JP4589038B2 - 濾材 - Google Patents
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Description
図1は本発明の一参考例に係る濾材を示す概略断面図である。
図1に示すように、本参考例に係る濾材10は、有機物を吸着する活性炭(活性炭層)1と、酸性ガスまたはアルカリ性ガスを吸着するゼオライト(ゼオライト層)3と、2枚の不織布2A,2Bとを備えている。活性炭1及びゼオライト3は2枚の不織布2A,2Bによって挟まれており、これにより活性炭1、ゼオライト3、及び不織布2A,2Bからなる積層構造が構成されている。図1に示す矢印は浄化すべき空気などの気体の流れ方向を示し、空気の流れ方向に沿って上流側から不織布2A、ゼオライト3、活性炭1、不織布2Bの順に配列されている。
図5に示すように、空気浄化装置は、図3(a)乃至図4(b)に示すフィルタユニット20と、このフィルタユニット20を収容する円筒状のケーシング21とを備えている。このケーシング21は、ケーシング本体22と、このケーシング本体22の上部に着脱可能に取り付けられる上部ケーシング23とを備えている。ケーシング21の内部には密閉空間25が形成されており、この密閉空間25内にフィルタユニット20が配置される。上部ケーシング23には浄化すべき空気を導くための空気取込流路26が設けられている。この空気取込流路26はフィルタユニット20の空気導入孔11(図3(a)参照)に連通している。また、上部ケーシング23には、密閉空間25に連通する空気排出流路27が形成されている。
図6に示すように、濾材製造装置は、不織布2Bを繰り出す第1の繰り出しローラ30と、不織布2Aを繰り出す第2の繰り出しローラ31と、活性炭1を収容する第1のふるい32と、ゼオライト3を収容する第2のふるい33と、バインダ剤36を収容する第3のふるい34と、バインダ剤36が添加された活性炭1及びゼオライト3を加熱して不織布2A,2Bに固定するためのヒーター37A,37Bと、第1及び第2の繰り出しローラ30,31からそれぞれ繰り出された不織布2A,2Bを巻き取るための巻き取りローラ38とを備えている。
一般に、半導体製造装置では、駆動源として圧縮空気を用いる場合がある。このような場合において、圧縮空気に粉塵や化学物質が含まれていると、半導体製造工程に悪影響を与えてしまい、欠陥や歩留まりの低下をもたらしてしまう。図7に示す半導体製造装置41には、図5に示す空気浄化装置42が接続されており、この空気浄化装置42によって半導体製造装置41に供給される圧縮空気を十分に浄化することができる。
2A,2B 不織布
3 ゼオライト
4 添着活性炭
8 容器
8A 外周壁
8B 内周壁
10 濾材
11 空気導入孔
12 空間
13A,13B 通孔
20 フィルタユニット
21 ケーシング
22 ケーシング本体
23 上部ケーシング
25 密閉空間
26 空気取込流路
27 空気排出流路
30 第1の繰り出しローラ
31 第2の繰り出しローラ
32 第1のふるい
33 第2のふるい
34 第3のふるい
36 バインダ剤
37A,37B ヒーター
38 巻き取りローラ
39 ガイドローラ
41 半導体製造装置
42 空気浄化装置
Claims (3)
- 気体を浄化する濾材であって、
粒状活性炭と、
アルカリ性ガスまたは酸性ガスを吸着する物質を添着させた添着活性炭と、
粒状ゼオライトと、
2枚の不織布と、
バインダ剤とを備え、
前記2枚の不織布の間に、前記バインダ剤を混合した前記粒状活性炭と、前記バインダ剤を混合した前記添着活性炭と、前記バインダ剤を混合した前記粒状ゼオライトとを積層した状態で加熱することにより、前記2枚の不織布の間に活性炭層、添着活性炭層、及びゼオライト層を構成して、前記2枚の不織布を前記活性炭層及び前記ゼオライト層に固定し、
前記添着活性炭層は、前記活性炭層と前記ゼオライト層との間に配置されており、
前記活性炭層を、気体の流れ方向において前記ゼオライト層及び前記添着活性炭層の下流側に配置して、前記ゼオライト層及び前記添着活性炭層から離脱した物質を前記活性炭層が捕捉するようにしたことを特徴とする濾材。 - 放射線グラフト重合を利用してマンガン酸化物を前記2枚の不織布のうちの少なくとも1つに担持させたことを特徴とする請求項1に記載の濾材。
- 前記濾材はプリーツ形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の濾材。
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