JPH1021079A - Device and method for diagnosing fault of semiconductor manufacturing device - Google Patents
Device and method for diagnosing fault of semiconductor manufacturing deviceInfo
- Publication number
- JPH1021079A JPH1021079A JP8173847A JP17384796A JPH1021079A JP H1021079 A JPH1021079 A JP H1021079A JP 8173847 A JP8173847 A JP 8173847A JP 17384796 A JP17384796 A JP 17384796A JP H1021079 A JPH1021079 A JP H1021079A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage means
- stored
- semiconductor manufacturing
- message
- processing data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
異常が発生した場合に、オペレータ等に対して異常の原
因やその対処方法を知らせることができる半導体製造装
置の故障診断装置、及び半導体製造装置の故障診断方法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus, which is capable of notifying an operator or the like of the cause of the abnormality and how to cope with the abnormality when the abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus. The present invention relates to a device failure diagnosis method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４に示すように、従来の半導体製造装
置１００において異常が発生した場合は、装置内のマイ
コン１０１の制御により、ブザー１０２が鳴動し、モニ
タ画面１０３にアラームコードや異常の発生した箇所を
示す簡単なメッセージが表示される。このようなエラー
情報を基にオペレータや技術者は装置の修復作業を行
う。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 4, when an abnormality occurs in a conventional semiconductor manufacturing apparatus 100, a buzzer 102 sounds under the control of a microcomputer 101 in the apparatus, and an alarm code and an abnormality are displayed on a monitor screen 103. A simple message will be displayed indicating where the error occurred. An operator or a technician repairs the device based on such error information.
【０００３】また、加工された半導体製品は計測装置を
使用して検査し、その際に不良が発見された場合は、技
術者がその検査データを調べて半導体製造装置に問題が
あるかどうかについて判断し、半導体製造装置の修復作
業を行っていた。In addition, a processed semiconductor product is inspected using a measuring device. If a defect is found at that time, a technician checks the inspection data to determine whether there is a problem with the semiconductor manufacturing device. Judgment was made and repair work of the semiconductor manufacturing equipment was performed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体製造装置の故障診断方法においては、半導体製造
装置に異常が発生した場合に、上述したようにブザーの
鳴動やアラームコードの表示などの方法でオペレータ等
に知らせるだけであり、故障に関する情報が少なく対処
方法も表示されないため、熟練したオペレータや技術者
でなければ修復作業を行うのが困難なことがあった。However, in the conventional method for diagnosing a failure in a semiconductor manufacturing apparatus, when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, a method such as sounding a buzzer or displaying an alarm code is used as described above. Only the operator or the like is informed, and there is little information on the failure and no countermeasure is displayed, so that it may be difficult for a skilled operator or technician to perform the repair work.
【０００５】さらに、加工された半導体製品の不良が発
見された場合でも、専門的な知識を有した技術者が検査
データを調べなければ半導体製造装置に対する修復方法
が分からなかった。Furthermore, even if a defect of a processed semiconductor product is found, a method of repairing a semiconductor manufacturing apparatus cannot be known unless a technician having specialized knowledge examines inspection data.
【０００６】このようなことから、適切な修復が行われ
ず不良製品を作り込んでしまったり、半導体製造装置を
正常な状態に修復するのに非常に時間がかかる場合があ
り、この点が半導体製造装置の稼働率を低下する要因に
なっていた。[0006] For this reason, there is a case where a defective product is not produced due to an improper repair, or it takes a very long time to restore a semiconductor manufacturing apparatus to a normal state. This was a factor that reduced the operation rate of the device.
【０００７】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、半導体製造装
置に異常が発生した場合に、速やかにその異常の原因と
適切な修復方法をオペレータ等に知らせることができる
半導体製造装置の故障診断装置を提供することである。
その他の目的は、半導体製品に不良が検出された場合
に、速やかに半導体製造装置の異常の原因と適切な修復
方法をオペレータ等に知らせることができる半導体製造
装置の故障診断装置を提供することである。さらにその
他の目的は、これらの故障診断装置により実施される半
導体製造装置の故障診断方法を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor manufacturing apparatus which, when an abnormality occurs, promptly causes the abnormality and appropriately repairs the cause. To provide a failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus capable of notifying an operator or the like of the failure.
Another object of the present invention is to provide a failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus capable of promptly informing an operator or the like of a cause of a semiconductor manufacturing apparatus abnormality and an appropriate repair method when a defect is detected in a semiconductor product. is there. Still another object is to provide a method of diagnosing a failure of a semiconductor manufacturing apparatus which is performed by these failure diagnosis apparatuses.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明である半導体製造装置の故障診断装置の
特徴は、半導体製造装置で異常が発生した場合のアラー
ムコードを収集し記憶するアラームコード記憶手段と、
前記アラームコードから半導体製造装置の異常の原因並
びにその対処方法を推論するための知識がルールの形で
記憶されたルールベース記憶手段と、前記アラームコー
ド記憶手段に記憶されているアラームコード、及び前記
ルールベース記憶手段に記憶されているルールに基づい
て半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を推
論する推論手段と、半導体製造装置の異常の原因並びに
その対処方法を外部に知らせるためのメッセージを記憶
しているメッセージ記億手段と、前記推論手段の推論結
果に対応したメッセージを前記メッセージ記憶手段より
検索して記憶しておく推論結果記憶手段と、前記推論結
果記憶手段に記憶されているメッセージを表示する推論
結果表示手段とを備えたことにある。In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is a failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus which collects and stores an alarm code when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus. Alarm code storage means,
A rule base storage unit in which knowledge for inferring a cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a coping method thereof from the alarm code is stored in the form of a rule; an alarm code stored in the alarm code storage unit; Inference means for inferring the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the method of coping with the abnormality based on the rules stored in the rule base storage means, and a message for notifying the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the method of coping therewith to the outside. Message storage means stored therein, inference result storage means for searching and storing a message corresponding to the inference result of the inference means from the message storage means, and a message stored in the inference result storage means And inference result display means for displaying the inference result.
【０００９】この第１の発明によれば、予めアラームコ
ードから異常の原因並びにその対処方法を推論するため
の知識がルールの形でルールベース記憶手段に記憶され
ている。半導体製造装置で異常が発生した場合は、アラ
ームコードを入力し、前記ルールベース記憶手段に記憶
されているルールを基に例えば知識工学的手法で推論を
行い、異常の原因とその対処方法を推論結果表示手段に
よりオペレータ等に知らせるようにしている。According to the first invention, knowledge for inferring the cause of the abnormality and the method of coping with the abnormality from the alarm code is stored in the rule base storage means in the form of a rule. When an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, an alarm code is input, and inference is performed by, for example, a knowledge engineering method based on the rules stored in the rule base storage means, and the cause of the abnormality and a method for coping with the abnormality are inferred. The result display means informs the operator or the like.
【００１０】第２の発明である半導体製造装置の故障診
断装置の特徴は、上記第１の発明において、前記ルール
ベース記憶手段に記憶されているルール、及び前記メッ
セージ記憶手段に記憶されているメッセージの修正・追
加を行う入出力手段を設けたことにある。The second aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect of the present invention, a rule stored in the rule base storage means and a message stored in the message storage means are provided. Input / output means for correcting / adding the above.
【００１１】この第２の発明によれば、ルールベース記
憶手段に記憶されている推論のためのルールや、メッセ
ージ記憶手段に記憶されているメッセージは、入出力手
段を用いることによりオペレータや技術者が修正・追加
を行うことができる。According to the second invention, the rules for inference stored in the rule base storage means and the messages stored in the message storage means can be changed by the operator or technician by using the input / output means. Can make corrections and additions.
