JPH10230117A

JPH10230117A - ケミカルフィルタ装置及びその制御方法

Info

Publication number: JPH10230117A
Application number: JP9033781A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Sekiguchi; 英明関口; Kazuo Okubo; 和雄大久保; Akira Tanaka; 亮田中
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1997-02-18
Filing date: 1997-02-18
Publication date: 1998-09-02

Abstract

(57)【要約】【課題】低圧損であり、フィルタ寿命が長寿命で、空
気中の広範囲の不純物に対して除去率が高除去率である
ことが可能な外調器用ケミカルフィルタ及びその制御方
法を提供する。【解決手段】濾過行程の前段に活性炭または活性炭素
繊維からなる活性炭系濾過手段３と、前記活性炭系濾過
手段を通過した気体に加湿処理を施す加湿手段１６と、
前記加湿手段にて加湿される領域若しくは加湿された下
流側領域に、放射線グラフト重合法により作製したイオ
ン交換体のうち強酸性カチオン繊維４と弱塩基性アニオ
ン繊維５とを組み合わせてなるイオン交換系濾過手段１
５と、を備えた外調器用ケミカルフィルタ１００。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はケミカルフィルタ装
置に関し、特に、半導体産業など精密電子工業や医療品
製造業などにおいて、最近使用されているクリーンルー
ムのの清浄化を保持するために用いて好適な外調器用の
ケミカルフィルタ装置及びその制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体産業など精密電子工業
や医療品製造業などにおいて、製品の高品質化や歩留ま
りを高めるために、例えばクリーンルーム等の各種の空
気清浄設備が用いられている。このクリーンルーム設備
において、外気を取り込み、温度・湿度調節を行うとと
もに空気中のガス成分を除去する外調器用として用いる
ケミカルフィルタ装置がある。このケミカルフィルタ装
置の構成要素としては、例えば活性炭粒子や活性炭繊維
があり、また、この活性炭粒子や活性炭繊維に酸やアル
カリを添着したものを用いることができる。一方、イオ
ン交換体を用いたケミカルフィル装置は、ｐｐｂレベル
のガス成分の除去率が高いばかりでなく、被吸着物の再
放出がないことから、近年、特に、空気中のイオン性物
質の排除が望ましいとされている半導体製造工場、液晶
製造工場などの関連業界で使用されるようになってきて
いる。

【０００３】上述のようなケミカルフィルタ装置を用い
た空気浄化システムとしては、これまでに種々の構成の
ものが提案されている。そして、イオン交換体を用いた
空気浄化システムとして、加湿手段を設けたものがあ
る。この加湿手段を設ける理由としては、イオン交換体
が水分を多く含むことにより、該イオン交換体を通過す
る空気中のイオン性物質の吸着捕集機能が高まることが
しられていることによる。前掲の加湿手段を設けた設備
として、例えば、イオン交換繊維を有する中程度の濾過
性能のフィルタ、高性能なフィルタと、ミスト除去用の
フィルタとを直列に配置して構成された濾過領域を設
け、この濾過領域の上流側において、蒸気を放出する加
湿手段を設けるとともに空気の温度・湿度を検出する手
段、さらには加湿程度を制御するための制御系を備えた
設備等が提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おけるイオン交換体と加湿手段の組み合わせの場合で
は、ＳＯ_X、ＮＯ_Xの除去するのみであり、特に半導体
関連の工場等に適用するケミカルフィルタ装置では、酸
・アルカリ性ガス以外に有機物の効果的な除去まで必要
となってきていることから、前掲の従来設備では有機物
の除去まで効果的な除去できるかどうかについては疑問
があった。

