JPH10208205A - Manufacture of magnetic head - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide manufacture of a magnetic head manufacturing the magnetic head with a large azimuth angle with excellent productivity. SOLUTION: The manufacture of the magnetic head having a precribed azimuth angle (α) is provided with a process manufacturing plural substrates formed with a magnetic thin film on at least one side surface, the process piling up plural substrates in the state tilting by an angle (β) smaller than the angle relevant to the azimuth angel (α), joining them to each other and manufacturing a magnetic core substrate block 11 of a nearly parallelogram shape and the process cutting off this magnetic core substrate block 11 while tilting it by the angle (α) relevant to the azimuth angel (α) for the film thickness direction (c) of the magnetic thin film, and manufacturing plural nearly symmetrical magnetic core half blocks making a pair, and thereafter, prescribed processing is performed for the magnetic core half blocks making a pair, and the magnetic heads that a pair of magnetic core half bodies constituted of holding the magnetic thin film between a pair of substrates are confronted with each other so as to provide the prescribed azimuth angle (α) are manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、テープ状磁気記録
媒体に対して記録再生を行う磁気ヘッドの製造方法に関
し、詳しくは、一対の磁気コア半体を突き合わせること
によって、所定のアジマス角を有する磁気ギャップが形
成される磁気ヘッドの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head for recording and reproducing data on and from a tape-shaped magnetic recording medium. More specifically, the present invention relates to a method for adjusting a predetermined azimuth angle by abutting a pair of magnetic core halves. The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head having a magnetic gap having the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、ビデオ・テープ・レコーダ等の磁
気記録再生装置においては、記録信号の高記録密度化
や、高周波化等が進められている。この高密度化に対応
した磁気記録媒体としては、磁性粉にＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ
等の強磁性金属の粉末を用いたいわゆるメタルテープ
や、強磁性金属材料を蒸着法によりベースフィルム上に
被着したいわゆる蒸着テープ等が使用されるようになっ
ている。そして、このような磁気記録媒体が高い残留磁
束密度Ｂｒと高い保磁力Ｈｃを有するために、記録再生
に用いる磁気ヘッドは、ヘッド材料に高い飽和磁束密度
Ｂｓと高い透磁率を有することが要求されている。2. Description of the Related Art In recent years, in magnetic recording / reproducing apparatuses such as video tape recorders, recording signals of higher recording density and higher frequencies have been developed. As a magnetic recording medium corresponding to this high density, Fe, Co, Ni
A so-called metal tape using a powder of a ferromagnetic metal, such as a so-called metal tape, and a so-called vapor-deposited tape in which a ferromagnetic metal material is adhered on a base film by a vapor deposition method have been used. Since such a magnetic recording medium has a high residual magnetic flux density Br and a high coercive force Hc, a magnetic head used for recording and reproduction is required to have a high saturation magnetic flux density Bs and a high magnetic permeability in the head material. ing.

【０００３】一方、上述のような磁気記録媒体の高密度
化に伴って、磁気記録媒体に記録される記録トラック幅
の狭小化も進められており、これに対応して磁気ヘッド
としては、トラック幅が極めて狭いものが要求されてい
る。On the other hand, with the increase in the density of the magnetic recording medium as described above, the width of the recording track recorded on the magnetic recording medium has been narrowed. An extremely narrow width is required.

【０００４】そこで、従来においては、セラミックス材
料等からなる非磁性基板上に磁気コアとなる磁性薄膜を
被着形成し、これをトラック部分としたいわゆる複合型
磁気ヘッドが提案されている。Therefore, a so-called composite magnetic head has been proposed in which a magnetic thin film serving as a magnetic core is formed on a non-magnetic substrate made of a ceramic material or the like, and the magnetic thin film is used as a track portion.

【０００５】この複合型磁気ヘッドを製造する際は、先
ず、図１６に示すように、非磁性基板３０の片面に磁気
コアとなる磁性薄膜３１を成膜し、この磁性薄膜３１上
に接合膜３２をスパッタリング法等の真空薄膜形成方法
により形成し、磁気コア基板３３を作成する。ここで、
接合膜３２としては、融着用ガラス膜、或いは、低温金
属接合用のＡｕ，Ａｇ，Ｐｄ等が用いられる。In manufacturing this composite magnetic head, first, as shown in FIG. 16, a magnetic thin film 31 serving as a magnetic core is formed on one surface of a non-magnetic substrate 30, and a bonding film is formed on the magnetic thin film 31. 32 is formed by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method, and a magnetic core substrate 33 is formed. here,
As the bonding film 32, a glass film for fusion or Au, Ag, Pd or the like for low-temperature metal bonding is used.

【０００６】次に、非磁性基板３０上に磁性薄膜３１、
接合膜３２を形成してなる磁気コア基板３３を、図１７
に示すように、基準面３４上に磁性薄膜３１の膜厚方向
ａに積み重ね、最後に磁性膜膜３１、接合膜３２が成膜
されていない非磁性基板３０ａを重ねる。そして、図１
７中の矢印で示すように、積み重ねた磁気コア基板３３
の両側面から加圧しながら加熱処理を行い接合一体化す
ることで磁気コア基板ブロック３５を作製する。Next, a magnetic thin film 31 is formed on a non-magnetic substrate 30.
The magnetic core substrate 33 formed with the bonding film 32 is
As shown in (2), the magnetic thin films 31 are stacked on the reference surface 34 in the thickness direction a, and finally the non-magnetic substrate 30a on which the magnetic film 31 and the bonding film 32 are not formed is stacked. And FIG.
As shown by the arrow in FIG.
The magnetic core substrate block 35 is manufactured by performing a heat treatment while applying pressure from both sides of the substrate and joining them together.

【０００７】次に、この磁気コア基板ブロック３５を、
図１８及び図１９に示すように、磁気ヘッドのアジマス
角をαとしたとき、基準面３４から９０゜−αの角度だ
け傾けた切断線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃに沿って切断
し、互いに略対称な一対の磁気コア半体となる磁気コア
ハーフブロックを形成する。Next, this magnetic core substrate block 35 is
As shown in FIGS. 18 and 19, when the azimuth angle of the magnetic head is α, along cutting lines AA, BB, and CC inclined by 90 ° -α from the reference plane 34. Cutting is performed to form a pair of magnetic core halves that are substantially symmetric with each other.

【０００８】次に、これらの磁気コアハーフブロックの
うち、いずれか一方の磁気コアハーフブロックに、その
長手方向に沿って巻線溝を形成する。次に、巻線溝が形
成されていない磁気コアハーフブロックの片面と、磁気
コアハーフブロックの巻線溝が形成された面に対して平
滑研磨を施す。Next, a winding groove is formed on one of the magnetic core half blocks along the longitudinal direction. Next, smooth polishing is performed on one surface of the magnetic core half block in which the winding groove is not formed and on the surface of the magnetic core half block in which the winding groove is formed.

