JPH10206791A - 斜め投影光学系 - Google Patents

斜め投影光学系

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JPH10206791A
JPH10206791A JP861997A JP861997A JPH10206791A JP H10206791 A JPH10206791 A JP H10206791A JP 861997 A JP861997 A JP 861997A JP 861997 A JP861997 A JP 861997A JP H10206791 A JPH10206791 A JP H10206791A
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JP
Japan
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lens
optical system
image plane
coaxial
projection
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JP861997A
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English (en)
Inventor
Satoshi Osawa
聡 大澤
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高倍率で斜め投影角度が充分であり、しかもレ
ンズ径やレンズ群の全長を短くしてコンパクト化を達成
した斜め投影光学系を提供する。 【解決手段】少なくとも2つの共軸レンズ群より構成さ
れ、1次像を2次像に投影する投影レンズ系を有し、そ
の共軸レンズ群は、互いに偏心して配置されており、中
間実像を結像しない斜め投影光学系において、 |θi −θo |<10゜ 1<θp /Pt <10 を満足する構成とする。但し、|θi −θo |は1次像
面と2次像面のなす角度の絶対値、θp は各共軸レンズ
群のパワーと、各共軸レンズ群の対称軸と拡大側像面に
垂直な直線とのなす角度とを乗じて絶対値をとった値
を、全て加算した値、Pt は各共軸レンズ群のパワーの
絶対値を全て加算した値である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像投影装置や画
像読み取り装置に使用される、1次像を斜め方向から2
次像に拡大或いは縮小して投影する投影光学系に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、液晶ディスプレイ等に表示さ
れた画像をスクリーンに拡大投影する投影装置におい
て、スクリーンの大型化を図りながら投影装置全体をコ
ンパクトにする目的で、画像を斜め方向からスクリーン
に投影する装置が種々提案されている。これらの斜め投
影光学装置によれば、投影光学系をスクリーンから外し
て配置する事ができるので、スクリーン観察者の視野を
妨げないという利点も備えている。
【0003】但し、画像を斜め方向からスクリーンにた
だ投影するだけでは、投影画像にいわゆる台形歪が生じ
てしまうので、この台形歪を補正するための投影光学系
も種々提案されている。例えば、特開平5−11928
3号公報や特開平5−134213号公報では、投影光
学系を偏心させる事により、台形歪を補正している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来より提案されている投影光学系では、コンパクト化や
高性能化の点で充分な満足が得られなかった。本発明
は、高倍率で斜め投影角度が充分であり、しかもレンズ
径やレンズ群の全長を短くしてコンパクト化を達成した
斜め投影光学系を提供する事を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、1次像を2次像に拡大或いは縮小して
投影する投影レンズ系を有し、その投影レンズ系は、少
なくとも2つの共軸レンズ群より構成されていて、その
共軸レンズ群は、互いに偏心して配置されており、縮小
側像面から拡大側像面まで中間実像を結像しない斜め投
影光学系において、以下の条件式範囲を満足する構成と
する。 |θi −θo |<10゜ 1<θp /Pt <10 但し、 |θi −θo |:1次像面と2次像面のなす角度の絶対
値 θp :各共軸レンズ群のパワーと、各共軸レンズ群の対
称軸と拡大側像面に垂直な直線とのなす角度とを乗じて
絶対値をとった値を、全て加算した値 Pt :各共軸レンズ群のパワーの絶対値を全て加算した
値 である。
【0006】また、前記投影レンズ系は、少なくとも一
組の正レンズ,負レンズ,正レンズの配列を含む構成と
する。さらに、前記配列は、以下の条件式範囲を満足す
る構成としても良い。 νn <νp 但し、 νn :負レンズの媒質の分散 νp :2つの正レンズの媒質の分散のいずれか大きい方