【０００５】更に、従来の加湿の仕方においても、単に
イオン交換体の上流側において比較的大きな加湿領域を
設け、この領域にて加湿した空気を、直列配置された複
数のイオン交換体側に流すものであることから、上流側
に配置されたイオン交換体が吸湿するために、下流側に
配置されたイオン交換体に流れてくる空気の湿度は不測
に変化し、その正確な制御は実質的に不可能である。ま
た、このように、湿度制御が実質的に正確にできないこ
とからして、水分がイオン交換体に付着することに起因
する送風における圧損の調節が不十分となったり、送風
速度の高速化が困難なったり、無理に送風系の駆動手段
等を強力にして送風を行うようにすることによる振動等
による機械的トラブルや騒音の増大の問題もあった。ま
た、個々のイオン交換体に対して正確な湿度調節が困難
なことから、個々のイオン交換体の効率的な使用ができ
なかったりしていた。さらにまた、従来の設備では、加
湿手段を設けたり、複数のイオン交換体を用いたりして
いるものの、単に濾過性能順に直列配置された複数のイ
オン交換体や大きな加湿領域があることから、設備が比
較的大きくなる傾向があった。

【０００６】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、（１）低圧損であり、機械的なトラブル要因
となる振動、騒音が少ない低速ファンを適用することが
できること、（２）フィルタ寿命が長寿命でフィルタの
交換作業等のメンテナンスに好都合であること、（３）
空気中の広範囲の不純物に対して除去率が高除去率であ
ること、（４）クリーン化を妨げるフィルタ自信からの
発塵がないこと、が可能なケミカルフィルタ装置及びそ
の制御方法を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明者ら
の鋭意研究の結果、以下の本発明により達成することが
できる。（１）濾過行程の前段に活性炭または活性炭素繊維から
なる活性炭系濾過手段と、前記活性炭系濾過手段を通過
した気体に加湿処理を施す加湿手段と、前記加湿手段に
て加湿される領域若しくは加湿された下流側領域に、放
射線グラフト重合法により作製したイオン交換体のうち
強酸性カチオン繊維と弱塩基性アニオン繊維とを組み合
わせてなるイオン交換系濾過手段と、を備えたケミカル
フィルタ装置により達成される。（２）前記活性炭系濾過手段は、前記活性炭がハニカム
活性炭から構成され、前記活性炭素繊維がプリーツ折り
形状に構成された上記（１）に記載のケミカルフィルタ
装置。（３）前記イオン交換系濾過手段は、フィルタユニット
形状がプリーツ折りの直交流型、平行流型、ハニカム形
状型より選択されたものから構成された上記（１）また
は（２）に記載のケミカルフィルタ装置。

【０００８】（４）前記イオン交換系濾過手段における
前記強酸性カチオン繊維と前記弱塩基性アニオン繊維と
を加湿する系統が別系統に構成されたことを特徴とする
上記（１）から（３）のいずれかに記載のケミカルフィ
ルタ装置。（５）前記強酸性カチオン繊維と前記弱塩基性アニオン
繊維とを加湿するそれぞれの系統を、異なった加湿条件
にて調節することを特徴とする上記（４）に記載のケミ
カルフィルタ装置の制御方法。（６）前記強酸性カチオン繊維が配置された領域を相対
湿度２０％以上に、前記弱塩基性アニオン繊維が配置さ
れた領域を４０％以上に加湿することを特徴とする上記
（５）に記載のケミカルフィルタ装置の制御方法。

【０００９】上述のように、本発明のごとく、濾過行程
の前段に活性炭または活性炭素繊維を、中間に加湿シス
テムを設置、後段に放射線グラフト重合法により作製し
たイオン交換体のうち強酸性カチオン繊維と弱塩基性ア
ニオン繊維を組み合わせた構成である。したがって、活
性炭素繊維、活性炭からなる活性炭系濾過手段を濾過行
程の前段で使用することで、季節によっては高湿度とな
るものの、この活性炭系濾過手段の微細な孔に水分が捕
捉されることから吸入される空気の湿度変化を小さくで
き、安定した濾過機能を保証することができる。更に、
前記イオン交換体においては、繊維表面にイオン交換機
能が集中していることで、吸着速度が大きく、また、固
体内濃度拡散効果により、低濃度ガスに対して有効であ
る。また、除去性能の機能分担として、本発明において
は、強酸性カチオン繊維によりアルカリ性ガスを除去で
き、弱塩基性アニオン繊維により酸性ガスを除去するこ
とができる。