【０００９】次に、これら磁気コアハーフブロックの突
き合わせ面にギャップスペーサーをスパッタリング法等
の真空薄膜形成法により形成した後、各磁気コアハーフ
ブロックにそれぞれ形成された磁性薄膜同士が相対向す
るように、突き合わせて加圧しながら加熱処理を行って
磁気コアブロックを作製する。Next, after a gap spacer is formed on the abutting surface of the magnetic core half blocks by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method, the magnetic thin films formed on the magnetic core half blocks are opposed to each other. Then, a heat treatment is performed while pressing against each other to produce a magnetic core block.

【００１０】次に、所定のギャップ深さとなるように、
媒体摺動面となる側からラップすることによって、所定
の曲率を有する媒体摺動面を形成し、磁性薄膜と平行に
チップ切断することで磁気ヘッドを完成する。Next, a predetermined gap depth is obtained.
By wrapping from the side to be the medium sliding surface, a medium sliding surface having a predetermined curvature is formed, and the chip is cut in parallel with the magnetic thin film to complete the magnetic head.

【００１１】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上述した磁気ヘッドの
製造方法においては、図１８及び図１９に示す磁気コア
基板ブロック３５を切断する工程において、切断面を基
準面３４から約９０゜−αの切断角で切断するために、
切り残り部分が生ずる。In the above-described method of manufacturing a magnetic head, in the step of cutting the magnetic core substrate block 35 shown in FIGS. 18 and 19, the cut surface is set at about 90 ° -α from the reference surface 34. To cut at the cutting angle,
Uncut portions occur.

【００１２】特に、アジマス角αの大きな磁気ヘッドを
作製する際、磁気コア基板３３に対する切断角９０゜−
αが大きくなってしまうために、この切り残り部分は、
大きくなってしまう。このように、上述した磁気ヘッド
の製造方法において、切り残り部分が大きくなると、磁
気コア基板３３の無駄が生じ、生産性が悪くなってしま
うという問題点がある。Particularly, when manufacturing a magnetic head having a large azimuth angle α, a cutting angle of 90 °-
Because α becomes large, this uncut portion is
It gets bigger. As described above, in the above-described method of manufacturing a magnetic head, when the uncut portion becomes large, there is a problem that the magnetic core substrate 33 is wasted and productivity is deteriorated.

【００１３】また、このような切り残り部分の減少を図
るために、図２０に示すように、予め磁気コア基板ブロ
ック３５をアジマス角に相当する角度αだけ傾けた状態
で重ね合わせ、これを基準面３６に対して図２０中の点
線で示すような切断面、すなわち、基準面３６に対して
垂直方向ａに切断する方法が提案されている。In order to reduce such uncut portions, as shown in FIG. 20, the magnetic core substrate blocks 35 are overlapped with each other in a state where the magnetic core substrate blocks 35 are tilted by an angle α corresponding to the azimuth angle in advance. A method of cutting the surface 36 in a direction perpendicular to the cut surface shown by a dotted line in FIG.

【００１４】このような磁気ヘッドの製造方法によれ
ば、上述したような切り残り部分が基板の端部の三角形
部分のみとなり、磁気コア基板３３を有効に使え、歩留
まりの点で非常に有利である。According to such a method of manufacturing a magnetic head, the above-mentioned uncut portion becomes only the triangular portion at the end of the substrate, and the magnetic core substrate 33 can be used effectively, which is very advantageous in terms of yield. is there.

【００１５】しかしながら、このように磁気コア基板ブ
ロック３５を作製する際、積み重ねた磁気コア基板３３
を基準面３６の垂直方向ａに対して両面から加圧させて
作製するので、アジマス角αの大きな磁気ヘッドを製造
する際、それぞれの磁気コア基板３３がずれる方向に圧
力が働いてしまい、ずれてしまう。このようなそれぞれ
の磁気コア基板３３のずれは、アジマス角αの大きな磁
気ヘッドを製造する際に更に顕著となってしまう。した
がって、この磁気ヘッドの製造方法は、アジマス角αの
大きな磁気ヘッドの作製には適用できない。However, when manufacturing the magnetic core substrate block 35 in this manner, the stacked magnetic core substrates 33
Is produced by pressing both sides against the vertical direction a of the reference plane 36, so that when a magnetic head having a large azimuth angle α is manufactured, pressure acts in a direction in which the respective magnetic core substrates 33 are shifted, resulting in misalignment. Would. Such deviation of each magnetic core substrate 33 becomes more remarkable when a magnetic head having a large azimuth angle α is manufactured. Therefore, this method of manufacturing a magnetic head cannot be applied to the manufacture of a magnetic head having a large azimuth angle α.

【００１６】本発明は、上述した実情に鑑みて提案され
たものであり、アジマス角の大きな磁気ヘッドを生産性
良く製造する磁気ヘッドの製造方法を提案することを目
的とする。The present invention has been proposed in view of the above circumstances, and has as its object to propose a method of manufacturing a magnetic head having a large azimuth angle with high productivity.

【００１７】[0017]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明にかかる磁気ヘッドの製造方法は、所定のアジマス
角を有する磁気ヘッドの製造方法であって、少なくとも
一方の面に磁性薄膜が形成された基板を複数作製する工
程と、複数の基板を、アジマス角に相当する角度よりも
小さな角度だけ傾けた状態で積み重ねて相互に接合し、
略平行四辺形状の磁気コア基板ブロックを作製する工程
と、この磁気コア基板ブロックを、磁性薄膜の膜厚方向
に対してアジマス角に相当する角度だけ傾けて切断し、
対をなす略対称な磁気コアハーフブロックを複数作製す
る工程とを有し、その後、対をなす磁気コアハーフブロ
ックに対して所定の加工を施し、磁性薄膜を一対の基板
によって挟み込んでなる一対の磁気コア半体が所定のア
ジマス角を有するように突き合われた磁気ヘッドを作製
することを特徴とする。A method of manufacturing a magnetic head according to the present invention for solving the above-mentioned problems is a method of manufacturing a magnetic head having a predetermined azimuth angle, wherein a magnetic thin film is formed on at least one surface. A process of manufacturing a plurality of substrates, and a plurality of substrates are stacked and bonded to each other while being tilted at an angle smaller than the angle corresponding to the azimuth angle,
A step of manufacturing a substantially parallelogram-shaped magnetic core substrate block, and cutting the magnetic core substrate block at an angle corresponding to the azimuth angle with respect to the thickness direction of the magnetic thin film;
Producing a plurality of substantially symmetric magnetic core half-blocks forming a pair, and thereafter performing a predetermined processing on the paired magnetic core half-blocks, and sandwiching the magnetic thin film between a pair of substrates. A magnetic head in which the magnetic core halves are abutted so as to have a predetermined azimuth angle is manufactured.

【００１８】なお、上記の磁気ヘッドの製造方法におい
ては、磁性薄膜を挟み込む一対の基板を、非磁性体から
なるものとしても良い。In the above method of manufacturing a magnetic head, the pair of substrates sandwiching the magnetic thin film may be made of a non-magnetic material.

【００１９】また、上記の磁気ヘッドの製造方法におい
ては、磁性薄膜を挟み込む一対の基板を、非磁性体と磁
性フェライト材からなる基板としても良い。In the above-described method of manufacturing a magnetic head, the pair of substrates sandwiching the magnetic thin film may be a substrate made of a non-magnetic material and a magnetic ferrite material.

【００２０】また、上記の磁気ヘッドの製造方法におい
ては、磁性薄膜を、電気的絶縁膜を介して積層された構
造を有するものとしても良い。In the above-described method for manufacturing a magnetic head, the magnetic thin film may have a structure in which the magnetic thin films are laminated via an electrical insulating film.

【００２１】また、上記の磁気ヘッドの製造方法におい
ては、基板を傾ける角度が、５度〜２０度の範囲内であ
ることが望ましい。In the above-described method of manufacturing a magnetic head, it is preferable that the angle of inclination of the substrate is in the range of 5 to 20 degrees.

【００２２】このような磁気ヘッドの製造方法は、複数
の基板を、アジマス角に相当する角度よりも小さな角度
だけ傾けた状態で積み重ねて相互に接合し、略平行四辺
形状の磁気コア基板ブロックを作製する工程と、磁気コ
ア基板ブロックを、磁性薄膜の膜厚方向に対してアジマ
ス角に相当する角度だけ傾けて切断し、対をなす略対称
な磁気コアハーフブロックを複数作製するので、アジマ
ス角の大きな磁気ヘッドを製造する際においても、従来
のように、切り残し部分が大きくなってしまうようなこ
とがなく、かつ、接合したそれぞれの基板がずれて、各
々の基板間の接合力が弱くなってしまうようなことがな
い。According to such a method of manufacturing a magnetic head, a plurality of substrates are stacked and joined to each other while being inclined at an angle smaller than the angle corresponding to the azimuth angle, and a substantially parallelogram-shaped magnetic core substrate block is formed. The manufacturing process and the magnetic core substrate block are cut at an angle corresponding to the azimuth angle with respect to the thickness direction of the magnetic thin film, and a plurality of substantially symmetric magnetic core half blocks forming a pair are manufactured. Even when manufacturing a large magnetic head, the uncut portion does not become large unlike the conventional case, and the bonded substrates are displaced, and the bonding strength between the substrates is weak. There is no such thing as becoming.

【００２３】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる磁気ヘッド
の製造方法について図面を参照しながら詳細に説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a method for manufacturing a magnetic head according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【００２４】本実施の形態にかかる磁気ヘッドの製造方
法によって製造される磁気ヘッド１は、図１に示すよう
に、磁気コアとなる磁性薄膜２ａを、その膜厚方向から
一対の非磁性基板３ａ，４ａによって挟み込んでなる磁
気コア半体５ａと、磁気コアとなる磁性薄膜２ｂを、そ
の膜厚方向から一対の非磁性基板３ｂ，４ｂによって挟
み込んでなる磁気コア半体５ｂとが、突き合わせ面に呈
する磁性薄膜２ａ，２ｂの端面同士を突き合わせてその
突き合わせ面に所定のアジマス角αを有する磁気ギャッ
プｇを形成してなる磁気ヘッドである。As shown in FIG. 1, the magnetic head 1 manufactured by the method of manufacturing a magnetic head according to the present embodiment includes a magnetic thin film 2a serving as a magnetic core and a pair of non-magnetic substrates 3a. , 4a, and a magnetic core half 5b, which sandwiches a magnetic thin film 2b as a magnetic core between a pair of non-magnetic substrates 3b, 4b from the thickness direction thereof, This is a magnetic head formed by abutting end faces of magnetic thin films 2a and 2b to form a magnetic gap g having a predetermined azimuth angle α on the abutting surfaces.

【００２５】このような磁気ヘッド１を製造する際にお
いては、先ず、図２に示すように、例えばセラミック材
料からなる基板６の一方面に磁気コアとなる磁性薄膜７
を形成し、更に、この磁性薄膜７上に接合膜８を形成す
ることによって、磁気コア基板９を作製する。なお、こ
の磁性薄膜７及び接合膜８は、例えばスパッタリング法
等の真空薄膜形成法によって形成する。In manufacturing such a magnetic head 1, first, as shown in FIG. 2, a magnetic thin film 7 serving as a magnetic core is formed on one surface of a substrate 6 made of, for example, a ceramic material.
And a bonding film 8 is formed on the magnetic thin film 7 to produce a magnetic core substrate 9. The magnetic thin film 7 and the bonding film 8 are formed by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method.

【００２６】この磁性薄膜７としては、例えばＦｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓ
ｉ、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ等、及びそれらに８原子％以下の
Ｃｏ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｒｕ，Ａｕ，Ｐ
ｄ，Ｎ，Ｃ，Ｏ等を一種又は数種添加した結晶質材料、
又はＣｏを主としてＺｒ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｈｆ，Ｍｏ，Ｎ
ｂの一種又は数種添加して構成されたアモルファス材
料、或いはＣｏ，Ｆｅに主としてＺｒ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｈ
ｆ，Ｍｏ，Ｎｂ，Ｓｉ，Ａｌ，Ｂの一種又は数種とＮ，
Ｃ，Ｏの一種又は数種を添加して構成された微結晶材
料、等が選ばれる。また、接合膜８としては、融着用ガ
ラス膜、或いは、低温金属接合用のＡｕ，Ａｇ，Ｐｄ等
が用いられる。As the magnetic thin film 7, for example, Fe-A
l-Si, Fe-Ni-Al-Si, Fe-Ga-S
i, Fe-Al-Ge, etc., and Co, Ti, Cr, Nb, Mo, Ta, Ru, Au, P
a crystalline material to which one or several kinds of d, N, C, O, etc. are added;
Or Co mainly Zr, Ta, Ti, Hf, Mo, N
b, an amorphous material formed by adding one or several kinds, or Zr, Ta, Ti, H
f, Mo, Nb, Si, Al, B or N and
A microcrystalline material formed by adding one or several kinds of C and O is selected. Further, as the bonding film 8, a glass film for fusion, or Au, Ag, Pd or the like for low-temperature metal bonding is used.