【００１２】第３の発明である半導体製造装置の故障診
断装置の特徴は、半導体製造装置で異常が発生した場合
のアラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶
手段と、半導体製造装置内のセンサで測定された加工デ
ータを収集し記憶しておく加工データ記憶手段と、前記
アラームコードと前記加工データから前記半導体製造装
置の異常の原因並びにその対処方法を推論するための知
識がルールの形で記憶されたルールベース記憶手段と、
前記加工データの許容範囲が設定されている加工データ
管理値記憶手段と、前記アラームコード記憶手段に記憶
されているアラームコード、前記加工データ記憶手段に
記憶されている加工データ、前記ルールベース記憶手段
に記憶されているルール、及び前記加工データ管理値記
憶手段に記憶されている加工データ管理値に基づいて前
記半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を推
論する推論手段と、半導体製造装置の異常の原因並びに
その対処方法を外部に知らせるためのメッセージを記憶
しているメッセージ記憶手段と、前記推論手段の推論結
果に対応したメッセージを前記メッセージ記憶手段より
検索して記憶しておく推論結果記憶手段と、前記推論結
果記憶手段に記憶されているメッセージを表示する推論
結果表示手段とを備えたことにある。[0012] The feature of the failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to the third invention is that an alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, and a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus. Processing data storage means for collecting and storing the measured processing data, and knowledge for inferring the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the coping method therefrom in the form of rules from the alarm code and the processing data. Rule-based storage means,
A processing data management value storage unit in which an allowable range of the processing data is set; an alarm code stored in the alarm code storage unit; a processing data stored in the processing data storage unit; and a rule base storage unit Inference means for inferring a cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a coping method based on the rule stored in the processing data management value stored in the processing data management value storage means, Message storage means for storing a message for notifying the cause of the abnormality and a coping method to the outside, and inference result storage for searching and storing a message corresponding to the inference result of the inference means from the message storage means Means, and inference result display means for displaying a message stored in the inference result storage means. Lies in the fact was painting.
【００１３】この第３の発明によれば、アラームコード
に加えて半導体製造装置内のセンサーで計測された加工
データも入力し、予め設定されている加工データ管理値
（例えば上下限値など）とルールベース記憶手段のルー
ルに基づいた推論を行い、半導体製造装置の異常の原因
とその対処方法を推論結果表示手段によりオペレータ等
に知らせる。According to the third aspect, in addition to the alarm code, processing data measured by a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus is also input, and a processing data management value (for example, an upper and lower limit value) set in advance is set. Inference is performed based on the rules of the rule base storage means, and the cause of the abnormality in the semiconductor manufacturing apparatus and a method of coping with the abnormality are notified to an operator or the like by the inference result display means.
【００１４】第４の発明である半導体製造装置の故障診
断装置の特徴は、上記第３の発明において、前記ルール
ベース記憶手段に記憶されているルール、前記加工デー
タ管理値記憶手段に記憶されている加工データ管理値、
及び前記メッセージ記憶手段に記憶されているメッセー
ジの修正・追加を行う入出力手段を設けたことにある。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to the third aspect, wherein the rule stored in the rule base storage means and the processing data management value storage means are stored in the processing data management value storage means. Processing data management value,
And an input / output means for correcting / adding a message stored in the message storage means.
【００１５】この第４の発明によれば、記憶されている
推論のためのルールや、異常の原因並びにその対処方法
に関するメッセージ、加工データ管理値は、入出力手段
を用いることによりオペレータや技術者等が修正・追加
を行うことができる。According to the fourth aspect of the present invention, the stored rules for inference, messages relating to the cause of the abnormality and the coping method thereof, and the processed data management value can be input to the operator or technician by using the input / output means. Etc. can be modified / added.
【００１６】第５の発明である半導体製造装置の故障診
断装置の特徴は、半導体製造装置で異常が発生した場合
のアラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶
手段と、半導体製造装置内のセンサで測定された加工デ
ータを収集し記憶しておく加工データ記憶手段と、計測
装置により測定された半導体製品の検査データを収集し
記憶しておく製品検査データ記憶手段と、前記アラーム
コード、前記加工データ、及び前記製品検査データから
前記半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を
推論するための知識がルールの形で記憶されたルールベ
ース記憶手段と、前記加工データの許容範囲が設定され
ている加工データ管理値記憶手段と、前記製品検査デー
タの許容範囲が設定されている製品検査データ管理値記
憶手段と、前記アラームコード記憶手段に記憶されてい
るアラームコード、前記加工データ記憶手段に記憶され
ている加工データ、前記製品検査データ記憶手段に記憶
されている製品検査データ、前記ルールベース記憶手段
に記憶されているルール、前記加工データ管理値記憶手
段に記憶されている加工データ管理値、及び前記製品検
査データ管理値記憶手段に記憶されている製品検査デー
タ管理値に基づいて半導体製造装置の異常の原因並びに
その対処方法を推論する推論手段と、半導体製造装置の
異常の原因並びにその対処方法を外部に知らせるための
メッセージを記憶しているメッセージ記憶手段と、前記
推論手段の推論結果に対応したメッセージを前記メッセ
ージ記憶手段より検索して記憶しておく推論結果記憶手
段と、前記推論結果記憶手段に記憶されているメッセー
ジを表示する推論結果表示手段とを備えたことにある。The fifth aspect of the present invention is characterized by an alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality has occurred in the semiconductor manufacturing apparatus, and a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus. Processing data storage means for collecting and storing measured processing data, product inspection data storage means for collecting and storing inspection data of semiconductor products measured by a measuring device, the alarm code, the processing data And a rule base storage unit in which knowledge for inferring a cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a coping method thereof from the product inspection data is stored in the form of a rule, and an allowable range of the processing data is set. Processing data management value storage means, product inspection data management value storage means in which an allowable range of the product inspection data is set, Alarm code stored in the alarm code storage means, processing data stored in the processing data storage means, product inspection data stored in the product inspection data storage means, rules stored in the rule base storage means A cause of an abnormality in the semiconductor manufacturing apparatus based on the processed data management value stored in the processed data management value storage means and the product inspection data management value stored in the product inspection data management value storage means, and countermeasures therefor Inference means for inferring a method, message storage means for storing a message for notifying the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a coping method to the outside, and storing the message corresponding to the inference result of the inference means in the message. Inference result storage means for searching and storing by means, and storage in the inference result storage means In that a inference result display means for displaying a message that is.
【００１７】この第５の発明によれば、アラームコード
と加工データに加えて、加工された半導体製品の検査デ
ータをも入力し、予め設定されている加工データ管理値
（例えば上下限値など）と製品検査データの管理値（例
えば上下限値など）とルールベース記憶手段に記億され
ているルールとに基づき半導体製造装置の異常の原因と
その対処方法を推論し、その推論結果を推論結果表示手
段によりオペレータ等に知らせる。According to the fifth aspect, in addition to the alarm code and the processing data, the inspection data of the processed semiconductor product is also input, and the processing data management values (for example, upper and lower limit values) set in advance are set. The cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing equipment and the coping method thereof are inferred based on the management values (for example, upper and lower limit values) of the product inspection data and the rules stored in the rule base storage means, and the inference result is inferred. The operator is notified by the display means.
【００１８】第６の発明である半導体製造装置の故障診
断装置の特徴は、上記第５の発明において、前記ルール
ベース記憶手段に記憶されているルール、前記加工デー
タ管理値記憶手段に記憶されている加工データ管理値、
前記製品検査データ管理値記憶手段に記憶されている製
品検査データ管理値、及び前記メッセージ記憶手段に記
憶されているメッセージの修正・追加を行う入出力手段
を設けたことにある。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a fault diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to the fifth aspect, wherein the rule stored in the rule base storage means and the processing data management value storage means are stored in the processing data management value storage means. Processing data management value,
There is provided an input / output unit for correcting / adding a product inspection data management value stored in the product inspection data management value storage unit and a message stored in the message storage unit.
【００１９】この第６の発明によれば、記憶されている
推論のためのルール、異常の原因並びにその対処方法に
関するメッセージ、加工データ管理値、及び製品検査デ
ータ管理値は、入出力手段を用いることによりオペレー
タや技術者等が修正・追加を行うことができる。According to the sixth aspect of the present invention, the stored rules for inference, messages relating to the cause of the abnormality and the coping method thereof, the processed data management value, and the product inspection data management value use input / output means. This allows an operator or a technician to make corrections and additions.