【００１０】更に、活性炭系濾過手段を通過した空気に
対して、濾過行程の後段のイオン交換体に必要な水分の
補給が行われるので、水分の調整が容易であり、圧力損
失を小さく保つことも容易になる。イオン交換系濾過手
段は、ユニット形状がプリーツ折り直交流型、平行流
型、ハニカム形状型より選択されたものであり、強度的
に高く取り扱い性もよく、強酸性カチオン繊維によりア
ルカリ性ガスを、弱塩基性アニオン繊維により酸を除去
する効果的に吸着視し、しかも、各ユニットごとに別々
の系統にて加湿調整できるようにした場合においては、
各ユニットに最適な加湿状態を維持することができ、極
めて効果的な空気清浄化を可能するものである。更に加
湿手段の水分の供給系系統は、イオン交換系濾過手段の
一部を挟むように分離して配置されていることで、水分
供給を一度に一カ所に集中させる必要がなく、分散も容
易であり必要以上のスペースを取らず少スペース化が図
れるものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図１を参照して詳細に説明する。本発明のケミカルフ
ィルタ装置１００は、空気清浄ダクト６に、空気入口側
９から、プレフィルタ１、中性能フィルタ２を配列し、
次にケミカルフィルタの主要素として、有機物を除去す
るプリーツ折り構造の活性炭素繊維またはハニカム状添
着活性炭素から構成された活性炭素系濾過手段３、強酸
性カチオン交換繊維４、弱塩基性アニオン交換繊維５か
らなるイオン交換系濾過手段１２の順で配列されてい
る。また、第一給水系統７が強酸性カチオン交換繊維４
の上流側に接続され、且つ第二給水系統８が弱塩基性ア
ニオン交換繊維５の上流側に接続された加湿手段１６が
設けられている。なお、図１において、１２は超純水製
造システムであり、１１は給水システムである。更に、
プレフィルタ１は例えば、ポリプロピレン、ポリエステ
ルから構成することができ、中性能フィルタ２は例えば
ポリプロピレン、ポリエステルから構成することができ
る。

【００１２】上述の活性炭系濾過手段３により有機物と
同時に吸着される水分を補給する加湿手段１６は、超純
水給水を供給できるものであり、第一加湿系統７により
強酸性カチオン交換繊維４の効果を高め、第二加湿系統
８により弱塩基性アニオン交換繊維５のイオン吸着効果
を高い状態に維持することができる。なお、上記各加湿
系統７、８は、例えば通常の水道水の給水システム１１
を超純水製造システム１２に通すことで、不純物のない
超純水が得られる。更にまた、水分を補給する加湿手段
の加湿方法は、水スプレイ（噴霧状）、蒸気のいずれで
も良い。

【００１３】加湿条件の制御方法としては、前掲の第一
加湿系統７と第二加湿系統８とを別々の加湿条件で動作
させる。これにより、強酸性カチオン交換繊維４と弱塩
基性アニオン交換繊維５のそれぞれの特質に最適な加湿
を容易に行うことができる。例えば強酸性カチオン交換
繊維４の加湿は、該強酸性カチオン交換繊維４の空気流
入口側で相対湿度２０％以上であれば、効率的な吸着が
でき良い結果が得られることが判明した。一方、弱塩基
性アニオン交換繊維５の加湿は、該弱塩基性アニオン交
換繊維５への空気流入口側で相対湿度４０％以上であれ
ば、効率的な吸着ができ良好な結果が得られることが判
明した。このように、イオン交換系濾過手段１５におけ
る強酸性カチオン繊維４と弱塩基性アニオン繊維５とを
加湿する系統７、８が別系統に構成されているので、加
湿するそれぞれの系統を、異なった加湿条件にて調節す
ることができる。なお、湿度のコントロールは、例えば
図示の如き制御手段２０を有する制御系にて行うことが
できるが、本発明においては、湿度コントロール用の測
定器２１、２２は、上述のプリーツ折り活性炭素繊維ま
たはハニカム状活性炭素繊維からなる活性炭系濾過手段
３の直後ならびに強酸性カチオン交換繊維４の直後に設
置する。