【００２７】次に、図３及び図４に示すように、上述の
工程で磁性薄膜７及び接合膜８が形成された磁気コア基
板９を第１の基準面１０の方向ａに対して角度βだけ傾
けて積み重ねる。このとき、相互に積み重ねた磁気コア
基板９は、所定量ｔだけずれるようにして積み重ねられ
る。そして、最後に磁性薄膜７及び接合膜８が形成され
ていない基板６ａを積み重ねることによって、略平行四
辺形状とする。そして、このように積み重ねた磁気コア
基板９に対して磁性薄膜７の積層方向ｃに加圧しながら
加熱処理を行い、磁気コア基板ブロック１１を作製す
る。Next, as shown in FIG. 3 and FIG. 4, the magnetic core substrate 9 on which the magnetic thin film 7 and the bonding film 8 are formed in the above-described process is placed at an angle β with respect to the direction a of the first reference plane 10. Just tilt and stack. At this time, the magnetic core substrates 9 stacked on each other are stacked so as to be shifted by a predetermined amount t. Finally, the substrates 6a on which the magnetic thin film 7 and the bonding film 8 are not formed are stacked to form a substantially parallelogram. Then, a heat treatment is performed on the magnetic core substrates 9 stacked as described above while pressing the magnetic core substrates 9 in the laminating direction c of the magnetic thin film 7, thereby manufacturing the magnetic core substrate block 11.

【００２８】本実施の形態において、磁気コア基板９を
傾ける角度βは、完成された磁気ヘッドが有するアジマ
ス角αよりも小さくしている。これは、上記角度βを、
あまり大きくすると、接合時において積層方向ｃに加圧
することにより、加圧力がそれぞれの磁気コア基板９の
長軸方向ｂに働いて磁気コア基板９がずれてしまう虞が
あり、各磁気コア基板９相互の接合力が不十分となるか
らである。したがって、具体的には、例えば、アジマス
角αが２５゜程度の磁気ヘッドを作製する際は、この磁
気コア基板９を傾ける角度βは、５゜〜２０゜の範囲内
であることが望ましい。In this embodiment, the angle β for inclining the magnetic core substrate 9 is smaller than the azimuth angle α of the completed magnetic head. This means that the angle β is
If it is too large, the pressure may act in the major axis direction b of each magnetic core substrate 9 by pressing in the laminating direction c at the time of joining, and the magnetic core substrate 9 may be displaced. This is because mutual bonding strength becomes insufficient. Therefore, specifically, for example, when manufacturing a magnetic head having an azimuth angle α of about 25 °, the angle β at which the magnetic core substrate 9 is inclined is desirably in the range of 5 ° to 20 °.

【００２９】次に、この磁気コア基板ブロック１１を、
図４及び図５に示すように、積層方向ｃに平行な第２の
基準面１２に対して磁気ヘッド１のアジマス角αに相当
する角度αだけ傾けた切断線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃの
線に沿って切断し、図６に示すような互いに略対称な一
対の磁気コアハーフブロック１３を形成する。なお、第
２の基準面１２は、磁気コア基板９の膜厚方向と平行な
仮想面である。すなわち、磁気コア基板ブロック１１の
積層方向ｃに対してαの角度で斜めに切断することとな
る。Next, this magnetic core substrate block 11 is
As shown in FIGS. 4 and 5, cutting lines AA, BB, and BB are inclined by an angle α corresponding to the azimuth angle α of the magnetic head 1 with respect to the second reference plane 12 parallel to the stacking direction c. Cutting along the line C-C forms a pair of magnetic core half blocks 13 that are substantially symmetric with each other as shown in FIG. The second reference plane 12 is a virtual plane parallel to the thickness direction of the magnetic core substrate 9. That is, the magnetic core substrate block 11 is cut obliquely at an angle α with respect to the laminating direction c.

【００３０】次に、図７に示すように、いずれか一方の
磁気コアハーフブロック１３に対してコイルが巻回され
る巻線溝１４を磁気コアハーフブロック１３の長軸方向
に沿って形成する。そして、この巻線溝１４が形成され
た一方の磁気コアハーフブロック１３の接合面及び他方
の磁気コアハーフブロック１３の接合面に対して平滑研
磨を行う。Next, as shown in FIG. 7, a winding groove 14 in which a coil is wound around one of the magnetic core half blocks 13 is formed along the longitudinal direction of the magnetic core half block 13. . Then, the joining surface of one magnetic core half block 13 where the winding groove 14 is formed and the joining surface of the other magnetic core half block 13 are smooth-polished.

【００３１】次に、図８に示すように、上述の工程によ
り平滑研磨が施された面に対してギャップスペーサー１
５をスパッタリング法等の真空薄膜形成法により形成
し、双方の磁気コアハーフブロック１３をギャップスペ
ーサー１５を介してそれぞれの磁性薄膜７が対向するよ
うに突き合わせる。そして、突き合わせ方向よりこれら
磁気コアハーフブロック１３を加圧しながら加熱を行
う。その結果、これら磁気コアハーフブロック１３を、
接合一体化させ、磁気コアブロック１６とする。このよ
うに作製された磁気コアブロック１６は、各磁気コアハ
ーフブロック１３にそれぞれ形成された磁性薄膜７の突
き合わせ面間に、所定のアジマス角αを有する記録再生
ギャップとして機能する磁気ギャップｇが形成される。Next, as shown in FIG. 8, the gap spacer 1 is applied to the surface polished by the above-described process.
5 is formed by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method, and both magnetic core half blocks 13 are abutted to each other via a gap spacer 15 such that the magnetic thin films 7 face each other. Then, heating is performed while pressing these magnetic core half blocks 13 from the butting direction. As a result, these magnetic core half blocks 13
The magnetic core block 16 is joined and integrated. In the magnetic core block 16 thus manufactured, a magnetic gap g functioning as a recording / reproducing gap having a predetermined azimuth angle α is formed between the butting surfaces of the magnetic thin films 7 formed on the magnetic core half blocks 13. Is done.

【００３２】次に、接合一体化された磁気コアブロック
１６に対し、所定のギャップ深さとなるように、媒体摺
動面側から図８中の一点鎖線に至るまでラップを施すこ
とによって、所定の曲率を有する媒体摺動面を形成す
る。次に、この媒体摺動面が形成された磁気コアブロッ
ク１６に対して切断線Ｄ−Ｄ、Ｅ−Ｅに沿って切断する
ことによって磁気ヘッド１を完成させる。Next, the magnetic core block 16 which has been joined and integrated is wrapped from the medium sliding surface side to the dashed line in FIG. 8 so as to have a predetermined gap depth. A medium sliding surface having a curvature is formed. Next, the magnetic head 1 is completed by cutting the magnetic core block 16 on which the medium sliding surface is formed, along cutting lines DD and EE.