【００２０】第７の発明である半導体製造装置の故障診
断方法の特徴は、半導体製造装置で異常が発生した場合
のアラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶
手段と、前記アラームコードから半導体製造装置の異常
の原因並びにその対処方法を推論するための知識がルー
ルの形で記憶されたルールベース記憶手段と、半導体製
造装置の異常の原因並びにその対処方法を外部に知らせ
るためのメッセージを記憶しているメッセージ記億手段
とを予め備えておき、前記アラームコード記憶手段に記
憶されているアラームコード、及び前記ルールベース記
憶手段に記憶されているルールに基づいて半導体製造装
置の異常の原因並びにその対処方法を推論し、その推論
結果に対応したメッセージを前記メッセージ記憶手段よ
り検索して表示することにある。A seventh aspect of the present invention is a method for diagnosing a failure in a semiconductor manufacturing apparatus, which is characterized by an alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, and a semiconductor manufacturing apparatus based on the alarm code. A rule-based storage means in which knowledge for inferring the cause of the abnormality and the coping method thereof is stored in the form of a rule, and a message for notifying the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the coping method to the outside is stored. A message storage means provided in advance, and the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and its countermeasures based on the alarm code stored in the alarm code storage means and the rules stored in the rule base storage means. A method is inferred, and a message corresponding to the inference result is retrieved from the message storage means and displayed. Lies in the fact.
【００２１】この第７の発明によれば、半導体製造装置
で異常が発生した場合は、アラームコードを用いて、ル
ールベース記憶手段に記憶されているルールを基づいて
例えば知識工学的手法で半導体製造装置の異常の原因と
対処方法の推論を行い、その推論結果を表示してオペレ
ータ等に知らせる。According to the seventh aspect, when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, the semiconductor manufacturing apparatus can be manufactured, for example, by a knowledge engineering technique based on the rules stored in the rule base storage means using the alarm code. The cause of the abnormality of the apparatus and the coping method are inferred, and the inference result is displayed to inform an operator or the like.
【００２２】第８の発明である半導体製造装置の故障診
断方法の特徴は、半導体製造装置で異常が発生した場合
のアラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶
手段と、半導体製造装置内のセンサで測定された加工デ
ータを収集し記憶しておく加工データ記憶手段と、前記
アラームコードと前記加工データから前記半導体製造装
置の異常の原因並びにその対処方法を推論するための知
識がルールの形で記憶されたルールベース記憶手段と、
前記加工データの許容範囲が設定されている加工データ
管理値記憶手段と、半導体製造装置の異常の原因並びに
その対処方法を外部に知らせるためのメッセージを記憶
しているメッセージ記憶手段とを予め備えておき、前記
アラームコード記憶手段に記憶されているアラームコー
ド、前記加工データ記憶手段に記憶されている加工デー
タ、前記ルールベース記憶手段に記憶されているルー
ル、及び前記加工データ管理値記憶手段に記憶されてい
る加工データ管理値に基づいて前記半導体製造装置の異
常の原因並びにその対処方法を推論し、その推論結果に
対応したメッセージを前記メッセージ記憶手段より検索
して表示することにある。The feature of the fault diagnosis method for a semiconductor manufacturing apparatus according to the eighth invention is that an alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, and a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus. Processing data storage means for collecting and storing the measured processing data, and knowledge for inferring the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the coping method therefrom in the form of rules from the alarm code and the processing data. Rule-based storage means,
A processing data management value storage unit in which an allowable range of the processing data is set, and a message storage unit that stores a message for notifying a cause of an abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a coping method to the outside in advance. Alarm codes stored in the alarm code storage means, processing data stored in the processing data storage means, rules stored in the rule base storage means, and stored in the processing data management value storage means It is to infer the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a method of coping with the abnormality based on the processed data management value, and retrieve and display a message corresponding to the inference result from the message storage means.
【００２３】この第８の発明によれば、アラームコード
に加えて半導体製造装置内のセンサーで計測された加工
データも用いて、予め設定されている加工データ管理値
とルールベース記憶手段のルールに基づいて半導体製造
装置の異常の原因とその対処方法の推論を行い、その推
論結果を表示してオペレータ等に知らせる。According to the eighth aspect, in addition to the alarm code, the processing data measured by the sensor in the semiconductor manufacturing apparatus is used to set the processing data management value set in advance and the rule of the rule base storage means. The cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the method of coping with the abnormality are inferred based on the result, and the inference result is displayed to inform an operator or the like.
【００２４】第９の発明である半導体製造装置の故障診
断方法の特徴は、半導体製造装置で異常が発生した場合
のアラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶
手段と、半導体製造装置内のセンサで測定された加工デ
ータを収集し記憶しておく加工データ記憶手段と、計測
装置により測定された半導体製品の検査データを収集し
記憶しておく製品検査データ記憶手段と、前記アラーム
コード、前記加工データ、及び前記製品検査データから
前記半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を
推論するための知識がルールの形で記憶されたルールベ
ース記憶手段と、前記加工データの許容範囲が設定され
ている加工データ管理値記憶手段と、前記製品検査デー
タの許容範囲が設定されている製品検査データ管理値記
憶手段と、半導体装置の異常の原因並びにその対処方法
を外部に知らせるためのメッセージを記憶しているメッ
セージ記憶手段とを予め備えておき、前記アラームコー
ド記憶手段に記憶されているアラームコード、前記加工
データ記憶手段に記憶されている加工データ、前記製品
検査データ記憶手段に記憶されている製品検査データ、
前記ルールベース記憶手段に記憶されているルール、前
記加工データ管理値記憶手段に記憶されている加工デー
タ管理値、及び前記製品検査データ管理値記憶手段に記
憶されている製品検査データ管理値に基づいて半導体製
造装置の異常の原因並びにその対処方法を推論し、その
推論結果に対応したメッセージを前記メッセージ記憶手
段より検索して表示する。The feature of the failure diagnosis method for a semiconductor manufacturing apparatus according to the ninth invention is that an alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, and a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus. Processing data storage means for collecting and storing measured processing data, product inspection data storage means for collecting and storing inspection data of semiconductor products measured by a measuring device, the alarm code, the processing data And a rule base storage unit in which knowledge for inferring a cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a coping method thereof from the product inspection data is stored in the form of a rule, and an allowable range of the processing data is set. Processing data management value storage means, product inspection data management value storage means in which an allowable range of the product inspection data is set, and semiconductor A message storage means for storing a message for notifying the cause of the abnormality of the device and a method of coping with the error to the outside; an alarm code stored in the alarm code storage means, and a processing data storage means. Processing data stored, product inspection data stored in the product inspection data storage means,
Based on the rules stored in the rule base storage unit, the processed data management values stored in the processed data management value storage unit, and the product inspection data management values stored in the product inspection data management value storage unit Then, the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the coping method thereof are inferred, and a message corresponding to the inference result is retrieved from the message storage means and displayed.
【００２５】この第９の発明によれば、アラームコード
と加工データに加えて、加工された半導体製品の検査デ
ータをも用いて、予め設定されている加工データの管理
値と製品検査データの管理値とルールベース記憶手段に
記億されているルールとに基づいて半導体製造装置の異
常の原因とその対処方法を推論し、その推論結果を表示
してオペレータ等に知らせる。According to the ninth aspect, in addition to the alarm code and the processing data, the inspection data of the processed semiconductor product is used, and the management value of the processing data and the management of the product inspection data set in advance are used. Based on the values and the rules stored in the rule base storage means, the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the coping method thereof are inferred, and the inference result is displayed to inform an operator or the like.
【００２６】[0026]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係
る半導体製造装置の故障診断装置の構成を示すブロック
図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a failure diagnosis device for a semiconductor manufacturing device according to a first embodiment of the present invention.