【００１４】本発明における活性炭系濾過手段３は、前
掲のようにハニカム活性炭から構成されものや、さらに
は活性炭素繊維がプリーツ折り形状に構成されている
が、この活性炭素系濾過要素３は、例えば図２に示すよ
うに、平板状活性炭素繊維６１と適宜折り曲げられた形
状のハニカム状活性炭素繊維６２とを交互に重ね合わ
せ、矢印Ａ方向から見てハニカム形状の構成とすること
ができる。

【００１５】本発明におけるイオン交換系濾過手段１５
は、要素形状として、下記するようなプリーツ折りの直
交流型、平行流型、ハニカム形状型より選択することが
できる。

【００１６】直交流型ものは、図３に示すように、例え
ば、組上がった状態で矩形状なるような適宜形状の外枠
８１，８２，８３，８４で支持された空間に、複数のフ
ィルタを積層してプリーツ加工して形成したフィルタユ
ニット８０の入口側プリーツの間にガス流路を形成する
ための入口側セパレータ７０を挿入し、出口側プリーツ
の間に出口側セパレータ７１を挿入し、前記ガス流路が
フィルタ素材の折り目に対して直交な流路（矢印Ａにて
示す方向の流路）を形成する形態である。そして、前記
セパレータ７０、７１は、小孔７３が多数形成された多
孔板として形成されている。なお、図４には、前記セパ
レータが、網７２、７３にて構成されたものを図示し
た。図４において、網７２、７３以外の構成は図３に示
す構成と同様であるので、説明を省略する。

【００１７】また、平行流型は、図５に示すように、適
当な外枠（図示せず）で支持された空間に、布状のフィ
ルタユニット９０と、該フィルタ素材間にガス流路を形
成するためのセパレータ７１を積み重ねて固定したエア
フィルタである。そして、ガス流路（矢印Ａにて示す方
向の流路）がフィルタユニット９０の配置に対して平行
な流路を形成するように構成された形態である。そし
て、前記セパレータ７０は小孔７０を備えた多孔板など
から形成することができる。

【００１８】また、ハニカム形状型について更に説明す
ると、その基本的構成は、外枠で支持された空間に、布
状のフィルタ素材と、該フィルタ素材間にガス流路を形
成するためのセパレータを積み重ねて固定したエアフィ
ルタであって、このガス流路がフィルタ素材に対して平
行な流路を形成すると共に、前記セパレータが布状のフ
ィルタ素材から形成されたプリーツ状若しくはハニカム
状のものから構成されている。そして、上下の布状のフ
ィルタ素材とセパレータを形成するプリーツ状若しくは
ハニカム状の布状のフィルタ素材とが融着して固定され
た形態であり、例えば、図２における矢印Ａ方向から見
てハニカム状の構造である。なお、上下の布状のフィル
タ素材とハニカム状の布状のフィルタ素材は、同一の素
材であっても、異種のものでもよい。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。な
お、本発明は以下説明する各実施例に何ら限定されるも
のではない。（実施例１）図５に示す試験装置を用いて、空気濾過を
実施した。なお、図５において、５１は空気入口、５２
は送風機、５３はケーシング、５４はフィルタユニッ
ト、５５はガスボンベ、５６はガス入口、５７はプレフ
ィルタ、５８は空気・ガス出口である。各フィルタユニ
ット５４の寸法は、幅（W）が３０５mm,高さ（H）が３
０５mm,厚さ（D）が２９０mmであり、放射線グラフト重
合法により作成したプリーツ折りイオン交換繊維からな
るものを使用した。

【００２０】空気の送風条件は、単位時間当たりの送風
量８〜９ｍ³／ｍｉｎ、風速２ｍ／ｓ、アンモニア濃度
１０ｐｐｍの条件で加速試験を行った。プレフィルタは
ポリプロピレン、ポリエステル製の粗粒子除去フィルタ
を使用し、供給空気の温度は２４〜２５度ｃ、湿度は４
０〜５０％とした。初期除去率は、放射線グラフト重合
法により作成したイオン交換繊維で９９．９９％であっ
た。プリーツ折り添着活性炭素繊維で８８％であった。
フィルタユニットの１０％破過まで（除去率９０％を下
廻るまで）の経過時間は、放射線グラフト重合法により
作成したイオン交換繊維で５５０分、プリーツ折り添着
活性炭素繊維で３０分であった。

【００２１】（実施例２）下記する条件以外は基本的に
は、実施例１と同じ条件で実施した。各フィルユニット
は同一寸法（６１０W ×６１０H ×１５０D ）のもの
で、放射線グラフト重合法により作成したプリーツ折り
イオン交換繊維とその他の製法で作成したプリーツ折り
イオン交換繊維を風速１ｍ／ｓ、アンモニア濃度１０ｐ
ｐｍの条件で加速試験を行った。初期除去率は、放射線
グラフト重合法のイオン交換繊維で９９．９９％、比較
例１として、その他の製法で作成したイオン交換繊維で
８０％であった。フィルタユニットの１０％破過まで
（除去率９０％を下廻るまで）の経過時間は、放射線グ
ラフト重合法のイオン交換繊維で３００分、比較例１で
あるその他の製法で作成したイオン交換繊維で５０分で
あった。

【００２２】（実施例３）下記する条件以外は基本的に
は、実施例１と同じ条件で実施した。各フィルタユニッ
トは同一寸法（３０５W ×３０５H ×２９０D ）のもの
を用い、放射線グラフト重合法により作成したプリーツ
折りイオン交換繊維とハニカム状添着活性炭素繊維を風
速２ｍ／ｓ、アンモニア濃度１０ｐｐｍの条件で加速試
験及び濾過性能テストを行った。初期除去率は、放射線
グラフト重合法により作成したイオン交換繊維で９９．
９９％、ハニカム状添着活性炭素繊維で９５％であっ
た。フィルタの１０％破過まで（除去率９０％を下廻る
まで）の経過時間は、放射線グラフト重合法のイオン交
換繊維で５５０分、ハニカム状添着活性炭素繊維で３０
０分であった。

【００２３】（実施例４）本実施例は、上記実施例１お
いて、放射線グラフト重合法に使用する素材を、芯鞘構
造で芯がＰＥＴ、鞘がＰＥまたは、ＰＥ単繊維を用いて
製造した。一方、この比較例（比較例２）としては、芯
鞘構造で芯がＰＰ、鞘がＰＥの場合は、芯のＰＰもグラ
フト重合するため、ＰＰは紫外線、酸素により劣化が促
進されることが認められれた。この比較例２に対して、
本発明の実施例のごとく、芯がＰＥＴ、鞘がＰＥまたは
ＰＥ単繊維の場合は、ＰＥＴ、ＰＥとも放射線によるダ
メージが少ないため、紫外線、酸素による劣化が促進さ
れない。また、機械的強度変化について、本発明の実施
例においては、芯がＰＥＴ、鞘がＰＥまたはＰＥ単繊維
の場合の引っ張り強度は、アンモニア吸着後（条件：ア
ンモニア濃度１００μｇ／ｍ³,風速０．５ｍ／ｓにて３
０日間通気）で最初の引っ張り強度の２０％減であっ
た。これに対して、芯がＰＰ、鞘がＰＥの場合（比較例
５）の引っ張り強度は、アンモニア吸着後で最初の引っ
張り強度の６０％以上減であった。