の値 である。
【0007】また、前記投影レンズ系は、軸対称な非球
面を少なくとも一面持つ構成としても良い。或いは、前
記投影レンズ系は、非軸対称な面を少なくとも一面持つ
構成としても良い。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明では、1次像を斜め方向から2次像
に拡大或いは縮小して投影する投影光学系において、互
いに偏心した2つ以上のレンズ群を備えるとともに、1
次像面から2次像面まで中間実像を結像しない構成とす
る事により、レンズ群全長をコンパクトにする事を可能
にしている。
【0009】また、以下の条件式を満たす事が必要であ
る。 |θi −θo |<10゜ (1) この式において、|θi −θo |は1次像面と2次像面
のなす角度の絶対値である。この条件式の範囲を外れる
と、斜め投影により発生する台形歪量が増大するので、
それを補正するためにレンズ群の偏心量も増大させなけ
ればならず、それにより各レンズ群に入射する光線角度
が大きくなるため、他の収差(コマ収差等)の補正が困
難となる。
【0010】さらに、以下の条件式を満たす事がより望
ましい。 |θi −θo |<5゜ (2) この条件式の範囲を満たせば、レンズ群の偏心量をより
少なくする事ができ、各レンズ群における収差補正が容
易になるため、各レンズ群を構成するために必要なレン
ズの枚数を少なくする事ができ、よりコンパクトで安価
にレンズ群を構成する事が可能となる。
【0011】そして、以下の条件式を満たす事も必要で
ある。 1<θp /Pt <10 (3) 但し、 θp :共軸系をなす各レンズ群のパワーと、共軸系をな
す各レンズ群の対称軸と拡大側像面に垂直な直線とのな
す角度とを乗じて絶対値をとった値を、全て加算した値 Pt :共軸系をなす各レンズ群のパワーの絶対値を全て
加算した値 である。
【0012】この条件式の下限を下回ると、各レンズ群
の偏心による台形歪の補正効果が少なくなりすぎてシフ
トレンズの構成に近づくため、充分な斜め投影角度を得
ようとすると非常に広い画角のレンズが必要となり、レ
ンズ枚数も増大するのでコンパクトな構成ではなくな
る。また、この条件式の上限を上回ると、各レンズ群の
偏心量が増大するため、各レンズ群に入射する光線角度
が大きくなり、他の収差(コマ収差等)の補正が困難と
なる。
【0013】また、少なくともレンズの並びの一部に正
レンズ,負レンズ,正レンズの順の並びを含む事が望ま
しい。この構成をとる事で、コマ収差,像面湾曲,歪曲
収差の補正を良好に行う事が可能となる。さらに、絞り
から拡大像面側のレンズの並びの一部に正レンズ,負レ
ンズ,正レンズの順の並びを含む事が望ましい。この構
成をとる事により、通常の撮影レンズにおけるトリプレ
ットの構成となり、台形歪以外の収差のコントロール
が、少ないレンズ枚数で可能となるので、絞りより縮小
側像面での収差補正の負担が軽減される。
【0014】また、少なくともレンズの並びの一部に正
レンズ,負レンズ,正レンズの順の並びを含み、その正
レンズ,負レンズ,正レンズは以下の条件式を満たす事
が望ましい。 νn <νp (4) 但し、 νn :負レンズの媒質の分散 νp :2つの正レンズの媒質の分散のいずれか大きい方
の値 である。この条件式の範囲を外れると、全体として正の
パワーを持つ正レンズ,負レンズ,正レンズの構成の正
レンズで発生する色収差を負レンズで発生する逆の色収
差で補正する事が困難となる。
【0015】さらに、以下の条件式を満たす事がより望
ましい。 10<νp −νn (5) この条件式を満たす事で、負レンズで発生する逆の色収
差を強める事ができるため、相対的に負レンズのパワー
を弱くする事が可能となり、他の収差(コマ収差等)の
発生が少なくなるため、全体のレンズ枚数を減らす事が
でき、よりコンパクトな構成を実現する事ができる。
【0016】また、各レンズの曲面の内、少なくとも1
面以上、軸対称な非球面を持つ事が望ましい。これによ
り、像面湾曲,歪曲収差の補正の自由度が高まり、レン
ズ枚数の削減が可能となって、よりコンパクトな構成を
実現する事ができる。さらに、絞りから拡大側と絞りか
ら縮小側の両方に、少なくとも1面以上、軸対称な非球
面を持つ事がより望ましい。これにより、絞りから拡大
側と絞りから縮小側のそれぞれで像面湾曲,歪曲収差を
補正する事が可能となり、投影レンズ群全体での性能補
正が容易になるとともに、レンズ枚数の削減が可能とな
る。
【0017】また、各レンズの曲面の内、少なくとも1
面以上、軸非対称な面を持つ事が望ましい。これによ
り、偏心により発生する非対称収差補正(残存する台形
歪や非対称なコマ収差の補正)の自由度が高まり、より
精度良く収差補正する事が可能となる。これらの非球
面,自由曲面を表す式については後述する。
【0018】さらに、絞りを挟んで略対称にレンズの並
びが構成されている事がより望ましい。これにより、絞
り前後で光線の通過状況が逆転するため、絞りより前の
レンズ群で発生した収差を絞りから後のレンズ群で打ち
消す構成をとる事ができるので、より少ないレンズ枚数
で収差補正が可能となり、よりコンパクトで安価な構成
を実現する事ができる。
【0019】《第1の実施形態》上記のような条件を満
たしたより具体的な実施の形態を以下に示す。図1は、
本発明の第1の実施形態の光学系を示す模式図である。
同図に示すように、2次像面(像面)2の画像光は、斜
め方向より投影レンズ群3aによって、1次像面(物体
面)1に斜めに拡大投影される。この場合、逆方向に縮
小投影されると考えても良い。
【0020】投影レンズ群3aは、図2に示すように、
1枚の正レンズからなる第1レンズ群(grp1),1
枚の正レンズからなる第2レンズ群(grp2),絞
り,1枚の正レンズからなる第3レンズ群(grp
3),1枚の正レンズからなる第4レンズ群(grp
4)より構成されている。また、光学系の構成要素の位
置関係は、紙面に平行で互いに直角をなすX軸,Y軸及
び紙面に垂直なZ軸が示す3次元座標により表される。
尚、同図のr記号群は、各レンズの曲面を表している。
これらの具体的なコンストラクションデータを以下に示
す。
【0021】 〈物体面OBJ〉(1次像面1) 中心位置…XO=-580 YO=0.00000 ZO=0.00000 回転角…θO=18.0000 エリアサイズ…Ymax=202.000, Ymin=-202.000 Zmax=202.000, Zmin=-202.000 〈像面IMG〉(2次像面2) 中心位置…XI=82.0141 YI=-2.08511 ZI=0.00000 回転角…θI=15.3245
【0022】 〈grp1〉(正レンズ) 面頂点…X1=0.00000 Y1=2.76113 Z1=0.00000 回転角…θ1=12.9528 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r1 31.6104 7.00000 1.69680 56.4700 r2 71.0884 0.
00000 1.00000
【0023】 〈grp2〉(正レンズ) 面頂点…X2=17.6187 Y2=−0.718943 Z2=0.00000 回転角…θ2=11.9641 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r3 -30.8768 8.00000 1.85000 40.0400 r4 -29.7079 0.00000 1.00000
【0024】 〈絞り〉(絞り4) 中心位置…XS=27.0000 YS=0.00000 ZS=0.00000 回転角…θS=0.00000 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔絞り半径〕 (絞り4) ∞ 5.1448 0.00000 1.00000
【0025】 〈grp3〉(正レンズ) 面頂点…X3=36.6272 Y3=2.15965 Z3=0.00000 回転角…θ3=22.2216 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r5 48.2800 8.00000 1.85000 40.0400 r6 54.2974 0.00000 1.00000
【0026】 〈grp4〉(正レンズ) 面頂点…X4=49.9105 Y4=-1.96207 Z4=0.00000 回転角…θ4=23.8818 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r7 -49.6066 7.00000 1.69680 56.4700 r8 -33.5213 0.00000 1.00000
【0027】 〔面係数〕 a4 a6 a8 a10 非球面r3 1.38215E-06 5.32369E-08 5.20041E-11 -2.21081E-12 非球面r4 1.76030E-05 -1.60556E-07 1.72622E-09 -6.18330E-12 非球面r5 -9.35068E-06 1.57674E-07 -1.62349E-09 5.45421E-12 非球面r6 4.35441E-06 -6.47054E-08 3.17186E-10 -6.38271E-13
【0028】上記コンストラクションデータより、1次
像面と2次像面のなす角度の絶対値は、 |θi −θo |=2.6755 であり、上記条件式(2)を満たしている事が分かる。
また、共軸系をなす各レンズ群のパワーと、共軸系をな
す各レンズ群の対称軸と拡大側像面に垂直な直線とのな
す角度との関係は、以下の表1のようになる。
【0029】
【表1】
【0030】この表より、 θp /Pt =5.3425 であり、上記条件式(3)を満たしている事が分かる。
尚、上述の非球面,自由曲面を表す式を以下に示す。
【0031】 x=f(y,z)=cr2/{1+(1−εc221/2} +a44+a66+a88+a1010 +g044+g066+g088+g12yz2+g14yz4+g16yz6 +g2222+g2424+g2626+g303+g3232+g3434 +g404+g4242+g4444+g505+g5252 +g606+g6262+g707+g808 (6)
【0032】この式において、 r=(y2 +z21/2 ε:2次曲面パラメータ(本発明においては全ての実施
形態について1.0) c:曲率(曲率半径crの逆数) a:非球面の面係数 g:自由曲面の面係数 である。コンストラクションデータに示された面係数を
この式に代入する事により、軸対称非球面或いは非軸対
称面(自由曲面)が得られる。但し、自由曲面の面係数
gは、後述の第5の実施形態においてのみ使用されてい
る。
【0033】図3は、本実施形態の光学系により得られ
るスポットダイアグラムであり、図4は、同じく歪曲図
である。これらの図によると、点像の分布のばらつきも
少なく、また、概ね理想に近い形状で投影される事が示
されており、実用性は充分である事が分かる。
【0034】《第2の実施形態》図5は、本発明の第2
の実施形態の光学系を示す模式図である。同図に示すよ
うに、2次像面(像面)2の画像光は、斜め方向より投
影レンズ群3bによって、1次像面(物体面)1に斜め
に拡大投影される。この場合、逆方向に縮小投影される
と考えても良い。
【0035】投影レンズ群3bは、図6に示すように、
正レンズ,負レンズ,正レンズの共軸な3枚構成からな
る全体で正のパワーの第1レンズ群(grp1),絞
り,及び正レンズ,正レンズの共軸な2枚構成からなる
全体で正のパワーの第2レンズ群(grp2)より構成
されている。また、光学系の構成要素の位置関係は、紙
面に平行で互いに直角をなすX軸,Y軸及び紙面に垂直
なZ軸が示す3次元座標により表される。尚、同図のr
記号群は、各レンズの曲面を表している。これらの具体
的なコンストラクションデータを以下に示す。
【0036】 〈物体面OBJ〉(1次像面1) 中心位置…XO=-580 YO=0.00000 ZO=0.00000 回転角…θO=18.0000 エリアサイズ…Ymax=202.000, Ymin=-202.000 Zmax=202.000, Zmin=-202.000 〈像面IMG〉(2次像面2) 中心位置…XI=78.6937 YI=-2.56297 ZI=0.00000 回転角…θI=13.9220
【0037】 〈grp1〉(正レンズ,負レンズ,正レンズ) 面頂点…X1=0.00000 Y1=1.01156 Z1=0.00000 回転角…θ1=10.6790 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r1 30.5476 11.0000 1.77250 49,7700 r2 107.494 5.00000 1.00000 r3 -41.4098 2.00000 1.59270 35.4500 r4 31.1401 3.00000 1.00000 r5 180.479 4.00000 1.77250 49.7700 r6 -34.6252 0.00000 1.00000
【0038】 〈絞り〉(絞り4) 中心位置…XS=27.0000 YS=0.00000 ZS=0.00000 回転角…θS=0.00000 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔絞り半径〕 (絞り4) ∞ 4.74929 0.00000 1.00000
【0039】 〈grp2〉(正レンズ,正レンズ) 面頂点…X2=35.0000 Y2=2.96383 Z2=0.00000 回転角…θ2=23.1648 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r7 45.2075 8.00000 1.85000 40.0400 r8 47.9317 10.0000 1.00000 r9 -113.035 7.00000 1.69680 56.4700 r10 -42.5867 0.00000 1.00000
【0040】 〔面係数〕 a4 a6 a8 a10 非球面r7 -8.99826E-06 1.72301E-07 -1.70192E-09 5.74446E-12
【0041】上記コンストラクションデータより、1次
像面と2次像面のなす角度の絶対値は、 |θi −θo |=4.078 であり、上記条件式(2)を満たしている事が分かる。
また、共軸系をなす各レンズ群のパワーと、共軸系をな
す各レンズ群の対称軸と拡大側像面に垂直な直線とのな
す角度との関係は、以下の表2のようになる。
【0042】
【表2】
【0043】この表より、 θp /Pt =6.358 であり、上記条件式(3)を満たしている事が分かる。
また、コンストラクションデータより、grp1につい
て 35.4500=νn <νp =49.7700 であり、上記条件式(4)を満たしている事が分かる。
さらに、 10<νp −νn =14.3200 であり、上記条件式(5)を満たしている事が分かる。
【0044】図7は、本実施形態の光学系により得られ
るスポットダイアグラムであり、図8は、同じく歪曲図
である。これらの図によると、点像の分布のばらつきも
少なく、また、概ね理想に近い形状で投影される事が示
されており、実用性は充分である事が分かる。
【0045】《第3の実施形態》図9は、本発明の第3
の実施形態の光学系を示す模式図である。同図に示すよ
うに、2次像面(像面)2の画像光は、斜め方向より投
影レンズ群3cによって、1次像面(物体面)1に斜め
に拡大投影される。この場合、逆方向に縮小投影される
と考えても良い。
【0046】投影レンズ群3cは、図10に示すよう
に、正レンズ,負レンズ,正レンズの共軸な3枚構成か
らなる全体で正のパワーの第1レンズ群(grp1),
絞り,及び正レンズ,負レンズ,正レンズの共軸な3枚
構成からなる全体で正のパワーの第2レンズ群(grp
2)より構成されている。また、光学系の構成要素の位
置関係は、紙面に平行で互いに直角をなすX軸,Y軸及
び紙面に垂直なZ軸が示す3次元座標により表される。
尚、同図のr記号群は、各レンズの曲面を表している。
これらの具体的なコンストラクションデータを以下に示
す。
【0047】 〈物体面OBJ〉(1次像面1) 中心位置…XO=-580 YO=0.00000 ZO=0.00000 回転角…θO=18.0000 エリアサイズ…Ymax=202.000, Ymin=-202.000 Zmax=202.000, Zmin=-202.000 〈像面IMG〉(2次像面2) 中心位置…XI=83.2088 YI=-1.34904 ZI=0.00000 回転角…θI=17.0069
【0048】 〈grp1〉(正レンズ,負レンズ,正レンズ) 面頂点…X1=0.00000 Y1=2.44299 Z1=0.00000 回転角…θ1=15.2790 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r1 32.3182 7.00000 1.77250 49,7700 r2 64.9410 6.00000 1.00000 r3 -42.3750 2.00000 1.59270 35.4500 r4 36.2863 2.00000 1.00000 r5 85.9018 6.00000 1.77250 49.7700 r6 -40.1515 0.00000 1.00000
【0049】 〈絞り〉(絞り4) 中心位置…XS=25.0000 YS=0.00000 ZS=0.00000 回転角…θS=0.00000 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔絞り半径〕 (絞り4) ∞ 5.4091 0.00000 1.00000
【0050】 〈grp2〉(正レンズ,負レンズ,正レンズ) 面頂点…X2=29.1084 Y2=4.88961 Z2=0.00000 回転角…θ2=19.7837 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r7 46.3064 7.80000 1.75450 51.5700 r8 -233.343 1.30000 1.00000 r9 -149.229 1.50000 1.63980 34.5500 r10 38.9179 8.90000 1.00000 r11 -91.6607 6.00000 1.61800 63.3900 r12 -32.1965 0.00000 1.00000
【0051】 〔面係数〕 a4 a6 a8 a10 非球面r7 -7.45508E-06 8.86108E-08 -7.42697E-10 2.09919E-12
【0052】上記コンストラクションデータより、1次
像面と2次像面のなす角度の絶対値は、 |θi −θo |=0.9931 であり、上記条件式(2)を満たしている事が分かる。
また、共軸系をなす各レンズ群のパワーと、共軸系をな
す各レンズ群の対称軸と拡大側像面に垂直な直線とのな
す角度との関係は、以下の表3のようになる。
【0053】
【表3】
【0054】この表より、 θp /Pt =2.2556 であり、上記条件式(3)を満たしている事が分かる。
また、コンストラクションデータより、grp1につい
て 35.4500=νn <νp =49.7700 であり、上記条件式(4)を満たしている事が分かる。
さらに、 10<νp −νn =14.3200 であり、上記条件式(5)を満たしている事が分かる。
また、grp2について 35.5500=νn <νp =63.3900 であり、上記条件式(4)を満たしている事が分かる。
さらに、 10<νp −νn =27.8400 であり、上記条件式(5)を満たしている事が分かる。
【0055】図11は、本実施形態の光学系により得ら
れるスポットダイアグラムであり、図12は、同じく歪
曲図である。これらの図によると、点像の分布のばらつ
きも少なく、また、概ね理想に近い形状で投影される事
が示されており、実用性は充分である事が分かる。
【0056】《第4の実施形態》図13は、本発明の第
4の実施形態の光学系を示す模式図である。同図に示す
ように、2次像面(像面)2の画像光は、斜め方向より
投影レンズ群3dによって、1次像面(物体面)1に斜
めに拡大投影される。この場合、逆方向に縮小投影され
ると考えても良い。
【0057】投影レンズ群3dは、図14に示すよう
に、1枚の正レンズからなる第1レンズ群(grp
1),正レンズ,負レンズ,正レンズの共軸な3枚構成
からなる全体で正のパワーの第2レンズ群(grp
2),絞り,及び正レンズ,負レンズ,正レンズの共軸
な3枚構成からなる全体で正のパワーの第3レンズ群
(grp3),1枚の負レンズからなる第4レンズ群
(grp4)より構成されている。また、光学系の構成
要素の位置関係は、紙面に平行で互いに直角をなすX
軸,Y軸及び紙面に垂直なZ軸が示す3次元座標により
表される。尚、同図のr記号群は、各レンズの曲面を表
している。これらの具体的なコンストラクションデータ
を以下に示す。
【0058】 〈物体面OBJ〉(1次像面1) 中心位置…XO=-580 YO=0.00000 ZO=0.00000 回転角…θO=18.0000 エリアサイズ…Ymax=202.000, Ymin=-202.000 Zmax=202.000, Zmin=-202.000 〈像面IMG〉(2次像面2) 中心位置…XI=86.0703 YI=-1.67835 ZI=0.00000 回転角…θI=14.6007
【0059】 〈grp1〉(正レンズ) 面頂点…X1=-10.0000 Y1=2.06976 Z1=0.00000 回転角…θ1=7.74110 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r1 -82.0971 5.00000 1.51680 64.2000 r2 -68.8938 0.00000 1.00000
【0060】 〈grp2〉(正レンズ, 負レンズ,正レンズ) 面頂点…X2=0.00000 Y2=-0.327736 Z2=0.00000 回転角…θ2=11.6329 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r3 33.5548 7.00000 1.77250 49.7700 r4 54.8585 6.00000 1.00000 r5 -30.6656 2.00000 1.59270 35.4500 r6 51.1018 2.00000 1.00000 r7 165.863 6.00000 1.77250 49.7700 r8 -32.2578 0.00000 1.00000
【0061】 〈絞り〉(絞り4) 中心位置…XS=25.0000 YS=0.00000 ZS=0.00000 回転角…θS=0.00000 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔絞り半径〕 (絞り4) ∞ 5.7245 0.00000 1.00000
【0062】 〈grp3〉(正レンズ,負レンズ,正レンズ) 面頂点…X3=29.0000 Y3=5.06238 Z3=0.00000 回転角…θ3=17.6283 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r9 42.5087 7.80000 1.75450 51.5700 r10 -186.220 1.30000 1.00000 r11 -142.437 1.50000 1.63980 34.5500 r12 36.2388 8.90000 1.00000 r13 -91.0622 6.00000 1.61800 63.3900 r14 -33.5116 0.00000 1.00000
【0063】 〈grp4〉(負レンズ) 面頂点…X4=60.0000 Y4=-4.97837 Z4=0.00000 回転角…θ4=-13.7348 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r15 149.447 5.00000 1.59551 39.2300 r16 93.8166 0.00000 1.00000
【0064】 〔面係数〕 a4 a6 a8 a10 非球面r9 -7.63071E-06 8.79046E-08 -7.38534E-10 2.12661E-12
【0065】上記コンストラクションデータより、1次
像面と2次像面のなす角度の絶対値は、 |θi −θo |=3.3993 であり、上記条件式(2)を満たしている事が分かる。
また、共軸系をなす各レンズ群のパワーと、共軸系をな
す各レンズ群の対称軸と拡大側像面に垂直な直線とのな
す角度との関係は、以下の表4のようになる。
【0066】
【表4】
【0067】この表より、 θp /Pt =5.9738 であり、上記条件式(3)を満たしている事が分かる。
また、コンストラクションデータより、grp2につい
て 35.4500=νn <νp =49.7700 であり、上記条件式(4)を満たしている事が分かる。
さらに、 10<νp −νn =14.3200 であり、上記条件式(5)を満たしている事が分かる。
また、grp3について 35.5500=νn <νp =63.3900 であり、上記条件式(4)を満たしている事が分かる。
さらに、 10<νp −νn =27.8400 であり、上記条件式(5)を満たしている事が分かる。
【0068】図15は、本実施形態の光学系により得ら
れるスポットダイアグラムであり、図16は、同じく歪
曲図である。これらの図によると、点像の分布のばらつ
きも少なく、また、概ね理想に近い形状で投影される事
が示されており、実用性は充分である事が分かる。
【0069】《第5の実施形態》図17は、本発明の第
5の実施形態の光学系を示す模式図である。同図に示す
ように、2次像面(像面)2の画像光は、斜め方向より
投影レンズ群3eによって、1次像面(物体面)1に斜
めに拡大投影される。この場合、逆方向に縮小投影され
ると考えても良い。
【0070】投影レンズ群3eは、図18に示すよう
に、正レンズ,負レンズ,正レンズの共軸な3枚構成か
らなる全体で正のパワーの第1レンズ群(grp1),
絞り,及び正レンズ,負レンズ,正レンズの共軸な3枚
構成からなる全体で正のパワーの第2レンズ群(grp
2)より構成されている。また、光学系の構成要素の位
置関係は、紙面に平行で互いに直角をなすX軸,Y軸及
び紙面に垂直なZ軸が示す3次元座標により表される。
尚、同図のr記号群は、各レンズの曲面を表している。
これらの具体的なコンストラクションデータを以下に示
す。
【0071】 〈物体面OBJ〉(1次像面1) 中心位置…XO=-580 YO=0.00000 ZO=0.00000 回転角…θO=18.0000 エリアサイズ…Ymax=202.000, Ymin=-202.000 Zmax=202.000, Zmin=-202.000 〈像面IMG〉(2次像面2) 中心位置…XI=84.6488 YI=-4.08456 ZI=0.00000 回転角…θI=16.9200
【0072】 〈grp1〉(正レンズ,負レンズ,正レンズ) 面頂点…X1=0.00000 Y1=0.143185 Z1=0.00000 回転角…θ1=15.1314 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r1 33.8400 7.00000 1.77250 49,7700 r2 75.4347 6.00000 1.00000 r3 -44.6425 2.00000 1.59270 35.4500 r4 40.4044 2.00000 1.00000 r5 145.838 6.00000 1.77250 49.7700 r6 -39.5116 0.00000 1.00000
【0073】 〈絞り〉(絞り4) 中心位置…XS=25.0000 YS=0.00000 ZS=0.00000 回転角…θS=0.00000 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔絞り半径〕 (絞り4) ∞ 5.4505 0.00000 1.00000
【0074】 〈grp2〉(正レンズ,負レンズ,正レンズ) 面頂点…X2=29.1084 Y2=2.37492 Z2=0.00000 回転角…θ2=19.4773 〔曲面の記号〕〔曲率半径cr〕〔面間隔t〕〔d線屈折率Nd〕〔分散νd〕 r7 53.4805 7.80000 1.75450 51.5700 r8 -130.816 1.30000 1.00000 r9 -101.690 1.50000 1.63980 34.5500 r10 45.7553 8.90000 1.00000 r11 -63.1820 6.00000 1.61800 63.3900 r12 -27.3304 0.00000 1.00000
【0075】 〔面係数〕 非球面 a4 a6 a8 a10 r7 -8.26923E-06 1.42457E-07 -1.77269E-09 8.20727E-12 自由曲面(軸非対称) g04 g06 g08 r10 1.83513E-05 -3.26306E-07 1.95935E-09 g12 g14 g16 4.68721E-05 -1.46675E-06 6.11889E-09 g22 g24 g26 5.72399E-06 -1.06325E-07 3.27880E-10 g30 g32 g34 2.37083E-06 -1.76068E-06 2.30339E-08 g40 g42 g44 -3.82034E-06 1.11039E-08 -3.81010E-10 g50 g52 -5.36097E-07 4.07491E-09 g60 g62 7.44486E-08 -1.83735E-10 g70 1.04955E-09 g80 -4.26391E-10
【0076】上記コンストラクションデータより、1次
像面と2次像面のなす角度の絶対値は、 |θi −θo |=1.080 であり、上記条件式(2)を満たしている事が分かる。
また、共軸系をなす各レンズ群のパワーと、共軸系をな
す各レンズ群の対称軸と拡大側像面に垂直な直線とのな
す角度との関係は、以下の表5のようになる。
【0077】
【表5】
【0078】この表より、 θp /Pt =2.131 であり、上記条件式(3)を満たしている事が分かる。
また、コンストラクションデータより、grp1につい
て 35.4500=νn <νp =49.7700 であり、上記条件式(4)を満たしている事が分かる。
さらに、 10<νp −νn =14.3200 であり、上記条件式(5)を満たしている事が分かる。
また、grp2について 35.5500=νn <νp =63.3900 であり、上記条件式(4)を満たしている事が分かる。
さらに、 10<νp −νn =27.8400 であり、上記条件式(5)を満たしている事が分かる。
【0079】図19は、本実施形態の光学系により得ら
れるスポットダイアグラムであり、図20は、同じく歪
曲図である。これらの図によると、点像の分布のばらつ
きも少なく、また、概ね理想に近い形状で投影される事
が示されており、実用性は充分である事が分かる。
【0080】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高倍率で斜め投影角度が充分であり、しかもレンズ径や
レンズ群の全長を短くしてコンパクト化を達成した斜め
投影光学系を提供する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の光学系を示す模式
図。
【図2】本発明の第1の実施形態の投影レンズ群を示す
模式図。
【図3】本発明の第1の実施形態の光学系のスポットダ
イアグラム。
【図4】本発明の第1の実施形態の光学系の歪曲図。
【図5】本発明の第2の実施形態の光学系を示す模式
図。
【図6】本発明の第2の実施形態の投影レンズ群を示す
模式図。
【図7】本発明の第2の実施形態の光学系のスポットダ
イアグラム。
【図8】本発明の第2の実施形態の光学系の歪曲図。
【図9】本発明の第3の実施形態の光学系を示す模式
図。
【図10】本発明の第3の実施形態の投影レンズ群を示
す模式図。
【図11】本発明の第3の実施形態の光学系のスポット
ダイアグラム。
【図12】本発明の第3の実施形態の光学系の歪曲図。
【図13】本発明の第4の実施形態の光学系を示す模式
図。
【図14】本発明の第4の実施形態の投影レンズ群を示
す模式図。
【図15】本発明の第4の実施形態の光学系のスポット
ダイアグラム。
【図16】本発明の第4の実施形態の光学系の歪曲図。
【図17】本発明の第5の実施形態の光学系を示す模式
図。
【図18】本発明の第5の実施形態の投影レンズ群を示
す模式図。
【図19】本発明の第5の実施形態の光学系のスポット
ダイアグラム。
【図20】本発明の第5の実施形態の光学系の歪曲図。
【符号の説明】
1 1次像面 2 2次像面 3a〜3e 投影レンズ群 4 絞り

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1次像を2次像に拡大或いは縮小して投
    影する投影レンズ系を有し、該投影レンズ系は、少なく
    とも2つの共軸レンズ群より構成されていて、該共軸レ
    ンズ群は、互いに偏心して配置されており、縮小側像面
    から拡大側像面まで中間実像を結像しない斜め投影光学
    系において、以下の条件式範囲を満足する事を特徴とす
    る斜め投影光学系、 |θi −θo |<10゜ 1<θp /Pt <10 但し、 |θi −θo |:1次像面と2次像面のなす角度の絶対
    値 θp :各共軸レンズ群のパワーと、各共軸レンズ群の対
    称軸と拡大側像面に垂直な直線とのなす角度とを乗じて
    絶対値をとった値を、全て加算した値 Pt :各共軸レンズ群のパワーの絶対値を全て加算した
    値 である。
  2. 【請求項2】 前記投影レンズ系は、少なくとも一組の
    正レンズ,負レンズ,正レンズの配列を含む事を特徴と
    する請求項1に記載の斜め投影光学系。
  3. 【請求項3】 前記配列は、以下の条件式範囲を満足す
    る事を特徴とする請求項2に記載の斜め投影光学系、 νn <νp 但し、 νn :負レンズの媒質の分散 νp :2つの正レンズの媒質の分散のいずれか大きい方
    の値 である。
  4. 【請求項4】 前記投影レンズ系は、軸対称な非球面を
    少なくとも一面持つ事を特徴とする請求項1に記載の斜
    め投影光学系。
  5. 【請求項5】 前記投影レンズ系は、非軸対称な面を少
    なくとも一面持つ事を特徴とする請求項1に記載の斜め
    投影光学系。
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