【００２７】この故障診断装置は、計算機１の中に故障
診断を行うための各種手段が納められており、計算機１
は通信ネットワーク２と通信制御手段３−１、３−２を
介して半導体製造装置４に接続されている。通信制御手
段３−１は、半導体製造装置４で異常（故障を含む）が
発生した時のアラームコードを取得し、ネットワーク２
を介して前記計算機１にアラームコードを送信する。In this failure diagnosis apparatus, various means for performing a failure diagnosis are stored in the computer 1.
Is connected to the semiconductor manufacturing apparatus 4 via the communication network 2 and the communication control means 3-1 and 3-2. The communication control means 3-1 acquires an alarm code when an abnormality (including a failure) occurs in the semiconductor manufacturing apparatus 4, and
The alarm code is transmitted to the computer 1 via the computer.
【００２８】計算機１は、その内部に持っている通信制
御手段３−２によりアラームコードを受信し、受信され
たアラームコードはアラームコード記憶手段５に保存さ
れる。ルールベース記憶手段６は、アラームコードから
半導体製造装置４の異常の原因や対処方法を推論するた
めの知識をルールの形で記憶している。例えばそのルー
ルの形は次のようになる。The computer 1 receives the alarm code by the communication control means 3-2 provided therein, and the received alarm code is stored in the alarm code storage means 5. The rule base storage unit 6 stores knowledge for inferring the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus 4 and the coping method from the alarm code in the form of rules. For example, the form of the rule is as follows.
【００２９】（ルールの例１） ＩＦ アラームコード＝Ａ１ ＴＨＥＮ 対処メッセー
ジ＝Ｍ１． （ルールの例２） ＩＦ アラームコード＝Ａ２ ＆ アラームコード＝Ａ
３ ＴＨＥＮ 対処メッセージ＝Ｍ２ ＆ 対処メッセージ
＝Ｍ３．(Example 1 of Rule) IF Alarm Code = A1 THEN Response Message = M1. (Example 2 of rule) IF alarm code = A2 & alarm code = A
3 THEN response message = M2 & response message = M3.
【００３０】アラームが殆ど同時に複数発生した場合で
も、その対処方法の順番を考えて上記例２のルールのよ
うに記述することが可能である。Even when a plurality of alarms occur almost simultaneously, it is possible to describe the rule as in the above-described example 2 in consideration of the order of coping methods.
【００３１】推論手段７は、前記アラームコード記憶手
段５に記憶されているアラームコードと前記ルールベー
ス記憶手段６に記憶されているルールとにより知識工学
的な推論方法により異常の原因や対処方法（対処メッセ
ージ番号）を推論する。メッセージ記憶手段８は、前記
推論手段７の推論結果をオペレータに分かり易いように
表示するためのメッセージを記憶している。例えば推論
手段７の推論結果とメッセージの対応は次のようになっ
ている。The inference means 7 uses the alarm codes stored in the alarm code storage means 5 and the rules stored in the rule base storage means 6 to determine the cause of the abnormality and the coping method (based on knowledge engineering). Inference message number). The message storage means 8 stores a message for displaying the inference result of the inference means 7 so as to be easily understood by the operator. For example, the correspondence between the inference result of the inference means 7 and the message is as follows.
【００３２】 （推論結果）M1：推論結果M1に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M2：推論結果M2に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M3：推論結果M3に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ(Inference result) M1: Message indicating failure cause and countermeasure corresponding to inference result M1 (Inference result) M2: Message indicating failure cause and countermeasure corresponding to inference result M2 (Inference result) M3: Inference A message indicating the cause of the failure and the remedy corresponding to the result M3
【００３３】推論結果記憶手段９は、推論手段７の推論
結果に対応したメッセージをメッセージ記憶手段８から
検索し、一時的に保存する。その保存されたメッセージ
はネットワーク２を介して、通信制御手段３−１に伝送
され、通信制御手段３−１に接続されている推論結果表
示手段１０−１により表示される。オペレータはこの表
示内容を見ながら、半導体製造装置４の修復作業を行う
ことができる。The inference result storage means 9 retrieves a message corresponding to the inference result of the inference means 7 from the message storage means 8 and temporarily stores the message. The stored message is transmitted to the communication control means 3-1 via the network 2, and displayed by the inference result display means 10-1 connected to the communication control means 3-1. The operator can repair the semiconductor manufacturing apparatus 4 while viewing the displayed contents.
【００３４】また前述のルールベース記憶手段６に記憶
されているルールと、メッセージ記憶手段８に記憶され
ているメッセージは、入出力手段１１を使用してオペレ
ータや技術者により修正や追加が可能である。The rules stored in the rule base storage means 6 and the messages stored in the message storage means 8 can be modified or added by an operator or a technician using the input / output means 11. is there.
【００３５】このように本実施形態では、半導体製造装
置で異常が発生した場合、アラームコードから異常の原
因とその対処方法を例えば知識工学的手法により推論
し、その推論結果をオペレータ等に知らせるようにして
いるので、半導体製造装置を正常な状態に修復するまで
の時間を短縮することができる。As described above, in the present embodiment, when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, the cause of the abnormality and a method of coping with the abnormality are inferred from the alarm code by, for example, a knowledge engineering technique, and the inference result is notified to an operator or the like. Therefore, the time until the semiconductor manufacturing apparatus is restored to a normal state can be reduced.
【００３６】図２は、本発明の第２実施形態に係る半導
体製造装置の故障診断装置の構成を示すブロック図であ
り、図１と共通する要素には同一の符号が付されてい
る。FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention. Elements common to FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
【００３７】本実施形態では、アラームコードに加え
て、半導体製造装置４内のセンサーで計測された加工デ
ータも故障診断に利用している。第１実施形態と構成上
で異なる点は、加工データ記憶手段１２と加工データ管
理値記憶手段１３が新たに追加されていることである。In this embodiment, in addition to the alarm code, processing data measured by a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus 4 is used for failure diagnosis. The difference from the first embodiment in the configuration is that a processing data storage unit 12 and a processing data management value storage unit 13 are newly added.
【００３８】半導体製造装置４の加工データは、通信制
御手段３−１に取得され、ネットワーク２を経由して計
算機１内の加工データ記憶手段１２に収集される。加工
データとしては、例えば電圧、電流、電圧周波数、電流
周波数、インピーダンス、圧力、及び温度などがある。Processing data of the semiconductor manufacturing apparatus 4 is acquired by the communication control means 3-1 and collected by the processing data storage means 12 in the computer 1 via the network 2. The processing data includes, for example, voltage, current, voltage frequency, current frequency, impedance, pressure, and temperature.
【００３９】これらの加工データの上下限値など適切な
許容範囲を示す管理値が、加工データ管理値記憶手段１
３に予め設定されている。ルールベース記憶手段６には
上記したアラームコードに関するルールの他に、加工デ
ータの許容範囲をチェックするルールが記述されてい
る。例えば加工データに関しては次のようなルールが使
用される。A management value indicating an appropriate allowable range such as upper and lower limit values of the processing data is stored in the processing data management value storage unit 1.
3 is set in advance. In the rule base storage means 6, a rule for checking the allowable range of the processing data is described in addition to the rule regarding the alarm code. For example, the following rules are used for processed data.
【００４０】（ルールの例３） ＩＦ 加工データＢ１＞Ｂ１ＭＡＸ ＴＨＢＮ 対処メ
ッセージ＝Ｍ４． （ルールの例４） ＩＦ 加工データＢ１＜Ｂ１ＭＩＮ ＴＨＥＮ 対処メ
ッセージ＝Ｍ５．(Example 3 of rule) IF processed data B1> B1MAX THBN Response message = M4. (Example 4 of rule) IF processing data B1 <B1MIN THEN Response message = M5.
