JPH10221406A - 半導体試験装置 - Google Patents
半導体試験装置Info
- Publication number
- JPH10221406A JPH10221406A JP9019199A JP1919997A JPH10221406A JP H10221406 A JPH10221406 A JP H10221406A JP 9019199 A JP9019199 A JP 9019199A JP 1919997 A JP1919997 A JP 1919997A JP H10221406 A JPH10221406 A JP H10221406A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tester
- signal
- calibration
- signal source
- calibrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
る手数を大幅に簡略化する。 【解決手段】 複数台のテスタ10A、10Bにおい
て、テスタ10Aの測定器12Aをリファレンス信号発
生器14によりキャリブレーションし、校正された測定
器12Aにより、次に信号源11Aをキャリブレーショ
ンし、以降は、テスタ10Aの信号源11Aの出力をリ
ファレンスとすべく、これをAD変換器17AでAD変
換してディジタルデータにし、フロッピディスク19な
どの媒体を通じて、他のテスタ10Bに与え、このディ
ジタルデータをDA変換器18BによりDA変換して、
アナログ波形のリファレンスとして測定器12Bに与え
てこれをキャリブレーションし、この測定器12Bを用
いて信号源11Bをキャリブレーションするように構成
することにより、テスタ10Bをはじめとして多数のテ
スタの信号源を、フロッピディスク19を介して簡単に
キャリブレーションすることが可能になる。
Description
り、特に複数台のテスタによる半導体の試験において、
キャリブレーションを行うのに適切な半導体試験装置に
関する。
は、各種テスト項目毎に対応してラインに組み込まれた
テスタが半導体試験装置として用いられている。
ながら、キャリブレーションを行い、測定誤差を生じな
いように維持管理されている。
ロック図である。
11を内蔵している。そして、この信号源11の出力測
定のために測定器12が備えられている。そして、スイ
ッチ13が信号源11と測定器12の間に設けられてい
る。さらに、テスタ10の外部にリファレンス信号発生
器14を準備し、測定ラインのスイッチ(リレー)15
を通じて、測定器12に接続可能としている。
ブレーション時には、まず測定器12の校正から実施す
る。この場合、測定ラインのスイッチ(リレー)15を
接続して、リファレンス信号発生器14からの信号を測
定器12で測定し、リファレンス信号のファクタと測定
値の誤差を算出し、まず、測定器12の誤差を校正す
る。
この場合、スイッチ(リレー)13を閉じて、信号源1
1の出力信号をスイッチ(リレー)13を通じて測定器
12に導き、設定値と測定値の誤差を算出し、信号源1
1の出力を調整する。
置した校正済のリファレンス信号発生器14により、ま
ず測定器12の誤差を校正し、この測定器12を用い
て、テスタ10の内部の信号源11を校正するので、リ
ファレンス信号発生器14の出力信号を基準に信号源1
1の校正ができ、精度の高いキャリブレーションが可能
になる。
全てのテスタ10に対して同様のキャリブレーション操
作を行うことにより、低減することが可能である。
は以上のように構成されていたので、以下に述べるよう
な問題点がある。
は、全てにわたり、人手により行うことになるため、非
常に手数がかかり、日常的な運用が困難であるという問
題点がある。
などの場合には、その手数は膨大であり、実際に運用す
る場合にも、テスタ10の保守、管理の作業手番に人手
によるキャリブレーションを組み込むのは非常に労力を
要する。
を解消し、テスタのキャリブレーションに関わる手数を
大幅に簡略化すると共に、複数台のテスタの機間誤差を
低減できる半導体試験装置を提供することを目的とす
る。
に、本発明は、テスタ出力を行う第1の信号源と前記第
1の信号源の出力信号をキャリブレーションのために測
定する第1の測定手段とを備える第1のテスタ手段と、
テスタ出力を行う第2の信号源と前記第2の信号源の出
力信号をキャリブレーションのために測定する第2の測
定手段とを備える第2のテスタ手段と、前記第1のテス
タ手段の第1の信号源のテスタ出力をリファレンスとし
て前記第2の測定手段のキャリブレーションを行わせる
信号伝達手段と、を備える半導体試験装置を提供するも
のである。
の実施の形態を説明する。 実施例1.図1は、本発明の実施例1の半導体試験装置
のブロック図である。
2台のテスタ10A、10Bが運用されているものとす
る。各テスタ10A、10Bには、それぞれテスタ出力
のための信号源11A、11Bが内蔵されている。ま
た、各信号源11A、11Bには、その出力信号を測定
