JPH10236631A - ワ−ク供給取り出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワ−クを傷や汚れを付着させず、また変形あ
るいは損傷を与えずに、研磨機に送入し、研磨機から取
り出す。 【構成】 ワ−クを無接触状態にて懸垂保持し前後進可
能な空気保持器を、供給側キャリア上方部でワ−ク移送
具のワ−ク保持穴と同高の位置に設け、前記ワ−ク移送
具側面に空気保持器を併設し、収納側キャリア上部でワ
−ク移送具のワ−ク保持穴と同高の位置に、ワ−クを無
接触状態にて懸垂保持し前後進可能な空気保持器を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、傷の付着を極端に嫌う
ディスク等の精緻ワ−クを研磨機に供給し取り出して、
収納するワ−ク供給取り出し装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来は、ディスク等の精緻ワ−クを研磨
機へ供給し、処理後取り出す場合は、ワ−クを開閉する
爪にて把持する方法、あるいは真空吸着パッドにて吸着
する方法が用いられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の開閉する爪によ
りワ−クを把持する方式では、ワ−クを傷つける場合が
あり、また薄いワ−クでは変形させるという欠点があ
る。

【０００４】真空吸着による方法では、ワ−ク表面に汚
れを付着させたり、変形させるという欠点がある。

【０００５】また前記爪あるいは吸着パッドはワ−クを
固持するため、移動するワ−クと間隙の小さいベルト穴
に、ワ−クを挿入するのは非常に難しく、ワ−ク端面に
傷を付けることが多い。

【０００６】ベルトによりワ−クを移送する際にも、ワ
−クを支持している支持具に擦れて傷が付くという欠点
がある。

【０００７】本発明は、ワ−クをベルトに供給する場
合、ワ−クをベルトにより移送する場合あるいは研磨後
ワ−クをベルトから取り出す場合、ワ−クに傷を付けた
り、変形させたりまた損傷を与えないワ−ク供給取り出
し装置提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、間隙を有して対抗する砥石の前記間隙に、ワ−クが
挿入する穴を有するベルトの前記穴に、ワ−クを挿入さ
せて通過さすことによりワ−クを研磨する研磨システム
に於て、空気をワ−クに向かって噴出することにより、
ワ−クを無接触状態にて把持可能な空気保持器により、
ワ−クを把持し、前記ベルトに形成された穴に挿入す
る。＄ 砥石にて研磨されベルトの穴に挿入されて送られてきた
ワ−クを、前記空気保持器により無接触状態にて把持
し、取り出す。

【０００９】前記ベルトと間隙を有して前記空気保持器
を並設し、ベルトの穴に挿入されて移動するワ−クを無
接触状態にて支持する

【００１０】前記ベルトにワ−クを挿入する際に、ベル
ト側方にベルト移動と同期して移動する往復可能な、ワ
−クを搭載するスライドガイドを設けることにより前記
課題は解決される。

【００１１】

【作用】供給側キャリア２ａに収納されているワ−ク１
を支持している支持具５を、昇降機６により供給用空気
保持器Ａの位置まで押上げ、供給用空気保持器Ａより空
気を噴出することによりワ−ク１を無接触状態にて把持
し、把持した状態にて前進して移動するベルト穴４にワ
−ク１を挿入する。

【００１２】ベルト３の後方に、間隙をもたせて支持用
空気保持器Ｂが並設されており、ベルト穴４に挿入され
ているワ−ク１を無接触状態にて支持する。

【００１３】ベルト穴４に挿入されたワ−ク１は、ベル
ト３の移動することにより研磨機に投入され、研磨され
てベルト３の移動とともに搬出される。

【００１４】研磨されベルト穴４に挿入されているワ−
ク１は、取り出し用空気保持器Ｃの位置まで移動したと
きに空気保持器Ｃから空気が噴出し、空気保持器Ｃによ
り無接触状態にて把持され、ワ−ク１はベルト穴４より
取り出され、支持具５に移載され昇降機６により下降
し、収納側キャリア２ｂに収納される。

【００１５】

【実施例１】図１及び図２は本発明のワ−ク１を研磨機
Ｋに供給および取り出しす装置の実施例の１つである。

【００１６】間隙を保って対向して回転する砥石７を有
する研磨機Ｋに、ワ−ク１が挿入可能なワ−ク１よりや
や大きいベルト穴４を有し、かつワ−ク１より厚さが薄
いベルト３を、前記ベルト穴４にワ−ク１を挿入保持し
た状態で、前記砥石７の間隙を周回させワ−ク１を研磨
する。

