JPH10185972A - アンテナ走査測定装置 - Google Patents
アンテナ走査測定装置Info
- Publication number
- JPH10185972A JPH10185972A JP34154596A JP34154596A JPH10185972A JP H10185972 A JPH10185972 A JP H10185972A JP 34154596 A JP34154596 A JP 34154596A JP 34154596 A JP34154596 A JP 34154596A JP H10185972 A JPH10185972 A JP H10185972A
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- Japan
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- measurement
- stage
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定時間を短縮する。
【解決手段】 モータの回転駆動により測定対象物１３
を乗せたステージ１２がＸＹ面で連続移動され、センサ
１６にモータの回転がパルスＰm が検出され、Ｐ m はカ
ウンタ１７で計数され、その計数方向はセンサ１６の回
転方向信号Ｓで制御され、カウンタ１７の計数値がステ
ージ１２の測定位置として、クロックごとにラッチ２
１，２２，２３に順次移される。カウンタ１７、ラッチ
２１〜２３の各出力が計算部２４に入力され回帰式によ
り測定器１８の測定遅延τ時間後の位置ｙが予測され、
測定距離間隔ΔｙがトリガＴr ごとにラッチ３３に累積
加算され、ラッチ３３の次の測定位置とｙとがコンパレ
ータ３４で比較され、一致するとトリガＴr が発生し測
定器１８が測定を開始し、アンテナ１４で受信した対象
物１３の放射振幅位相を測定する。
を乗せたステージ１２がＸＹ面で連続移動され、センサ
１６にモータの回転がパルスＰm が検出され、Ｐ m はカ
ウンタ１７で計数され、その計数方向はセンサ１６の回
転方向信号Ｓで制御され、カウンタ１７の計数値がステ
ージ１２の測定位置として、クロックごとにラッチ２
１，２２，２３に順次移される。カウンタ１７、ラッチ
２１〜２３の各出力が計算部２４に入力され回帰式によ
り測定器１８の測定遅延τ時間後の位置ｙが予測され、
測定距離間隔ΔｙがトリガＴr ごとにラッチ３３に累積
加算され、ラッチ３３の次の測定位置とｙとがコンパレ
ータ３４で比較され、一致するとトリガＴr が発生し測
定器１８が測定を開始し、アンテナ１４で受信した対象
物１３の放射振幅位相を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は例えば電子回路基
板からの不要放射源の測定に利用され、測定対象物を測
定アンテナで２次元走査して測定対象物上における放射
電波の振幅と位相の分布を測定するアンテナ走査測定装
置に関する。
板からの不要放射源の測定に利用され、測定対象物を測
定アンテナで２次元走査して測定対象物上における放射
電波の振幅と位相の分布を測定するアンテナ走査測定装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の装置は測定対象物をＸＹ
移動ステージ上に置き、この測定対象物と対向して、測
定アンテナを固定して設け、ステージをＸＹ面上で移動
させることにより、測定アンテナによる測定対象物の２
次元走査を行っていた。測定対象物上の走査平面内にお
ける等距離間隔おきに測定データを取得する場合、従来
においては各測定点（位置）でステージを停止させてい
た。
移動ステージ上に置き、この測定対象物と対向して、測
定アンテナを固定して設け、ステージをＸＹ面上で移動
させることにより、測定アンテナによる測定対象物の２
次元走査を行っていた。測定対象物上の走査平面内にお
ける等距離間隔おきに測定データを取得する場合、従来
においては各測定点（位置）でステージを停止させてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来においては測定位
置ごとにステージを停止させているため、高速移動のス
テージを用いても、移動速度を十分に上げることができ
ず、高速ステージの高速性を生かせない。例えば２５ｃ
ｍ×２５ｃｍの範囲を等距離間隔で６４×６４＝４０９
４点の測定データを得る場合、従来においては１回の測
定に８０分もの時間を必要とした。
置ごとにステージを停止させているため、高速移動のス
テージを用いても、移動速度を十分に上げることができ
ず、高速ステージの高速性を生かせない。例えば２５ｃ
ｍ×２５ｃｍの範囲を等距離間隔で６４×６４＝４０９
４点の測定データを得る場合、従来においては１回の測
定に８０分もの時間を必要とした。
【０００４】この発明の目的はアンテナ走査を高速に行
い、測定時間を従来より短縮することができるアンテナ
走査測定装置を提供することにある。
い、測定時間を従来より短縮することができるアンテナ
走査測定装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明によればステー
ジの移動位置が位置測定手段により測定され、その測定
された移動位置を用いて、測定遅延（トリガ遅延）時間
τ後のステージの移動位置が予測手段により予測され、
その予測した移動位置が、ステージの次に測定すべき位
置になると、これを検出して測定指令がトリガ発生手段
により発生される。
ジの移動位置が位置測定手段により測定され、その測定
された移動位置を用いて、測定遅延（トリガ遅延）時間
τ後のステージの移動位置が予測手段により予測され、
その予測した移動位置が、ステージの次に測定すべき位
置になると、これを検出して測定指令がトリガ発生手段
により発生される。
【０００６】前記予測手段では、一定時間ごとに得られ
る測定移動位置を用いて、時間を変数とする予測移動位
置の回帰式の定数が演算され、その演算した定数をもつ
回帰式に測定遅延時間τを代入して予測移動位置が求め
られる。
る測定移動位置を用いて、時間を変数とする予測移動位
置の回帰式の定数が演算され、その演算した定数をもつ
回帰式に測定遅延時間τを代入して予測移動位置が求め
られる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１にこの発明の実施例を示す。
ＸＹ可動ステージ装置１１のステージ１２上に測定対象
物１３が置かれ、測定対象物１３のＸＹ移動面と対向し
て測定アンテナ１４が固定される。モータ１５の回転駆
動によりステージ１２がＸＹ面内を移動される。図では
Ｘ方向の往復移動機構のみを示し、図に示していないが
Ｙ方向の往復移動機構も設けられている。
ＸＹ可動ステージ装置１１のステージ１２上に測定対象
物１３が置かれ、測定対象物１３のＸＹ移動面と対向し
て測定アンテナ１４が固定される。モータ１５の回転駆
動によりステージ１２がＸＹ面内を移動される。図では
Ｘ方向の往復移動機構のみを示し、図に示していないが
Ｙ方向の往復移動機構も設けられている。
【０００８】この発明ではステージ１２の移動位置が測
定される。この位置測定手段としてこの実施例ではモー
タ１５の回転が回転センサ１６で検出される。つまりモ
ータ１５の所定の回転、つまりステージ１２が所定距離
移動するごとにパルスＰm が回転センサ１６から出力さ
れると共に、モータ１５の回転方向を示す方向信号Ｓが
出力される。パルスＰm はアップダウンカウンタ１７に
より計数され、その計数は方向信号Ｓによりアップカウ
ント又はダウンカウントとされる。ステージ１２が正方
向に移動している場合は、カウンタ１７はアップカウン
タとして動作し、ステージ１２が負方向に移動している
場合はカウンタ１７はダウンカウンタとして動作し、カ
ウンタ１７の計数値によりステージ１２の移動位置が求
まる。
定される。この位置測定手段としてこの実施例ではモー
タ１５の回転が回転センサ１６で検出される。つまりモ
ータ１５の所定の回転、つまりステージ１２が所定距離
移動するごとにパルスＰm が回転センサ１６から出力さ
れると共に、モータ１５の回転方向を示す方向信号Ｓが
出力される。パルスＰm はアップダウンカウンタ１７に
より計数され、その計数は方向信号Ｓによりアップカウ
ント又はダウンカウントとされる。ステージ１２が正方
向に移動している場合は、カウンタ１７はアップカウン
タとして動作し、ステージ１２が負方向に移動している
場合はカウンタ１７はダウンカウンタとして動作し、カ
ウンタ１７の計数値によりステージ１２の移動位置が求
まる。
【０００９】測定アンテナ１４の受信信号は測定器１８
で測定されるが、測定器１８は測定開始時にリセット、
ヌル測定等の処理が必要なため、測定開始のトリガ信号
（測定指令）Ｔr が測定器１８に加えられてから実際に
測定を開始するまでのトリガ遅延時間（測定遅延時間）
τが存在する。従ってこの発明ではステージ１２を連続
的に移動させ、ステージ１２の測定移動位置を用いてτ
時間後のステージ１２の移動位置を予測し、この予測移
動位置と測定すべき位置が一致したときトリガ信号（測
定指令）Ｔr を発生させる。
で測定されるが、測定器１８は測定開始時にリセット、
ヌル測定等の処理が必要なため、測定開始のトリガ信号
（測定指令）Ｔr が測定器１８に加えられてから実際に
測定を開始するまでのトリガ遅延時間（測定遅延時間）
τが存在する。従ってこの発明ではステージ１２を連続
的に移動させ、ステージ１２の測定移動位置を用いてτ
時間後のステージ１２の移動位置を予測し、この予測移
動位置と測定すべき位置が一致したときトリガ信号（測
定指令）Ｔr を発生させる。
【００１０】前記予測位置は時間ｔを変数とする移動位
置ｙの下記回帰式により求める。 ｙ＝ａ0 ＋ａ1 ｔ＋ａ2 ｔ2 ＋…＋ａm ｔm （１） この式（１）の定数ａi （ｉ＝０，１，…，ｍ）は時刻
ｔk における測定移動位置ｙk のｎ個（０＜ｋ＜ｎ）か
ら、下記の行列式を解くことにより求める。
置ｙの下記回帰式により求める。 ｙ＝ａ0 ＋ａ1 ｔ＋ａ2 ｔ2 ＋…＋ａm ｔm （１） この式（１）の定数ａi （ｉ＝０，１，…，ｍ）は時刻
ｔk における測定移動位置ｙk のｎ個（０＜ｋ＜ｎ）か
ら、下記の行列式を解くことにより求める。
【００１１】
【数１】 式（１）式（２）の演算を実行するため、クロック発生
器１９からのクロックによりカウンタ１７の計数値がラ
ッチ２１，２２，２３へ順次移される。カウンタ１７の
出力ｙ3 、ラッチ２１，２２，２３の各ｙ2 ｙ1 ｙ0 が
回帰式計算部２４が入力されて、更に遅延時間τが回帰
式計算部２４へ与えられて式（１）が演算され、τ時間
後の時間（ｔ＋τ）でのステージ１２の予測移動位置が
求められる。図１では４個の測定位置ｙk から予測位置
を求めたが、過去の測定移動位置としては１個以上あれ
ばよい。例えば１個のラッチ２１のみを用いる場合は、
２個の位置データ（ｙk ，ｔk ）は（ｙ0 ，０），（ｙ
1 ，ｔ1 ）となり、１次の回帰式で予測位置ｙを求める
ことになる。この時の定数ａi は次式で求める。
器１９からのクロックによりカウンタ１７の計数値がラ
ッチ２１，２２，２３へ順次移される。カウンタ１７の
出力ｙ3 、ラッチ２１，２２，２３の各ｙ2 ｙ1 ｙ0 が
回帰式計算部２４が入力されて、更に遅延時間τが回帰
式計算部２４へ与えられて式（１）が演算され、τ時間
後の時間（ｔ＋τ）でのステージ１２の予測移動位置が
求められる。図１では４個の測定位置ｙk から予測位置
を求めたが、過去の測定移動位置としては１個以上あれ
ばよい。例えば１個のラッチ２１のみを用いる場合は、
２個の位置データ（ｙk ，ｔk ）は（ｙ0 ，０），（ｙ
1 ，ｔ1 ）となり、１次の回帰式で予測位置ｙを求める
ことになる。この時の定数ａi は次式で求める。
【００１２】 時間τ後の予測位置ｙは次の回帰式で求まる。
【００１３】 ｙ＝ａ0 ＋ａ1 τ （４） 式（３）、式（４）を実行する回帰式計算部２４をハー
ドウェアで構成すると図２Ａに示すように積和演算で容
易に実現できる。つまりラッチ２１の出力ｙ0が符号反
転器２６で極性が反転され、カウンタ１７の出力ｙ1 と
加算器２７で加算され、その加算結果ａ1 とτとが乗算
器２８で乗算され、その乗算結果にラッチ２１の出力ｙ
0 ＝ａ0 が加算器２９で加算されて予測位置ｙが得られ
る。
ドウェアで構成すると図２Ａに示すように積和演算で容
易に実現できる。つまりラッチ２１の出力ｙ0が符号反
転器２６で極性が反転され、カウンタ１７の出力ｙ1 と
加算器２７で加算され、その加算結果ａ1 とτとが乗算
器２８で乗算され、その乗算結果にラッチ２１の出力ｙ
0 ＝ａ0 が加算器２９で加算されて予測位置ｙが得られ
る。
【００１４】この実施例は、測定位置、予測位置は共に
ステージの出発点を基準として求めたものであり、この
予測位置ｙが、次の測定位置と一致すると、トリガ信号
Ｔrを発生させる。つまり、測定間隔距離Δｙが符号反
転器３１を介して加算器３２へ供給され、符号反転器３
１は回転センサ１６からの方向信号Ｓにより、ステージ
１２が正方向に移動している場合は、符号反転作用が停
止され、ステージ１２が負方向に移動している時のみ、
符号反転され、つまり−Δｙが加算器３２へ供給され
る。加算器３２はラッチ３３の出力、つまり次の測定位
置とを加算し、その加算値はトリガ信号Ｔr の発生ごと
にラッチ３３にラッチされる。つまりトリガ信号Ｔr ご
とに符号反転器３１の出力（Δｙ又は−Δｙ）が、ラッ
チ３３の出力に対し累積加算される。
ステージの出発点を基準として求めたものであり、この
予測位置ｙが、次の測定位置と一致すると、トリガ信号
Ｔrを発生させる。つまり、測定間隔距離Δｙが符号反
転器３１を介して加算器３２へ供給され、符号反転器３
１は回転センサ１６からの方向信号Ｓにより、ステージ
１２が正方向に移動している場合は、符号反転作用が停
止され、ステージ１２が負方向に移動している時のみ、
符号反転され、つまり−Δｙが加算器３２へ供給され
る。加算器３２はラッチ３３の出力、つまり次の測定位
置とを加算し、その加算値はトリガ信号Ｔr の発生ごと
にラッチ３３にラッチされる。つまりトリガ信号Ｔr ご
とに符号反転器３１の出力（Δｙ又は−Δｙ）が、ラッ
チ３３の出力に対し累積加算される。
【００１５】ラッチ３３の示す次の測定位置と回帰式計
算部２４のτ時間後の予測位置とがコンパレータ３４で
比較され、両者の差が０、または差の符号が反転した時
にコンパレータ３４からトリガ信号Ｔr を発生する。よ
って測定器１８の測定が開始され、またラッチ３３は次
の測定位置を示すようにデータが更新される。ＸＹステ
ージ装置１１のモータ１５による駆動制御は制御部３５
により行われる。
算部２４のτ時間後の予測位置とがコンパレータ３４で
比較され、両者の差が０、または差の符号が反転した時
にコンパレータ３４からトリガ信号Ｔr を発生する。よ
って測定器１８の測定が開始され、またラッチ３３は次
の測定位置を示すようにデータが更新される。ＸＹステ
ージ装置１１のモータ１５による駆動制御は制御部３５
により行われる。
【００１６】図２Ｂにこの発明の他の実施例を示し、図
１と対応する部分に同一符号を付けてある。この例では
測定ごとに、ステージ１２の測定移動位置及び予測移動
位置ｙは共にゼロとされる。つまり測定ごとにその測定
位置が次の測定位置に対する基準位置とされる。このた
めトリガ信号Ｔr によりカウンタ１７はリセットされ
る。回帰式計算部２４からの予測位置ｙと符号反転器３
１からのΔｙ又は−Δｙとがコンパレータ３４で比較さ
れる。従って図１に示した構成に対し、加算器３２、ラ
ッチ３３が不要となる。
１と対応する部分に同一符号を付けてある。この例では
測定ごとに、ステージ１２の測定移動位置及び予測移動
位置ｙは共にゼロとされる。つまり測定ごとにその測定
位置が次の測定位置に対する基準位置とされる。このた
めトリガ信号Ｔr によりカウンタ１７はリセットされ
る。回帰式計算部２４からの予測位置ｙと符号反転器３
１からのΔｙ又は−Δｙとがコンパレータ３４で比較さ
れる。従って図１に示した構成に対し、加算器３２、ラ
ッチ３３が不要となる。
【００１７】何れの実施例においてもステージ１２に測
定アンテナ１４を置き、測定対象物１３を固定してもよ
い。
定アンテナ１４を置き、測定対象物１３を固定してもよ
い。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ス
テージ１２を連続的に移動させ、次に測定すべき位置よ
りも測定遅延（トリガ遅延）時間τ前に移動位置を予測
してトリガ信号Ｔr を発生させるようにしているから、
ステージ１２を測定位置ごとに停止させることなく連続
的に移動させ、高速ステージの高速性を生かすことがで
き、１つの測定対象物に対する測定時間を著しく短縮す
ることができる。
テージ１２を連続的に移動させ、次に測定すべき位置よ
りも測定遅延（トリガ遅延）時間τ前に移動位置を予測
してトリガ信号Ｔr を発生させるようにしているから、
ステージ１２を測定位置ごとに停止させることなく連続
的に移動させ、高速ステージの高速性を生かすことがで
き、１つの測定対象物に対する測定時間を著しく短縮す
ることができる。
【図１】この発明の実施例を示すブロック図。
【図２】Ａは図１中の回帰式計算部２４の具体例を示す
図、Ｂはこの発明の他の実施例を示すブロック図であ
る。
図、Ｂはこの発明の他の実施例を示すブロック図であ
る。
Claims (4)
- 【請求項１】 測定対象物とその測定対象物よりの電波
を受信する測定アンテナとの一方を固定し、他方をステ
ージに取付け、 上記ステージを移動させて、上記測定対象物を上記測定
アンテナで２次元走査して測定を行うアンテナ走査測定
装置において、 上記ステージの移動位置を測定する手段と、 上記測定した移動位置を用いて、測定遅延（トリガ遅
延）時間τ後の上記ステージの移動位置を予測する予測
手段と、 上記予測した移動位置が、上記ステージの次に測定すべ
き位置になると、これを検出して測定指令を発生するト
リガ発生手段と、 を具備することを特徴とするアンテナ走査測定装置。 - 【請求項２】 上記予測手段は一定時間ごとに得られる
上記測定移動位置を用いて、時間を変数とする予測移動
位置の回帰式の定数を演算する手段と、上記演算した定
数をもつ上記回帰式に上記測定遅延時間τを代入して予
測移動位置を演算する手段よりなることを特徴とする請
求項１記載のアンテナ走査測定装置。 - 【請求項３】 上記測定移動位置及び上記予測移動位置
はそれぞれ上記ステージの出発点を基準としたものであ
り、 上記測定指令の発生ごとに測定間隔距離を累積加算する
手段を備え、 上記トリガ発生手段は上記累積加算値と上記予測移動位
置との一致を検出する手段であることを特徴とする請求
項１又は２記載のアンテナ走査測定装置。 - 【請求項４】 上記測定移動位置及び上記予測移動位置
は、測定ごとに基準をゼロとしたものであり、 上記トリガ発生手段は測定間隔距離と、上記予測移動位
置との一致を検出する手段であることを特徴とする請求
項１又は２記載のアンテナ走査測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34154596A JPH10185972A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | アンテナ走査測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34154596A JPH10185972A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | アンテナ走査測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185972A true JPH10185972A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18346904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34154596A Withdrawn JPH10185972A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | アンテナ走査測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10185972A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1191340A1 (en) * | 2000-04-28 | 2002-03-27 | Advantest Corporation | Field distribution measuring method and device |
| WO2019169182A1 (en) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | DWFritz Automation, Inc. | Trigger management device for measurement equipment |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34154596A patent/JPH10185972A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1191340A1 (en) * | 2000-04-28 | 2002-03-27 | Advantest Corporation | Field distribution measuring method and device |
| EP1191340A4 (en) * | 2000-04-28 | 2008-08-20 | Advantest Corp | Method and device for measuring the distribution of a field. |
| WO2019169182A1 (en) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | DWFritz Automation, Inc. | Trigger management device for measurement equipment |
| US10830618B2 (en) | 2018-02-28 | 2020-11-10 | DWFritz Automation, Inc. | Trigger management device for measurement equipment |
| CN111936822A (zh) * | 2018-02-28 | 2020-11-13 | 德弗里茨自动化股份有限公司 | 用于测量装备的触发管理设备 |
| CN111936822B (zh) * | 2018-02-28 | 2022-08-23 | 德弗里茨自动化股份有限公司 | 用于测量装备的触发管理设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040302 |