JPH10206261A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH10206261A JPH10206261A JP1263297A JP1263297A JPH10206261A JP H10206261 A JPH10206261 A JP H10206261A JP 1263297 A JP1263297 A JP 1263297A JP 1263297 A JP1263297 A JP 1263297A JP H10206261 A JPH10206261 A JP H10206261A
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- chamber
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基準圧室とケース外部とを連通させる大気圧
導入口が水によって塞がれることを防止する。 【解決手段】 ケース2内に、大気圧が導入される基準
圧室8と測定対象圧力が導入される測定圧導入室9とが
形成されており、それら両室間の圧力差を検知する感圧
部10を備えている。そして、ケース2の一端には基準
圧室8とケース2外部とを連通させる大気圧導入孔19
がケース下面側を入口として形成されている。この大気
圧導入孔19の最も上方位置に、この大気圧導入孔19
とケース外部とを連通させる貫通孔24を設ける。すな
わち、大気圧導入孔19に水が溜まった場合において、
貫通孔24を通じて外気が大気圧導入孔19内に入り滞
留した水に作用する。これにより、水の排水を容易にす
る。
導入口が水によって塞がれることを防止する。 【解決手段】 ケース2内に、大気圧が導入される基準
圧室8と測定対象圧力が導入される測定圧導入室9とが
形成されており、それら両室間の圧力差を検知する感圧
部10を備えている。そして、ケース2の一端には基準
圧室8とケース2外部とを連通させる大気圧導入孔19
がケース下面側を入口として形成されている。この大気
圧導入孔19の最も上方位置に、この大気圧導入孔19
とケース外部とを連通させる貫通孔24を設ける。すな
わち、大気圧導入孔19に水が溜まった場合において、
貫通孔24を通じて外気が大気圧導入孔19内に入り滞
留した水に作用する。これにより、水の排水を容易にす
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、大気圧が導入され
る基準圧室と測定対象圧力が導入される測定圧導入室を
備え、これら両室内の圧力差を感圧部により感知するよ
うにした圧力センサに関し、例えば自動車における燃料
タンクからキャニスタにつながる配管内の圧力を検出す
るものとして用いて好適である。
る基準圧室と測定対象圧力が導入される測定圧導入室を
備え、これら両室内の圧力差を感圧部により感知するよ
うにした圧力センサに関し、例えば自動車における燃料
タンクからキャニスタにつながる配管内の圧力を検出す
るものとして用いて好適である。
【0002】
【従来の技術】従来における圧力センサを図5に示す。
この圧力センサ1は、薄型箱状を成す合成樹脂製のケー
ス2にて構成されており、このケース2内には、大気圧
が導入される基準圧室8と測定対象圧力が導入される測
定圧導入室9が備えられている。そして、これら各室を
区画する境界部には感圧部10が配置されており、この
感圧部10によって上記各室の圧力差の検出を行う。
この圧力センサ1は、薄型箱状を成す合成樹脂製のケー
ス2にて構成されており、このケース2内には、大気圧
が導入される基準圧室8と測定対象圧力が導入される測
定圧導入室9が備えられている。そして、これら各室を
区画する境界部には感圧部10が配置されており、この
感圧部10によって上記各室の圧力差の検出を行う。
【0003】ところで、上記基準圧室8に大気圧を導入
するために、ケース2には大気圧力導入穴19が形成さ
れている。そして、圧力センサ1が被水したり若しくは
圧力センサ1に塵埃が付着するような環境下において圧
力センサ1を適用する場合においては、この圧力導入穴
19を塞いでしまって基準圧室8が正確な大気圧になら
ないという問題が生じるため、大気圧導入孔19を下向
きに形成している。
するために、ケース2には大気圧力導入穴19が形成さ
れている。そして、圧力センサ1が被水したり若しくは
圧力センサ1に塵埃が付着するような環境下において圧
力センサ1を適用する場合においては、この圧力導入穴
19を塞いでしまって基準圧室8が正確な大気圧になら
ないという問題が生じるため、大気圧導入孔19を下向
きに形成している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記圧
力センサ1における大気圧導入孔19に多量の水が侵入
してしまい、水膜となって図6に示すように大気圧導入
孔19を塞いでしまった場合には、滞留した水の上部側
の空間が閉鎖空間となってしまうために水を抜け方向に
引っ張る為には大きな力が必要とされる。
力センサ1における大気圧導入孔19に多量の水が侵入
してしまい、水膜となって図6に示すように大気圧導入
孔19を塞いでしまった場合には、滞留した水の上部側
の空間が閉鎖空間となってしまうために水を抜け方向に
引っ張る為には大きな力が必要とされる。
【0005】このため、水にかかる重力だけでは水の表
面張力や上記力に打ち勝つことができず、大気圧導入孔
19から外部へ排水されなくなってしまう。この様な状
態においては、基準圧室8内が正確な大気圧にならな
い。本発明は上記問題に鑑みたもので、基準圧室とケー
ス外部とを連通させる大気圧導入孔が液体によって塞が
れることを防止することができる圧力センサを提供する
ことを目的とする。
面張力や上記力に打ち勝つことができず、大気圧導入孔
19から外部へ排水されなくなってしまう。この様な状
態においては、基準圧室8内が正確な大気圧にならな
い。本発明は上記問題に鑑みたもので、基準圧室とケー
ス外部とを連通させる大気圧導入孔が液体によって塞が
れることを防止することができる圧力センサを提供する
ことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、以下の技術的手段を採用する。請求項1に記載の発
明においては、ケース(2)内に基準圧室(8)と測定
圧導入室(9)とが形成され、これら両室間の圧力差を
検知する感圧部(10)と、基準圧室(8)に大気圧を
導入する大気圧導入孔(19)とを備えてなる圧力セン
サにおいて、大気圧導入孔(19)内に滞留した液体を
抜くための貫通孔(24)を大気圧導入孔(19)とケ
ース(2)の外部とを連通させて形成していることを特
徴とする。
め、以下の技術的手段を採用する。請求項1に記載の発
明においては、ケース(2)内に基準圧室(8)と測定
圧導入室(9)とが形成され、これら両室間の圧力差を
検知する感圧部(10)と、基準圧室(8)に大気圧を
導入する大気圧導入孔(19)とを備えてなる圧力セン
サにおいて、大気圧導入孔(19)内に滞留した液体を
抜くための貫通孔(24)を大気圧導入孔(19)とケ
ース(2)の外部とを連通させて形成していることを特
徴とする。
【0007】このように、貫通孔(24)を形成するこ
とによって、滞留した液体の上部空間(基準圧室(8)
側の空間)を閉鎖空間ではないものとすることができ
る。このため滞留した液体を排液し易くできると共に、
大気圧導入孔(19)において液体膜が形成されないよ
うにできるため、基準圧室(8)内に正確な大気圧を導
入することができる。
とによって、滞留した液体の上部空間(基準圧室(8)
側の空間)を閉鎖空間ではないものとすることができ
る。このため滞留した液体を排液し易くできると共に、
大気圧導入孔(19)において液体膜が形成されないよ
うにできるため、基準圧室(8)内に正確な大気圧を導
入することができる。
【0008】具体的には、請求項2に示されるように、
貫通孔(24)は、液体に対して前記基準圧室(8)側
における大気圧導入孔(19)とケース(2)の外部と
を連通させて形成される。また、請求項3に示すよう
に、貫通孔(24)を複数形成してもよい。すなわち、
貫通孔(24)が多ければ多いほど貫通孔(24)自身
が閉塞してしまう可能性を少なくすることができるた
め、より効果的に請求項1に示す効果を得ることができ
る。
貫通孔(24)は、液体に対して前記基準圧室(8)側
における大気圧導入孔(19)とケース(2)の外部と
を連通させて形成される。また、請求項3に示すよう
に、貫通孔(24)を複数形成してもよい。すなわち、
貫通孔(24)が多ければ多いほど貫通孔(24)自身
が閉塞してしまう可能性を少なくすることができるた
め、より効果的に請求項1に示す効果を得ることができ
る。
【0009】さらに、請求項4に示すように、貫通孔
(24)に対して基準圧室(8)側に撥水性フィルタ
(20)を設けることにより、基準圧室(8)内に空気
の通過を許容し且つ液滴や塵埃の通過を阻止するように
することができる。
(24)に対して基準圧室(8)側に撥水性フィルタ
(20)を設けることにより、基準圧室(8)内に空気
の通過を許容し且つ液滴や塵埃の通過を阻止するように
することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施形態
について説明する。図1に圧力センサ1の断面図を示
す。以下、圧力センサ1の構成について図1に従って説
明する。圧力センサ1は合成樹脂製のケース2で覆われ
ている。このケース2はケース主部3にリッド4を被せ
て構成されている。なお、リッド4は接着剤5によりケ
ース主部3に接着されて、これらの接続部における気密
を保持している。
について説明する。図1に圧力センサ1の断面図を示
す。以下、圧力センサ1の構成について図1に従って説
明する。圧力センサ1は合成樹脂製のケース2で覆われ
ている。このケース2はケース主部3にリッド4を被せ
て構成されている。なお、リッド4は接着剤5によりケ
ース主部3に接着されて、これらの接続部における気密
を保持している。
【0011】ケース2の一端側(紙面右側)には筒状の
コネクタハウジング部3aが形成されており、このコネ
クタハウジング部3a内に複数本のターミナル6がイン
サート成形されてコネクタとして機能するようになって
いる。なお、コネクタ接続時において発生する圧力によ
ってケース主部3とターミナル6との間隙を抜けてター
ミナル6の下面に入り込んだ空気を上方へ逃がすための
空気逃げ孔6aがターミナル6には形成されており、ケ
ース内にはこの空気逃げ孔6aに連通する副室7が設け
られている。
コネクタハウジング部3aが形成されており、このコネ
クタハウジング部3a内に複数本のターミナル6がイン
サート成形されてコネクタとして機能するようになって
いる。なお、コネクタ接続時において発生する圧力によ
ってケース主部3とターミナル6との間隙を抜けてター
ミナル6の下面に入り込んだ空気を上方へ逃がすための
空気逃げ孔6aがターミナル6には形成されており、ケ
ース内にはこの空気逃げ孔6aに連通する副室7が設け
られている。
【0012】そして、圧力センサ1の中央部には大気圧
が導入される基準圧室8と、測定対象圧力が導入される
測定圧導入室9が設けられており、これら両室の境界部
には両室間の圧力差を検知するための感圧部10が設け
られている。具体的には、ケース主部3の中央部には、
下方に延びた管状の圧力ポート11が形成されており、
この圧力ポート11の中空部によって測定圧導入室9が
形成されている。そして、ケース主部3における上記両
室の境界部には圧力ポート11の中空部よりも径大とな
る凹部3bが形成されており、この凹部3bに感圧部1
0が設けられている。なお、圧力ポート11には図示し
ない導入管が接続され、この導入管と上記測定圧導入室
9を介して測定対象が感圧部10へ導入される。
が導入される基準圧室8と、測定対象圧力が導入される
測定圧導入室9が設けられており、これら両室の境界部
には両室間の圧力差を検知するための感圧部10が設け
られている。具体的には、ケース主部3の中央部には、
下方に延びた管状の圧力ポート11が形成されており、
この圧力ポート11の中空部によって測定圧導入室9が
形成されている。そして、ケース主部3における上記両
室の境界部には圧力ポート11の中空部よりも径大とな
る凹部3bが形成されており、この凹部3bに感圧部1
0が設けられている。なお、圧力ポート11には図示し
ない導入管が接続され、この導入管と上記測定圧導入室
9を介して測定対象が感圧部10へ導入される。
【0013】ここで、感圧部10について具体的に説明
する。感圧部10は、単結晶シリコンにて形成され、そ
の中央部に薄肉なダイヤフラム部を有した感圧素子12
を備えている。そして、このダイヤフラム部12の表面
には4個の抵抗体が形成されており、これらの抵抗体が
ブリッジ回路を構成するように電気接続されている。ま
た、感圧素子12は全面にSiNからなる保護膜13に
覆われており、耐湿性の向上を図るようにしている。
する。感圧部10は、単結晶シリコンにて形成され、そ
の中央部に薄肉なダイヤフラム部を有した感圧素子12
を備えている。そして、このダイヤフラム部12の表面
には4個の抵抗体が形成されており、これらの抵抗体が
ブリッジ回路を構成するように電気接続されている。ま
た、感圧素子12は全面にSiNからなる保護膜13に
覆われており、耐湿性の向上を図るようにしている。
【0014】また、前記凹部3b上には、透孔14aが
形成されたステム14と貫通孔15aが形成された台座
15が順に配置されており、さらに台座15上に感圧素
子12が陽極接合によって気密接合されて配置されてい
る。そして、台座15とステム14との間及びステム1
5とケース主部3(凹部3bの底面)の間は接着剤によ
って接合されており気密を保持している。このとき接着
剤として、ヤング率が低く耐薬品性に優れたフッ素系の
ものを用いている。なお、台座15の材質には単結晶シ
リコンに近い熱膨張係数のガラスが用いられており、ス
テム14の材質には42アロイが用いられている。
形成されたステム14と貫通孔15aが形成された台座
15が順に配置されており、さらに台座15上に感圧素
子12が陽極接合によって気密接合されて配置されてい
る。そして、台座15とステム14との間及びステム1
5とケース主部3(凹部3bの底面)の間は接着剤によ
って接合されており気密を保持している。このとき接着
剤として、ヤング率が低く耐薬品性に優れたフッ素系の
ものを用いている。なお、台座15の材質には単結晶シ
リコンに近い熱膨張係数のガラスが用いられており、ス
テム14の材質には42アロイが用いられている。
【0015】これにて、感圧素子12の上面側が基準圧
室8に臨み、感温素子12の下面側が台座15の貫通孔
15a及びステム14aの透孔を介して測定圧導入室9
に連通するよう構成され、もって感圧素子12によって
測定対象圧力と大気圧との圧力差(相対圧力)が検出さ
れるようになっている。そして、感圧素子12上の電極
がボンディングワイヤ16を介してターミナル6に接続
されており、圧力差に基づく検出信号がターミナル6を
介して取り出されるようになっている。
室8に臨み、感温素子12の下面側が台座15の貫通孔
15a及びステム14aの透孔を介して測定圧導入室9
に連通するよう構成され、もって感圧素子12によって
測定対象圧力と大気圧との圧力差(相対圧力)が検出さ
れるようになっている。そして、感圧素子12上の電極
がボンディングワイヤ16を介してターミナル6に接続
されており、圧力差に基づく検出信号がターミナル6を
介して取り出されるようになっている。
【0016】なお、基準圧室8と測定圧導入室9におけ
る気密を向上させるために、凹部3b内においてステム
14及び台座15の下半部を埋め込むようにしてフッ素
系の接着剤17が充填されており、さらに耐湿性を向上
させるために接着剤16の上面側には感圧素子12及び
ボンディングワイヤ16を含む全体を覆うようにしてシ
リコンゲル18が充填されている。また、接着剤塗布時
において接着強度を向上させるためにステム14、台座
15及び凹部3bの接着面にプライマを塗布している
が、プライマが貫通孔15a内を上昇して感圧素子に悪
影響を及ぼすことを防止するために台座15の下面側に
おいてはこれを塗布しないようにしている。
る気密を向上させるために、凹部3b内においてステム
14及び台座15の下半部を埋め込むようにしてフッ素
系の接着剤17が充填されており、さらに耐湿性を向上
させるために接着剤16の上面側には感圧素子12及び
ボンディングワイヤ16を含む全体を覆うようにしてシ
リコンゲル18が充填されている。また、接着剤塗布時
において接着強度を向上させるためにステム14、台座
15及び凹部3bの接着面にプライマを塗布している
が、プライマが貫通孔15a内を上昇して感圧素子に悪
影響を及ぼすことを防止するために台座15の下面側に
おいてはこれを塗布しないようにしている。
【0017】そして、ケース2のうちコネクタハウジン
グ部3aが形成されている側の他端側(紙面左側)には
基準圧室8とケース2の外部(大気)とを連通させるた
めの大気圧導入孔19が形成されている。具体的には、
ケース主部3における端部は上面がリッド4に近接する
位置まで突出する厚肉状な構成をしており、この厚肉部
分を上下に貫通するようにして大気圧導入孔19が形成
されている。
グ部3aが形成されている側の他端側(紙面左側)には
基準圧室8とケース2の外部(大気)とを連通させるた
めの大気圧導入孔19が形成されている。具体的には、
ケース主部3における端部は上面がリッド4に近接する
位置まで突出する厚肉状な構成をしており、この厚肉部
分を上下に貫通するようにして大気圧導入孔19が形成
されている。
【0018】この大気圧導入孔19は断面が直径が3m
m以上の円形を成している。また、この大気圧導入孔1
9の上部には大気圧導入孔19の直径よりも径大となる
凹部3cが形成されており、この凹部3cに撥水性フィ
ルタ20が配設されている。この撥水性フィルタ20は
略リング状を成す上下のホルダ21、22によって挟持
されている。これにより大気圧導入孔19内と基準圧室
8とを分離している。また、これらのホルダ22はそれ
ぞれの外周面が大気圧導入孔19の内周面に溶着されて
おり、これによって大気圧導入孔19内と基準圧室8に
おける気密を保持している。
m以上の円形を成している。また、この大気圧導入孔1
9の上部には大気圧導入孔19の直径よりも径大となる
凹部3cが形成されており、この凹部3cに撥水性フィ
ルタ20が配設されている。この撥水性フィルタ20は
略リング状を成す上下のホルダ21、22によって挟持
されている。これにより大気圧導入孔19内と基準圧室
8とを分離している。また、これらのホルダ22はそれ
ぞれの外周面が大気圧導入孔19の内周面に溶着されて
おり、これによって大気圧導入孔19内と基準圧室8に
おける気密を保持している。
【0019】撥水性フィルタ20は多孔質フィルタから
なり、所定の通気量(例えば、0.37cc/sec以
上)を確保できる孔径(例えば、φ=1.0mm)を有
していると共に、液体付着を防止するための撥水処理が
なされている。これにより、基準圧室8へ空気の通過を
許容しつつ液滴や塵埃の通過を阻止している。また、大
気圧導入孔19における入り口部分には、ケース下面か
ら下方へ若干量突出させた突出口部23が形成されてお
り、この突出口部23において大気圧導入孔19が下方
に向かって縮径するようなテーパ状をした構成とされて
いる。
なり、所定の通気量(例えば、0.37cc/sec以
上)を確保できる孔径(例えば、φ=1.0mm)を有
していると共に、液体付着を防止するための撥水処理が
なされている。これにより、基準圧室8へ空気の通過を
許容しつつ液滴や塵埃の通過を阻止している。また、大
気圧導入孔19における入り口部分には、ケース下面か
ら下方へ若干量突出させた突出口部23が形成されてお
り、この突出口部23において大気圧導入孔19が下方
に向かって縮径するようなテーパ状をした構成とされて
いる。
【0020】また、この突出口部23の外壁は大気圧導
入孔19におけるテーパ状部分に平行に形成されてお
り、ある程度肉厚をもって構成されている。そして、突
出口部23における開口端23aは、ケース外部に向か
って径大となるような形状になっている。この突出口部
23によって塵埃や液滴が大気圧導入孔19内に侵入す
ることを極力防止している。
入孔19におけるテーパ状部分に平行に形成されてお
り、ある程度肉厚をもって構成されている。そして、突
出口部23における開口端23aは、ケース外部に向か
って径大となるような形状になっている。この突出口部
23によって塵埃や液滴が大気圧導入孔19内に侵入す
ることを極力防止している。
【0021】そして、ケース主部3のうち撥水性フィル
タ20及びホルダ21、22の近傍であって大気圧導入
孔19における最も上方位置に、大気圧導入孔19とケ
ース外部とを連通させる断面円形状をした貫通孔24が
形成されている。図1に示す圧力センサ1における左側
面図を図2に示す。このように貫通孔24の入口がケー
ス側面に形成されている。
タ20及びホルダ21、22の近傍であって大気圧導入
孔19における最も上方位置に、大気圧導入孔19とケ
ース外部とを連通させる断面円形状をした貫通孔24が
形成されている。図1に示す圧力センサ1における左側
面図を図2に示す。このように貫通孔24の入口がケー
ス側面に形成されている。
【0022】このように構成された圧力センサ1が車両
の下部における燃料タンクからキャニスタにつながる配
管に、大気圧導入孔19を下方に向けて取り付けられ
る。次に、上記圧力センサにおける作用について説明す
る。基準圧室8には、撥水性フィルタ20を介して大気
圧導入孔19から大気圧が導入される。一方、測定圧導
入室9には、燃料タンクからキャニスタにつながる配管
内における圧力が圧力ポート11を通じて測定対象圧力
として導入される。
の下部における燃料タンクからキャニスタにつながる配
管に、大気圧導入孔19を下方に向けて取り付けられ
る。次に、上記圧力センサにおける作用について説明す
る。基準圧室8には、撥水性フィルタ20を介して大気
圧導入孔19から大気圧が導入される。一方、測定圧導
入室9には、燃料タンクからキャニスタにつながる配管
内における圧力が圧力ポート11を通じて測定対象圧力
として導入される。
【0023】このとき、感圧素子12の上面側には大気
圧が作用し、下面側には測定対象圧力が作用する。そし
て、これらの圧力差に伴う応力によってダイヤフラム部
が変位して、この変位に基づきダイヤフラム部上面に形
成された抵抗体が伸縮する。この伸縮によって抵抗体は
その抵抗値を変化させるため、このときの検出信号をタ
ーミナル6から取り出すことにより測定対象圧力が検出
できる。
圧が作用し、下面側には測定対象圧力が作用する。そし
て、これらの圧力差に伴う応力によってダイヤフラム部
が変位して、この変位に基づきダイヤフラム部上面に形
成された抵抗体が伸縮する。この伸縮によって抵抗体は
その抵抗値を変化させるため、このときの検出信号をタ
ーミナル6から取り出すことにより測定対象圧力が検出
できる。
【0024】ところで、図3に示す説明図のように大気
圧導入孔19内に多量の水が入り込み水膜を形成し、大
気圧導入孔19が塞がれてしまった場合を示す。このよ
うな状態が生じると、大気圧導入孔19から正確な大気
圧が導入されなくなり測定対象圧の検出を正確に行うこ
とができなくなってしまう。しかしながら、本実施形態
における圧力センサ1においては、貫通孔24をケース
主部3のうち撥水性フィルタ20及びホルダ21、22
の近傍であって大気圧導入孔19における最も上方位置
に形成しているため、図3に示す矢印のようにこの貫通
孔24を通じて外気を導入し、これにより大気圧導入孔
19内に滞留した水を大気圧導入孔19から排水し易く
してる。
圧導入孔19内に多量の水が入り込み水膜を形成し、大
気圧導入孔19が塞がれてしまった場合を示す。このよ
うな状態が生じると、大気圧導入孔19から正確な大気
圧が導入されなくなり測定対象圧の検出を正確に行うこ
とができなくなってしまう。しかしながら、本実施形態
における圧力センサ1においては、貫通孔24をケース
主部3のうち撥水性フィルタ20及びホルダ21、22
の近傍であって大気圧導入孔19における最も上方位置
に形成しているため、図3に示す矢印のようにこの貫通
孔24を通じて外気を導入し、これにより大気圧導入孔
19内に滞留した水を大気圧導入孔19から排水し易く
してる。
【0025】具体的には、貫通孔24が形成されていな
い場合においては、滞留した水の上部空間(基準圧室側
の空間)が閉鎖空間となるため水を抜け方向に引っ張る
のに大きな力が必要とされたが、この貫通孔24が設け
られていることによって前記上部空間は閉鎖空間では無
くなるため、前記力が必要とされなくなり排水が容易に
なる。
い場合においては、滞留した水の上部空間(基準圧室側
の空間)が閉鎖空間となるため水を抜け方向に引っ張る
のに大きな力が必要とされたが、この貫通孔24が設け
られていることによって前記上部空間は閉鎖空間では無
くなるため、前記力が必要とされなくなり排水が容易に
なる。
【0026】このように、大気圧導入孔19において水
膜が形成されないようにできるため、基準圧室8内に正
確な大気圧を導入することができる。なお、大気圧導入
孔19の直径が小さすぎる場合には、水にかかる重力よ
りも水の表面張力による影響が大きくなってしまう可能
性があるため、大気圧導入孔19の直径はある程度の大
きさが必要とされる。これを考慮して、本実施形態にお
いてはこの直径を3mmにすることにより上記不都合を
解消している。
膜が形成されないようにできるため、基準圧室8内に正
確な大気圧を導入することができる。なお、大気圧導入
孔19の直径が小さすぎる場合には、水にかかる重力よ
りも水の表面張力による影響が大きくなってしまう可能
性があるため、大気圧導入孔19の直径はある程度の大
きさが必要とされる。これを考慮して、本実施形態にお
いてはこの直径を3mmにすることにより上記不都合を
解消している。
【0027】また、図1に示した圧力センサ1におい
て、貫通孔24は大気圧導入孔19に対して垂直なもの
として形成しているが、大気圧導入孔19における最も
上方位置とケース外部を連通するような構成であれば貫
通孔24における外気入口24aの位置は特に限定され
ない。例えば、図4に示すように外気入口24aをケー
ス底面に形成してもよい。また、図1における圧力セン
サ1においては貫通孔24を1つ形成しているが、複数
形成してもよい。すなわち、貫通孔24が多ければ多い
ほど貫通孔24自身が閉塞してしまう可能性を少なくす
ることができるため、より効果的に上記効果を得ること
ができるからである。
て、貫通孔24は大気圧導入孔19に対して垂直なもの
として形成しているが、大気圧導入孔19における最も
上方位置とケース外部を連通するような構成であれば貫
通孔24における外気入口24aの位置は特に限定され
ない。例えば、図4に示すように外気入口24aをケー
ス底面に形成してもよい。また、図1における圧力セン
サ1においては貫通孔24を1つ形成しているが、複数
形成してもよい。すなわち、貫通孔24が多ければ多い
ほど貫通孔24自身が閉塞してしまう可能性を少なくす
ることができるため、より効果的に上記効果を得ること
ができるからである。
【0028】さらに、大気圧導入孔19の上部には撥水
性フィルタ20を備えているが、基準圧室8内への水の
侵入をより完全に防止するのが目的であり、この撥水性
フィルタ20を無くしたとしても上述した効果を得るこ
とができる。なお、上述した実施形態においては水を例
に挙げて説明したが、液体であればほぼ同様の効果が得
られ、例えば泥水等においても上記効果が得られる。
性フィルタ20を備えているが、基準圧室8内への水の
侵入をより完全に防止するのが目的であり、この撥水性
フィルタ20を無くしたとしても上述した効果を得るこ
とができる。なお、上述した実施形態においては水を例
に挙げて説明したが、液体であればほぼ同様の効果が得
られ、例えば泥水等においても上記効果が得られる。
【図1】本発明を適用した実施形態における圧力センサ
の断面図である。
の断面図である。
【図2】図1における圧力センサの左側面図である。
【図3】大気圧導入孔19に水が入った場合において作
用する力を示す説明図である。
用する力を示す説明図である。
【図4】他の実施形態を示した図であって、圧力センサ
の断面模式図である。
の断面模式図である。
【図5】従来における圧力センサの断面図である。
【図6】大気圧導入孔19に水が入った場合における状
態を示す説明図である。
態を示す説明図である。
1…圧力センサ、2…ケース、8…基準圧室、9…測定
圧導入室、10…感圧部、19…大気圧導入孔、20…
撥水性フィルタ、23…突出口部、24…貫通孔。
圧導入室、10…感圧部、19…大気圧導入孔、20…
撥水性フィルタ、23…突出口部、24…貫通孔。
Claims (4)
- 【請求項1】 ケース(2)内に形成され、大気圧が導
入される基準圧室(8)と、 前記ケース(2)内に形成され、測定対象圧力が導入さ
れる測定圧導入室(9)と、 前記基準圧室(8)と測定圧導入室(9)の圧力差を検
知する感圧部(10)と、 前記基準圧室(8)に前記大気圧を導入する大気圧導入
孔(19)とを備えてなる圧力センサにおいて、 前記大気圧導入孔(19)と前記ケース(2)の外部と
を連通させて形成された、前記大気圧導入孔(19)内
に滞留した液体を抜くための貫通孔(24)を備えたこ
とを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項2】 前記貫通孔(24)は、前記液体に対し
て前記基準圧室(8)側における前記大気圧導入孔(1
9)と前記ケース(2)の外部とを連通させて形成され
たものであることを特徴とする請求項1に記載の圧力セ
ンサ。 - 【請求項3】 前記貫通孔(24)が複数形成されてい
ることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力セン
サ。 - 【請求項4】 前記貫通孔(24)に対して前記基準圧
室(8)側には、空気の通過を許容し且つ液滴や塵埃の
通過を阻止する撥水性フィルタが設けられていることを
特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の圧力
センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1263297A JPH10206261A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1263297A JPH10206261A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10206261A true JPH10206261A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11810766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1263297A Pending JPH10206261A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10206261A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241489A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Nidec Copal Electronics Corp | 隔膜式圧力センサ |
JP2012121443A (ja) * | 2010-12-08 | 2012-06-28 | Tokai Rika Co Ltd | 車両の窓閉め報知装置 |
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WO2016204389A1 (ko) * | 2015-06-15 | 2016-12-22 | 주식회사 아이티엠반도체 | 압력센서장치 및 그 제조방법 |
KR102146046B1 (ko) * | 2019-03-26 | 2020-08-19 | 한국단자공업 주식회사 | 압력센서 |
JP2021162444A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 株式会社デンソー | 蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ |
-
1997
- 1997-01-27 JP JP1263297A patent/JPH10206261A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107820566A (zh) * | 2015-06-15 | 2018-03-20 | Itm半导体有限公司 | 压力传感器装置及其制造方法 |
US10648880B2 (en) | 2015-06-15 | 2020-05-12 | Itm Semiconductor Co., Ltd. | Pressure sensor device and manufacturing method thereof |
KR102146046B1 (ko) * | 2019-03-26 | 2020-08-19 | 한국단자공업 주식회사 | 압력센서 |
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JP2022527746A (ja) * | 2019-03-26 | 2022-06-06 | コリア・エレクトリック・ターミナル・コーポレイション・リミテッド | 圧力センサ |
US11852552B2 (en) | 2019-03-26 | 2023-12-26 | Korea Electric Terminal Co., Ltd. | Pressure sensor with a communicating passage in a straight line |
JP2021162444A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 株式会社デンソー | 蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050127 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050215 |
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050614 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |