JPH10230117A - Chemical filter device and its control method - Google Patents
Chemical filter device and its control methodInfo
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- JPH10230117A JPH10230117A JP9033781A JP3378197A JPH10230117A JP H10230117 A JPH10230117 A JP H10230117A JP 9033781 A JP9033781 A JP 9033781A JP 3378197 A JP3378197 A JP 3378197A JP H10230117 A JPH10230117 A JP H10230117A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はケミカルフィルタ装
置に関し、特に、半導体産業など精密電子工業や医療品
製造業などにおいて、最近使用されているクリーンルー
ムのの清浄化を保持するために用いて好適な外調器用の
ケミカルフィルタ装置及びその制御方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical filter device, and more particularly, to a chemical filter device suitable for use in the precision electronics industry, such as the semiconductor industry, and the medical product manufacturing industry, for maintaining the cleanliness of a recently used clean room. The present invention relates to a chemical filter device for an external modulator and a control method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、半導体産業など精密電子工業
や医療品製造業などにおいて、製品の高品質化や歩留ま
りを高めるために、例えばクリーンルーム等の各種の空
気清浄設備が用いられている。このクリーンルーム設備
において、外気を取り込み、温度・湿度調節を行うとと
もに空気中のガス成分を除去する外調器用として用いる
ケミカルフィルタ装置がある。このケミカルフィルタ装
置の構成要素としては、例えば活性炭粒子や活性炭繊維
があり、また、この活性炭粒子や活性炭繊維に酸やアル
カリを添着したものを用いることができる。一方、イオ
ン交換体を用いたケミカルフィル装置は、ｐｐｂレベル
のガス成分の除去率が高いばかりでなく、被吸着物の再
放出がないことから、近年、特に、空気中のイオン性物
質の排除が望ましいとされている半導体製造工場、液晶
製造工場などの関連業界で使用されるようになってきて
いる。2. Description of the Related Art In the precision electronics industry, such as the semiconductor industry, and the medical product manufacturing industry, various types of air purifying equipment, such as a clean room, have been used to improve the quality of products and increase the yield. In this clean room facility, there is a chemical filter device used as an external controller for taking in outside air, controlling temperature and humidity, and removing gas components in the air. The constituent elements of the chemical filter device include, for example, activated carbon particles and activated carbon fibers, and those obtained by impregnating the activated carbon particles or activated carbon fibers with an acid or an alkali can be used. On the other hand, a chemical fill device using an ion exchanger not only has a high removal rate of gas components at the ppb level but also has no re-emission of adsorbed substances. Are being used in related industries such as semiconductor manufacturing plants and liquid crystal manufacturing plants, which are considered desirable.
【０００３】上述のようなケミカルフィルタ装置を用い
た空気浄化システムとしては、これまでに種々の構成の
ものが提案されている。そして、イオン交換体を用いた
空気浄化システムとして、加湿手段を設けたものがあ
る。この加湿手段を設ける理由としては、イオン交換体
が水分を多く含むことにより、該イオン交換体を通過す
る空気中のイオン性物質の吸着捕集機能が高まることが
しられていることによる。前掲の加湿手段を設けた設備
として、例えば、イオン交換繊維を有する中程度の濾過
性能のフィルタ、高性能なフィルタと、ミスト除去用の
フィルタとを直列に配置して構成された濾過領域を設
け、この濾過領域の上流側において、蒸気を放出する加
湿手段を設けるとともに空気の温度・湿度を検出する手
段、さらには加湿程度を制御するための制御系を備えた
設備等が提案されている。As an air purification system using the above-described chemical filter device, various configurations have been proposed so far. Some air purification systems using an ion exchanger are provided with humidifying means. The reason for providing the humidifying means is that the ion-exchanger contains a large amount of moisture, thereby enhancing the function of adsorbing and collecting ionic substances in the air passing through the ion-exchanger. As the equipment provided with the humidifying means described above, for example, a filter having a medium filtration performance having ion exchange fibers, a high performance filter, and a filter for mist removal provided in series are provided. On the upstream side of the filtration area, there are proposed humidifying means for releasing steam, means for detecting the temperature and humidity of air, and equipment provided with a control system for controlling the degree of humidification.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おけるイオン交換体と加湿手段の組み合わせの場合で
は、ＳＯX 、ＮＯX の除去するのみであり、特に半導体
関連の工場等に適用するケミカルフィルタ装置では、酸
・アルカリ性ガス以外に有機物の効果的な除去まで必要
となってきていることから、前掲の従来設備では有機物
の除去まで効果的な除去できるかどうかについては疑問
があった。[SUMMARY OF THE INVENTION However, in the case of a combination of ion exchanger and the humidifying means in the prior art, only to remove the SO X, NO X, in the chemical filter device particularly applicable to semiconductor-related plants such as Since it has become necessary to effectively remove organic substances other than acid and alkaline gases, it has been questioned whether the above-mentioned conventional equipment can effectively remove organic substances.
【０００５】更に、従来の加湿の仕方においても、単に
イオン交換体の上流側において比較的大きな加湿領域を
設け、この領域にて加湿した空気を、直列配置された複
数のイオン交換体側に流すものであることから、上流側
に配置されたイオン交換体が吸湿するために、下流側に
配置されたイオン交換体に流れてくる空気の湿度は不測
に変化し、その正確な制御は実質的に不可能である。ま
た、このように、湿度制御が実質的に正確にできないこ
とからして、水分がイオン交換体に付着することに起因
する送風における圧損の調節が不十分となったり、送風
速度の高速化が困難なったり、無理に送風系の駆動手段
等を強力にして送風を行うようにすることによる振動等
による機械的トラブルや騒音の増大の問題もあった。ま
た、個々のイオン交換体に対して正確な湿度調節が困難
なことから、個々のイオン交換体の効率的な使用ができ
なかったりしていた。さらにまた、従来の設備では、加
湿手段を設けたり、複数のイオン交換体を用いたりして
いるものの、単に濾過性能順に直列配置された複数のイ
オン交換体や大きな加湿領域があることから、設備が比
較的大きくなる傾向があった。Further, in the conventional humidification method, a relatively large humidification area is simply provided on the upstream side of the ion exchanger, and air humidified in this area flows to the plurality of ion exchangers arranged in series. Therefore, since the ion exchanger arranged on the upstream side absorbs moisture, the humidity of the air flowing to the ion exchanger arranged on the downstream side changes unexpectedly, and its precise control is substantially controlled. Impossible. In addition, since the humidity control cannot be performed substantially accurately as described above, the adjustment of the pressure loss in the ventilation caused by the adhesion of the moisture to the ion exchanger becomes insufficient, and the speed of the ventilation increases. There are also problems such as difficulty in increasing the mechanical trouble and noise due to vibration and the like caused by forcibly blowing the air by driving the driving means of the blowing system forcibly. In addition, since it is difficult to accurately control the humidity of each ion exchanger, it has not been possible to use each ion exchanger efficiently. Furthermore, in the conventional equipment, although humidifying means is provided or a plurality of ion exchangers are used, since there are a plurality of ion exchangers and a large humidification area which are simply arranged in series in the order of filtration performance, the equipment Tended to be relatively large.
【０００６】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、（１）低圧損であり、機械的なトラブル要因
となる振動、騒音が少ない低速ファンを適用することが
できること、（２）フィルタ寿命が長寿命でフィルタの
交換作業等のメンテナンスに好都合であること、（３）
空気中の広範囲の不純物に対して除去率が高除去率であ
ること、（４）クリーン化を妨げるフィルタ自信からの
発塵がないこと、が可能なケミカルフィルタ装置及びそ
の制御方法を提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and (1) a low-pressure fan having low pressure loss and low vibration and noise which cause mechanical trouble can be applied; (2) (3) The filter has a long life and is convenient for maintenance such as filter replacement.
To provide a chemical filter device and a control method thereof capable of achieving a high removal ratio for a wide range of impurities in the air, and (4) no dust generated from the filter itself which hinders cleanliness. It is intended for.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明者ら
の鋭意研究の結果、以下の本発明により達成することが
できる。 （１）濾過行程の前段に活性炭または活性炭素繊維から
なる活性炭系濾過手段と、前記活性炭系濾過手段を通過
した気体に加湿処理を施す加湿手段と、前記加湿手段に
て加湿される領域若しくは加湿された下流側領域に、放
射線グラフト重合法により作製したイオン交換体のうち
強酸性カチオン繊維と弱塩基性アニオン繊維とを組み合
わせてなるイオン交換系濾過手段と、を備えたケミカル
フィルタ装置により達成される。 （２）前記活性炭系濾過手段は、前記活性炭がハニカム
活性炭から構成され、前記活性炭素繊維がプリーツ折り
形状に構成された上記（１）に記載のケミカルフィルタ
装置。 （３）前記イオン交換系濾過手段は、フィルタユニット
形状がプリーツ折りの直交流型、平行流型、ハニカム形
状型より選択されたものから構成された上記（１）また
は（２）に記載のケミカルフィルタ装置。The above object can be achieved by the following present invention as a result of the inventors' intensive studies. (1) Activated carbon-based filtering means made of activated carbon or activated carbon fiber, humidifying means for humidifying a gas passing through the activated carbon-based filtering means, and an area or humidified by the humidifying means at a stage preceding the filtration step In the downstream region, the ion-exchange filtration means comprising a combination of a strongly acidic cation fiber and a weakly basic anion fiber among ion exchangers produced by a radiation graft polymerization method. You. (2) The chemical filter device according to (1), wherein the activated carbon-based filtering means is configured such that the activated carbon is formed of honeycomb activated carbon and the activated carbon fibers are formed in a pleated shape. (3) The chemical according to (1) or (2), wherein the ion-exchange filtration means is configured such that the filter unit shape is selected from a pleated cross-flow type, a parallel flow type, and a honeycomb shape type. Filter device.
【０００８】（４）前記イオン交換系濾過手段における
前記強酸性カチオン繊維と前記弱塩基性アニオン繊維と
を加湿する系統が別系統に構成されたことを特徴とする
上記（１）から（３）のいずれかに記載のケミカルフィ
ルタ装置。 （５）前記強酸性カチオン繊維と前記弱塩基性アニオン
繊維とを加湿するそれぞれの系統を、異なった加湿条件
にて調節することを特徴とする上記（４）に記載のケミ
カルフィルタ装置の制御方法。 （６）前記強酸性カチオン繊維が配置された領域を相対
湿度２０％以上に、前記弱塩基性アニオン繊維が配置さ
れた領域を４０％以上に加湿することを特徴とする上記
（５）に記載のケミカルフィルタ装置の制御方法。(4) In the above-mentioned (1) to (3), a system for humidifying the strongly acidic cation fibers and the weakly basic anion fibers in the ion-exchange filtration means is configured as a separate system. The chemical filter device according to any one of the above. (5) The method for controlling the chemical filter device according to (4), wherein the respective systems for humidifying the strongly acidic cation fibers and the weakly basic anion fibers are adjusted under different humidification conditions. . (6) The region in which the strongly acidic cation fibers are arranged is humidified to a relative humidity of 20% or more, and the region in which the weakly basic anion fibers are arranged is humidified to 40% or more. Control method of the chemical filter device.
【０００９】上述のように、本発明のごとく、濾過行程
の前段に活性炭または活性炭素繊維を、中間に加湿シス
テムを設置、後段に放射線グラフト重合法により作製し
たイオン交換体のうち強酸性カチオン繊維と弱塩基性ア
ニオン繊維を組み合わせた構成である。したがって、活
性炭素繊維、活性炭からなる活性炭系濾過手段を濾過行
程の前段で使用することで、季節によっては高湿度とな
るものの、この活性炭系濾過手段の微細な孔に水分が捕
捉されることから吸入される空気の湿度変化を小さくで
き、安定した濾過機能を保証することができる。更に、
前記イオン交換体においては、繊維表面にイオン交換機
能が集中していることで、吸着速度が大きく、また、固
体内濃度拡散効果により、低濃度ガスに対して有効であ
る。また、除去性能の機能分担として、本発明において
は、強酸性カチオン繊維によりアルカリ性ガスを除去で
き、弱塩基性アニオン繊維により酸性ガスを除去するこ
とができる。As described above, according to the present invention, activated carbon or activated carbon fiber is installed in the first stage of the filtration step, a humidification system is installed in the middle, and the strongly acidic cation fiber in the ion exchanger produced by the radiation graft polymerization method is installed in the second stage. And a weak basic anion fiber. Therefore, by using the activated carbon-based filtration means made of activated carbon fiber and activated carbon in the first stage of the filtration process, although the humidity may be high depending on the season, the fine pores of the activated carbon-based filtration means capture moisture. The change in humidity of the inhaled air can be reduced, and a stable filtration function can be guaranteed. Furthermore,
In the ion exchanger, since the ion exchange function is concentrated on the fiber surface, the adsorption rate is high, and the effect of diffusing the concentration in the solid is effective for low concentration gas. In the present invention, as the function sharing of the removal performance, the alkaline gas can be removed by the strongly acidic cation fiber, and the acidic gas can be removed by the weakly basic anion fiber.
【００１０】更に、活性炭系濾過手段を通過した空気に
対して、濾過行程の後段のイオン交換体に必要な水分の
補給が行われるので、水分の調整が容易であり、圧力損
失を小さく保つことも容易になる。イオン交換系濾過手
段は、ユニット形状がプリーツ折り直交流型、平行流
型、ハニカム形状型より選択されたものであり、強度的
に高く取り扱い性もよく、強酸性カチオン繊維によりア
ルカリ性ガスを、弱塩基性アニオン繊維により酸を除去
する効果的に吸着視し、しかも、各ユニットごとに別々
の系統にて加湿調整できるようにした場合においては、
各ユニットに最適な加湿状態を維持することができ、極
めて効果的な空気清浄化を可能するものである。更に加
湿手段の水分の供給系系統は、イオン交換系濾過手段の
一部を挟むように分離して配置されていることで、水分
供給を一度に一カ所に集中させる必要がなく、分散も容
易であり必要以上のスペースを取らず少スペース化が図
れるものである。Further, since the water passing through the activated carbon-based filtration means is replenished with the water necessary for the ion exchanger at the latter stage of the filtration process, the water content can be easily adjusted and the pressure loss can be kept small. Will also be easier. The ion-exchange filtration means has a unit shape selected from a pleated straight-flow type, a parallel flow type, and a honeycomb shape type, and has a high strength and good handleability. In the case where the basic anion fiber effectively removes the acid to visually adsorb, and when the humidification can be adjusted by a separate system for each unit,
An optimal humidification state can be maintained for each unit, and extremely effective air cleaning can be achieved. Furthermore, since the water supply system of the humidifying means is separated and arranged so as to sandwich a part of the ion exchange filtration means, it is not necessary to concentrate the water supply at one place at a time, and dispersion is easy. Therefore, the space can be reduced without taking more space than necessary.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図１を参照して詳細に説明する。本発明のケミカルフ
ィルタ装置１００は、空気清浄ダクト６に、空気入口側
９から、プレフィルタ１、中性能フィルタ２を配列し、
次にケミカルフィルタの主要素として、有機物を除去す
るプリーツ折り構造の活性炭素繊維またはハニカム状添
着活性炭素から構成された活性炭素系濾過手段３、強酸
性カチオン交換繊維４、弱塩基性アニオン交換繊維５か
らなるイオン交換系濾過手段１２の順で配列されてい
る。また、第一給水系統７が強酸性カチオン交換繊維４
の上流側に接続され、且つ第二給水系統８が弱塩基性ア
ニオン交換繊維５の上流側に接続された加湿手段１６が
設けられている。なお、図１において、１２は超純水製
造システムであり、１１は給水システムである。更に、
プレフィルタ１は例えば、ポリプロピレン、ポリエステ
ルから構成することができ、中性能フィルタ２は例えば
ポリプロピレン、ポリエステルから構成することができ
る。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to FIG. In the chemical filter device 100 of the present invention, the pre-filter 1 and the medium-performance filter 2 are arranged in the air cleaning duct 6 from the air inlet side 9,
Next, as the main elements of the chemical filter, activated carbon-based filtering means 3, composed of activated carbon fibers having a pleated structure or honeycomb-like impregnated activated carbon for removing organic substances, strongly acidic cation exchange fibers 4, weakly basic anion exchange fibers 5 are arranged in this order. In addition, the first water supply system 7 includes the strongly acidic cation exchange fibers 4.
And a humidifying means 16 connected to the upstream side of the second water supply system 8 and connected to the upstream side of the weakly basic anion exchange fiber 5. In FIG. 1, reference numeral 12 denotes an ultrapure water production system, and reference numeral 11 denotes a water supply system. Furthermore,
The pre-filter 1 can be made of, for example, polypropylene or polyester, and the medium-performance filter 2 can be made of, for example, polypropylene or polyester.
【００１２】上述の活性炭系濾過手段３により有機物と
同時に吸着される水分を補給する加湿手段１６は、超純
水給水を供給できるものであり、第一加湿系統７により
強酸性カチオン交換繊維４の効果を高め、第二加湿系統
８により弱塩基性アニオン交換繊維５のイオン吸着効果
を高い状態に維持することができる。なお、上記各加湿
系統７、８は、例えば通常の水道水の給水システム１１
を超純水製造システム１２に通すことで、不純物のない
超純水が得られる。更にまた、水分を補給する加湿手段
の加湿方法は、水スプレイ（噴霧状）、蒸気のいずれで
も良い。The humidifying means 16 for replenishing the water adsorbed simultaneously with the organic matter by the activated carbon-based filtering means 3 can supply ultrapure water supply water. The effect can be enhanced, and the second humidification system 8 can maintain the ion-adsorbing effect of the weakly basic anion exchange fiber 5 in a high state. Each of the humidification systems 7 and 8 includes, for example, a normal tap water supply system 11.
Is passed through the ultrapure water production system 12, so that ultrapure water without impurities can be obtained. Furthermore, the humidifying method of the humidifying means for replenishing moisture may be any of water spray (spray-like) and steam.
【００１３】加湿条件の制御方法としては、前掲の第一
加湿系統７と第二加湿系統８とを別々の加湿条件で動作
させる。これにより、強酸性カチオン交換繊維４と弱塩
基性アニオン交換繊維５のそれぞれの特質に最適な加湿
を容易に行うことができる。例えば強酸性カチオン交換
繊維４の加湿は、該強酸性カチオン交換繊維４の空気流
入口側で相対湿度２０％以上であれば、効率的な吸着が
でき良い結果が得られることが判明した。一方、弱塩基
性アニオン交換繊維５の加湿は、該弱塩基性アニオン交
換繊維５への空気流入口側で相対湿度４０％以上であれ
ば、効率的な吸着ができ良好な結果が得られることが判
明した。このように、イオン交換系濾過手段１５におけ
る強酸性カチオン繊維４と弱塩基性アニオン繊維５とを
加湿する系統７、８が別系統に構成されているので、加
湿するそれぞれの系統を、異なった加湿条件にて調節す
ることができる。なお、湿度のコントロールは、例えば
図示の如き制御手段２０を有する制御系にて行うことが
できるが、本発明においては、湿度コントロール用の測
定器２１、２２は、上述のプリーツ折り活性炭素繊維ま
たはハニカム状活性炭素繊維からなる活性炭系濾過手段
３の直後ならびに強酸性カチオン交換繊維４の直後に設
置する。As a method of controlling humidification conditions, the first humidification system 7 and the second humidification system 8 described above are operated under different humidification conditions. Thereby, humidification optimal for each characteristic of the strongly acidic cation exchange fiber 4 and the weakly basic anion exchange fiber 5 can be easily performed. For example, it was found that when the humidification of the strongly acidic cation exchange fiber 4 was performed at a relative humidity of 20% or more on the air inlet side of the strongly acidic cation exchange fiber 4, efficient adsorption was achieved and good results were obtained. On the other hand, the humidification of the weakly basic anion exchange fiber 5 can be performed efficiently if the relative humidity is 40% or more at the air inlet side to the weakly basic anion exchange fiber 5 and good results can be obtained. There was found. As described above, since the systems 7 and 8 for humidifying the strongly acidic cation fibers 4 and the weakly basic anion fibers 5 in the ion exchange filtration unit 15 are configured as separate systems, the respective systems for humidification are different. It can be adjusted under humidification conditions. The humidity can be controlled by, for example, a control system having a control means 20 as shown in the figure. In the present invention, the humidity control measuring devices 21 and 22 include the above-described pleated folded activated carbon fiber or It is installed immediately after the activated carbon type filtration means 3 made of honeycomb activated carbon fibers and immediately after the strongly acidic cation exchange fibers 4.
【００１４】本発明における活性炭系濾過手段３は、前
掲のようにハニカム活性炭から構成されものや、さらに
は活性炭素繊維がプリーツ折り形状に構成されている
が、この活性炭素系濾過要素３は、例えば図２に示すよ
うに、平板状活性炭素繊維６１と適宜折り曲げられた形
状のハニカム状活性炭素繊維６２とを交互に重ね合わ
せ、矢印Ａ方向から見てハニカム形状の構成とすること
ができる。The activated carbon-based filtering means 3 in the present invention is composed of honeycomb activated carbon as described above, and furthermore, the activated carbon fibers are composed in a pleated form. For example, as shown in FIG. 2, a flat activated carbon fiber 61 and an appropriately folded honeycomb activated carbon fiber 62 may be alternately overlapped to form a honeycomb-shaped configuration when viewed from the arrow A direction.
【００１５】本発明におけるイオン交換系濾過手段１５
は、要素形状として、下記するようなプリーツ折りの直
交流型、平行流型、ハニカム形状型より選択することが
できる。The ion-exchange filtration means 15 of the present invention
Can be selected from the following pleat-folded cross flow type, parallel flow type, and honeycomb shape type as the element shape.
【００１６】直交流型ものは、図３に示すように、例え
ば、組上がった状態で矩形状なるような適宜形状の外枠
８１，８２，８３，８４で支持された空間に、複数のフ
ィルタを積層してプリーツ加工して形成したフィルタユ
ニット８０の入口側プリーツの間にガス流路を形成する
ための入口側セパレータ７０を挿入し、出口側プリーツ
の間に出口側セパレータ７１を挿入し、前記ガス流路が
フィルタ素材の折り目に対して直交な流路（矢印Ａにて
示す方向の流路）を形成する形態である。そして、前記
セパレータ７０、７１は、小孔７３が多数形成された多
孔板として形成されている。なお、図４には、前記セパ
レータが、網７２、７３にて構成されたものを図示し
た。図４において、網７２、７３以外の構成は図３に示
す構成と同様であるので、説明を省略する。As shown in FIG. 3, the cross-flow type includes a plurality of filters provided in a space supported by outer frames 81, 82, 83, and 84 having an appropriate shape such as a rectangular shape when assembled. Inserting the inlet separator 70 for forming a gas flow path between the inlet pleats of the filter unit 80 formed by laminating and pleating the filter unit, inserting the outlet separator 71 between the outlet pleats, The gas flow path forms a flow path orthogonal to the fold of the filter material (flow path in the direction indicated by arrow A). The separators 70 and 71 are formed as perforated plates having a large number of small holes 73 formed therein. FIG. 4 illustrates the separator composed of the nets 72 and 73. In FIG. 4, the configuration other than the networks 72 and 73 is the same as the configuration shown in FIG.
【００１７】また、平行流型は、図５に示すように、適
当な外枠（図示せず）で支持された空間に、布状のフィ
ルタユニット９０と、該フィルタ素材間にガス流路を形
成するためのセパレータ７１を積み重ねて固定したエア
フィルタである。そして、ガス流路（矢印Ａにて示す方
向の流路）がフィルタユニット９０の配置に対して平行
な流路を形成するように構成された形態である。そし
て、前記セパレータ７０は小孔７０を備えた多孔板など
から形成することができる。In the parallel flow type, as shown in FIG. 5, a cloth-like filter unit 90 and a gas flow path between the filter materials are provided in a space supported by an appropriate outer frame (not shown). This is an air filter in which separators 71 to be formed are stacked and fixed. The gas flow path (flow path in the direction indicated by arrow A) is configured to form a flow path parallel to the arrangement of the filter unit 90. The separator 70 can be formed from a perforated plate having small holes 70 or the like.
【００１８】また、ハニカム形状型について更に説明す
ると、その基本的構成は、外枠で支持された空間に、布
状のフィルタ素材と、該フィルタ素材間にガス流路を形
成するためのセパレータを積み重ねて固定したエアフィ
ルタであって、このガス流路がフィルタ素材に対して平
行な流路を形成すると共に、前記セパレータが布状のフ
ィルタ素材から形成されたプリーツ状若しくはハニカム
状のものから構成されている。そして、上下の布状のフ
ィルタ素材とセパレータを形成するプリーツ状若しくは
ハニカム状の布状のフィルタ素材とが融着して固定され
た形態であり、例えば、図２における矢印Ａ方向から見
てハニカム状の構造である。なお、上下の布状のフィル
タ素材とハニカム状の布状のフィルタ素材は、同一の素
材であっても、異種のものでもよい。Further, the honeycomb shape type will be further described. The basic configuration is such that a cloth-like filter material and a separator for forming a gas flow path between the filter materials are provided in a space supported by an outer frame. An air filter fixed by stacking, wherein the gas flow path forms a flow path parallel to the filter material, and the separator is formed of a pleated or honeycomb shape formed from a cloth-like filter material. Have been. The upper and lower cloth-like filter materials and a pleated or honeycomb-like cloth-like filter material forming a separator are fused and fixed. For example, the honeycomb is viewed from the direction of arrow A in FIG. It is a structure of the shape. The upper and lower cloth filter materials and the honeycomb cloth filter material may be the same material or different materials.
【００１９】[0019]
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。な
お、本発明は以下説明する各実施例に何ら限定されるも
のではない。 （実施例１）図５に示す試験装置を用いて、空気濾過を
実施した。なお、図５において、５１は空気入口、５２
は送風機、５３はケーシング、５４はフィルタユニッ
ト、５５はガスボンベ、５６はガス入口、５７はプレフ
ィルタ、５８は空気・ガス出口である。各フィルタユニ
ット５４の寸法は、幅（W）が３０５mm,高さ（H）が３
０５mm,厚さ（D）が２９０mmであり、放射線グラフト重
合法により作成したプリーツ折りイオン交換繊維からな
るものを使用した。Embodiments of the present invention will be described below. The present invention is not limited to the embodiments described below. (Example 1) Air filtration was performed using a test apparatus shown in FIG. In FIG. 5, reference numeral 51 denotes an air inlet;
Is a blower, 53 is a casing, 54 is a filter unit, 55 is a gas cylinder, 56 is a gas inlet, 57 is a pre-filter, and 58 is an air / gas outlet. The dimensions of each filter unit 54 are 305 mm in width (W) and 3 in height (H).
A pleated ion exchange fiber having a thickness of 0.05 mm and a thickness (D) of 290 mm and produced by radiation graft polymerization was used.
【００２０】空気の送風条件は、単位時間当たりの送風
量８〜９ｍ3／ｍｉｎ、風速２ｍ／ｓ、アンモニア濃度
１０ｐｐｍの条件で加速試験を行った。プレフィルタは
ポリプロピレン、ポリエステル製の粗粒子除去フィルタ
を使用し、供給空気の温度は２４〜２５度ｃ、湿度は４
０〜５０％とした。初期除去率は、放射線グラフト重合
法により作成したイオン交換繊維で９９．９９％であっ
た。プリーツ折り添着活性炭素繊維で８８％であった。
フィルタユニットの１０％破過まで（除去率９０％を下
廻るまで）の経過時間は、放射線グラフト重合法により
作成したイオン交換繊維で５５０分、プリーツ折り添着
活性炭素繊維で３０分であった。The acceleration test was carried out under the conditions of air blowing at a rate of 8 to 9 m 3 / min per unit time, a wind speed of 2 m / s, and an ammonia concentration of 10 ppm. The pre-filter uses a coarse particle removal filter made of polypropylene or polyester.
0 to 50%. The initial removal rate was 99.99% for ion-exchange fibers produced by the radiation graft polymerization method. It was 88% in the pleated folding activated carbon fiber.
The elapsed time until 10% breakthrough of the filter unit (until the removal rate was less than 90%) was 550 minutes for ion-exchange fibers produced by the radiation graft polymerization method and 30 minutes for the pleated-folded activated carbon fibers.
【００２１】（実施例２）下記する条件以外は基本的に
は、実施例１と同じ条件で実施した。各フィルユニット
は同一寸法（６１０W ×６１０H ×１５０D ）のもの
で、放射線グラフト重合法により作成したプリーツ折り
イオン交換繊維とその他の製法で作成したプリーツ折り
イオン交換繊維を風速１ｍ／ｓ、アンモニア濃度１０ｐ
ｐｍの条件で加速試験を行った。初期除去率は、放射線
グラフト重合法のイオン交換繊維で９９．９９％、比較
例１として、その他の製法で作成したイオン交換繊維で
８０％であった。フィルタユニットの１０％破過まで
（除去率９０％を下廻るまで）の経過時間は、放射線グ
ラフト重合法のイオン交換繊維で３００分、比較例１で
あるその他の製法で作成したイオン交換繊維で５０分で
あった。(Example 2) The conditions were basically the same as those in Example 1, except for the following conditions. Each fill unit is of the same size (610W × 610H × 150D), and a pleat-folded ion-exchange fiber prepared by radiation graft polymerization and a pleated-fold ion-exchange fiber prepared by another method are applied at a wind speed of 1 m / s and an ammonia concentration of 10 p
An acceleration test was performed under pm conditions. The initial removal rate was 99.99% for the ion-exchange fiber of the radiation graft polymerization method, and 80% for the ion-exchange fiber prepared by another method as Comparative Example 1. The elapsed time up to 10% breakthrough of the filter unit (until the removal rate falls below 90%) is 300 minutes for the ion-exchange fiber of the radiation graft polymerization method, and 300 minutes for the ion-exchange fiber prepared by another production method of Comparative Example 1. 50 minutes.
【００２２】（実施例３）下記する条件以外は基本的に
は、実施例１と同じ条件で実施した。各フィルタユニッ
トは同一寸法（３０５W ×３０５H ×２９０D ）のもの
を用い、放射線グラフト重合法により作成したプリーツ
折りイオン交換繊維とハニカム状添着活性炭素繊維を風
速２ｍ／ｓ、アンモニア濃度１０ｐｐｍの条件で加速試
験及び濾過性能テストを行った。初期除去率は、放射線
グラフト重合法により作成したイオン交換繊維で９９．
９９％、ハニカム状添着活性炭素繊維で９５％であっ
た。フィルタの１０％破過まで（除去率９０％を下廻る
まで）の経過時間は、放射線グラフト重合法のイオン交
換繊維で５５０分、ハニカム状添着活性炭素繊維で３０
０分であった。Example 3 The operation was basically performed under the same conditions as in Example 1 except for the following conditions. Each filter unit has the same dimensions (305W x 305H x 290D), and accelerates pleated ion exchange fibers and honeycomb-shaped impregnated activated carbon fibers produced by radiation graft polymerization at a wind speed of 2 m / s and an ammonia concentration of 10 ppm. Tests and filtration performance tests were performed. The initial removal rate was 99.000 for ion-exchange fibers prepared by radiation graft polymerization.
The content was 99% for the honeycomb-like impregnated activated carbon fibers. The elapsed time until the filter breaks through 10% (until the removal rate falls below 90%) is 550 minutes for the ion-exchange fiber of the radiation graft polymerization method and 30 minutes for the honeycomb-shaped impregnated activated carbon fiber.
It was 0 minutes.
【００２３】（実施例４）本実施例は、上記実施例１お
いて、放射線グラフト重合法に使用する素材を、芯鞘構
造で芯がＰＥＴ、鞘がＰＥまたは、ＰＥ単繊維を用いて
製造した。一方、この比較例（比較例２）としては、芯
鞘構造で芯がＰＰ、鞘がＰＥの場合は、芯のＰＰもグラ
フト重合するため、ＰＰは紫外線、酸素により劣化が促
進されることが認められれた。この比較例２に対して、
本発明の実施例のごとく、芯がＰＥＴ、鞘がＰＥまたは
ＰＥ単繊維の場合は、ＰＥＴ、ＰＥとも放射線によるダ
メージが少ないため、紫外線、酸素による劣化が促進さ
れない。また、機械的強度変化について、本発明の実施
例においては、芯がＰＥＴ、鞘がＰＥまたはＰＥ単繊維
の場合の引っ張り強度は、アンモニア吸着後（条件：ア
ンモニア濃度１００μｇ／ｍ3,風速０．５ｍ／ｓにて３
０日間通気）で最初の引っ張り強度の２０％減であっ
た。これに対して、芯がＰＰ、鞘がＰＥの場合（比較例
５）の引っ張り強度は、アンモニア吸着後で最初の引っ
張り強度の６０％以上減であった。Example 4 In this example, the material used in the radiation graft polymerization method in Example 1 was manufactured using a core-sheath structure having a PET core, a PE sheath, or a PE single fiber. did. On the other hand, in this comparative example (Comparative Example 2), when the core is PP and the sheath is PE in the core-sheath structure, the PP of the core is also graft-polymerized, so that the degradation of PP is accelerated by ultraviolet rays and oxygen. It was recognized. For Comparative Example 2,
As in the embodiment of the present invention, when the core is PET and the sheath is PE or PE single fiber, both PET and PE are less damaged by radiation, so that deterioration by ultraviolet rays and oxygen is not promoted. Regarding the change in mechanical strength, in Examples of the present invention, when the core is PET and the sheath is PE or PE single fiber, the tensile strength is determined after ammonia adsorption (conditions: ammonia concentration 100 μg / m 3 , wind speed 0. 3 at 5m / s
(Aeration for 0 days) reduced the initial tensile strength by 20%. On the other hand, when the core was PP and the sheath was PE (Comparative Example 5), the tensile strength was reduced by 60% or more of the initial tensile strength after ammonia adsorption.
【００２４】（実施例５）本実施例においては、各フィ
ルタユニットは同一寸法（３０５W ×３０５H ×２９０
D ）の放射線グラフト重合法により作成したプリーツ折
りイオン交換繊維とプリーツ折り添着活性炭素繊維を、
図６の試験装置を用いて風速２ｍ／ｓの条件で０．３μ
ｍ以上の発塵試験を行った。放射線グラフト重合法のイ
オン交換繊維で発塵はなく、プリーツ折り添着活性炭素
繊維では、０．３〜１μｍで６０００個／ｃｆｍであっ
た。(Embodiment 5) In this embodiment, each filter unit has the same dimensions (305W × 305H × 290).
D) The pleat-folded ion-exchange fiber and the pleated-folded activated carbon fiber prepared by the radiation graft polymerization method of
0.3 μm at a wind speed of 2 m / s using the test apparatus of FIG.
m or more. The ion-exchange fiber of the radiation graft polymerization method did not generate dust, and the pleated-folded activated carbon fiber had a density of 0.3 to 1 μm at 6000 particles / cfm.
【００２５】（実施例６）各フィルタユニットの寸法
（６１０W ×６１０H ×１５０D ）の放射線グラフト重
合法により作成したプリーツ折りイオン交換繊維と比較
例４としてその他の製法（高圧、高温で触媒を加えた化
学グラフト重合法）で作成したプリーツ折りイオン交換
繊維を風速０〜２ｍ／ｓで圧力損失試験を行った。風速
１ｍ／ｓで放射線グラフト重合法のイオン交換繊維は２
ｍｍＡｑ、その他の製法のイオン交換繊維は３ｍｍＡｑ
であった。風速２ｍ／ｓで放射線グラフト重合法のイオ
ン交換繊維は６ｍｍＡｑ、その他の製法のイオン交換繊
維は８ｍｍＡｑであった。(Example 6) Pleated folded ion exchange fibers prepared by radiation graft polymerization with dimensions of each filter unit (610 W x 610 H x 150 D) and other production methods as Comparative Example 4 (a catalyst was added at high pressure and high temperature) The pleated folded ion exchange fiber prepared by the chemical graft polymerization method was subjected to a pressure loss test at an air velocity of 0 to 2 m / s. At a wind speed of 1 m / s, the ion-exchange fiber of the radiation graft polymerization method is 2
mmAq, 3 mmAq for ion exchange fiber of other manufacturing methods
Met. At a wind speed of 2 m / s, the ion-exchange fiber of the radiation graft polymerization method was 6 mmAq, and the ion-exchange fiber of other production methods was 8 mmAq.
【００２６】（実施例７）図１に示すケミカルフィルタ
装置を用いて、空気濾過を実施した。図１に示す各フィ
ルタユニットは同一寸法（３０５W ×３０５H ×２９０
D ）とし、放射線グラフト重合法により作成したプリー
ツ折りイオン交換繊維からなるものと、プリーツ折り添
着活性炭素繊維とを用いた。空気の送風条件は、単位時
間当たりの送風量５００ｍ3 ／hr. 、風速２ｍ／ｓ、ア
ンモニア濃度１０ｐｐｍの条件で濾過性能のテストを行
った。なお、プレフィルタはポリプロピレン、ポリエス
テル製の粗粒子除去フィルタを使用し、加湿条件は、噴
霧によるもので、第一加湿系統により、相対湿度２０〜
３０％、第二加湿系統により、相対湿度４０〜５０％、
供給空気の温度２０〜２５度とした。Example 7 Air filtration was carried out using the chemical filter device shown in FIG. Each filter unit shown in FIG. 1 has the same dimensions (305W × 305H × 290
D), a pleated folded ion exchange fiber prepared by a radiation graft polymerization method and a pleated folded activated carbon fiber were used. As the air blowing conditions, a filtration performance test was performed under the conditions of a blowing rate of 500 m 3 / hr. Per unit time, a wind speed of 2 m / s, and an ammonia concentration of 10 ppm. As the pre-filter, a coarse particle removal filter made of polypropylene or polyester was used, and the humidification was performed by spraying.
30%, depending on the second humidification system, relative humidity 40-50%,
The temperature of the supply air was 20 to 25 degrees.
【００２７】（比較例１）本比較例１は、図１において
炭素系濾過手段３の上流側に加湿系を配置した構成とし
た。この場合の諸条件は実施例７に準じる設定とした。
この結果、比較例１においては、炭素系に水分が吸着し
てしまい、炭素系の性能が著しく低下し、イオン交換系
の性能も低下が見られたのに対して、実施例７では、不
純物の濾過において良好な濾過性能を発揮することがで
きた。また、圧力損失の点においても、水分が付着する
ことで大きくなったが、実施例７においては圧力損失の
低下は極めて小さく優れていた。(Comparative Example 1) In Comparative Example 1, a humidification system was arranged upstream of the carbon-based filtration means 3 in FIG. Various conditions in this case were set according to the seventh embodiment.
As a result, in Comparative Example 1, water was adsorbed on the carbon system, and the performance of the carbon system was significantly reduced, and the performance of the ion exchange system was also reduced. And good filtration performance was able to be exhibited in the filtration. In addition, the pressure loss was increased by the adhesion of water, but in Example 7, the pressure loss was extremely small and excellent.
【００２８】（実施例８）図１に示すケミカルフィルタ
装置を用いて空気濾過を実施し、加湿条件の変化による
空気濾過性能の変化をみた。加湿条件の制御方法として
は、前掲の第一加湿系統７と第二加湿系統８とを表１の
如く別々の加湿条件で動作させる。Example 8 Air filtration was performed using the chemical filter device shown in FIG. 1, and changes in air filtration performance due to changes in humidification conditions were examined. As a method of controlling the humidification conditions, the first humidification system 7 and the second humidification system 8 described above are operated under different humidification conditions as shown in Table 1.
【００２９】[0029]
【表１】 [Table 1]
【００３０】なお、濾過性能評価において、◎印は性能
９０％以上、×印は性能５０％以下を示す。表１から判
るように、ケミカルフィルタ装置の性能は、強酸性カチ
オン交換繊維において相対湿度２０％、弱塩基性アニオ
ン交換繊維において相対湿度４０％を越えると極めて良
くなる。In the evaluation of filtration performance, the mark ◎ indicates performance of 90% or more, and the mark of X indicates performance of 50% or less. As can be seen from Table 1, the performance of the chemical filter device becomes extremely good when the relative humidity exceeds 20% for the strongly acidic cation exchange fiber and 40% for the weakly basic anion exchange fiber.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上述べたように、本発明は、濾過行程
の前段に活性炭または活性炭素繊維を、中間に加湿シス
テムを設置、後段に放射線グラフト重合法により作製し
たイオン交換体のうち強酸性カチオン繊維と弱塩基性ア
ニオン繊維を組み合わせた構成である。したがって、活
性炭素繊維、活性炭からなる活性炭系濾過手段を濾過行
程の前段で使用することで、この活性炭系濾過手段の微
細な孔に水分を捕捉することができて、吸入される空気
の湿度変化を小さくでき、この下流側にある濾過手段の
安定した濾過機能を保証することができる。更に、本発
明のイオン交換体においては、繊維表面にイオン交換機
能が集中していることで、吸着速度が大きく、また、固
体内濃度拡散効果により、低濃度ガスに対して有効であ
るとともに、活性炭系濾過手段を通過した空気に対し
て、濾過行程の後段のイオン交換体に必要な水分の補給
が行われるので、水分の調整が容易であり、圧力損失を
小さく保つことが容易になる。As described above, according to the present invention, activated carbon or activated carbon fiber is installed in the first stage of the filtration process, a humidification system is installed in the middle, and the strongly acidic ion exchanger produced by the radiation graft polymerization method in the second stage. This is a configuration in which cationic fibers and weakly basic anionic fibers are combined. Therefore, by using activated carbon-based filtration means made of activated carbon fiber and activated carbon in the first stage of the filtration process, water can be captured in the fine pores of this activated carbon-based filtration means, and the humidity change of the inhaled air changes. Can be reduced, and a stable filtering function of the filtering means on the downstream side can be ensured. Furthermore, in the ion exchanger of the present invention, since the ion exchange function is concentrated on the fiber surface, the adsorption rate is high, and the concentration diffusion effect in the solid is effective for low concentration gas, The air that has passed through the activated carbon-based filtration means is replenished with the water necessary for the ion exchanger at the subsequent stage of the filtration process, so that the water can be easily adjusted and the pressure loss can be easily kept small.
【００３２】イオン交換系濾過手段は、ユニット形状が
プリーツ折り直交流型、平行流型、ハニカム形状型より
選択されたものであり、強度的に高く取り扱い性もよ
く、強酸性カチオン繊維によりアルカリ性ガスを、弱塩
基性アニオン繊維により酸を除去する効果的に吸着視
し、しかも、各ユニットごとに別々の系統にて加湿調整
できるようにした場合においては、各ユニットに最適な
加湿状態を維持することができ、極めて効果的な空気清
浄化を可能するものである。更に加湿手段の水分の供給
系系統は、イオン交換系濾過手段の一部を挟むように分
離して配置されていることで、水分供給を一度に一カ所
に集中させる必要がなく、分散も容易であり必要以上の
スペースを取らず少スペース化が図れるものである。The ion-exchange filtration means has a unit shape selected from a pleated straight-flow type, a parallel flow type, and a honeycomb type, and has a high strength and good handleability. In order to effectively remove the acid by the weak basic anion fiber and to adjust the humidification by a separate system for each unit, the optimal humidification state is maintained for each unit. This enables extremely effective air purification. Furthermore, since the water supply system of the humidifying means is separated and arranged so as to sandwich a part of the ion exchange filtration means, it is not necessary to concentrate the water supply at one place at a time, and dispersion is easy. Therefore, the space can be reduced without taking more space than necessary.
【図１】本発明のケミカルフィルタ装置の一実施形態を
示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing one embodiment of a chemical filter device of the present invention.
【図２】本発明に適用するフィルタユニットの一実施形
態を示す概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing one embodiment of a filter unit applied to the present invention.
【図３】本発明に適用するフィルタユニットの一実施形
態を示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing one embodiment of a filter unit applied to the present invention.
【図４】本発明に適用するフィルタユニットの一実施形
態を示す分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view showing one embodiment of a filter unit applied to the present invention.
【図５】本発明に適用するフィルタユニットの一実施形
態を示す要部の分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view of a main part showing one embodiment of a filter unit applied to the present invention.
【図６】本発明に適用するフィルタユニットのテストを
行うための試験装置の概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram of a test apparatus for testing a filter unit applied to the present invention.
１ プレフィルタ ２ 中性能フィルタ ３ 活性炭素系濾過手段 ４ 強酸性カチオン交換繊維 ５ 弱塩基性アニオン交換繊維 ６ 空気清浄ダクト ７ 第一給水系統 ８ 第二給水系統 ９ 空気入口側 １０ 空気出口 １１ 給水システム １２ 超純水製造システム １５ イオン交換系濾過手段 １６ 加湿手段 ２０ 制御系 ２１,２２測定器 １００ ケミカルフィルタ装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pre-filter 2 Medium performance filter 3 Activated carbon type filtration means 4 Strongly acidic cation exchange fiber 5 Weakly basic anion exchange fiber 6 Air purification duct 7 First water supply system 8 Second water supply system 9 Air inlet side 10 Air outlet 11 Water supply system 12 Ultrapure water production system 15 Ion exchange filtration means 16 Humidification means 20 Control system 21,22 measuring instrument 100 Chemical filter device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢ Ｂ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢＢ 53/81 ＺＡＢ ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI B01D 53/34 ZAB B01D 53/34 ZABB 53/81 ZAB
Claims (6)
繊維からなる活性炭系濾過手段と、 前記活性炭系濾過手段を通過した気体に加湿処理を施す
加湿手段と、 前記加湿手段にて加湿される領域若しくは加湿された下
流側領域に、放射線グラフト重合法により作製したイオ
ン交換体のうち強酸性カチオン繊維と弱塩基性アニオン
繊維とを組み合わせてなるイオン交換系濾過手段と、を
備えたケミカルフィルタ装置。1. An activated carbon-based filtering means made of activated carbon or activated carbon fiber before a filtration step; a humidifying means for humidifying a gas passed through the activated carbon-based filtering means; and a region humidified by the humidifying means. Alternatively, a chemical filter device comprising, in a humidified downstream region, an ion-exchange filtration unit comprising a combination of a strongly acidic cation fiber and a weakly basic anion fiber among ion exchangers produced by a radiation graft polymerization method.
ハニカム活性炭から構成され、前記活性炭素繊維がプリ
ーツ折り形状に構成された請求項１に記載のケミカルフ
ィルタ装置。2. The chemical filter device according to claim 1, wherein the activated carbon-based filtering means is configured such that the activated carbon is formed of honeycomb activated carbon, and the activated carbon fibers are formed in a pleated shape.
ユニット形状がプリーツ折りの直交流型、平行流型、ハ
ニカム形状型より選択されたものから構成された請求項
１又は２に記載のケミカルフィルタ装置。3. The chemical filter according to claim 1, wherein the ion-exchange filtration unit is formed of a filter unit having a shape selected from a pleated cross-flow type, a parallel flow type, and a honeycomb shape type. apparatus.
強酸性カチオン繊維と前記弱塩基性アニオン繊維とを加
湿する系統が別系統に構成されたことを特徴とする請求
項１から３のいずれかに記載のケミカルフィルタ装置。4. The system according to claim 1, wherein a system for humidifying the strongly acidic cation fibers and the weakly basic anion fibers in the ion exchange filtration unit is configured as a separate system. The chemical filter device as described in the above.
アニオン繊維とを加湿するそれぞれの系統を、異なった
加湿条件にて調節することを特徴とする請求項４に記載
のケミカルフィルタ装置の制御方法。5. The control of the chemical filter device according to claim 4, wherein respective systems for humidifying the strongly acidic cation fibers and the weakly basic anion fibers are adjusted under different humidification conditions. Method.
域を相対湿度２０％以上に、前記弱塩基性アニオン繊維
が配置された領域を４０％以上に加湿することを特徴と
する請求項５に記載のケミカルフィルタ装置の制御方
法。6. The method according to claim 5, wherein the region where the strongly acidic cationic fibers are arranged is humidified to a relative humidity of 20% or more, and the region where the weakly basic anionic fibers are arranged is humidified to 40% or more. The control method of the chemical filter device described in the above.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9033781A JPH10230117A (en) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | Chemical filter device and its control method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9033781A JPH10230117A (en) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | Chemical filter device and its control method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10230117A true JPH10230117A (en) | 1998-09-02 |
Family
ID=12396016
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9033781A Pending JPH10230117A (en) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | Chemical filter device and its control method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10230117A (en) |
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