【００１７】研磨機Ｋの上流側のベルト３の下方には、
供給側キャリア２ａが配置され、研磨前のワ−ク１が収
納され得ている。

【００１８】供給側キャリア２ａの下部には、ワ−ク１
を支持し１枚づつベルト穴４の位置までシリンダ６によ
り持ち上げる支持具５が配設されている。

【００１９】支持具５の上方、ベルト３のベルト穴４の
中心と同じ位置にはシリンダ１５により前後進可能な空
気保持器Ａが配置されている。

【００２０】空気保持器Ａのベルト３の反対側の位置に
対向して空気保持器Ｂが配設されている。

【００２１】研磨機Ｋの下流側のベルト３の下方には空
の収納側キャリア２ｂが配設されている。

【００２２】収納側キャリア２ｂの下方には、ワ−ク１
を支持し１枚づつベルト穴４の位置から収納側キャリア
２ｂまでシリンダ６により収納する支持具５が配設され
ている。

【００２３】支持具５の上方、ベルト３のベルト穴４の
中心と同じ位置にはシリンダ１６により前後進可能な空
気保持器Ｃが配置されている。

【００２４】空気保持器Ｃのベルト３の反対側の位置に
対向して空気保持器Ｄが配設されている。

【００２５】また空気保持器Ｂから研磨機Ｋを挟んで空
気保持器Ｄまでベルト３のほぼ中心の位置で、空気保持
器Ｅ，Ｅ，Ｅ・・・がベルト３とやや距離を保って並設
されている。

【００２６】図７、図８及び図９は本装置に使用する空
気保持器Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの実施例である。

【００２７】空気送入口８より空気を供給し、クッショ
ン室９を通過し、作動面１０に対向しているワ−ク１に
向かって噴出すると、作動面１０とワ−ク１との距離が
大なる場合、作動面１０とワ−ク１とで形成される空間
に負圧が生じ、ワ−ク１を吸引するが、前記距離が小に
なれば前記空間は正圧になり、ワ−ク１を引き離す。

【００２８】この原理により、空気保持器はワ−クを無
接触状態にて懸垂保持できる。

【００２９】上記の構成にて、供給側の供給側キャリア
２ａに収納されている最前列のワ−ク１を支持具５によ
り支持し、シリンダ６により上昇させ、ベルト３のベル
ト穴４の中心と同じ位置に設けられている、シリンダ１
５により前後進可能な空気保持器Ａの前面まで押し上げ
る。

【００３０】空気保持器Ａは、ワ−ク１が空気保持器Ａ
の中心の位置まで上昇すると、ワ−ク１に向かって空気
を噴出し、ワ−ク１を無接触状態にて吸引保持し、前進
してベルト穴４にワ−ク１を挿入する。

【００３１】空気保持器Ａのベルト３の反対側の位置に
は対向して空気保持器Ｂが配設されている。

【００３２】空気保持器Ａに保持されたワ−ク１がベル
ト穴４に挿入されると、対向する空気保持器Ｂからワ−
ク１に向かって空気が噴出されワ−ク１を吸引保持し、
同時に空気保持器Ａの空気噴射を停止する。

【００３３】ワ−ク１はベルト穴４に挿入した状態に
て、空気保持器Ｂに無接触状態にて支持され、ベルト３
の移動にともない研磨機Ｋに向かってに移動する。。

【００３４】ベルト３の側面に並列されている空気保持
器Ｅから前を通過するベルト穴４に挿入されているワ−
ク１に向かって空気を噴出し、ワ−ク１を無接触状態に
て支持するため、ワ−ク１は落下することなく、研磨機
Ｋの回転する砥石７に送入される。

【００３５】研磨されたワ−ク１は、収納側キャリア２
ｂの上方にある空気保持器Ｄの位置まで送られると、空
気保持器Ｃが接近してきて空気を噴出し、ワ−ク１を吸
引保持すると同時に空気保持器Ｄの空気噴出を停止しワ
−ク１をベルト穴４より取り出し、シリンダ１６により
後退して収納側キャリア２ｂの収納位置まで移動し、上
昇してきた支持具５に受け渡す。

【００３６】ワ−ク１を受け取った支持具５は、下降し
収納側キャリア２ｂにワ−ク１を収納する。

【００３７】かようにして供給側キャリア２ａのワ−ク
１を接触せずにベルト穴４に挿入し、接触せずに研磨機
Ｋに送り、接触せずにワ−ク１をベルト３より取り出
し、接触せずに収納側キャリア２ｂに収納することがで
きる。

【００３８】

【実施例２】実施例１の研磨システムに於て、空気保持
器Ａの前方でベルト３の側面に、ベルト３と同期して移
動し、後退可能なスライドガイドＬを設ける。

【００３９】スライドガイドＬは、水平バ−１２と垂直
バ−１３とが端部で直行しており、水平バ−１２の上面
はベルト穴４の下端と同じ高さにあり、垂直バ−１３は
ベルト穴４の後端と合致して移動するよう駆動機１４を
駆動する。

【００４０】上記の構成に於て、空気保持器Ａにより保
持されたワ−ク１は、ベルト穴４と同期して移動してき
たスライドガイドＬの水平バ−１２の上にワ−ク１を載
せる。＄ スライドガイドＬの前進につれて、水平バ−１２上のワ
−ク１は垂直バー１３に押し当てられ、この時点で空気
保持器Ａから空気の噴出を停止すると同時に、ベルト３
の後方にある空気保持器Ｂから空気を噴出しワ−ク１を
吸引し、ベルト穴４にワ−ク１を挿入する。

【００４１】ワ−ク−１の挿入が終了すると、スライド
ガイドＬは後退し、次のワ−ク１の送入過程にはいる。

【００４２】スライドガイドＬの駆動は、ベルト３に設
けている穴とスライドガイドＬを連結させて行なっても
よい。

【００４３】空気保持器は本実施例のものの他に、平板
に空気噴出口を設けたもの、じょうご形のもの等でもよ
い。

【００４４】

【発明の効果】本発明により、ワ−クを接触することな
く懸垂保持可能な空気保持器により供給側キャリアより
ワ−クを取り出し、接触することなく研磨機に送入し、
接触することなくベルト穴よりワ−クを取り出し、収納
側キャリアに収納することが可能になったため、ベルト
穴に送入する際に汚したり、変形させたりすることがな
く、ベルトによる移送途中においても擦傷を付けること
もなく、またベルトより取り出す際にも汚れや傷を付け
ることが無いワ−ク供給取り出し装置を提供することが
可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワ−ク供給取り出し装置の側面図である。

【図２】ワ−ク供給取り出し装置の平面図である。

【図３】図２のア−ア視図である。

【図４】ワ−ク供給取り出し装置の他の実施例の側面図
である。

【図５】ワ−ク供給取り出し装置の他の実施例の平面図
である。

【図６】空気保持器の断面側面図である。

【図７】他の空気保持器の断面側面図である。

【図６】他の空気保持器の下平面図である。

【符号の説明】

１ ワ−ク ２ａ 供給側キャリア ２ｂ 収納側キャリア ３ ベルト ４ ベルト穴 ５ 支持具 ７ 砥石 ８ 空気送入口 １０ 作動面 １２ 水平バー １３ 垂直バ− Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ 空気保持器 Ｋ 研磨機 Ｌ スライドガイド kk@@@@XX演CChhKKCChh

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成９年４月２４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【発明の名称】 ワ−ク供給取り出し装置

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、傷の付着を極端に嫌う
ディスク等の精緻ワ−クを研磨機に供給し取り出して、
収納するワ−ク供給取り出し装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来は、ディスク等の精緻ワ−クをワ−
ク保持穴を有する周回するベルト状あるいは回転する円
盤状のワ−ク移送具により研磨機へ供給し、処理後取り
出す場合は、ワ−クを開閉する爪にて把持する方法、あ
るいは真空吸着パッドにて吸着する方法が用いられてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の開閉する爪によ
りワ−クを把持する方式では、ワ−クを傷つける場合が
あり、また薄いワ−クでは変形させるという欠点があ
る。

【０００４】真空吸着による方法では、ワ−ク表面に汚
れを付着させたり、変形させるという欠点がある。

【０００５】また前記爪あるいは吸着パッドはワ−クを
固持するため、移動するワ−クと間隙の小さいワ−ク保
持穴に、ワ−クを挿入するのは非常に難しく、ワ−ク端
面に傷を付けることが多い。

【０００６】ワ−ク移送具のワ−ク保持穴にワ−クを挿
入しワ−クを移送する際にも、ワ−クを脱落を防止する
ために設けられた支持具に擦れるため、ワ−クに傷が付
くという欠点がある。

【０００７】本発明は、ワ−クをワ−ク移送具に供給す
る場合、ワ−クをワ−ク移送具により移送する場合ある
いは研磨後ワ−クをワ−ク移送具から取り出す場合、ワ
−クに傷を付けたり、変形させたりまた損傷を与えない
ワ−ク供給取り出し装置提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、間隙を有して対抗する砥石の前記間隙に、ワ−クが
挿入するワ−ク保持穴を有するワ−ク移送具の前記ワ−
ク保持穴に、ワ−クを挿入させて通過さすことによりワ
−クを研磨する研磨システムに於て、空気をワ−クに向
かって噴出することにより、ワ−クを無接触状態にて把
持可能な空気保持器により、ワ−クを把持し、前記ワ−
ク移送具に形成されたワ−ク保持穴に挿入する。

【０００９】砥石にて研磨されワ−ク移送具のワ−ク保
持穴に挿入されて送られてきたワ−クを、前記空気保持
器により無接触状態にて把持し、取り出す。

【００１０】前記ワ−ク移送具と間隙を有して前記空気
保持器を並設し、ワ−ク移送具のワ−ク保持穴に挿入さ
れて移動するワ−クを無接触状態にて支持する。

【００１１】前記ワ−ク移送具にワ−クを挿入する際
に、ワ−ク移送具側方にワ−ク移送具移動と同期して移
動する往復可能な、ワ−クを搭載するスライドガイドを
設けることにより前記課題は解決される。

【００１２】

【作用】供給側キャリア２ａに収納されているワ−ク１
を支持している支持具５を、昇降機６により供給用空気
保持器Ａの位置まで押上げ、供給用空気保持器Ａより空
気を噴出することによりワ−ク１を無接触状態にて把持
し、把持した状態にて前進して移動するワ−ク保持穴４
にワ−ク１を挿入する。

【００１３】ワ−ク移送具３の後方に、間隙をもたせて
支持用空気保持器Ｂが並設されており、ワ−ク保持穴４
に挿入されているワ−ク１を無接触状態にて支持する。

【００１４】ワ−ク保持穴４に挿入されたワ−ク１は、
ワ−ク移送具３の移動することにより研磨機に投入さ
れ、研磨されてワ−ク移送具３の移動とともに搬出され
る。

【００１５】研磨されワ−ク保持穴４に挿入されている
ワ−ク１は、取り出し用空気保持器Ｃの位置まで移動し
たときに空気保持器Ｃから空気が噴出し、空気保持器Ｃ
により無接触状態にて把持され、ワ−ク１はワ−ク保持
穴４より取り出され、支持具５に移載され昇降機６によ
り下降し、収納側キャリア２ｂに収納される。

【００１６】

【実施例１】図１及び図２は本発明のワ−ク１を研磨機
Ｋに供給および取り出しす装置の実施例の１つである。

【００１７】間隙を保って対向して回転する砥石７を有
する研磨機Ｋに、ワ−ク１が挿入可能なワ−ク１よりや
や大きいワ−ク保持穴４を有し、かつワ−ク１より厚さ
が薄い周回するベルト状のワ−ク移送具３を、前記ワ−
ク保持穴４にワ−ク１を挿入保持した状態で、前記砥石
７の間隙を移動させワ−ク１を研磨する。

【００１８】研磨機Ｋの上流側のワ−ク移送具３の下方
には、供給側キャリア２ａが配置され、研磨前のワ−ク
１が収納され得ている。

【００１９】供給側キャリア２ａの下部には、ワ−ク１
を支持し１枚づつワ−ク保持穴４の位置までシリンダ６
により持ち上げる支持具５が配設されている。

【００２０】支持具５の上方、ワ−ク移送具３のワ−ク
保持穴４の中心と同じ位置にはシリンダ１５により前後
進可能な空気保持器Ａが配置されている。

【００２１】空気保持器Ａのワ−ク移送具３の反対側の
位置に対向して空気保持器Ｂが配設されている。

【００２２】研磨機Ｋの下流側のワ−ク移送具３の下方
には空の収納側キャリア２ｂが配設されている。

【００２３】収納側キャリア２ｂの下方には、ワ−ク１
を支持し１枚づつワ−ク保持穴４の位置から収納側キャ
リア２ｂまでシリンダ６により収納する支持具５が配設
されている。

【００２４】支持具５の上方、ワ−ク移送具３のワ−ク
保持穴４の中心と同じ位置にはシリンダ１６により前後
進可能な空気保持器Ｃが配置されている。

【００２５】空気保持器Ｃのワ−ク移送具３の反対側の
位置に対向して空気保持器Ｄが配設されている。

【００２６】また空気保持器Ｂから研磨機Ｋを挟んで空
気保持器Ｄまでワ−ク移送具３のほぼ中心の位置で、空
気保持器Ｅ，Ｅ，Ｅ・・・がワ−ク移送具３とやや距離
を保って並設されている。

【００２７】図７、図８及び図９は本装置に使用する空
気保持器Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの実施例である。

【００２８】空気送入口８より空気を供給し、クッショ
ン室９を通過し、作動面１０に対向しているワ−ク１に
向かって噴出すると、作動面１０とワ−ク１との距離が
大なる場合、作動面１０とワ−ク１とで形成される空間
に負圧が生じ、ワ−ク１を吸引するが、前記距離が小に
なれば前記空間は正圧になり、ワ−ク１を引き離す。

【００２９】この原理により、空気保持器はワ−クを無
接触状態にて懸垂保持できる。

【００３０】上記の構成にて、供給側の供給側キャリア
２ａに収納されている最前列のワ−ク１を支持具５によ
り支持し、シリンダ６により上昇させ、ワ−ク移送具３
のワ−ク保持穴４の中心と同じ位置に設けられている、
シリンダ１５により前後進可能な空気保持器Ａの前面ま
で押し上げる。

【００３１】空気保持器Ａは、ワ−ク１が空気保持器Ａ
の中心の位置まで上昇すると、ワ−ク１に向かって空気
を噴出し、ワ−ク１を無接触状態にて吸引保持し、前進
してワ−ク保持穴４にワ−ク１を挿入する。

【００３２】空気保持器Ａのワ−ク移送具３の反対側の
位置には対向して空気保持器Ｂが配設されている。

【００３３】空気保持器Ａに保持されたワ−ク１がワ−
ク保持穴４に挿入されると、対向する空気保持器Ｂから
ワ−ク１に向かって空気が噴出されワ−ク１を吸引保持
し、同時に空気保持器Ａの空気噴射を停止する。

【００３４】ワ−ク１はワ−ク保持穴４に挿入した状態
にて、空気保持器Ｂに無接触状態にて支持され、ワ−ク
移送具３の移動にともない研磨機Ｋに向かってに移動す
る。

【００３５】ワ−ク移送具３の側面に並列されている空
気保持器Ｅから前を通過するワ−ク保持穴４に挿入され
ているワ−ク１に向かって空気を噴出し、ワ−ク１を無
接触状態にて支持するため、ワ−ク１は落下することな
く、研磨機Ｋの回転する砥石７に送入される。

【００３６】研磨されたワ−ク１は、収納側キャリア２
ｂの上方にある空気保持器Ｄの位置まで送られると、空
気保持器Ｃが接近してきて空気を噴出し、ワ−ク１を吸
引保持すると同時に空気保持器Ｄの空気噴出を停止しワ
−ク１をワ−ク保持穴４より取り出し、シリンダ１６に
より後退して収納側キャリア２ｂの収納位置まで移動
し、上昇してきた支持具５に受け渡す。

【００３７】ワ−ク１を受け取った支持具５は、下降し
収納側キャリア２ｂにワ−ク１を収納する。

【００３８】かようにして供給側キャリア２ａのワ−ク
１を接触せずにワ−ク保持穴４に挿入し、接触せずに研
磨機Ｋに送り、接触せずにワ−ク１をワ−ク移送具３よ
り取り出し、接触せずに収納側キャリア２ｂに収納する
ことができる。

【００３９】

【実施例２】実施例１の研磨システムに於て、空気保持
器Ａの前方でワ−ク移送具３の側面に、ワ−ク移送具３
と同期して移動し、後退可能なスライドガイドＬを設け
る。

【００４０】スライドガイドＬは、水平バ−１２と垂直
バ−１３とが端部で直行しており、水平バ−１２の上面
はワ−ク保持穴４の下端と同じ高さにあり、垂直バ−１
３はワ−ク保持穴４の後端と合致して移動するよう駆動
機１４を駆動する。

【００４１】上記の構成に於て、空気保持器Ａにより保
持されたワ−ク１は、ワ−ク保持穴４と同期して移動し
てきたスライドガイドＬの水平バ−１２の上にワ−ク１
を載せる。

【００４２】スライドガイドＬの前進につれて、水平バ
−１２上のワ−ク１は垂直バー１３に押し当てられ、こ
の時点で空気保持器Ａから空気の噴出を停止すると同時
に、ワ−ク移送具３の後方にある空気保持器Ｂから空気
を噴出しワ−ク１を吸引し、ワ−ク保持穴４にワ−ク１
を挿入する。

【００４３】ワ−ク−１の挿入が終了すると、スライド
ガイドＬは後退し、次のワ−ク１の送入過程にはいる。

【００４４】スライドガイドＬの駆動は、ワ−ク移送具
３に設けているワ−ク保持穴とスライドガイドＬを連結
させて行なってもよい。

【００４５】空気保持器は本実施例のものの他に、平板
に空気噴出口を設けたもの、じょうご形のもの等でもよ
い。

【００４６】またワ−ク移送具は、ベルトに代えて円周
方向にワ−クを挿入するワ−ク保持穴を有する円盤の前
記ワ−ク保持穴にワ−クを挿入し、円盤を回転すること
によりワ−クを砥石の間を通過させるワ−ク移送具でも
よい。

【００４７】

【発明の効果】本発明により、ワ−クを接触することな
く懸垂保持可能な空気保持器により供給側キャリアより
ワ−クを取り出し、接触することなく研磨機に送入し、
接触することなくワ−ク保持穴よりワ−クを取り出し、
収納側キャリアに収納することが可能になったため、ワ
−ク保持穴に送入する際に汚したり、変形させたりする
ことがなく、ワ−ク移送具による移送途中においても擦
傷を付けることもなく、またワ−ク移送具より取り出す
際にも汚れや傷を付けることが無いワ−ク供給取り出し
装置を提供することが可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワ−ク供給取り出し装置の側面図である。

【図２】ワ−ク供給取り出し装置の平面図である。

【図３】図２のア−ア視図である。

【図４】ワ−ク供給取り出し装置の他の実施例の側面図
である。

【図５】ワ−ク供給取り出し装置の他の実施例の平面図
である。

【図６】空気保持器の断面側面図である。

【図７】他の空気保持器の断面側面図である。

【図８】他の空気保持器の下平面図である。

【符号の説明】 １ ワ−ク ２ａ 供給側キャリア ２ｂ 収納側キャリア ３ ワ−ク移送具 ４ ワ−ク保持穴 ５ 支持具 ７ 砥石 ８ 空気送入口 １０ 作動面 １２ 水平バー １３ 垂直バ− Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ 空気保持器 Ｋ 研磨機 Ｌ スライドガイド

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 間隙を有して対抗する砥石の前記間隙
   に、ワ−クを挿入する穴を有するベルトの前記穴に、ワ
   −クを挿入させて通過さすことによりワ−クを研磨する
   研磨システムに於て、 空気をワ−クに向かって噴出することにより、ワ−クを
   無接触状態にて把持可能な空気保持器により、ワ−クを
   把持し、前記ベルトに形成された穴に挿入するワ−ク供
   給取り出し装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の研磨システムにおいて、
   砥石にて研磨されベルトの穴に挿入されて送られてきた
   ワ−クを、前記空気保持器により無接触状態にて把持
   し、取り出すワ−ク供給取り出し装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の研磨システムにおいて、
   前記ベルトと間隙を有して前記空気保持器を並設し、ベ
   ルトの穴に挿入されて移動するワ−クを無接触状態にて
   支持するワ−ク供給取り出し装置。
4. 【請求項４】 請求項１及び請求項２記載のワ−ク供給
   取り出し装置において、ベルト側方にベルト移動と同期
   して移動する往復可能な、ワ−クを搭載するスライドガ
   イドを設けたワ−ク供給取り出し装置。