【００２４】（実施例５）本実施例においては、各フィ
ルタユニットは同一寸法（３０５W ×３０５H ×２９０
D ）の放射線グラフト重合法により作成したプリーツ折
りイオン交換繊維とプリーツ折り添着活性炭素繊維を、
図６の試験装置を用いて風速２ｍ／ｓの条件で０．３μ
ｍ以上の発塵試験を行った。放射線グラフト重合法のイ
オン交換繊維で発塵はなく、プリーツ折り添着活性炭素
繊維では、０．３〜１μｍで６０００個／ｃｆｍであっ
た。

【００２５】（実施例６）各フィルタユニットの寸法
（６１０W ×６１０H ×１５０D ）の放射線グラフト重
合法により作成したプリーツ折りイオン交換繊維と比較
例４としてその他の製法（高圧、高温で触媒を加えた化
学グラフト重合法）で作成したプリーツ折りイオン交換
繊維を風速０〜２ｍ／ｓで圧力損失試験を行った。風速
１ｍ／ｓで放射線グラフト重合法のイオン交換繊維は２
ｍｍＡｑ、その他の製法のイオン交換繊維は３ｍｍＡｑ
であった。風速２ｍ／ｓで放射線グラフト重合法のイオ
ン交換繊維は６ｍｍＡｑ、その他の製法のイオン交換繊
維は８ｍｍＡｑであった。

【００２６】（実施例７）図１に示すケミカルフィルタ
装置を用いて、空気濾過を実施した。図１に示す各フィ
ルタユニットは同一寸法（３０５W ×３０５H ×２９０
D ）とし、放射線グラフト重合法により作成したプリー
ツ折りイオン交換繊維からなるものと、プリーツ折り添
着活性炭素繊維とを用いた。空気の送風条件は、単位時
間当たりの送風量５００ｍ³／hr. 、風速２ｍ／ｓ、ア
ンモニア濃度１０ｐｐｍの条件で濾過性能のテストを行
った。なお、プレフィルタはポリプロピレン、ポリエス
テル製の粗粒子除去フィルタを使用し、加湿条件は、噴
霧によるもので、第一加湿系統により、相対湿度２０〜
３０％、第二加湿系統により、相対湿度４０〜５０％、
供給空気の温度２０〜２５度とした。

【００２７】（比較例１）本比較例１は、図１において
炭素系濾過手段３の上流側に加湿系を配置した構成とし
た。この場合の諸条件は実施例７に準じる設定とした。
この結果、比較例１においては、炭素系に水分が吸着し
てしまい、炭素系の性能が著しく低下し、イオン交換系
の性能も低下が見られたのに対して、実施例７では、不
純物の濾過において良好な濾過性能を発揮することがで
きた。また、圧力損失の点においても、水分が付着する
ことで大きくなったが、実施例７においては圧力損失の
低下は極めて小さく優れていた。

【００２８】（実施例８）図１に示すケミカルフィルタ
装置を用いて空気濾過を実施し、加湿条件の変化による
空気濾過性能の変化をみた。加湿条件の制御方法として
は、前掲の第一加湿系統７と第二加湿系統８とを表１の
如く別々の加湿条件で動作させる。

【００２９】

【表１】

【００３０】なお、濾過性能評価において、◎印は性能
９０％以上、×印は性能５０％以下を示す。表１から判
るように、ケミカルフィルタ装置の性能は、強酸性カチ
オン交換繊維において相対湿度２０％、弱塩基性アニオ
ン交換繊維において相対湿度４０％を越えると極めて良
くなる。

【００３１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明は、濾過行程
の前段に活性炭または活性炭素繊維を、中間に加湿シス
テムを設置、後段に放射線グラフト重合法により作製し
たイオン交換体のうち強酸性カチオン繊維と弱塩基性ア
ニオン繊維を組み合わせた構成である。したがって、活
性炭素繊維、活性炭からなる活性炭系濾過手段を濾過行
程の前段で使用することで、この活性炭系濾過手段の微
細な孔に水分を捕捉することができて、吸入される空気
の湿度変化を小さくでき、この下流側にある濾過手段の
安定した濾過機能を保証することができる。更に、本発
明のイオン交換体においては、繊維表面にイオン交換機
能が集中していることで、吸着速度が大きく、また、固
体内濃度拡散効果により、低濃度ガスに対して有効であ
るとともに、活性炭系濾過手段を通過した空気に対し
て、濾過行程の後段のイオン交換体に必要な水分の補給
が行われるので、水分の調整が容易であり、圧力損失を
小さく保つことが容易になる。

【００３２】イオン交換系濾過手段は、ユニット形状が
プリーツ折り直交流型、平行流型、ハニカム形状型より
選択されたものであり、強度的に高く取り扱い性もよ
く、強酸性カチオン繊維によりアルカリ性ガスを、弱塩
基性アニオン繊維により酸を除去する効果的に吸着視
し、しかも、各ユニットごとに別々の系統にて加湿調整
できるようにした場合においては、各ユニットに最適な
加湿状態を維持することができ、極めて効果的な空気清
浄化を可能するものである。更に加湿手段の水分の供給
系系統は、イオン交換系濾過手段の一部を挟むように分
離して配置されていることで、水分供給を一度に一カ所
に集中させる必要がなく、分散も容易であり必要以上の
スペースを取らず少スペース化が図れるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のケミカルフィルタ装置の一実施形態を
示す概略図である。

【図２】本発明に適用するフィルタユニットの一実施形
態を示す概略斜視図である。

【図３】本発明に適用するフィルタユニットの一実施形
態を示す分解斜視図である。

【図４】本発明に適用するフィルタユニットの一実施形
態を示す分解斜視図である。

【図５】本発明に適用するフィルタユニットの一実施形
態を示す要部の分解斜視図である。

【図６】本発明に適用するフィルタユニットのテストを
行うための試験装置の概略図である。

【符号の説明】

１プレフィルタ２中性能フィルタ３活性炭素系濾過手段４強酸性カチオン交換繊維５弱塩基性アニオン交換繊維６空気清浄ダクト７第一給水系統８第二給水系統９空気入口側１０空気出口１１給水システム１２超純水製造システム１５イオン交換系濾過手段１６加湿手段２０制御系２１,２２測定器１００ケミカルフィルタ装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＢ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢＢ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢＢ 53/81 ＺＡＢ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】濾過行程の前段に活性炭または活性炭素
繊維からなる活性炭系濾過手段と、前記活性炭系濾過手段を通過した気体に加湿処理を施す
加湿手段と、前記加湿手段にて加湿される領域若しくは加湿された下
流側領域に、放射線グラフト重合法により作製したイオ
ン交換体のうち強酸性カチオン繊維と弱塩基性アニオン
繊維とを組み合わせてなるイオン交換系濾過手段と、を
備えたケミカルフィルタ装置。
【請求項２】前記活性炭系濾過手段は、前記活性炭が
ハニカム活性炭から構成され、前記活性炭素繊維がプリ
ーツ折り形状に構成された請求項１に記載のケミカルフ
ィルタ装置。
【請求項３】前記イオン交換系濾過手段は、フィルタ
ユニット形状がプリーツ折りの直交流型、平行流型、ハ
ニカム形状型より選択されたものから構成された請求項
１又は２に記載のケミカルフィルタ装置。
【請求項４】前記イオン交換系濾過手段における前記
強酸性カチオン繊維と前記弱塩基性アニオン繊維とを加
湿する系統が別系統に構成されたことを特徴とする請求
項１から３のいずれかに記載のケミカルフィルタ装置。
【請求項５】前記強酸性カチオン繊維と前記弱塩基性
アニオン繊維とを加湿するそれぞれの系統を、異なった
加湿条件にて調節することを特徴とする請求項４に記載
のケミカルフィルタ装置の制御方法。
【請求項６】前記強酸性カチオン繊維が配置された領
域を相対湿度２０％以上に、前記弱塩基性アニオン繊維
が配置された領域を４０％以上に加湿することを特徴と
する請求項５に記載のケミカルフィルタ装置の制御方
法。