するための測定器12A、12Bが備えられている。各
テスタ10A、10Bには、信号入出力装置16A、1
6Bが付属装置として設けられる。信号入出力装置16
A、16BはそれぞれAD変換器17A、17BとDA
変換器18A、18Bを備えており、テスタ10A、1
0Bの内部のアナログ信号をディジタル信号に変換して
外部とやりとりできる機能を有する。なお、信号入出力
装置16A、16Bのそれぞれの間のディジタル信号の
やりとりはフロッピディスク19により行われる。
の動作を説明する。
外部に設けた校正済のリファレンス信号発生器14を用
いて、その測定器12Aの校正を手動により実施する。
12Aを用いて、テスタ10Aの内部の信号源11Aの
出力波形のキャリブレーションをテスタ10A自身で行
う。
Aの各部の信号波形は、校正が完璧に行われている限
り、他のテスタ10Bに対してリファレンスとなり得
る。そして、このリファレンスデータは信号入出力装置
16Aに内蔵されるAD変換器17Aによりディジタル
値に変換される。
たテスタ10Aからのリファレンスデータは、フロッピ
ディスク19に保存される。
スタ10Bの信号入出力装置16Bにかけられ、読み込
まれる。信号入出力装置16Bに読み込まれたディジタ
ルリファレンスデータは、信号入出力装置16BのDA
変換器18Bによりディジタルデータからアナログ波形
に変換される。
信号入出力装置16Bから与えられるリファレンスアナ
ログ波形にしたがって、テスタ10Bの内部シーケンス
に基づいて、キャリブレーションを実施する。その結
果、測定器12Bの校正が自動的に実施される。
終了した後に、更にテスタ10Bの内部シーケンスにし
たがって、測定器12Bを用いて信号源11Bのキャリ
ブレーションを行い、これを校正する。
源11A、11Bは全く同じ状態に校正されることにな
る。
レンスデータを発生する側、テスタ10Bがリファレン
スデータを受け取る側として、それぞれ一台づつを例示
したが、リファレンスデータを受け取る側は、テスタ1
0B以外にも何台でもよいことはもちろんである。
信号発生器14などの外部機器を用いての人手によるキ
ャリブレーションはテスタ10Aの一台のみについて実
施すればよく、他のテスタ10Bについては、フロッピ
ディスク19でリファレンスデータを与えれば、テスタ
10B自身が自動的にキャリブレーションを実施するの
で、運用が容易になる。
共通のリファレンスデータで全てのテスタをキャリブレ
ーションするので、テスタ間の精度ばらつきが少なくな
り、精度の高い半導体装置の測定が可能になる。
9を媒介としてキャリブレーション用のリファレンスデ
ータを共有するので、フロッピディスク19を郵送した
り、内容をデータ伝送したりすることにより、遠く離れ
た場所に設置されたテスタにも、同じキャリブレーショ
ンデータを与えることが可能となり、遠隔地の機間誤差
も低減することができる。
ずに、容易にキャリブレーションを実施できるので、半
導体工場運用に当たっての人件費の削減、テスタダウン
の時間の削減など、運用経費からみてもメリットが大き
い。実施例2.図2は、本発明の実施例2の半導体試験
装置のブロック図である。
信号入出力装置16A、16Bにそれぞれネットワーク
インターフェース20A、20Bが設けられており、各
ネットワークインターフェース20A、20Bの間が通
信回線21で接続されていることである。
の動作を説明する。
外部に設けた校正済のリファレンス信号発生器14を用
いて、その測定器12Aの校正を手動により実施し、次
に、校正された測定器12Aを用いて、テスタ10Aの
内部の信号源11Aの出力波形のキャリブレーションを
テスタ10A自身で行う。
終了したテスタ10Aの各部の信号波形は、他のテスタ
10Bに対してリファレンスとするために、信号入出力
装置16Aに内蔵されるAD変換器17Aによりディジ
タル値に変換される。
たテスタ10Aからのリファレンスデータは、ネットワ
ークインターフェース20Aを通じて通信回線21に送
り出される。
て送られてくるリファレンスデータを、ネットワークイ
ンターフェース20Bから信号入出力装置16Bを通じ
て取り込まれる。このようにして信号入出力装置16B
に読み込まれたディジタルリファレンスデータは、DA
変換器18Bによりディジタルデータからアナログ波形
に変換される。
信号入出力装置16Bから与えられるリファレンスアナ
ログ波形にしたがって、テスタ10Bの内部シーケンス
に基づいて、キャリブレーションを実施する。その結
果、測定器12Bの校正が自動的に実施される。
終了した後に、更にテスタ10Bの内部シーケンスにし
たがって、測定器12Bを用いて信号源11Bのキャリ
ブレーションを行い、これを校正する。
源11A、11Bは全く同じ状態に校正されることにな
る。
レンスデータを発生する側、テスタ10Bがリファレン
スデータを受け取る側として、それぞれ一台づつを例示
したが、リファレンスデータを受け取る側は、テスタ1
0B以外にも何台でもよいことはもちろんである。
様な効果が得られるだけでなく、通信回線21を通じて
全てのテスタ10A、10Bが接続されるので、全く人
手を介することなく、リファレンスデータの配信が可能
となる。その結果、テスタ10Aに通信回線21を通じ
て接続される全てのテスタは、それぞれの必要に応じ
て、テスタ10Aからキャリブレーションようのリファ
レンスデータを受け取ることができるので、キャリブレ
ーションのための手番設定が大幅に簡略化される。ま
た、通信回線21は、国内外問わず、世界中にネットワ
ーク可能であるので、広範囲に展開する半導体工場の全
てのテスタに対して、ほとんど待ち時間なくキャリブレ
ーション用のリファレンスデータを与えることができる
ので、グローバルな運用が可能である。実施例3.図3
は、本発明の実施例3の半導体試験装置のブロック図で
ある。
N台のテスタ10A〜10Nが運用されている。
2Aには、測定ラインのスイッチ(リレー)15を介し
て、リファレンス信号発生器14が接続可能に構成され
る。また、信号源11Aにはスイッチ(リレー)13A
を介して測定器12Aが接続可能に構成される。
換器22Aが接続され、信号源11Aの出力信号波形を
ディジタル変換してバスライン26に出力するように構
成される。
DA変換器23Aが接続され、バスライン27のディジ
タル信号をアナログ波形で取り込むように構成される。
スタ10Aの他、テスタ10B〜10Nが運用されてい
る。
れ信号源11B・・・11Nと、これらの信号源11B
・・・11Nにスイッチ(リレー)13B・・・13N
を介して接続される測定器12B・・・12Nを備えて
いる。
定器12B・・・12NにはDA変換器25B、25C
・・・25Nが接続されており、スイッチ(リレー)2
9B、29C・・・29Nを介して、バスライン26か
らのリファレンスディジタルデータがアナログ変換さ
れ、取り込まれるように構成される。
号源11B・・・11Nには、AD変換器24B、24
C・・・24Nが接続されており、スイッチ(リレー)
28B、28C・・・28Nを介して、バスライン27
に、それぞれの出力アナログ波形をディジタル変換して
送り出すように構成される。
動作を説明する。
0Nが運用されている。
外部に設けた校正済のリファレンス信号発生器14と測
定ライン15を介して接続し、得られる波形に基づき、
その測定器12Aの校正を人手により実施する。校正終
了後、測定ライン15を切り離す。
Bを閉じて、校正された測定器12Aを用いて、テスタ
10Aの内部の信号源11Aの出力波形のキャリブレー
ションをテスタ10A自身で行う。
Aの各部の信号波形は、校正が完璧に行われている限
り、他のテスタ10B〜10Nに対してリファレンスと
なり得る。そして、このリファレンスデータは、信号源
11Aから、AD変換器22Aを通じてディジタルデー
タに変換され、バスライン26に出力される。
ッチ29B、29C・・・29Nを制御して、バスライ
ン26のリファレンスディジタルデータを、それぞれの
DA変換器25B、25C・・・25Nを通じてアナロ
グ波形に変換して取り込み、これを測定器12B・・・
12Nに与える。そして、テスタ10Aの信号源11A
の出力信号をリファレンスとして、それぞれの測定器1
2B・・・12Nをキャリブレーションし、校正する。
は、それぞれの内部のスイッチ13B・・・13Nを制
御して、それぞれの内部で、信号源11B・・・11N
に測定器12B・・・12Nを接続して、それぞれの信
号源11B・・・11Nのキャリブレーションを行い、
校正を行う。
ス信号発生器14に合わせて、測定器12Aをキャリブ
レーションして、これを校正し、次に、この測定器12
Aに基づいて、テスタ10Aの信号源11Aをキャリブ
レーションして、これを校正し、次に、この信号源11
Aの出力信号をリファレンスとして、他のテスタ10B
〜10Nの各測定器12B・・・12Nを校正し、最後
に、他のテスタ10B〜10Nにおいて、それぞれ校正
された測定器12B・・・12Nに基づいて、それぞれ
の信号源11B・・・11Nを構成することができる
が、この場合、全てのテスタ10A、10B・・・10
Nは、機器間の誤差を最小にした形でのキャリブレーシ
ョンが可能である。
いしは、終了後に、信号源11B・・・11Nの出力信
号のアナログ波形は、AD変換器24B、24C・・・
24Nを通じてディジタルデータに変換し、スイッチ2
8B、28C・・・28Nを通じてバスライン26に主
力可能であるので、バスライン26のディジタルデータ
をDA変換器23Aを通じて測定器12Aで測定するこ
とにより、キャリブレーションの結果ないしは途中経過
をテスタ10A側で確認することが可能である。その結
果、全てのテスタ10A、10B・・・10Nにおけ
る、キャリブレーションの結果が、初期の値に設定され
たかどうかを、テスタ10Aのところの一か所で確認す
ることができる。
操作は、リファレンス信号発生器14などの外部機器を
用いての人手によるキャリブレーション操作を除けば、
ほとんど自動的に実施可能であり、人手を要しないとい
う利点がある。
レーション結果をモニタできるので、信頼性を向上させ
る上でも効果的である。
スライン27を通じて、テスタ10A、10B・・・1
0N間のデータのやり取りを行うような構成を例示した
が、実施例2のように、通信回線21を介して全ての機
器を接続することにより、全てのテスタが広範囲に設置
されていても、集中的にキャリブレーションと校正を実
施することができるので、得られる効果が非常に大き
い。
装置は、複数台のテスタのキャリブレーションを行うに
当たり、一台のテスタをキャリブレーションした結果を
リファレンスとして、他のテスタのキャリブレーション
を、ほぼ自動的に行うように構成したので、外部のリフ
ァレンス信号源を用いてテスタ毎にキャリブレーション
する場合に比較して、運用が非常に簡単になり、機器間
の誤差も低減でき、複数のテスタが広範囲に配置されて
いるような場合でも、ネットワークディジタルバスある
いはフロッピディスクなどの媒体を介して、全てのテス
タでリファレンスを共有できるので、即応性が高く、人
手を要せず、装置運用効率を大幅に向上できるという効
果がある。
図である。
図である。
図である。
Claims (5)
- 【請求項1】テスタ出力を行う第1の信号源と前記第1
の信号源の出力信号をキャリブレーションのために測定
する第1の測定手段とを備える第1のテスタ手段と、 テスタ出力を行う第2の信号源と前記第2の信号源の出
力信号をキャリブレーションのために測定する第2の測
定手段とを備える第2のテスタ手段と、 前記第1のテスタ手段の第1の信号源のテスタ出力をリ
ファレンスとして前記第2の測定手段のキャリブレーシ
ョンを行わせる信号伝達手段と、 を備えることを特徴とする半導体試験装置。 - 【請求項2】前記信号伝達手段が、ディジタル的にデー
タを記録可能な記憶手段である、請求項1の半導体試験
装置。 - 【請求項3】前記信号伝達手段が、ディジタル的にデー
タを伝送可能な通信手段である、請求項1の半導体試験
装置。 - 【請求項4】前記信号伝達手段が、前記第1の信号源の
リファレンス信号をディジタルデータの形でディジタル
バスに送り出すAD変換手段と、前記ディジタルバスの
信号をアナログ波形の形で前記第2の測定手段に与える
DA変換手段と、を備える請求項1の半導体試験装置。 - 【請求項5】前記信号伝達手段が、前記第2の信号源の
テスタ出力のキャリブレーションのために、前記第2の
信号源のテスタ出力信号をディジタルデータの形でモニ
タ用ディジタルバスに送り出すAD変換手段と、前記デ
ィジタルバスの信号をアナログ波形の形で、前記第1の
測定手段に与えるDA変換手段と、を備える請求項1又
は4の半導体試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01919997A JP3585687B2 (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01919997A JP3585687B2 (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | 半導体試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10221406A true JPH10221406A (ja) | 1998-08-21 |
JP3585687B2 JP3585687B2 (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=11992693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01919997A Expired - Fee Related JP3585687B2 (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3585687B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100341575B1 (ko) * | 2000-06-19 | 2002-06-22 | 박종섭 | 아날로그-디지털 변환기 및 디지털-아날로그 변환기를테스트하기 위한 장치 및 방법 |
JP2007198981A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Advantest Corp | 補正方法および補正装置 |
-
1997
- 1997-01-31 JP JP01919997A patent/JP3585687B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100341575B1 (ko) * | 2000-06-19 | 2002-06-22 | 박종섭 | 아날로그-디지털 변환기 및 디지털-아날로그 변환기를테스트하기 위한 장치 및 방법 |
JP2007198981A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Advantest Corp | 補正方法および補正装置 |
JP4721919B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2011-07-13 | 株式会社アドバンテスト | 補正方法および補正装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3585687B2 (ja) | 2004-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5116667B2 (ja) | 半導体プラズマ発生システムにおける電力潮流を解析するシステムと方法 | |
US20070248122A1 (en) | Methods and systems relating to distributed time markers | |
CN1264227A (zh) | 多端口器件分析装置和方法以及该装置的校准方法 | |
CN104913806A (zh) | 测量装置 | |
US20190285666A1 (en) | Test and Measurement Management | |
US6496785B1 (en) | Network analyzer, network analytical method and recording medium | |
JPH10221406A (ja) | 半導体試験装置 | |
US20020177978A1 (en) | Digital data acquisition system for manitoring and remote testing of gas and steam turbine performance parameters | |
TW200513654A (en) | Device, method, program, and recording medium for error factor acquisition | |
Márkus et al. | Standard framework for IEEE-STD-1241 in MATLAB [ADC testing] | |
CA2214241A1 (en) | Rms converter using digital filtering | |
JPS60103732A (ja) | アナログ信号の対数化及びデイジタル化のための回路装置 | |
JP2000106528A (ja) | A/d変換装置、a/d変換方法、及び光パルス試験装置 | |
KR101032310B1 (ko) | 위성체용 알에프 통합 측정 장치 | |
JP4002940B1 (ja) | 誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置 | |
US7541798B2 (en) | Semiconductor test apparatus and performance board | |
GB2036985A (en) | Method and apparatus for determining the transmission properties of a signal path | |
WO2002025299A1 (en) | Electronic circuit and method for testing a line | |
CN1945350B (zh) | 电能计量二次回路综合误差检测方法及检测装置 | |
Pereira | A fieldbus prototype for educational purposes | |
CN110018680B (zh) | 一种用于ccd控制器的测试装置及其测试方法 | |
CN215817653U (zh) | 电力监控*** | |
EP0575979A1 (en) | Remote addressable transducer with automatic calibration and digital compensation | |
KR200343777Y1 (ko) | 전자식변환기의 시험장치 | |
JP2011242350A (ja) | 半導体試験装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040528 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040727 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040804 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070813 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080813 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090813 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |