JPH10197853A - 液晶表示装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents

液晶表示装置の製造方法及び製造装置

Info

Publication number
JPH10197853A
JPH10197853A JP157697A JP157697A JPH10197853A JP H10197853 A JPH10197853 A JP H10197853A JP 157697 A JP157697 A JP 157697A JP 157697 A JP157697 A JP 157697A JP H10197853 A JPH10197853 A JP H10197853A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal substrate
tape
contact roller
crystal display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP157697A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeo Toda
茂生 戸田
Masao Saito
雅夫 斉藤
Masaaki Ariga
昌明 有賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP157697A priority Critical patent/JPH10197853A/ja
Publication of JPH10197853A publication Critical patent/JPH10197853A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示装置の製造工程において、洗浄液を
用いることなく、液晶基板の表面に付着している塵埃を
確実に除去し、しかも塵埃の再付着を防止することので
きる方法及び装置構造を実現する。 【解決手段】 液晶基板10を接触ローラ21に向けて
搬送すると、液晶基板10の表面は接触ローラ21の周
面下側に存在するテープ26に接触し、テープ26の下
面に設けられた粘着面に接触する。テープ26の粘着面
は押圧ロッド22の下方への押圧力により液晶基板10
の表面に押し付けられる。液晶基板10の移動量とテー
プ26の送り量とがほぼ一致するようにして液晶基板1
0をさらに移動させていくと、テープ26は一旦液晶基
板10の表面に接着されてから引き剥がされるようにな
るため、液晶基板10の表面上に付着していた塵埃をテ
ープ26の粘着面に接着させて除去することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置の製造
方法及び製造装置に係り、特に、液晶基板上に付着した
異物を除去するための方法及び装置構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶表示装置の製造工程において
は、液晶基板の表面上に配線、電極等を形成した後、そ
の上に配向膜を形成し、さらに配向膜の表面にラビング
処理を施した後、同様に形成したもう一方の液晶基板に
対してシール材を介して貼り合わせ、液晶セルを構成し
ている。この後、液晶セルの内部に液晶が注入される。
さらに、例えばTN型やSTN型の液晶表示装置の場合
には、液晶セルの外面上に偏光板を貼り付ける工程があ
る。
【0003】上記のような製造工程においては、例え
ば、液晶基板の内面上のパターン構成中において上部構
造のパターンを形成する前に基板表面の塵埃を除去する
必要がある。また、液晶基板にラビング処理を施した後
の液晶基板表面にはラビング時に発生した塵埃が多数付
着しており、次工程に進む前にこれを除去する必要が生
ずる。さらに、液晶セルを完成した後の液晶基板の外面
上にも種々の塵埃が付着しており、この塵埃もまた、偏
光板の貼着前に除去しなければならない。
【0004】このような液晶基板の表面に付着した塵埃
を除去するために、従来においては純水その他の洗浄液
を用いたウエット式の洗浄工程を設けている。液晶基板
は洗浄液の中に浸漬され、さらにこの洗浄液に対して超
音波振動などを加えることによって、基板表面の塵埃を
分離する。
【0005】また、洗浄工程を行う代わりに液晶基板の
表面にエアを吹付け、表面に付着している塵埃を吹き飛
ばすエアブロー方式も採用されている。この方法では、
吹き飛ばされた塵埃を排気装置等を用いて吸引する場合
もある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の洗浄工程に
おいては、液晶基板を一旦洗浄液中に浸漬し、乾燥させ
る必要があるため、バッチ処理にならざるを得ず処理効
率が低下するとともに、処理時間や処理コストがかかる
という問題点がある。
【0007】一方、エアブロー方式においては、ウエッ
ト式の洗浄工程に較べて簡易に処理できるが、エアの吹
付けによって塵埃を吹き飛ばすようにしているため、液
晶基板の表面に載っているだけの塵埃は吹き飛ばすこと
ができるものの、ある程度の吸着力を持って付着してい
る塵埃を吹き飛ばすことは困難であり、塵埃が残ってし
まうという問題点があるとともに、一旦吹き飛ばされた
塵埃が液晶基板の表面に再付着するという問題点もあ
る。
【0008】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、液晶表示装置の製造工程におい
て、洗浄液を用いることなく、液晶基板の表面に付着し
ている塵埃を確実に除去し、しかも塵埃の再付着を防止
することのできる方法及び装置構造を実現することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明が講じた手段は、液晶表示装置の液晶基板の表
面に、担体上に形成された粘着面を押し付けた後、該担
体を剥離することによって、前記表面上の付着物を除去
することを特徴とする液晶表示装置の製造方法である。
【0010】この手段によれば、除去部材の粘着面を液
晶基板の表面に押し付けて剥離することによって、液晶
基板の表面上に付着している塵埃をも確実に除去するこ
とができ、また、周囲に塵埃を撒き散らすこともないか
ら周囲環境を汚染する危険性もなく、基板表面への再付
着も防止できる。しかも、洗浄液に浸漬する必要もない
ために効率よく処理することができる。
【0011】また、液晶表示装置の液晶基板の表面上に
付着した付着物を除去するための液晶表示装置の製造装
置において、周面に架設された粘着性を有するテープの
粘着面を前記表面に対して接触させる接触ローラと、該
接触ローラに対して前記テープを供給するテープ供給手
段と、前記接触ローラから前記テープを回収する回収手
段と、前記接触ローラを前記表面に押し付ける押圧手段
と、前記液晶基板と前記接触ローラとの間を相対的に移
動させる移動手段とを設けたことを特徴とするものであ
る。
【0012】この手段によれば、供給手段、接触ローラ
及び回収手段によって、テープを送りながら粘着面を液
晶基板の表面に接触させ、剥離することができるため、
先に粘着面に付着した塵埃の再付着を防止でき、基板表
面に付着した塵埃を確実に除去することができる。
【0013】ここで、前記液晶基板と前記接触ローラと
の間の相対的移動速度と、前記テープの送り速度とがほ
ぼ一致するように構成されていることが好ましい。
【0014】この手段によれば、液晶基板と接触ローラ
との間の相対的移動速度と、テープの送り速度とがほぼ
一致するように構成されているので、常に新たな粘着面
に基板表面を接触させることができるから、塵埃の除去
をさらに確実に行うことができるとともに、粘着面との
摩擦による損傷が液晶基板の表面に生ずることを防止で
きる。
【0015】また、前記接触ローラは、前記液晶基板に
対するラビング装置の処理部後段の搬送経路上に設けら
れている場合がある。
【0016】この場合には、ラビング装置の処理部後段
の搬送経路上に接触ローラを配置すことによって、ラビ
ング処理の直後に自動的に塵埃の除去を行うことができ
るので、ラビング処理時に発生する塵埃を周囲に撒き散
らすことなく迅速に除去し、他の製造工程における塵埃
に起因する事故を防止できる。
【0017】さらに、前記接触ローラは、前記液晶基板
に対する偏光板貼り付け装置の処理部前段の搬送経路上
に設けられている場合がある。
【0018】この場合には、偏光板貼り付け装置の処理
部前段の搬送経路上に接触ローラを配置することによっ
て、偏光板貼り付け直前に自動的に塵埃の除去を行うこ
とができるので、液晶基板と偏光板との間に塵埃が混入
することを防止することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る実施形態について説明する。図1は本実施形態の
液晶表示装置の製造方法を実現する製造装置の概略構造
を示す概略構成図である。液晶基板10は、図示しない
搬送機構、例えば、搬送ローラ列、搬送ベルト等によっ
て図示右側から搬送経路11に沿って送られるようにな
っている。
【0020】液晶基板10の搬送経路11上には接触ロ
ーラ21が配置されている。この接触ローラ21の回転
軸21aは、押圧ロッド22に対して回転自在に取り付
けられている。押圧ロッド22は支持ロッド23に対し
て伸縮自在に接続され、支持ロッド23の内部に収容さ
れた図示しない弾性部材又は流体機構(油圧機構、エア
圧機構等)によって押圧ロッド22を下方に所定の圧力
で突出させるように押圧している。支持ロッド23の他
端は図示しない装置のフレームに対して固定されてい
る。
【0021】接触ローラ21の上方には供給ローラ24
が配置されている。この供給ローラ24は、上記フレー
ムに対して固定された回転軸24aに対して回転自在に
取り付けられている。同様にフレームに対して固定され
た回転軸25aに対して回転自在に取り付けられた回収
ローラ25も設けられている。
【0022】供給ローラ24には粘着性を有する一面を
備えたテープ26が巻回されており、このテープ26は
供給ローラ24から引き出されて、下方に配置された上
記接触ローラ21の周面下側を部分的に周回した後、再
び上方に引き出されて回収ローラ25に巻回されてい
る。
【0023】テープ26は、供給ローラ24においては
ローラ中心側に粘着面を向けた状態で巻回されており、
接触ローラ21の周面に添う状態では下側、すなわち液
晶基板の表面に対向する側に粘着面を向けるように架設
されている。テープ26は接触ローラ21の周面上を移
動した後、最終的に回収ローラ25のローラ中心側に粘
着面を向けた状態で巻回される。
【0024】テープ26の粘着面の粘着性は、上記接触
ローラ21の押圧力に応じて、液晶基板上の塵埃を十分
に捕捉できるとともに、粘着面の剥離強度が液晶基板上
の構造に悪影響を与えない範囲に設定される。接触ロー
ラの押圧力は、液晶基板上の塵埃に対して粘着面が確実
に接触するために充分な値に設定される。なお、テープ
26の幅は液晶基板の塵埃を除去する必要のある表面の
幅以上の幅を備えている必要がある。
【0025】上記構造では、供給ローラ24及び回収ロ
ーラ25に対してテープの粘着面が内側を向いているた
め、ローラ巻回状態におけるテープ26の粘着面への塵
埃付着や粘着面からの塵埃の離脱が発生しにくい。
【0026】この装置においては、テープ26を液晶基
板の移動量とほぼ等しい量だけ送るためのテープ駆動手
段が設けられている。このテープ駆動手段としては、種
々のものが考えられるが、回収ローラ25に作用するよ
うに構成された、テープ26を巻き取るためのローラ回
転手段が好ましい。このローラ回転手段は回収ローラ2
5を回転させることによりテープ26を巻き取るもので
あり、例えば回収ローラ25に接続された駆動モータで
もよく、また、液晶基板10を搬送するための搬送機構
と連動して回収ローラ25を回転させる伝達機構でもよ
い。
【0027】これらのローラ回転手段は、後述するよう
に、その稼動状態においてテープ26の粘着面を液晶基
板10の表面に対して擦り付けて損傷を与えないよう
に、液晶基板10の移動速度と完全に同期していること
が好ましい。また、液晶基板10が積極的には搬送され
ていないが、所定速度で送られるテープ26の粘着力に
よって液晶基板10が自動的に移動するように構成され
ていてもよい。或いは、オイルロータを有するオイルカ
ップリングや磁気カップリング等によりローラ回転手段
の駆動力が所定の伝達力で回収ローラ25に伝達される
ように構成し、液晶基板10の移動量に応じて所定の張
力にてテープ26を巻き取るように構成されていてもよ
い。
【0028】液晶基板10を図示右側から接触ローラ2
1に向けて搬送すると、液晶基板10の表面は接触ロー
ラ21の周面下側に存在するテープ26に接触し、テー
プ26の下面に設けられた粘着面に接触する。ここで、
テープ26の粘着面は押圧ロッド22の下方への押圧力
により液晶基板10の表面に押し付けられる。
【0029】この状態で、上述のようなテープ駆動手段
により液晶基板10の移動量とテープ26の送り量とが
ほぼ一致するようにして液晶基板10を図示左側に移動
させていくと、テープ26は一旦液晶基板10の表面に
接着されてから引き剥がされるようになるため、液晶基
板10の表面上に付着していた塵埃をテープ26の粘着
面に接着させて除去することができる。
【0030】図2には、上記の構造を備えた塵埃除去装
置20を、液晶基板に対してラビング処理を行うラビン
グ処理装置の内部に一体的に構成した様子を示す。この
場合には、回転するラビングローラ30の表面に接着さ
れたラビング布31の毛によって、搬送されてくる液晶
基板10の表面を所定方向に擦るようになっている。こ
のラビング装置の図示しない搬送機構はそのまま上記塵
埃除去装置20の搬送機構となっており、この搬送機構
によって液晶基板10は搬送経路32に沿って移動し、
ラビング処理の終了後に自動的に上述のように接触ロー
ラ21と接触するまで搬送され、表面に付着した塵埃が
除去される。
【0031】この場合には従来から存在するラビングの
ための搬送機構をそのまま利用し、その搬送機構に合わ
せて動作するように構成することによって、ラビング時
に発生した塵埃を装置内部で即座に除去することができ
るので、外部に塵埃を放出することなく迅速かつ確実に
処理を行うことができる。
【0032】図3には、上記塵埃除去装置20を、液晶
セル40の外面上に偏光板を貼着する偏光板貼着装置の
内部に組み込んだ例を示す。偏光板貼着装置の処理部に
おいては、液晶セル40の外面の端部に対して偏光板4
2の一端を押し付け、外面の他端に向かって偏光板42
を押し当てていく貼着部材43が図示しない駆動機構に
よって動作するように構成されている。
【0033】この処理部に液晶セル40を供給するため
に図示しない搬送機構が設けられており、この搬送機構
による搬送経路41の途中に、上記塵埃除去装置20が
配置されている。搬送経路41に沿って搬送される液晶
セル40は、接触ローラの周面上のテープ26に接着さ
れた後、すぐにテープ26から引き剥がされることによ
って、外面上に付着していた塵埃が除去される。
【0034】この場合においても、偏光板貼着装置の搬
送系をそのまま使用して塵埃を除去できるとともに、偏
光板を貼着する直前に塵埃の除去を行うことができるた
め、液晶セルの外面と偏光板との間に塵埃が挟まる確率
を従来よりもさらに低減できる。
【0035】図4は、上記とは異なる実施形態を示す概
略構成図である。この実施形態においては、接触ローラ
21の前後にテンションローラ51,52が配置され、
このテンションローラ51,52は、簡略化して示すテ
ンション機構57,58によってテープ26に所定の張
力を付与するように動作する。テープ26は本実施形態
においては無端状に形成されており、ガイドローラ5
3,54,55,56によって架設されている。
【0036】この実施形態においても、テープ26は液
晶基板10の移動量とほぼ同様の送り作用を、液晶基板
10自体から、若しくは液晶基板10の移動速度と同一
の周速度を有する駆動ローラとして動作する上記ガイド
ローラの一つから受けるように構成することができる。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば以下
の効果を奏する。
【0038】請求項1によれば、除去部材の粘着面を液
晶基板の表面に押し付けて剥離することによって、液晶
基板の表面上に付着している塵埃をも確実に除去するこ
とができ、また、周囲に塵埃を撒き散らすこともないか
ら周囲環境を汚染する危険性もなく、基板表面に再付着
することを防止できる。しかも、洗浄液に浸漬する必要
もないために効率よく処理することができる。
【0039】請求項2によれば、供給手段、接触ローラ
及び回収手段によって、テープを送りながら粘着面を液
晶基板の表面に接触させ、剥離することができるため、
先に粘着面に付着した塵埃の再付着を防止でき、基板表
面に付着した塵埃を確実に除去することができる。
【0040】請求項3によれば、液晶基板と接触ローラ
との間の相対的移動速度と、テープの送り速度とがほぼ
一致するように構成されているので、常に新たな粘着面
に基板表面を接触させることができるから、塵埃の除去
をさらに確実に行うことができるとともに、粘着面との
摩擦による損傷が液晶基板の表面に生ずることを防止で
きる。
【0041】請求項4によれば、ラビング装置の処理部
後段の搬送経路上に接触ローラを配置すことによって、
ラビング処理の直後に自動的に塵埃の除去を行うことが
できるので、ラビング処理時に発生する塵埃を周囲に撒
き散らすことなく迅速に除去し、他の製造工程における
塵埃に起因する事故を防止できる。
【0042】請求項5によれば、偏光板貼り付け装置の
処理部前段の搬送経路上に接触ローラを配置することに
よって、偏光板貼り付け直前に自動的に塵埃の除去を行
うことができるので、液晶基板と偏光板との間に塵埃が
混入することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る液晶表示装置の製造方法及び製造
装置の実施形態を示すための装置の概略構成図である。
【図2】同実施形態をラビング処理装置に組み込んだ状
態を示す概略構成図である。
【図3】同実施形態を偏光板貼着装置に組み込んだ状態
を示す概略構成図である。
【図4】同実施形態とは異なる実施形態を示す概略構成
図である。
【符号の説明】
10 液晶基板 20 塵埃除去装置 21 接触ローラ 22 押圧ロッド 23 支持ロッド 24 供給ローラ 25 回収ローラ 30 ラビングローラ 32,41 搬送経路 40 液晶セル 43 貼着部材 51,52 テンションローラ 53,54,55,56 ガイドローラ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液晶表示装置の液晶基板の表面に、担体
    上に形成された粘着面を押し付けた後、該担体を剥離す
    ることによって、前記表面上の付着物を除去することを
    特徴とする液晶表示装置の製造方法。
  2. 【請求項2】 液晶表示装置の液晶基板の表面上に付着
    した付着物を除去するための液晶表示装置の製造装置に
    おいて、周面に架設された粘着性を有するテープの粘着
    面を前記表面に対して接触させる接触ローラと、該接触
    ローラに対して前記テープを供給するテープ供給手段
    と、前記接触ローラから前記テープを回収する回収手段
    と、前記接触ローラを前記表面に押し付ける押圧手段
    と、前記液晶基板と前記接触ローラとの間を相対的に移
    動させる移動手段とを設けたことを特徴とする液晶表示
    装置の製造装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、前記液晶基板と前記
    接触ローラとの間の相対的移動速度と、前記テープの送
    り速度とがほぼ一致するように構成されていることを特
    徴とする液晶表示装置の製造装置。
  4. 【請求項4】 請求項2又は請求項3において、前記接
    触ローラは、前記液晶基板に対するラビング装置の処理
    部後段の搬送経路上に設けられていることを特徴とする
    液晶表示装置の製造装置。
  5. 【請求項5】 請求項2又は請求項3において、前記接
    触ローラは、前記液晶基板に対する偏光板貼り付け装置
    の処理部前段の搬送経路上に設けられていることを特徴
    とする液晶表示装置の製造装置。
JP157697A 1997-01-08 1997-01-08 液晶表示装置の製造方法及び製造装置 Withdrawn JPH10197853A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP157697A JPH10197853A (ja) 1997-01-08 1997-01-08 液晶表示装置の製造方法及び製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP157697A JPH10197853A (ja) 1997-01-08 1997-01-08 液晶表示装置の製造方法及び製造装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10197853A true JPH10197853A (ja) 1998-07-31

Family

ID=11505353

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP157697A Withdrawn JPH10197853A (ja) 1997-01-08 1997-01-08 液晶表示装置の製造方法及び製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10197853A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020014992A (ko) * 2000-06-15 2002-02-27 마찌다 가쯔히꼬 기판 세정 장치
KR100353241B1 (ko) * 1999-11-03 2002-09-18 주식회사 썬테크윈 티에프티-엘씨디용 패널의 세정장치
KR100796372B1 (ko) 2006-03-24 2008-01-24 (주)와이티에스 디스플레이용 패널 세정장치
CN103895117A (zh) * 2012-12-27 2014-07-02 三星钻石工业股份有限公司 脆性材料基板的分断用碎屑去除装置
CN103895115A (zh) * 2012-12-27 2014-07-02 三星钻石工业股份有限公司 脆性材料基板的刻划用碎屑去除装置
CN103939861A (zh) * 2014-04-03 2014-07-23 合肥京东方显示光源有限公司 胶带贴附装置
US9111966B2 (en) 2011-09-28 2015-08-18 SCREEN Holdings Co., Ltd. Substrate processing apparatus and substrate processing method
KR20170127650A (ko) * 2016-05-12 2017-11-22 세메스 주식회사 콜릿 세정 모듈 및 이를 구비하는 다이 본딩 장치
CN108563044A (zh) * 2017-12-29 2018-09-21 重庆市中光电显示技术有限公司 一种自清洁的偏光片贴合装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100353241B1 (ko) * 1999-11-03 2002-09-18 주식회사 썬테크윈 티에프티-엘씨디용 패널의 세정장치
KR20020014992A (ko) * 2000-06-15 2002-02-27 마찌다 가쯔히꼬 기판 세정 장치
US6671918B2 (en) 2000-06-15 2004-01-06 Sharp Kabushiki Kaisha Substrate cleaning apparatus
KR100796372B1 (ko) 2006-03-24 2008-01-24 (주)와이티에스 디스플레이용 패널 세정장치
US9111966B2 (en) 2011-09-28 2015-08-18 SCREEN Holdings Co., Ltd. Substrate processing apparatus and substrate processing method
CN103895115A (zh) * 2012-12-27 2014-07-02 三星钻石工业股份有限公司 脆性材料基板的刻划用碎屑去除装置
KR101447578B1 (ko) * 2012-12-27 2014-10-06 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 취성 재료 기판의 분단용 분진 제거장치
KR101447577B1 (ko) * 2012-12-27 2014-10-08 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 취성 재료 기판의 스크라이브용 분진 제거장치
CN103895117A (zh) * 2012-12-27 2014-07-02 三星钻石工业股份有限公司 脆性材料基板的分断用碎屑去除装置
CN103939861A (zh) * 2014-04-03 2014-07-23 合肥京东方显示光源有限公司 胶带贴附装置
CN103939861B (zh) * 2014-04-03 2016-08-17 合肥京东方显示光源有限公司 胶带贴附装置
KR20170127650A (ko) * 2016-05-12 2017-11-22 세메스 주식회사 콜릿 세정 모듈 및 이를 구비하는 다이 본딩 장치
CN108563044A (zh) * 2017-12-29 2018-09-21 重庆市中光电显示技术有限公司 一种自清洁的偏光片贴合装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH10154686A (ja) 半導体基板処理装置のクリーニング方法
JP2002329761A (ja) 搬送装置、洗浄装置及び現像装置
JPH10197853A (ja) 液晶表示装置の製造方法及び製造装置
TWI297321B (en) Film peeling apparatus
KR101389632B1 (ko) 도포, 현상 장치 및 도포, 현상 방법
KR20090066184A (ko) 필름 첩부 장치
JP2002050655A (ja) チップ実装方法及びこれに用いられる基板洗浄装置
JP5803152B2 (ja) フィルムクリーニング装置
JP2001042315A (ja) 液晶表示素子用フィルム貼付装置及び液晶表示素子用フィルム貼付方法
KR20070074488A (ko) 기판의 반송 방법 및 장치
WO2008041445A1 (fr) Procédé de nettoyage d'un ouvrage
TW200828483A (en) Tape cartridge for cleaning workpieces
JP2004118012A (ja) 液晶パネルへの偏光板貼付け方法
JP2004105848A (ja) 基板洗浄装置とその洗浄方法
JP2009140982A (ja) 除塵装置及び除塵方法
JP2002083795A (ja) 半導体基板の洗浄方法およびその洗浄装置
JP2000296968A (ja) 板材の保護フィルム剥離装置
KR102442379B1 (ko) 전자동 스티커 제거장치
KR20000063732A (ko) 인쇄회로기판의 필름 필링장치
JPH1020289A (ja) 液晶パネルクリーニング装置
TW201105427A (en) FPD panel mounter and mounting method
JPH08197026A (ja) 板のクリーニング機構
JP4040803B2 (ja) レジストマスクの除去方法と除去装置
JPH05273508A (ja) セパレータ剥離装置
JP4221124B2 (ja) レジストマスクの除去方法と除去装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20040406