【００４１】上記ルールの中で、Ｂ１ＭＡＸとＢ１ＭＩ
Ｎが加工データＢ１に対する管理値（上下限値）であ
り、前述の加工データ管理値記憶手段１３に設定されて
いる。推論手段７は、アラームコード記憶手段５に記憶
されているアラームコードと、加工データ記憶手段１２
に記憶されている加工データと、加工データ管理値記憶
手段１３に記憶されている管理値とを入力し、ルールベ
ース記憶手段６のルールを基に異常の原因と対処方法を
推論する。In the above rules, B1MAX and B1MI
N is a management value (upper / lower limit value) for the processing data B1 and is set in the processing data management value storage unit 13 described above. The inference means 7 stores the alarm code stored in the alarm code storage means 5 and the processing data storage means 12
The processing data stored in the processing data management value stored in the processing data management value storage unit 13 is input, and the cause of the abnormality and the coping method are deduced based on the rules in the rule base storage unit 6.
【００４２】推論結果は第１実施形態と同じように、推
論結果表示手段１０−１により表示される。ここで、本
実施形態の推論結果とメッセージの対応は、例えば次の
ようになっている。The inference result is displayed by the inference result display means 10-1 as in the first embodiment. Here, the correspondence between the inference result and the message in the present embodiment is, for example, as follows.
【００４３】 （推論結果）M1：推論結果M1に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M2：推論結果M2に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M3：推論結果M3に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M4：推論結果M4に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M5：推論結果M5に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ(Inference result) M1: Message indicating failure cause and countermeasure corresponding to inference result M1 (Inference result) M2: Message indicating failure cause and countermeasure corresponding to inference result M2 (Inference result) M3: Inference Message indicating the cause of failure and the corresponding method corresponding to the result M3 (Inference result) M4: Message indicating the cause of failure and the corresponding method corresponding to the inference result M4 (Inference result) M5: Failure cause and corresponding method corresponding to the inference result M5 Message indicating
【００４４】また、加工データ管理値記憶手段１３に記
憶されている管理値は、入出力手段１１を用いてオペレ
ータや技術者により修正や追加設定が可能である。The management value stored in the processing data management value storage means 13 can be modified or added by an operator or a technician using the input / output means 11.
【００４５】このように本実施形態では、半導体製造装
置のアラームコードに加えて加工データも用いて、半導
体製造装置の異常を例えば知識工学的手法により推論す
るようにしているので、故障ではないが加工データが異
常な状態を検知して速やかに対処することができるた
め、不良製品の作り込みを防止できると共に半導体製造
装置の修復時間を短縮することができる。As described above, in the present embodiment, the processing data is used in addition to the alarm code of the semiconductor manufacturing apparatus, and the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus is inferred by, for example, a knowledge engineering technique. Since an abnormal state of the processing data can be detected and promptly dealt with, it is possible to prevent the production of defective products and shorten the repair time of the semiconductor manufacturing apparatus.
【００４６】図３は、本発明の第３実施形態に係る半導
体製造装置の故障診断装置の構成を示すブロック図であ
り、図２と共通する要素には同一の符号が付されてい
る。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to a third embodiment of the present invention, and the same reference numerals are given to the same elements as those in FIG.
【００４７】本実施形態では、アラームコードと加工デ
ータに加えて、更に加工された半導体製品の検査データ
も利用して故障診断を行っている。上記第２実施形態と
構成上で異なる点は、加工された半導体製品を検査する
計測装置１４が通信制御手段３−３を介してネットワー
ク２に接続され、通信制御手段３−３には推論結果表示
手段１０−２が接続され、そして、計算機１内に新たに
製品検査データ記憶手段１５と製品検査データ管理値記
憶手段１６とが設けられている。In the present embodiment, failure diagnosis is performed by using inspection data of a further processed semiconductor product in addition to the alarm code and the processing data. The difference from the second embodiment in the configuration is that the measuring device 14 for inspecting the processed semiconductor product is connected to the network 2 via the communication control means 3-3, and the communication control means 3-3 has the inference result. The display unit 10-2 is connected, and a new product inspection data storage unit 15 and a new product inspection data management value storage unit 16 are provided in the computer 1.
【００４８】計測装置１４によって得られた半導体製品
の検査データは通信制御手段３−３に取得され、検査デ
ータはネットワーク２を介して製品検査データ記憶手段
１５に保存される。また製品検査データの上下限値など
許容範囲を示すデータが、製品検査データ管理値記憶手
段１６に予め設定されている。ルールベース記憶手段６
には上述したアラームコードと加工データに関するルー
ルの他に、製品検査データをチェックするためのルール
が記述されている。例えば製品検査データに関しては下
記のようなルールを使用する。The inspection data of the semiconductor product obtained by the measuring device 14 is acquired by the communication control means 3-3, and the inspection data is stored in the product inspection data storage means 15 via the network 2. Further, data indicating an allowable range such as upper and lower limits of the product inspection data is set in the product inspection data management value storage unit 16 in advance. Rule base storage means 6
Describes rules for checking product inspection data in addition to the above-mentioned rules relating to alarm codes and processing data. For example, the following rules are used for product inspection data.
【００４９】（ルールの例５） ＩＦ 製品検査データＣ１＞Ｃ１ＭＡＸ ＴＨＥＮ 対
処メッセージ＝Ｍ６． （ルールの例４） ＩＦ 製品検査データＣ１＜Ｃ１ＭＩＮ ＴＨＥＮ 対
処メッセージ＝Ｍ７．(Example 5 of rule) IF product inspection data C1> C1MAX THEN Response message = M6. (Example 4 of rule) IF product inspection data C1 <C1MIN THEN Response message = M7.
【００５０】上記ルールの中で、Ｃ１ＭＡＸとＣ１ＭＩ
Ｎが製品検査データＣ１に対する管理値（上下限値）で
あり、前述の製品検査データ管理値記憶手段１６に設定
されている。推論手段７は、アラームコード記憶手段５
に記憶されているアラームコードと、加工データ記憶手
段１２に記憶されている加工データと、加工データ管理
値記憶手段１３に記憶されている管理値と、製品検査デ
ータ記憶手段１５に記憶されている製品検査データと、
製品検査データ管理値記憶手段１６に記憶されている管
理値を入力し、ルールベース記憶手段６のルールを基に
異常の原因とその対処方法を推論する。In the above rules, C1MAX and C1MI
N is a management value (upper / lower limit value) for the product inspection data C1, and is set in the product inspection data management value storage unit 16 described above. The inference means 7 includes the alarm code storage means 5
, The processing data stored in the processing data storage means 12, the management values stored in the processing data management value storage means 13, and the alarm codes stored in the product inspection data storage means 15. Product inspection data,
The management value stored in the product inspection data management value storage unit 16 is input, and the cause of the abnormality and the coping method are inferred based on the rules of the rule base storage unit 6.
【００５１】その推論結果は推論結果表示手段１０−１
及び１０−２に表示される。ここで、本実施形態の推論
結果とメッセージの対応は、例えば次のようになってい
る。The inference result is displayed in the inference result display means 10-1.
And 10-2. Here, the correspondence between the inference result and the message in the present embodiment is, for example, as follows.
【００５２】 （推論結果）M1：推論結果M1に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M2：推論結果M2に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M3：推論結果M3に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M4：推論結果M4に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M5：推論結果M5に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M6：推論結果M6に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ （推論結果）M7：推論結果M7に対応した故障原因と対処
方法を示すメッセージ(Inference result) M1: Message indicating failure cause and countermeasure corresponding to inference result M1 (Inference result) M2: Message indicating failure cause and countermeasure corresponding to inference result M2 (Inference result) M3: Inference Message indicating the cause of failure and the corresponding method corresponding to the result M3 (Inference result) M4: Message indicating the cause of failure and the corresponding method corresponding to the inference result M4 (Inference result) M5: Failure cause and corresponding method corresponding to the inference result M5 (Inference result) M6: Message indicating the cause of failure corresponding to inference result M6 and remedy (Inference result) M7: Message indicating cause of failure and remedy corresponding to inference result M7
【００５３】また、製品検査データ管理値記憶手段１６
に記憶されている管理値は、入出力手段１１を使用して
オペレータや技術者により修正や追加設定が可能であ
る。The product inspection data management value storage means 16
Can be modified or additionally set by an operator or a technician using the input / output means 11.
【００５４】このように本実施形態では、半導体製造装
置のアラームコードと加工データに加えて製品の検査デ
ータをも用いて、半導体製造装置の異常を例えば知識工
学的手法により推論し、その推論結果をオペレータ等に
知らせるようにしているので、半導体製造装置の異常を
見逃すことなく検知することができ、より正確な情報を
オペレータ等に提供することができる。これにより、よ
り確実に不良製品の作り込みを防止できると共に半導体
製造装置の修復時間をより短縮することができる。As described above, in the present embodiment, the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus is inferred by, for example, a knowledge engineering technique using the inspection data of the product in addition to the alarm code and the processing data of the semiconductor manufacturing apparatus. Is notified to the operator or the like, so that the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus can be detected without overlooking it, and more accurate information can be provided to the operator and the like. As a result, it is possible to more reliably prevent the production of defective products and to further shorten the repair time of the semiconductor manufacturing apparatus.
【００５５】[0055]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第１の発明
である半導体製造装置の故障診断装置によれば、半導体
製造装置で異常が発生した場合、アラームコードから異
常の原因とその対処方法を推論し、その推論結果をオペ
レータ等に知らせるようにしているので、半導体製造装
置を正常な状態に修復するまでの時間を短縮することが
でき、稼働率が向上する。As described above in detail, according to the first aspect of the present invention, when an abnormality occurs in a semiconductor manufacturing apparatus, the cause of the abnormality and a method of coping with the abnormality are indicated by an alarm code. Is inferred, and the result of the inference is notified to an operator or the like, so that the time until the semiconductor manufacturing apparatus is restored to a normal state can be shortened, and the operation rate improves.
【００５６】第２の発明である半導体製造装置の故障診
断装置によれば、上記第１の発明において、ルールベー
スに基づいた推論を行っているので、故障診断に関する
知識の修正や追加を容易に行うことができる。According to the second aspect of the present invention, since the inference based on the rule base is performed in the first aspect of the present invention, it is easy to correct or add the knowledge regarding the fault diagnosis. It can be carried out.
【００５７】第３の発明である半導体製造装置の故障診
断装置によれば、半導体製造装置のアラームコードに加
えて加工データも用いて、半導体製造装置の異常の原因
並びにその対処方法を推論するようにしているので、故
障ではないが加工データが異常な状態を検知して速やか
に対処することができるため、不良製品の作り込みを防
止できると共に半導体製造装置の修復時間を短縮でき、
稼働率が向上する。According to the third aspect of the present invention, the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the method of coping with the error are deduced by using the processing data in addition to the alarm code of the semiconductor manufacturing apparatus. Since it is possible to detect an abnormal state of processing data that is not a failure, but to take prompt action, it is possible to prevent the production of defective products and shorten the repair time of semiconductor manufacturing equipment,
The operation rate improves.
【００５８】第４の発明である半導体製造装置の故障診
断装置によれば、上記第３の発明において、ルールベー
スに基づいた推論を行っているので、故障診断に関する
知識の修正や追加を容易に行うことができる。According to the fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, the inference based on the rule base is performed in the third aspect of the invention, so that it is easy to correct or add knowledge relating to the fault diagnosis. It can be carried out.
【００５９】第５の発明である半導体製造装置の故障診
断装置によれば、半導体製造装置のアラームコードと加
工データに加えて製品の検査データをも用いて半導体製
造装置の異常の原因並びにその対処方法を推論し、その
推論結果をオペレータ等に知らせるようにしているの
で、半導体製造装置の異常を見逃すことなく検知し、よ
り正確な情報をオペレータ等に提供することができる。
これにより、半導体製造装置の異常に対して速やかに対
処することができ、より確実に不良製品の作り込みを防
止できると共に半導体製造装置の修復時間を短縮でき、
稼働率が向上する。According to the fifth aspect of the present invention, the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and its countermeasure using the inspection data of the product in addition to the alarm code and the processing data of the semiconductor manufacturing apparatus. Since the method is inferred and the result of the inference is notified to the operator or the like, the abnormality can be detected without overlooking the semiconductor manufacturing apparatus, and more accurate information can be provided to the operator or the like.
As a result, it is possible to promptly deal with an abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus, to more reliably prevent the production of defective products, and to shorten the repair time of the semiconductor manufacturing apparatus,
The operation rate improves.
【００６０】第６の発明である半導体製造装置の故障診
断装置の特徴は、上記第５の発明において、ルールベー
スに基づいた推論を行っているので、故障診断に関する
知識の修正や追加を容易に行うことができる。The feature of the fault diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to the sixth invention is that the reasoning based on the rule base is performed in the fifth invention, so that it is easy to correct or add knowledge on the fault diagnosis. It can be carried out.
【００６１】第７の発明である半導体製造装置の故障診
断方法によれば、上記第１の発明と同様の効果を奏する
ことができる。According to the method for diagnosing a failure of a semiconductor manufacturing apparatus according to the seventh aspect, the same effects as those of the first aspect can be obtained.
【００６２】第８の発明である半導体製造装置の故障診
断方法によれば、上記第３の発明と同様の効果を奏する
ことができる。According to the method for diagnosing a failure of a semiconductor manufacturing apparatus according to the eighth aspect, the same effect as that of the third aspect can be obtained.
【００６３】第９の発明である半導体製造装置の故障診
断方法によれば、上記第５の発明と同様の効果を奏する
ことができる。According to the method for diagnosing a failure in a semiconductor manufacturing apparatus according to the ninth aspect, the same effects as those of the fifth aspect can be obtained.
【図１】本発明の第１実施形態に係る半導体製造装置の
故障診断装置の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a failure diagnosis device for a semiconductor manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２実施形態に係る半導体製造装置の
故障診断装置の構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a failure diagnosis device for a semiconductor manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３実施形態に係る半導体製造装置の
故障診断装置の構成を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration of a failure diagnosis device for a semiconductor manufacturing apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図４】従来の半導体製造装置の故障診断機能を示すブ
ロック図である。FIG. 4 is a block diagram illustrating a failure diagnosis function of a conventional semiconductor manufacturing apparatus.
１ 計算機 ２ 通信ネットワーク ３−１，３−２，３−３ 通信制御手段 ４ 半導体製造装置 ５ アラームコード記憶手段 ６ ルールベース記憶手段 ７ 推論手段 ８ メッセージ記憶手段 ９ 推論結果記憶手段 １０−１ 推論結果表示手段 １０−２ 推論結果表示手段 １１ 入出力手段 １２ 加工データ記憶手段 １３ 加工データ管理値記憶手段 １４ 計測装置 １５ 製品検査データ記憶手段 １６ 製品検査データ管理値記憶手段 REFERENCE SIGNS LIST 1 computer 2 communication network 3-1, 3-2, 3-3 communication control means 4 semiconductor manufacturing apparatus 5 alarm code storage means 6 rule base storage means 7 inference means 8 message storage means 9 inference result storage means 10-1 inference result Display means 10-2 Inference result display means 11 Input / output means 12 Processing data storage means 13 Processing data management value storage means 14 Measuring device 15 Product inspection data storage means 16 Product inspection data management value storage means
Claims (9)
アラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶手
段と、 前記アラームコードから半導体製造装置の異常の原因並
びにその対処方法を推論するための知識がルールの形で
記憶されたルールベース記憶手段と、 前記アラームコード記憶手段に記憶されているアラーム
コード、及び前記ルールベース記憶手段に記憶されてい
るルールに基づいて半導体製造装置の異常の原因並びに
対処方法を推論する推論手段と、 半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を外部
に知らせるためのメッセージを記憶しているメッセージ
記億手段と、 前記推論手段の推論結果に対応したメッセージを前記メ
ッセージ記憶手段より検索して記憶しておく推論結果記
憶手段と、 前記推論結果記憶手段に記憶されているメッセージを表
示する推論結果表示手段とを備えたことを特徴とする半
導体製造装置の故障診断装置。1. An alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality has occurred in a semiconductor manufacturing apparatus, and knowledge for inferring a cause of the abnormality in the semiconductor manufacturing apparatus and a method for coping with the alarm code from the alarm code. A rule base storage unit stored in the form of a rule; an alarm code stored in the alarm code storage unit; and a cause and countermeasure of an abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus based on a rule stored in the rule base storage unit. Inference means for inferring a method; message storage means for storing a message for notifying the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a coping method to the outside; and a message corresponding to the inference result of the inference means. An inference result storage unit that retrieves and stores the inference result from the storage unit; Fault diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus characterized by comprising a inference result display means for displaying the 憶 has been messages.
いるルール、及び前記メッセージ記憶手段に記憶されて
いるメッセージの修正・追加を行う入出力手段を設けた
ことを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置の故障
診断装置。2. An apparatus according to claim 1, further comprising an input / output unit for modifying / adding a rule stored in said rule base storage unit and a message stored in said message storage unit. Failure diagnosis device for semiconductor manufacturing equipment.
アラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶手
段と、 半導体製造装置内のセンサで測定された加工データを収
集し記憶しておく加工データ記憶手段と、 前記アラームコードと前記加工データから前記半導体製
造装置の異常の原因並びにその対処方法を推論するため
の知識がルールの形で記憶されたルールベース記憶手段
と、 前記加工データの許容範囲が設定されている加工データ
管理値記憶手段と、 前記アラームコード記憶手段に記憶されているアラーム
コード、前記加工データ記憶手段に記憶されている加工
データ、前記ルールベース記憶手段に記憶されているル
ール、及び前記加工データ管理値記憶手段に記憶されて
いる加工データ管理値に基づいて前記半導体製造装置の
異常の原因並びにその対処方法を推論する推論手段と、 半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を外部
に知らせるためのメッセージを記憶しているメッセージ
記憶手段と、 前記推論手段の推論結果に対応したメッセージを前記メ
ッセージ記憶手段より検索して記憶しておく推論結果記
憶手段と、 前記推論結果記憶手段に記憶されているメッセージを表
示する推論結果表示手段とを備えたことを特徴とする半
導体製造装置の故障診断装置。3. An alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in a semiconductor manufacturing apparatus, and a processing data storage for collecting and storing processing data measured by a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus. Means, rule-based storage means in which knowledge for inferring the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a method of coping with the error from the alarm code and the processing data are stored in the form of rules, and the allowable range of the processing data is Set processing data management value storage means, an alarm code stored in the alarm code storage means, processing data stored in the processing data storage means, a rule stored in the rule base storage means, And the semiconductor manufacturing apparatus based on the processing data management value stored in the processing data management value storage means. Inference means for inferring the cause of the abnormality and the coping method thereof; message storage means for storing a message for notifying the cause of the abnormality in the semiconductor manufacturing apparatus and the coping method to the outside; and coping with the inference result of the inference means. Semiconductor manufacturing, comprising: an inference result storage means for searching for and storing said message from said message storage means; and an inference result display means for displaying a message stored in said inference result storage means. Device failure diagnosis device.
いるルール、前記加工データ管理値記憶手段に記憶され
ている加工データ管理値、及び前記メッセージ記憶手段
に記憶されているメッセージの修正・追加を行う入出力
手段を設けたことを特徴とする請求項３記載の半導体製
造装置の故障診断装置。4. Modification / addition of a rule stored in the rule base storage means, a processing data management value stored in the processing data management value storage means, and a message stored in the message storage means. 4. The failure diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to claim 3, further comprising input / output means for performing the operation.
アラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶手
段と、 半導体製造装置内のセンサで測定された加工データを収
集し記憶しておく加工データ記憶手段と、 計測装置により測定された半導体製品の検査データを収
集し記憶しておく製品検査データ記憶手段と、 前記アラームコード、前記加工データ、及び前記製品検
査データから前記半導体製造装置の異常の原因並びにそ
の対処方法を推論するための知識がルールの形で記憶さ
れたルールベース記憶手段と、 前記加工データの許容範囲が設定されている加工データ
管理値記憶手段と、 前記製品検査データの許容範囲が設定されている製品検
査データ管理値記憶手段と、 前記アラームコード記憶手段に記憶されているアラーム
コード、前記加工データ記憶手段に記憶されている加工
データ、前記製品検査データ記憶手段に記憶されている
製品検査データ、前記ルールベース記憶手段に記憶され
ているルール、前記加工データ管理値記憶手段に記憶さ
れている加工データ管理値、及び前記製品検査データ管
理値記憶手段に記憶されている製品検査データ管理値に
基づいて半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方
法を推論する推論手段と、 半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を外部
に知らせるためのメッセージを記憶しているメッセージ
記憶手段と、 前記推論手段の推論結果に対応したメッセージを前記メ
ッセージ記憶手段より検索して記憶しておく推論結果記
憶手段と、 前記推論結果記憶手段に記憶されているメッセージを表
示する推論結果表示手段とを備えたことを特徴とする半
導体製造装置の故障診断装置。5. An alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in a semiconductor manufacturing apparatus, and a processing data storage for collecting and storing processing data measured by a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus. Means, product inspection data storage means for collecting and storing semiconductor product inspection data measured by a measuring device, and a cause of an abnormality of the semiconductor manufacturing device from the alarm code, the processing data, and the product inspection data. A rule base storage unit in which knowledge for inferring a coping method is stored in the form of a rule; a processing data management value storage unit in which an allowable range of the processing data is set; and an allowable range of the product inspection data. Product inspection data management value storage means in which is set, and an alarm code stored in the alarm code storage means Processing data stored in the processing data storage means, product inspection data stored in the product inspection data storage means, rules stored in the rule base storage means, stored in the processing data management value storage means Inference means for inferring the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the method of coping with the abnormality based on the processed data management value stored and the product inspection data management value stored in the product inspection data management value storage means; A message storage means for storing a message for notifying the cause of the device abnormality and a coping method to the outside; and an inference for searching and storing a message corresponding to the inference result of the inference means from the message storage means. Result storage means, inference result display means for displaying a message stored in the inference result storage means, Fault diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus characterized by comprising.
いるルール、前記加工データ管理値記憶手段に記憶され
ている加工データ管理値、前記製品検査データ管理値記
憶手段に記憶されている製品検査データ管理値、及び前
記メッセージ記憶手段に記憶されているメッセージの修
正・追加を行う入出力手段を設けたことを特徴とする請
求項５記載の半導体製造装置の故障診断装置。6. A rule stored in the rule base storage means, a processing data management value stored in the processing data management value storage means, and a product inspection data stored in the product inspection data management value storage means. 6. The fault diagnosis apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to claim 5, further comprising input / output means for correcting / adding a management value and a message stored in said message storage means.
アラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶手
段と、前記アラームコードから半導体製造装置の異常の
原因並びにその対処方法を推論するための知識がルール
の形で記憶されたルールベース記憶手段と、半導体製造
装置の異常の原因並びにその対処方法を外部に知らせる
ためのメッセージを記憶しているメッセージ記億手段と
を予め備えておき、 前記アラームコード記憶手段に記憶されているアラーム
コード、及び前記ルールベース記憶手段に記憶されてい
るルールに基づいて半導体製造装置の異常の原因並びに
その対処方法を推論し、 その推論結果に対応したメッセージを前記メッセージ記
憶手段より検索して表示することを特徴とする半導体製
造装置の故障診断方法。7. An alarm code storing means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in a semiconductor manufacturing apparatus, and knowledge for inferring a cause of the abnormality in the semiconductor manufacturing apparatus and a method of coping with the alarm code from the alarm code. A rule base storage unit stored in the form of a rule, and a message storage unit storing a message for notifying a cause of an abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a countermeasure method to the outside; The cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and the coping method thereof are inferred based on the alarm code stored in the storage means and the rule stored in the rule base storage means, and a message corresponding to the inference result is sent to the message. A method of diagnosing a failure in a semiconductor manufacturing apparatus, wherein the method is performed by searching and displaying from a storage unit.
アラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶手
段と、半導体製造装置内のセンサで測定された加工デー
タを収集し記憶しておく加工データ記憶手段と、前記ア
ラームコードと前記加工データから前記半導体製造装置
の異常の原因並びにその対処方法を推論するための知識
がルールの形で記憶されたルールベース記憶手段と、前
記加工データの許容範囲が設定されている加工データ管
理値記憶手段と、半導体製造装置の異常の原因並びにそ
の対処方法を外部に知らせるためのメッセージを記憶し
ているメッセージ記憶手段とを予め備えておき、 前記アラームコード記憶手段に記憶されているアラーム
コード、前記加工データ記憶手段に記憶されている加工
データ、前記ルールベース記憶手段に記憶されているル
ール、及び前記加工データ管理値記憶手段に記憶されて
いる加工データ管理値に基づいて前記半導体製造装置の
異常の原因並びにその対処方法を推論し、 その推論結果に対応したメッセージを前記メッセージ記
憶手段より検索して表示することを特徴とする半導体製
造装置の故障診断方法。8. An alarm code storage means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, and a processing data storage for collecting and storing processing data measured by a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus. Means, rule-based storage means in which knowledge for inferring a cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a coping method thereof from the alarm code and the processing data in the form of a rule is stored, and an allowable range of the processing data is A processing data management value storage unit that has been set; and a message storage unit that stores a message for notifying a cause of an abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a countermeasure to the outside, and the alarm code storage unit. The alarm code stored in the processing data storage means, Infer the cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a method of coping with the rule based on the rule stored in the storage means and the processing data management value stored in the processing data management value storage means, and correspond to the inference result. A method of diagnosing a failure in a semiconductor manufacturing apparatus, wherein the retrieved message is retrieved from the message storage means and displayed.
アラームコードを収集し記憶するアラームコード記憶手
段と、半導体製造装置内のセンサで測定された加工デー
タを収集し記憶しておく加工データ記憶手段と、計測装
置により測定された半導体製品の検査データを収集し記
憶しておく製品検査データ記憶手段と、前記アラームコ
ード、前記加工データ、及び前記製品検査データから前
記半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方法を推
論するための知識がルールの形で記憶されたルールベー
ス記憶手段と、前記加工データの許容範囲が設定されて
いる加工データ管理値記憶手段と、前記製品検査データ
の許容範囲が設定されている製品検査データ管理値記憶
手段と、半導体装置の異常の原因並びにその対処方法を
外部に知らせるためのメッセージを記憶しているメッセ
ージ記憶手段とを予め備えておき、 前記アラームコード記憶手段に記憶されているアラーム
コード、前記加工データ記憶手段に記憶されている加工
データ、前記製品検査データ記憶手段に記憶されている
製品検査データ、前記ルールベース記憶手段に記憶され
ているルール、前記加工データ管理値記憶手段に記憶さ
れている加工データ管理値、及び前記製品検査データ管
理値記憶手段に記憶されている製品検査データ管理値に
基づいて半導体製造装置の異常の原因並びにその対処方
法を推論し、 その推論結果に対応したメッセージを前記メッセージ記
憶手段より検索して表示することを特徴とする半導体製
造装置の故障診断方法。9. An alarm code storing means for collecting and storing an alarm code when an abnormality occurs in the semiconductor manufacturing apparatus, and a processing data storage for collecting and storing processing data measured by a sensor in the semiconductor manufacturing apparatus. Means, product inspection data storage means for collecting and storing semiconductor product inspection data measured by a measuring device, and a cause of abnormality of the semiconductor manufacturing device from the alarm code, the processing data, and the product inspection data. A rule base storage unit in which knowledge for inferring a coping method is stored in the form of a rule, a processing data management value storage unit in which an allowable range of the processing data is set, and an allowable range of the product inspection data. Means for storing product inspection data management value storage means in which is set a And a message storage means for storing the message, the alarm code stored in the alarm code storage means, the processing data stored in the processing data storage means, and the product inspection data storage means. Stored product inspection data, rules stored in the rule base storage means, processed data management values stored in the processed data management value storage means, and stored in the product inspection data management value storage means A cause of the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus and a method of coping with the abnormality based on the product inspection data management value, and a message corresponding to the inference result is retrieved from the message storage means and displayed. Fault diagnosis method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8173847A JPH1021079A (en) | 1996-07-03 | 1996-07-03 | Device and method for diagnosing fault of semiconductor manufacturing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8173847A JPH1021079A (en) | 1996-07-03 | 1996-07-03 | Device and method for diagnosing fault of semiconductor manufacturing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1021079A true JPH1021079A (en) | 1998-01-23 |
Family
ID=15968269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8173847A Pending JPH1021079A (en) | 1996-07-03 | 1996-07-03 | Device and method for diagnosing fault of semiconductor manufacturing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1021079A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004031381A (en) * | 2002-06-21 | 2004-01-29 | Hitachi High-Technologies Corp | Semiconductor equipment and diagnosis equipment therefor, and operating system of the semiconductor equipment |
| US6901306B2 (en) | 2002-02-27 | 2005-05-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus and its diagnosis apparatus and operating system |
| DE19958934B4 (en) * | 1999-05-11 | 2017-06-14 | Mitsubishi Denki K.K. | Engine control unit |
-
1996
- 1996-07-03 JP JP8173847A patent/JPH1021079A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19958934B4 (en) * | 1999-05-11 | 2017-06-14 | Mitsubishi Denki K.K. | Engine control unit |
| US6901306B2 (en) | 2002-02-27 | 2005-05-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus and its diagnosis apparatus and operating system |
| US7047093B2 (en) | 2002-02-27 | 2006-05-16 | Hitachi High-Technologies Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus and its diagnosis apparatus and operating system |
| JP2004031381A (en) * | 2002-06-21 | 2004-01-29 | Hitachi High-Technologies Corp | Semiconductor equipment and diagnosis equipment therefor, and operating system of the semiconductor equipment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101496069B1 (en) | Plant safety design assistance device and plant monitoring and maintenance assistance device | |
| JP4436046B2 (en) | Enhanced alerts for HART devices in process control systems | |
| JP3043897B2 (en) | Plant operation support device | |
| US20040199361A1 (en) | Method and apparatus for equipment diagnostics and recovery with self-learning | |
| JP4802665B2 (en) | Operation management device for water treatment plant | |
| JPS63272450A (en) | Diagnosis device for production equipment | |
| JPH06309585A (en) | Pre-alarm device | |
| JPH1021079A (en) | Device and method for diagnosing fault of semiconductor manufacturing device | |
| JPS6332650A (en) | Trouble diagnosing device for production facilities | |
| JPH11133225A (en) | Centralized monitoring system for color filter manufacturing device | |
| JPH07160326A (en) | Plant monitor device | |
| JP3113350B2 (en) | System monitoring method and system monitoring device | |
| JP2000075923A (en) | Abnormality diagnostic device | |
| JP2004034112A (en) | Method and system for supporting diagnosis of rolling equipment | |
| JP2532170B2 (en) | Maintenance support device | |
| JP2005071200A (en) | Manufacturing information management program | |
| JP2000259224A (en) | Plant monitoring system | |
| JP2001022439A (en) | Monitor device for controlled system | |
| JPH0469916A (en) | Diagnostic controlling method of semiconductor manufacturing equipment | |
| JPH0722485A (en) | Monitor system of semiconductor production device | |
| JP4691285B2 (en) | Product usage environment information collection and analysis equipment | |
| JPH1196039A (en) | Abnormality diagnostic system | |
| JPH08263135A (en) | Plant control system maintenance support system | |
| JP2002191297A (en) | Apparatus for supporting food sanitation supervision | |
| JPH10307625A (en) | Plant monitoring device |