成の組成式:(Ti1-x Alx )Nお
よび同(Ti1-x Alx )C1-y Ny (ただし、原子比
で、xは0.3〜0.7、yは0.5〜0.99を示
す)を有する(Ti,Al)N層および(Ti,Al)
CN層のうちのいずれか、または両方で構成された単層
または複層からなる硬質被覆層を1〜10μmの平均層
厚で物理蒸着してなる被覆超硬工具にして、前記被覆超
硬工具の少なくとも切刃稜線部に、すくい面側深さおよ
び/または逃げ面側深さで測定して、表面から0.5μ
mから上記硬質被覆層の平均層厚の50%までの範囲内
の深さに亘って酸素イオン照射酸素注入層を形成してな
る、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する被覆超硬工
具に特徴を有するものである。
【0006】なお、この発明の被覆超硬工具において、
硬質被覆層を構成する(Ti,Al)Nおよび(Ti,
Al)CNにおけるAlはTiCNに対して硬さを高
め、もって耐摩耗性を向上させるために固溶するもので
あり、したがって組成式:(Ti1-x Alx )Nおよび
同(Ti1-x Alx )C1-y Ny のx値が0.3未満で
は所望の耐摩耗性を確保することができず、一方その値
が0.7を越えると、切刃に欠けやチッピングが発生し
易くなると云う理由によりx値を0.3〜0.7(原子
比)と定めたのである。また、(Ti,Al)CN層に
おけるC成分には、硬さを向上させる作用があるので、
(Ti,Al)CN層は上記(Ti,Al)N層に比し
て相対的に高い硬さをもつが、この場合C成分の割合が
0.01未満、すなわちy値が0.99を越えると所定
の硬さ向上効果が得られず、一方C成分の割合が0.5
を越える、すなわちy値が0.5未満になると靭性が急
激に低下するようになることから、y値を0.5〜0.
99、望ましくは0.55〜0.9と定めた。硬質被覆
層の平均層厚を1〜10μmとしたのは、その層厚が1
μm未満では所望のすぐれた耐摩耗性を確保することが
できず、一方その層厚が10μmを越えると切刃に欠け
やチッピングが発生し易くなると云う理由によるもので
ある。同じく硬質被覆層に形成される酸素イオン照射酸
素注入層の深さを0.5μm〜硬質被覆層の平均層厚の
50%としたのは、その深さが0.5μm未満では、所
望の耐摩耗性向上効果が得られず、一方その深さが硬質
被覆層の平均層厚の50%をこえると、硬質被覆層に脆
化傾向が現れるようになって切刃に欠けやチッピングが
発生し易くなると云う理由によるものである。さらに、
この発明の被覆超硬工具に、これの使用前および使用後
の識別を容易にするために、最表面層として金色の色調
を有する窒化チタン(TiN)層を0.1〜1μmの平
均層厚で蒸着してもよい。
硬質被覆層を構成する(Ti,Al)Nおよび(Ti,
Al)CNにおけるAlはTiCNに対して硬さを高
め、もって耐摩耗性を向上させるために固溶するもので
あり、したがって組成式:(Ti1-x Alx )Nおよび
同(Ti1-x Alx )C1-y Ny のx値が0.3未満で
は所望の耐摩耗性を確保することができず、一方その値
が0.7を越えると、切刃に欠けやチッピングが発生し
易くなると云う理由によりx値を0.3〜0.7(原子
比)と定めたのである。また、(Ti,Al)CN層に
おけるC成分には、硬さを向上させる作用があるので、
(Ti,Al)CN層は上記(Ti,Al)N層に比し
て相対的に高い硬さをもつが、この場合C成分の割合が
0.01未満、すなわちy値が0.99を越えると所定
の硬さ向上効果が得られず、一方C成分の割合が0.5
を越える、すなわちy値が0.5未満になると靭性が急
激に低下するようになることから、y値を0.5〜0.
99、望ましくは0.55〜0.9と定めた。硬質被覆
層の平均層厚を1〜10μmとしたのは、その層厚が1
μm未満では所望のすぐれた耐摩耗性を確保することが
できず、一方その層厚が10μmを越えると切刃に欠け
やチッピングが発生し易くなると云う理由によるもので
ある。同じく硬質被覆層に形成される酸素イオン照射酸
素注入層の深さを0.5μm〜硬質被覆層の平均層厚の
50%としたのは、その深さが0.5μm未満では、所
望の耐摩耗性向上効果が得られず、一方その深さが硬質
被覆層の平均層厚の50%をこえると、硬質被覆層に脆
化傾向が現れるようになって切刃に欠けやチッピングが
発生し易くなると云う理由によるものである。さらに、
この発明の被覆超硬工具に、これの使用前および使用後
の識別を容易にするために、最表面層として金色の色調
を有する窒化チタン(TiN)層を0.1〜1μmの平
均層厚で蒸着してもよい。
【0007】
【発明の実施の形態】ついで、この発明の被覆超硬工具
を実施例により具体的に説明する。原料粉末として、い
ずれも1〜3μmの平均粒径を有するWC粉末、TiC
粉末、ZrC粉末、VC粉末、TaC粉末、NbC粉
末、Cr3 C2 粉末、TiN粉末、TaN粉末、および
Co粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示される
配合組成に配合し、ボールミルで72時間湿式混合し、
乾燥した後、1.5ton/cm2 の圧力で圧粉体にプ
レス成形し、この圧粉体を真空中、温度:1400℃に
1時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にR:
0.05のホーニング加工を施してISO規格・SPG
A120408のチップ形状をもったWC基超硬合金製
の超硬基体A1〜A10を形成した。また、原料粉末と
して、いずれも0.5〜2μmの平均粒径を有するTi
CN(重量比でTiC/TiN=50/50)粉末、M
o2 C粉末、ZrC粉末、NbC粉末、TaC粉末、W
C粉末、Co粉末、およびNi粉末を用意し、これら原
料粉末を、表2に示される配合組成に配合し、ボールミ
ルで24時間湿式混合し、乾燥した後、1ton/cm
2 の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を10t
orrの窒素雰囲気中、温度:1540℃に1時間保持
の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にR:0.03のホ
ーニング加工を施してISO規格・SEKN1203A
FEN1のチップ形状をもったTiCN系サーメット製
の超硬基体B1〜B6を形成した。
を実施例により具体的に説明する。原料粉末として、い
ずれも1〜3μmの平均粒径を有するWC粉末、TiC
粉末、ZrC粉末、VC粉末、TaC粉末、NbC粉
末、Cr3 C2 粉末、TiN粉末、TaN粉末、および
Co粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示される
配合組成に配合し、ボールミルで72時間湿式混合し、
乾燥した後、1.5ton/cm2 の圧力で圧粉体にプ
レス成形し、この圧粉体を真空中、温度:1400℃に
1時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にR:
0.05のホーニング加工を施してISO規格・SPG
A120408のチップ形状をもったWC基超硬合金製
の超硬基体A1〜A10を形成した。また、原料粉末と
して、いずれも0.5〜2μmの平均粒径を有するTi
CN(重量比でTiC/TiN=50/50)粉末、M
o2 C粉末、ZrC粉末、NbC粉末、TaC粉末、W
C粉末、Co粉末、およびNi粉末を用意し、これら原
料粉末を、表2に示される配合組成に配合し、ボールミ
ルで24時間湿式混合し、乾燥した後、1ton/cm
2 の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を10t
orrの窒素雰囲気中、温度:1540℃に1時間保持
の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にR:0.03のホ
ーニング加工を施してISO規格・SEKN1203A
FEN1のチップ形状をもったTiCN系サーメット製
の超硬基体B1〜B6を形成した。
【0008】ついで、これら超硬基体A1〜A10およ
びB1〜B6を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した
状態で、それぞれ図1に例示される通常のアークイオン
プレーティング装置に装入し、一方カソード電極(蒸発
源)として種々の成分組成をもったTi−Al合金を装
着し、装置内を排気して1×10-5torrの真空に保
持しながら、ヒーターで装置内を500℃に加熱した
後、Arガスを装置内に導入して1×10-3torrの
Ar雰囲気とし、この状態で超硬基体に−800vのバ
イアス電圧を印加して超硬基体表面をArガスボンバー
ト洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガス、ま
たは窒素ガスとメタンガスを導入して5×10-3tor
rの反応雰囲気とすると共に、前記超硬基体に印加する
バイアス電圧を−200vに下げて、前記カソード電極
とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって
前記超硬基体A1〜A10およびB1〜B6のそれぞれ
の表面に、表3、4に示される組成および平均層厚をも
った硬質被覆層を蒸着することにより従来被覆超硬工具
1〜24をそれぞれ製造した。
びB1〜B6を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した
状態で、それぞれ図1に例示される通常のアークイオン
プレーティング装置に装入し、一方カソード電極(蒸発
源)として種々の成分組成をもったTi−Al合金を装
着し、装置内を排気して1×10-5torrの真空に保
持しながら、ヒーターで装置内を500℃に加熱した
後、Arガスを装置内に導入して1×10-3torrの
Ar雰囲気とし、この状態で超硬基体に−800vのバ
イアス電圧を印加して超硬基体表面をArガスボンバー
ト洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガス、ま
たは窒素ガスとメタンガスを導入して5×10-3tor
rの反応雰囲気とすると共に、前記超硬基体に印加する
バイアス電圧を−200vに下げて、前記カソード電極
とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって
前記超硬基体A1〜A10およびB1〜B6のそれぞれ
の表面に、表3、4に示される組成および平均層厚をも
った硬質被覆層を蒸着することにより従来被覆超硬工具
1〜24をそれぞれ製造した。
【0009】ついで、この結果得られた従来被覆超硬工
具1〜24のそれぞれの切刃稜線部、あるいは切刃稜線
部とすくい面および/または逃げ面に、電子衝撃型(バ
ケット型)イオン銃を用いて、酸素イオン照射を行っ
て、すくい面側深さおよび/または逃げ面側深さで測定
して、表5に示される深さの酸素イオン照射酸素注入層
を形成することにより本発明被覆超硬工具1〜24をそ
れぞれ製造した。なお、酸素注入層の深さは、オージェ
分析装置を用いて、工具縦断面を表面から内部に向けて
直角に酸素濃度分布を測定し、この測定結果をもって現
した。
具1〜24のそれぞれの切刃稜線部、あるいは切刃稜線
部とすくい面および/または逃げ面に、電子衝撃型(バ
ケット型)イオン銃を用いて、酸素イオン照射を行っ
て、すくい面側深さおよび/または逃げ面側深さで測定
して、表5に示される深さの酸素イオン照射酸素注入層
を形成することにより本発明被覆超硬工具1〜24をそ
れぞれ製造した。なお、酸素注入層の深さは、オージェ
分析装置を用いて、工具縦断面を表面から内部に向けて
直角に酸素濃度分布を測定し、この測定結果をもって現
した。
【0010】つぎに、この結果得られた本発明被覆超硬
工具1〜18および従来被覆超硬工具1〜18について
は、 被削材:JIS・S45Cの角材、 切削速度:200m/min.、 切込み:2.5mm、 送り:0.25mm/刃、 の条件での炭素鋼の乾式断続切削(フライス切削)試験
を行ない、また本発明被覆超硬工具19〜24および従
来被覆超硬工具19〜24については、 被削材:JIS・SNCM439の角材、 切削速度:330m/min.、 切込み:2mm.、 送り:0.15mm/刃、 の条件での合金鋼の乾式断続切削(フライス切削)試験
を行い、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅が
0.2mmに至るまでの切削時間を測定した。これらの
測定結果を表6に示した。
工具1〜18および従来被覆超硬工具1〜18について
は、 被削材:JIS・S45Cの角材、 切削速度:200m/min.、 切込み:2.5mm、 送り:0.25mm/刃、 の条件での炭素鋼の乾式断続切削(フライス切削)試験
を行ない、また本発明被覆超硬工具19〜24および従
来被覆超硬工具19〜24については、 被削材:JIS・SNCM439の角材、 切削速度:330m/min.、 切込み:2mm.、 送り:0.15mm/刃、 の条件での合金鋼の乾式断続切削(フライス切削)試験
を行い、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅が
0.2mmに至るまでの切削時間を測定した。これらの
測定結果を表6に示した。
【0011】
【表1】
【0012】
【表2】
【0013】
【表3】
【0014】
【表4】
【0015】
【表5】
【0016】
【表6】
【0017】
【発明の効果】表3〜6に示される結果から、本発明被
覆超硬工具1〜24は、いずれも酸素イオン照射酸素注
入層の形成によって従来被覆超硬工具1〜24に比して
すぐれた耐摩耗性を発揮し、長い使用寿命を示すことが
明らかである。上述のように、この発明の被覆超硬工具
は、この種の従来被覆超硬工具に比して長い使用寿命を
示すので、切削装置のFA化および切削加工の低コスト
化に十分満足に対応することができるものである。
覆超硬工具1〜24は、いずれも酸素イオン照射酸素注
入層の形成によって従来被覆超硬工具1〜24に比して
すぐれた耐摩耗性を発揮し、長い使用寿命を示すことが
明らかである。上述のように、この発明の被覆超硬工具
は、この種の従来被覆超硬工具に比して長い使用寿命を
示すので、切削装置のFA化および切削加工の低コスト
化に十分満足に対応することができるものである。
【図1】アークイオンプレーティング装置の概略説明図
である。
である。
Claims (1)
- 【請求項1】 炭化タングステン基超硬合金基体または
炭窒化チタン系サーメット基体の表面に、アークイオン
プレーティング形成の組成式:(Ti1-x Alx )Nお
よび同(Ti1-x Alx )C1-y Ny (ただし、原子比
で、xは0.3〜0.7、yは0.5〜0.99を示
す)を有するTiとAlの複合窒化物およびTiとAl
の複合炭窒化物のうちのいずれかで構成された単層また
は両方で構成された複層からなる硬質被覆層を1〜10
μmの平均層厚で物理蒸着してなる表面被覆超硬合金製
切削工具にして、 上記表面被覆超硬合金製切削工具の少なくともすくい面
と逃げ面の交わる切刃稜線部に、すくい面側深さおよび
/または逃げ面側深さで測定して、表面から0.5μm
から上記硬質被覆層の平均層厚の50%までの範囲内の
深さに亘って酸素イオン照射酸素注入層を形成したこと
を特徴とする硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する表
面被覆超硬合金製切削工具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15231597A JPH111764A (ja) | 1997-06-10 | 1997-06-10 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する表面被覆超硬合金製切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15231597A JPH111764A (ja) | 1997-06-10 | 1997-06-10 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する表面被覆超硬合金製切削工具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH111764A true JPH111764A (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=15537847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15231597A Withdrawn JPH111764A (ja) | 1997-06-10 | 1997-06-10 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を有する表面被覆超硬合金製切削工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH111764A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100466536B1 (ko) * | 2002-05-10 | 2005-01-15 | 한국원자력연구소 | 이온 조사에 의한 이용기 날의 표면처리 방법 |
JP2006015451A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Mitsubishi Materials Corp | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
JP2006021276A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
-
1997
- 1997-06-10 JP JP15231597A patent/JPH111764A/ja not_active Withdrawn
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JP4535249B2 (ja) * | 2004-07-01 | 2010-09-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
JP2006021276A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
JP4535250B2 (ja) * | 2004-07-08 | 2010-09-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
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