【００３３】このような磁気ヘッドの製造方法では、磁
気コア基板ブロック１１を作製する際に、上述の工程で
磁性薄膜７が形成された磁気コア基板９を第１の基準面
１０に対してアジマス角αよりも小さな角度βで傾けて
積み重ねる。このとき、角度βが小さいので、磁気コア
基板ブロック１１を作製する際にも各磁気コア基板９に
ずれが生ずるようなことはない。また、磁気コア基板９
の積層方向Ｃに対して斜めに、すなわち、積層方向ｃか
ら磁気ヘッド１のアジマス角αに相当する角度だけ傾け
た切断面Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃに沿って切断してい
る。したがって、磁気コア基板９の切り残り部分が少な
くて済む。したがって、この磁気ヘッドの製造方法によ
れば、アジマス角αが大きな、例えばアジマス角が約２
０゜以上の磁気ヘッドを製造する際においても、磁気コ
ア基板９の無駄となる部分を少なくすることができ、生
産性を向上させることが可能である。In such a method of manufacturing a magnetic head, when the magnetic core substrate block 11 is manufactured, the magnetic core substrate 9 on which the magnetic thin film 7 is formed in the above-described process is azimuthally moved with respect to the first reference surface 10. Stack at an angle β smaller than the angle α. At this time, since the angle β is small, even when the magnetic core substrate block 11 is manufactured, no deviation occurs in each magnetic core substrate 9. Also, the magnetic core substrate 9
Is cut obliquely to the laminating direction C, that is, along the cutting planes AA, BB, and CC inclined by an angle corresponding to the azimuth angle α of the magnetic head 1 from the laminating direction c. . Therefore, the uncut portion of the magnetic core substrate 9 can be reduced. Therefore, according to the method of manufacturing the magnetic head, the azimuth angle α is large, for example,
When manufacturing a magnetic head of 0 ° or more, wasteful portions of the magnetic core substrate 9 can be reduced, and productivity can be improved.

【００３４】ここで、長軸方向の長さが約３０ｍｍ、短
軸方向の長さが約１ｍｍの非磁性基板を３０枚積み重ね
て磁気コア基板を作製し、アジマス角αが約２５゜の磁
気ヘッドを製造した場合、従来の磁気ヘッドの製造方法
により、１つの磁気コア基板ブロック１１から得られる
磁気コアハーフブロックの数が６本となる。一方、本実
施の形態にかかる磁気ヘッドの製造方法によれば、製造
する磁気ヘッドのアジマス角αを２５゜とし、非磁性基
板を傾ける角度βを約２０゜とした場合、１つの磁気コ
ア基板ブロック１１から得られる磁気コアハーフブロッ
クの数が１０本となる。このように、本実施の形態にか
かる磁気ヘッドの製造方法によれば、磁気コア基板のほ
ぼ全てを磁気ヘッドとして使用することができるので、
生産性を向上させることが可能である。Here, a magnetic core substrate is manufactured by stacking 30 non-magnetic substrates having a length in the major axis direction of about 30 mm and a length in the minor axis direction of about 1 mm, and forming a magnetic core substrate having an azimuth angle α of about 25 °. When the head is manufactured, the number of magnetic core half blocks obtained from one magnetic core substrate block 11 becomes six by the conventional magnetic head manufacturing method. On the other hand, according to the method for manufacturing a magnetic head according to the present embodiment, when the azimuth angle α of the magnetic head to be manufactured is 25 ° and the angle β for tilting the non-magnetic substrate is about 20 °, one magnetic core substrate The number of magnetic core half blocks obtained from the block 11 is ten. As described above, according to the method of manufacturing a magnetic head according to the present embodiment, almost all of the magnetic core substrate can be used as the magnetic head.
It is possible to improve productivity.

【００３５】つぎに、本実施の形態にかかる磁気ヘッド
の製造方法の第２の実施の形態について説明する。Next, a description will be given of a second embodiment of the method of manufacturing a magnetic head according to the present embodiment.

【００３６】なお、後述する第２の実施の形態におい
て、上述した実施の形態と同一部分については、同一名
称または同一符号を付することによってその詳細な説明
を省略する。In the second embodiment to be described later, the same parts as those in the above-described embodiment are given the same names or the same reference numerals, and the detailed description is omitted.

【００３７】第２の実施の形態にかかる磁気ヘッドの製
造方法によって製造される磁気ヘッドは、図９に示すよ
うに、磁気コアとなる磁性薄膜２ａを、その膜厚方向か
ら一対の非磁性基板３ａ₁，４ａ₁及び磁性フェライト基
板３ａ₂，４ａ₂によって挟み込んでなる磁気コア半体５
ａと、磁気コアとなる磁性薄膜２ｂを、その膜厚方向か
ら一対の非磁性基板３ｂ₁，４ｂ₁及び磁性フェライト基
板３ｂ₂，４ｂ₂によって挟み込んでなる磁気コア半体５
ｂとが、突き合わせ面に呈する磁性薄膜２ａ，２ｂの端
面同士を突き合わせてその突き合わせ面に所定のアジマ
ス角αを有する磁気ギャップｇを形成してなる磁気ヘッ
ドである。すなわち、この磁気ヘッドは、媒体摺動面１
ａ側の基板３ａ₁，４ａ₁，３ｂ₁，４ｂ₁を非磁性材料か
らなるものとし、バックギャップ側の基板３ａ₂，４
ａ₂，４ｂ₂の材料を磁性フェライトからなるものを接合
した複合基板を用いて構成されている。なお、この磁気
ヘッドは、磁気コアを構成する磁性薄膜２ａ，２ｂとし
て非磁性薄膜を介して積層された構造となっている。As shown in FIG. 9, a magnetic head manufactured by the method of manufacturing a magnetic head according to the second embodiment includes a magnetic thin film 2a serving as a magnetic core and a pair of non-magnetic substrates arranged in the film thickness direction. Magnetic core half 5 sandwiched between 3a ₁ , 4a ₁ and magnetic ferrite substrates 3a ₂ , 4a ₂
a and a magnetic core half 5 comprising a pair of non-magnetic substrates 3b ₁ , 4b ₁ and magnetic ferrite substrates 3b ₂ , 4b ₂ sandwiching a magnetic thin film 2b serving as a magnetic core from a thickness direction thereof.
b is a magnetic head formed by abutting the end faces of the magnetic thin films 2a and 2b presenting on the abutting surfaces and forming a magnetic gap g having a predetermined azimuth angle α on the abutting surfaces. In other words, this magnetic head has a medium sliding surface 1
The substrates 3a ₁ , 4a ₁ , 3b ₁ , 4b ₁ on the a-side are made of a non-magnetic material, and the substrates 3a ₂ , 4 on the back-gap side.
It is configured using a composite substrate in which materials a ₂ and 4b ₂ are joined to those made of magnetic ferrite. This magnetic head has a structure in which magnetic thin films 2a and 2b constituting a magnetic core are stacked via a non-magnetic thin film.

【００３８】このような磁気ヘッドの製造方法は、先
ず、非磁性基板１７と磁性フェライト基板１８とを接合
することによって複合基板を作製する。次に、この複合
基板１９の片面上に磁性薄膜と電気的絶縁膜とを交互に
スパッタし、その積層膜上に接合膜を形成することによ
って磁気コア基板１９を作製する。In such a method of manufacturing a magnetic head, first, a non-magnetic substrate 17 and a magnetic ferrite substrate 18 are joined to form a composite substrate. Next, a magnetic thin film and an electric insulating film are alternately sputtered on one surface of the composite substrate 19, and a bonding film is formed on the laminated film, thereby manufacturing the magnetic core substrate 19.

【００３９】次に、図１０に示すように、上述の工程で
磁性薄膜、電気的絶縁膜及び接合膜が形成された磁気コ
ア基板１９を第１の基準面１０の方向ａに対して角度β
だけ傾けて積み重ねる。このとき、相互に積み重ねた磁
気コア基板１７は、所定量ｔだけずれるようにして積み
重ねられる。そして、最後に磁性薄膜、電気的絶縁膜及
び接合膜が形成されていない基板１９ａを積み重ねるこ
とによって、略平行四辺形状とする。そして、このよう
に積み重ねた磁気コア基板１９に対して磁性薄膜、電気
的絶縁膜の積層方向ｃに加圧しながら加熱処理を行い、
磁気コア基板ブロック２０を作製する。Next, as shown in FIG. 10, the magnetic core substrate 19 on which the magnetic thin film, the electric insulating film, and the bonding film are formed in the above-described process is placed at an angle β with respect to the direction a of the first reference plane 10.
Just tilt and stack. At this time, the magnetic core substrates 17 stacked on each other are stacked so as to be shifted by a predetermined amount t. Finally, the substrates 19a on which the magnetic thin film, the electrical insulating film, and the bonding film are not formed are stacked to form a substantially parallelogram. Then, a heat treatment is performed on the magnetic core substrates 19 stacked in this manner while pressing in the stacking direction c of the magnetic thin film and the electrical insulating film,
The magnetic core substrate block 20 is manufactured.

【００４０】本実施の形態において、磁気コア基板１９
を傾ける角度βは、完成された磁気ヘッドが有するアジ
マス角αよりも小さくしている。これは、上記角度β
を、あまり大きくすると、接合時において積層方向ｃに
加圧することにより、加圧力がそれぞれの磁気コア基板
１９の長軸方向Ｂに働いて磁気コア基板１９がずれてし
まう虞があり、各磁気コア基板１９相互の接合力が不十
分となるからである。したがって、具体的には、例え
ば、アジマス角αが２５゜程度の磁気ヘッドを作製する
際は、この磁気コア基板１９を傾ける角度βは、５゜〜
２０゜の範囲内であることが望ましい。In this embodiment, the magnetic core substrate 19
Is made smaller than the azimuth angle α of the completed magnetic head. This is the angle β
When the magnetic core substrate 19 is excessively large, the magnetic core substrate 19 may be displaced by pressing in the longitudinal direction B of each magnetic core substrate 19 by pressing in the laminating direction c at the time of bonding. This is because the bonding strength between the substrates 19 becomes insufficient. Therefore, specifically, for example, when manufacturing a magnetic head having an azimuth angle α of about 25 °, the angle β at which the magnetic core substrate 19 is inclined is 5 ° to 5 °.
It is desirably within the range of 20 °.

【００４１】次に、この磁気コア基板ブロック２０を、
図１１に示すように、積層方向ｃに平行な第２の基準面
２１に対して磁気ヘッド１のアジマス角αに相当する角
度αだけ傾けた切断線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃの線に沿
って切断し、図１２に示すような互いに略対称な一対の
磁気コアハーフブロック２２を形成する。なお、第２の
基準面２１は、磁気コア基板１９の膜厚方向と平行な仮
想面である。すなわち、磁気コア基板ブロック２２の積
層方向ｃに対してαの角度で斜めに切断することとな
る。Next, this magnetic core substrate block 20 is
As shown in FIG. 11, cutting lines AA, BB, and CC are inclined at an angle α corresponding to the azimuth angle α of the magnetic head 1 with respect to a second reference plane 21 parallel to the stacking direction c. To form a pair of magnetic core half blocks 22 substantially symmetric to each other as shown in FIG. The second reference plane 21 is an imaginary plane parallel to the thickness direction of the magnetic core substrate 19. That is, the magnetic core substrate block 22 is cut obliquely at an angle α with respect to the laminating direction c.

【００４２】次に、図１３に示すように、いずれか一方
の磁気コアハーフブロック１３に対してコイルが巻回さ
れる巻線溝１４を磁気コアハーフブロック２２の長軸方
向に沿って形成する。そして、この巻線溝１４が形成さ
れた一方の磁気コアハーフブロック２２の接合面及び他
方の磁気コアハーフブロック２２の接合面に対して平滑
研磨を行う。Next, as shown in FIG. 13, a winding groove 14 in which a coil is wound around one of the magnetic core half blocks 13 is formed along the long axis direction of the magnetic core half block 22. . Then, the joining surface of the one magnetic core half block 22 where the winding groove 14 is formed and the joining surface of the other magnetic core half block 22 are smooth-polished.

【００４３】次に、図１４に示すように、上述の工程に
より平滑研磨が施された面に対してギャップスペーサー
１５をスパッタリング法等の真空薄膜形成法により形成
し、双方の磁気コアハーフブロック１３をギャップスペ
ーサー１５を介してそれぞれの磁性薄膜７が対向するよ
うに突き合わせる。そして、突き合わせ方向よりこれら
磁気コアハーフブロック２２を加圧しながら加熱を行
う。その結果、これら磁気コアハーフブロック２を、接
合一体化させ、磁気コアブロック２３とする。このよう
に作製された磁気コアブロック２３は、各磁気コアハー
フブロック２２にそれぞれ形成された磁性薄膜の突き合
わせ面間に、所定のアジマス角αを有する記録再生ギャ
ップとして機能する磁気ギャップｇが形成される。Next, as shown in FIG. 14, a gap spacer 15 is formed on the surface polished by the above-described steps by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method. Are aligned with each other via the gap spacer 15 such that the magnetic thin films 7 face each other. Then, heating is performed while pressing these magnetic core half blocks 22 from the butting direction. As a result, these magnetic core half blocks 2 are joined and integrated to form a magnetic core block 23. In the magnetic core block 23 manufactured as described above, a magnetic gap g functioning as a recording / reproducing gap having a predetermined azimuth angle α is formed between the abutting surfaces of the magnetic thin films formed on the respective magnetic core half blocks 22. You.

【００４４】次に、接合一体化された磁気コアブロック
２３に対し、所定のギャップ深さとなるように、媒体摺
動面側から図１４中の一点鎖線に至るまでラップを施す
ことによって、所定の曲率を有する媒体摺動面を形成す
る。次に、この媒体摺動面が形成された磁気コアブロッ
ク２３に対して切断線Ｄ−Ｄ、Ｅ−Ｅに沿って切断する
ことによって磁気ヘッドを完成させる。Next, the magnetic core block 23 joined and integrated is wrapped from the medium sliding surface side to a dashed line in FIG. 14 so as to have a predetermined gap depth. A medium sliding surface having a curvature is formed. Next, the magnetic head is completed by cutting the magnetic core block 23 on which the medium sliding surface is formed, along cutting lines DD and EE.

【００４５】ここで、上記の非磁性基板は、磁気ヘッド
の媒体摺動面が磁気記録媒体と摺接することによる耐摩
耗性の向上を図り、媒体摺動面側に設けられる。一方、
磁性フェライトは、磁気ヘッドの媒体摺動面を除くよう
に設けられ、磁気回路の一部として機能するようになっ
ている。Here, the non-magnetic substrate is provided on the medium sliding surface side in order to improve the abrasion resistance due to the medium sliding surface of the magnetic head being in sliding contact with the magnetic recording medium. on the other hand,
The magnetic ferrite is provided so as to exclude the medium sliding surface of the magnetic head, and functions as a part of a magnetic circuit.

【００４６】また、一対の基板に挟み込まれる磁性薄膜
２ａ，２ｂは、上述の単層構造となっているものに限ら
れず、図１５に示すように、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃
Ｏ₄等の酸化物や窒化物等のような電気的絶縁性膜を介
して膜厚の薄い磁性薄膜２ａ，２ｂを何層にも積層させ
た構造のものとしても良い。このように、磁性薄膜２
ａ，２ｂを、電気的絶縁性膜２４を介して何層にも積層
した積層膜とすることで、高周波数帯域での渦電流損を
大幅に低減させることができる。The magnetic thin films 2a and 2b sandwiched between a pair of substrates are not limited to those having the above-described single-layer structure. As shown in FIG. 15, SiO ₂ , Al ₂ O ₃ , and Si ₃
A structure in which thin magnetic thin films 2a and 2b are stacked in multiple layers via an electrically insulating film such as an oxide such as O ₄ or a nitride may be used. Thus, the magnetic thin film 2
By forming a and 2b as a laminated film in which a number of layers are laminated via the electrically insulating film 24, eddy current loss in a high frequency band can be significantly reduced.

【００４７】また、このように製造された磁気ヘッド
は、基板によってその膜厚方向より挟み込まれてなる磁
性薄膜の膜厚が、磁気ギャップｇのトラック幅Ｔ_wとな
っている。したがって、この磁気ヘッドは、上記磁性薄
膜の膜厚を変化させることにより容易に狭トラック化を
図ることができ、磁気記録媒体の高記録密度化に容易に
対処することができる。Further, the magnetic head manufactured in this way, the film thickness of the magnetic thin film formed is sandwiched from its film thickness direction by the substrate has a track width T _w of the magnetic gap g. Therefore, in this magnetic head, the track can be easily narrowed by changing the thickness of the magnetic thin film, and it is possible to easily cope with an increase in the recording density of the magnetic recording medium.

【００４８】[0048]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる磁気ヘッドの製造方法は、アジマス角に相当する角
度よりも小さな角度だけ傾けた状態で積み重ねて相互に
接合し、磁性薄膜の膜厚方向に対してアジマス角に相当
する角度だけ傾けて切断するので、基板を切断する際に
各基板がずれてしまうようなことがなく磁気ヘッドを製
造することができるとともに、各基板の切り残り部分を
少なくすることが可能である。したがって、この磁気ヘ
ッドの製造方法によれば、アジマス角の大きな磁気ヘッ
ドを製造する際においても、切り残り部分が多くなって
しまうようなことがなく、生産性を向上させることが可
能である。As described in detail above, the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention is characterized in that the magnetic heads are stacked and bonded to each other while being tilted at an angle smaller than the angle corresponding to the azimuth angle to form a magnetic thin film. Since the cutting is performed at an angle corresponding to the azimuth angle with respect to the thickness direction, the magnetic head can be manufactured without displacing each substrate when cutting the substrate, and the uncut portion of each substrate can be manufactured. It is possible to reduce the parts. Therefore, according to this method of manufacturing a magnetic head, even when a magnetic head having a large azimuth angle is manufactured, it is possible to improve productivity without increasing the uncut portion.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a magnetic head.

【図２】基板上に磁性薄膜と接合膜とが形成された状態
の一例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a state in which a magnetic thin film and a bonding film are formed on a substrate.

【図３】磁気コア基板を重ね合わせた状態で接合させ、
それぞれの基板を第１の基準面に対してβだけ傾けた状
態の一例を示す斜視図である。FIG. 3 shows a state in which the magnetic core substrates are joined in an overlapping state,
It is a perspective view showing an example of the state where each substrate was inclined by β with respect to the first reference plane.

【図４】基板を重ね合わせた状態で接合させ、それぞれ
の磁気コア基板を第１の基準面に対してβだけ傾けた状
態で、磁気コア基板に形成されている磁性薄膜の膜厚方
向からαだけ傾けた位置で磁気コア基板を切断する様子
を示す平面図である。FIG. 4 shows a state in which the magnetic core substrates are joined together in a state of being superposed, and each magnetic core substrate is inclined by β with respect to a first reference plane, in the thickness direction of the magnetic thin film formed on the magnetic core substrate. It is a top view showing signs that a magnetic core board is cut at a position inclined by α.

【図５】磁気コア基板を重ね合わせた状態で接合させ、
それぞれの磁気コア基板を基準面に対してβだけ傾けた
状態で、磁気コア基板に形成されている磁性薄膜の膜厚
方向からαだけ傾けた位置で磁気コア基板を切断する様
子を示す斜視図である。FIG. 5 shows a state in which the magnetic core substrates are joined in an overlapping state,
A perspective view showing a state in which the magnetic core substrate is cut at a position inclined by α from the thickness direction of the magnetic thin film formed on the magnetic core substrate with each magnetic core substrate inclined by β with respect to the reference plane. It is.

【図６】一対の磁気コアハーフブロックの一例を示す斜
視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an example of a pair of magnetic core half blocks.

【図７】いずれか一方の磁気コアハーフブロックに対し
て巻線溝を形成した状態の一例を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing an example of a state in which a winding groove is formed in one of the magnetic core half blocks.

【図８】一対の磁気コアハーフブロックを接合した状態
の一例を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing an example of a state in which a pair of magnetic core half blocks are joined.

【図９】磁気ヘッドの他の一例を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing another example of the magnetic head.

【図１０】基板を重ね合わせた状態で接合させ、それぞ
れの磁気コア基板を第１の基準面に対してβだけ傾けた
状態で、磁気コア基板に形成されている磁性薄膜の膜厚
方向からαだけ傾けた位置で磁気コア基板を切断する様
子を示す斜視図である。FIG. 10 shows a state in which the magnetic core substrates are joined together in a state of being overlapped, and each magnetic core substrate is inclined by β with respect to the first reference plane, in the thickness direction of the magnetic thin film formed on the magnetic core substrate. FIG. 9 is a perspective view showing a state in which the magnetic core substrate is cut at a position inclined by α.

【図１１】磁気コア基板を重ね合わせた状態で接合さ
せ、それぞれの磁気コア基板を基準面に対してβだけ傾
けた状態で、磁気コア基板に形成されている磁性薄膜の
膜厚方向からαだけ傾けた位置で磁気コア基板を切断す
る様子を示す斜視図である。FIG. 11 shows a state in which the magnetic core substrates are joined in an overlapping state, and each magnetic core substrate is inclined by β with respect to a reference plane, and α is set in the direction of the thickness of the magnetic thin film formed on the magnetic core substrate. FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the magnetic core substrate is cut at an inclined position.

【図１２】一対の磁気コアハーフブロックの一例を示す
斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing an example of a pair of magnetic core half blocks.

【図１３】いずれか一方の磁気コアハーフブロックに対
して巻線溝を形成した状態の一例を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing an example of a state in which a winding groove is formed in one of the magnetic core half blocks.

【図１４】一対の磁気コアハーフブロックを接合した状
態の一例を示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing an example of a state in which a pair of magnetic core half blocks are joined.

【図１５】磁気コア部分として、非磁性材料を介して磁
性薄膜を形成したものを使用した磁気ヘッドの一例を示
す斜視図である。FIG. 15 is a perspective view showing an example of a magnetic head using a magnetic core formed with a magnetic thin film via a non-magnetic material.

【図１６】基板上に磁性薄膜と接合膜とが形成された状
態を示す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view showing a state where a magnetic thin film and a bonding film are formed on a substrate.

【図１７】従来の磁気ヘッドの製造方法において、上面
に磁性薄膜と接合膜とが形成された基板を重ね合わせた
様子の一例を示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view showing an example of a state in which substrates having a magnetic thin film and a bonding film formed on an upper surface are overlaid in a conventional method of manufacturing a magnetic head.

【図１８】従来の磁気ヘッドの製造方法において、基準
面から９０゜−αの位置で各基板を切断する様子の一例
を示す斜視図である。FIG. 18 is a perspective view showing an example of cutting each substrate at a position 90 ° -α from a reference plane in a conventional method of manufacturing a magnetic head.

【図１９】従来の磁気ヘッドの製造方法において、基準
面から９０゜−αの位置で各基板を切断する様子を示す
平面図である。FIG. 19 is a plan view showing a state where each substrate is cut at a position 90 ° -α from a reference plane in a conventional magnetic head manufacturing method.

【図２０】従来の磁気ヘッドの製造方法において、重ね
合わせた基板を基準面からαだけ傾けた状態で基準面と
垂直方向に切断する様子を示す平面図である。FIG. 20 is a plan view showing a state in which a superposed substrate is cut in a direction perpendicular to the reference plane while being inclined by α from the reference plane in the conventional method of manufacturing a magnetic head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 磁気ヘッド、２ 磁性薄膜、３ 基板、４ 基板、
５ 磁気コア半体1 magnetic head, 2 magnetic thin film, 3 substrates, 4 substrates,
5 Magnetic core half

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 所定のアジマス角を有する磁気ヘッドの
製造方法であって、 少なくとも一方の面に磁性薄膜が形成された基板を複数
作製する工程と、 上記複数の基板を、上記アジマス角に相当する角度より
も小さな角度だけ傾けた状態で積み重ねて相互に接合
し、略平行四辺形状の磁気コア基板ブロックを作製する
工程と、 上記磁気コア基板ブロックを、磁性薄膜の膜厚方向に対
して上記アジマス角に相当する角度だけ傾けて切断し、
対をなす略対称な磁気コアハーフブロックを複数作製す
る工程とを有し、 上記対をなす磁気コアハーフブロックに対して所定の加
工を施し、磁性薄膜を一対の基板によって挟み込んでな
る一対の磁気コア半体が、所定のアジマス角を有するよ
うに突き合わせた磁気ヘッドを作製することを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。1. A method for manufacturing a magnetic head having a predetermined azimuth angle, comprising: manufacturing a plurality of substrates having a magnetic thin film formed on at least one surface; Stacking in a state inclined at an angle smaller than the angle to be formed and joining them together to produce a substantially parallelogram-shaped magnetic core substrate block; and forming the magnetic core substrate block in the thickness direction of the magnetic thin film. Cut at an angle equivalent to the azimuth angle,
Producing a plurality of substantially symmetric magnetic core half blocks forming a pair, performing a predetermined processing on the paired magnetic core half blocks, and sandwiching a magnetic thin film between a pair of substrates. A method of manufacturing a magnetic head, comprising: manufacturing a magnetic head in which core halves are joined to have a predetermined azimuth angle. 【請求項２】 上記磁性薄膜を挟み込む一対の基板を、
非磁性体からなるものとしたことを特徴とする請求項１
記載の磁気ヘッドの製造方法。2. A pair of substrates sandwiching said magnetic thin film,
2. A non-magnetic material comprising:
The manufacturing method of the magnetic head described. 【請求項３】 上記磁性薄膜を挟み込む一対の基板を、
非磁性体と磁性フェライト材からなるものとしたことを
特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。3. A pair of substrates sandwiching said magnetic thin film,
2. The method for manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head is made of a non-magnetic material and a magnetic ferrite material. 【請求項４】 上記磁性薄膜を、電気的絶縁膜を介して
積層された構造を有するように形成したことを特徴とす
る請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。4. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein said magnetic thin film is formed to have a structure laminated with an electric insulating film interposed therebetween. 【請求項５】 上記磁気コア基板ブロックを作製する際
に、上記基板を傾ける角度を、５度〜２０度の範囲内と
したことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造
方法。5. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the angle at which the substrate is inclined is set in a range of 5 to 20 degrees when the magnetic core substrate block is manufactured.